KR100878408B1 - 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 접착제를 매개로 하여 제 1 웨이퍼를 웨이퍼 지지체(Wafer Support Substrate)에 장착하는 단계;상기 제 1 웨이퍼에 대해 다수의 이격 공간(separation)을 형성하는 단계;상기 이격 공간을 따라 상기 제 1 웨이퍼의 면에 폐곡선 형태의 상부 실링 패턴(sealing pattern)을 다수 형성하는 단계;상기 상부 실링 패턴에 대응하는 하부 실링 패턴을 구비하며, 상기 제1 웨이퍼보다 열팽창률이 작은 제 2 웨이퍼를 준비하는 단계;상기 상부 실링 패턴과 상기 하부 실링 패턴을 매개로 하여 상기 제 1 웨이퍼와 상기 제 2 웨이퍼를 접합하는 단계; 및각각의 패키지로 분리하기 위해 상기 이격 공간을 거쳐서 설정된 절단선을 따라 상기 제 2 웨이퍼까지 절단하는 단계를 포함하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 웨이퍼와 상기 제 2 웨이퍼를 접합하는 단계를 수행한 후에,상기 웨이퍼 지지체를 제거하고 상기 접착제를 UV, 열(thermal), 용제 및 레이저 광 중 어느 하나에 반응하여 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 접착제는 UV, 열(thermal), 용제 및 레이저 광 중 어느 하나에 반응하여 제거되는 폴리머 재질로 이루어진 접착제인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 1 웨이퍼가 캡 기판용 웨이퍼인 경우, 상기 제 2 웨이퍼는 디바이스 기판용 웨이퍼이고,상기 디바이스 기판용 웨이퍼는 상기 하부 실링 패턴에 둘러싸인 디바이스, 상기 디바이스에 전기적으로 연결된 패드 및 상기 패드에 구비되어 상기 캡 기판용 웨이퍼에 접착된 전도성 페이스트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제 1 웨이퍼가 디바이스 기판용 웨이퍼인 경우, 상기 제 2 웨이퍼는 캡 기판용 웨이퍼이고,상기 디바이스 기판용 웨이퍼는 상기 상부 실링 패턴에 둘러싸인 디바이스, 상기 디바이스에 전기적으로 연결된 패드 및 상기 패드에 구비되어 상기 캡 기판용 웨이퍼에 접착된 전도성 페이스트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 4 항에 있어서,상기 디바이스 기판용 웨이퍼 또는 상기 캡 기판용 웨이퍼에는 상기 패드에 전기적으로 연결되는 다수의 비아가 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 캡 기판용 웨이퍼 또는 상기 디바이스 기판용 웨이퍼에는 상기 패드에 전기적으로 연결되는 다수의 비아가 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 상부 실링 패턴과 상기 하부 실링 패턴은 BCB(Benzocyclobutene), DFR(Dry Film Resin), 에폭시(epoxy) 및 열경화성 폴리머를 포함한 군에서 선택된 적어도 어느 하나의 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 이격 공간 및 상부 실링 패턴을 다수 형성하는 단계는상기 제 1 웨이퍼에 대해 블레이드(blade)를 이용한 기계적인 방법으로 상기 이격 공간을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 이격 공간 및 상부 실링 패턴을 다수 형성하는 단계는상기 제 1 웨이퍼에 대해 포토 레지스트 패턴(photo-resist pattern)을 이용한 에칭(etching) 공정을 상기 접착제가 노출시킬 때까지 수행하여 상기 이격 공간을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 이격 공간 및 상부 실링 패턴을 다수 형성하는 단계는상기 제 1 웨이퍼에 대해 광의 출력과 주파수를 조절한 레이저를 이용한 방법으로 상기 이격 공간을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 상부 접착제를 매개로 하여 폐곡선 형태의 상부 실링 패턴을 구비한 캡 기판용 웨이퍼를 상부 웨이퍼 지지체에 장착하는 단계;하부 접착제를 매개로 하여 상기 상부 실링 패턴에 대응하는 하부 실링 패턴 을 구비한 디바이스 기판용 웨이퍼를 하부 웨이퍼 지지체에 장착하는 단계;상기 상부 실링 패턴의 외측으로 상기 캡 기판용 웨이퍼에 제 1 이격 공간(separation)을 형성하는 단계;상기 제 1 이격 공간에 대응하여 상기 디바이스 기판용 웨이퍼에 제 2 이격 공간을 형성하는 단계;상기 상부 실링 패턴과 상기 하부 실링 패턴을 매개로 하여 상기 캡 기판용 웨이퍼와 상기 디바이스 기판용 웨이퍼를 접합하는 단계; 및상기 상부 웨이퍼 지지체와 상기 하부 웨이퍼 지지체를 제거하여 상기 제 1 이격 공간과 상기 제 2 이격 공간을 통해 각각의 웨이퍼 레벨 패키지로 분리하는 단계를 포함하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 12 항에 있어서,상기 캡 기판용 웨이퍼에는상기 상부 실링 패턴에 둘러싸인 다수의 관통 비아가 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 12 항에 있어서,상기 디바이스 기판용 웨이퍼에는상기 하부 실링 패턴에 둘러싸인 디바이스, 상기 디바이스에 전기적으로 연 결된 다수의 패드, 상기 패드에 구비되어 상기 캡 기판용 웨이퍼에 접착된 전도성 페이스트 및 상기 패드에 연결된 다수의 관통 비아를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 12 항에 있어서,상기 상부 접착제와 상기 하부 접착제는 UV, 열(thermal), 용제 및 레이저 광 중 어느 하나에 반응하여 제거되는 폴리머 재질로 이루어진 접착제인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 12 항에 있어서,상기 상부 실링 패턴과 상기 하부 실링 패턴은 BCB(Benzocyclobutene), DFR(Dry Film Resin), 에폭시(epoxy) 및 열경화성 폴리머를 포함한 군에서 선택된 적어도 어느 하나의 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 12 항에 있어서,상기 제 1 이격 공간을 형성하는 단계와 상기 제 2 이격 공간을 형성하는 단계는 블레이드(blade)를 이용한 기계적인 방법으로 상기 상부 접착제와 상기 하부 접착제 각각을 노출시킬 때까지 수행하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 12 항에 있어서,상기 제 1 이격 공간을 형성하는 단계와 상기 제 2 이격 공간을 형성하는 단계는포토 레지스트 패턴(photo-resist pattern)을 이용한 에칭(etching) 공정을 상기 상부 접착제와 상기 하부 접착제 각각을 노출시킬 때까지 수행하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 12 항에 있어서,상기 제 1 이격 공간을 형성하는 단계와 상기 제 2 이격 공간을 형성하는 단계는 광의 출력과 주파수를 조절한 레이저를 이용하여 상기 상부 접착제와 상기 하부 접착제 각각을 노출시킬 때까지 수행하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
- 제 12 항에 있어서,상기 웨이퍼 레벨 패키지로 분리하는 단계는상기 상부 웨이퍼 지지체와 상기 하부 웨이퍼 지지체를 제거한 후,상기 접착제를 UV, 열(thermal), 용제 및 레이저 광 중 어느 하나에 반응하여 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키징 방법.
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