KR100889388B1 - 고분자 중합체, 이의 제조방법 및 이를 포함하는유기반사방지막 형성용 조성물 - Google Patents
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- 하기 구조식 1 또는 하기 구조식 2로 표시되며, 중량평균분자량이 2,000 내지 100,000 g/mol인 것을 특징으로 하는 고분자 중합체:[구조식 1]상기 구조식 1에서,R1, R2는 각각 독립적으로 CH3 또는 H이고,R3는 C1-10의 알킬렌기, 카보네이트기, 에테르기, 에스터기, C6-20의 방향족기이고,R4, R5는 각각 독립적으로 C1-5의 알킬기이고,Z는 안트라센기, 벤젠기, 페닐기, 나프탈렌기, 나프타센기, 펜타센기 또는 안트라세닐 벤질기이고,A는 수소, C1-10의 알킬기, 에스터기, 아세탈기, 에폭시기, 하이드록실기 또는 아민기이고,b는 0 내지 10의 정수이며,l, m, n은 전체 반복단위에 대한 각 반복단위의 몰%로서, l은 0.1~70몰%, m은 0.1~70몰%, n은 0~50몰%, 그리고 l+m+n = 100몰%이다.[구조식 2]상기 구조식 2에서,R1, R2는 각각 독립적으로 CH3 또는 H이고,R6는 C1-10의 알킬렌기이고,Z는 안트라센기, 벤젠기, 페닐기, 나프탈렌기, 나프타센기, 펜타센기 또는 안트라세닐 벤질기이고,A는 수소, C1-10의 알킬기, 에스터기, 아세탈기, 에폭시기, 하이드록실기 또는 아민기이고,b는 0 내지 10의 정수이며,l, m, n은 전체 반복단위에 대한 각 반복단위의 몰%로서, l은 0.1~70몰%, m은 0.1~70몰%, n은 0~50몰%, 그리고 l+m+n = 100몰%이다.
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- 청구항 4에 기재된 고분자 중합체 0.1 내지 50 중량%;라디칼 개시제 0.1 내지 10 중량%;광산발생제 0.1 내지 10 중량%; 및용매 30 내지 99.5 중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기반사방지막 형성용 조성물.
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- 청구항 9에 있어서, 상기 조성물은 가교제, 열산발생제, 광흡수제, 가교반응촉진제, 저급 알코올, 산, 표면 균염제, 접촉촉진제 및 소포제로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기반사방지막 형성용 조성물.
- 청구항 9 또는 청구항 11에 기재된 유기반사방지막 형성용 조성물로부터 형성되는 유기반사방지막.
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102250285A (zh) * | 2010-05-19 | 2011-11-23 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 选择性分离酚类的半共价分子印迹聚合物及其制备和应用 |
CN102757526A (zh) * | 2011-04-26 | 2012-10-31 | 锦湖石油化学株式会社 | 用于有机抗反射膜的共聚物、单体及包含该共聚物的组合物 |
CN115725216A (zh) * | 2022-10-26 | 2023-03-03 | 北京科华微电子材料有限公司 | 一种底部抗反射涂层组合物及其用途 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007249025A (ja) | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Fujifilm Corp | ポジ型レジスト組成物及び該ポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法 |
KR20070096911A (ko) * | 2006-03-23 | 2007-10-02 | 후지필름 가부시키가이샤 | 레지스트 조성물 및 이를 이용한 패턴 형성 방법 |
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2007
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007249025A (ja) | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Fujifilm Corp | ポジ型レジスト組成物及び該ポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法 |
KR20070096911A (ko) * | 2006-03-23 | 2007-10-02 | 후지필름 가부시키가이샤 | 레지스트 조성물 및 이를 이용한 패턴 형성 방법 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102250285A (zh) * | 2010-05-19 | 2011-11-23 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 选择性分离酚类的半共价分子印迹聚合物及其制备和应用 |
CN102757526A (zh) * | 2011-04-26 | 2012-10-31 | 锦湖石油化学株式会社 | 用于有机抗反射膜的共聚物、单体及包含该共聚物的组合物 |
CN102757526B (zh) * | 2011-04-26 | 2014-12-24 | 锦湖石油化学株式会社 | 用于有机抗反射膜的共聚物、单体及包含该共聚物的组合物 |
CN115725216A (zh) * | 2022-10-26 | 2023-03-03 | 北京科华微电子材料有限公司 | 一种底部抗反射涂层组合物及其用途 |
CN115725216B (zh) * | 2022-10-26 | 2023-10-24 | 北京科华微电子材料有限公司 | 一种底部抗反射涂层组合物及其用途 |
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