KR100866323B1 - 대면적 박막 코팅방법 및 그 장치 - Google Patents

대면적 박막 코팅방법 및 그 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 대면적 박막 코팅방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 기층의 일면에 액체 화학 물질을 부어서 준비하는 제1 단계, 실린더의 외주면에 선이 감겨져 형성된 바 코터(bar coater)를 기층의 일면에서 회전 전진시켜 액체 화학 물질을 도포하는 제2 단계, 및 기층의 일면으로부터 설정된 높이에 스퀴지(squeegee) 또는 블레이드(blade)를 위치시키고 스퀴지 또는 블레이드를 설정된 속도로 전진시켜 도포된 상태의 액체 화학 물질을 설정된 도포 두께로 조절하는 제3 단계에 따라 작업이 이루어진다.
이와 같이 본 발명의 대면적 박막 코팅방법 및 그 장치는 바 코터, 스퀴지 또는 블레이드를 이용함으로써, 감광액 또는 페이스트와 같은 액체 화학 물질을 일정 넓이 이상의 대면적 기층에 용이하게 도포할 수 있을 뿐만 아니라, 기층에 도포된 액체 화학 물질의 도포 두께도 10um 이하의 박막으로 설정할 수 있는 효과가 있다.
바 코터(Bar coater), 스퀴지, 닥터 블레이드, 박막, 박막코팅, 대면적 도포

Description

대면적 박막 코팅방법 및 그 장치{Thin Film Coating Method and Apparatus for Large Area}
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 바 코터를 이용한 대면적 박막 코팅방법의 각 단계를 나타낸 공정도이다.
도 2는 도 1에 도시된 대면적 박막 코팅방법에 사용되는 바 코터를 나타낸 사시도이다.
도 3a 및 도 3b는 도 1에 도시된 대면적 박막 코팅방법의 각 단계 상태를 나타낸 사시도이다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 제2 실시예에 따른 바 코터와 스퀴지를 이용한 대면적 박막 코팅방법의 각 단계를 개략적으로 나타낸 공정도이다.
도 5는 도 4a 내지 도 4c에 도시된 대면적 박막 코팅방법 중 스퀴징 단계를 나타낸 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 스퀴징 단계에 사용되는 스퀴즈들을 각각 나타낸 도면이다.
도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 제3 실시예에 따른 바 코터와 닥터 블레이드를 이용한 대면적 박막 코팅방법의 각 단계를 개략적으로 나타낸 공정도이다.
도 8은 도 7a 내지 도 7c에 도시된 대면적 박막 코팅방법 중에서 블레이딩하 는 단계와, 이에 사용되는 닥터 블레이드의 높이 조절 수단을 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시예들에 의한 대면적 박막 코팅방법을 수행하기 위한 대면적 박막 코팅장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 10은 도 9에 도시된 대면적 박막 코팅장치에 결합되어, 박막 두께를 조절하는 박막 두께 조절기의 사시도이다.
도 11는 도 10에 도시된 박막 두께 조절기에서 스퀴지의 결합관계를 나타낸 개략도이다.
도 12은 도 10에 도시된 박막 두께 조절기에서 닥터 블레이드의 결합관계를 나타낸 개략도이다.
본 발명은 감광액 또는 페이스트와 같은 액체 화학 물질을 박막 코팅하는 박막 코팅방법 및 그 장치에 관한 것이며, 더 상세하게는 일정 넓이 이상의 대면적에 액체 화학 물질을 보다 용이하게 박막 코팅할 수 있는 대면적 박막 코팅방법 및 그 장치에 관한 것이다.
종래기술에 따른 박막 코팅방법은 반도체의 제조시와 같이 웨이퍼에 감광액(photoresist) 또는 페이스트(paste)와 같은 액체 화학 물질을 도포하고, 이런 액체 화학 물질을 박막으로 코팅한다. 이와 같은 종래기술의 박막 코팅방법은 현재까지 스프레이(spray) 방식, 딥핑(dipping) 방식, 스핀 코팅(spin coating)과 같이 여러 기술들이 공지되어 있다.
종래기술에 따른 박막 코팅방법은 패턴크기에 비례하여 도포되는 액체 화학 물질의 두께도 박막으로 얇게 형성되어야 한다. 일 예로, 패턴크기가 2㎛이라면, 액체 화학 물질의 도포두께도 2㎛로 얇게 형성되어야 한다. 하지만, 상기 언급된 종래기술에 따른 박막 코팅방법들은 보다 넓은 면적에 액체 화학 물질을 박막 코팅하는 경우에 패턴크기에 비례하여 액체 화학 물질을 박막으로 얇게 형성하기 어려운 문제점을 각각 가지고 있다.
스프레이(spray) 방식은 대면적 박막 코팅이 가능하지만, 도포 두께가 10㎛ 이하로 조절되기 어렵다. 그리고, 이 종래기술은 다수의 스프레이 노즐을 구비해야 함으로 그에 필요한 장치비용이 많이 소요되고, 노즐 크기 또는 모양에 따라 분무할 수 있는 액체 화학 물질의 점도가 한정되는 문제점도 있다.
딥핑(dipping) 방식은 도포하고자 하는 용융액 속에 피도포 제품을 담궈서 얇은 도포층을 형성하는 것으로서 대면적 박막 코팅이 가능하지만, 도포 두께가 10㎛ 이하로 조절되기 어렵다. 그리고, 이 종래기술은 재료손실이 너무 많고, 그에 필요한 장치비용도 많이 소요된다. 더욱이 이 종래기술은 피도포 제품을 꺼내는 과정에서 첫 부분과 마지막 부분의 각 도포 두께가 달라서, 도포 두께를 박막으로 조절하기가 더욱 어려운 문제점이 있다.
스핀 코팅(spin coating)은 웨이퍼와 같이 피도포 제품을 회전시켜 액체 화학 물질을 도포하는 것으로서 도포 두께가 10㎛ 이하로 조절될 수 있지만, 대면적 박막 코팅이 어렵다. 더욱이, 이 종래기술은 액체 화학 물질 중 하나인 페이스트 가 점도의 차이로 인해 사용하기 어려운 문제점도 있다.
그 이외에 종래기술에 따른 박막 코팅방법은 증착법(deposition), 스퍼터(sputter), 증발 증착(evaporation)과 같은 방식도 공지되어 있으나, 이러한 종래기술들도 10㎛ 이하로 박막 도포가 가능하더라도, 대면적 박막 코팅과 상온공정이 어려운 문제점이 있다.
본 발명은 앞서 설명한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 감광액 또는 페이스트와 같은 액체 화학 물질을 피도포 제품에 박막 코팅하면서도 일정 면적 이상의 대면적에도 적용할 수 있는 대면적 박막 코팅방법 및 그 코팅장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 대면적 박막 코팅방법은 기층의 일면에 액체 화학 물질을 부어서 준비하는 제1 단계, 실린더의 외주면에 선이 감겨져 형성된 바 코터(bar coater)를 기층의 일면에서 회전 전진시켜 액체 화학 물질을 도포하는 제2 단계를 포함한다.
상기 기층은 유리기판, 플라스틱기판, 금속기판, 웨이퍼 중 어느 하나이고, 상기 액체 화학 물질은 감광액(photoresist), 페이스트(paste), 잉크 중 어느 하나인 것이 바람직하다.
상기 제2 단계는 상기 바 코터에 감겨지는 선의 직경, 또는 상기 바 코터에 감겨지는 선의 두께에 따라 상기 액체 화학 물질의 도포 두께가 결정되는 것이 바람직하다.
상기 제2 단계에서는 상기 바 코터를 전진시키는 동작을 수 회 반복하여, 상기 액체 화학 물질을 평탄화시키는 것이 바람직하다.
본 발명의 대면적 박막 코팅방법은 상기 기층의 일면으로부터 설정된 높이에 스퀴지(squeegee) 또는 블레이드(blade)를 위치시키고, 상기 스퀴지 또는 블레이드를 설정된 속도로 전진시켜 상기 도포된 액체 화학 물질을 설정된 도포 두께로 조절하는 제3 단계를 더 포함한다.
상기 제3 단계는 상기 스퀴지의 모양과, 상기 스퀴지가 부착된 높이에 따라 상기 액체 화학 물질의 도포 두께가 결정되는 것이 바람직하다.
상기 제3 단계는 상기 블레이드가 부착된 높이에 따라 상기 액체 화학 물질의 도포 두께가 결정되는 것이 바람직하다.
본 발명의 대면적 박막 코팅장치는 기층이 놓여져 고정되는 플레이트, 상기 기층의 상부에 위치하여 액체 화학 물질을 박막 코팅하는 코팅부, 상기 코팅부와 체결되어 이를 지지하는 박막 코팅 지지부, 및 상기 플레이트의 일 방향을 따라 연장 설치되어 상기 박막 코팅 지지부가 일 방향으로 진행되게 가이드 결합되는 가이드부를 포함한다.
상기 박막 코팅 지지부와 상기 가이드부는 상기 기층의 양 측부에 각각 설치된다. 그리고, 상기 박막 코팅 지지부는 상기 가이드부에 각각 가이드 결합되는 한 쌍의 지지부재들, 상기 한 쌍의 지지부재 사이를 연결하는 연결부재, 및 상기 지지부재에 지지되면서 상기 코팅부가 체결되는 결합부재를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 박막 코팅 지지부의 결합부재에는 박막 두께 조절기가 결합된다. 그리고, 상기 박막 두께 조절기는 스퀴지 또는 블레이드 중 어느 하나가 상하방향으로 거동 가능하게 슬라이딩 홈이 내측에 마련되고, 상기 슬라이딩 홈에 상기 스퀴지 또는 상기 블레이드가 끼워진 상태에서 고정되는 것이 바람직하다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 바 코터를 이용한 대면적 박막 코팅방법의 각 단계를 나타낸 공정도이고, 도 2는 도 1에 도시된 대면적 박막 코팅방법에 사용되는 바 코터를 나타낸 사시도이고, 도 3a 및 도 3b는 도 1에 도시된 대면적 박막 코팅방법의 각 단계 상태를 나타낸 사시도이다.
도 1a 내지 도 3b에 도시된 바와 같이, 제1 실시예의 대면적 박막 코팅방법은 피도포 제품인 기층(10)의 일면에 액체 화학 물질(20)을 부어서 준비하는 제1 단계 및 바 코터(bar coater ; 30)를 기층(10)의 일면에서 회전 전진시켜 액체 화학 물질(20)을 도포하는 제2 단계로 이루어진다. 다만, 본 실시예에 사용되는 기층(10)은 유리기판, 플라스틱기판, 금속기판, 웨이퍼 중 어느 하나이고, 액체 화학 물질(20)은 감광액(photoresist), 페이스트(paste), 잉크와 같이 점성을 갖는 코팅소재가 사용된다.
보다 자세한 대면적 박막 코팅방법에 대해 살펴보면, 대면적 박막 코팅방법 은 먼저 진공 홀이 있는 플레이트의 상부에 기층(10)을 수평되게 고정하고, 기층(10)의 일면에 액체 화학 물질(20)을 부어서 준비한다. 그런 다음에는 바 형상의 실린더 외주면에 가는 선(wire)이 감겨져 형성된 바 코터(30)를 이용하여, 액체 화학 물질(20)을 설정된 두께로 도포한다. 이때, 바 코터(30)는 실린더 외주면에 선(wire)이 감겨진 장비로서, 액체 화학 물질(20)의 도포 두께는 바 코터(30)에 감겨지는 선의 직경 또는 바 코터(30)에 감겨지는 선의 두께에 따라 결정된다. 즉, 액체 화학 물질(20)은 바 코터(30)에 감겨진 선과 선 사이의 간격으로만 통과될 수 있으므로, 선의 직경 또는 바 코터(30)에 감겨지는 선의 두께에 따라 결정된다. 다만, 선의 직경 또는 바 코터(30)에 감겨지는 선의 두께는 2㎛ ~ 100㎛ 범위로서 매우 가늘기 때문에, 도포층에 큰 흔적을 남기지 않고서 메워질 수 있다. 그리고, 대면적 박막 코팅방법은 바 코터(30)를 전진시키는 동작을 수 회 반복하여, 액체 화학 물질(20)을 평탄화시킨다.
이와 같이 대면적 박막 코팅방법은 바 코터(30)를 이용하므로 일정 면적 이상의 대면적을 갖는 기층(10)에도 액체 화학 물질(20)을 용이하게 도포할 수 있으며, 더욱이 액체 화학 물질(20)의 도포 두께도 2㎛ ~ 100㎛ 범위의 박막으로 형성할 수 있다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 제2 실시예에 따른 바 코터와 스퀴지를 이용한 대면적 박막 코팅방법의 각 단계를 개략적으로 나타낸 공정도이고, 도 5는 도 4a 내지 도 4c에 도시된 대면적 박막 코팅방법 중 스퀴징 단계를 나타낸 사시도이다.
도 4a 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제2 실시예의 대면적 박막 코팅방법은 제1 실시예에 기재된 제1 단계와 제2 단계를 수행한 후에 다음과 같은 제3 단계를 더 수행한다. 즉, 제3 단계는 기층(10)의 일면으로부터 설정된 높이에 스퀴지(squeegee ; 40)가 위치하면서, 스퀴지(40)를 설정된 속도로 전진시켜 액체 화학 물질(20)를 원하는 도포 두께로 조절한다. 즉, 제2 실시예는 기층(10)의 일면으로부터 설정되는 스퀴지(40)의 높이를 조절하여, 액체 화학 물질(20)의 도포 두께를 다양하게 변화시킬 수 있다. 그런 다음에 제2 실시예는 액체 화학 물질(20)이 코팅된 기층(10)에 패터닝 작업을 실시한다.
이때, 제3 단계에 사용되는 스퀴즈(40)들은 도 6에 도시된 바와 같이 다양한 형태의 스퀴즈 날이 사용된다. 스퀴즈 날의 단면은 액체 화학 물질(잉크)이 스크린을 통과하는데 영향을 미치므로, 스크린 인쇄방식에 따라 적합한 형태가 선택되는 것이 바람직하다.
도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 제3 실시예에 따른 바 코터와 닥터 블레이드를 이용한 대면적 박막 코팅방법의 각 단계를 개략적으로 나타낸 공정도이다.
도 7a 내지 도 7c에 도시된 바와 같이, 제3 실시예의 대면적 박막 코팅방법은 제1 실시예에 기재된 제1 단계와 제2 단계를 수행한 후에 다음과 같은 제3 단계를 더 수행한다. 즉, 제3 단계는 기층(10)의 일면으로부터 설정된 높이에 닥터 블레이드(doctor blade ; 50)가 위치하면서, 이런 닥터 블레이드(50)를 설정된 속도로 전진시켜 액체 화학 물질(20)를 원하는 도포 두께로 조절한다. 그런 다음에 제3 실시예는 액체 화학 물질(20)이 코팅된 기층(10)에 패터닝 작업을 실시한다.
이때, 제3 실시예의 대면적 박막 코팅방법은 제2 실시예와 같이 기층(10)의 일면으로부터 설정되는 닥터 블레이드(50)의 높이를 조절하여, 액체 화학 물질(20)의 도포 두께를 다양하게 변화시킬 수 있다. 다만, 제2 실시예는 스퀴지(40)가 설정된 높이로 고정하고서 필요에 따라 그 설정된 높이를 다시 해제한 후에 다시 조절하지만, 제3 실시예는 도 8에 도시된 바와 같이 닥터 블레이드(50)의 높이를 조절하는 수단에 의해 조절될 수 있다.
도 8은 도 7a 내지 도 7c에 도시된 대면적 박막 코팅방법 중에서 블레이딩하는 단계와, 이에 사용되는 닥터 블레이드의 높이 조절 수단을 나타낸 도면이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 닥터 블레이드(50)의 높이를 조절하는 수단은 닥터 블레이드(50)를 고정하는 제1 부재(51)와, 이런 제1 부재(51)를 회전 운동과 직선운동으로 변화시켜 거동시키는 제2 부재(52)를 구비한다. 이때, 도 8에 도시된 닥터 블레이드(50)의 높이 조절 수단은 평평한 기층(10)에 적용한 예이다.
도 9는 본 발명의 실시예들에 의한 대면적 박막 코팅방법을 수행하기 위한 대면적 박막 코팅장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 9에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 대면적 박막 코팅장치(60)는 기층(10)이 놓여져 고정되는 플레이트(61), 기층(10)의 상부에 액체 화학 물질을 박막 코팅하는 코팅부, 코팅부와 체결되어 이를 지지하는 박막 코팅 지지부(62), 및 플레이트(61)의 일 방향을 따라 연장 설치되어 박막 코팅 지지부(62)가 일 방향으로 진행되게 가이드 결합되는 가이드부(63)를 포함한다.
플레이트(61)는 진공 홀이 형성된 플레이트(vacuum plate)을 이용하며, 코팅 부는 바 코터, 스퀴지, 닥터 블레이드 중 어느 하나를 지칭한다.
박막 코팅 지지부(62)는 기층(10)의 양 측부에 각각 설치되는데 다음과 같이 구성된다. 박막 코팅 지지부(62)는 아래에서 후술할 가이드부(63)에 각각 가이드 결합되는 한 쌍의 지지부재(64)들, 지지부재(64)에 지지되면서 코팅부가 체결되는 결합부재(65), 및 한 쌍의 지지부재(64)들 사이를 연결하는 연결부재(66)를 포함한다.
가이드부(63)는 여기서 일 방향으로 절취 형성되는 홈을 지칭하며, 이런 홈에 지지부재(64)가 끼워져 거동된다. 다만, 가이드부(63)는 이에 한정되지 않고, 돌출부와 오목부의 맞물림과 같이 상기 지지부재(64)와 대응되게 맞물리는 구성이라면 어떠한 형태라도 무방하다.
도 10은 도 9에 도시된 대면적 박막 코팅장치에 결합되어, 박막 두께를 조절하는 박막 두께 조절기를 나타낸 사시도이다.
도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 대면적 박막 코팅장치는 박막 코팅 지지부(62)를 구비하며, 이런 박막 코팅 지지부(62)의 결합부재(65)에는 도 10에 도시된 박막 두께 조절기(67)의 양 측면에 위치하는 체결바(67a)가 결합된다.
박막 두께 조절기(67)는 스퀴지(40) 또는 닥터 블레이드(50)가 상하방향으로 거동 가능하게 슬라이딩 홈이 내측에 마련되고, 이런 슬라이딩 홈에 스퀴지(40) 또는 닥터 블레이드(50)가 끼워진 상태에서 고정된다.
그러면, 도 11에 도시된 박막 두께 조절기(67)는 초기 세팅과정에서 마이크 로메터(69)가 측정한 값에 준하여 스퀴지(40)가 상하로 거동되고 그 설치높이가 조절된 후에 고정된다. 그리고, 박막 두께 조절기(67)에는 가압력 조절 장치가 연결되어, 스프링(68)를 통해 스퀴지(40)에 설정된 하중이 인가된다. 이로 인해, 박막 두께 조절기(67)는 스퀴지(40)가 전후진하는 과정에서 액체 화학 물질의 반발력이 작용하더라도, 스퀴지(40)가 설정된 높이에서 고정된 상태로 변화되지 않는다. 하중을 인가하는 방식은 분동을 추가하거나, 공압을 이용하는 방식과 같이 여러 방식이 채택될 수 있다.
도 12에 도시된 박막 두께 조절기는 도 11과 마찬가지로 초기 세팅과정에서 마이크로메터(69)에 의해 닥터 블레이드(50)의 설치높이가 측정되며, 가압력 조절 장치가 연결되어, 스프링(68)을 통해 닥터 블레이드(50)에 설정된 하중이 인가된다.
이와 같이 구성된 본 실시예의 대면적 박막 코팅장치는 박막 코팅 지지부(62)가 가이드부(63)를 따라 기층의 일 방향으로 전진하고, 박막 코팅 지지부(62)에 결합되는 바 코터도 함께 거동하면서 기층에 액체 화학 물질을 일정 두께로 도포할 수 있다. 그리고, 대면적 박막 코팅장치는 액체 화학 물질을 기층에 도포한 후에 바 코터가 분리되고, 스퀴지 또는 닥터 블레이드가 설치된다. 그리고, 대면적 박막 코팅장치는 바 코터의 거동과 같이 스퀴지 또는 닥터 블레이드를 설정된 속도로 전진시켜 액체 화학 물질을 원하는 도포 두께로 조절한다.
이때, 대면적 박막 코팅장치는 박막 코팅 지지부(62)를 수동으로 조작할 수도 있으나, 그 코팅속도에 따라서도 액체 화학 물질의 도포 두께가 달라질 염려가 있으므로 박막 코팅 지지부(62)를 구동하는 디지털 제어장치로 저속에서 고속까지 코팅속도를 일정하게 제어한다. 액체 화학 물질의 점도가 낮은 경우에는 디지털 제어장치가 비교적 낮은 속도로 전후진하며, 액체 화학 물질의 점도가 높은 경우에는 상대적으로 빠른 속도로 전후진하도록 설정된다.
즉, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것이 당연하다.
앞서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명의 대면적 박막 코팅방법 및 그 장치는 바 코터, 스퀴지 또는 블레이드를 이용함으로써, 감광액 또는 페이스트와 같은 액체 화학 물질을 일정 넓이 이상의 대면적 기층에 용이하게 도포할 수 있을 뿐만 아니라, 기층에 도포된 액체 화학 물질의 도포 두께도 10um 이하의 박막으로 설정할 수 있는 장점이 있다.

Claims (19)

  1. 기층의 일면에 액체 화학 물질을 부어서 준비하는 제1 단계; 및
    실린더의 외주면에 선이 감겨져 형성된 바 코터(bar coater)를 상기 기층의 일면에서 회전 전진시켜 상기 액체 화학 물질을 도포하는 제2 단계를 포함하는 대면적 박막 코팅방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기층은 유리기판, 플라스틱기판, 금속기판, 웨이퍼 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 액체 화학 물질은 감광액(photoresist), 페이스트(paste), 잉크 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 기층은 진공 홀이 있는 플레이트의 상부에 수평되게 놓여져 고정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 단계는 상기 바 코터에 감겨지는 선의 직경, 또는 상기 바 코터에 감겨지는 선의 두께에 따라 상기 액체 화학 물질의 도포 두께가 결정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 액체 화학 물질의 도포 두께는 2㎛ ~ 100㎛ 로 설정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 단계에서는 상기 바 코터를 전진시키는 동작을 수 회 반복하여, 상기 액체 화학 물질을 평탄화시키는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
  8. 기층의 일면에 액체 화학 물질을 부어서 준비하는 제1 단계;
    실린더의 외주면에 선이 감겨져 형성된 바 코터(bar coater)를 상기 기층의 일면에서 회전 전진시켜 상기 액체 화학 물질을 도포하는 제2 단계; 및
    상기 기층의 일면으로부터 설정된 높이에 스퀴지(squeegee)를 위치시키고, 상기 스퀴지를 설정된 속도로 전진시켜 상기 도포된 액체 화학 물질을 설정된 도포 두께로 조절하는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제3 단계는 상기 스퀴지의 모양과, 상기 스퀴지가 부착된 높이에 따라 상기 액체 화학 물질의 도포 두께가 결정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
  10. 기층의 일면에 액체 화학 물질을 부어서 준비하는 제1 단계;
    실린더의 외주면에 선이 감겨져 형성된 바 코터(bar coater)를 상기 기층의 일면에서 회전 전진시켜 상기 액체 화학 물질을 도포하는 제2 단계; 및
    상기 기층의 일면으로부터 설정된 높이에 블레이드(blade)를 위치시키고, 상기 블레이드를 설정된 속도로 전진시켜 상기 도포된 액체 화학 물질을 설정된 도포 두께로 조절하는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제3 단계는 상기 블레이드가 부착된 높이에 따라 상기 액체 화학 물질의 도포 두께가 결정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
  12. 기층이 놓여져 고정되는 플레이트;
    상기 기층의 상부에 위치하여 액체 화학 물질을 박막 코팅하는 코팅부;
    상기 코팅부와 체결되어 이를 지지하는 박막 코팅 지지부; 및
    상기 플레이트의 일 방향을 따라 연장 설치되어, 상기 박막 코팅 지지부가 일 방향으로 진행되게 가이드 결합되는 가이드부를 포함하고,
    상기 코팅부는 바 형상을 갖는 실린더의 외주면에 선(wire)이 감겨진 바 코터로 이루어진 대면적 박막 코팅장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 플레이트는 진공 홀이 형성된 플레이트(vacuum plate)인 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅장치.
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 박막 코팅 지지부와 상기 가이드부는 상기 기층의 양 측부에 각각 설치되며,
    상기 박막 코팅 지지부는 상기 가이드부에 각각 가이드 결합되는 한 쌍의 지지부재들, 상기 한 쌍의 지지부재 사이를 연결하는 연결부재, 및 상기 지지부재에 지지되면서 상기 코팅부가 체결되는 결합부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 박막 코팅 지지부의 결합부재에는 박막 두께 조절기가 결합되며,
    상기 박막 두께 조절기는 스퀴지 또는 블레이드 중 어느 하나가 상하방향으로 거동 가능하게 슬라이딩 홈이 내측에 마련되고, 상기 슬라이딩 홈에 상기 스퀴지 또는 상기 블레이드가 끼워진 상태에서 고정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 박막 두께 조절기에는 상기 스퀴지 또는 상기 블레이드에 설정된 하중을 인가하는 가압력 조절 장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅장치.
  19. 제 12 항에 있어서,
    상기 박막 코팅 지지부와 연결되며, 상기 액체 화학 물질의 점도에 따라 상기 박막 코팅 지지부를 구동하면서 그 이동 속도를 제어하는 디지털 제어장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅장치.
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