KR100887725B1 - 컬러층의 제조방법, 상기 제조방법으로 제조된 자동차 내외장재, 휴대폰 외장재, 전자제품 외장재 - Google Patents
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Abstract
Description
금속층 | 플라즈마 가스 | 컬러 박막 | 색상 |
Ti | N2 | TiN | 옐로우(Yellow) |
CH4 | TiC | 그레이(Gray) | |
N2+CH4 | TiCN | 브론즈(Bronze) | |
TiCxNy | 골든 레드(Golden Red) | ||
O2 | TiO | 옐로우 | |
TiO2 | 와이트(white) | ||
Ti2O3 | 바이올렌(Violet) | ||
Ni | CH4 | Ni3C | 다크 그레이(Dark Gray) |
O2 | NiO | 그레이-블랙(Gray-black) | |
Cr | CH4 | Cr3C2 | 그레이 |
O2 | CrO | 블랙(black) | |
CrO2 | 브론즈 블랙(Brown Black) | ||
Cr2O3 | 그린(Green) | ||
Si | CH4 | SiC | 블랙(Black) |
Zr | CH4 | ZrC | 그레이(Gray) |
N2 | ZrN | 옐로우 브론즈(Yellow Brown) | |
TiAl | N2 | TiAlN | 다크 블루(Dark blue) |
TiZr | N2 | TiZrN | 골든(Golden |
Claims (19)
- 기재층을 제공하는 단계;상기 기재층 상에 금속층 또는 준금속층을 형성하는 단계; 및상기 금속층 또는 준금속층에 플라즈마를 확산시켜 컬러층을 형성하는 단계를 포함하고,상기 기재층 상에 금속층 또는 준금속층을 형성하는 단계 전에,상기 기재층을 진공전처리하는 단계; 및 상기 진공전처리한 기재층 상에 스퍼터링법으로 알루미늄층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러층의 제조방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 기재층은 ABS(acrylonitrile-butadiene-styrene), PC(polycarbonate), BMC(bulk moulding compound), PBT(polybutylene terephthalate), PPC(chlorinated polypropylene), 마그네슘, 알루미늄, 스테인레스 스틸 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택되는 1종을 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러층의 제조방법.
- 삭제
- 청구항 1에 있어서,상기 기재층을 진공전처리하는 단계는,Ar, N2O, O2 및 HMDSO로 이루어진 군에서 선택되는 1종 또는 2종 이상을 50 내지 700SCCM의 유량으로 주입하여 챔버 내 진공도를 1×10-3 내지 5×10-2 Torr로 유지하고,플라즈마 전극 사이에 파워를 1 내지 20㎾로 인가하고 캐소드에 전압을 2,000 내지 5,000V로 인가하고 30 내지 300초 동안 수행하는 단계인 것을 특징으로 하는 컬러층의 제조방법.
- 청구항 4에 있어서,상기 파워는 AC 파워, RF 플라즈마 파워, DC 파워 및 펄스 DC 파워로 이루어진 군에서 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 컬러층의 제조방법.
- 청구항 4에 있어서,상기 Ar, N2O, O2 및 HMDSO로 이루어진 군에서 선택되는 1종 또는 2종 이상은 사각판형 타입의 이온빔 소스로 공급되는 것을 특징으로 하는 컬러층의 제조방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 진공전처리한 기재층 상에 스퍼터링법으로 알루미늄층을 형성하는 단계는,Ar을 주입하여 챔버 내 진공도를 1×10-3 내지 1×10-2Torr로 유지하고,알루미늄 타겟이 장착된 캐소드에 300 내지 800V의 직류전압을 인가하여 수행하는 단계인 것을 특징으로 하는 컬러층의 제조방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 금속층 또는 준금속층을 형성하는 단계는 스퍼터링법, 화학기상증착법 및 물리기상증착법으로 이루어진 군에서 선택되는 1종으로 형성하는 단계인 것 특징으로 하는 컬러층의 제조방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 금속층은 Al, Ti, Cr, Ni, Cu, Mn, Sn, Zn, In, Ag, Zr, Mg, SUS 및 이들의 합금으로 이루어진 군에서 선택되는 1종을 포함하는 단층 또는 다층박막인 것을 특징으로 하는 컬러층의 제조방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 준금속층은 Si, Ge, As, Sb, Te, Po 및 이들의 합금으로 이루어진 군 에서 선택되는 1종을 포함하는 단층 또는 다층박막인 것을 특징으로 하는 컬러층의 제조방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 플라즈마는 Ar 플라즈마, N2 플라즈마, C2H2 플라즈마, CH4 플라즈마 및 O2 플라즈마로 이루어진 군에서 선택되는 1종 또는 2종 이상인 것을 특징으로 하는 컬러층의 제조방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 플라즈마를 확산시켜 컬러층을 형성하는 단계는 공자전 구동부 제품 치구를 이용하는 것을 특징으로 하는 컬러층의 제조방법.
- 청구항 12에 있어서,상기 플라즈마를 확산시켜 컬러층을 형성하는 단계는 가열장치와 바이어스 파워가 연결된 상태에서 수행되는 것을 특징으로 하는 컬러층의 제조방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 금속층 또는 준금속층에 플라즈마를 확산시켜 컬러층을 형성하는 단계 후에,상기 컬러층 상에 상기 컬러층과 서로 다른 색을 갖는 컬러층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러층의 제조방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 금속층 또는 준금속층에 플라즈마를 확산시켜 컬러층을 형성하는 단계 후에,상기 컬러층 상에 플라즈마 보강 화학기상증착법(PECVD) 또는 플라즈마 확산법으로 보호층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컬러층의 제조방법.
- 청구항 15에 있어서,상기 보호층을 PECVD로 형성하는 단계는,Ar, N2O, O2 및 HMDSO로 이루어진 군에서 선택되는 1종 또는 2종 이상을 50 내지 700SCCM의 유량으로 주입하여 챔버 내 진공도를 1×10-3 내지 5×10-2 Torr로 유지하고,플라즈마 전극 사이에 AC 파워 혹은 RF 파워를 1 내지 10kW로 인가하여 30 내지 300초 동안 수행하는 것을 특징으로 하는 컬러층의 제조방법.
- 청구항 1 기재의 방법으로 제조된 자동차 내외장재.
- 청구항 1 기재의 방법으로 제조된 휴대폰 외장재.
- 청구항 1 기재의 방법으로 제조된 전자제품 외장재.
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2008
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