KR100866323B1 - 대면적 박막 코팅방법 및 그 장치 - Google Patents
대면적 박막 코팅방법 및 그 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (19)
- 기층의 일면에 액체 화학 물질을 부어서 준비하는 제1 단계; 및실린더의 외주면에 선이 감겨져 형성된 바 코터(bar coater)를 상기 기층의 일면에서 회전 전진시켜 상기 액체 화학 물질을 도포하는 제2 단계를 포함하는 대면적 박막 코팅방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 기층은 유리기판, 플라스틱기판, 금속기판, 웨이퍼 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 액체 화학 물질은 감광액(photoresist), 페이스트(paste), 잉크 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 기층은 진공 홀이 있는 플레이트의 상부에 수평되게 놓여져 고정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 제2 단계는 상기 바 코터에 감겨지는 선의 직경, 또는 상기 바 코터에 감겨지는 선의 두께에 따라 상기 액체 화학 물질의 도포 두께가 결정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 액체 화학 물질의 도포 두께는 2㎛ ~ 100㎛ 로 설정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 제2 단계에서는 상기 바 코터를 전진시키는 동작을 수 회 반복하여, 상기 액체 화학 물질을 평탄화시키는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
- 기층의 일면에 액체 화학 물질을 부어서 준비하는 제1 단계;실린더의 외주면에 선이 감겨져 형성된 바 코터(bar coater)를 상기 기층의 일면에서 회전 전진시켜 상기 액체 화학 물질을 도포하는 제2 단계; 및상기 기층의 일면으로부터 설정된 높이에 스퀴지(squeegee)를 위치시키고, 상기 스퀴지를 설정된 속도로 전진시켜 상기 도포된 액체 화학 물질을 설정된 도포 두께로 조절하는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 제3 단계는 상기 스퀴지의 모양과, 상기 스퀴지가 부착된 높이에 따라 상기 액체 화학 물질의 도포 두께가 결정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
- 기층의 일면에 액체 화학 물질을 부어서 준비하는 제1 단계;실린더의 외주면에 선이 감겨져 형성된 바 코터(bar coater)를 상기 기층의 일면에서 회전 전진시켜 상기 액체 화학 물질을 도포하는 제2 단계; 및상기 기층의 일면으로부터 설정된 높이에 블레이드(blade)를 위치시키고, 상기 블레이드를 설정된 속도로 전진시켜 상기 도포된 액체 화학 물질을 설정된 도포 두께로 조절하는 제3 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
- 제 10 항에 있어서,상기 제3 단계는 상기 블레이드가 부착된 높이에 따라 상기 액체 화학 물질의 도포 두께가 결정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅방법.
- 기층이 놓여져 고정되는 플레이트;상기 기층의 상부에 위치하여 액체 화학 물질을 박막 코팅하는 코팅부;상기 코팅부와 체결되어 이를 지지하는 박막 코팅 지지부; 및상기 플레이트의 일 방향을 따라 연장 설치되어, 상기 박막 코팅 지지부가 일 방향으로 진행되게 가이드 결합되는 가이드부를 포함하고,상기 코팅부는 바 형상을 갖는 실린더의 외주면에 선(wire)이 감겨진 바 코터로 이루어진 대면적 박막 코팅장치.
- 제 12 항에 있어서,상기 플레이트는 진공 홀이 형성된 플레이트(vacuum plate)인 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅장치.
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- 제 12 항에 있어서,상기 박막 코팅 지지부와 상기 가이드부는 상기 기층의 양 측부에 각각 설치되며,상기 박막 코팅 지지부는 상기 가이드부에 각각 가이드 결합되는 한 쌍의 지지부재들, 상기 한 쌍의 지지부재 사이를 연결하는 연결부재, 및 상기 지지부재에 지지되면서 상기 코팅부가 체결되는 결합부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅장치.
- 제 16 항에 있어서,상기 박막 코팅 지지부의 결합부재에는 박막 두께 조절기가 결합되며,상기 박막 두께 조절기는 스퀴지 또는 블레이드 중 어느 하나가 상하방향으로 거동 가능하게 슬라이딩 홈이 내측에 마련되고, 상기 슬라이딩 홈에 상기 스퀴지 또는 상기 블레이드가 끼워진 상태에서 고정되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅장치.
- 제 17 항에 있어서,상기 박막 두께 조절기에는 상기 스퀴지 또는 상기 블레이드에 설정된 하중을 인가하는 가압력 조절 장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅장치.
- 제 12 항에 있어서,상기 박막 코팅 지지부와 연결되며, 상기 액체 화학 물질의 점도에 따라 상기 박막 코팅 지지부를 구동하면서 그 이동 속도를 제어하는 디지털 제어장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 박막 코팅장치.
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