KR100893136B1

KR100893136B1 - 석영 유리 도가니의 표면개질 방법

Info

Publication number: KR100893136B1
Application number: KR1020020078233A
Authority: KR
Inventors: 츠지모토토시오; 츠지요시유키
Original assignee: 재팬수퍼쿼츠 가부시키가이샤
Priority date: 2002-03-29
Filing date: 2002-12-10
Publication date: 2009-04-15
Also published as: DE60333142D1; JP2004002083A; CN1448685A; KR20090009181A; EP1348782A3; KR100935346B1; TW200304394A; EP1348782B1; CN101967676A; EP1348782A2; KR20030078621A; JP4427775B2; TWI278349B

Abstract

표면개질 석영 유리 도가니 및 도가니 개질 방법은 도가니의 내측 및/또는 외측 전체 또는 일부 상에 금속 산화물층을 포함하고, 그것을 소성한다. 적어도 도가니의 내측면은 마그네슘, 칼슘, 스트론튬, 또는 바륨의 상기 금속 산화물로 피복된다. 도가니의 피복층은 쉽게 마모되지 않고 도가니를 사용하여 풀링 업된 실리콘 단결정의 높은 무전위율을 제공한다.

Description

석영 유리 도가니의 표면개질 방법{SURFACE MODIFICATION PROCESS FOR QUARTZ GLASS CRUCIBLE}

본 발명은 표면개질 석영 유리 도가니 및 그 개질 방법에 관한 것이고, 그 도가니는 용융 실리콘으로부터 반도체 등에 사용되는 실리콘 단결정을 풀링 업(pulling up)하는 방법에 이용된다.

결정의 풀링 업 중에 실리콘 단결정에 형성되는 전위(dislocation)를 일으키는 한가지 원인으로서, 석영 유리 도가니의 내측면에 형성된 크리스토발라이트(cristobalite)가 용융 실리콘으로 방출되는 것이 알려져 있다. 도가니의 내측면에 크리스토발라이트 층을 형성하기 위한 결정화 촉진제로서 풀링 업의 초기 단계에서 알칼리토금속(alkaline earth metal)이 도가니의 내측면에 피복되는 방법(예를 들면, 미국 특허 제 5,976,247호 또는 일본 특허 제 3100836호)이 이러한 문제점에 대한 대책이라는 것도 알려져 있다. 이들 발명에서, 수산화바륨 용액 등이 석영 유리 도가니의 표면에 피복되고 피복된 수산화바륨이 공기 중의 이산화탄소와 반응하여 도가니의 표면에 탄산바륨을 형성한다. 그리고나서, 형성된 탄산바륨이 건조되어 도가니의 표면에 약하게 부착되고 결정화 촉진제로서 사용된다.

삭제

그러나, 알칼리토금속, 베릴륨(beryllium), 마그네슘, 칼슘, 및 스트론튬은 편석계수(segregation coefficient)가 크기 때문에, 이들 금속이 단결정 실리콘에 쉽게 포함될 수 있어서 그 반도체 특성을 상당히 현저하게 감소시킨다는 치명적인 문제점이 있다. 또한, 비록 바륨은 작은 편석계수를 가지지만, 독성이 많기 때문에 취급이 어렵다는 문제점도 있다. 그러므로, 알칼리토금속 대신에, 지르코늄, 니오븀(niobium), 하프늄, 탄탈륨, 및 희토류 원소(rare earth element)로부터 선택된 원소들을 포함하는 표면층을 가지는 석영 유리 도가니도 제안된다(일본 특허 공개공보 제 2002-29890호).

그러나, 상기 방법에는 다음과 같은 문제점이 있다.

즉, 전자의 석영 유리 도가니는, (A)석영 유리 도가니 상의 탄산바륨 분말이 어떤 바인더 등도 없이 단지 약하게 부착되어 있기 때문에, 분말의 부착강도가 매우 약해서 탄산바륨 분말이 쉽게 마모되어 불균일한 부착상태로 된다. 또한, 탄산바륨 분말이 비산되기 때문에 작업자의 건강에 부정적인 영향을 끼칠 가능성도 있다. 또한, (B)탄산바륨의 부착량이 쉽게 과도해진다. 또한, (C)도가니가 세정되면, 도가니의 표면에 부착된 탄산바륨 분말이 씻겨나간다. 그러므로, 도가니의 표면에 약간의 오염물이 있더라도, 탄산바륨 분말의 부착 후에 도가니를 세정하는 것이 불가능하다.

또한, 후자의 석영 유리 도가니는, 교질용액(sol) 상태로 분산된 금속 산화물을 포함하는 피복액이 도가니의 표면에 피복되고 대기중에서 150℃에서 건조되는 방법으로 표면개질된 층이 형성된다. 그러나, 도가니의 표면에 소성된(baked) 표면개질층은 그렇게 낮은 온도에서 열처리에 의해 형성될 수 없기 때문에, 문제점, 즉, 표면층이 쉽게 마모되는 것이 해결될 수 없다.

본 발명은 종래의 석영 유리 도가니에 관한 이들 문제점을 해결하고, 충분한 부착강도와 내구성을 가진 피복층을 가지는 표면개질 석영 유리 도가니 및 그 개질 방법을 제공한다.

따라서, 본 발명은 다음과 같은 표면개질 석영 유리 도가니를 제공한다.

[1] 도가니의 내측면 및/또는 외측면의 전체 또는 일부에 소성된 금속 산화물의 피복층을 가지는 실리콘 단결정 생성용 석영 유리 도가니.

본 발명의 석영 유리 도가니는 다음과 같은 도가니를 포함한다.

[2] 적어도 도가니의 내측면의 전체 또는 일부에 소성된 금속 산화물의 피복층을 가지는 석영 유리 도가니.

[3] 금속 산화물이 마그네슘, 칼슘, 스트론튬, 또는 바륨의 산화물 중 한 종류 이상인 석영 유리 도가니.

[4] 도가니 표면의 금속 산화물양이 1×10^-9mol/cm²∼1×10^-6mol/cm²인 석영 유리 도가니.

또한, 본 발명은 다음과 같은 석영 유리 도가니의 표면개질 방법도 제공한다.

[5] 석영 유리 도가니의 표면개질 방법으로서,

도가니의 내측면 및/또는 외측면의 전체 또는 일부에 금속염을 함유하는 피복액을 피복하는 단계,

상기 피복액을 건조하는 단계, 및

금속염의 열분해(thermal decomposition) 온도보다 높은 온도에서 건조된 피복액을 소성하여 도가니 표면에 금속 산화물의 피복층을 소성하는 단계를 포함하는 방법.

본 발명의 표면개질 방법은 다음과 같은 방법도 포함한다.

[6] 마그네슘, 칼슘, 스트론튬, 또는 바륨의 유기산염 중 한 종류 이상이 금속염으로서 사용된 석영 유리 도가니의 표면개질 방법.

[7] 금속염 용액의 금속 함유량이 산화물 환산으로 0.01중량%∼15중량%인 석영 유리 도가니의 표면개질 방법.

[8] 석영 유리 도가니의 표면 개질 방법으로서, 도가니 표면의 피복액을 피복하는 단계, 피복액을 건조하는 단계, 및 상기 피복액을 400℃∼1200℃에서 10분∼120분간 소성하는 단계를 더 포함하는 방법.

본 발명의 표면개질 석영 유리 도가니는 도가니의 내측면 및/또는 외측면의 전체 또는 일부에 금속 산화물의 피복층을 가진다. 이 금속 산화물은, 실리콘 단결정을 풀링 업하는 방법으로 고온에서 도가니의 표면 유리층에 대해 결정화 촉진제로서 작용한다. 그러므로, 도가니가 실리콘 단결정 생성에 이용되면, 풀링 업의 초기 단계에서 균일한 크리스토발라이트층이 도가니의 내측면에 형성되어, 결국, 풀 링 업된 결정의 높은 무전위율(dislocation free ratio)이 얻어진다. 또한, 도가니의 내측면 또는 외측면에 형성된 균일한 크리스토발라이트층에 의해 고온하에서의 도가니 강도가 증가된다.

또한, 피복층이 도가니 표면에 소성되기 때문에, 매우 안정적이고 내구성이 높다. 그러므로, 기구 또는 사람과 접촉했을 때 마모가 없고, 피복층의 금속 산화물의 부착상태가 불균일하게 되는 문제가 없다. 또한, 피복층이 비교적 얇더라도, 균일한 크리스토발라이트층이 단결정을 풀링 업하는 동안 도가니의 표면에 형성되고, 실리콘의 무전위율이 증가될 수 있다. 한편, 탄산바륨 분말이 표면에 부착된 종래의 석영 유리 도가니는, 탄산바륨 분말의 부착강도가 매우 약하기 때문에, 분말이 수세정(water washing)에 의해 쉽게 씻겨질 수 있다. 그러므로, 도가니의 표면에 약간의 오염물질이 부착되었어도 도가니를 세정할 수 없다. 반면, 본 발명의 표면개질 석영 유리 도가니는, 피복층이 도가니의 표면에 소성되기 때문에, 수세정 중에 씻겨나가지 않아서, 도가니 표면의 오염물질이 쉽게 제거될 수 있다.

이하, 본 발명을 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 설명한다.

본 발명의 표면개질 석영 유리 도가니는 실리콘 단결정 생성용 석영 유리 도가니이다. 석영 유리 도가니는 도가니의 내측면 및/또는 외측면의 전체 또는 일부에 소성된 금속 산화물의 피복층을 가진다. 또한, 본 발명의 표면개질 석영 유리 도가니는 적어도 도가니의 내측면에 소성된 금속 산화물의 피복층을 가지고, 그 금속 산화물은 마그네슘, 칼슘, 스트론튬, 또는 바륨의 산화물 중 한 종류 이상을 포 함하는 것이 바람직하다.

금속 산화물을 함유하는 피복층은 마그네슘, 칼슘, 스트론튬, 또는 바륨의 염과 같은 금속 유기산염의 용액을 부착하고, 이 용액을 이들 염의 분해온도보다 높은 온도에서 소성하여 형성될 수 있다. 가장 바람직한 금속 유기산염은 카르복실레이트(carboxylate)이다. 카르복실레이트를 형성하기 위한 아실록시기(acyloxy group)로서는, 일반식 C_nH_2n+1COO(n은 3∼7의 정수)으로 표현되는 물질이 바람직하다. 구체적으로는, n-부티르산(n-butyric acid), α-메틸부티르산, 이소-발레르산(iso-valeric acid), 2-에틸부티르산, 2,2-디메틸부티르산, 3,3-디메틸부티르산, 2,3-디메틸부티르산, 3-메틸펜탄산, 1.4-메틸펜탄산, 2-에틸펜탄산, 3-에틸펜탄산, 2,2-디메틸펜탄산, 3,3-디메틸펜탄산, 2,3-디메틸펜탄산, 2-에틸헥산, 또는 3-에틸헥산 등으로부터의 아실록시기가 적절하게 사용될 수 있다.

이들 유기산염은 유기용제에 용해되는 것이 바람직하다. 적절한 유기용제로서는, 에스테르 및/또는 알콜, 또는, 에스테르 및/또는 알콜에 다시 카르복실 산을 혼합한 혼합용제가 사용될 수 있다. 유기용제의 에스테르로서는, 에틸 아세테이트, 프로필 아세테이트, n-부틸 아세테이트, sec-부틸 아세테이트, tert-부틸 아세테이트, 이소부틸 아세테이트, n-아밀 아세테이트, sec-아밀 아세테이트, tert-아밀 아세테이트, 및 iso-아밀 아세테이트가 바람직하다.

알콜로서는, 메탄올, 에탄올, 1-프로판올, 2-프로판올, 1-부탄올, 2-부탄올, iso-부틸알콜, 1-펜탄올, 2-펜탄올, 2-메틸-2-펜탄올, 및 iso-아밀알콜 등이 적절 하다. 알콜에는 알콕시 알콜, 즉, 에테르기를 포함하는 알콜이 포함된다. 이러한 종류의 알콜의 예로서는, 2-메톡시에탄올, 1-메톡시-2-프로판올이 사용될 수 있다. 또한, 사용가능한 용제의 예로서는, 아세톤, 에틸메틸케톤, 및 메틸이소부틸케톤 등의 케톤, 톨루엔, 크실렌, 헥산, 및 시클로헥산 등의 탄화수소(hydrocarbon) 등을 들 수 있다. 이들 유기용제를 2종류 이상 혼합하여 사용할 수 있다.

도가니 표면의 금속 산화물량은 1×10^-9mol/cm²∼1×10^-6mol/cm²인 것이 바람직하다. 이러한 양의 금속산화물을 피복하기 위해서는, 피복액의 금속 성분의 양이 산화물 환산으로 0.01중량%∼15중량%인 것이 적절하고, 0.5중량%∼10중량%이 바람직하다. 금속 성분의 양이 상기 범위보다 적거나 많으면, 도가니 표면의 금속 산화물의 양이 쉽게 적어지거나 많아지게 되어 바람직하지 않다. 또한, 금속 산화물의 양이 1×10^-9mol/cm² 미만이면, 결정화 층이 균일하게 될 수 없고, 금속 산화물의 양이 1×10^-6mol/cm²이상이면, 결정화 층이 너무 두껍게 되어 쉽게 마모된다.

상기 금속 유기산염 용액과 같은 피복액은 도가니의 내측면 및/또는 외측면의 전체 또는 일부에 피복된다. 피복 방법으로서는, 스프레이법(spray method), 및 침투법(dipping method) 등이 이용될 수 있다. 이들 피복법은 제한되지 않는다. 또한, 도가니의 표면에 피복된 면적은, 내측면의 일부 또는 전체, 외측면의 일부 또는 전체, 또는 내측면 및 외측면 양쪽의 일부 또는 전체가 될 수 있다. 또한, 상기 결정을 풀링 업하는 동안 도가니의 내측면을 결정화하여 풀링 업된 결정의 무전위율을 증가시키기 위해서는, 도가니 내측면의 적어도 전체 또는 일부에 피복되어야 한다.

도가니 표면에 피복액을 피복한 후, 금속염의 열분해 온도보다 높은 온도에서 소성이 이루어진다. 소성온도는 금속 성분의 종류와 함께 바뀌지만, 일반적으로는 예를 들면 10분∼120분간 400℃∼1200℃에서 수행된다. 또한, 실시예에 나타낸 산화바륨 피복층으로서는, 30분간 600℃ 이상에서 소성된 피복층이 바람직하다. 소성온도가 너무 낮으면, 피복층이 도가니 표면에 소성될 수 없다. 또한, 소성온도가 1200℃이상이면, 도가니가 불투명해진다. 적절한 온도에서의 소성은 금속의 금속산화물의 투명한 피복층을 형성한다. 이 피복층은 도가니의 표면에서 소성되어, 그 피복층이 표면과의 접촉에 의해 마모되지 않는다.

내측면에 상기 피복층을 가지는 석영 유리 도가니에서는, 단결정을 풀링 업하는 동안 가열되면, 바륨 등과 같은 금속 산화물의 결정화 촉진작용에 의해 크리스토발라이트 층이 도가니의 내측면에 균일하게 형성된다. 결국, 풀링 업된 결정의 무전위율이 증가된다. 또한, 외측면에 피복층을 가지는 석영 유리 도가니에서는, 상기 도가니의 주위벽 표면이 결정화 되기 때문에, 고온 가열에서의 도가니의 강도가 증가되어, 도가니의 변형이 방지될 수 있다.

실시예

이하, 본 발명을 더 제한하지 않는 실시예와 함께 본 발명을 설명한다.

제 1실시예

2-에틸헥산 바륨의 톨루엔 용액을 포함하는 피복액이 석영 유리 도가니의 전체 표면에 분무되어 피복되고 피복액을 표 1에 나타낸 온도와 시간에서 가열하여 층이 형성된다. 도가니는 단결정 풀링 업용 도가니를 제조하기 위한 방법에 일반적으로 사용되는 아크 융해 회전 몰드법(arc fusion rotating mold method)에 의해 만들어진다.

또한, 하기 석영 유리 도가니에 있어서, 비교예가 표 1에 도시되어 있다. 유사하게 분무되었지만 소성온도가 충분히 높지 않은 도가니(No.7), 피복되지 않은 도가니(No.8), 및 종래 방법에 의해 탄산바륨 분말이 부착되었지만 소성되지 않은 도가니(No.9)를 포함한다.

상기 석영 유리 도가니에 있어서, 피복층의 강도는 규격 표준(JIS 5600-5-4)에 따라 평가되었다.

이 평가는 시제품 연필(상품명: 미츠비시 유니(Mitsubishi UNI))을 사용하여 스크래치법(scratching method)으로 실시되었다. 결과는 표 1에 도시되어 있다. 바륨 함유량이 0.01중량% 이상인 피복액을 사용하여 600℃ 이상에서 소성된 피복층은(No.1∼No.5), 경도 6H의 연필에 의해 피복층에 스크래치가 나타나지 않았다. 또한, 400℃ 이상에서 소성된 피복층(No. 6)은, 비록 경도 6H의 연필에 의해 스크래치의 엷은 흔적이 이따금 나타났지만, 경도 5H의 연필로는 흠이 나타나지 않았다. 한편, 200℃에서 소성된 피복층(No. 7)은, 소성이 불충분했기 때문에, 경도 3H의 연필로 스크래치가 나타났다. 또한, 소성되지 않고 탄산바륨 분말이 표면에 단지 부착만 된 종래의 피복층(No. 9)은, 경도 3H의 연필을 사용하여 스크래치가 나타났다.

삭제

다음으로, 상기 석영 유리 도가니에 있어서, 세정시험이 수행되었다. 이 시 험은 순수(純水)로 세정한 후 건조한 도가니 표면의 잔여 금속 산화물의 양을 측정하여 수행되었다. 결과도 도 1에 도시되어 있다. 본 발명의 적정한 조건하에서 피복층이 형성된 석영 유리 도가니(No.1∼No,6)에 있어서, 바륨이 세정에 의해 거의 영향을 받지 않았고, 부착량도 실질상 변하지 않았다. 한편, 200℃에서 소성된 피복층(No. 7)에 있어서는, 소성이 충분하지 않았기 때문에, 바륨의 부착량이 세정에 의해 절반 미만으로 감소되었다. 또한, 종래의 부착층(No. 9)에 있어서는, 탄산바륨이 소성되지 않았기 때문에, 거의 모든 바륨이 씻겨나갔다.

또한, 상기 석영 유리 도가니에 있어서, 단결정 실리콘의 풀링 업 시험이 수행되었다. 단결정의 무전위율이 표 1에 도시되어 있다.(무전위율은 도가니에 충전된 폴리실리콘의 킬로그램당 무전위 단결정의 킬로그램으로 정의된다.) 피복층이 본 발명의 조건하에서 형성된 석영 유리 도가니(No.1∼No.6)에 있어서는, 충분한 층두께를 가진 크리스토발라이트층도 비교적 소량의 바륨과 함께 형성되기 때문에, 높은 무전위율이 얻어질 수 있다. 한편, 200℃에서 소성된 피복층을 가진 석영 유리 도가니(No. 7)에 있어서는, 크리스토발라이트층이 얇고, 무전위율이 매우 낮았다. 또한, 피복층이 없는 종래의 석영 유리 도가니(No. 8)에 있어서는, 결정화층이 없었고, 탄산바륨 분말이 부착된 종래의 석영 유리 도가니(No.9)에 있어서는, 크리스토발라이트층이 얇았다. 그러므로, 이들 테스트(No.8 및 No.9)의 무전위율은 매우 낮았다.

제 2실시예

표 1의 No.3에 나타낸 피복층을 가지는 석영 유리 도가니에 있어서, 단결정 을 풀링 업한 후 폴리실리콘을 도가니에 다시 충전하여 실리콘 단결정의 풀링 업이 반복되는 멀티-풀링 시험(multi-pulling test)이 수행되었다. 또한, 상기 재충전은 온도를 낮추지 않고 이루어졌다. 이들 결과는 표 2에 도시되어 있다. 또한, 탄산바륨 분말을 가지는 표 1의 종래의 석영 유리 도가니(No.9)의 비교 시험의 결과도 표 2에 도시되어 있다.

No.	피복액		소성		연필의 경도	산화바륨의 부착량		단결정 풀링 업
No.	금속종류:양	용제	℃	분	연필의 경도	세정전	세정후	수율 (%)	결정층 두께
1	Ba:1	톨루엔	850	30	6H에 의해 크랙없음	52	52	82	130
2	Ba:0.1	톨루엔	850	30		15	15	84	110
3	Ba:0.01	톨루엔	850	30		1	1	85	80
4	Ba:0.01	톨루엔	700	30		1	1	81	70
5	Ba:0.01	톨루엔	600	30		1	1	81	65
6	Ba:0.01	톨루엔	400	30	5H에 의해 크랙 없음	1	0.9	80	60
7	Ba:0.01	톨루엔	200	30	3H에 의해 크랙있음	1	0.3	55	10
8	비표면처리					0	0	35	0
9	탄산바륨 분말을 가지는 종래의 도가니				3H에 의해 크랙있음	1	0.3	55	10

(주) 피복액의 금속량(Ba량)은 산화물(중량%)로 환산된 양이다.

수율은 무전위율이다.

결정층 두께는 ㎛이고, 산화바륨의 부착량은 산화바륨(㎍/㎠)으로 계산된 양이다.

본 발명의 피복층을 가지는 석영 유리 도가니(No.3)에 있어서는, 피복층에 함유된 결정화 촉진제에 의해 크리스토발라이트층이 도가니의 내측면에 균일하게 형성되었고, 크리스토발라이트의 방출이 일어나지 않았다. 그러므로, 단결정 풀링 업이 4번 반복되었어도, 80% 수준의 높은 무전위율이 유지되었다. 결국, 도가니 수명이 연장되었다. 한편, 탄산바륨 분말이 부착된 종래의 석영 유리 도가니(No.9)에 있어서는, 풀링 업이 반복됨에 따라 크리스토발라이트가 불균일하고 부분적으로 형성되었다. 용융 실리콘에 대한 크리스토발라이트의 방출 빈도가 증가하여, 무전위율이 점차 감소되었다. 또한, 단결정의 풀링 업이 4번 반복된 도가니에 있어서는, 크리스토발라이트층이 도가니의 표면에서 확인되지 않았다. 그런데, 탄산바륨 분말이 부착된 종래의 석영 유리 도가니(No.9)에 있어서는, 본 발명과 동일한 멀티 풀링 효과를 얻기 위해 바륨의 부착량이 20㎍/㎠ 이상일 필요가 있다. 그렇게 많은 양의 바륨이 도가니의 표면에 부착되면, 단결정 실리콘의 품질에 부정적인 영향을 끼치는 것을 피할 수 없다.

[무전위율(%)]

풀링 업 횟수	1	2	3	4
피복된 도가니	87	86	84	84
탄산바륨 분말이 부착된 종래의 도가니	55	50	47	42

2002년 3월 29일 출원된 일본 특허 제 2002-94542호가 여기에 완전히 인용되었다.

명백히, 상기 설명의 견지에서 본 발명의 다수의 변경 및 수정이 가능하다. 그러므로, 첨부된 청구의 범위 내에서 여기 명확하게 설명된 것과 다르게 실시될 수도 있다.

본 발명의 석영 유리 도가니에 있어서는, 결정화 촉진효과를 가지는 금속 산화물을 함유한 피복층이 소성에 의해 도가니의 표면에 일체 구조로 형성되어 마모가 없다. 그러므로, 피복층의 금속 산화물의 부착상태가 균일하게 유지될 수 있고, 단결정을 풀링 업하는 동안 크리스토발라이트가 도가니의 표면에 균일하게 형성될 수 있어서, 높은 무전위율이 얻어질 수 있다. 또한, 도가니 접촉에 의해 피복층이 쉽게 마모되지 않기 때문에, 도가니가 들어 있는 케이스를 열 때마다 미세한 탄산바륨 분말이 비산된다는 종래의 문제점이 없다.

Claims

삭제
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석영 유리 도가니에 대한 표면개질 방법으로서,

금속염을 함유하는 피복액을 석영 유리로 이루어진 상기 도가니의 내측면 및 외측면 중 하나 이상의 적어도 일부에 피복하는 단계;

상기 피복액을 건조하는 단계; 및

상기 건조된 피복액을 상기 금속염의 열분해 온도보다 높은 온도에서 소성하여 상기 도가니의 표면에 상기 금속 산화물의 피복층을 소성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니의 표면개질 방법.
제 8항에 있어서, 상기 금속염은 마그네슘, 칼슘, 스트론튬, 또는 바륨 중 하나 이상의 유기산염인 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니의 표면개질 방법.
제 9항에 있어서, 상기 유기산염은 카르복실레이트인 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니의 표면개질 방법.
제 10항에 있어서, 상기 카르복실레이트는 식 C_nH_2n+1COO(n은 3∼7의 정수)을 가지는 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니의 표면개질 방법.
제 10항에 있어서, 상기 카르복실레이트는, n-부티르산, α-메틸부티르산, 이소-발레르산, 2-에틸부티르산, 2,2-디메틸부티르산, 3,3-디메틸부티르산, 2,3-디메틸부티르산, 3-메틸펜탄산, 1,4-메틸펜탄산, 2-에틸펜탄산, 3-에틸펜탄산, 2,2-디메틸펜탄산, 3,3-디메틸펜탄산, 2,3-디메틸펜탄산, 2-에틸헥산, 또는 3-에틸헥산으로부터 유도되는 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니의 표면개질 방법.
제 8항에 있어서, 상기 피복액은 상기 금속 산화물의 양으로 환산하여, 0.01중량%∼15중량%의 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니의 표면개질 방법.
제 8항에 있어서, 상기 건조된 피복액은 400℃∼1200℃의 온도에서 10분∼120분간 소성되는 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니의 표면개질 방법.
제 8항에 있어서, 상기 피복액은 상기 금속 산화물의 양으로 환산하여, 0.5중량%∼10중량%의 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니의 표면개질 방법.
제 8항에 있어서, 상기 피복액은 에스테르, 알콜, 케톤, 탄화수소, 및 그 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된 유기용제를 포함하는 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니의 표면개질 방법.
제 16항에 있어서, 상기 용제는 톨루엔인 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니의 표면개질 방법.
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