KR20070020444A - 오존수 공급방법 및 오존수 공급장치 - Google Patents

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Abstract

오존분해 억제물질을 존재시킨 오존수를 유스 포인트에 이송하고, 유스 포인트 근방에 있어서 농도조정수단에 의해 소정의 오존농도에 저하시키는 것을 특징으로 하는 오존수 공급방법, 및, 순수한 물에 오존가스를 용해시켜서 오존수를 조제하는 오존용해장치, 상기 순수한 물 또는 상기 오존수에 오존분해 억제물질을 공급하는 수단, 상기 오존용해장치로 조제한 오존수를 유스 포인트에 이송하는 오존수 이송배관, 유스 포인트 근방에 설치되어 오존수 이송배관으로 이송된 오존수를 소정의 오존농도에 저하시키는 농도조정수단을 가지는 것을 특징으로 하는 오존수 공급장치본장치에 의해, 반도체, 액정 등의 전자재료의 습식세정공정, 표면처리공정 등에 있어서, 유스 포인트에 소정의 오존농도의 오존수를 안정되게 공급할 수 있는 것을 특징으로 한다.

Description

오존수 공급방법 및 오존수 공급장치{METHOD OF OZONE WATER SUPPLY AND OZONE WATER SUPPLY APPARATUS}
본 발명은, 오존수 공급방법 및 오존수 공급장치에 관한 것으로서 더 자세하게는, 본 발명은, 반도체, 액정 등의 전자재료의 습식세정공정, 표면처리공정 등에 있어서, 유스 포인트에 소정의 오존농도의 오존수를 안정되게 공급할 수 있는 오존수 공급방법 및 오존수 공급장치에 관한 것이다.
반도체용 실리콘 기판, 액정용 유리 기판, 포토 마스크(photo mask) 용석영기판 등의 전자재료의 표면으로부터, 유기물, 금속 등을 제거하는 것은, 제품의 품질과 수율을 확보하는데 있어서 지극히 중요하다. 순수한 물에 오존을 용해한 오존수는, 용존오존 농도가 수mg/L정도의 저농도이면서, 지극히 강한 산화력을 발휘하고, 전자재료 표면에 부착한 유기물이나 금속 등의 불순물에 의한 오염을 제거하는 공정이나, 실리콘 기판의 표면을 균일하게 산화해서 산화막층을 형성하는 공정에 사용되고 있다. 이런 경우, 공급되는 오존수의 농도는, 기판 표면의 세정력이나, 산화막 두께의 제어 등에 영향을 주기 때문에, 그 농도 관리는 매우 중요하다.
수중에 용존하는 오존은 자기분해가 매우 격심하고, 오존수의 용존오존 농도가 저하하기 쉽다고 하는 문제가 있다. 오존수를 장거리 이송해도, 이송 중에 있어 서의 오존농도의 저하가 적고, 유스 포인트에 일정한 농도의 오존수를 공급할 수 있는 오존수 공급장치로서, 순수한 물에 오존을 용해시켜서 오존수를 생성하는 오존수 용해 장치와 생성한 오존수를 이송하는 오존수 공급 배관을 가지는 오존수 공급장치로써, 순수한 물 또는 오존수에 탄산가스 또는 유기화합물을 용해시키는 첨가 수단을 장치해서 이루어지는 오존수 공급장치가 제안되고 있다(특허 문헌 1).
마찬가지의 효과를 가지는 오존 용해수의 공급장치로서, 오존을 피용해수에 용해하는 오존 용해장치, 용해장치에 피용해수를 공급하는 급수관 및 용해장치로부터 오존용해수를 송출하는 송출관을 가지는 오존용해수의 공급장치에 있어서, 급수관으로부터 송출관까지의 임의의 위치에 아질산, 아질산염, 탄산, 탄산염, 중탄산염, 아황산, 아황산염, 중아 황산염 및 히드라 진으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1 또는 2 이상의 오존분해 억제제를 첨가하는 약제 공급장치를 형성해서 이루어진 오존용해수의 공급장치가 제안되어 있다(특허 문헌 2).
또, 오존수를 사용 개소에 공급하는데 즈음해서, 소요되는 농도의 오존수를 용이하게 공급할 수 있는 오존수의 농도조정방법으로서 과잉으로 오존을 용해시킨 오존수의 농도조정방법으로서, 통수 경로의 길이, 가온, 초음파, 자외선 또는 난류화에 의해 오존의 분해를 촉진해서, 오존수의 농도를 조정하는 오존수의 농도조정방법이 제안되고 있다(특허 문헌 3).
유스 포인트에 소망하는 용존오존 농도의 오존 함유수를 용이하게 공급할 수 있는 오존농도의 조정방법으로서 오존 함유수를 유리와 접촉시켜, 소망농도의 오존 함유수로 하는 오존농도의 조정방법이 제안되고 있다(특허 문헌 4).
그러나 종래의 오존수 공급방법 및 오존수 공급장치에서는, 안정된 농도의 오존수를 공급하는 것이 어렵고, 또 유스 포인트로 소정의 용존오존 농도에 제어하는 일도 매우 어렵다고 하는 문제가 있었다.
[특허 문헌 1] 특개2000-37695호 공보(제 2페이지)
[특허 문헌 2] 특개2002-18454호 공보(제 2페이지)
[특허 문헌 3] 특개2000-180433호 공보(제 2~3페이지)
[특허 문헌 4] 특개2000-334468호 공보(제 2페이지)
본 발명은, 반도체, 액정 등의 전자재료의 습식세정공정, 표면처리공정 등에 있어서, 유스 포인트에 소정의 오존농도의 오존수를 안정되게 공급할 수가 있는 오존수 공급방법 및 오존수 공급장치를 제공하는 것을 목적으로서 이루어진 것이다.
본 발명자들은, 상기의 과제를 해결하기 위해서 예의 연구를 거듭한 결과, 오존분해 억제물질을 존재시킨 농도가 높은 오존수를 유스 포인트에 이송해, 유스 포인트에 있어서 농도조정수단에 의해 소정의 오존농도로 저하시킴으로써, 소정의 오존농도의 오존수를 안정되게 유스 포인트에 공급할 수 있는 것을 발견해, 이식견에 의거해서 본 발명을 완성하기에 이르렀다.
즉, 본 발명은,
(1) 오존분해 억제물질을 존재시킨 오존수를 유스 포인트에 이송하고, 유스 포인트 근방에 있어서 농도조정수단에 의해 소정의 오존농도로 저하시키는 것을 특징으로 하는 오존수 공급방법,
(2) 오존분해 억제물질이, 수용성 유기화합물, 무기산 또는 그 염 및 히드라 진으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상인 (1) 기재의 오존수 공급방법,
(3) 무기산 또는 그 염이, 염산, 황산, 탄산, 탄산염, 탄산수소염, 아질산, 아질산염, 아황산, 아황산염 또는 아황산 수소 염인 (2) 기재의 오존수 공급방법,
(4) 농도조정수단이, 용존오존의 분해인 (1) 기재의 오존수 공급방법,
(5) 용존오존의 분해를, 초음파 조사, 자외선 조사, 난류 발생, 교반, 가온, 알칼리 첨가 및 과산화 수소 첨가로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상의 수단에 의해 실시하는 (4) 기재의 오존수 공급방법,
(6) 농도조정수단이, 오존수의 희석인 (1) 기재의 오존수 공급방법,
(7) 오존수의 유스 포인트에의 이송을, 오존수와 오존가스가 공존하는 기액혼합 상태로 실시하는 (1) 내지 (6)의 어느 한 항에 기재된 오존수 공급방법,
(8) 순수한 물에 오존가스를 용해시켜서 오존수를 조제하는 오존용해장치, 상기 순수한 물 또는 상기 오존수에 오존분해 억제물질을 공급하는 수단, 상기 오존용해장치로 조제한 오존수를 유스 포인트에 이송하는 오존수 이송배관, 유스 포인트 근방에 설치되어 오존수 이송배관으로 이송된 오존수를 소정의 오존농도로 저하시키는 농도조정수단을 가지는 것을 특징으로 하는 오존수 공급장치,
(9) 오존분해억제물질이, 수용성 유기화합물, 무기산 또는 그 염 및 히드라 진으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상인 (8) 기재의 오존수 공급장치,
(10) 무기산 또는 그 염이, 염산, 황산, 탄산, 탄산염, 탄산수소염, 아질산, 아질산염, 아황산, 아황산염 또는 아황산 수소 염인 (9) 기재의 오존수 공급장치,
(11) 농도조정수단이, 용존오존의 분해인 (8) 기재의 오존수 공급장치,
(12) 용존오존의 분해를, 초음파 조사, 자외선 조사, 난류발생, 교반, 가온, 알칼리첨가 및 과산화 수소 첨가로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상의 수단에 의해 실시하는 (11) 기재의 오존수 공급장치,
(13) 농도조정수단이, 오존수의 희석인 (8) 기재의 오존수 공급장치, 및,
(14) 오존수의 유스 포인트에의 이송을, 오존수와 오존가스가 공존하는 기액 혼합상태로 실시하는 (8) 내지 (13)의 어느 한 항에 기재된 오존수 공급방법,
을 제공하는 것이다.
도 1은 본 발명의 오존수 공급장치의 한 양태의 공정계통도;
도 2는 저압 수은램프를 구비한 농도조정수단의 설명도;
도 3은 저압 수은램프 출력과 용존오존 농도의 관계를 나타내는 그래프;
도 4는 가열기와 냉각기를 구비한 농도조정수단의 설명도;
도 5는 저압 수은램프 출력과 용존오존 농도의 관계를 나타내는 그래프.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1: 산소가스용기 2: 질소가스용기
3: 오존발생기 4: 오존용해장치
5: 오존분해 억제물질 공급수단 6: 오존수 이송배관
7: 유스 포인트 8: 농도조정수단
9: 오존분해탑 10: 조광기능 부착안정기
11: 통수 셀 12: 용존 오존계
13: 가열기 14: 냉각기
(발명을 하기 위한 최선의 형태)
본 발명의 오존수 공급방법에 있어서는, 오존분해 억제물질을 존재시킨 오존수를 유스 포인트에 이송하고, 유스 포인트 근방에 있어서 농도조정수단에 의해 소정의 오존농도로 저하한다. 본 발명의 오존수의 공급장치는, 순수한 물에 오존가스를 용해시켜서 오존수를 조제하는 오존용해장치, 상기 순수한 물 또는 상기 오존수에 오존분해 억제물질을 공급하는 수단, 상기 오존/용해장치로 조제한 오존수를 유스 포인트에 이송하는 오존수 이송배관, 유스 포인트 근방에 설치되어 오존수 이송배관으로 이송된 오존수를 소정의 오존농도로 저하시키는 농도조정수단을 가진다.
도 1은, 본 발명의 오존수 공급장치의 한 양태의 공정계통도이다. 산소가스용기(1)와 질소가스용기(2)로부터, 무성방전방식의 오존발생기(3)에, 산소 가스와 미량의 질소가스의 혼합가스를 공급해서, 오존함유가스를 제조하고, 오존용해장치(4)에 있어서, 바람직하게는 미리 탈기된 순수한 물에 오존을 용해시켜서 오존수를 제조한다. 본 도면에 나타내는 장치는, 상기 순수한 물 또는 상기 오존수에 오존분해 억제물질을 공급하는 수단(5), 오존용해장치로 제조된 오존수를 유스 포인트에 이송하는 오존수 이송배관(6), 유스 포인트(7) 근방에 설치되고, 오존수 이송 배관으로 이송된 오존수를, 소정의 용존오존 농도로 저하시키는 농도조정수단(8)을 가진다. 본 양태의 장치에 있어서는, 유스 포인트로 사용되지 않았던 오존수는, 활성탄 등을 충전한 오존분해탑(9)에 통수되고 오존을 함유하지 않은 물로서 회수된다.
본 발명에 있어서는, 오존수에 오존분해 억제물질을 존재시킴으로써, 오존용해장치로 제조된 오존수의 용존오존 농도를 큰 폭으로 저하시키는 일 없이, 오존수를 유스 포인트에 이송할 수가 있으므로, 유스 포인트 근방에 있어서 농도조정수단에 의해 오존농도를 저하시켜도, 또한 유스 포인트에 있어서 필요하게 되는 용존오존 농도을 유지할 수 있다. 본 발명에 있어서는, 순수한 물에 오존분해 억제물질을 첨가한 후 오존을 용해시킴으로써, 오존분해 억제물질을 존재시킨 오존수로 할 수가 있으며 혹은, 오존수에 오존분해 억제물질을 첨가함으로써, 오존분해 억제물질을 존재시킨 오존수로 할 수도 있다. 오존분해 억제물질을 존재시킨 오존수의 용존오존 농도는, 유스 포인트에 있어서의 소정의 오존농도보다 1~1OOmg/L 높은 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 오존수중의 오존분해 억제물질의 존재량은, 0.1~500mg/L인 것이 바람직하고, 1~400mg/L인 것이 보다 바람직하고, 10~300mg/L인 것이 더욱 바람직하다. 오존분해 억제물질의 존재량이 0.1mg/L미만이면, 오존분해 억제효과가 충분히 발현되지 못하고, 유스 포인트에의 이송 중에 오존수 중의 오존의 분해가 급속히 진행할 우려가 있다. 오존분해 억제물질의 존재량이 500mg/L를 초과하면, 오존분해 억제물질이 피세정물에 대해서 불순물로서의 악영향을 미칠 우려가 있다. 오존분해 억제물질의 첨가에 의해, 오존의 분해가 억제되는 상세한 기구는 분명하지는 않지만, 오존분해 억제물질이 용존오존의 분해를 촉진하는 히드록실 래디칼과 반응해, 오존분해의 연쇄반응을 정지하기 때문이라고 추정된다.
본 발명에 있어서는, 오존분해 억제물질이, 수용성 유기화합물, 무기산 또는 그 염 및 히드라 진으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상인 것이 바람직하다. 본 발명에 이용하는 수용성 유기화합물로서는, 예를 들면, 메탄올, 에탄 올, 프로판 올, 이소프로필 알코올 등의 알코올류, 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸이소프로필 케톤 등의 케톤류, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 등의 글리콜류모노 에탄올아민, 디에탄올아민 등의 알칸올아민류, 아세트산, 프로피온산 등의 지방산, 벤질 알코올, 페놀, 히드로퀴논, 안식향산, 이소프탈산 등의 방향족 화합물 등을 들 수 있다. 이들 중에서, 이소프로필알코올 등의 알코올류는, 실리콘 웨이퍼나 유리기판 등의 세정에 즈음하여, 피세정물에 악영향을 미칠 우려가 없으므로, 매우 적합하게 이용할 수가 있다. 수용성 유기 화합물은, 오존의 분해를 촉진하는 히드록실 래디칼을 포착하는 스카벤쟈로서 작용하여, 오존의 자기분해를 억제하고, 오존농도의 급격한 저하를 방지할 수 있다.
본 발명에 이용하는 무기산 또는 그 염으로서는, 예를 들면, 염산, 황산, 탄산, 탄산염, 탄산수소염, 아질산, 아질산염, 아황산, 아황산염, 아황산 수소염, 불화수소산 등을 들 수 있다.
이것들 중에서, 탄산은, 오존수 사용 후에 탄산가스로서 휘산 시킬 수가 있으므로, 매우 적합하게 이용할 수 있다. 무기산 또는 그 염은, 순수한 물 또는 오 존수에 수용액으로서 첨가할 수 있으며, 탄산가스, 아황산가스 등의 가스상으로 첨가할 수도 있고, HCO3형의 음이온 교환 수지에 통수함으로써도 첨가할 수 있다. 산을 첨가해서 pH를 2~6으로 함으로써, 오존의 분해를 촉진하는 히드록실 래디칼의 존재량을 감소하고, 오존의 자기분해를 억제하여, 오존농도의 급격한 저하를 방지할 수 있다. 또, 염을 형성하는 탄산 이온, 아질산 이온 등의 음이온도 히드록실 래디칼을 감소시키는 작용을 가지고, 오존농도의 급격한 저하를 방지한다.
본 발명에 있어서, 오존농도조정수단으로서는, 오존수 중의 용존오존의 분해, 오존수의 희석 등을 들 수가 있다. 오존수 중의 용존오존을 분해하는 수단에 특별히 제한은 없고, 예를 들면, 초음파조사, 자외선조사, 난류발생, 교반, 가온, 알칼리 첨가, 과산화 수소첨가 등을 들 수 있다. 농도조정수단에 의해 조정되는 오존수의 용존오존 농도는, 5mg/L이상인 것이 바람직하다. 용존오존 농도가 5mg/L미만이면, 유스 포인트에 있어서의 사용에 있어서, 오존수의 세정효과, 표면처리효과 등이 불충분하게 될 우려가 있다.
본 발명에 있어서, 오존수에의 초음파의 조사는, 예를 들면, 오존수의 통수 경로에 초음파발신기를 기계적으로 접속함으로써, 오존수에 초음파를 조사할 수 있다. 오존수에 초음파를 조사함으로써, 오존수 중에 초음파 캐비테이션이 생성하고, 히드록실 래디칼이 발생해서, 오존의 분해가 촉진된다. 조사하는 초음파의 주파수는, 10kHz~3MHz인 것이 바람직하다. 초음파의 발진부에서 미립자 등이 발생할 우려가 있기 때문에, 필터와 조합해서 이용하는 것이 바람직하다. 초음파의 진폭, 주파 수, 출력 등의 선택에 의해, 소정의 오존농도로 조정할 수 있다.
본 발명에 있어서, 오존수에의 자외선의 조사는, 예를 들면, 오존수의 통수경로에 자외선 조사 장치를 설치하여 오존수에 자외선을 조사할 수 있다. 자외선의 조사에 이용하는 광원에 특별히 제한은 없고, 예를 들면, 저압 수은램프, 중압수은램프, 고압 수은램프, 크세논램프, 중수소램프, 급속할라이드램프 등을 들 수가 있다. 램프의 종류를 바꿈으로써, 조사하는 자외선의 파장을 변화시킬 수 있다. 이것들 중에서, 253.7nm에 주파장을 가지는 자외선 조사 효율이 높은 저압 수은램프를 매우 적합하게 이용할 수 있다. 통수경로의 자외선 조사부의 배관에는, 석영유리, 투명 폴리 테트라 플루오르 에틸렌 등의 자외선 투과성의 재료로 이루어진 셀을 형성함으로써, 오존수에 자외선을 효과적으로 조사할 수 있다. 자외선의 조사량은, 램프의 출력을 조정함으로써 제어할 수 있으며 혹은, 램프의 표면을 차폐함으로써 제어할 수도 있다. 자외선 조사에 의해 히드록실 래디컬이 발생해, 오존의 자기분해가 촉진된다. 자외선 조사는, 농도조정수단으로서 취급하기 쉽고, 오존수의 오염도 생기지 않으므로, 매우 적합하게 이용할 수 있다.
본 발명에 있어서, 자외선램프의 출력의 조정은, 램프 1차측 전압치, 1차측 전류치, 2차측 전압치, 2차측 전류치 등의 조정에 의해 실시할 수 있다. 자외선을 조사하는 램프로서 저압 수은램프를 이용하는 경우는, 램프 2차측 소비전력이 0.5~15W인 것이 바람직하다. 저압 수은램프의 2차측 소비전력이 0.5~15W의 범위에서는, 램프 2차측 소비전력과 오존분해량의 사이에 재현성이 좋은 완만한 곡선관계가 성립되고, 오존수를 소정의 오존농도로 용이하게 조정할 수 있다. 자외선을 조 사하는 램프로서 고압 수은램프를 이용하는 경우는, 램프 2차측 소비전력이 5~1,500W인 것이 바람직하다. 고압 수은램프의 2차측 소비전력이 5~1,500W의 범위에서는, 램프 2차측 소비전력과 오존분해량의 사이에 재현성이 좋은 완만한 곡선관계가 성립되고, 오존수를 소정의 오존농도에 용이하게 조정할 수 있다. 자외선을 조사하는 램프의 용기 내에서의 오존수의 체류시간의 역수 즉 공간속도(SV)는, 100~5,000h-1인 것이 바람직하다.
본 발명에 있어서, 난류 발생은, 예를 들면, 오존수의 통수경로에 난류발생장치를 설치하고 오존수의 흐름을 난류화할 수 있다. 사용하는 난류발생장치에 특별히 제한은 없고, 예를 들면, 구동 부분을 가지지 않는 정적혼합기, 기계 발진식의 초음파, 터빈과 고정자를 조립한 파이프라인 믹서 등을 들 수 있다. 이것들 중에서, 정적혼합기는, 유지관리가 용이하며, 이물이 혼입해서 오존수를 오염할 우려가 없으므로, 매우 적합하게 이용할 수 있다. 오존수의 흐름을 난류화함으로써, 용해하고 있는 오존에 에너지가 전달되어 오존의 분해가 촉진된다.
본 발명에 있어서, 교반은, 예를 들면, 통수경로에 교반수단을 설치함으로써, 오존수를 교반할 수 있다. 통수경로의 교반수단으로서는, 예를 들면, 패들날개, 디스크 터빈 날개, 만곡날개 등의 교반날개나, 전자교반식의 자석교반기, 정지형 혼합기 등을 들 수 있다. 이것들 중에서, 정지형 혼합기는, 발진에 의해 오존수를 오염할 우려가 없으므로, 매우 적합하게 이용할 수가 있다. 오존수를 교반함으로써, 용해하고 있는 오존에 에너지가 전달되어 오존의 분해가 촉진된다.
본 발명에 있어서, 오존수의 가온은, 예를 들면, 오존수의 통수 경로에 열교환기 등을 설치함으로써, 오존수를 가온할 수 있다. 통수경로에 설치한 열교환기는, 이물이 혼입해서 오존수를 오염할 우려가 없으므로, 매우 적합하게 이용할 수 있다. 오존수를 가온함으로써, 용해하고 있는 오존에 에너지가 부여되고 분해가 촉진된다. 가온에 의해 소정의 농도까지 용존오존 농도가 저하한 오존수는, 통수 경로에 설치한 냉각기 등에 의해, 유스 포인트에 있어서 요구되는 소정의 온도까지 냉각하는 것이 바람직하다. 오존수의 가온과 냉각에는, 회수 열교환기를 이용해서 열효율을 높일 수 있다.
본 발명에 있어서는, 오존수에 알칼리를 첨가함으로써, 오존의 분해를 촉진할 수 있다. 오존수에 첨가하는 알칼리에 특별히 제한은 없고, 예를 들면, 암모니아, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 수산화 칼슘 등을 들 수가 있다. 이것들 중에서, 암모니아는, 휘산해서 이물을 남기지 않으므로 매우 적합하게 이용할 수가 있다. 알칼리의 첨가에 의해, pH가 상승해서 오존수가 알칼리성으로 되면, 오존이 불안정하게 되어, 분해가 촉진된다.
본 발명에 있어서는, 오존수에 과산화 수소를 첨가함으로써, 오존의 분해를 촉진할 수 있다. 과산화 수소가 수중에서 히드록실 래디칼을 생성하고, 히드록실 래디칼이 오존을 분해한다.
본 발명에 있어서, 오존수에 대한 자외선의 조사량, 초음파의 조사량, 발생하는 난류의 강도, 교반의 강도와 시간, 가온에 의한 상승온도, 알칼리 첨가량 또는 과산화 수소 첨가량과 분해에 의한 오존수의 용존오존 농도의 저하량의 사이에 는, 명확한 양적 관계가 재현성 좋게 성립하므로, 미리 그 양적 관계를 구해둠으로써, 오존수의 용존오존 농도를 소정의 값으로 조정할 수가 있다.
본 발명에 있어서는, 유스 포인트 근방에 있어서의 오존수의 농도조정수단으로서 오존수를 희석할 수 있다. 오존수의 희석에는, 상기 오존수의 제조에 이용한 순수한 물과 동일한 정도의 순도를 가지는 순수한 물을 이용하는 것이 바람직하다. 오존의 분해에 의한 농도 저하를 방자하기 위해서, 산성의 순수한 물이나, 유기화합물, 특히 유기산을 첨가한 순수한 물로 희석할 수도 있다.
오존수를 희석해서 소정의 용존오존 농도를 가지는 오존수로 함으로써, 유스 포인트에 이송된 오존수에 용해하고 있는 오존을, 낭비 없이 완전히 이용할 수 있다.
본 발명에 있어서는, 오존수의 유스 포인트에의 이송을, 오존수와 오존가스가 공존하는 기액 혼합상태로 실시할 수 있다. 오존수와 오존가스가 공존하는 기액 혼합상태는, 예를 들면, 이젝터(ejector)에 순수한 물을 압입하고, 압입된 순수한 물을 벤튜리(venturi) 노즐의 중심에 내뿜고, 그 주변에 발생하는 감압에 의해 오존함유가스를 흡수함으로써, 형성할 수 있다. 이젝터에 흡수된 오존함유가스 중의 오존이 순수한 물에 용해해서 오존수가 생성하는 동시에, 잉여의 오존함유가스가 오존수와 오존가스의 기액혼합 상태가 되어서, 유로 확대부에 있어서 유속의 감소와 함께 압력이 증대하고, 오존수 이송배관에 배출된다. 오존가스와 기액혼합상태로 되어 있는 오존수에는, 오존수 공급 배관으로 이송되고 있는 동안에 오존이 용해해, 분해에 의해 없어지는 오존을 보충하므로, 용존오존 농도의 저하를 방지할 수 있다. 이젝터의 출구에 있어서의 오존수와 오존가스의 기액혼합 유체의 압력은, 대기압보다도 높은 것이 바람직하고, 200kPa 이상인 것이 보다 바람직하다. 오존수와 오존가스의 기액혼합 유체의 압력을 대기압보다도 높게 함으로써, 오존수의 장거리 이송이 가능하게 된다. 특히, 오존분해 억제물질의 존재에 의한 오존의 급격한 농도저하 억제작용과 오존수, 오존가스 공존상태에 의한 오존농도 유지작용이 서로 어울려서, 오존농도를 높게 유지한 채로 이송할 수가 있고 바람직하다.
본 발명방법 및 장치에 의하면, 오존수와 오존가스가 공존할 기액 혼합상태로 유스 포인트에 장거리 이송해, 유스 포인트의 직전에 소정의 농도로 조정할 수 있으므로, 하나의 오존수 제조 장치로부터, 많은 유스 포인트에 각각 필요한 농도의 오존수를 자유롭게 공급할 수가 있다. 기액 혼합상태로 이송하는 경우, 유스 포인트 직전의 기액분리기로 잉여 가스를 제외하고, 그 다음에 농도조정수단에 의해 오존농도를 저하시키는 것이 바람직하다. 농도조정 시에 오존이 분해해서 생성하는 산소가 과포화 상태로 되는 경우는, 농도조정수단의 뒤에 기액분리기를 설치할 수도 있다. 즉, 기액분리기는, 오존의 농도조정수단의 전단, 후단 또는 전단과 후단의 양쪽 모두에 설치할 수가 있다.
실시예
이하에, 실시예를 들어서 본 발명을 더욱 상세히 설명하지만, 본 발명은 이들의 실시예에 의해 하등 한정되는 것은 아니다.
또한, 실시예 및 비교예에 있어서는, 도 1에 공정계통도를 나타내는 오존발생기[스미토모 정밀공업(주), 무성방전식 오존발생기 SG-01CHU](3), 오존용해장치 [재팬 고아텍스(주), 오존용해막 모듈](4), 탄산가스 첨가수단(5), 오존수 이송배관(6), 유스 포인트(7)에의 분기 배관 및 오존농도조정수단(8)을 가지는 파일럿 플랜트를 사용했다. 오존발생장치에는, 산소가스용기(1)와 질소가스용기(2)에서 각각 고순도산소가스와 고순도질소가스를 공급했다. 잉여의 오존수은, 활성탄[쿠리타 공업(주), 쿠리 콜 WG160]을 충전한 오존분해탑(9)에 통수해서 오존을 분해한 후 방류했다. 오존발생기에는, 산소 가스 1L(표준 상태)/min와 질소가스 4mL(표준상태)/min를 공급하고, 오존발생기의 전류를 0.6A로서 오존농도 200g/m3(표준상태)의 오존함유가스를 제조했다. 오존용해장치(4)에는 순수한 물을 20L/min공급하고, 오존가스를 용해해서 10m떨어진 농도조정수단(8)에 공급했다.
실시예 1
오존농도조정수단으로서 도 2에 나타내는 주파장 253.7nm로 조광기능부착안정기(10)를 가지는 저압수은램프[치요다 공판(주), GL-4, GL-10 및 GL-40]를 구비한 통수 셀(11)을 이용해서 시험을 실시했다. 통수 셀 출구의 오존수의 용존오존 농도를, 용존오존계(12)를 이용해서 측정했다.
파일럿 플랜트에 초순수한 물을 공급하고, 탄산가스첨가수단으로서의 탄산가스 봄베로부터, CO2농도 3mg/L가 되도록, 탄산가스를 초순수한 물에 첨가 용해하고, 오존용해장치로 탄산가스 용해초순수한 물에 오존을 용해해서 용존오존 농도 25.9mg/L의 오존수를 조제했다. 이 오존수를 저압 수은램프를 점등하는 일 없이, 셀에 통수했던바, 오존수의 용존오존 농도는, 셀 입구, 셀 출구 모두 25.9mg/L였 다. 다음에, 저압 수은램프를 출력 1.5W로 점등했던바, 셀 출구의 용존오존 농도는 20.1mg/L가 되었다. 저압 수은램프의 출력을 순서대로 상승하면, 출력과 셀 출구의 용존오존 농도의 관계는, 2W인 때 18.0mg/L, 3.5W인 때 13.7mg/L, 5W인 때 11.6mg/L, 1OW인 때 8.0mg/L, 15W인 때 5.7mg/L였다.
비교예 1
파일럿 플랜트에 공급한 초순수에 탄산가스를 첨가용해하는 일 없이, 용존오존농도 25.9mg/L의 오존수를 조제한 이외는, 실시예 1과 같은 조작을 실시했다.
오존수를 저압 수은램프를 점등하는 일 없이, 셀에 통수했던바, 오존수의 용존오존 농도는, 셀 입구, 셀 출구 모두 8.2mg/L였다. 그 다음에, 저압 수은램프를 출력 1.5W로 점등했던바, 셀 출구의 용존오존농도는 5.9mg/L가 되었다. 저압 수은램프의 출력을 순서대로 상승하면, 출력과 셀 출구의 용존오존 농도의 관계는, 2W인 때 5.0mg/L, 3.5W인 때 4.1mg/L, 5W인 때 2.1mg/L, 10W인 때 2.6mg/L였다.
실시예 1및 비교예 1의 결과를, 제 1표 및 도 3에 나타낸다.
램프출력(w) 용존오존농도(mg/L)
실시예 1 비교예 1
0 25.9 8.2
1.5 20.1 5.9
2 18.0 5.0
3 15.0 5.0
3.5 13.7 4.1
4.5 12.6 2.3
5 11.6 2.1
5.5 10.7 3.2
7 9.5 3.0
8 8.8 2.0
10 8.0 2.6
13 6.7 1.6
15 5.7 -
17 5.0 -
제 1표 및 도 3에서 볼 수 있는 바와 같이, 초순수한 물에 오존분해 억제물질로서 탄산을 존재시킨 실시예 1에서는, 오존용해장치로 조제된 용존오존 농도 25.9mg/L의 오존수의 용존오존 농도가 저하하는 일 없이, 유스 포인트까지 이송되고 있다. 또, 통수 셀의 저압 수은램프의 출력을 상승하면, 오존이 분해해서 용존오존 농도가 저하하고, 출력과 용존오존 농도의 관계는 완만한 곡선이 되므로, 저압 수은램프의 출력을 제어함으로써, 소망하는 용존오존 농도의 오존수를 안정되게 얻을 수 있는 것을 알 수 있다. 이것에 대해서, 초순수한 물에 오존분해 억제물질로서의 탄산을 존재시키지 않는 비교예 1에서는, 유스 포인트까지 이송된 오존수의 용존오존 농도는 8.2mg/L까지 저하하고 있으며, 저압 수은램프의 출력과 용존오존 농도의 관계에 불균일이 크다.
실시예 2
오존농도조정수단으로서 도 4에 나타내는 가열기(13)와 냉각기(14)를 이용해서 시험을 실시했다. 냉각기 출구의 오존수의 용존오존 농도를, 용존 오존계(12)를 이용해서 측정했다.
실시예 1과 마찬가지로 해서, CO2농도 3mg/L, 용존오존 농도 25.9gmg/L의 오존수를 조제했다. 이 오존수를, 가열기로 25℃에 가열하고, 냉각기로는 25℃ 그대로 유출시켰다. 냉각기 출구의 오존수의 용존오존 농도는, 14.1mg/L였다. 가열기에 의한 가열 온도를 30℃, 40℃, 50℃로 하고, 냉각기로 25℃에 냉각했을 때, 냉각기 출구의 오존수의 용존오존 농도는, 각각 12.8mg/L, 10.0mg/L, 64mg/L였다.
비교예 2
파일럿 플랜트에 공급한 초순수한 물에 탄산가스를 첨가 용해하는 일 없이, 용존오존 농도 25.9mg/L의 오존수를 조제한 이외는, 실시예 2로 같은 조작을 실시했다.
오존수를, 가열기로 25℃에 가열하고, 냉각기로는 25℃ 그대로 유출시켰을 때, 냉각기 출구의 오존수의 용존오존 농도는, 6.0mg/L였다. 가열기에 의한 가열 온도를 30℃, 40℃, 50℃로 하고, 냉각기로 25℃에 냉각했을 때, 냉각기 출구의 오존수의 용존오존 농도는, 각각 2.0mg/L, 0.6mg/L, 0.6mg/L였다.
실시예 2 및 비교예 2의 결과를, 제 2표에 나타낸다.
가열온도(℃) 용존오존농도(mg/L)
실시예 2 비교예 2
25 14.1 6.0
30 12.8 2.0
36 11.2 1.0
40 10.0 0.6
43 9.1 1.0
45 8.0 1.0
50 6.4 0.6
제 2표로 볼 수 있는 바와 같이, 초순수한 물에 오존분해 억제물질로서 탄산을 존재시킨 실시예 2에서는, 가열기에 의한 가열 온도를 상승시키면, 오존이 분해해서 용존오존 농도가 저하하고, 가열 온도와 용존오존 농도의 관계는 완만한 곡선이 되므로, 가열기에 의한 가열 온도를 제어함으로써, 소망하는 용존오존 농도의 오존수을 안정되게 얻을 수 있다. 이것에 대해서, 초순수한 물에 오존분해 억제물질로서의 탄산을 존재시키지 않는 비교예 2에서는, 가열기로 가열함으로써, 오존수의 용존오존 농도가 급격하게 저하하고 있다.
실시예 3
오존농도조정수단으로서 도 2에 나타내는 주파장 253.7nm로 조광기능을 가지는 저압수은램프[치요다 공판(주), GL-4, GL-10 및 GL-40]를 구비한 통수 셀을 이용해서 시험을 실시했다.
실시예 1과 마찬가지로 해서, CO2농도 3mg/L, 용존오존 농도 25.9mg/L의 오존수를 조제하고, 통수 셀에 공간 속도(SV) 2,000h- 1으로 통수해, 저압 수은램프의 출력을 1.6W에서 40W까지 변화시켰다. 저압 수은램프의 출력과 셀 출구의 오존수의 용존오존 농도의 관계는, 1.6W인 때 20.0mg/L, 3.6W인 때 13.9mg/L, 5.6W인 때 11.1mg/L, 9.9W인 때 8.1mg/L, 15.0W인 때 7.7mg/L, 20.0W인 때 3.8mg/L, 31.8W인 때 3.4mg/L, 40.0W인 때 2.7mg/L였다.
실시예 3의 결과를, 제 3표에 나타낸다.
제 3표로 볼 수 있는 바와 같이, 초순수한 물에 오존분해 억제물질로서 탄산을 존재시킨 실시예 3에서는, 통수 셀의 저압 수은램프의 출력을 상승시키면, 오존이 분해해서 용존오존 농도가 저하하고, 출력과 용존오존 농도의 관계는 완만한 곡선이 되므로, 저압 수은램프의 출력을 제어함으로써, 소망하는 용존오존 농도의 오존수을 안정되게 얻을 수 있다. 특히, 램프 출력 20 W이하의 경우가, 램프 출력과 용존오존 농도의 관계가 안정되어 있다.
램프출력(w) 용존오존농도(mg/L)
1.6 20.0
2.0 18.0
3.0 15.0
3.6 13.9
4.4 12.7
5.1 11.8
5.6 11.1
7.1 9.6
8.1 8.9
9.9 8.1
13.1 6.8
15.0 7.7
17.2 5.0
20.0 3.8
23.8 2.0
27.9 3.0
31.8 3.4
36.0 4.0
40.0 2.7
실시예 4
오존농도조정수단으로서 도 2에 나타내는 주파장 253.7nm로 조광기능을 가지는 저압수은램프[치요다 공판(주), GL-4, GL-10 및 GL-40]를 구비한 통수 셀을 이용해서 시험을 실시했다.
파일럿 플랜트에 초순수한 물을 공급하고, 탄산가스 첨가 수단으로서의 탄산가스 봄베로부터, CO2농도 3mg/L가 되도록, 탄산가스를 초순수한 물에 첨가 용해하고, 오존용해장치로 탄산가스 용해초순수한 물에 오존을 용해해서, 용존오존 농도 36.5mg/L의 오존수를 조제하고, 통수 셀에 공간 속도(SV) 6,000h- 1으로 통수해, 저압 수은램프의 출력을 1.5W에서 17.0W까지 변화시켰다. 저압 수은램프의 출력과 셀 출구의 오존수의 용존오존 농도의 관계는, 1.5W인 때 20.0mg/L, 3.6W인 때 13.9mg/L, 5.5W인 때 10.9mg/L, 9.8W인 때 8.3mg/L, 17.0W인 때 5.0mg/L였다.
비교예 3
파일럿 플랜트에 공급한 초순수한 물에 탄산가스를 첨가 용해하는 일 없이, 용존오존 농도 36.5mg/L의 오존수를 조제한 이외는, 실시예 4와 같은 조작을 실시했다. 저압 수은램프의 출력과 셀 출구의 오존수의 용존오존 농도의 관계는, 1.5W인 때 31.8mg/L, 3.6W인 때 25.7mg/L, 5.5W인 때 18.8mg/L, 9.8W인 때 14.1mg/L, 17.0W인 때 10.0mg/L였다.
실시예 4 및 비교예 3의 결과를, 제 4표 및 도 5에 나타낸다.
램프출력(w) 용존오존농도(mg/L)
실시예 4 비교예 3
1.5 20.0 31.8
2.0 18.1 25.0
3.0 15.1 27.4
3.6 13.9 25.7
4.4 12.8 20.0
5.0 12.0 17.9
5.5 10.9 18.8
7.0 9.7 19.0
8.0 9.0 13.4
9.8 8.3 14.1
12.9 7.0 12.0
14.9 5.6 9.1
17.0 5.0 10.0
제 4표 및 도 5로 볼 수 있는 바와 같이, 초순수한 물에 오존분해 억제물질로서 탄산을 존재시킨 실시예 4에서는, 공간속도(SV) 6,000h-1과 같이 통수 셀에서의 체류 시간이 짧아도, 통수 셀의 저압 수은램프의 출력을 상승시키면, 오존이 분해해서 용존오존 농도가 저하하고, 출력과 용존오존 농도의 관계는 완만한 곡선이 되므로, 저압 수은램프의 출력을 제어함으로써, 소망하는 용존오존 농도의 오존수를 안정되게 얻을 수 있다. 이것에 대해서, 초순수한 물에 오존분해 억제물질로서의 탄산을 존재시키지 않는 비교예 3에서는, 공간속도(SV) 6,000h-1과 같이 통수 셀에서의 체류 시간이 짧으면 용존오존 농도는 저하가 적고, 저압 수은램프의 출력과 용존오존 농도의 관계의 불균일이 크다.
실시예 5
오존농도조정수단으로서 초음파발신기[(주)프레텍크제, PT005JIA]를 장착한 통수 셀을 이용해서 시험을 실시했다.
실시예 1과 같게 해, CO2농도 3mg/L, 용존오존 농도 25.9mg/L의 오존수를 조제했다. 이 오존수를 셀에 통수하고, 출력 30W, 40W, 50W 또는 60W로 주파수 39kHz의 초음파를 발진해, 오존수에 조사했다.
통수 셀 출구의 오존수의 용존오존 농도는, 출력 30W인 때 19mg/L, 40W인 때 17mg/L, 50W인 때 15mg/L, 60W인 때 14mg/L였다.
비교예 4
파일럿 플랜트에 공급한 초순수한 물에 탄산가스를 첨가 용해하는 일 없이, 용존오존 농도 25.9mg/L의 오존수를 조제한 이외는, 실시예 5와 같은 조작을 실시했다.
통수 셀 출구의 오존수의 용존오존 농도는, 출력 30W인 때 5mg/L, 40W인 때 6mg/L, 50W인 때 6mg/L, 60W인 때 3mg/L였다.
실시예 5 및 비교예 4의 결과를, 제 5표에 나타낸다.
초음파출력(w) 용존오존농도(mg/L)
실시예 5 비교예 4
30 19 5
40 17 6
50 15 6
60 14 3
제 5표로 볼 수 있는 바와 같이, 초순수한 물에 오존분해 억제물질로서 탄산을 존재시킨 실시예 5에서는, 통수 셀의 초음파발신기의 출력을 상승시키면, 오존이 분해해서 용존오존 농도가 저하하고, 출력과 용존오존 농도의 관계는 완만한 곡선이 되므로, 초음파발진기의 출력을 제어함으로써, 소망하는 용존오존 농도의 오존수를 안정되게 얻을 수 있다. 이것에 대해서, 초순수한 물에 오존분해 억제물질로서의 탄산을 존재시키지 않는 비교예 4에서는, 초음파발신기의 출력과 용존오존 농도의 사이에 일정한 관계가 없고, 게다가 오존의 분해가 많아, 용존오존 농도의 저하의 정도가 크다.
실시예 6
오존농도조정수단으로서 자석교반기[아즈 원(주) HS-3B]에 의한 교반을 실시하기 위한 회전자를 넣은 유리 셀을 이용해서 시험을 실시했다.
실시예 1과 마찬가지로 해서, CO2농도 3mg/L, 용존오존 농도 25.9mg/L의 오존수를 조제했다. 이 오존수를 유리 셀에 통수하고, 회전자의 회전수 100rpm, 500rpm, 1,000rpm 또는 1,500rpm으로 교반했다.
유리 셀 출구의 오존수의 용존오존 농도는, 회전자의 회전수 100rpm, 500rpm, 1,000rpm, 1,500rpm인 때, 각각 19mg/L, 15mg/L, 13mg/L, 12mg/L였다.
비교예 5
파일럿 플랜트에 공급한 초순수한 물에 탄산가스를 첨가 용해하는 일 없이, 용존오존 농도 25.9mg/L의 오존수를 조제한 이외는, 실시예 6과 같은 조작을 실시했다.
유리 셀 출구의 오존수의 용존오존 농도는, 회전자의 회전수 100rpm, 500rpm, 1,000rpm, 1,500rpm인 때, 각각 5mg/L, 7mg/L, 4mg/L, 5mg/L였다.
실시예 6 및 비교예 5의 결과를, 제 6표에 나타낸다.
회전수(rpm) 용존오존농도(mg/L)
실시예 6 비교예 5
100 19 5
500 15 7
1000 13 4
1500 12 5
제 6표로 볼 수 있는 바와 같이, 초순수한 물에 오존분해 억제물질로서 탄산을 존재시킨 실시예 6에서는, 회전자의 회전수를 상승시키면, 오존이 분해해서 용존오존 농도가 저하하고, 회전수와 용존오존 농도의 관계는 완만한 곡선이 되므로, 회전자의 회전수로 교반의 강도를 제어함으로써, 소망하는 용존오존 농도의 오존수를 안정되게 얻을 수 있다. 이것에 대해서, 초순수한 물에 오존분해 억제물질로서의 탄산을 존재시키지 않는 비교예 4에서는, 회전자의 회전수와 용존오존 농도의 사이에 일정한 관계가 없고, 더구나 오존의 분해가 많고, 용존오존 농도의 저하의 정도가 크다.
실시예 7
오존농도조정수단으로서 과산화 수소를 첨가해서 시험을 실시했다.
실시예 6과 같은 장치의 유리 셀의 입구 측에 과산화 수소수 주입구를 붙여 자석교반기에 의해 회전자를 회전수 1OOrpm로 회전시켜서 교반하고, 1중량% 과산화 수소수를 주입해서, 오존수 중의 과산화 수소 농도를 5mg/L, 7mg/L, 15mg/L, 22mg/L, 32mg/L, 50mg/L로 했다.
유리 셀 출구의 오존수의 용존오존 농도는, 오존수 중의 과산화 수소 농도를 5mg/L, 7mg/L, 15mg/L, 22mg/L, 32mg/L, 50mg/L로 했을 때, 각각 18mg/L, 16mg/L, 8mg/L, 6mg/L, 5mg/L, 4mg/L였다.
비교예 6
파일럿 플랜트에 공급한 초순수한 물에 탄산가스를 첨가 용해하는 일 없이, 용존오존 농도 25.9mg/L의 오존수를 조제한 이외는, 실시예 7과 같은 조작을 실시했다.
유리 셀 출구의 오존수의 용존오존 농도는, 오존수 중의 과산화 수소 농도를 5mg/L, 7mg/L, 15mg/L, 22mg/L, 32mg/L, 50mg/L로 했을 때, 각각 5mg/L, 4mg/L, 5mg/L, 3mg/L, 4mg/L, 3mg/L였다.
실시예 7 및 비교예 6의 결과를, 제 7표에 나타낸다.
과산화수소((mg/L) 용존오존농도(mg/L)
실시예 7 비교예 6
5 18 5
7 16 4
15 8 5
22 6 3
32 5 4
50 4 3
제 7표로 볼 수 있는 바와 같이, 초순수한 물에 오존분해 억제물질로서 탄산을 존재시킨 실시예 7에서는, 첨가하는 과산화 수소의 양을 중가하면, 오존이 분해해서 용존오존 농도가 저하하고, 과산화 수소의 첨가량과 용존오존 농도의 관계는 완만한 곡선이 되므로, 과산화 수소의 첨가량을 제어함으로써, 소망하는 용존오존 농도의 오존수를 안정되게 얻을 수 있다. 이것에 대해서, 초순수한 물에 오존분해억제물질로서의 탄산을 존재시키지 않는 비교예 6에서는, 과산화 수소의 첨가량과 용존오존 농도의 사이에 일정한 관계가 없고, 게다가 오존의 분해가 많고, 용존오존 농도의 저하의 정도가 크다.
실시예 8
오존분해 억제물질로서 이소프로필 알코올(이하, IPA라고 한다)을 이용해서 시험을 실시했다.
실시예 1의 탄산가스 대신에, IPA농도 50μg/L가 되도록 IPA를 초순수한 물에 첨가 용해한 이외는, 실시예 1과 마찬가지로, 저압 수은램프의 출력을 변화시켜서 시험을 실시했다.
그 결과, 셀 출구의 용존오존 농도는 제 8표에 나타내는 대로였다.
램프출력(w) 용존오존농도(mg/L)
0 26.4
1.5 20.5
3 15.3
4.5 12.9
5.5 10.9
7 9.7
8 9.0
10 8.2
13 6.8
17 5.1
이 결과에서, 오존분해억제물질로서 IPA를 이용했을 때도, 램프(자외선)출력에 따라서 오존농도를 조정할 수 있는 것을 알 수 있다.
본 발명의 오존수 공급방법 및 장치에 의하면, 오존의 분해를 억제해서 오존농도의 높은 오존수를 유스 포인트까지 이송하고, 유스 포인트 근방에 있어서, 오존농도조정수단을 이용해서 소정의 오존농도로 저하시켜, 유스 포인트에 소정 농도의 오존수를 안정되게 공급할 수 있다.

Claims (14)

  1. 오존분해 억제물질을 존재시킨 오존수를 유스 포인트에 이송하고, 유스 포인트 근방에 있어서 농도조정수단에 의해 소정의 오존농도로 저하시키는 것을 특징으로 하는 오존수 공급방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    오존분해억제물질이, 수용성 유기화합물, 무기산 또는 그 염 및 히드라진으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상인 것을 특징으로 하는 오존수 공급방법.
  3. 제 2항에 있어서,
    무기산 또는 그 염이, 염산, 황산, 탄산, 탄산염, 탄산수소염, 아질산, 아질산염, 아황산, 아황산염 또는 아황산 수소염인 것을 특징으로 하는 오존수 공급방법.
  4. 제 1항에 있어서,
    농도조정수단이, 용존오존의 분해인 것을 특징으로 하는 오존수 공급방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    용존오존의 분해를, 초음파 조사, 자외선 조사, 난류 발생, 교반, 가온, 알칼리 첨가 및 과산화 수소 첨가로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상의 수단에 의해 실시하는 것을 특징으로 하는 오존수 공급방법.
  6. 제 1항에 있어서,
    농도조정수단이, 오존수의 희석인 것을 특징으로 하는 오존수 공급방법.
  7. 제 1항 내지 제 6항의 어느 한 항에 있어서,
    오존수의 유스 포인트에의 이송을, 오존수와 오존가스가 공존하는 기액혼합 상태로 실시하는 것을 특징으로 하는 오존수 공급방법.
  8. 순수한 물에 오존가스를 용해시켜서 오존수를 조제하는 오존용해장치, 상기 순수한 물 또는 상기 오존수에 오존분해 억제물질을 공급하는 수단, 상기 오존용해장치로 조제한 오존수를 유스 포인트에 이송하는 오존수 이송배관, 유스 포인트 근방에 설치되어 오존수 이송배관으로 이송된 오존수를 소정의 오존농도로 저하시키는 농도조정수단을 가지는 것을 특징으로 하는 오존수 공급장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    오존분해억제물질이, 수용성 유기화합물, 무기산 또는 그 염 및 히드라진으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상인 것을 특징으로 하는 오존 수 공급장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    무기산 또는 그 염이, 염산, 황산, 탄산, 탄산염, 탄산수소염, 아질산, 아질산염, 아황산, 아황산염 또는 아황산 수소염인 것을 특징으로 하는 오존수 공급장치.
  11. 제 8항에 있어서,
    농도조정수단이, 용존오존의 분해인 것을 특징으로 하는 오존수 공급장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    용존오존의 분해를, 초음파 조사, 자외선 조사, 난류 발생, 교반, 가온, 알칼리 첨가 및 과산화수소첨가로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 또는 2종 이상의 수단에 의해 실시하는 것을 특징으로 하는 오존수 공급장치.
  13. 제 8항에 있어서,
    농도조정수단이, 오존수의 희석인 것을 특징으로 하는 오존수 공급장치
  14. 제 8항 내지 제 13항의 어느 한 항에 있어서,
    오존수의 유스 포인트에의 이송을, 오존수와 오존가스가 공존하는 기액혼합 상태로 실시하는 것을 특징으로 하는 오존수 공급방법.
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