KR100898049B1 - 처리액 공급장치 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

처리액 공급장치는 처리액을 저장하는 저장 탱크 및 처리액의 농도를 보정하는 농도 보정부를 구비한다. 저장 탱크는 처리액을 배출라인에 배출하고, 농도 보정부는 배출라인에 유입된 처리액의 농도를 보정한다. 이에 따라, 처리액 공급장치는 균일한 농도를 갖는 처리액을 기판에 제공하고, 기판 처리 효율 및 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

Description

처리액 공급장치 및 그 방법{APPARATUS AND METHOD OF SUPPLYING TREATING LIQUID}
본 발명은 반도체 기판을 제조하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 기판 처리용 용액을 공급하는 처리액 공급장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 기판은 박막 증착 공정, 식각 공정 및 세정 공정 등과 같은 다양한 공정을 거쳐 형성된다. 특히, 세정 공정은 세정액을 이용하여 반도체 기판의 제조공정 중에 발생하는 잔류 물질이나 파티클 등을 제거한다.
이러한 세정 공정은 세정액을 생성하여 공급하는 세정액 공급장치, 및 세정액을 반도체 기판에 제공하여 세정하는 기판 처리장치를 이용하여 이루어진다. 세정액 공급장치는 세정액의 농도를 조절하여 기판 처리장치에 제공한다. 일반적으로, 세정액은 초순수에 오존 가스가 용해된 오존수를 포함한다.
그러나, 오존은 외부의 산소와 반응하기 쉬운 특정을 갖기 때문에, 세정액 속의 오존이 외부의 산소와 반응하여 산소 분자로 환원되기 쉽다. 따라서, 장시간 세정 공정이 이루어질 경우, 세정액의 오존 농도가 변하기 쉽고, 이로 인해, 세정 효율이 저하된다.
본 발명의 목적은 처리액의 농도를 균일하게 유지하는 처리액 공급장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 상기한 처리액 공급장치를 이용하여 처리액을 공급하는 방법을 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 처리액 공급장치는, 저장 탱크, 배출라인 및 농도 보정부로 이루어진다.
저장 탱크는 기판을 처리하기 위한 처리액을 저장한다. 배출라인은 상기 저장 탱크로부터 상기 처리액을 공급받아 수송한다. 농도 보정부는 상기 배출라인에 유입된 상기 처리액의 농도를 보정한다.
구체적으로, 상기 농도 보정부는, 농도계 및 혼합부를 포함한다. 농도계는 상기 배출라인에 설치되고, 상기 배출라인에 유입된 상기 처리액의 농도를 측정한다. 혼합부는 상기 배출라인에 설치되고, 상기 배출라인으로부터 제공된 상기 처리액에 처리가스를 용해시켜 상기 배출라인에 배출한다.
또한, 상기 농도 보정부는 가스 생성부와 가스 라인을 더 포함할 수 있다. 가스 생성부는 상기 처리가스를 생성한다. 가스 라인은 상기 가스 생성부로부터 배출된 상기 처리가스를 상기 혼합부에 공급한다.
또한, 상기 농도 보정부는 제어부와 가스 조절부를 더 포함할 수 있다. 제어 부는 상기 농도계에서 측정된 상기 처리액의 농도값에 근거하여 상기 가스 생성부를 제어한다. 가스 조절부는 상기 가스라인에 설치되고, 상기 혼합부로 공급되는 상기 처리가스의 유량을 조절한다.
여기서, 처리액은 오존을 포함하고, 상기 처리가스는 오존 가스로 이루어진다.
또한, 처리액 공급장치는 제1 및 제2 약액 공급부를 더 포함할 수 있다. 약액 공급부는 상기 처리액을 생성하기 위한 제1 약액을 상기 저장 탱크에 공급한다. 제2 약액 공급부는 상기 처리액을 생성하기 위한 제2 약액을 상기 저장 탱크에 공급한다. 여기서, 상기 제2 약액은 상기 처리가스가 액체에 용해되어 형성된다.
또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 처리액 공급방법은 다음과 같다. 먼저, 저장 탱크에 처리액을 저장하고, 상기 저장 탱크로부터 상기 처리액을 배출라인에 배출시킨다. 상기 배출라인에 유입된 처리액의 농도를 보정한다.
상기 처리액의 농도를 보정하는 과정을 살펴보면, 먼저, 상기 배출라인에 유입된 처리액의 농도를 측정하고, 측정된 농도값에 근거하여 처리가스를 상기 처리액에 용해시킨다.
여기서, 상기 처리가스를 상기 처리액에 용해시키는 과정은 다음과 같다. 먼저, 상기 농도값에 근거하여 상기 처리가스의 공급량을 조절하고, 상기 처리가스를 상기 처리액에 용해시킨다.
상술한 본 발명에 따르면, 처리액 공급장치는 처리액을 제공하는 과정에서 처리액의 농도를 보정한다. 이에 따라, 처리액 공급장치는 균일한 농도를 갖는 처리액을 기판에 제공하고, 기판 처리 효율 및 제품의 수율을 향상시킨다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 처리액 공급장치를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 처리액 공급장치(100)는 제1 약액 공급부(110), 유량계(120), 제2 약액 공급부(130), 초순수 공급부(140), 제1 및 제2 처리액 생성부(150, 160) 및 가스 생성부(170)를 포함한다.
구체적으로, 상기 제1 약액 공급부(110)는 약액, 예컨대, 불산(HF)을 저장하고, 상기 불산을 제1 공급라인(SL1)에 배출한다. 상기 제1 공급라인(SL1)은 상기 제1 및 제2 처리액 생성부(150, 160)와 연결되고, 상기 불산을 상기 및 제2 약액 혼합기(150, 160)에 제공한다. 상기 제1 공급라인(SL1)에는 상기 유량계(120)가 설치된다. 상기 유량계(120)는 상기 제1 공급라인(SL1)에 유입된 불산의 유량을 측정하고, 상기 유량계(120)에서 측정된 값에 따라 상기 제1 약액 공급부(110)의 상기 불산 배출량이 조절된다.
상기 제2 약액 공급부(130)는 상기 초순수 공급부(140)로부터 초순수(DeionizeWater : DIW)를 공급받아 기능수, 예컨대, 오존수를 생성하고, 상기 오 존수를 제2 공급라인(SL2)에 배출한다. 상기 제2 공급라인(SL2)은 상기 제1 및 제2 처리액 생성부(150, 160)와 연결되고, 상기 오존수를 상기 제1 및 제2 처리액 생성부(150, 160)에 제공한다.
상기 제1 및 제2 처리액 생성부(150, 160)는 상기 불산과 상기 오존수를 혼합하여 기판(20)을 세정하기 위한 세정액(TC)을 생성하고, 상기 세정액(TC)을 상기 기판(20)을 처리하는 기판 처리장치(200)에 제공한다.
구체적으로, 상기 제1 처리액 생성부(150)는 저장 탱크(151), 수위 센서부(152), 드레인 라인(DL1), 배출라인(PL1), 순환라인(CCL1), 가스 조절부(153), 혼합기(154) 및 농도계(155)를 포함한다.
상기 저장 탱크(151)는 상기 제1 및 제2 공급라인(SL1, SL2)과 연결되고, 상기 제1 및 제2 공급라인(SL1, SL2)으로부터 상기 불산과 상기 오존수를 공급받아 저장한다. 이때, 상기 불산과 상기 오존수는 상기 저장 탱크(151) 안에서 혼합되어 상기 세정액(TC)을 생성한다.
상기 저장 탱크(151)의 측벽에는 상기 저장 탱크(151)의 수위를 센싱하는 상기 수위 센서부(152)가 설치된다. 상기 수위 센서부(152)에서 감지된 센싱값에 따라 상기 저장 탱크(151)의 수위가 조절된다.
상기 저장 탱크(151)는 상기 드레인 라인(DL1) 및 상기 배출라인(PL1)과 연결된다. 상기 드레인 라인(DL1)은 상기 저장 탱크(151)로부터 배출된 상기 세정액(TC)을 폐기시킨다. 상기 배출라인(PL1)은 상기 순환라인(CCL1)과 연결되고, 펌프(CP1)가 설치된다. 상기 저장 탱크(151)로부터 상기 배출라인(PL1)에 유입된 세 정액은 상기 펌프(CP1)의 구동에 의해 상기 순환라인(CCL1)에 제공된다.
상기 순환라인(CCL1)은 상기 저장 탱크(151)와 연결되어 상기 배출라인(PL1)으로부터 제공된 세정액을 다시 상기 저장 탱크(151)에 제공한다. 상기 제1 처리액 생성부(150)는 상기 순환라인(CCL1)을 통해 상기 저장 탱크(151)의 세정액(TC)을 순환시켜 상기 세정액을 구성하는 상기 불산과 상기 오존수를 혼합한다.
상기 순환라인(CCL1)을 통해 상기 불산과 상기 오존수의 혼합이 완료되면, 상기 저장 탱크(151) 안의 세정액(TC)은 상기 배출라인(PL1)과 연결된 세정액 공급라인(PL3)을 통해 상기 기판 처리장치(200)에 제공된다.
상기 세정액(TC)은 산소와 반응하기 쉬운 오존(O3)을 포함하기 때문에, 시간이 경과하면서 상기 세정액의 오존 농도가 변경되기 쉽다. 즉, 상기 세정액(TC)의 초기 생성시, 상기 세정액(TC)의 오존 농도가 기 설정된 기준 농도를 갖도록 상기 오존수의 농도가 설정되어 상기 저장 탱크(151)에 공급된다. 그러나, 상기 세정액(TC)의 공급 또는 생성하는 과정 및 대기하는 과정에서, 시간이 점차 경과함에 따라 상기 세정액(TC)의 오존 성분이 산소 분자로 환원되어 상기 세정액(TC)의 오존 농도가 초기값보다 낮아질 수 있다.
이를 방지하기 위해, 상기 제1 처리액 생성부(150)는 상기 가스 조절부(153)와 상기 혼합기(154)를 구비하여 상기 세정액(TC)의 오존 농도를 조절한다.
구체적으로, 상기 혼합기(154)는 상기 배출라인(PL1)에 설치되고, 가스 라인(GL)과 연결된다. 상기 가스 라인(GL)은 상기 가스 생성부(170)와 연결되고, 상 기 가스 생성부(170)는 산소(O2)를 공급받아 오존 가스를 생성한다. 상기 가스 라인(GL)은 상기 가스 생성부(170)로부터 배출된 상기 오존 가스를 상기 혼합기(154)에 제공한다. 상기 가스 조절부(153)는 상기 가스 라인(GL)에 설치되어 상기 혼합기(154)로 제공되는 상기 오존 가스의 공급량을 조절한다.
상기 혼합기(154)는 상기 배출라인(PL1)으로부터 제공된 세정액(TC)에 상기 오존 가스를 혼합하여 상기 세정액(TC)의 오존 농도를 보정한다. 본 발명의 일례로, 상기 혼합기(154)는 스태틱 믹서(Stactic mixer)로 이루어진다.
도 2는 도 1에 도시된 혼합기를 구체적으로 나타낸 도면으로서, 상기 스태틱 믹서(154)를 나타낸다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 스태틱 믹서(154)는 세정액 유입부(154a), 가스 유입부(154b), 몸체(154c) 및 세정액 배출부(154d)를 포함한다.
구체적으로, 상기 세정액 유입부(154a)는 내부에 다수의 홀이 형성되고, 상기 다수의 홀을 통해 상기 배출라인(PL1)으로부터 상기 세정액(TC)을 공급받아 상기 몸체(154c)에 제공한다. 상기 가스 유입부(154b)는 상기 가스 라인(GL)과 연결되어 상기 가스 라인(GL)으로부터 상기 오존 가스를 공급받고, 상기 몸체(154c)와 연결되어 상기 오존 가스를 상기 몸체(154c)에 제공한다. 상기 몸체(154c)는 내부로 유입된 상기 세정액(TC)에 상기 오존 가스를 용해시켜 상기 세정액(TC)의 오존 농도를 상승시킨다. 상기 몸체(154c)는 농도 보정된 세정액(CTC)을 상기 세정액 배출부(154d)에 제공하고, 상기 세정액 배출부(154d)는 상기 농도 보정된 세정 액(CTC)을 상기 배출라인(PL1)에 제공한다.
이와 같이, 상기 스태틱 믹서(154)는 상기 배출라인(PL1)으로부터 유입된 세정액(TC)과 상기 가스 라인(GL)으로부터 유입된 상기 오존 가스를 혼합시켜 상기 세정액(TC)의 농도를 보정한다. 이에 따라, 제1 처리액 생성부(150)는 상기 기판 처리장치(200)로 공급되는 세정액의 농도를 균일하게 유지할 수 있으므로, 세정 효율을 향상시키고, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 혼합기의 다른 일례를 나타낸 도면으로서, 인젝터(190)를 나타낸다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 상기 배출라인(PL1)은 상기 인젝터(190)의 입력단(191)에 연결되고, 상기 가스 라인(GL)은 상기 인젝터(190)의 흡입단(192)에 연결된다. 상기 배출라인(PL1)의 세정액(TC)은 상기 인젝터(190)의 입력단(191)을 통해 상기 인젝터(190)의 몸체(193)로 유입되고, 상기 가스 라인(GL)의 오존 가스는 상기 인젝터(190)의 흡입단(192)을 통해 상기 몸체(193)로 유입된다. 상기 세정액(TC)와 상기 오존 가스는 상기 몸체(193) 내부에서 혼합되어 상기 세정액(TC)의 오존 농도가 상승한다. 오존 농도가 보정된 세정액(CTC)은 상기 인젝터(190)의 배출단(194)을 통해 상기 배출라인(PL1)에 제공된다.
이와 같이, 상기 인젝터(190)는 상기 세정액(TC)의 오존 농도를 보정하여 상기 배출라인(PL1)에 공급한다. 따라서, 상기 제1 처리액 생성부(150)는 상기 기판 처리장치(200)로 공급되는 세정액의 농도를 균일하게 유지할 수 있으므로, 세정 효율을 향상시키고, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
다시, 도 1을 참조하면, 본 발명의 일례로, 상기 제1 처리액 생성부(150)의 농도계(155)는 상기 배출라인(PL1)에 설치된다. 상기 농도계(155)는 상기 배출라인(PL1)에 유입된 상기 세정액(TC)의 불산 농도와 오존 농도를 측정한다. 상기 가스 조절부(153)는 상기 농도계(155)에서 측정한 오존 농도에 따라 상기 혼합기(154)로 제공되는 오존 가스의 량을 조절한다.
또한, 상기 제1 처리액 생성부(150)는 상기 세정액(TC) 내에 함유된 불순물을 제거하는 필터(156)를 더 포함할 수 있다. 상기 필터(156)는 상기 배출라인(PL1)에 설치되고, 상기 배출라인(PL1)에 유입된 세정액(TC)을 필터링한다.
한편, 상기 제2 처리액 생성부(160)는 저장 탱크(161), 수위 센서부(162), 드레인 라인(DL2), 배출라인(PL2), 펌프(CP2) 순환라인(CCL1), 가스 조절부(163), 혼합기(164), 농도계(165) 및 필터(166)를 포함한다. 이 실시예에 있어서, 상기 제2 처리액 생성부(160)는 상기 제1 처리액 생성부(150)와 동일한 구성을 가지므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
본 발명의 일례로, 상기 제2 처리액 생성부(160)는 상기 제1 처리액 생성부(150)에서 생성된 세정액이 모두 소진되면, 저장 탱크(161)에 저장된 세정액을 상기 기판 처리장치(200)에 제공한다.
또한, 본 발명의 일례로, 상기 처리액 공급장치(100)는 두 개의 처리액 생성부(150, 160)를 포함하나, 상기 처리액 생성부(150, 160)의 개수는 증가하거나 감소할 수 있다.
한편, 상기 처리액 공급장치(100)는 상기 가스 생성부(170)를 제어하는 제어 부(180)를 더 포함할 수 있다. 상기 제어부(180)는 상기 제1 및 제2 처리액 생성부(150, 160)의 농도계들(155, 165)과 연결되고, 상기 농도계들(155, 165)로부터 해당 배출라인(PL1, PL2)에 유입된 세정액의 오존 농도값을 수신한다. 상기 제어부(180)는 상기 농도계들(155, 165)에서 측정한 오존 농도값에 따라 상기 가스 생성부(170)를 제어한다. 상기 가스 생성부(170)는 상기 제어부(170)의 제어에 따라 생성된 상기 오존 가스를 상기 가스 라인(GL)에 배출한다.
상기 처리액 공급장치(100)에서 생성된 상기 세정액(TC)은 상기 기판 처리장치(200)에 제공된다. 상기 기판 처리장치(200)는 상기 기판(20)의 세정 공정이 이루어지는 용기(210), 상기 용기(210) 안에 구비된 지지부재(220), 상기 처리액 공급장치(100)로부터 상기 세정액을 공급받아 분배하는 분배기(230), 및 상기 지지부재(220)의 상부에 구비된 세정 노즐(240)을 포함한다.
상기 분배기(230)는 상기 세정액 공급라인(CSL)과 연결되어 상기 세정액(TC)을 공급받고, 상기 세정액(TC)을 상기 세정 노즐(240)에 제공한다. 상기 세정 노즐(240)은 상기 지지부재(220)에 안착된 상기 기판(20)에 상기 세정액(TC)을 분사하여 세정한다. 상기 세정 노즐(240)로부터 상기 세정액(TC)이 분사되는 동안, 상기 기판(20)은 상기 지지부재(220)의 회전 운동에 의해 회전한다.
이하, 도면을 참조하여 상기 처리액 공급장치(100)에서 상기 세정액을 공급하는 과정에 대해 구체적으로 설명한다. 여기서, 상기 제1 및 제2 처리액 생성부(150, 160)는 상기 세정액(TC)을 생성 및 공급하는 과정이 서로 동일하므로, 이 하, 상기 제1 처리액 생성부(150)를 일례로 하여 상기 세정액(TC)의 생성 및 공급 과정을 설명한다.
도 4는 도 1에 도시된 처리액 공급장치에서 세정액을 공급하는 방법을 나타낸 흐름도이고, 도 5는 도 1에 도시된 처리액 공급장치에서 세정액의 농도를 보정하는 공정 과정을 나타낸 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 먼저, 상기 제1 및 제2 약액 공급부(110, 130)는 각각 상기 불산과 상기 오존수를 상기 저장 탱크(151)에 공급하여 상기 세정액(TC)을 생성하고, 상기 저장 탱크(151)에 상기 세정액(TC)을 저장한다(단계 S110). 구체적으로, 상기 불산과 상기 오존수는 저장 탱크(151)에 함께 저장된다. 상기 저장 탱크(151)에 저장된 상기 불산과 상기 오존수는 상기 배출라인(PL1)과 상기 순환라인(CCL1)을 통해 순환되어 서로 혼합되고, 이로써, 상기 세정액(TC)이 생성된다.
상기 저장 탱크(151)에 저장된 세정액(TC)은 상기 펌프(CP1)의 구동에 의해 상기 저장 탱크(151)로부터 상기 배출라인(PL1)으로 배출된다(단계 S120).
상기 배출라인(PL1)에 구비된 상기 농도계(155)는 상기 배출라인(PL1)에 공급된 세정액(TC)의 오존 농도를 측정하고, 측정된 오존 농도값을 상기 제어부(180)에 제공한다(단계 S130).
상기 제어부(180)는 상기 측정된 오존 농도값을 기 설정된 기준 농도값과 비교한다(단계 S140).
상기 단계 S140에서, 상기 측정된 오존 농도값이 상기 기준 농도값과 동일하면, 상기 배출라인(PL1)에 공급된 세정액(TC)을 상기 세정액 공급라인(PL3)을 통해 상기 기판 처리장치(200)의 분배기(230)에 제공한다(단계 S150).
한편, 상기 단계 S140에서, 상기 측정된 오존 농도값이 상기 기준 농도값보다 낮으면, 상기 기판 처리장치(200)로의 상기 세정액(TC) 공급을 중단하고, 상기 가스 생성부(170) 및 상기 혼합기(154)를 이용하여 상기 세정액(TC)의 오존 농도를 보정한다(단계 S160)
이하에서는 상기 세정액(TC)의 오존 농도를 보정하는 과정(단계 S160)에 대해 구체적으로 설명한다.
도 6은 도 4에 도시된 세정액의 농도 보정 과정을 나타낸 흐름도이다.
도 4 및 도 6을 참조하면, 먼저, 상기 측정된 오존 농도값이 상기 기준 농도값보다 낮으면, 상기 제어부(180)는 상기 가스 생성부(170)에 제어신호를 전송한다. 상기 가스 생성부(170)는 상기 제어부(180)의 제어에 따라 상기 오존 가스를 상기 가스 라인(GL)에 배출한다(단계 S161).
상기 가스 라인(GL)에 구비된 상기 가스 조절부(153)는 상기 측정된 오존 농도값과 상기 기준 농도값 간의 차이에 따라 상기 오존 가스의 유량을 조절하고, 유량이 조절된 오존 가스는 상기 혼합기(154)에 공급된다(단계 S162).
상기 혼합기(154)는 상기 배출라인(PL1)으로부터 공급된 세정액(TC)에 상기 오존 가스를 용해시켜 상기 세정액(TC)의 오존 농도를 상승시킨다(단계 S163). 이때, 상기 혼합기(154)는 상기 세정액(TC)의 오존 농도를 상기 측정된 오존 농도값과 상기 기준 농도값 간의 차이만큼 상승시켜 상기 세정액(TC)의 오존 농도를 상기 기준 농도와 동일하도록 보정한다.
상기 혼합기(154)는 농도 보정된 세정액을 다시 상기 배출라인(PL1)에 공급한다(단계 S164).
이와 같이, 상기 처리액 공급장치(100)는 상기 기판 처리장치(200)로 상기 세정액(TC)을 공급하는 과정에서 상기 세정액(TC)의 오존 농도를 보정한다. 이에 따라, 상기 처리액 공급장치(100)는 균일한 오존 농도를 갖는 세정액(TC)을 상기 기판 처리장치(200)에 제공하고, 세정 효율을 향상시키며, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
다시, 도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 세정액의 농도 보정이 완료되면, 상기 단계 S120으로 스킵한다. 즉, 상기 배출라인(PL1)은 상기 농도 보정된 세정액을 상기 순환라인(CCL1)에 공급하고, 상기 순환라인(CCL1)은 상기 농도 보정된 세정액을 상기 저장 탱크(151)에 공급한다. 이어, 상기 단계 S120이 수행된다.
이 실시예에 있어서, 상기 농도 보정된 세정액은 상기 순환라인(CCL1)을 통해 다시 상기 저장 탱크(151)에 공급되나, 상기 저장 탱크(151)에 공급되지 않고 상기 세정액 공급라인(PL3)을 통해 상기 기판 처리장치(200)에 제공될 수도 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 처리액 공급장치를 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 혼합기를 구체적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 혼합기의 다른 일례를 나타낸 도면이다.
도 4는 도 1에 도시된 처리액 공급장치에서 세정액을 공급하는 방법을 나타낸 흐름도이다.
도 5는 도 1에 도시된 처리액 공급장치에서 세정액의 농도를 보정하는 공정 과정을 나타낸 도면이다.
도 6은 도 4에 도시된 세정액의 농도 보정 과정을 나타낸 흐름도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 처리액 공급장치 110 : 제1 약액 공급부
130 : 제2 약액 공급부 140 : 초순수 공급부
150, 160 : 처리액 생성부 170 : 가스 생성부
180 : 제어부 200 : 기판 처리장치

Claims (14)

  1. 기판을 처리하기 위한 처리액을 저장하는 저장 탱크;
    상기 저장 탱크로부터 상기 처리액을 공급받아 수송하는 배출라인;
    상기 배출라인에 유입된 상기 처리액의 농도를 보정하는 농도 보정부; 및
    상기 배출라인과 연결되고, 상기 배출라인으로부터 상기 처리액을 공급받아 상기 저장 탱크로 제공하는 순환라인를 포함하고,
    상기 농도 보정부는,
    상기 배출라인에 설치되고, 상기 배출라인에 유입된 상기 처리액의 농도를 측정하는 농도계; 및
    상기 배출라인에 설치되고, 상기 배출라인으로부터 제공된 상기 처리액에 처리가스를 용해시켜 상기 배출라인에 배출하는 혼합부를 포함하며,
    상기 농도 보정부는 상기 배출라인이 상기 순환라인과 연결되는 연결단과 상기 배출라인의 입력단과의 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 농도 보정부는,
    상기 처리가스를 생성하는 가스 생성부; 및
    상기 가스 생성부로부터 배출된 상기 처리가스를 상기 혼합부에 제공하는 가스라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 농도 보정부는,
    상기 농도계에서 측정된 상기 처리액의 농도값에 근거하여 상기 가스 생성부를 제어하는 제어부; 및
    상기 가스라인에 설치되고, 상기 혼합부로 제공되는 상기 처리가스의 유량을 조절하는 가스 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
  5. 삭제
  6. 제3항에 있어서, 상기 혼합부는 스태틱 믹서(Static mixer)인 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 처리액은 오존을 포함하고, 상기 처리가스는 오존 가스로 이루어진 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 처리액을 생성하기 위한 제1 약액을 상기 저장 탱크에 공급하는 제1 약 액 공급부; 및
    상기 처리액을 생성하기 위한 제2 약액을 상기 저장 탱크에 공급하는 제2 약액 공급부를 더 포함하고,
    상기 제2 약액은 상기 처리가스가 액체에 용해되어 형성된 것을 특징으로 하는 처리액 공급장치.
  9. 삭제
  10. 저장 탱크에 처리액을 저장하는 단계;
    상기 저장 탱크로부터 상기 처리액을 배출라인에 배출시키는 단계; 및
    상기 배출라인에 유입된 처리액의 농도를 보정하는 단계를 포함하고,
    상기 처리액의 농도를 보정하는 단계는,
    상기 배출라인에 유입된 처리액의 농도를 측정하는 단계; 및
    측정된 농도값에 근거하여 처리가스를 상기 처리액에 용해시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 처리가스를 상기 처리액에 용해시키는 단계는,
    상기 농도값에 근거하여 상기 처리가스의 공급량을 조절하는 단계; 및
    상기 처리가스를 상기 처리액에 용해시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 처리액은 오존을 포함하고, 상기 농도값은 상기 처리액의 오존 농도를 나타내며, 상기 처리가스는 오존 가스로 이루어진 것을 특징으로 하는 처리액 공급방법.
  13. 저장 탱크에 처리액을 저장하는 단계;
    상기 저장 탱크로부터 상기 처리액을 배출라인에 배출시키는 단계; 및
    상기 배출라인에 유입된 처리액의 농도를 보정하는 단계를 포함하고,
    상기 처리액을 생성하는 단계는,
    제1 약액을 상기 저장 탱크에 공급하는 단계; 및
    제2 약액을 상기 저장 탱크에 공급하여 상기 제1 및 제2 약액의 혼합을 통해 상기 처리액을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 처리액 공급방법.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제1 약액은 오존수로 형성되는 것을 특징으로 하는 처리액 공급방법.
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