KR100884056B1 - A Jig Assembly - Google Patents

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정현권
이용구
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한미반도체 주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 패키지 가공시스템에 사용되는 지그 어셈블리에 관한 것이다. 본 발명인 지그 어셈블리는 반도체 패키지가 삽입되도록 슬릿이 마련되는 지그; 내부에 상기 지그가 안착될 수 있는 지그안착공이 마련되는 몸체; 그리고, 상기 지그안착공의 가장자리 양측에 마련되어, 상기 지그의 슬릿의 크기를 조절할 수 있는 지그클램핑유닛을 포함하여 구성된다. 이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 지그 어셈블리는 지그의 슬릿의 크기가 상기 슬릿에 반도체 패키지가 삽입 및 탈거 될 때는 넓어지고, 고정될 때는 좁아지도록 하여 상기 반도체 패키지를 이동할 수 없도록 고정하여 상기 반도체 패키지의 가공시 작업이 안정적으로 이루어지고, 상기 슬릿의 크기의 조절이 클램핑유닛에 의해 자동으로 이루어져 반도체 패키지의 가공시 작업이 단순해져 작업시간이 줄어드는 이점이 있다. The present invention relates to a jig assembly for use in a semiconductor package processing system. The jig assembly of the present invention is a jig provided with a slit to insert a semiconductor package; A body provided with a jig seating hole in which the jig may be seated; The jig clamping unit may be provided at both sides of the edge of the jig seating hole to adjust the size of the slit of the jig. The jig assembly according to the present invention having such a configuration is such that the size of the slit of the jig becomes wider when the semiconductor package is inserted into and removed from the slit, and narrows when fixed so that the semiconductor package cannot be moved so that the semiconductor package cannot be moved. The work is made stable during the processing, the size of the slit is automatically controlled by the clamping unit is simplified in the processing of the semiconductor package has the advantage of reducing the working time.

로딩언로딩부, 전달부, 패키지고정부, 가공부, 세척건조부 Loading unloading part, delivery part, package fixing part, processing part, washing and drying part

Description

지그 어셈블리{A Jig Assembly}Jig Assembly

본 발명은 반도체 패키지 가공시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 패키지와 같은 피가공물 또는 피가공물을 가공하기 위해 고정하는 지그 어셈블리에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor package processing system, and more particularly, to a jig assembly for fixing a workpiece such as a semiconductor package or a workpiece.

근래 반도체 패키지가 다양하게 사용되고 있다. 예를 들어, SD카드 등과 같은 패키지가 이동전화, 디지털 카메라 등에 사용된다. 그런데, 이러한 패키지는 소망하는 형상으로 가공되어야 한다. 이를 위하여, 먼저, 다수의 패키지가 같이 형성된 스트립을 각각의 패키지로 가공하고, 더 나아가 각각의 패키지를 소정 형상으로 가공하여야 한다. 이때, 종래에는 상기 패키지를 사용자가 직접 지그에 삽입하고, 지그에 삽입된 패키지를 임의의 가공기로 가공하는 방식에 의해 제조하였다. Recently, semiconductor packages have been used in various ways. For example, packages such as SD cards are used for mobile phones, digital cameras, and the like. By the way, such a package must be processed into a desired shape. To this end, first, a strip in which a plurality of packages are formed together must be processed into respective packages, and further, each package must be processed into a predetermined shape. In this case, conventionally, the package is manufactured by a user inserting the package directly into the jig, and processing the package inserted into the jig with an arbitrary processing machine.

그러나, 상기한 바와 같은 종래 기술에서는 다음과 같은 문제점이 있다. However, the above-described prior art has the following problems.

가공을 위한 반도체 패키지를 지그에 고정할 때 지그의 슬릿에 삽입하게 되는데, 상기 지그의 슬릿이 항상 일정한 경우, 상기 슬릿에 상기 반도체 패키지의 고정이 제대로 되지 않아 반도체 패키지가 가공시 불량이 발생되는 문제점이 있다. When fixing a semiconductor package for processing to a jig is inserted into the slit of the jig, when the slit of the jig is always constant, the semiconductor package is not properly fixed to the slit, the problem occurs when processing the semiconductor package There is this.

또한, 지그의 슬릿의 크기가 조절가능하더라도, 상기 반도체 패키지를 고정할 때, 사용자가 수동으로 상기 슬릿에 상기 반도체 패키지를 삽입하고 고정하게 되어 가공시 공정이 번거로워 작업시간이 길어지는 문제점이 있다. In addition, even if the size of the slit of the jig can be adjusted, when fixing the semiconductor package, the user manually inserts and fixes the semiconductor package to the slit, there is a problem that the process time is cumbersome during processing and the working time is long.

본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 지그의 슬릿에 반도체 패키지를 안정하게 고정할 수 있도록 하는 지그 어셈블리를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, and to provide a jig assembly for stably fixing a semiconductor package to a slit of a jig.

그리고, 본 발명의 다른 목적은 지그에 반도체 패키지가 삽입될 때 자동으로 고정되도록 하는 지그 어셈블리를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a jig assembly that is automatically fixed when a semiconductor package is inserted into a jig.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명인 지그 어셈블리는, 반도체 패키지가 삽입되도록 슬릿이 마련되는 지그; 내부에 상기 지그가 안착될 수 있는 지그안착공이 마련되는 몸체; 그리고, 상기 지그안착공의 가장자리 양측에 마련되어, 상기 지그의 슬릿의 크기를 조절할 수 있는 지그클램핑유닛을 포함하여 구성될 수 있다. According to a feature of the present invention for achieving the above object, the jig assembly of the present invention, the jig is provided with a slit to insert the semiconductor package; A body provided with a jig seating hole in which the jig may be seated; And, it is provided on both sides of the edge of the jig seating hole, it may be configured to include a jig clamping unit that can adjust the size of the slit of the jig.

상기 지그는, 상기 슬릿의 크기를 조절하도록 상기 슬릿의 길이방향으로 슬라이딩가능한 조절부; 그리고, 상기 조절부가 상기 슬릿의 크기가 작아지는 방향으로 탄성지지하는 탄성부재;를 포함하여 구성될 수 있다. The jig may include: an adjusting part slidable in the longitudinal direction of the slit to adjust the size of the slit; In addition, the control unit may include an elastic member for elastically supporting in a direction in which the size of the slit is reduced.

상기 지그클램핑유닛은, 상기 조절부에 형성된 조절공에 일단이 삽입되고 소정의 간격 이동가능한 이동부재; 그리고, 상기 이동부재가 이동가능하도록 동력을 제공하는 구동부재;를 포함하여 구성될 수 있다. The jig clamping unit may include a moving member having one end inserted into an adjustment hole formed in the adjustment unit and movable at a predetermined interval; And, the driving member for providing power to the movable member is movable; it can be configured to include.

상기 구동부재가 동력을 제공하는 방향과, 상기 탄성부재가 탄성을 제공하는 방향이 서로 반대방향인 것을 특징으로 할 수 있다. The direction in which the driving member provides power and the direction in which the elastic member provides elasticity may be opposite to each other.

본 발명에 의한 지그 어셈블리에서는 지그의 슬릿의 크기가 상기 슬릿에 반도체 패키지가 삽입 및 탈거 될 때는 넓어지고, 고정될 때는 좁아지도록 하여 상기 반도체 패키지를 이동r과 고정을 용이하게 하여 상기 반도체 패키지의 가공시 작업이 안정적으로 이루어지는 효과가 있다. In the jig assembly according to the present invention, the size of the slit of the jig becomes wider when the semiconductor package is inserted into and removed from the slit, and narrows when the semiconductor package is fixed. There is an effect that the work is stable.

또한, 상기 슬릿의 크기의 조절이 클램핑유닛에 의해 자동으로 이루어져 반도체 패키지의 가공시 작업이 단순해져 작업시간이 줄어드는 효과가 있다. In addition, the size of the slit is automatically adjusted by the clamping unit, thereby simplifying the processing of the semiconductor package, thereby reducing the working time.

이하 본 발명에 의한 반도체 패키지 가공시스템에 채용된 지그 어셈블리에 관한 바람직한 실시예가 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. Hereinafter, a preferred embodiment of a jig assembly employed in a semiconductor package processing system according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1에는 본 발명에 의한 반도체 패키지 가공시스템을 개략적으로 보인 구성도가 도시되어 있다. 1 is a schematic view showing a semiconductor package processing system according to the present invention.

도 1을 참조하여, 일단 반도체 패키지 가공시스템의 전체적 구성을 설명한다. 본 발명인 반도체 패키지 가공시스템은, 가공되지 않은 반도체 패키지(SP)를 가공시스템으로 로딩시키거나 가공완료된 상기 반도체 패키지(SP)를 언로딩시키는 로딩언로딩부(100), 상기 로딩언로딩부(100)에 의해 로딩된 상기 반도체 패키지(SP)를 가공하기 위한 소정의 위치로 전송하는 전달부(200), 상기 전달부(200)에 의해 이송되는 반도체 패키지(SP)를 가공하기 위해 지그(310)에 고정하는 패키지고정부(300), 상기 지그(310)에 고정된 반도체 패키지(SP)를 가공하기 위한 가공 부(500), 상기 가공부(500)에서 가공이 완료된 반도체 패키지(SP)를 세척하기 위한 세척건조부(600) 및 가공이 완료된 반도체 패키지(SP)의 불량여부를 검사하는 검사부(700)를 포함하여 구성된다. 이하, 각각의 부분을 구체적으로 설명한다. With reference to FIG. 1, the overall structure of a semiconductor package processing system is demonstrated once. The semiconductor package processing system of the present invention includes a loading unloading unit 100 for loading an unprocessed semiconductor package SP into a processing system or unloading the processed semiconductor package SP, and the loading unloading unit 100. Transfer unit 200 for transmitting to the predetermined position for processing the semiconductor package (SP) loaded by the), jig 310 to process the semiconductor package (SP) transferred by the delivery unit 200 The package fixing part 300 to be fixed to the processing unit 500 for processing the semiconductor package (SP) fixed to the jig 310, the semiconductor package (SP) processed in the processing unit 500 is washed The cleaning and drying unit 600 and the inspection unit 700 for inspecting whether or not the processing of the semiconductor package SP is completed is configured to include. Hereinafter, each part is demonstrated concretely.

먼저, 도 1을 참조하여 로딩언로딩부(100)를 설명하면, 로딩언로딩부(100)에는 트레이(102)가 적재되어 있는 트레이매거진(106)이 다수개 구비되어 있다. 그리고, 상기 각각의 트레이(102)를 적재하여 이동하는 이동테이블(미도시)이 구비되어, 트레이 이송라인(104)을 따라 이동할 수 있도록 구성되어 있다. First, the loading unloading unit 100 will be described with reference to FIG. 1. The loading unloading unit 100 includes a plurality of tray magazines 106 on which the trays 102 are loaded. In addition, a moving table (not shown) for loading and moving the respective trays 102 is provided, and is configured to move along the tray transfer line 104.

상기 트레이매거진(106)은 다수개가 마련될 수 있는데, 바람직하게는 4개로 구성될 수 있다. 예를 들면, 가공되지 않은 반도체 패키지(SP)가 적재되어 있는 언컷트레이(uncut tray)와, 가공이 완료되어 양품으로 판정된 반도체 패키지(SP)가 적재되어 있는 양품 트레이(good tray)와, 아직 반도체 패키지(SP)를 적재하지 않은 빈 트레이(empty tray)와, 불량으로 판정된 반도체 패키지(SP)가 적재되는 리워크 트레이(rework tray)로 구성될 수 있다. The tray magazine 106 may be provided in plural, preferably four. For example, an uncut tray on which an unprocessed semiconductor package SP is stacked, a good tray on which a semiconductor package SP which has been processed and is determined to be good is loaded; An empty tray which has not yet loaded the semiconductor package SP and a rework tray on which the semiconductor package SP determined as defective may be loaded.

그리고, 상기 이동테이블(미도시)은 상기 반도체 패키지 가공 시스템의 공정진행 속도를 위하여 여러 개로 구성될 수 있다. 예를 들면, 본 발명에서는 3개로 구성할 수 있다. 상기 이동테이블 중에는 아직 가공되지 않은 반도체 패키지(SP)를 적재하여 이동테이블 이송라인(104)을 따라 이송하도록 구성될 수 있다. In addition, the moving table (not shown) may be configured in plural for the process progress speed of the semiconductor package processing system. For example, in this invention, it can comprise three. In the moving table, the semiconductor package SP, which has not yet been processed, may be loaded and transferred along the moving table transfer line 104.

또한, 상기 이동테이블 중에는 반도체 가공공정이 종료되어 가공이 완료된 반도체 패키지(SP) 중 검사부(700)에서 양품으로 판정된 반도체 패키지(SP)를 이동테이블 이송라인(104)을 따라 이송하도록 구성할 수도 있다. In addition, the moving table may be configured to transfer the semiconductor package SP, which is determined to be good by the inspection unit 700, of the semiconductor package SP in which the semiconductor processing process is completed and completed along the moving table transfer line 104. have.

또한, 상기 이동테이블 중에는 가공이 완료된 반도체 패키지(SP) 중 검사부(710, 720)에서 불량품으로 판정된 반도체 패키지(SP)를 이동테이블 이송라인(104)을 따라 이송하도록 구성될 수 있다. In addition, the moving table may be configured to transfer the semiconductor package SP, which is determined as defective in the inspection units 710 and 720, of the completed semiconductor package SP along the moving table transfer line 104.

한편, 상기 이동테이블 이송라인(104)의 상방에는 상기 이동테이블 이송라인(104)과 직교되도록 트레이 픽커 이송라인(110)이 마련된다. 상기 트레이 픽커 이송라인(110)에는 트레이 픽커(112)가 구비되고, 상기 트레이 픽커(112)는 상기 트레이(102)를 픽업하여 상기 트레이매거진(102) 사이를 이송시키는 역할을 한다. 물론, 상기 트레이 픽커(112)는 반도체 가공공정의 진행속도를 높이기 위하여 여러 개로 구비될 수 있다.Meanwhile, a tray picker transfer line 110 is provided above the move table transfer line 104 to be orthogonal to the move table transfer line 104. The tray picker transfer line 110 is provided with a tray picker 112, and the tray picker 112 picks up the tray 102 to transfer the tray magazine 102. Of course, the tray picker 112 may be provided in plurality in order to increase the speed of the semiconductor processing process.

그리고, 상기 트레이 픽커(112)는 상기 트레이(106)를 파지할 수 있는 수단이면 어떤 구성이라도 가능하며, 바람직하게는 상기 트레이(106)를 파지할 수 있는 클램핑수단과, 상기 트레이 픽커 이송라인(110)을 따라 이동할 수 있는 이송수단으로 구성될 수 있다.The tray picker 112 may have any configuration as long as it can hold the tray 106. Preferably, the tray picker 112 includes clamping means capable of holding the tray 106 and a tray picker transfer line. It may be configured as a transport means that can move along the 110.

한편, 상기 로딩언로딩부(100)는 상기 반도체 패키지 가공시스템의 전 공정을 따라 가공이 완료된 반도체 패키지(SP)가 전달부(200)를 따라 다시 환송되면 이를 상기 이동테이블에서 다시 언로딩시키는 역할도 한다. On the other hand, the loading unloading unit 100 serves to unload the semiconductor package (SP), which has been processed in accordance with the entire process of the semiconductor package processing system, is transported back along the transfer unit 200 when the semiconductor package (SP) is conveyed again. Also do.

다음으로, 상기 로딩언로딩부(100)에서 이동테이블에 적재되어 이동하던 가공되지 않은 반도체 패키지(SP)를 패키지고정부(300)로 이동시키는 전달부(200)가 마련된다. 상기 전달부(200)에는 상기 이동테이블 이송라인(104)과 직교하면서 상대적으로 상방에 구비되는 전달부 픽커 이송라인(202)이 마련된다. 즉, 상기 전달 부 픽커 이송라인(202)은 상기 트레이 픽커 이송라인(110)과 평행하게 구성될 수 있다. Next, a transfer unit 200 for moving the unprocessed semiconductor package SP, which is loaded on the moving table and moved to the package fixing unit 300, is provided in the loading and unloading unit 100. The transfer unit 200 is provided with a transfer unit picker transfer line 202 which is orthogonal to the moving table transfer line 104 and provided upward. That is, the transfer part picker transfer line 202 may be configured in parallel with the tray picker transfer line 110.

상기 전달부픽커 이송라인(202)에는 상기 전달부픽커 이송라인(202)을 따라 이동가능하게 설치되는 전달부픽커(204)가 마련된다. 상기 전달부픽커(204)는 상기 트레이(106) 상에 안착된 반도체 패키지(SP)를 픽업하여 패키지 고정부(300)로 전달시키는 것으로, 흡착수단과 이송수단으로 구성될 수 있다. The transfer unit picker transfer line 202 is provided with a transfer unit picker 204 which is installed to be movable along the transfer unit picker transfer line 202. The transfer unit picker 204 picks up the semiconductor package SP seated on the tray 106 and transfers it to the package fixing unit 300, and may include a suction unit and a transfer unit.

다만, 상기 전달부 픽커(204)는 각각의 반도체 패키지(SP)를 픽업하기 위한 것으로, 상기 흡착수단이 개개의 반도체 패키지(SP)를 픽업할 수 있도록 구성되어야 할 것이다. However, the transfer unit picker 204 is for picking up each semiconductor package SP, and the adsorption means should be configured to pick up each semiconductor package SP.

그리고, 반도체 패키지 가공시스템의 공정효율을 위하여 상기 전달부 픽커 이송라인(202)은 여러 개로 구성될 수 있으며, 본 발명에서는 2개로 구성되고, 각각 제 1전달부 픽커 이송라인(202a), 제 2전달부 픽커 이송라인(202b)으로 구성된다. In addition, the transfer unit picker transfer line 202 may be configured in plural, and in the present invention, two transfer unit picker transfer lines 202a and the second transfer unit picker transfer line 202a may be used to process the semiconductor package processing system. It is composed of a transfer unit picker transfer line (202b).

상기 제 1전달부 픽커 이송라인(202a)과 제 2전달부 픽커 이송라인(202b)에는 각각 제 1전달부 픽커(204a)와 제 2전달부 픽커(204b)가 구비된다. 상기 각각의 전달부 픽커(204)는 상기 이동테이블 이송라인(104)을 따라 이송되는 상기 이동테이블(102)의 트레이(106) 상에 적재된 상기 반도체 패키지(SP)를 파지하여, 상기 전달부 픽커 이송라인(202)을 따라 소정의 장소 즉 패키지 고정부(300)의 턴테이블(302)로 이송하는 역할을 한다. The first transfer part picker transfer line 202a and the second transfer part picker transfer line 202b are provided with a first transfer part picker 204a and a second transfer part picker 204b, respectively. Each transfer unit picker 204 grips the semiconductor package SP loaded on the tray 106 of the transfer table 102, which is transferred along the transfer table transfer line 104. Along the picker transfer line 202, a predetermined position, that is, transfers to the turntable 302 of the package fixing part 300.

물론, 상기 전달부픽커(204)는 상기 턴테이블(302)에서 가공이 완료된 반도 체 패키지(SP)를 다시 픽업하여, 상기 전달부픽커 이송라인(202)를 따라 이동테이블(102)의 트레이(106) 상으로 이송시킬 수 있다. Of course, the transfer part picker 204 picks up the semiconductor package SP which has been processed in the turntable 302 again, and the tray 106 of the moving table 102 along the transfer part picker transfer line 202. ) Can be transported on.

다음으로, 상기 전달부(302)로부터 전달받은 상기 반도체 패키지(SP)를 가공 시 상기 반도체 패키지(SP)를 고정하기 위한 지그(310)에 상기 반도체 패키지(SP)를 삽입시키는 패키지 고정부(300)가 마련된다. Next, a package fixing part 300 for inserting the semiconductor package SP into a jig 310 for fixing the semiconductor package SP when the semiconductor package SP received from the transfer part 302 is processed. ) Is provided.

상기 패키지 고정부(300)에는, 상기 반도체 패키지(SP)를 가공하기 위해 고정하기 위한 틀인 지그(310)와, 상기 지그(310)에 상기 반도체 패키지(SP)를 삽입하여 고정하기 위한 패키지고정어셈블리(350)가 구비되어 있다. 또한, 상기 패키지 고정부(300)에는 패키지 고정부(300) 내에서 상기 반도체 패키지(SP)의 전달을 담당하는 이송수단(319)이 더 구비될 수 있다. The package fixing part 300 includes a jig 310 which is a frame for fixing the semiconductor package SP and a package fixing assembly for inserting and fixing the semiconductor package SP to the jig 310. 350 is provided. In addition, the package fixing part 300 may further include a transfer means 319 which is responsible for transferring the semiconductor package SP in the package fixing part 300.

먼저, 상기 지그(310)에 대해 상세하게 살펴보면, 도 8a에 도시된 바와 같이 상기 지그(310)에는 직육면체 형상으로 형성되며, 내측에는 다수개의 관통된 슬릿(314)이 소정간격으로 배열되도록 형성된다. 상기 슬릿(314)은 가공을 위한 반도체 패키지(SP)가 삽입고정되기 위한 것이다. First, the jig 310 will be described in detail. As shown in FIG. 8A, the jig 310 has a rectangular parallelepiped shape, and a plurality of perforated slits 314 are arranged at predetermined intervals. . The slit 314 is for inserting and fixing the semiconductor package SP for processing.

또한, 상기 슬릿(314)은 상기 지그(310)를 관통하도록 형성되어, 상기 슬릿(314)에 삽입되는 반도체 패키지(SP)의 양측을 가공할 수 있도록 한다. 즉, 상기 가공 전의 반도체 패키지(SP)는 상기 지그(310)의 슬릿(314)에 삽입안착된 상태로, 아래의 가공부(500)로 이동되어 그라인딩되게 된다. In addition, the slits 314 are formed to penetrate the jig 310, so that both sides of the semiconductor package SP inserted into the slits 314 may be processed. That is, the semiconductor package SP before the processing is moved to the lower processing unit 500 in the state where the semiconductor package SP is inserted into the slit 314 of the jig 310 to be ground.

그리고, 상기 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 패키지 고정부(300)에는 상기 전달부(200)에서 상기 반도체 패키지(SP)를 제일 먼저 전달받는 턴테이블(302)이 마련된다. 상기 턴테이블(302)은 상기 전달부픽커 이송라인(202)과 직교되는 턴테이블 이송라인(304)을 따라 이동가능하도록 설치된다. 또한, 상기 턴테이블(302)은 회전가능하게 설치될 수 있다. As shown in FIG. 2, the package fixing part 300 is provided with a turntable 302 that receives the semiconductor package SP first from the transfer part 200. The turntable 302 is installed to be movable along the turntable transfer line 304 orthogonal to the transfer unit picker transfer line 202. In addition, the turntable 302 may be rotatably installed.

상기 턴테이블(302)은 회전가능하게 구성되는 것은 상기 제 1전달부 픽커 이송라인(202a) 및 제 2전달부 픽커 이송라인(202b)을 따라 이송되는 상기 반도체 패키지(SP)를 상기 지그(310)의 슬릿(314)형상과 가공부(500)의 블레이드(502)의 형상에 따라 상기 반도체 패키지(SP)의 방향에 맞게 적절하게 삽입될 수 있도록 하기 위함이다. 물론, 상기 지그(310)의 슬릿(314)형상 및 블레이드(502)의 형상에 따라서는 상기 턴테이블(302)이 회전할 필요가 없을 수도 있다. The turntable 302 is rotatably configured to the jig 310 to transport the semiconductor package SP along the first transfer unit picker transfer line 202a and the second transfer unit picker transfer line 202b. In order to be properly inserted according to the direction of the semiconductor package SP according to the shape of the slit 314 and the shape of the blade 502 of the processing unit 500. Of course, the turntable 302 may not need to rotate depending on the shape of the slit 314 of the jig 310 and the shape of the blade 502.

즉, 상기 블레이드(502)이 도 1에 도시된 바와 같은 경우에는 양날이 다른 형상을 하고 있지만, 양날이 동일한 형상을 하고 있는 경우에는 상기 반도체 패키지(SP)가 상기 전달부 픽커(204)에 의해 이송되는 방향으로 상기 지그(310)의 슬릿(314)에 삽입되면 되므로, 상기 턴테이블(302)의 회전이 필요 없게 될 수 있다.That is, when the blade 502 has a shape different from both blades as shown in FIG. 1, when the blades have the same shape, the semiconductor package SP is driven by the transfer part picker 204. Since it is inserted into the slit 314 of the jig 310 in the conveying direction, the rotation of the turntable 302 may be unnecessary.

한편, 상기 턴테이블(302) 및 상기 턴테이블 이송라인(304)은 다수개로 구성될 수 있으며, 본 발명에서는 2개로 구성된다. 상기 턴테이블(302) 및 턴테이블 이송라인(304)이 2개 이상으로 구비된 것은 작업공정의 효율을 위함이다. On the other hand, the turntable 302 and the turntable transfer line 304 may be composed of a plurality, in the present invention is composed of two. The turntable 302 and the turntable transfer line 304 is provided with two or more for the efficiency of the work process.

그리고, 상기 이송수단(319)으로 상기 턴테이블 이송라인(304)의 일단 상부에는 상기 턴테이블 이송라인(304)과 직교되는 고정부 픽커 이송라인(320)과, 상기 고정부 픽커 이송라인(320)을 따라 이동가능한 고정부 픽커(322)가 마련된다. A fixed part picker transfer line 320 orthogonal to the turntable transfer line 304 and the fixed part picker transfer line 320 are disposed at an upper end of the turntable transfer line 304 by the transfer means 319. A fixed portion picker 322 that is movable along is provided.

상기 고정부 픽커(322)는 상기 턴테이블(302)에 적재되어 있는 미가공 반도 체 패키지(SP)를 파지하여 패키지고정어셈블리(350)의 시트블럭(392)에 적재하고, 가공완료되어 시트블럭(392)에 적재된 반도체 패키지(SP)를 다시 상기 턴테이블(302)로 이송하는 역할을 한다. The fixed part picker 322 grips the raw semiconductor package SP mounted on the turntable 302, loads the loaded semiconductor picker onto the seat block 392 of the package fixing assembly 350, and finishes the sheet block 392. ) Serves to transfer the semiconductor package SP loaded on the back to the turntable 302.

도 3 및 4에 도시된 바와 같이 상기 고정부 픽커(322)에는 상기 반도체 패키지(SP)를 픽업하여 수직으로 이동가능하게 하는 픽업장치(324)가 마련된다. 상기 픽업장치(324)는 상기 반도체 패키지(SP)를 픽업하는 흡착수단(326)과, 상기 흡착수단(326)이 이동할 수 있도록 동력을 생성하는 구동수단(328)과, 상기 구동수단(328)으로부터 발생된 동력을 상기 흡착수단(326)으로 전달하는 연동유닛(330)으로 구성된다. As shown in FIGS. 3 and 4, the fixing part picker 322 is provided with a pickup device 324 that picks up the semiconductor package SP and moves vertically. The pick-up apparatus 324 includes suction means 326 for picking up the semiconductor package SP, driving means 328 for generating power to move the suction means 326, and the driving means 328. Consisting unit 330 for transmitting the power generated from the adsorption means (326).

먼저, 상기 흡착수단(326)은 진공에 의해 상기 반도체 패키지(SP)를 흡착할 수 있도록 하는 것으로서, 선단에는 흡착노즐(327)이 구비된다. 상기 흡착노즐(327)은 사용자의 필요에 따라 여러 줄로 이루어질 수 있으며, 시트블럭(392)의 형상에 대응되도록 상기 흡착노즐(327)이 배열됨이 바람직하고, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에서는 상기 흡착노즐(327)은 2개씩 2줄로 이루어짐이 바람직하다.First, the adsorption means 326 allows the semiconductor package SP to be adsorbed by vacuum, and an adsorption nozzle 327 is provided at the tip. The suction nozzle 327 may be formed in a number of lines according to the user's needs, it is preferable that the suction nozzle 327 is arranged to correspond to the shape of the seat block 392, as shown in FIG. In the present invention, it is preferable that the suction nozzles 327 consist of two rows of two.

그리고, 상기 흡착장치(327)에는 구동수단(328)이 구비되는데, 상기 구동수단(328)은 여러 동력원으로 채용가능하나, 본 발명에서는 모터로 구성된다. In addition, the adsorption device 327 is provided with a drive means 328, the drive means 328 can be employed as a number of power sources, in the present invention is composed of a motor.

그리고, 상기 구동수단(328)에서 발생된 동력을 상기 흡착수단(326)으로 전달하는 연동유닛(330)이 구비되는데, 본 발명에서는 상기 구동수단(328)이 모터로 구성되어 있으므로, 상기 구동수단(328)에서 발생된 회전운동을 상기 흡착수 단(326)의 직선운동으로 변환할 수 있는 구성으로 됨이 바람직하다. In addition, an interlocking unit 330 is provided to transfer the power generated by the driving means 328 to the adsorption means 326. In the present invention, the driving means 328 is constituted by a motor. Preferably, the rotational motion generated at 328 may be converted into a linear motion of the adsorption water stage 326.

상기 연동유닛(330)은, 상기 흡착수단(326)을 지지하는 지지바아(332), 상기 지지바아(332)의 일측에 연결되어 상기 흡착수단(326)이 이동가능하게 상기 흡착장치(326)에 지지된 가이드바(334), 상기 가이드바(334)에 형성된 랙기어(336), 상기 구동수단(328)의 회전축에 마련되어 상기 랙기어(336)와 맞물리는 피니언(338)으로 구성된다.The interlocking unit 330 is connected to one side of the support bar 332 supporting the adsorption means 326 and the support bar 332 so that the adsorption means 326 is movable to the adsorption device 326. The guide bar 334 is supported on, the rack gear 336 formed on the guide bar 334, the pinion 338 is provided on the rotating shaft of the drive means 328 and engaged with the rack gear 336.

상기 연동유닛(330)과 상기 흡착수단(326)의 구성을 보다 상세하게 설명하면, 상기 2개의 흡착노즐(327)은 지지바아(332)를 관통하여 흡착노즐(327)의 선단이 하방을 향하도록 설치된다. 그리고, 상기 가이드바(334)에는 랙기어(336)가 구비되어, 상기 구동수단(328)의 피니언(338)에 맞물려져 상기 구동수단(328)의 회전운동을 수직왕복운동으로 전환되게 된다. 물론, 상기 랙기어(336) 및 피니언(338) 대신에 상기 회전운동을 수직왕복운동으로 변환할 수 있는 구성이면 어느 것이라도 채용가능하다. The structure of the interlocking unit 330 and the adsorption means 326 will be described in more detail. The two adsorption nozzles 327 pass through the support bar 332 so that the tip of the adsorption nozzle 327 faces downward. To be installed. In addition, the guide bar 334 is provided with a rack gear 336, meshing with the pinion 338 of the drive means 328 is to convert the rotational movement of the drive means 328 to a vertical reciprocating motion. Of course, any configuration may be employed as long as the rack gear 336 and the pinion 338 can convert the rotational motion into a vertical reciprocating motion.

그리고, 상기 흡착장치(327)에는 보정유닛(340)이 마련된다. 상기 보정유닛(340)은, 상기 지지바아(332)의 일측에 고정되어 상기 가이드바(334)와 평행하게 배치되는 보정바(342), 상기 보정바(342)를 탄성지지하는 탄성부재(344)로 구성된다. The adsorption device 327 is provided with a correction unit 340. The correction unit 340 is fixed to one side of the support bar 332, the correction bar 342 disposed in parallel with the guide bar 334, the elastic member 344 to elastically support the correction bar 342 It consists of

상기 보정유닛(340)은 상기 랙기어(336)와 피니언(338)이 맞물려져 회전할 때, 각각 기어 사이의 유격으로 인한 운동전달 차이 예를 들면 위치오차가 발생하는 현상이 발생하는 것을 방지하기 위한 역할을 한다. When the rack gear 336 and the pinion 338 are rotated when the rack gear 336 is engaged, the correction unit 340 prevents the occurrence of a movement error difference, for example, a position error, due to the play between the gears, respectively. Play a role.

다음으로, 상기 고정용 픽커(322)에 의해 이송된 반도체 패키지(SP)를 지그(310)에 고정하는 반도체 패키지 고정어셈블리(350)가 마련된다.Next, a semiconductor package fixing assembly 350 for fixing the semiconductor package SP transferred by the fixing picker 322 to the jig 310 is provided.

상기 반도체 패키지 고정어셈블리 (350)는 도 5a를 참조하여 설명한다. 상기 반도체 패키지 고정어셈블리(350)는 지그(310)를 고정하는 지그홀더(376)가 마련되는 몸체유닛(360), 상기 지그(310)로 상기 반도체 패키지(SP)를 삽입하는 제 1푸시유닛(390), 상기 지그(310)에서 상기 반도체 패키지(SP)를 탈거시키는 제 2푸시유닛(400) 및 상기 지그(310)에 반도체 패키지(SP)가 용이하게 삽입고정되도록 상기 지그홀더(376)을 이동시키는 연동유닛(370)으로 구성될 수 있다. The semiconductor package fixing assembly 350 will be described with reference to FIG. 5A. The semiconductor package fixing assembly 350 may include a body unit 360 having a jig holder 376 fixing the jig 310 and a first push unit inserting the semiconductor package SP into the jig 310. 390, the second push unit 400 which removes the semiconductor package SP from the jig 310, and the jig holder 376 such that the semiconductor package SP is easily inserted into and fixed to the jig 310. It may be configured as a linking unit 370 to move.

먼저, 상기 반도체 패키지 고정어셈블리(350)의 몸체유닛(360)은 바닥을 구성하는 수평부재(362)와, 상기 수평부재(362)에 직교되는 수직부재(364)로 구성된다. 상기 수평부재(362)와 수직부재(364) 사이에는 연동유닛(370)이 마련된다. First, the body unit 360 of the semiconductor package fixing assembly 350 includes a horizontal member 362 constituting a bottom and a vertical member 364 orthogonal to the horizontal member 362. An interlocking unit 370 is provided between the horizontal member 362 and the vertical member 364.

상기 연동유닛(370)은 상기 수평부재(362)를 따라 슬라이딩 가능한 수평연동수단(372)과, 상기 수직부재(364)를 따라 슬라이딩 가능한 수직연동수단(374)으로 구성된다. 또한, 상기 수평연동수단(372)과 상기 수직연동수단(374)의 사이에는 지그홀더(376)가 마련된다. 상기 지그홀더(376)는 상기 지그(310)를 고정하는 역할을 한다. The interlocking unit 370 includes horizontal interlocking means 372 slidable along the horizontal member 362 and vertical interlocking means 374 slidable along the vertical member 364. In addition, a jig holder 376 is provided between the horizontal interlocking means 372 and the vertical interlocking means 374. The jig holder 376 serves to fix the jig 310.

상기 지그홀더(376)의 일단은 상기 수직연동수단(374)의 상단에 힌지로 결합되어, 상기 지그홀더(376)는 상기 수직연동수단(374)의 상단을 중심으로 회동가능하게 된다. 그리고, 상기 지그홀더(376)는 그 측면을 따라 가이드홈(378)이 마련된다.One end of the jig holder 376 is hinged to the upper end of the vertical interlocking means 374, so that the jig holder 376 is rotatable about the upper end of the vertical interlocking means 374. In addition, the jig holder 376 is provided with a guide groove 378 along its side.

그리고, 상기 수평연동수단(372)의 양측은 상기 지그홀더(376)를 지지할 수 있도록 양측벽(373)으로 형성되고, 상기 양측벽(373)의 상단에는 회동축(380)이 내측방향으로 마주보도록 마련된다. 상기 수평연동수단(372)의 회동축(380)이 상기 지그홀더(376)의 가이드홈(378)을 따라 도 5a 내지 5d 와 같이 동작할 수 있게 된다. 또한, 상기 회동축(380)에는 상기 가이드홈(378)과 구동을 용이하게 하기 위해 롤러(미도시)가 더 구비될 수 있다. In addition, both sides of the horizontal interlocking means 372 are formed with both side walls 373 so as to support the jig holder 376, and a rotation shaft 380 is formed at an upper end of both side walls 373 in the inward direction. It is arranged to face each other. The rotation shaft 380 of the horizontal interlocking means 372 can operate as shown in FIGS. 5A to 5D along the guide groove 378 of the jig holder 376. In addition, the rotation shaft 380 may be further provided with a roller (not shown) to facilitate the driving with the guide groove 378.

그리고, 상기 수평부재(362)와 수평연동수단(372), 상기 수직부재(364)와 수직연동수단(374) 사이에는 각각 슬라이딩 가능한 구조이면 어떤 구조든지 적용가능하며, 예를 들면, 일측에는 가이드홈이 형성되고, 타측에는 가이드돌기가 구비되어 서로 슬라이딩될 수 있다. 물론, 상기 수평연동수단(372) 및 상기 수직연동수단(374)에 각각 제 1모터 및 제 2모터가 별개로 구비되어 각각 별도로 슬라이딩 가능하게 구동될 수 있다.In addition, any structure can be applied as long as the structure is slidable between the horizontal member 362 and the horizontal interlocking means 372, the vertical member 364 and the vertical interlocking means 374, for example, on one side of the guide. Grooves are formed, and the other side is provided with a guide protrusion may slide with each other. Of course, the first motor and the second motor are separately provided in the horizontal interlocking means 372 and the vertical interlocking means 374, respectively, so that they can be slidably driven separately.

또한, 도 5c에 도시된 바와 같이, 상기 지그홀더(376)가 수직으로 세워졌을 때, 상기 지그홀더(376)가 유동되지 않도록 고정시키는 지그홀더고정유닛(384)이 마련될 수 있다. In addition, as illustrated in FIG. 5C, when the jig holder 376 is erected vertically, a jig holder fixing unit 384 may be provided to fix the jig holder 376 so as not to flow.

상기 지그홀더고정유닛(384)은 상기 수직연동수단(374)에서 상대적으로 하방에 마련된다. 상기 지그홀더고정유닛(384)은 상기 수직연동수단(374)에 수직으로 돌출된 몸체(385a)에서 하방으로 요입된 홈(385b)의 내측에 탄성부재(385c) 예를 들면 스프링이 마련될 수 있다.The jig holder fixing unit 384 is provided relatively downward from the vertical interlocking means 374. The jig holder fixing unit 384 may be provided with an elastic member 385c, for example, a spring inside the groove 385b recessed downward from the body 385a protruding perpendicularly to the vertical interlocking means 374. have.

그리고, 상기 탄성부재(385c)의 선단에는 상기 홈(385b)을 따라 슬라이딩되 는 돌기(385d)가 마련된다. 즉, 상기 돌기(385d)가 상기 탄성부재(385c)에 의해 탄성지지되어 상기 돌기(385d)의 선단이 외부로 노출되도록 구성된다. A protrusion 385d sliding along the groove 385b is provided at the front end of the elastic member 385c. That is, the protrusion 385d is elastically supported by the elastic member 385c so that the tip of the protrusion 385d is exposed to the outside.

한편, 상기 지그홀더(376)가 도 5c에 도시된 바와 같이 수직으로 세워졌을 때, 하방에는 상기 지그홀더고정유닛(384)에 대응되도록 걸림홈(386)이 마련된다. 상기 걸림홈(386)은 바람직하게는 상기 지그홀더고정유닛(384)의 돌기(385d)의 선단에 맞물리게 위치될 수 있다. 이는 상기 걸림홈(386)이 상기 돌기(385d)에 맞물려져 상기 지그홀더(376)가 유동되지 않도록 하기 위함이다. Meanwhile, when the jig holder 376 is erected vertically as shown in FIG. 5C, a locking groove 386 is provided below to correspond to the jig holder fixing unit 384. The locking groove 386 may be preferably engaged with the tip of the protrusion 385d of the jig holder fixing unit 384. This is to prevent the jig holder 376 from flowing because the locking groove 386 is engaged with the protrusion 385d.

상기 도 6a에 도시된 바와 같이, 상기 지그홀더(376)의 내부에는 지그안착공(382)이 마련된다. 상기 지그안착공(382)은 상기 지그(310)의 외형에 대응되게 형성된다. 그리고, 상기 지그안착공(382) 내부에는 진공으로 상기 지그(310)를 흡착하도록 지그흡착공(미도시)이 형성되어, 지그(310)가 상기 지그안착공(382)에 고정될 수 있도록 하도록 구성된다. 상기 지그안착공(382)에 지그(310)가 걸어지는 구조는 당업자의 수준에서 여러가지로 구성될 수 있다.As shown in FIG. 6A, a jig seating hole 382 is provided in the jig holder 376. The jig seating hole 382 is formed to correspond to the outer shape of the jig 310. In addition, a jig suction hole (not shown) is formed in the jig seating hole 382 so as to suck the jig 310 by vacuum, so that the jig 310 can be fixed to the jig seating hole 382. It is composed. The jig 310 hangs on the jig seating hole 382 may be configured in various ways at the level of those skilled in the art.

예를 들면, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 지그홀더(376)의 지그안착공(382) 내측면에는 상기 지그(310)가 안착될 때, 상기 지그(310)가 상기 지그안착공(382)에 고정되도록 가고정부재(533)가 마련될 수 있다. 상기 가고정부재(533)는 상기 지그홀더(376)의 내측에 소정의 공간이 형성되어 상기 공간을 슬라이딩가능한 걸림돌기(533a)가 마련되고, 상기 걸림돌기(533a)를 탄성지지하는 스프링(533b)으로 구성될 수 있다. 그리고, 상기 지그(310)의 외측면에는 상기 가고정부재(533)의 걸림돌기(533a)가 걸어질 수 있는 걸림홈(310a)이 마련될 수 있다. 이는 물론, 아 래에서 설명될 위치변경장치(520)에 구성될 수도 있다. For example, as shown in FIG. 9, when the jig 310 is seated on the inner surface of the jig seating hole 382 of the jig holder 376, the jig 310 is the jig seating hole 382. The temporary fixing member 533 may be provided to be fixed to). The temporary fixing member 533 has a predetermined space formed inside the jig holder 376 and is provided with a locking protrusion 533a which is capable of sliding the space, and a spring 533b elastically supporting the locking protrusion 533a. It can be composed of). In addition, a locking groove 310a through which the locking protrusion 533a of the temporary fixing member 533 may be hooked may be provided on the outer surface of the jig 310. Of course, it may be configured in the position change device 520 to be described below.

그리고, 상기 지그홀더(376)에는 상기 지그(310)의 슬릿(314)의 폭을 조절하는 지그클램핑유닛(387)이 마련된다. 상기 지그클램핑유닛(387)은 상기 지그(310)의 슬릿(314)의 폭을 조절하여 상기 슬릿(314)의 내부로 삽입되는 상기 반도체 패키지(SP)가 용이하게 삽입 및 배출되고, 또는 상기 반도체 패키지(SP)가 상기 슬릿(314) 내부에 유동되지 않고 안정적으로 고정되도록 하기 위한 역할을 한다. The jig holder 376 is provided with a jig clamping unit 387 for adjusting the width of the slit 314 of the jig 310. In the jig clamping unit 387, the semiconductor package SP inserted into the slit 314 is easily inserted and discharged by adjusting the width of the slit 314 of the jig 310 or the semiconductor. The package SP serves to fix the slit 314 stably without flowing.

상기 지그클램핑유닛(387)은, 상기 지그(310)의 슬릿(314)을 조절하는 이동부재(387a)와, 상기 이동부재(387a)를 구동시키는 구동부재(387b)를 포함하여 구성될 수 있다. The jig clamping unit 387 may include a moving member 387a for adjusting the slit 314 of the jig 310 and a driving member 387b for driving the moving member 387a. .

그리고, 상기 이동부재(387a)는 일단이 상기 구동부재(387b)의 선단에 위치하고, 타단은 상기 지그(310)의 조절공(316) 내부에 안착되도록 구성할 수 있다. 이는 도 6b 및 도 6c의 확대도면에 도시된 바와 같이, 구성되어, 상기 지그(310)의 조절부(315)의 조절공(316) 내부에 삽입되어, 상기 조절부(315)를 이동시킬 수 있도록 한다. In addition, one end of the movable member 387a may be positioned at the front end of the driving member 387b, and the other end thereof may be seated in the control hole 316 of the jig 310. As shown in the enlarged view of FIGS. 6B and 6C, it is configured to be inserted into the adjusting hole 316 of the adjusting unit 315 of the jig 310 to move the adjusting unit 315. Make sure

그리고, 상기 구동부재(387b)는 상기 이동부재(387a)를 이동시킬 수 있는 구성이면 어느 것이라도 채용가능하며, 본 발명에서는 그 예로 실린더를 구성하고 있다. 한편, 상기 지그(310)의 내부에는 상기 구동부재(387b)가 동력을 제공하는 방향과 반대방향으로 탄성지지하는 탄성부재(317)가 마련될 수 있다. 이는 상기 구동부재(387b)의 구동에 의해, 상기 이동부재(387a)가 이동하여, 상기 지그(310)의 조절부(315)가 이동한 경우, 이를 반대방향으로 원상회복할 수 있도록 탄성지지하기 위함이다. The drive member 387b can adopt any structure as long as it can move the moving member 387a. In the present invention, a cylinder is formed as an example. On the other hand, the jig 310 may be provided with an elastic member 317 that elastically supports in a direction opposite to the direction in which the driving member 387b provides power. When the moving member 387a is moved by the driving member 387b, and the adjusting unit 315 of the jig 310 is moved, it is elastically supported so that it can be restored in the opposite direction. For sake.

그리고, 상술한 바와 같이, 상기 패키지고정어셈블리(350)에는 제 1푸시유닛(390)이 마련된다. 상기 제 1푸시유닛(390)은 상기 수평부재(362) 상에 상기 수평연동수단(372)과는 별개로 슬라이딩가능하도록 설치된다. As described above, the package fixing assembly 350 is provided with a first push unit 390. The first push unit 390 is installed on the horizontal member 362 so as to be slidable separately from the horizontal interlocking means 372.

상기 제 1푸시유닛(390)은, 제 1푸시몸체(397)와, 상기 수평부재(362)에 평행하게 설치되어, 상기 제 1푸시몸체(397)가 이동가능하도록 하는 제 1가이드(395)와, 상기 제 1푸시몸체(397)의 선단에 구비되어 상기 반도체 패키지(SP)가 안착되는 시트블럭(392)과, 상기 시트블럭(392)의 상면과 같은 높이로 수평으로 이동가능한 제 1푸시(398)를 포함하여 구성된다. The first push unit 390 is installed in parallel with the first push body 397 and the horizontal member 362, so that the first guide body 397 is movable. And a first block provided at the front end of the first push body 397 and horizontally movable at the same height as the upper surface of the seat block 392 and the seat block 392 on which the semiconductor package SP is seated. 398.

상기 제 1푸시유닛(390)의 몸체의 선단에는 시트블럭(392)이 구비된다. 상기 시트블럭(392)은 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 반도체 패키지(SP)를 안착시켜 상기 지그(310)의 슬릿(314)에 제 1푸시(398)에 의해 용이하게 삽입되도록 가이드하는 역할을 한다. A seat block 392 is provided at the front end of the body of the first push unit 390. As shown in FIG. 7, the seat block 392 seats the semiconductor package SP to guide the sheet block 392 to be easily inserted into the slit 314 of the jig 310 by the first push 398. Do it.

상기 시트블럭(392)의 상면에는 요입된 안착부(394)가 마련된다. 상기 안착부(394)는 상기 반도체 패키지(SP)가 그 상면에 위치되고, 상기 슬릿(314)으로 정확하게 삽입되도록 가이드하는 역할을 한다. A recessed seating portion 394 is provided on an upper surface of the seat block 392. The seating portion 394 guides the semiconductor package SP to be positioned on an upper surface of the mounting portion 394 and to be accurately inserted into the slit 314.

또한, 도 7에 도시된 바와 같이 본 발명에서는 상기 시트블럭(392)이 단차지도록 형성되어, 즉 상면이 2층구조로 형성된다. 각각에 제 1안착부(394a) 및 제 2안착부(394b)가 형성되어, 동시에 2개의 상기 반도체 패키지(SP)를 상기 지그(310)의 슬릿(314)으로 삽입할 수 있도록 함이 바람직하다. 물론, 사용자의 필요에 따라 상기 시트블럭(392)을 여러층으로 단차지도록 형성할 수 있다. In addition, as shown in FIG. 7, the seat block 392 is formed to be stepped, that is, the upper surface is formed in a two-layer structure. Each of the first seating portion 394a and the second seating portion 394b is preferably formed so that two semiconductor packages SP can be simultaneously inserted into the slit 314 of the jig 310. . Of course, the seat block 392 may be formed to be stepped into several layers according to a user's needs.

그리고, 상기 제 1안착부(394a) 및 제 2안착부(394b)에는 각각 에어홀(396)이 마련된다. 상기 에어홀(396)은 진공원으로부터 공기가 흡착되어, 상기 제 1안착부(394a) 및 제 2안착부(394b) 상에 안착되는 상기 반도체 패키지(SP)가 정확하고 안정적으로 위치되도록 한다.In addition, an air hole 396 is provided in each of the first seating portion 394a and the second seating portion 394b. Air is adsorbed from the vacuum source to the air hole 396 so that the semiconductor package SP seated on the first seating portion 394a and the second seating portion 394b is accurately and stably positioned.

상기 제 1안착부(394a) 및 제 2안착부(394b)의 일단에는 스톱퍼(393)가 마련된다. 상기 스톱퍼(393)는 상기 각각의 안착부(394a, 394b)로 이동되는 상기 반도체 패키지(SP)가 상기 안착부(394a, 394b) 밖으로 이동하는 것을 방지하여, 상기 안착부(394a, 394b)에 안정적으로 안착되도록 하는 역할을 한다. A stopper 393 is provided at one end of the first seating portion 394a and the second seating portion 394b. The stopper 393 prevents the semiconductor package SP, which is moved to each of the seating portions 394a and 394b, from moving out of the seating portions 394a and 394b, thereby preventing the semiconductor package SP from moving to the seating portions 394a and 394b. It plays a role to ensure stable seating.

여기서, 상기 제 1안착부(394a)에 마련되는 스톱퍼는 제 1스톱퍼(393a)이고, 상기 제 2안착부(394b)에 마련되는 스톱퍼는 제 2스톱퍼(393b)로 구분될 수 있다. Here, the stopper provided in the first seating portion 394a may be a first stopper 393a, and the stopper provided in the second seating portion 394b may be divided into a second stopper 393b.

또한, 상기 시트블럭(392)은 수평으로 이동가능하도록 구성될 수 있다. 즉, 상기 지그(310)의 슬릿(314)에 상기 시트블럭(392)의 각각의 안착부(394)가 대향되도록 하기 위하여 수평으로 이동가능하게 구성된다. In addition, the seat block 392 may be configured to be movable horizontally. That is, the seating portion 394 of the seat block 392 is configured to be movable horizontally so as to face the slit 314 of the jig 310.

상기 시트블럭(392)의 일측 즉 상기 지그홀더(376)의 반대 방향으로는 제 1푸시(398)가 마련된다. 상기 제 1푸시(398)는 상기 제 1푸시몸체(397)을 따라 수평으로 슬라이딩가능하도록 구성된다. 물론, 상기 제 1푸시(398)를 슬라이딩가능하게 하는 모터(미도시)가 별도로 구비될 수 있다.A first push 398 is provided on one side of the seat block 392, that is, in the direction opposite to the jig holder 376. The first push 398 is configured to slide horizontally along the first push body 397. Of course, a motor (not shown) for sliding the first push 398 may be provided separately.

상기 제 1푸시(398)의 선단은 도 5a에 도시된 바와 같이, 2층으로 형성된다. 상기 2층으로 형성된 상기 제 1푸시(398)의 선단은 상기 2층으로 단차진 시트블 럭(392)의 제 1안착부(394a) 및 제 2안착부(394b) 각각에 적재된 상기 반도체 패키지(SP)를 동시에 상기 지그(310)의 슬릿(314)에 삽입가능하게 한다. The tip of the first push 398 is formed in two layers, as shown in FIG. 5A. The front end of the first push 398 formed of the two layers is the semiconductor package mounted on each of the first seating portion 394a and the second seating portion 394b of the seat block 392 stepped into the two layers. (SP) can be inserted into the slit 314 of the jig 310 at the same time.

한편, 상기 제 1푸시유닛(390)의 맞은편에는 상기 제 1푸시유닛(390)과 대응되도록 제 2푸시유닛(400)이 마련된다. On the other hand, the second push unit 400 is provided on the opposite side of the first push unit 390 to correspond to the first push unit 390.

상기 제 2푸시유닛(400)은 상기 제 1푸시(398)와 평행하게 이동가능한 제 2푸시(402)와, 상기 제 2푸시(402)가 이동가능하도록 하방에서 가이드하는 제 2가이드(404)를 포함하여 구성된다. The second push unit 400 includes a second push 402 movable in parallel with the first push 398 and a second guide 404 guiding downward to move the second push 402. It is configured to include.

상기 제 2푸시유닛(400)에는 상기 제 1푸시(398)와 마찬가지로 제 2푸시(402)가 상기 제 2가이드(404)를 따라 상기 제 1푸시(398)와 같은 높이로 수평 슬라이딩가능하게 구비된다. 물론, 상기 제 2푸시(402)를 슬라이딩가능하게 하는 모터(미도시)가 별개로 구비될 수 있다. Similar to the first push 398, the second push unit 400 is provided with a second push 402 to be horizontally slid along the second guide 404 at the same height as the first push 398. do. Of course, a motor (not shown) for sliding the second push 402 may be provided separately.

상기 제 2푸시(402)는 도면상에서 우측에서 좌측으로 이동하면서 상기 지그(310)의 슬릿(314)에 적재되어 있던 상기 반도체 패키지(SP)를 상기 시트블럭(392)의 안착부(394)로 이동시키는 역할을 한다. The second push 402 moves from the right side to the left side in the drawing and transfers the semiconductor package SP, which is loaded in the slit 314 of the jig 310, to the seating portion 394 of the seat block 392. It serves to move.

따라서, 상기 제 2푸시(402)의 선단은 도 5a에 도시된 바와 같이, 상기 제 1푸시(398)의 선단과는 상이하게 길이를 달리하고 있다. 상기 제 2푸시(402)의 선단의 길이가 다른 것은 상기 시트블럭(392)의 제 1안착부(394a)와 제 2안착부(394b)의 거리차이를 보완하기 위함이다. 바람직하게는, 상기 제 1안착부(394a)의 크기 만큼의 차이가 보완되어야 할 것이다.Accordingly, the tip of the second push 402 is different in length from the tip of the first push 398 as shown in FIG. 5A. The length of the tip of the second push 402 is different to compensate for the distance difference between the first seating portion 394a and the second seating portion 394b of the seat block 392. Preferably, the difference by the size of the first seating portion 394a should be compensated for.

또한, 도 5d를 참조하여 설명하면, 상기 제 1푸시(398)에 의해 상기 지 그(310)의 슬릿(314)에 반도체 패키지(SP)가 삽입되면, 상기 제 1푸시(398)는 상기 슬릿(314)에서 이탈하고, 상기 지그홀더(376)의 수직이동을 담당하는 수직연동수단(374)은 상기 제 1푸시(398)의 이동경로 상에 비워있는 슬릿(314)이 위치하도록 상방 또는 하방으로 이동시키게 된다. 물론, 상기 제 2푸시(402)에 의해 상기 슬릿(314)에서 반도체 패키지(SP)가 제거될 때도 상술한 바와 같은 동작이 역으로 이루어지게 된다. In addition, referring to FIG. 5D, when the semiconductor package SP is inserted into the slit 314 of the jig 310 by the first push 398, the first push 398 is the slit. The vertical interlocking means 374, which is separated from the 314 and is responsible for the vertical movement of the jig holder 376, is upward or downward so that the slit 314, which is emptied on the movement path of the first push 398, is positioned. Will be moved to. Of course, the above operation is reversed when the semiconductor package SP is removed from the slit 314 by the second push 402.

다음으로, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 패키지 고정부(300)에서 상기 지그(310)에 삽입고정된 상기 반도체 패키지(SP)를 그라인딩하기 위한 가공부(500)를 설명한다. Next, as illustrated in FIG. 1, the processing unit 500 for grinding the semiconductor package SP inserted into and fixed to the jig 310 in the package fixing unit 300 will be described.

상기 가공부(500)에는 가공을 위한 블레이드(502)와, 상기 지그(310)가 안착되어 회전가능하게 구성되는 척테이블(504)과, 상기 척테이블(504)이 상기 블레이드(502)로 이송가능하게 하는 척테이블 이송라인(506) 및 상기 지그(310)를 회전시켜 상하면을 바꾸는 위치변경장치(520)를 포함하여 구성된다. The processing unit 500 includes a blade 502 for processing, a chuck table 504 configured to be rotatable by mounting the jig 310, and the chuck table 504 is transferred to the blade 502. It is configured to include a chuck table transfer line 506 and the position change device 520 to rotate the jig 310 to change the upper and lower surfaces.

상기 가공부(500)에는 가공부픽커(508)와 가공부 픽커 이송라인(509)이 구비되며, 상기 가공부 픽커(508)는 상기 반도체 패키지(SP)가 삽입된 지그(310)를 픽업하여, 상기 가공부 픽커 이송라인(509)을 따라 이동하면서, 상기 척테이블(504)로 전달하는 역할을 한다. The processing unit 500 is provided with a processing unit picker 508 and a processing unit picker transfer line 509, and the processing unit picker 508 picks up a jig 310 into which the semiconductor package SP is inserted. , While moving along the processing unit picker transfer line 509, serves to transfer to the chuck table 504.

상기 가공부 픽커(508)의 이동경로의 하방에는 척테이블(504)이 마련된다. 상기 척테이블(504)은 수직축을 중심으로 회전가능하고, 상기 가공부 픽커 이송라인(504)에 평행한 척테이블 이송라인(506)을 따라 블레이드(502)로 이동가능하게 설치된다. The chuck table 504 is provided below the moving path of the processing unit picker 508. The chuck table 504 is rotatable about a vertical axis and is installed to be movable to the blade 502 along the chuck table transfer line 506 parallel to the processing unit picker transfer line 504.

그리고, 상기 척테이블(504)에는 상기 반도체 패키지(SP)가 고정된 지그(310)가 상부에 안착되게 되는데, 상기 지그(310)의 일측 즉 상기 지그(310)의 상면을 가공하고 나면, 그 하면을 가공할 필요가 있게 되는데, 이때, 위치변경장치(520)가 상기 지그(310)를 고정시켜 수평축을 중심으로 회전시켜 하면과 상면의 위치를 바꾸게 된다. In addition, a jig 310 to which the semiconductor package SP is fixed is seated on an upper portion of the chuck table 504. After processing one side of the jig 310, that is, the top surface of the jig 310, It is necessary to process the lower surface, at this time, the position changing device 520 is fixed to the jig 310 to rotate about the horizontal axis to change the position of the lower surface and the upper surface.

이하, 도 8a 및 8b를 참조하여 본 발명인 상기 위치변경장치의 제 1실시예를 상세하게 설명한다. Hereinafter, a first embodiment of the position change device of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 8A and 8B.

상기 위치변경장치(520)에는 반도체 패키지(SP)가 삽입된 지그(310)를 고정하는 지그고정수단(530)과, 상기 지그고정수단(530)을 회동시키는 회전수단(540)이 마련된다. 상기 위치변경장치(520)는 상기 지그(310)에 삽입된 반도체 패키지(SP)를 가공하는 과정에서 상기 반도체 패키지(SP)의 양단을 가공해야 되므로, 상기 지그(310)를 회전시키는 역할을 한다. The position changing device 520 is provided with jig fixing means 530 for fixing the jig 310 into which the semiconductor package SP is inserted, and rotation means 540 for rotating the jig fixing means 530. The position changing device 520 rotates the jig 310 because both ends of the semiconductor package SP must be processed in the process of processing the semiconductor package SP inserted into the jig 310. .

상기 지그고정수단(530)에는, 상기 내부에 소정의 공간이 형성되어, 상기 반도체 패키지(SP)가 삽입된 지그(310)를 고정하는 지그안착공간(531)이 마련된 프레임(532)이 구비된다. 상기 지그안착공간(531)은 상기 지그(510)의 형상에 대응되도록 사각형의 틀로 형성됨이 바람직하며, 상기 프레임(532)도 사각형으로 형성될 수 있다. The jig fixing means 530 is provided with a frame 532 in which a predetermined space is formed, and a jig seating space 531 for fixing the jig 310 into which the semiconductor package SP is inserted is provided. . The jig seating space 531 is preferably formed in a rectangular frame to correspond to the shape of the jig 510, the frame 532 may also be formed in a square.

그리고, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(532)의 내측면에는 상기 지그(310)가 안착될 때, 상기 지그(310)가 상기 프레임(532)의 지그안착공간(531)에 가고정되도록 가고정부재(533)가 마련된다. 상기 가고정부재(533)는 상기 프레임(532) 내측에 소정의 공간이 형성되어 상기 공간을 슬라이딩가능한 걸림돌기(533a)가 마련되고, 상기 걸림돌기(533a)를 탄성지지하는 스프링(533b)으로 구성될 수 있다. As shown in FIG. 9, when the jig 310 is seated on the inner surface of the frame 532, the jig 310 temporarily fixes to the jig seating space 531 of the frame 532. The temporary fixing member 533 is provided so as to. The temporary fixing member 533 is a predetermined space is formed inside the frame 532 is provided with a locking projection (533a) that is capable of sliding the space, the spring 533b for elastically supporting the locking projection (533a). Can be configured.

그리고, 상기 지그(310)의 외측면에는 상기 가고정부재(533)의 걸림돌기(533a)가 걸어질 수 있는 걸림홈(310a)이 마련될 수 있다. 물론, 상술한 바는 상기 프레임(532)의 지그안착공간(531)에 상기 지그(310)를 가고정하는 방식에 대해 설명하고 있지만, 당업자의 수준에서 다른 방식을 적용할 수도 있다. In addition, a locking groove 310a through which the locking protrusion 533a of the temporary fixing member 533 may be hooked may be provided on the outer surface of the jig 310. Of course, the above-described method for temporarily fixing the jig 310 to the jig seating space 531 of the frame 532, but other methods may be applied at the level of those skilled in the art.

또한, 상기 지그(310)의 각 모서리(310b)는 테이퍼지도록 형성될 수 있다. 이는 아래에서 설명될 상기 지그(310)를 고정하는 고정유닛(534)의 고정슬릿(536)에 안착될 때, 안정적으로 삽입되도록 하기 위함이다. In addition, each edge 310b of the jig 310 may be formed to be tapered. This is to ensure a stable insertion when seated in the fixing slit 536 of the fixing unit 534 for fixing the jig 310 to be described below.

상기 프레임(532)의 양단에는 상기 지그(310)가 지그안착공간(531)에 안착되었을 때, 상기 지그(310)가 상기 지그안착공간(531)에서 이탈되지 않도록 고정시키는 고정유닛(534)이 마련된다. At both ends of the frame 532, when the jig 310 is seated in the jig seating space 531, a fixing unit 534 is fixed to prevent the jig 310 from being separated from the jig seating space 531. Prepared.

그리고, 상기 고정유닛(534)은, 상기 프레임(532)의 양단에 구비되어 상기 프레임(532)의 길이방향을 따라 이동하면서 상기 지그(310)의 양단을 고정할 수 있도록 고정슬릿(536)이 내측에 마련되는 고정부재(537)와, 상기 고정부재(537)를 상기 프레임(532)의 길이방향으로 이동가능하게 하는 이동부재(538)가 마련된다. In addition, the fixing unit 534 is provided at both ends of the frame 532, the fixing slit 536 is fixed to both ends of the jig 310 while moving along the longitudinal direction of the frame 532. A fixing member 537 provided inside and a moving member 538 for moving the fixing member 537 in the longitudinal direction of the frame 532 are provided.

상기 고정부재(537)는 상기 지그(310)를 상기 지그안착공간(531)에서 이탈되지 않도록 고정시킬 수 있으면, 하나로 구성되어도 상관없으나, 한 쌍으로 구성됨 이 바람직하며, 서로 마주보는 방향으로 이동가능하게 구성될 수 있다. 또한, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 고정슬릿(536)은 상기 지그(310)의 양단 즉 상기 지그(310)의 각 모서리(310b)가 삽입되도록, 상기 모서리(310b)의 형상에 대응되도록 형성될 수 있다. If the fixing member 537 can fix the jig 310 so as not to be separated from the jig seating space 531, the fixing member 537 may be configured as one, but may be configured as a pair, and may move in a direction facing each other. Can be configured. In addition, as shown in FIG. 9, the fixing slit 536 corresponds to the shape of the edge 310b such that both ends of the jig 310, that is, each edge 310b of the jig 310, are inserted. Can be formed.

한편, 상기 이동부재(538)는 상기 고정부재(537)에 각각 구비될 수 있다. 상기 이동부재(538)는 상기 고정부재(537)를 이동시킬 수 있는 구성이면 상관이 없으나, 직선왕복운동을 할 수 있는 부재여야 한다. 본 발명에서는 상기 이동부재(538)가 실린더로 구성될 수 있다.On the other hand, the moving member 538 may be provided in the fixing member 537, respectively. The moving member 538 may be a member capable of moving the fixing member 537, but should be a member capable of linear reciprocating motion. In the present invention, the moving member 538 may be configured as a cylinder.

또한, 상기 이동부재(538)는 상기 고정부재(537)의 양단에 한 쌍으로 구비되어 있으며, 이는 상기 고정부재(537)를 안정적으로 상기 지그안착공간(531) 방향으로 이동할 수 있도록 하기 위함이다. In addition, the movable member 538 is provided in pairs at both ends of the fixing member 537, which is to allow the fixing member 537 to stably move in the direction of the jig seating space 531. .

그리고, 상기 위치변경장치(520)의 회전수단(540)은, 상기 지그고정유닛(530)의 일측에 구비되어 직선운동하는 구동부재(542)와, 상기 구동부재(542)의 직선운동을 상기 지그고정수단(530)이 회전할 수 있도록 회전운동으로 변환시키는 연동유닛(544)으로 구성된다. In addition, the rotation means 540 of the position changing device 520 is provided on one side of the jig fixing unit 530 and the linear motion of the drive member 542 and the drive member 542 is linear The jig fixing means 530 is composed of an interlocking unit 544 to convert to a rotational movement so as to rotate.

도 8a에 도시된 바를 참조하면 상기 구동부재(542)는 상기 위치변경장치(520)의 일측에 구비되어, 에어실린더로 구성되어 직선왕복운동을 할 수 있다. 그리고, 상기 구동부재(542)의 직선운동을 상기 지그고정수단(530)의 회전운동을 변환하도록 연동유닛(544)이 마련된다. Referring to FIG. 8A, the driving member 542 may be provided at one side of the position change device 520 to be configured as an air cylinder to perform a linear reciprocating motion. Then, the interlocking unit 544 is provided to convert the linear movement of the driving member 542 to the rotational movement of the jig fixing means 530.

상기 연동유닛(544)은, 상기 구동부재(542)에 결합되어, 상기 구동부재(542) 의 에어실린더 운동할 때, 함께 직선운동하는 랙(546)과, 상기 지그고정수단(530)의 회전축에 결합되어 상기 랙(546)과 맞물려져 회전하는 피니언(548)으로 구성된다. 즉, 상기 랙(546)과 피니언(548)에 의해 상기 구동부재(542)의 직선운동이 상기 지그고정수단(530)의 회전운동으로 변환하게 된다. The interlocking unit 544 is coupled to the driving member 542, the rack 546 linearly moving together when the air cylinder of the driving member 542 moves, and the rotating shaft of the jig fixing unit 530. It is composed of a pinion 548 that is coupled to and engaged with the rack 546 and rotates. That is, the linear motion of the driving member 542 is converted into the rotational motion of the jig fixing means 530 by the rack 546 and the pinion 548.

물론, 상기 회전수단(540)이 구동부재(542)와, 상기 구동부재(542)의 직선운동을 회전운동으로 변환하는 연동유닛(544)으로 구성되어 있으나, 당업자의 수준에서 직선운동을 회전운동으로 변환할 수 있는 구성이면 어떤 구성이라도 채용될 수 있다. 또한, 직선운동을 회전운동으로 변환할 필요없이 모터와, 구동, 종동기어 등으로 구성될 수도 있다. Of course, the rotation means 540 is composed of a drive member 542 and the linkage unit 544 for converting the linear motion of the drive member 542 into a rotational motion, the linear motion rotational motion at the level of those skilled in the art Any configuration can be employed as long as it can be converted to. In addition, it may be composed of a motor, a drive, a driven gear and the like without the need to convert the linear motion into a rotary motion.

그리고, 상기 위치변경장치(520)에는 상기 지그고정수단(530)을 위치변경장치(520)에서 외부로 이동시킬 수 있는 이동수단(550)이 더 마련될 수 있다. 상기 이동수단(550)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 위치변경장치(520)가 상기 척테이블 이송라인(506)에 평행하게 설치되어 있어, 상기 위치변경장치(520)의 지그고정수단(530)이 상기 척테이블(504)에서 이격된 거리만큼 이동할 수 있도록 하는 역할을 한다. In addition, the position changing device 520 may be further provided with a moving means 550 for moving the jig fixing means 530 from the position changing device 520 to the outside. As shown in FIG. 1, the movement means 550 is provided with the position change device 520 parallel to the chuck table transfer line 506, so that the jig fixing means of the position change device 520 is provided. The 530 serves to move the distance apart from the chuck table 504.

상기 이동수단(550)은, 전원을 인가받아 동력을 발생하는 구동모터(미도시)와, 상기 구동모터의 동력을 상기 지그고정수단(530)으로 전달하는 벨트(552)와, 상기 벨트(552)에 고정되어 상기 벨트(552)의 동력이 상기 지그고정수단(530)으로 전달되도록 하는 벨트고정부재(554)를 포함하여 구성된다. The moving unit 550 includes a drive motor (not shown) for generating power by receiving power, a belt 552 for transmitting the power of the drive motor to the jig fixing unit 530, and the belt 552. It is fixed to the) is configured to include a belt fixing member 554 to transmit the power of the belt 552 to the jig fixing means (530).

상기 구동모터는 상기 도 8a에는 도시되지는 않았지만, 상기 위치변경장 치(520)에 구비되어, 상기 벨트(552)가 구동될 수 있도록 회전력을 발생시키는 역할을 한다. Although not shown in FIG. 8A, the driving motor is provided in the position change device 520 to generate a rotational force so that the belt 552 can be driven.

상기 벨트(552)는 상기 위치변경장치(520)의 양단에 풀리(556)가 마련되어, 상기 풀리(556)를 중심으로 회전가능하게 구성된다. 또한, 상기 벨트(552)는 상기 위치변경장치(520)의 길이방향으로 즉, 상기 지그고정수단(530)이 이동하려는 방향으로 평행하게 쌍으로 구성될 수 있다. The belt 552 is provided with pulleys 556 at both ends of the position change device 520, and is configured to be rotatable about the pulley 556. In addition, the belt 552 may be configured in pairs in parallel to the longitudinal direction of the position change device 520, that is, the direction in which the jig fixing means 530 is to move.

상기 벨트(552)의 일측에는 벨트고정부재(554)가 마련된다. 상기 벨트고정부재(554)는 상기 지그고정수단(530)에 결합되고, 상기 벨트(552)에 고정되어, 상기 벨트(552)의 동력이 상기 지그고정수단(530)으로 직접적으로 전달될 수 있도록 한다. One side of the belt 552 is provided with a belt fixing member 554. The belt fixing member 554 is coupled to the jig fixing means 530, is fixed to the belt 552, so that the power of the belt 552 can be directly transmitted to the jig fixing means 530. do.

한편, 상기 지그고정수단(530)과 상기 회전수단(540)은 탈착가능하게 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 지그고정수단(530)의 회전축에 결합되어 있는 피니언(548)이 상기 회전수단(540)의 랙(546)에 대해 상기 랙(546)의 이동방향에 직교되도록 이동가능하게 구성될 수 있다. On the other hand, the jig fixing means 530 and the rotating means 540 may be configured detachably. For example, the pinion 548 coupled to the rotation axis of the jig fixing means 530 is configured to be movable to be orthogonal to the rack 546 moving direction with respect to the rack 546 of the rotating means 540. Can be.

즉, 상기 벨트고정부재(554)가 상기 지그고정수단(530)에 구비되고, 상기 벨트(552)의 이동에 의해 상기 피니언(548)을 포함하는 지그고정수단(530)만 상기 회전수단(540)에서 이탈하여 상기 위치변경장치(520)의 외부로 이동가능하게 구성될 수 있다. That is, the belt fixing member 554 is provided in the jig fixing means 530, only the jig fixing means 530 including the pinion 548 by the movement of the belt 552 the rotation means 540 It may be configured to move away from the position changing apparatus 520 by moving away from the).

한편, 다시 도 1을 참조하여, 상기 척테이블 이송라인(506) 상에는 블레이드(502)가 구비된다. 상기 블레이드(502)는 상기 지그(310)에 적재된 상기 반도체 패키지(SP)를 사용자가 원하는 형상으로 가공하는 역할을 한다. Meanwhile, referring again to FIG. 1, a blade 502 is provided on the chuck table transfer line 506. The blade 502 serves to process the semiconductor package SP loaded on the jig 310 into a shape desired by a user.

또한, 상기 블레이드(502)는 2개가 병렬로 형성될 수 있다. 상기 블레이드(502)가 2개의 병렬형태로 형성되는 것을 상기 지그(310)에 상기 반도체 패키지(SP)가 2줄로 적재되어 있기 때문이다. 그리고, 상기 블레이드(502)는 각각 2개의 다른 형상으로 형성된다. 이는 상기 반도체 패키지(SP)의 가공해야 하는 두 측면이 각각 다른 형상을 하기 때문이다. 물론, 이는 사용자의 필요에 따라 하나의 형상으로도 가능하며, 여러방식으로 적용할 수 있다. In addition, two blades 502 may be formed in parallel. This is because the blades 502 are formed in two parallel shapes because the semiconductor package SP is stacked in two rows on the jig 310. The blades 502 are each formed in two different shapes. This is because the two sides to be processed of the semiconductor package SP have different shapes. Of course, this may be a single shape according to the needs of the user, it can be applied in various ways.

다시 도 1에 도시된 상기 반도체 패키지 가공시스템의 전체공정으로 돌아가서 설명하면, 상기 위치변경장치(520)가 구비된 상기 가공부(500)에서 상기 지그(310)에 안착된 반도체 패키지(SP)의 가공이 완료되면, 상기 패키지고정부(300)로 옮겨서 상기 지그(310)에서 각각의 가공 완료된 반도체 패키지(SP)가 이탈되고, 상기 전달부(200)를 따라 세척건조부(600)로 이송된다. Referring back to the overall process of the semiconductor package processing system shown in FIG. 1, the semiconductor package SP seated on the jig 310 in the processing unit 500 provided with the position change device 520 is described. When the processing is completed, each of the processed semiconductor package SP is removed from the jig 310 by moving to the package fixing part 300, and transferred to the washing and drying unit 600 along the transfer part 200. .

상기 세척건조부(600)는 상기 가공작업의 공정 다음에 공정이 이루어질 수 있으면 되나, 본 발명에서는 상기 전달부 픽커 이송라인(202) 상에 직교되게 위치하도록 함이 바람직하다. The washing and drying unit 600 may be a process following the process of the processing operation, but in the present invention, it is preferable to be positioned orthogonally on the transfer unit picker transfer line 202.

상기 세척건조부(600)에는, 도 10 및 도 11a 내지 도 11d에 도시된 바와 같이, 상기 가공이 완료된 반도체 패키지(SP)를 적재하여 이동시키는 네스트유닛(620), 상기 전달부 픽커 이송라인(202)의 하방에 네스트유닛(620)의 네스트(622)가 이동될 수 있도록 네스트 이송유닛(612)이 구비된다. 상기 네스트 이송유닛(612)은 사용자의 필요에 따라 여러 개가 구비될 수 있으며, 본 발명에서는 3 개가 마련된 것으로 도시하며 이를 설명한다. 10 and 11a to 11d, the nest unit 620 for loading and moving the semiconductor package SP, the transfer unit picker transfer line (shown in FIGS. 10 and 11A to 11D). The nest transfer unit 612 is provided below the 202 so that the nest 622 of the nest unit 620 can be moved. The nest transfer unit 612 may be provided with a plurality according to the user's needs, it will be described as three provided in the present invention.

상기 네스트 이송유닛(612)은 네스트유닛(620)의 네스트(622)을 적재하여 이송하는 이송테이블(613)과, 상기 이송테이블(613)이 이동되도록 동력을 제공하는 이송테이블구동유닛(614)으로 구성된다. 상기 이송테이블구동유닛(614)은 상기 이송테이블(614)이 이동할 수 있는 구성이면 어떤 구성이라도 상관없으나, 본 발명에서는 벨트와 구동모터로 구성된다. The nest transfer unit 612 is a transfer table 613 for loading and transferring the nest 622 of the nest unit 620, and a transfer table driving unit 614 for providing power to move the transfer table 613. It consists of. The transfer table driving unit 614 may be any configuration as long as the transfer table 614 is movable. However, the transfer table driving unit 614 may include a belt and a driving motor.

그리고, 상기 네스트 이송유닛(612)에는 상기 네스트(622)이 안정적으로 이송되기 위한 가이드(615)가 더 마련될 수 있다. 상기 가이드(615)에는 홈(616)이 마련되어, 상기 홈(616)에 상기 네스트(622)의 테이블가이드(633)가 삽입되어 상기 홈(616)을 따라 이송되게 된다. The nest transfer unit 612 may further include a guide 615 for stably transferring the nest 622. A groove 616 is provided in the guide 615, and the table guide 633 of the nest 622 is inserted into the groove 616 to be transported along the groove 616.

보다 구체적으로는 상기 네스트(622) 중 커버(630)의 테이블가이드(633)가 상기 도 11e에 도시된 바와 같이, 아래에서 설명될 커버구동유닛(640)의 가이드레일(644) 및 가이드(615)에 삽입되어 상기 가이드레일(644) 및 가이드(615)를 따라 이동가능할 수 있게 구성될 수 있다. More specifically, as shown in FIG. 11E, the table guide 633 of the cover 630 of the nest 622 includes the guide rail 644 and the guide 615 of the cover driving unit 640. It may be inserted into the can be configured to be movable along the guide rail 644 and the guide 615.

상기 네스트유닛(620)에는 상기 반도체 패키지(SP)를 고정시키는 네스트(622)와, 상기 네스트(622)에 고정된 상기 반도체 패키지(SP)를 상기 네스트(622)에 고정될 수 있도록 구동하는 커버구동유닛(640)을 포함하여 구성된다. The nest unit 620 includes a nest 622 for fixing the semiconductor package SP and a cover for driving the semiconductor package SP fixed to the nest 622 to be fixed to the nest 622. It is configured to include a drive unit 640.

도 10에 도시된 바를 참조하여, 상기 네스트(622)에는 상기 전달부 픽커(204)들에 의해 이송된 반도체 패키지(SP)를 하방에서 수용할 수 있는 베이스부(624)가 마련된다. 상기 베이스부(624)에는 상기 반도체 패키지(SP)를 수용할 수 있는 패키지안착부(626)가 소정의 간격으로 배열되도록 형성된다. Referring to FIG. 10, the nest 622 is provided with a base portion 624 capable of receiving a semiconductor package SP transferred by the transfer part pickers 204 from below. The base part 624 is formed such that package mounting parts 626 capable of accommodating the semiconductor package SP are arranged at predetermined intervals.

상기 패키지안착부(626)는 관통되도록 형성되어 세척수가 상기 반도체 패키지(SP)에 빈틈없이 전달될 수 있도록 한다. 상기 패키지안착부(626)의 하단에는 여러개의 돌기부(628)가 마련된다. 상기 돌기부(628)는 상기 반도체 패키지(SP)가 상기 패키지안착부(626)를 이탈하지 않도록 하방에서 지지하는 역할을 한다. The package seating portion 626 is formed to penetrate so that the washing water can be seamlessly transferred to the semiconductor package SP. A plurality of protrusions 628 are provided at the bottom of the package seating portion 626. The protrusion 628 serves to support the semiconductor package SP from below to prevent the semiconductor package SP from being separated from the package seating part 626.

상기 패키지 안착부(626)의 돌기부(628)의 상면 즉 상기 반도체 패키지(SP)와 접하는 부분은 선단으로 갈수록 단면적이 작아지도록 형성될 수 있다. 이는 상기 돌기부(628)에 접하는 상기 반도체 패키지(SP)와의 접촉면적을 최소로 하기 위함이다.The upper surface of the protrusion 628 of the package seating portion 626, that is, the portion contacting the semiconductor package SP may be formed to have a smaller cross-sectional area toward the tip. This is to minimize the contact area with the semiconductor package SP in contact with the protrusion 628.

상기 커버(630)는 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 베이스부(624)의 패키지 안착부(626)에 대응되도록 관통되어 있고, 내측방향으로 돌출된 돌출부(632)가 다수개 형성된다. 이는 상기 반도체 패키지(SP)가 세척시 상방으로 이탈되는 것을 방지하게 된다. 한편, 상기 돌기부(628)와 돌출부(632)는 서로 엇갈리게 형성되어 상기 반도체 패키지(SP)와의 접촉면적을 최소로 하게 된다.As shown in FIG. 10, the cover 630 penetrates corresponding to the package seating portion 626 of the base portion 624, and a plurality of protrusions 632 protruding inwardly are formed. This prevents the semiconductor package SP from escaping upward upon cleaning. Meanwhile, the protrusion 628 and the protrusion 632 are staggered from each other to minimize the contact area with the semiconductor package SP.

그리고, 상기 베이스부(624)에는 걸이홈(629)이 형성되고, 상기 커버(630)에는 상기 걸이홈(629)에 대응되도록 걸이돌기(634)가 마련된다. 상기 걸이홈(629)에 상기 걸이돌기(634)가 걸어짐으로써 상기 베이스부(624)와 상기 커버(630)가 이탈되지 않고 고정되게 된다. In addition, a hook groove 629 is formed in the base 624, and a hook protrusion 634 is provided in the cover 630 to correspond to the hook groove 629. As the hook protrusion 634 is hooked to the hook groove 629, the base part 624 and the cover 630 are fixed without being separated.

또한, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 커버(630)에는 테이블가이드(633)가 더 마련된다. 상기 테이블가이드(633)는 상기 커버(630)가 상기 베이스부(624)에 탈착될 때 아래에서 설명될 커버구동유닛(640)의 가이드레일(644)에 걸어져 상기 커버(630)만 이동가능하게 하는 역할을 한다. In addition, as shown in FIG. 10, the cover 630 is further provided with a table guide 633. When the cover 630 is detached from the base part 624, the table guide 633 is engaged with the guide rail 644 of the cover driving unit 640 which will be described below, so that only the cover 630 can be moved. Play a role.

상기 테이블가이드(633)에는 가이드홀(635)이 마련될 수 있다. 상기 가이드홀(635)은 도 11f에 도시된 바와 같이, 상기 커버(630)를 픽업하는 커버구동유닛(640)에 마련되는 위치센서(643)가 상기 네스트(622)인 커버(630)와 베이스부(624)가 정확하게 위치되어 있는지 여부를 판단하는 역할을 한다. A guide hole 635 may be provided in the table guide 633. As illustrated in FIG. 11F, the guide hole 635 includes a cover 630 and a base whose position sensor 643 is provided in the cover driving unit 640 that picks up the cover 630. It determines whether the unit 624 is located correctly.

즉, 상기 커버구동유닛(640)의 가이드레일(644)이 하강하면, 도 11f에 도시된 바와 같이, 상기 커버구동유닛(640)에 마련되어 있는 위치센서(643)의 선단이 상기 네스트(622)의 가이드홀(635)로 삽입되게 된다. 그러나, 상기 네스트(622)가 바른 위치에 위치되어 있지 않으면, 상기 위치센서(643)의 선단은 상기 가이드홀(635)에 삽입되지 않고, 상기 위치센서(643)의 선단이 상방으로 밀리면서, 상기 위치센서(643)가 작동하여, 상기 네스트(622)가 정확하게 위치되어 있지 않음을 사용자에게 알리게 된다. That is, when the guide rail 644 of the cover driving unit 640 is lowered, as shown in FIG. 11F, the front end of the position sensor 643 provided in the cover driving unit 640 is the nest 622. It is inserted into the guide hole 635 of. However, when the nest 622 is not positioned in the correct position, the tip of the position sensor 643 is not inserted into the guide hole 635 and the tip of the position sensor 643 is pushed upward. The position sensor 643 is activated to inform the user that the nest 622 is not correctly positioned.

그리고, 상기 네스트(622)인 상기 베이스부(624)와 커버(630) 사이에 상기 반도체 패키지(SP)를 고정되도록 상기 베이스부(624)에 대해 상기 커버(630)를 상대적으로 이동시키는 커버구동유닛(640)이 마련된다. 상기 커버구동유닛(640)은 도 11a에 도시된 바와 같이, 상기 반도체 패키지(SP)가 세척시 상방으로 이탈되지 것을 방지하는 상기 커버(630)를 장착하는 역할을 한다. In addition, a cover driving to move the cover 630 relative to the base portion 624 to fix the semiconductor package (SP) between the base portion 624 and the cover 630 which is the nest 622. Unit 640 is provided. As illustrated in FIG. 11A, the cover driving unit 640 serves to mount the cover 630 to prevent the semiconductor package SP from being separated upward.

그리고, 상기 커버구동유닛(640)에는 상기 커버구동유닛(640)을 동작하도록 하는 구동실린더(642)가 마련된다. 물론, 상기 구동실린더(642)는 상기 커버구동유 닛(640)을 동작할 수 있도록 동력을 발생시킬 수 있는 것이면 어느 것이라도 적용가능하다. In addition, the cover driving unit 640 is provided with a driving cylinder 642 for operating the cover driving unit 640. Of course, the drive cylinder 642 may be applied to any one as long as it can generate power to operate the cover driving unit 640.

상기 커버구동유닛(640)에는 가이드레일(644)이 마련된다. 상기 가이드레일(644)은 상기 구동실린더(642)와 연동되도록 구성되어, 상기 커버(630)를 상기 베이스부(624)에 대해 장착 및 탈거되도록 상기 커버(630)를 가이드하는 역할을 한다. The cover driving unit 640 is provided with a guide rail 644. The guide rail 644 is configured to interlock with the driving cylinder 642, and serves to guide the cover 630 to mount and remove the cover 630 with respect to the base 624.

특히, 도 11e에 도시된 바와 같이, 상기 가이드레일(644)은 상기 커버(630)에 마련된 테이블가이드(633)와 맞물려져 상기 커버(630)만 픽업하여 상기 베이스부(624)로부터 상기 커버(630)만을 탈거시킬 수 있도록 한다.In particular, as illustrated in FIG. 11E, the guide rail 644 is engaged with the table guide 633 provided on the cover 630 to pick up only the cover 630 to cover the cover (630) from the base part 624. Only 630) can be removed.

또한, 상기 네스트 이송라인(612) 상에는 세척건조실(650)이 마련된다. 상기 세척건조실(650)은 밀폐되도록 형성되어, 외부로 세척수나 세척에 의해 발생되는 이물질이 외부로 누설되지 않도록 한다. In addition, a washing and drying chamber 650 is provided on the nest transfer line 612. The washing and drying chamber 650 is formed to be sealed so that foreign substances generated by washing water or washing to the outside do not leak to the outside.

상기 세척건조실(650)의 입구 상하방에는 노즐(652)이 다수개 구비된다. 상기 노즐(652)에는 세척수와 공기들이 배출되어 상기 네스트(622) 상에 있는 상기 반도체 패키지(SP)에 잔존해 있는 이물질을 제거하여 건조시키는 역할을 한다. A plurality of nozzles 652 are provided above and below the inlet of the washing and drying chamber 650. Washing water and air are discharged to the nozzle 652 to remove and dry foreign substances remaining in the semiconductor package SP on the nest 622.

그리고, 상기 세척건조부(600)에서 세척이 완료된 상기 반도체 패키지(SP)는 검사부(700)를 거쳐 다시 상기 전달부(200)에 의해 상기 로딩언로딩부(100)로 전달된다. In addition, the semiconductor package SP, which has been cleaned in the washing and drying unit 600, is transferred to the loading unloading unit 100 by the transfer unit 200 again through the inspection unit 700.

상기 검사부(700)는 도 1에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 검사유닛(710, 720)으로 구성되어, 상기 반도체 패키지(SP)를 상하에서 검사할 수 있도록 구성될 수 있다. 그리고, 상기 검사유닛(710, 720)은 각각의 검사부 이송라인(712, 722)을 따라 이송될 수 있다. As illustrated in FIG. 1, the inspection unit 700 may include a pair of inspection units 710 and 720, and may be configured to inspect the semiconductor package SP up and down. In addition, the inspection units 710 and 720 may be transferred along the respective inspection unit transfer lines 712 and 722.

보다 상세하게 설명하면, 상기 검사유닛(710, 720)은 제 1검사유닛(710)과 제 2검사유닛(720)으로 구성된다. 상기 제 1검사유닛(710)은 상기 네스트 이송라인(612)의 상방에 직교되도록 형성된 제 1검사부 이송라인(712)을 따라 이동하면서, 상기 네스트(622) 상에 안착된 반도체 패키지(SP)의 상면의 가공상태를 검사하게 된다. In more detail, the test units 710 and 720 include a first test unit 710 and a second test unit 720. The first inspection unit 710 moves along the first inspection unit transfer line 712 orthogonal to the upper portion of the nest transfer line 612, so that the first inspection unit 710 moves on the nest 622 of the semiconductor package SP. The machining condition of the upper surface is inspected.

그리고, 상기 제 2검사유닛(720)은 상기 전달부 픽커 이송라인(202)의 하방에 직교되도록 형성된 제 2검사부 이송라인(722)을 따라 이동하면서, 상기 전달부픽커(204)에 의해 이동되는 상기 반도체 패키지(SP)의 하면의 가공상태를 검사하게 된다. The second inspection unit 720 is moved by the transfer unit picker 204 while moving along the second inspection unit transfer line 722 formed to be orthogonal to the lower side of the transfer unit picker transfer line 202. The processing state of the lower surface of the semiconductor package SP is inspected.

그리고, 상기 로딩언로딩부(100), 전달부(200), 패키지고정부(300), 가공부(500), 세척건조부(600) 및 검사부(700)는 모두 제어부(미도시)에 의해 전기적으로 연통되고, 제어되게 된다. In addition, the loading unloading unit 100, the delivery unit 200, the package fixing part 300, the processing unit 500, the washing and drying unit 600, and the inspection unit 700 are all controlled by a controller (not shown). It is in electrical communication and controlled.

이하 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 제 1실시예인 위치변경장치가 채용된 반도체 패키지 가공시스템의 작용을 상세하게 설명한다. Hereinafter, the operation of the semiconductor package processing system in which the position changing device as the first embodiment is employed in the present invention having the above-described configuration will be described in detail.

먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 모듈공정이 완료된 반도체 패키지(SP)가 정렬된 트레이(102)들이 다수 적재된 트레이매거진(106)상에 적재되어 있는 트레이 중 어느 하나가 트레이 픽커(112)에 의해 이동테이블 상으로 이동된다. First, as shown in FIG. 1, any one of the trays stacked on the tray magazine 106 in which the plurality of trays 102 on which the semiconductor package SP is aligned is arranged is the tray picker 112. Is moved on the moving table.

상기 트레이(102)가 상기 이동테이블에 적재되면, 상기 이동테이블은 상기 이동테이블 이송라인(104a)을 따라 상기 전달부 픽커 이송라인(202)의 하방으로 이동하게 된다. 상기 이동테이블이 상기 이동테이블 이송라인(104)을 따라 이동하면, 상기 전달부 픽커(204)는 상기 트레이(102) 상의 반도체 패키지(SP)를 소정의 개수만큼 파지하여 상기 전달부 픽커 이송라인(202)을 따라 이동하여, 턴테이블(302) 상에 적재시킨다. When the tray 102 is loaded on the moving table, the moving table moves downward along the transfer table transfer line 104a of the transfer unit picker transfer line 202. When the moving table moves along the moving table transfer line 104, the transfer part picker 204 grips the semiconductor package SP on the tray 102 by a predetermined number so that the transfer part picker transfer line ( Move along 202 and load on turntable 302.

상기 전달부 픽커(204)는 본 발명에서는 8개씩 파지하여 이송하게 된다. 물론 사용자의 필요에 따라 다양한 조건을 제어부에 부가하여 상기 전달부 픽커(204)가 파지할 수도 있다. In the present invention, the transfer unit picker 204 is gripped and transported by eight. Of course, the transfer unit picker 204 may be held by adding various conditions to the control unit according to the needs of the user.

그리고, 상기 턴테이블(302)에 적재되는 상기 반도체 패키지(SP)는 적재되는 방향이 중요하게 되는데, 이 방향성은 지그(310)의 슬릿(314)의 형상에 따라 달라지게 되는데, 이는 가공부(500)에 마련되어 있는 블레이드(502)의 형상에 대응되도록 하기 위한 것이다. In addition, the direction in which the semiconductor package SP mounted on the turntable 302 is loaded becomes important, and the direction depends on the shape of the slit 314 of the jig 310, which is a processing unit 500. In order to correspond to the shape of the blade 502 provided in the).

예를 들면, 상기 가공부(500)의 블레이드(502)이 도 1과 달리 같은 모양이면, 지그(310)에 형성되어 있는 슬릿(314)에 삽입되는 상기 반도체 패키지(SP)가 같은 방향으로 배열되어도 되므로, 상기 턴테이블(302)은 회전할 필요없이, 상기 전달부 픽커(204)는 같은 방향으로 상기 턴테이블(302)의 상면에 순서대로 적재하면 된다. For example, when the blade 502 of the processing unit 500 has the same shape as in FIG. 1, the semiconductor package SP inserted into the slit 314 formed in the jig 310 is arranged in the same direction. Since the turntable 302 does not need to rotate, the transfer part picker 204 may be stacked on the upper surface of the turntable 302 in the same direction in order.

다만, 상기 가공부(500)의 블레이드(502)이 도 1에 도시된 바와 같으면, 상기 지그(310)의 슬릿(314)에 삽입되는 상기 반도체 패키지(SP)가 서로 반대 방향으로 배열되어야 하므로, 상기 턴테이블(302)은 회전을 필요로 한다. 즉, 도 2에 도 시된 바와 같이, 상기 전달부 픽커(204)는 상기 반도체 패키지(SP)를 1번 3번 순으로 먼저 적재를 하고, 상기 턴테이블(302)을 180도 회전시킨 후 상기 반도체 패키지(SP)를 2번 4번 순으로 적재하는 방식으로 적재되게 된다. 즉, 다시 설명하면, 상기 턴테이블(302)이 180도 회전하고 나서 다시 왼쪽에서 순서대로 1번, 3번째(180도 회전 전의 2번, 4번)에 안착되게 된다. However, when the blade 502 of the processing unit 500 is as shown in FIG. 1, the semiconductor package SP inserted into the slit 314 of the jig 310 should be arranged in opposite directions to each other. The turntable 302 requires rotation. That is, as shown in FIG. 2, the transfer unit picker 204 first loads the semiconductor package SP in the order of three times, rotates the turntable 302 180 degrees, and then rotates the semiconductor package. (SP) will be loaded in such a way as to stack 2 times and 4 times. In other words, after the turntable 302 is rotated 180 degrees, the turntable 302 is again seated on the first and third times (number 2 and 4 before the rotation of 180 degrees) in order from the left.

상기 턴테이블(302)에 상기 반도체 패키지(SP)의 적재가 완료되면, 상기 턴테이블(302)은 상기 고정부 픽커(322)에 의해 2개씩 2줄로 파지되어 상기 고정부 픽커 이송라인(320)을 따라 이동하여 상기 시트블럭(392) 상면의 안착부(394)에 적재된다. When the stacking of the semiconductor package SP is completed on the turntable 302, the turntable 302 is gripped in two rows by the fixing part picker 322 in two rows along the fixing part picker transfer line 320. It moves and is loaded on the seating portion 394 of the upper surface of the seat block 392.

상기 고정부 픽커(322)의 각 줄의 높이를 조절하는 구동수단(328)이 작동하여 상기 제 1안착부(394a)에 적재시키는 흡착노즐(327)을 지지하는 지지바아(332a)를 상기 제 2안착부(394b)에 적재하는 흡착노즐(327)을 지지하는 지지바아(332b) 보다 상대적으로 하방으로 이동하도록 하여 상기 시트블럭(372) 상면의 안착부(374)에 상기 반도체 패키지(SP)를 각각 안착시키게 된다. The driving means 328 for adjusting the height of each row of the fixed part picker 322 is operated to support the suction bar 332a for supporting the suction nozzle 327 to be mounted on the first seating portion 394a. The semiconductor package SP is mounted on the seating portion 374 of the upper surface of the seat block 372 by moving downwardly relative to the support bar 332b supporting the suction nozzle 327 mounted on the seating portion 394b. Each will be seated.

이때, 상기 각각의 안착부(372)의 상면에는 에어홀(376)을 통하여 상기 반도체 패키지(SP)를 정확하게 진공,흡착한다. 상기 제어부가 상기 에어홀(376)을 통하여 상기 반도체 패키지(SP)가 정확하게 위치되었다고 판단하면, 수평연동수단(372) 및 수직연동수단(374)을 구동하는 모터가 구동하도록 한다. At this time, the semiconductor package SP is accurately vacuumed and adsorbed on the upper surface of each seating part 372 through an air hole 376. When the controller determines that the semiconductor package SP is correctly positioned through the air hole 376, the motor for driving the horizontal interlocking means 372 and the vertical interlocking means 374 is driven.

즉, 상기 수평연동수단(372) 및 수직연동수단(374)을 구동시키면, 도 5b에 도시된 바와 같이, 상기 수평연동수단(372)은 상기 수평부재(362)에 대해 오른쪽으 로 이동하며, 상기 수직연동수단(374)은 상기 수직부재(364)에 대해 상방으로 이동하게 된다. That is, when the horizontal interlocking means 372 and the vertical interlocking means 374 are driven, as shown in FIG. 5B, the horizontal interlocking means 372 moves to the right with respect to the horizontal member 362. The vertical interlocking means 374 moves upward with respect to the vertical member 364.

이를 보다 상세하게 설명하면, 상기 수평연동수단(372)의 회동축(380)이 상기 지그홀더(310)의 가이드홈(378)을 따라 회전하면서, 슬라이딩되고, 상기 수직연동수단(374)과 힌지결합된 상기 지그홀더(376)의 선단부는 회동하여 도 5c에 도시된 바와 같이 동작하게 된다. In more detail, the rotating shaft 380 of the horizontal interlocking means 372 is slid while rotating along the guide groove 378 of the jig holder 310 and hinged with the vertical interlocking means 374. The distal end of the jig holder 376 coupled rotates to operate as shown in FIG. 5C.

그리고, 도 5c에 도시된 바와 같이, 상기 지그홀더(376)가 상기 수직부재(364)에 완전히 평행하게 위치 즉 상기 지그홀더(376)가 수직으로 세워지면, 상기 수직연동부재(374) 및 상기 수평연동부재(372)는 더 이상 이동하지 않게 된다. 5C, when the jig holder 376 is positioned completely parallel to the vertical member 364, that is, the jig holder 376 is erected vertically, the vertical interlocking member 374 and the The horizontal interlocking member 372 is no longer moved.

또한, 이때, 상기 수직연동부재(374)의 하단에 위치한 상기 지그홀더고정유닛(384)의 돌기(385d)가 상기 지그홀더(376)의 하단에 형성된 걸림홈(386)에 삽입되면서 상기 지그홀더(376)는 유동하지 않게 된다. At this time, the jig holder 385d of the jig holder fixing unit 384 located at the bottom of the vertical interlocking member 374 is inserted into the locking groove 386 formed at the bottom of the jig holder 376, thereby allowing the jig holder. 376 does not flow.

상기 지그홀더(376)의 걸림홈(386)에 상기 지그홀더고정유닛(384)의 돌기(385d)가 삽입되면, 상기 제 1푸시몸체(397)가 상기 제 1가이드(395)를 따라 도면상 우측으로 즉 상기 지그홀더(376) 방향으로 이동하게 된다.When the projection 385d of the jig holder fixing unit 384 is inserted into the engaging groove 386 of the jig holder 376, the first push body 397 is along the first guide 395. It moves to the right, that is, in the direction of the jig holder 376.

또한, 상기 지그홀더(376)가 수직으로 세워져 더 이상 이동하지 않게 되면, 상기 제 1푸시몸체(397)가 상기 제 1가이드(395)를 따라 도면상 우측으로 즉 상기 지그홀더(376) 방향으로 이동하게 된다. In addition, when the jig holder 376 stands vertically and no longer moves, the first push body 397 moves along the first guide 395 to the right in the drawing, that is, in the direction of the jig holder 376. Will move.

그리고, 도 5d에 도시된 바와 같이 상기 제 1푸시몸체(397)가 상기 지그홀더(376)의 전면에 근접하게 되면, 상기 제어부는 상기 제 1푸시(398)를 동작시키는 모터를 구동시켜, 상기 제 1푸시(398)가 상기 시트블럭(392)에 적재되어 있는 상기 반도체패키지(SP)를 밀어 상기 지그(310)의 슬릿(314)으로 완전히 삽입될 때까지 민다. As shown in FIG. 5D, when the first push body 397 is close to the front surface of the jig holder 376, the controller drives a motor to operate the first push 398. The first push 398 pushes the semiconductor package SP mounted on the seat block 392 until the first push 398 is fully inserted into the slit 314 of the jig 310.

특히, 이때, 상기 지그(310)의 슬릿(314)의 내부로 상기 반도체 패키지(SP)가 용이하게 삽입될 수 있도록 상기 슬릿(314)의 폭을 조절하도록 하며, 이에 대해서는 도 6a 내지 도 6d를 토대로 이하 상세하게 설명한다. In particular, in this case, the width of the slit 314 may be adjusted so that the semiconductor package SP may be easily inserted into the slit 314 of the jig 310, which is described with reference to FIGS. 6A to 6D. It demonstrates in detail below based on it.

먼저, 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 제 1푸시유닛(390)이 수직으로 세워져 있는 지그홀더(376)의 전면에 위치하게 되면, 상기 지그홀더(376)에 구비되어 있는 지그클램핑유닛(387)이 작동하게 된다. First, as illustrated in FIG. 6B, when the first push unit 390 is positioned in front of the jig holder 376 that is vertically placed, the jig clamping unit 387 provided in the jig holder 376. ) Will work.

그러면, 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 지그클램핑유닛(387)의 구동부재(387b)의 선단이 길이방향으로 길어지게 된다. 상기 구동부재(387b)의 선단에 접촉되어 있던 이동부재(387a)도 상기 구동부재(387b)의 이동에 따라 상기 지그(310)의 중심으로부터 멀어지는 방향으로 이동하게 된다. Then, as shown in Figure 6b, the tip of the drive member 387b of the jig clamping unit 387 is lengthened in the longitudinal direction. The moving member 387a which has been in contact with the tip of the driving member 387b also moves in a direction away from the center of the jig 310 as the driving member 387b moves.

한편, 상기 이동부재(387a)의 타단은 상기 지그(310)의 조절부재(315)의 조절공(316)에 삽입되어 상기 조절부재(315)와 함께 이동가능하도록 구성되어 있다. 그러므로, 상기 이동부재(387a)가 상기 지그(310)의 중심으로부터 멀어지는 방향으로 이동함에 따라, 상기 조절부재(315)도 상기 지그(310)의 중심으로부터 멀어지는 방향으로 이동하게 된다. On the other hand, the other end of the moving member (387a) is inserted into the adjustment hole 316 of the adjustment member 315 of the jig 310 is configured to be movable together with the adjustment member 315. Therefore, as the moving member 387a moves away from the center of the jig 310, the adjusting member 315 also moves away from the center of the jig 310.

그러면, 도 6c에 도시된 바와 같이, 상기 지그(310)의 슬릿(314)은 그 공간이 넓어지게 되어, 상기 시트블럭(392)의 안착부(394)에 안착되어 있는 반도체 패 키지(SP)가 용이하게 삽입된다. Then, as shown in Figure 6c, the slit 314 of the jig 310 is widened, the semiconductor package (SP) which is seated on the seating portion 394 of the seat block 392 Is easily inserted.

상기 지그(310)의 슬릿(314) 내부로 상기 반도체 패키지(SP)가 삽입되면, 상기 슬릿(314) 내부에 상기 반도체 패키지(SP)가 고정되도록 다시 상기 슬릿(314) 내부의 공간이 좁아지게 된다. 이는 상기 구동부재(387b)가 반대로 동작하여 이동하여, 상기 조절부재(315)의 선단이 상기 슬릿(314) 내부의 반도체 패키지(SP)를 지지할 수 있게 된다. When the semiconductor package SP is inserted into the slit 314 of the jig 310, the space inside the slit 314 is narrowed again so that the semiconductor package SP is fixed inside the slit 314. do. This causes the driving member 387b to move in reverse, so that the tip of the adjusting member 315 can support the semiconductor package SP in the slit 314.

또한, 상기 지그(310)의 조절부재(315)의 일측에서 탄성지지하는 탄성부재(317)에 의하여 상기 조절부재(315)의 선단이 상기 반도체 패키지(SP)를 상기 슬릿(314)의 일측벽 방향으로 밀어, 상기 슬릿(314) 내부의 반도체 패키지(SP)를 안정적으로 지지할 수 있게 된다. In addition, the front end of the adjustment member 315 is the one side wall of the slit 314 by the elastic member 317 elastically supported on one side of the adjustment member 315 of the jig 310. In the direction, the semiconductor package SP in the slit 314 can be stably supported.

이상과 같이, 상기 반도체 패키지(SP)의 삽입이 완료되면, 상기 제 1푸시(398)를 동작시키는 모터는 다시 반대로 구동하여 상기 제 1푸시(398)가 상기 시트블럭(392)에서 완전히 이탈하게 된다. 이때 상기 지그홀더(376)의 수직이동을 조절하는 수직연동수단(374)이 상방으로 또는 하방으로 이동하여 상기 지그(310)의 빈 슬롯(314)을 상기 제 1푸시(398)의 이동방향에 위치하도록 한다. As described above, when the insertion of the semiconductor package SP is completed, the motor for operating the first push 398 is driven in reverse again so that the first push 398 is completely removed from the seat block 392. do. At this time, the vertical interlocking means 374 for adjusting the vertical movement of the jig holder 376 moves upward or downward to move the empty slot 314 of the jig 310 in the direction of movement of the first push 398. Position it.

상기 제 1푸시(398)가 상기 시트블럭(392)에서 이탈되고 나면, 상기 고정부 픽커(322)는 다시 상기 턴테이블(304) 상의 반도체 패키지(SP)를 2개씩 2줄로 파지하여 상기 시트블럭(392)의 안착부(394)에 적재한다. After the first push 398 is separated from the seat block 392, the fixing part picker 322 again grasps two semiconductor packages SP on the turntable 304 in two rows, so that the sheet block 3 is separated from the seat block 392. It mounts on the mounting part 394 of 392).

상기 시트블럭(392)에 다시 상기 반도체 패키지(SP)가 적재되면, 상술한 동작이 반복되어, 상기 지그(310)의 빈 슬롯(314)이 상기 반도체 패키지(SP)로 채워 지게 된다. When the semiconductor package SP is again loaded on the seat block 392, the above-described operation is repeated, so that the empty slot 314 of the jig 310 is filled with the semiconductor package SP.

상기 지그(310)의 슬롯(314)에 상기 반도체 패키지(SP)가 모두 채워지게 되면, 상기 수평연동수단(372)은 도면에서 좌측으로 상기 수직연동수단(374)은 하방으로 이동하여 상기 지그홀더(376)가 수평하게 위치되도록 하여 도 5a에 도시된 바와 같이 동작하게 한다. When all of the semiconductor package SP is filled in the slot 314 of the jig 310, the horizontal interlocking means 372 moves to the left side in the drawing, and the vertical interlocking means 374 moves downward to the jig holder. 376 is positioned horizontally to operate as shown in FIG. 5A.

상기 지그홀더(376)가 수평으로 위치하게 되면, 상기 제어부는 가공부 픽커(508)를 구동시켜 상기 지그(310)를 파지하여 척테이블(504) 상방으로 이송한다. 상기 지그(310)가 상기 척테이블(504) 상에 위치되면 상기 척테이블(504)은 90도 회전하여 척테이블 이송라인(506)을 따라 이동하며, 이때 상기 블레이드(502)는 회전하게 된다. When the jig holder 376 is positioned horizontally, the controller drives the processing unit picker 508 to grip the jig 310 and to transfer the jig 310 above the chuck table 504. When the jig 310 is positioned on the chuck table 504, the chuck table 504 is rotated by 90 degrees and moves along the chuck table transfer line 506. At this time, the blade 502 is rotated.

따라서, 상기 척테이블 이송라인(506)을 따라 이동하면서, 상기 지그(310)에 적재된 상기 반도체 패키지(SP)는 상기 블레이드(502)과 접하는 면이 가공된다. Therefore, the semiconductor package SP loaded on the jig 310 is processed in contact with the blade 502 while moving along the chuck table transfer line 506.

상기 척테이블(504) 상의 지그(310)의 반도체 패키지(SP)의 일측의 가공이 완료되면, 상기 척테이블(504)은 상기 척테이블 이송라인(506)을 따라 다시 원래의 위치로 복귀하게 되고, 상기 가공부 픽커(508)는 상기 지그(310)를 다시 픽업하게 된다. 이는, 상기 지그(310)에 고정된 상기 반도체 패키지(SP)의 타측의 가공을 위해, 상기 지그(310)를 회전시키기 위함이다. When the machining of one side of the semiconductor package SP of the jig 310 on the chuck table 504 is completed, the chuck table 504 is returned to its original position along the chuck table transfer line 506. The picker 508 picks up the jig 310 again. This is to rotate the jig 310 for processing of the other side of the semiconductor package SP fixed to the jig 310.

상기 가공부 픽커(508)가 상기 지그(310)를 픽업하여 상승하면, 상기 지그(310)와 상기 척테이블(504) 사이의 공간으로 위치변경장치(520)의 지그고정수단(530)이 슬라이딩되어 상기 지그(310)가 삽입된다. 즉, 상기 위치변경장치(520) 의 이동수단(550)이 구동하여 상기 지그고정수단(530)이 이동되어, 도 8b에 도시된 바와 같이 된다. When the processing unit picker 508 picks up the jig 310 and ascends, the jig fixing means 530 of the position changing device 520 slides into a space between the jig 310 and the chuck table 504. The jig 310 is inserted. That is, the moving means 550 of the position changing device 520 is driven to move the jig fixing means 530, as shown in FIG. 8B.

보다 상세하게 설명하면, 상기 이동수단(550)의 구동모터가 구동하면, 상기 구동모터로부터 동력을 전달받은 벨트(552)가 상기 위치변경장치(520)의 양단에 구비된 풀리(556)를 따라 회전하여, 벨트고정부재(554)를 이동시킨다. In more detail, when the drive motor of the moving means 550 is driven, the belt 552 received power from the drive motor along the pulleys 556 provided at both ends of the position change device 520. By rotating, the belt fixing member 554 is moved.

상기 벨트고정부재(554)는 상기 지그고정수단(530)에 고정되어 있어, 상기 벨트고정부재(554)는 상기 지그고정수단(530)과 함께 이동하게 되며, 상기 지그고정수단(530)이 상기 가공부 픽커(508)와 상기 척테이블(504) 사이에 위치되면, 상기 가공부 픽커(508)는 상기 지그(310)를 상기 지그고정수단(530)의 지그안착공간(531)에 안착시킨다. The belt fixing member 554 is fixed to the jig fixing means 530, the belt fixing member 554 is moved together with the jig fixing means 530, the jig fixing means 530 is When positioned between the machining part picker 508 and the chuck table 504, the machining part picker 508 seats the jig 310 in the jig seating space 531 of the jig fixing means 530.

그리고, 상기 지그(310)가 상기 지그안착공간(531)에 더욱 견고하게 고정되도록, 고정유닛(534)의 이동부재(538)가 구동하여, 고정부재(537)가 상기 지그(310) 방향으로 이동하게 된다. 상기 고정부재(537)가 상기 지그(310) 방향으로 이동하면, 상기 고정부재(537)의 고정슬릿(536)으로 상기 지그(310)의 모서리(310b) 부분이 삽입되게 된다. In addition, the movable member 538 of the fixing unit 534 is driven so that the jig 310 is more firmly fixed to the jig seating space 531, so that the fixing member 537 moves toward the jig 310. Will move. When the fixing member 537 moves in the direction of the jig 310, a portion of the corner 310b of the jig 310 is inserted into the fixing slit 536 of the fixing member 537.

상기 고정슬릿(536)으로 상기 지그(310)의 모서리(310b)가 삽입되면서, 상기 지그(310)는 상기 위치변경장치(520)에 완전하게 고정되게 된다. 상기 지그(310)가 상기 위치변경장치(520)에 고정되면, 상기 이동수단(550)의 구동모터는 다시 역방향으로 구동하여, 상기 벨트(552)가 역방향으로 회전하게 되며, 상기 벨트고정부재(554)에 결합된 상기 지그고정수단(530)은 다시 원래의 위치로 이동하게 된다. As the edge 310b of the jig 310 is inserted into the fixing slit 536, the jig 310 is completely fixed to the position changing device 520. When the jig 310 is fixed to the position change device 520, the drive motor of the moving means 550 is driven in the reverse direction again, the belt 552 is rotated in the reverse direction, the belt fixing member ( The jig fixing means 530 coupled to 554 is moved back to its original position.

상기 지그고정수단(530)이 상기 위치변경장치(520)의 원위치로 위치하게 되면, 회전수단(540)의 구동부재(542)가 구동하게 된다. 상기 구동부재(542)가 구동하게 되면, 연동유닛(544)에 의해 상기 지그고정수단(530)이 회전하게 된다. When the jig fixing means 530 is positioned to the original position of the position changing device 520, the driving member 542 of the rotating means 540 is driven. When the driving member 542 is driven, the jig fixing means 530 is rotated by the interlocking unit 544.

즉, 상기 구동부재(542)에 결합되어 있는 랙(546)이 상기 지그고정수단(530)에 구비된 피니언(548)과 연동하여 상기 구동부재(542)의 직선왕복운동이 회전운동으로 변환되어 상기 지그고정수단(530)은 회전하게 된다. That is, the linear reciprocating motion of the drive member 542 is converted into a rotational motion by the rack 546 coupled to the drive member 542 in conjunction with the pinion 548 provided in the jig fixing means 530. The jig fixing means 530 is rotated.

상기 지그고정수단(530)이 회전하여, 아직 가공이 되지 않은 상기 반도체 패키지(SP)의 측면이 상방으로 위치하게 되면, 상기 이동수단(550)의 구동모터가 다시 구동하여, 상기 지그고정수단(530)이 상기 가공부 픽커(508)와 상기 척테이블(504) 사이에 위치하게 된다. When the jig fixing means 530 is rotated so that the side surface of the semiconductor package SP which has not yet been processed is positioned upward, the driving motor of the moving means 550 is driven again, and the jig fixing means ( 530 is positioned between the processing unit picker 508 and the chuck table 504.

이때, 상기 지그고정수단(530)의 이동부재(538)는 구동하여 상기 고정부재(537)를 상기 지그(310)에서 멀어지는 방향으로 이동시킨다. 다만 상기 고정부재(537)가 상기 지그(310)에서 멀어지기 전에, 상기 가공부 픽커(508)는 먼저 상기 지그(310)를 픽업하고 있어야 한다. 그리고, 상기 가공부 픽커(508)은 상기 지그(310)을 픽업하여 상승하게 된다. At this time, the moving member 538 of the jig fixing means 530 is driven to move the fixing member 537 away from the jig 310. However, before the fixing member 537 moves away from the jig 310, the processing part picker 508 must first pick up the jig 310. In addition, the processing unit picker 508 picks up the jig 310 and rises.

상기 지그고정수단(530)에서 상기 지그(310)가 제거되면, 상기 이동수단(550)의 구동모터는 다시 구동하여 상기 지그고정수단(530)은 상기 위치변경장치(520)의 원위치로 이동하게 되어 도 8a에 도시된 바와 같이 된다. When the jig 310 is removed from the jig fixing means 530, the driving motor of the moving means 550 is driven again so that the jig fixing means 530 moves to the original position of the position changing device 520. As shown in FIG. 8A.

그리고, 상기 지그(310)를 픽업하고 있는 상기 가공부 픽커(508)는 다시 하강하여, 상기 척테이블(504) 상에 상기 지그(310)를 안착시키게 된다. 그러면, 상 기 척테이블(504)은 90도 회전하여 상기 척테이블 이송라인(506)을 따라 상기 블레이드(502)로 이동하게 된다. 따라서, 상기 지그(310)에 고정되어 있는 상기 반도체 패키지(SP)의 타측면이 그라인딩되게 된다. Then, the processing unit picker 508 picking up the jig 310 is lowered again to seat the jig 310 on the chuck table 504. Then, the chuck table 504 is rotated 90 degrees to move to the blade 502 along the chuck table transfer line 506. Thus, the other side surface of the semiconductor package SP fixed to the jig 310 is ground.

상기 지그(310)의 반도체 패키지(SP)의 가공이 완료되면, 상기 척테이블(504)은 다시 상기 척테이블 이송라인(506)을 따라 원위치로 복귀하고, 상기 척테이블(504)은 반대로 90도로 회전하게 된다. 상기 척테이블(504)이 회전하면, 상기 가공부 픽커(508)가 상기 지그(310)를 파지하여, 상기 가공부 픽커 이송라인(509)을 따라 이동하여 상기 지그홀더(376)의 지그안착공(382)에 상기 지그(310)를 안착시킨다. When the processing of the semiconductor package SP of the jig 310 is completed, the chuck table 504 is returned to its original position along the chuck table transfer line 506, and the chuck table 504 is reversed by 90 degrees. Will rotate. When the chuck table 504 rotates, the processing unit picker 508 grasps the jig 310, moves along the processing unit picker transfer line 509, and the jig seating hole of the jig holder 376. The jig 310 is seated at 382.

상기 지그(310)가 상기 지그홀더(376)에 완전히 안착되어 고정되면, 상기 수평연동수단(372)는 오른쪽으로 상기 수직연동수단(374)는 도 5b에 도시된 바와 같이, 상방으로 이동하여 상기 지그홀더(376)가 수직으로 세워지게 된다. 상기 지그홀더(376)가 세워져 도 5c에 도시된 바와 같이 동작되면, 상기 제 1푸시유닛(390)을 구동하는 모터가 구동하여 제 1푸시유닛(390)를 상기 지그홀더(376)의 전면에 근접될 때까지 슬라이딩시켜, 도 5d에 도시된 바와 같이 구동된다. When the jig 310 is fully seated and fixed to the jig holder 376, the horizontal interlocking means 372 moves to the right and the vertical interlocking means 374 moves upward, as shown in FIG. 5B. The jig holder 376 is erected vertically. When the jig holder 376 is erected and operated as shown in FIG. 5C, a motor for driving the first push unit 390 is driven to move the first push unit 390 to the front of the jig holder 376. By sliding until close, it is driven as shown in FIG. 5D.

또한, 상기 제 2푸시(402)를 구동하는 모터가 구동하여 상기 제 2푸시(402)가 상기 지그(310)의 배면방향에서 상기 슬릿(314)을 관통하여 상기 슬릿(314) 내부에 적재되어 있는 상기 반도체 패키지(SP)를 상기 시트블럭(392)의 안착부(394)로 이동시킨다. In addition, a motor driving the second push 402 is driven so that the second push 402 penetrates the slit 314 in the rear direction of the jig 310 to be loaded into the slit 314. The semiconductor package SP is moved to a seating portion 394 of the seat block 392.

이때 상기 제 2푸시(402)의 선단은 2층 구조로 되어 있고, 상대적으로 상방 에 있는 선단의 길이가 하방에 있는 것보다 짧아, 상기 제 2푸시(402)가 상기 반도체 패키지(SP)를 밀더라도 상기 단차진 시트블럭(392)의 제 1안착부(394a) 및 제 2안착부(394b)에 정확하게 안착되게 된다. At this time, the tip of the second push 402 has a two-layer structure, and the length of the tip that is relatively upward is shorter than that of the bottom, so that the second push 402 pushes the semiconductor package SP. Even if the first seat 394a and the second seat 394b of the stepped seat block 392 is accurately seated.

상기 안착부(394)에 상기 반도체 패키지(SP)가 적재되면, 상기 고정부 픽커(322)가 상기 고정부 픽커 이송라인(320)을 따라 이동하여 상기 제 1안착부(374a)및 제 2안착부(374b)의 상방에 위치하게 되고, 구동수단(328)의 하강에 의해 상기 반도체 패키지(SP)를 파지하게 된다. When the semiconductor package SP is loaded on the seating part 394, the fixed part picker 322 moves along the fixed part picker transfer line 320 to allow the first seating part 374a and the second seating. It is located above the portion 374b, and the semiconductor package SP is held by the lowering of the driving means 328.

이때, 상기 고정부 픽커(322)에 2줄로 구비된 흡착노즐(327)이 결합되어 있는 지지바아(332a, 332b)는 각각 별도의 구동수단(328a, 328b)에 의해 구동되어, 상기 단차진 시트블럭(392) 상의 제 1안착부(394a) 및 제 2안착부(394b)에 놓여진 상기 반도체 패키지(SP)를 용이하게 파지할 수 있게 된다. At this time, the support bar 332a, 332b to which the suction nozzle 327 provided in two rows is coupled to the fixed part picker 322 is driven by separate driving means 328a and 328b, respectively, The semiconductor package SP placed on the first seating portion 394a and the second seating portion 394b on the block 392 can be easily gripped.

상기 반도체 패키지(SP)를 파지한 상기 고정부 픽커(322)는 상기 고정부 픽커 이송라인(320)을 따라 이동하여 상기 턴테이블(302) 상에 위치하고, 상기 턴테이블(302) 상에 상기 반도체 패키지(SP)를 위치시킨다. The fixing part picker 322 holding the semiconductor package SP moves along the fixing part picker transfer line 320 and is located on the turntable 302, and the semiconductor package (302) is placed on the turntable 302. Place SP).

상기 반도체 패키지(SP)를 적재한 상기 턴테이블(302)은 상기 턴테이블 이송라인(304)을 따라 이동한다. 상기 전달부 픽커 이송라인(202)을 따라 이동하는 상기 전달부 픽커(204)가 상기 턴테이블(302) 상의 반도체 패키지(SP)를 파지하여 상기 네스트(622)의 베이스부(624) 상의 패키지 안착부(626)에 안착시킨다.The turntable 302 which loads the semiconductor package SP moves along the turntable transfer line 304. The delivery picker 204 moving along the delivery picker transfer line 202 grasps the semiconductor package SP on the turntable 302 so that the package seating part on the base part 624 of the nest 622. Seated at (626).

상기 반도체 패키지(SP)가 상기 베이스부(624)의 패키지 안착부(626)에 안착되면, 상기 베이스부(624)의 하방에 형성된 돌기부(628)들에 의해 상기 반도체 패 키지(SP)는 하방으로 떨어지지 않고 고정되게 된다. When the semiconductor package SP is seated on the package seating portion 626 of the base portion 624, the semiconductor package SP is lowered by the protrusions 628 formed below the base portion 624. It will be fixed without falling off.

상기 반도체 패키지(SP)의 이송이 완료된 상기 네스트(622)는 네스트 이송라인(612)을 따라 이동하여 네스트유닛(620)이 구비된 커버장착공간으로 이동하고, 상기 네스트유닛(620)에서는 커버(630)로 상기 베이스부(624)의 상부를 덮게 한다. After the transfer of the semiconductor package SP is completed, the nest 622 is moved along the nest transfer line 612 to the cover mounting space with the nest unit 620, the nest unit 620 in the cover ( 630 to cover the upper portion of the base portion 624.

상기 커버(630)의 장착과정에 대해 상세하게 설명하면, 상기 네스트(622)의 상기 베이스부(624)가 상기 네스트유닛(620)으로 이송되면 도 11b에 도시된 바와 같이 되고, 상기 네스트유닛(620)의 구동수단(640)은 상기 커버(630)를 하강시키도록 동작하게 된다. The mounting process of the cover 630 will be described in detail. When the base portion 624 of the nest 622 is transferred to the nest unit 620, the nest unit 620 is as shown in FIG. 11B, and the nest unit ( The driving means 640 of the 620 is operated to lower the cover 630.

상기 커버(630)가 하강되면서, 상기 커버(630)의 걸이돌기(634)가 상기 베이스부(624)의 걸이홈(629)에 삽입되면서, 상기 커버(630)가 상기 베이스부(624)에 완전하게 체결되게 되어, 도 11c와 도시된 바와 같이 된다. As the cover 630 is lowered, the hook protrusion 634 of the cover 630 is inserted into the hook groove 629 of the base 624, and the cover 630 is attached to the base 624. It will be fully engaged, as shown in Fig. 11C.

이때, 상기 커버(630)에는 상기 패키지 안착부(626)에 대응되는 부분이 관통되어 있으나, 돌출부(632)에 의해 상기 반도체 패키지(SP)가 네스트 상방으로 이탈되지 않게 된다. In this case, a portion corresponding to the package seating portion 626 is penetrated through the cover 630, but the semiconductor package SP is not separated from the nest by the protrusion 632.

상기 베이스부(624)와 상기 커버(630)가 체결된 상기 네스트(622)는 도 11d에 도시된 바와 같이 상기 네스트 이송라인(612)을 따라 세척건조실(650)로 이동한다. 상기 세척건조실(650)은 상하로 노즐(652)이 구비되며, 상기 노즐(652)을 통하여 상하로 세척액과, 공기가 배출되면서, 상기 네스트(622)에 적재된 상기 반도체 패키지(SP)를 세척건조하게 된다. The nest 622 to which the base portion 624 and the cover 630 are fastened moves to the washing and drying chamber 650 along the nest transfer line 612 as shown in FIG. 11D. The washing and drying chamber 650 is provided with a nozzle 652 up and down, and while washing liquid and air are discharged up and down through the nozzle 652, the semiconductor package SP loaded in the nest 622 is washed. It becomes dry.

상기 세척건조가 완료된 상기 반도체 패키지(SP)는 다시 상기 네스트 이송라 인(612)을 따라 이동하다가 다시 상기 세척트레이유닛(620)이 커버장착공간으로 이송된다. 상기 커버장착공간에서 상기 커버장착과정의 역순으로 상기 커버(630)를 제거하게 된다. After the washing and drying is completed, the semiconductor package SP moves again along the nest transfer line 612, and then the washing tray unit 620 is transferred to the cover mounting space. The cover 630 is removed in the reverse order of the cover mounting process in the cover mounting space.

상기 커버(630)가 제거된 상기 네스트(622)은 상기 제 1검사부이송라인(712)의 하방에 위치하게 되고, 상기 제 1검사유닛(710)이 상기 세척트레이(622)의 반도체 패키지(SP)의 상방에서 상기 반도체 패키지(SP)의 불량여부를 검사한다.The nest 622 from which the cover 630 is removed is positioned below the first inspection unit transfer line 712, and the first inspection unit 710 is a semiconductor package SP of the cleaning tray 622. ) Is inspected for defects in the semiconductor package SP.

상기 제 1검사유닛(710)은 상기 세척트레이(622)에 안착되어 있는 반도체 패키지(SP) 중에 불량으로 판정된 반도체 패키지(SP)의 위치를 저장하게 된다. 나중에, 상기 불량으로 판정된 반도체 패키지(SP)를 별도로 제거하게 된다. The first inspection unit 710 stores the position of the semiconductor package SP that is determined to be defective in the semiconductor package SP seated on the cleaning tray 622. Later, the semiconductor package SP determined as defective is separately removed.

또한, 상기 제 1검사유닛(710)에서 양품 또는 불량품으로 판정된 반도체 패키지(SP)는 상기 전달부 픽커(202)에 의해 파지되어 상기 전달부 픽커 이송라인(204)을 따라 상기 이동테이블 이송라인(104b)으로 이동하게 된다. 이때, 제 2검사유닛(720)이 상기 전달부 픽커 이송라인(204)의 하방에 위치하면서, 상기 전달부 픽커 이송라인(204)을 따라 전송되는 상기 반도체 패키지(SP)를 하방에서 불량여부를 검사한다. In addition, the semiconductor package SP, which is determined as good or defective in the first inspection unit 710, is gripped by the transfer unit picker 202 and moves along the transfer unit picker transfer line 204 along the transfer table transfer line. Go to 104b. At this time, while the second inspection unit 720 is positioned below the transfer unit picker transfer line 204, whether the semiconductor package SP transferred along the transfer unit picker transfer line 204 is defective from below. Check it.

만약에, 상기 제 2검사유닛(720)에서 상기 반도체 패키지(SP)가 불량으로 판정되면, 상기 제 1검사유닛(710)에서 불량으로 판정된 상기 반도체 패키지(SP)와 함께, 이동테이블 이송라인(104c)의 상방까지 안내되어, 상기 이동테이블의 리워크 트레이(102)에 안착된다. If the semiconductor package SP is determined to be defective in the second inspection unit 720, the moving table transfer line together with the semiconductor package SP determined as defective in the first inspection unit 710. Guided to 104c above, it is seated on the rework tray 102 of the movable table.

그러나, 상기 제 2검사유닛(720)에서 상기 반도체 패키지(SP)가 양품으로 판 정되면, 상기 이동테이블 이송라인(104b)의 상방에 위치하게 되고, 상기 이동테이블이 상기 전달부 픽커(202) 하방으로 이동하고, 상기 전달부 픽커(202)는 상기 이동테이블의 양품트레이(102) 상에 상기 양품으로 판정된 반도체 패키지(SP)를 적재한다. However, when the semiconductor package SP is determined as good in the second inspection unit 720, the semiconductor package SP is positioned above the transfer table transfer line 104b, and the transfer table is located in the transfer unit picker 202. It moves downward, and the said transfer part picker 202 loads the semiconductor package SP determined as the said goods on the goods supply tray 102 of the said moving table.

이하, 도 12 및 도 13a 내지 도 13e에 도시된 바를 참조하여, 제 2 실시예인 위치변경장치가 채용된 상기 반도체 가공시스템을 설명한다. 12 and 13A to 13E, a description will be given of the semiconductor processing system employing the position changing device as the second embodiment.

먼저, 상기 반도체 패키지 가공시스템에서 상기 제 2실시예인 위치변경장치(5200)는 도 12에 도시된 바와 같이 상기 제 1실시예인 위치변경장치(520)와는 달리 척테이블 이송라인(5060) 상에 위치하게 된다. 즉, 상기 제 1실시예인 위치변경장치(520)와는 달리 이동수단이 구비되어 있지 않게 된다. First, in the semiconductor package processing system, the position change device 5200, which is the second embodiment, is positioned on the chuck table transfer line 5060, unlike the position change device 520, which is the first embodiment, as shown in FIG. Done. That is, unlike the position change device 520 of the first embodiment, no moving means is provided.

상기 위치변경장치(5200)의 구성을 살펴보면, 상기 위치변경장치(5200)도 상술한 제 1실시예의 위치변경장치(520)과 마찬가지로, 반도체 패키지(SP)가 삽입되어 고정된 지그(3100)를 고정하는 지그고정수단(5300)과, 상기 지그고정수단(5300)을 회동시키는 회전수단(5400)을 포함하여 구성되어 기본적인 구성은 동일하게 된다. 다만, 구체적인 구성은 다음과 같이 상이하게 된다. Looking at the configuration of the position change device 5200, the position change device 5200, as well as the position change device 520 of the first embodiment described above, the jig (3100) to which the semiconductor package SP is inserted and fixed It comprises a jig fixing means 5300 and a rotating means 5400 for rotating the jig fixing means 5300, the basic configuration is the same. However, the specific configuration will be different as follows.

상기 지그고정수단(5300)은, 상기 지그(3100)의 일측을 고정하는 제 1고정부재(5310)와, 상기 제 1고정부재(5310)와 마주하는 위치에 구비되어 상기 지그(3100)의 회전중심을 형성하면서, 상기 지그(3100)의 타측을 고정하는 제 2고정부재(5320)와, 상기 제 1고정부재(5310) 또는 상기 제 2고정부재(5320)의 일측에 구비되어, 상기 고정부재(5310, 5320)가 상기 지그(3100) 방향으로 이동가능하게 하는 이동부재(5330)를 포함하여 구성된다. The jig fixing means 5300 is provided at a position facing the first fixing member 5310 and the first fixing member 5310 to fix one side of the jig 3100 to rotate the jig 3100. A second fixing member 5320 for fixing the other side of the jig 3100 and a side of the first fixing member 5310 or the second fixing member 5320 are formed on the fixing member while forming a center. 5310 and 5320 are configured to include a movable member 5330 to move in the direction of the jig 3100.

상기 제 1고정부재(5310)는 상기 위치변경장치(5200)에 회전가능하게 고정된다. 그리고, 상기 제 1고정부재(5310)와 마주보는 부분에는 제 2고정부재(5320)가 회전가능하게 고정된다. 즉, 상기 제 1고정부재(5310) 및 제 2고정부재(5320)는 상기 위치변경장치(5200)의 회전축을 형성하게 되는 것이다. The first fixing member 5310 is rotatably fixed to the position change device 5200. In addition, the second fixing member 5320 is rotatably fixed to a portion facing the first fixing member 5310. That is, the first fixing member 5310 and the second fixing member 5320 form a rotation shaft of the position change device 5200.

상기 제 1고정부재(5310)의 선단에는 제 1지지축(5312)이 마련된다. 상기 제 1지지축(5312)의 선단는 2개 이상의 돌출된 축으로 형성된다. 상기 축은 상기 제 1지지축(5312)이 회전하면 상기 지그(3100)가 그 회전력을 전달받아 회동할 수 있도록 하기 위함이다. A first support shaft 5312 is provided at the front end of the first fixing member 5310. The front end of the first support shaft 5312 is formed of two or more protruding shafts. The shaft is to allow the jig 3100 to rotate when the first support shaft 5312 is rotated.

그리고, 상기 제 2고정부재(5320)의 선단에는 제 2지지축(5322)이 마련된다. 상기 제 2지지축(5322)의 선단은 상기 제 1지지축(5312)과 마찬가지로 2개 이상의 돌출된 축으로 형성될 수 있다. 그러나, 상기 제 2지지축(5322)에 모터 등의 회전력을 상기 지그(3100)에 전달할 필요가 없을 때는 하나의 돌출된 축으로 구성되어도 상관없다.A second support shaft 5322 is provided at the tip of the second fixing member 5320. The tip of the second support shaft 5322 may be formed of two or more protruding shafts similarly to the first support shaft 5312. However, when it is not necessary to transmit the rotational force of a motor or the like to the jig 3100 on the second support shaft 5322, it may be configured as one protruding shaft.

상기 위치변경장치(5200)에는 이동부재(5330)가 마련된다. 상기 이동부재(5330)는 상기 제 1지지축(5312)이 상기 지그(3100) 방향 즉 상기 제 2지지축(5322) 방향으로 왕복이동할 수 있도록 동력을 제공하는 역할을 한다. The position change device 5200 is provided with a moving member 5330. The movable member 5330 serves to provide power to the first support shaft 5312 to reciprocate in the direction of the jig 3100, that is, the direction of the second support shaft 5322.

즉, 상기 제 1지지축(5312)이 상기 제 2지지축(5322) 방향으로 이동할 수 있도록 하여, 상기 지그(3100)가 상기 지그고정수단(5300)에 착탈가능하게 구성되는 것이다. 물론, 상기 이동부재(5330)는 상기 제 1지지축(5312) 또는 상기 제 2지지 축(5322)의 일단에만 구성될 수 있으며, 상기 제 1지지축(5312) 및 상기 제 2지지축(5322)의 양단에 구비될 수도 있다. That is, the first support shaft 5312 can move in the direction of the second support shaft 5322 so that the jig 3100 is detachably attached to the jig fixing means 5300. Of course, the movable member 5330 may be configured only at one end of the first support shaft 5312 or the second support shaft 5322, and the first support shaft 5312 and the second support shaft 5322. It may be provided at both ends of the).

그리고, 상기 위치변경장치(5200)에는 회전수단(5400)이 마련된다. 상기 회전수단(5400)은, 상기 제 1고정부재(5310) 또는 상기 제 2고정부재(5320)의 일측에 구비되어, 상기 지그(3100)가 회전할 수 있도록 동력을 제공하는 역할을 한다. 상기 회전수단(5400)은 일례로 구동모터로 구성될 수 있다. In addition, the position change device 5200 is provided with a rotation means 5400. The rotating means 5400 is provided at one side of the first fixing member 5310 or the second fixing member 5320 to provide power to the jig 3100 to rotate. The rotating means 5400 may be composed of, for example, a drive motor.

또한, 상기 위치변경장치(5200)에는 세척유닛(5500)이 마련된다. 상기 세척유닛(5500)은 상기 지그고정수단(5300)의 내측에 구비될 수 있으며, 상기 세척유닛(5500)의 노즐이 상기 지그고정수단(5300)에 고정되는 지그(3100) 방향으로 향하도록 구성될 수 있다. 또한, 상기 세척유닛(5500)은 도 13a 내지 도 13e에 도시된 바와 같이, 상기 지그(3100)의 방향으로 슬라이딩가능하도록 구성될 수 있다. 즉, 상기 지그(3100)의 세척이 필요없는 경우에는, 도 13c에 도시된 바와 같이 위치되고, 상기 지그(3100)의 세척이 필요한 경우에는 도 13d에 도시된 바와 같이 위치될 수 있다. In addition, the position change device 5200 is provided with a washing unit (5500). The washing unit 5500 may be provided inside the jig fixing unit 5300, and the nozzle of the washing unit 5500 is configured to face the jig 3100 fixed to the jig fixing unit 5300. Can be. In addition, the washing unit 5500 is as shown in Figure 13a to 13e, It may be configured to be slidable in the direction of the jig 3100. That is, when the cleaning of the jig 3100 is not necessary, it may be located as shown in FIG. 13C, and when the cleaning of the jig 3100 is required, it may be located as shown in FIG. 13D.

또한, 상기 세척유닛(5500)이 회전할 수 있도록 하여 상기 회전할 수 있도록 구성되어 구동하지 않을 때는 노즐이 상기 지그(3100)의 반대방향으로 향하다가 구동시에는 상기 지그(3100) 방향으로 향하도록 구성될 수 있다. In addition, the cleaning unit (5500) is configured to rotate so that the rotation is not driven when the nozzle is directed in the opposite direction of the jig (3100) when driving, so as to face the jig (3100) direction when driving. Can be configured.

상기 세척유닛(5500)은 상기 위치변경장치(5200)가 상기 지그(3100)를 픽업하면서 회전할 때, 상기 지그(3100)에 고정된 반도체 패키지(SP)를 가공시 발생되는 이물질을 제거하고 청소하는 역할을 한다. The cleaning unit 5500 removes and cleans foreign substances generated when processing the semiconductor package SP fixed to the jig 3100 when the position change device 5200 rotates while picking up the jig 3100. Plays a role.

이하 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 제 2실시예인 위치변경장치가 채용된 반도체 가공시스템의 작용을 상세하게 설명한다. Hereinafter, the operation of the semiconductor processing system employing the position changing device of the second embodiment in the present invention having the above-described configuration will be described in detail.

먼저, 가공부(4000)는 도 12에 도시된 바와 같은 구성을 가진다. 이때 일측면의 가공이 완료된 반도체 패키지(SP)가 안착된 지그(3100)의 척테이블(5040)이 상기 가공부 픽커(5080)의 하단에 위치하게 되면, 상기 가공부 픽커(5080)는 상기 지그(3100)를 픽업하여 상승하게 된다. First, the processing unit 4000 has a configuration as shown in FIG. At this time, when the chuck table 5040 of the jig 3100 on which the semiconductor package SP of one side is completed is located at the lower end of the processing part picker 5080, the processing part picker 5080 is the jig. The 3100 is picked up and raised.

이후, 상기 가공부 픽커(5080)는 상기 가공부 픽커 이송라인(5090)을 따라 이동한다. 그리고, 상기 가공부 픽커(5080)는 상기 위치변경장치(5200)의 상방에 위치하게 된다. 그러면, 상기 지그(3100)를 상기 위치변경장치(5200)의 지그고정수단(5300) 내측의 지그안착공간에 안착시켜 도 13a에 도시된 바와 같이 된다. Thereafter, the processing unit picker 5080 moves along the processing unit picker transfer line 5090. In addition, the processing unit picker 5080 is positioned above the position change device 5200. Then, the jig 3100 is seated in the jig seating space inside the jig fixing means 5300 of the position change device 5200, as shown in Figure 13a.

상기 지그(3100)가 상기 지그안착공간에 안착되면, 상기 이동부재(5330)의 구동에 의해 상기 제 1고정부재(5310)가 상기 지그(3100) 방향으로 이동하게 된다. 상기 제 1고정부재(5310)가 상기 지그(3100)방향으로 이동하면서, 상기 지그(3100)를 상기 제 2고정부재(5320) 방향으로 이동시켜, 상기 지그(3100)의 양단은 상기 제 1고정부재(5310)와 상기 제 2고정부재(5320)에 맞물리게 되어, 도 13b에 도시된 바와 같이 된다. When the jig 3100 is seated in the jig seating space, the first fixing member 5310 moves in the direction of the jig 3100 by driving the moving member 5330. While the first fixing member 5310 moves in the direction of the jig 3100, the jig 3100 is moved in the direction of the second fixing member 5320, so that both ends of the jig 3100 are fixed to the first fixing member 5310. It is engaged with the member 5310 and the second fixing member 5320, as shown in Figure 13b.

보다 상세하게 설명하면, 상기 제 1고정부재(5310)의 제 1지지축(5312)과 상기 제 2고정부재(5320)의 제 2지지축(5322)이 상기 지그(3100)의 양단에 결합되게 된다. 상기 지그고정수단(5300)에 상기 지그(3100)가 고정되면, 회전수단(5400)이 구동하여, 상기 지그(3100)를 180도 회전하게 된다. In more detail, the first support shaft 5312 of the first fixing member 5310 and the second support shaft 5322 of the second fixing member 5320 are coupled to both ends of the jig 3100. do. When the jig 3100 is fixed to the jig fixing means 5300, the rotation means 5400 is driven to rotate the jig 3100 by 180 degrees.

상기 회전수단(5400)이 상기 지그(3100)를 180도 회전하게 되면, 상기 지그(3100)의 상면과 하면이 바뀌게 된다. 이때, 상기 지그고정수단(5300)의 일측에 구비되어 있는 세척유닛(5500)에서 에어 등이 분사되어 상기 지그(3100)에 누적되어 있는 이물질을 제거하게 된다. When the rotating means 5400 rotates the jig 3100 by 180 degrees, the top and bottom surfaces of the jig 3100 are changed. At this time, air or the like is sprayed from the washing unit 5500 provided at one side of the jig fixing unit 5300 to remove foreign matter accumulated in the jig 3100.

상기 회전수단(5400)에 의해 상기 지그(3100)의 회전이 완료되면, 상기 가공부 픽커(5080)가 상기 지그(3100)의 상방으로 이동하며, 상기 지그(3100)를 파지하여, 상기 이동부재(5330)의 구동에 의해, 상기 제 1고정부재(5310) 및 상기 제 2고정부재(5320)가 상기 지그(3100)에서 멀어지는 방향으로 이동하여, 상기 제 1지지축(5312) 및 제 2지지축(5322)이 상기 지그(3100)에서 분리되고, 상기 가공부 픽커(5080)가 상기 지그(3100)를 픽업하게 된다. When the rotation of the jig 3100 is completed by the rotating means 5400, the processing unit picker 5080 moves upward of the jig 3100, and grips the jig 3100 to allow the moving member to move. By the driving of the 5330, the first fixing member 5310 and the second fixing member 5320 move in a direction away from the jig 3100, so that the first support shaft 5312 and the second support are moved. The shaft 5322 is separated from the jig 3100, and the processing unit picker 5080 picks up the jig 3100.

상기 가공부 픽커(5080)는 상기 지그(3100)를 픽업하여 상기 가공부 픽커 이송라인(5090)을 따라 다시 상기 척테이블(5040) 상방으로 이동하여, 상기 척테이블(5040) 상면에 상기 지그(3100)를 안착시킨다. The processing unit picker 5080 picks up the jig 3100 and moves upward along the processing unit picker transfer line 5090 to the upper surface of the chuck table 5040, whereby the jig (50) is disposed on an upper surface of the chuck table 5040. 3100).

상기 지그(3100)가 안착된 상기 척테이블(5040)은 상기 블레이드(5020)로 이동하여, 상기 반도체 패키지(SP)의 나머지 타측을 가공하게 된다. 상기 가공이 완료된 상기 반도체 패키지(SP)를 고정하고 있는 지그(3100)는 상술한 공정과 동일하게 진행되게 된다. The chuck table 5040 on which the jig 3100 is seated moves to the blade 5020 to process the other side of the semiconductor package SP. The jig 3100 holding the semiconductor package SP after the processing is completed is performed in the same manner as described above.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다. The rights of the present invention are not limited to the embodiments described above, but are defined by the claims, and those skilled in the art can make various modifications and adaptations within the scope of the claims. It is self-evident.

예를 들면, 본 발명에서는 상기 제 1푸시유닛(390)이 상기 지그(310)가 수직으로 세워져 있는 상기 수직부재(364)로 슬라이딩하여 접근하는 구성으로 되어 있으나, 상기 수직부재(364)가 상기 제 1푸시유닛(390)로 접근하는 구성으로 할 수도 있다. For example, in the present invention, the first push unit 390 is configured to slide to approach the vertical member 364 in which the jig 310 stands vertically, but the vertical member 364 may It may be configured to approach the first push unit 390.

또한, 도 14a 내지 14d에 도시된 바와 같이, 상기 지그홀더(376)가 상기 수직연동수단(374)에는 힌지결합되지 않고, 상기 수평연동수단(372)에서만 상기 지그홀더(376)가 회동가능하면서, 슬라이딩가능하게 구비될 수도 있다. 또한, 이 경우에도, 상술한 도 5a 내지 도 6d에 도시된 바와 같이, 지그홀더고정유닛(384)이 더 마련될 수도 있다.14A to 14D, the jig holder 376 is not hinged to the vertical interlocking means 374, and the jig holder 376 is rotatable only in the horizontal interlocking means 372. It may be provided to be slidable. Also in this case, the jig holder fixing unit 384 may be further provided as shown in FIGS. 5A to 6D.

그리고, 상기 제 1푸시(398)와 제 2푸시(402)가 도 14a 내지 도 14d 에 도시된 바와 같이, 3층으로 구성될 수 있다. 물론, 상기 제 1푸시(398) 및 제 2푸시(402)가 3층으로 구성되면, 상기 시트블럭(392) 역시 안착부(394)가 3층으로 구성될 수 있다. In addition, the first push 398 and the second push 402 may be formed of three layers, as shown in Figure 14a to 14d. Of course, when the first push 398 and the second push 402 is composed of three layers, the seat block 392 may also be composed of three layers of the seating portion 394.

그리고, 도 15에 도시된 바와 같이, 상술한 제 1실시예의 위치변환장치(520')가 상기 척테이블 이송라인(506') 상에 위치하도록 구성될 수 있다. 이는 도시된 바와 같이 상술한 제 1실시예의 구성에서 지그고정수단(530')만 구비되고, 상기 지그고정수단(530')이 가이드(G)를 따라 상하로 이동할 수 있도록 구성할 수도 있다. 또한, 상기 지그고정수단을 회전시킬 수 있는 회전수단이 마련되는데, 모터 등으로 구성될 수 있다. As shown in FIG. 15, the position conversion device 520 ′ of the first embodiment may be configured to be positioned on the chuck table transfer line 506 ′. As shown, only the jig fixing means 530 'is provided in the above-described configuration of the first embodiment, and the jig fixing means 530' may be configured to move up and down along the guide G. In addition, there is provided a rotation means for rotating the jig fixing means, it may be composed of a motor or the like.

즉, 지그를 상면에 적재하고 있는 척테이블이 척테이블 이송라인을 따라 이 동하는 중에 상기 위치변환장치의 하방에 위치되고, 상기 위치변환장치가 상기 지그를 픽업하여, 가이드를 따라 상승하고, 상기 위치변환장치의 회전수단이 회전한 후, 상기 위치변환장치가 가이드를 따라 하강하여, 상기 지그를 척테이블 상에 안착시키도록 동작할 수 있다.That is, while the chuck table loading the jig on the upper surface is located below the position changing device while moving along the chuck table transfer line, the position changing device picks up the jig and ascends along the guide. After the rotation means of the position conversion device is rotated, the position conversion device is lowered along the guide to operate to seat the jig on the chuck table.

이와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 지그 어셈블리는 지그의 슬릿의 크기가 상기 슬릿에 반도체 패키지가 삽입 및 탈거 될 때는 넓어지고, 고정될 때는 좁아지도록 하여 상기 반도체 패키지를 이동할 수 없도록 고정하여 상기 반도체 패키지의 가공시 작업이 안정적으로 이루어지고, 상기 슬릿의 크기의 조절이 클램핑유닛에 의해 자동으로 이루어져 반도체 패키지의 가공시 작업이 단순해져 작업시간이 줄어드는 이점이 있다. The jig assembly according to the present invention having such a configuration is such that the size of the slit of the jig becomes wider when the semiconductor package is inserted into and removed from the slit, and narrows when fixed so that the semiconductor package cannot be moved so that the semiconductor package cannot be moved. The work is made stable during the processing, the size of the slit is automatically controlled by the clamping unit is simplified in the processing of the semiconductor package has the advantage of reducing the working time.

도 1은 본 발명에 의한 반도체 패키지 가공시스템을 개략적으로 보인 구성도.1 is a schematic view showing a semiconductor package processing system according to the present invention.

도 2는 도 1을 구성하는 패키지 고정부의 동작과정을 보인 평면도.FIG. 2 is a plan view illustrating an operation process of a package fixing part of FIG. 1. FIG.

도 3은 도 3의 패키지 고정부를 구성하는 픽업장치의 구성을 측면에서 보인 측면도.Figure 3 is a side view showing the configuration of the pickup device constituting the package fixing portion of FIG.

도 4는 도 4의 구성을 보인 평면도.4 is a plan view showing the configuration of FIG.

도 5a 내지 5d는 도 1을 구성하는 패키지 고정부의 구성 및 동작과정을 측면에서 보인 측면도.Figure 5a to 5d is a side view showing the configuration and operation of the package fixing portion constituting Figure 1 in a side view.

도 6a 내지 6d는 도 1을 구성하는 패키지 고정부의 구성 및 동작과정을 보인 평면도.6a to 6d are plan views showing the configuration and operation of the package fixing part of FIG.

도 7은 도 2을 구성하는 시트블럭의 구성을 보인 사시도.FIG. 7 is a perspective view illustrating a configuration of a seat block of FIG. 2. FIG.

도 8a 및 8b는 도 1을 구성하는 위치변경장치의 동작과정을 보인 평면도.8A and 8B are plan views illustrating an operation process of the position change device of FIG. 1.

도 9은 도 8의 위치변경장치에 지그가 가고정되는 가고정구조를 보인 분해사시도.9 is an exploded perspective view showing a temporarily fixed structure in which the jig is temporarily fixed to the position changing device of FIG.

도 10은 도 1을 구성하는 세척건조부의 세척트레이를 보인 평면도.FIG. 10 is a plan view illustrating a washing tray of the washing and drying unit of FIG. 1. FIG.

도 11a 내지 11d는 도 1을 구성하는 세척건조부의 동작과정을 보인 측면도.11a to 11d is a side view showing the operation of the washing and drying unit constituting FIG.

도 11e 및 도 11f는 도 1을 구성하는 세척건조부의 다른 실시예를 보인 구성도.Figure 11e and 11f is a view showing another embodiment of the washing and drying unit constituting FIG.

도 12는 도 1을 구성하는 가공부의 다른 실시예를 보인 평면도.12 is a plan view showing another embodiment of the machining unit constituting FIG.

도 13a 및 13e는 도 12을 구성하는 위치변경장치의 동작과정을 보인 평면도 및 측면도.13A and 13E are a plan view and a side view showing an operation process of the position change device of FIG.

도 14a 내지 14d는 도 1을 구성하는 패키지 고정부의 다른 실시예의 동작과정을 보인 측면도.14A to 14D are side views illustrating the operation of another embodiment of the package fixing part of FIG. 1;

도 15는 도 1을 구성하는 가공부의 다른 실시예를 보인 평면도.FIG. 15 is a plan view showing another embodiment of the machining unit constituting FIG. 1; FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100: 로딩언로딩부 200: 전달부100: loading unloading unit 200: transfer unit

300: 패키지 고정부 302: 턴테이블300: package fixing part 302: turntable

304: 턴테이블 이송라인 310: 지그304: turntable transfer line 310: jig

312: 몸체 314: 슬릿312: body 314: slit

319: 이송수단 320: 고정부 픽커 이송라인319: transfer means 320: fixed part picker transfer line

322: 고정부 픽커 324: 픽업장치322: fixed part picker 324: pickup device

326: 흡착수단 328: 구동수단326: adsorption means 328: driving means

330: 연동유닛 340: 보정유닛330: linkage unit 340: correction unit

350: 패키지고정어셈블리 360: 몸체유닛350: package fixed assembly 360: body unit

370: 연동유닛 376: 지그홀더370: linkage unit 376: jig holder

390: 제 1푸시유닛 400: 제2푸시유닛390: first push unit 400: second push unit

500: 가공부 502: 블레이드500: processing part 502: blade

504: 척테이블 506: 척테이블 이송라인504: chuck table 506: chuck table transfer line

508: 가공부 픽커 509: 가공부 픽커 이송라인508: Machine Picker 509: Machine Picker Transfer Line

520: 위치변경장치 530: 지그고정수단520: position changing device 530: jig fixing means

531: 지그안착공간 532: 프레임531: jig seating space 532: frame

534: 고정유닛 536: 고정슬릿534: fixed unit 536: fixed slit

537: 고정부재 538: 이동부재537: fixing member 538: moving member

540: 회전수단 542: 구동부재540: rotation means 542: drive member

544: 연동유닛 546: 랙544: linkage unit 546: rack

548: 피니언 550: 이동수단548: pinion 550: vehicle

552: 벨트 554: 벨트고정부재552: belt 554: belt fixing member

556: 풀리 600: 세척건조부556: pulley 600: washing and drying unit

612: 네스트 이송라인 620: 네스트유닛 612: Nest transfer line 620: Nest unit

622: 네스트 624: 베이스부 622: nest 624: base portion

630: 커버 640: 구동수단630: cover 640: drive means

650: 세척건조실 652: 노즐650: washing and drying chamber 652: nozzle

700: 검사부 710: 제 1검사유닛700: inspection unit 710: first inspection unit

712: 제 1검사부이송라인 720: 제 2검사유닛712: first inspection unit transfer line 720: second inspection unit

722: 제 2검사부이송라인 5200: 플립퍼링부재722: second inspection unit feed line 5200: flipper ring member

5300: 지그고정수단 5310: 제 1고정부재5300: jig fixing means 5310: first fixing member

5320: 제 2고정부재 5400: 회전수단5320: second fixing member 5400: rotating means

5500: 세척유닛5500: cleaning unit

Claims (5)

반도체 패키지가 삽입되도록 슬릿이 마련되는 지그;A jig provided with a slit to insert the semiconductor package; 내부에 상기 지그가 안착될 수 있는 지그안착공이 마련되는 몸체; 그리고, A body provided with a jig seating hole in which the jig may be seated; And, 상기 지그안착공의 가장자리 양측에 마련되어, 상기 지그의 슬릿의 크기를 조절할 수 있는 지그클램핑유닛을 포함하는 지그 어셈블리.Jig assembly provided on both sides of the edge of the jig seating hole, the jig clamping unit that can adjust the size of the slit of the jig. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 지그는, The jig is, 상기 슬릿의 크기를 조절하도록 상기 슬릿의 길이방향으로 슬라이딩가능한 조절부; 그리고,An adjustable part slidable in the longitudinal direction of the slit to adjust the size of the slit; And, 상기 조절부를 탄성지지하는 탄성부재;를 포함하는 지그 어셈블리.Jig assembly comprising a; elastic member for elastically supporting the control unit. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 지그클램핑유닛은, The jig clamping unit, 상기 조절부에 형성된 조절공에 일단이 삽입되고 소정의 간격 이동가능한 이동부재; 그리고,A movable member having one end inserted into an adjustment hole formed in the adjustment unit and movable at a predetermined interval; And, 상기 이동부재가 이동가능하도록 동력을 제공하는 구동부재;를 포함하는 지그 어셈블리.And a driving member for providing power to move the movable member. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 구동부재가 동력을 제공하는 방향과, 상기 탄성부재가 탄성을 제공하는 방향이 서로 반대방향인 것을 특징으로 하는 지그 어셈블리.And the direction in which the driving member provides power and the direction in which the elastic member provides elasticity are opposite to each other. 제1항 내지 제4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 지그의 슬릿은 상기 반도체 패키지가 그 양단이 노출되어 삽입될 수 있도록 형성되는 것을 특징으로 하는 지그 어셈블리.The jig assembly according to any one of claims 1 to 4, wherein the slit of the jig is formed such that the semiconductor package can be inserted with both ends exposed.
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