KR100848937B1 - In-line auto fpc bonding m/c - Google Patents

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KR100848937B1
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KR
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fpc
bonding
glass
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acf
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KR1020070037625A
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정석환
정진명
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세광테크 주식회사
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Abstract

An in-line automatic FOG(Film ON Glass) bonding apparatus is provided to supply the FPC(Flexible Printed Circuit) automatically through an FPC supply member and to perform the bond process of plural FPCs. A loading member loads an LCD(Liquid Crystal Display) panel. A body member(2) comprises an ACF(Anisotropic Conductive Film) bonding member for attaching an anisotropic conductive film to the loaded gloss automatically. A preliminary bonding member(5) loads and aligns the FPC on the glass previously by a rotary manner. A main bonding member(7) loads the FPC film on the glass transferred from the preliminary bonding member finally. An FPC supply member supplies the aligned FPCs to the body member sequentially. An unloading member(9) discharges the glass to the outside by a conveyor manner. A transfer(13) comprises the first transfer(17) for transferring the glass of the loading member to the ACF bonding member. The second transfer(19) transfers the glass to the preliminary bonding member. The third transfer transfers the glass to the main bonding member. The fourth transfer(23) transfers the glass to the unloading member. A control member(11) controls the loading member, body member and unloading member.

Description

인라인 자동 FOG 본딩장치{IN-LINE AUTO FPC BONDING M/C}IN-LINE AUTO FPC BONDING M / C}

도1 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 IN LINE 자동 FOG 본딩장치의 구조를 도시하는 사시도이다.1 is a perspective view showing the structure of an IN LINE automatic FOG bonding apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도2 는 도1 의 평면도이다.2 is a plan view of FIG.

도3 은 도1의 정면도이다.3 is a front view of FIG.

도4 는 도1 에 도시된 ACF 본딩부를 도시하는 사시도이다.4 is a perspective view showing the ACF bonding portion shown in FIG.

도5 는 도4 에 도시된 ACF 본딩부의 헤드를 보여주는 사시도이다.FIG. 5 is a perspective view showing the head of the ACF bonding portion shown in FIG. 4. FIG.

도6 은 도5 의 측면도이다.6 is a side view of FIG.

도7 은 도4 에 도시된 ACF 본딩부의 컷터에 의하여 ACF 테이프를 절단하는 과정을 개략적으로 도시하는 도면이다.FIG. 7 is a diagram schematically showing a process of cutting an ACF tape by the cutter of the ACF bonding portion shown in FIG.

도8 은 도1 에 도시된 FPC 의 예비 본딩부를 도시하는 사시도이다.8 is a perspective view showing a preliminary bonding portion of the FPC shown in FIG.

도9 는 도8 에 도시된 FPC 예비 본딩부의 헤드부를 보여주는 사시도이다.FIG. 9 is a perspective view showing a head portion of the FPC preliminary bonding portion shown in FIG. 8. FIG.

도10 은 도9 의 정면도이다.10 is a front view of FIG.

도11 은 도9 의 측면도이다.Figure 11 is a side view of Figure 9;

도12 는 도8 에 도시된 예비 본딩부에 FPC를 공급하는 FPC 공급부를 보여주는 사시도이다.FIG. 12 is a perspective view illustrating an FPC supply unit supplying an FPC to the preliminary bonding unit illustrated in FIG. 8.

도13 은 도12 의 측면도이다.Figure 13 is a side view of Figure 12;

도14 는 도12 의 평면도이다.14 is a plan view of FIG.

도15 는 도8 에 도시된 예비 본딩부에 FPC 공급부로부터 FPC를 공급하는 과정을 보여주는 측면도이다.FIG. 15 is a side view illustrating a process of supplying an FPC from an FPC supply unit to the preliminary bonding unit illustrated in FIG. 8.

도16 은 도8 에 도시된 예비 본딩부의 로터리에 구비되어 FPC를 픽업하는 가압헤드와 비젼부의 배치 관계를 개략적으로 보여주는 평면도이다.FIG. 16 is a plan view schematically illustrating a relationship between the pressurizing head picking up the FPC and the vision unit provided in the rotary of the preliminary bonding unit shown in FIG. 8.

도17 은 도1 에 도시된 메일 본딩부를 보여주는 사시도이다.17 is a perspective view showing the mail bonding part shown in FIG.

도18 은 도17 의 측면도이다.18 is a side view of FIG.

도19 는 도17 의 정면도이다.19 is a front view of FIG. 17;

도20 은 도17 의 평면도이다.20 is a plan view of FIG.

본 발명은 인라인(IN LINE) 자동 FOG 본딩장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 그 구조를 개선하고, FPC 공급부를 구비하여 FPC의 공급을 자동화함으로써 보다 효율적으로 FPC의 본딩을 실시할 수 있는 인라인 자동 FOG 본딩 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an in-line automatic FOG bonding apparatus, and more particularly, to improve the structure, and to provide an FPC supply unit to automate the supply of the FPC, inline automatic bonding can be performed more efficiently FOG bonding apparatus.

일반적으로 FOG 본딩공정에 있어서, FOG(Film on Glass) 방식은 글래스의 전극에 이방성 도전 필름(이하, ACF)을 부착하고, ACF 상에 FPC 를 배치하고, 적절한 압력으로 가압하여 패턴과 LCD 전극이 접촉하여 도통하게 하는 방식이다.In general, in the FOG bonding process, the FOG (Film on Glass) method attaches an anisotropic conductive film (hereinafter referred to as an ACF) to an electrode of a glass, places an FPC on the ACF, and presses at an appropriate pressure to form a pattern and an LCD electrode. It is a way of contact and conduction.

이때, 상기 ACF에는 도전입자가 함유되어 있으며, 일정 압력과 열이 작용하 는 경우, 절연막이 깨짐으로써 도전입자를 통하여 전기를 인가할 수 있는 구조이다. In this case, the ACF contains conductive particles, and when a predetermined pressure and heat are applied, the insulating film is broken to allow electricity to be applied through the conductive particles.

이러한 FOG 본딩 방식은 ACF 본딩공정과, FPC필름과 글래스의 예비 본딩 공정과, 메인 본딩 공정으로 이루어진다.The FOG bonding method includes an ACF bonding process, a preliminary bonding process of an FPC film and glass, and a main bonding process.

그러나, 이와 같은 종래의 FOG 본딩방식은 다음과 같은 문제점이 있다.However, the conventional FOG bonding method has the following problems.

첫째, ACF 작업과 FOG 본딩작업이 별도의 장치에서 이루어지고 로딩, 본딩, 언로딩의 각 공정이 수동으로 진행되므로 본딩작업시간이 오래 소요되고 작업효율이 저하될 수 있다.First, since ACF work and FOG bonding work are performed in separate devices and each process of loading, bonding, and unloading is performed manually, bonding work may take a long time and work efficiency may decrease.

둘째, 예비 본딩헤드의 경우 1개 또는 다수개의 본딩헤드가 있고, FPC필름과 글래스의 얼라인 마크인식용 카메라가 각각 별도로 있거나, 1개의 카메라로 각각의 패턴을 인식하는 방식으로 되어 얼라인 마크인식에 시간이 많이 소요되어 택트타임(Tact time)이 길어져 생산성이 저하된다.Second, in case of the preliminary bonding head, there are one or more bonding heads, and the alignment mark recognition cameras of the FPC film and the glass are separate from each other, or each pattern is recognized by one camera. It takes a lot of time, so the tact time is long and productivity is lowered.

셋째, 종래의 FOG의 경우 FOG 단독 장비로만 사용이 가능하며 COG장비등의 타장비로의 호환이 불가능하다.Third, in the case of the conventional FOG, it is possible to use only the FOG equipment and it is not compatible with other equipment such as COG equipment.

넷째 고속 텍트타임(Tact Time)을 위해서 예비본딩 헤드의 수가 증가함에 따라 장비의 크기가 증가하여 공간 활용도가 떨어진다.Fourth, as the number of preliminary bonding heads increases for high speed time, the size of the equipment increases and space utilization decreases.

다섯째, 폴필름(POL Film) 두께의 편차에 대한 보정이 어려워 얼라인 정도가 저하되고 패널의 파손이 발생되기 쉽다.Fifth, it is difficult to correct the deviation of the thickness of the POL film, so that the alignment degree is lowered and the panel is easily broken.

여섯째, ACF 부착 검사시 센서를 활용하여 ACF의 부착 유무만을 검사함으로 부착 정도 및 얼라인 정도를 확인 할 수 없어 불량발생을 차단할 수 없다.Sixth, by inspecting the presence or absence of ACF attachment using the sensor during ACF attachment inspection, it is impossible to check the attachment degree and alignment degree, and thus it is impossible to block the occurrence of defects.

일곱째, 메인본딩에 얼라인용 카메라가 없어 글래스 파손, 얼라인 불량, 미압발생을 방지할 수가 없다Seventh, there is no alignment camera in the main bonding, which can prevent glass breakage, misalignment and underpressure.

아홉째, 메인본딩부의 테프론테이프의 이송방식이 좌우공급방식으로 소모량이 많고 테이프 소진시 교체시간도 길다.Ninth, the transfer method of the Teflon tape of the main bonding part is a left-right feeding method, which consumes a lot of consumption and takes a long time to replace the tape when the tape is exhausted.

열번째, 예비본딩헤드의 작동이 실린더 방식임으로 미세조정이 어려워 얼라인 정밀도가 저하된다.Tenth, since the operation of the preliminary bonding head is a cylinder type, fine adjustment is difficult and the alignment accuracy is lowered.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 감안하여 안출 된 것으로서, 본 발명의 목적은 FPC 공급부를 구비하여 FOG 본딩과정을 자동화함으로써 FPC를 보다 능률적이고 정확하게 글래스상에 본딩할 수 있는 FOG 본딩장치를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an FOG bonding apparatus capable of bonding FPC on glass more efficiently and accurately by automating the FOG bonding process with an FPC supply unit. have.

본 발명의 다른 목적은 본딩작업 시간을 단축하여 3.5초로 초고속 생산할 수 있는 FOG 본딩장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a FOG bonding apparatus capable of producing ultra-high speed 3.5 seconds by reducing the bonding time.

본 발명의 또 다른 목적은 다수개의 FPC 본딩이 가능함으로써 다양한 형상의 FPC를 본딩할 수 있는 FOG 본딩장치를 제공하는데 있다.Still another object of the present invention is to provide a FOG bonding apparatus capable of bonding FPCs of various shapes by allowing a plurality of FPC bondings.

본 발명의 또 다른 목적은 예비 본딩장치에서 엘씨디 패널과 FPC의 얼라인 마크를 동시에 인식할 수 있는 카메라 시스템을 적용함으로써 본딩작업 시간을 단축할 수 있는 FOG 본딩장치를 제공하는데 있다.Still another object of the present invention is to provide a FOG bonding apparatus that can shorten the bonding time by applying a camera system that can simultaneously recognize the alignment mark of the LCD panel and the FPC in the preliminary bonding apparatus.

본 발명의 또 다른 목적은 ACF 작업시 ACF 필름의 부착상태를 카메라에 의하여 검사함으로써 얼라인 정도, 부착길이, 부착상태, 검사할 수 있는 FOG 본딩장치를 제공하는데 있다.Still another object of the present invention is to provide an FOG bonding apparatus which can inspect alignment degree, attachment length, attachment state, and inspection by inspecting the attachment state of the ACF film by the camera during ACF operation.

본 발명의 또 다른 목적은 예비 본딩시 2개의 180도 회전 헤드방식을 적용함으로써 FPC를 이송중 발생할 수 있는 얼라인 오차를 최소화할 수 있으며 텍트타임을 줄일 수 있는 FOG 본딩장치를 제공하는데 있다.Still another object of the present invention is to provide an FOG bonding apparatus which can minimize alignment errors that may occur during FPC transfer and reduce the texting time by applying two 180 degree rotation head methods during preliminary bonding.

본 발명의 또 다른 목적은 예비 본딩헤드의 Z축 구동방식을 서브모터와 실린더에 의하여 1,2차로 분할구동시킴으로서 예비본딩 시간을 단축시킬수 있는 FOG 본딩장비를 제공하는데 있다. It is still another object of the present invention to provide a FOG bonding apparatus that can shorten the preliminary bonding time by dividing the Z-axis driving method of the preliminary bonding head in a first and second manner by a submotor and a cylinder.

본 발명의 또 다른 목적은 접촉식 변위센서에 의하여 POL의 두께를 측정함으로써 POL의 두께편차에 따라 스테이지의 높이를 자동조절하고, 얼라인스테이지(ALIGN STAGE)와 지지 스테이지(BACK UP STAGE)의 레벨이 맞지 않을 경우 발생 할 수 있는 글래스 손상을 방지하며, 얼라인 스테이지의 높이를 자동조절하여 다양한 두께의 글래스도 대응이 가능하며, 최소 두께의 글라스도 작업이 가능하고 셋업시간을 단축할 수 있는 FOG 본딩장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to automatically adjust the height of the stage according to the thickness deviation of the POL by measuring the thickness of the POL by a contact displacement sensor, the level of the alignment stage (ALIGN STAGE) and the back up stage (BACK UP STAGE) This prevents the glass damage that may occur if it does not match, automatically adjusts the height of the alignment stage to handle glass of various thicknesses, FOG that can work with glass of the minimum thickness and shorten the setup time It is to provide a bonding device.

본 발명의 또 다른 목적은 메인 본딩시 테프론 테입의 공급방식을 전후진 방식으로 적용하고, 카트리지 방식을 적용함으로써 테프론 테입의 소모량을 줄일 수 있고, 테프론 테입의 교체시간을 단축시킬 수 있는 FOG 본딩장치를 제공하는데 있다.Still another object of the present invention is to apply the supply method of the Teflon tape back and forth in the main bonding, by applying the cartridge method can reduce the consumption of Teflon tape, FOG bonding device that can shorten the replacement time of the Teflon tape To provide.

본 발명의 또 다른 목적은 메인 본딩부에 카메라를 구비함으로써 이송중 발생할 수 있는 글래스의 얼라인의 오차를 방지 및 보정 할 수 있는 FOG 본딩장치를 제공하는데 있다.Still another object of the present invention is to provide a FOG bonding apparatus capable of preventing and correcting an error in the alignment of glass that may occur during transportation by including a camera in the main bonding portion.

본 발명의 또 다른 목적은 FPC 혹은 글래스를 얼라인 시키는 스테이지를 X,Y,Z,θ축 방향의 운동이 가능한 구조로 개선함으로써 미세제어가 가능하며 글래스의 다양한 모델대응이 가능한 FOG 본딩장치를 제공하는데 있다.It is still another object of the present invention to provide a FOG bonding apparatus capable of fine control and coping with various models of glass by improving an FPC or glass aligning stage to a structure capable of movement in the X, Y, Z, and θ directions. It is.

본 발명의 또 다른 목적은 로딩부 트랜스퍼 장치에 실린더를 취부하는 방식으로 적용함으로써 폭의 가변이 가능하여 필요에 따라 폭 조절을 할 수 있는 FOG 본딩장치를 제공하는데 있다.Still another object of the present invention is to provide a FOG bonding apparatus capable of varying the width as needed by applying a cylinder to the loading unit transfer device in a manner of mounting the cylinder.

본 발명의 목적을 실현하기 위하여, 본 발명은 LCD 패널을 로딩하는 로딩부; 상기 로딩부로부터 공급된 글래스상에 이방성 도전 필름을 부착하고, 공급된 FPC를 상기 글래스상에 얼라인하여 예비 본딩을 실시하고, 메인본딩을 실시하는 본체부; 상기 본체부에 FPC를 얼라인한 상태로 순차적으로 공급하는 FPC 공급부; 상기 글래스를 컨베이어 방식에 의하여 외부로 배출하는 언로딩부; 상기 로딩부, 본체부, 언로딩부 사이에 배치되어 글래스를 이송시키는 트랜스퍼; 그리고 상기 로딩부, 본체부, 언로딩부를 제어하는 제어부를 포함하는 반도체 본딩장치를 제공한다.In order to realize the object of the present invention, the present invention includes a loading unit for loading the LCD panel; A main body portion which attaches an anisotropic conductive film on the glass supplied from the loading portion, performs preliminary bonding by aligning the supplied FPC on the glass, and performs main bonding; An FPC supply unit sequentially supplying the FPC to the main body in an aligned state; An unloading part which discharges the glass to the outside by a conveyor method; A transfer unit disposed between the loading unit, the main body unit, and the unloading unit to transfer glass; And a control unit for controlling the loading unit, the main body unit, and the unloading unit.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 반도체 본딩장치의 구조를 상세하게 설명한다.Hereinafter, a structure of a semiconductor bonding apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도1 내지 도3 에 도시된 바와 같이, 반도체 본딩장치는 LCD 패널(L;이하, 글래스(G)를 로딩하는 로딩부(Loader;1)와, 상기 로딩부(1)로부터 공급된 글래스(G)상에 이방성 도전 필름을 부착하고, 공급된 FPC(C)를 상기 글래스(G)상에 얼라인하여 예비 본딩을 실시하고, 메인본딩을 실시하는 본체부(2)와, 상기 글래스(G)를 컨베이어 방식에 의하여 외부로 배출하는 언로딩부(Unloader;9)와, 상기 로딩부(1), 본체부(2)와, 언로딩부(9)를 제어하는 제어부(11)와, 상기 로딩부(1), 본체부(2)와,언로딩부(9)의 사이에 구비되어 FPC(C) 혹은 글래스(G)를 이송시킬 수 있는 트랜스퍼(13)로 이루어진다.1 to 3, the semiconductor bonding apparatus includes an LCD panel L (hereinafter, referred to as a loader 1 for loading glass G) and a glass G supplied from the loading unit 1. The anisotropic conductive film is affixed on the C), the fed FPC (C) is aligned on the glass G, preliminary bonding is performed, and the main body part 2 which performs main bonding, and the glass G Unloading unit (9) for discharging to the outside by a conveyor method, the control unit 11 for controlling the loading unit 1, the main body 2, the unloading unit 9, and the loading unit (1) It is comprised between the main body part 2 and the unloading part 9, and the transfer 13 which can convey FPC (C) or glass G.

이러한 구조를 갖는 FOG 본딩 장치에 있어서, 상기 로딩부(1)는 레일상에 활주가능하게 장착되며 그 상면에 글래스(G)를 적치하여 정열 시키는 센터링 스테이지(15)를 포함한다.In the FOG bonding apparatus having such a structure, the loading part 1 includes a centering stage 15 that is slidably mounted on a rail and arranges and arranges the glass G on an upper surface thereof.

따라서, 전 공정으로부터 이송된 글래스(G)는 상기 센터링 스테이지(15)에 적치된 상태로 로딩된다.Therefore, the glass G conveyed from the previous process is loaded in a state where it is placed on the centering stage 15.

이때, 상기 센터링 스테이지(15)에는 진공홀이 형성됨으로써 진공장치(도시안됨)에 의하여 발생한 흡입력에 의하여 글래스(G)의 저면을 흡착한다. 이때, 상기 글래스(G)는 정열을 위한 핀(도시안됨)에 의하여 사선 방향으로 이동함으로서 정렬된다.At this time, since the vacuum hole is formed in the centering stage 15, the bottom surface of the glass G is sucked by the suction force generated by the vacuum apparatus (not shown). At this time, the glass G is aligned by moving in an oblique direction by a pin (not shown) for alignment.

이와 같이, 로딩된 글래스(G)는 트랜스퍼(13)에 의하여 본체부(2)로 이송된다. In this way, the loaded glass G is transferred to the main body 2 by the transfer 13.

이러한 본체부(2)는 상기 로딩부(1)에 의하여 로딩된 글래스(G)상에 이방성 도전 필름을 자동으로 부착시키는 ACF 본딩부(3)와, ACF가 부착된 글래스(G)상에 FPC(C;도10)를 로터리 방식에 의하여 미리 실장하는 예비 본딩부(Pre Bonding Portion;5)와, 상기 예비 본딩부(5)로부터 공급된 글래스(G)에 FPC(C)를 최종적으로 실장하는 메인 본딩부(Main Bonding Portion;7)로 이루어진다.The main body 2 has an ACF bonding portion 3 for automatically attaching an anisotropic conductive film onto the glass G loaded by the loading unit 1, and an FPC on the glass G to which the ACF is attached. (C; Fig. 10) to pre-mount the FPC (C) to the pre-bonding portion (Pre Bonding Portion) 5 to be mounted in advance by the rotary method and the glass (G) supplied from the pre-bonding portion (5) It consists of a main bonding portion (Main Bonding Portion) (7).

그리고, 상기 트랜스퍼(13)는 로딩부(1)의 글래스(G)를 ACF 본딩부(3)로 이 송하는 제1 트랜스퍼(17)와, ACF 본딩부(3)로부터 글래스(G)를 예비 본딩부(5)로 이송하는 제2 트랜스퍼(19)와, 예비 본딩부(5)로부터 글래스(G)를 메인 본딩부(7)로 이송하는 제3 트랜스퍼(21)와, 메인 본딩부(7)로부터 글래스(G)를 언로딩부(9)로 이송하는 제4 트랜스퍼(23)를 포함한다.In addition, the transfer 13 reserves the glass G from the first transfer 17 and the ACF bonding part 3 which transfer the glass G of the loading part 1 to the ACF bonding part 3. 2nd transfer 19 conveyed to the bonding part 5, the 3rd transfer 21 which conveys glass G from the preliminary bonding part 5 to the main bonding part 7, and the main bonding part 7 ), A fourth transfer 23 for transferring the glass G to the unloading part 9.

따라서, 이러한 제1 내지 제4 트랜스퍼(13)는 진공장치를 구비하여 진공흡착방식에 의하여 글래스(G)를 픽업하여 각 구간별로 이송한다.Accordingly, the first to fourth transfers 13 are provided with a vacuum device and pick up the glass G by a vacuum suction method, and transfer the glass G for each section.

상기 ACF 본딩부(3)는 도4 내지 도7 에 더욱 상세하게 도시된다. 즉, ACF 본딩부(3)는 프레임(Frame;25)과, 이 프레임(25)의 일측에 구비되어 상하 왕복운동이 가능한 한 쌍의 헤드(Head;27)와, 한 쌍의 헤드(27)의 인접 측방 위치에 구비되어 본딩작업에 필요한 ACF를 권선하는 다수의 릴(Reel;29)과, 그리고, 상기 한 쌍의 헤드(27)로 글래스(G)를 이송시키는 이동부(31)와, 상기 헤드(27)의 하부에 구비되어 ACF를 절단하는 커터(33)와, ACF를 글래스(G)에 부착한 후 부착위치를 검사하는 ACF 검사부(K1)를 포함한다.The ACF bonding portion 3 is shown in more detail in FIGS. 4 to 7. That is, the ACF bonding part 3 includes a frame 25, a pair of heads 27 provided on one side of the frame 25 and capable of vertically reciprocating movement, and a pair of heads 27. A plurality of reels 29 provided at adjacent side positions of the ACF for winding, and a moving part 31 for transferring the glass G to the pair of heads 27; And a cutter 33 provided at the lower portion of the head 27 to cut the ACF, and an ACF inspection unit K1 for attaching the ACF to the glass G and inspecting the attachment position.

이러한 구조를 갖는 ACF 본딩부에 있어서, 상기 한 쌍의 헤드(27)는 프레임(25)에 상하 왕복운동이 가능하도록 장착된다. 즉, 피스톤 방식의 구동부에 연결됨으로써 필요시 적절하게 상하로 이동한다.In the ACF bonding part having such a structure, the pair of heads 27 are mounted on the frame 25 to enable vertical reciprocation. That is, by being connected to the drive part of a piston system, it moves up and down suitably as needed.

그리고, 다수의 릴(29)은 다수개 구비됨으로써 ACF 필름을 권취하고 일정한 장력을 유지하도록 한다.And, the plurality of reels 29 are provided with a plurality to be wound around the ACF film to maintain a constant tension.

이러한 헤드(27)의 하단부에는 열을 발생하는 열선이 구비된다. 따라서, ACF 필름이 커터(33)에 의하여 절단된 후 글래스(G)의 상면에 위치하면 이 헤드의 열과 압력에 의하여 ACF 필름을 글래스(G)에 부착하게 된다.The lower end of the head 27 is provided with a heating wire for generating heat. Therefore, when the ACF film is cut by the cutter 33 and positioned on the upper surface of the glass G, the ACF film is attached to the glass G by the heat and pressure of the head.

상기 커터(33)는 헤드(27)의 하부에 구비되어 ACF를 절단한다. 즉, 도7 에 도시된 바와 같이, 상기 커터(33)는 상하로 승하강 가능한 구조를 갖음으로써 상승하는 경우 스토퍼(37)의 저면에 접촉하면서 그 사이에 위치하는 ACF 표면에 절단흠집을 형성하게 된다.The cutter 33 is provided under the head 27 to cut the ACF. That is, as shown in Fig. 7, the cutter 33 has a structure that can be moved up and down, so that the cutter 33 contacts the bottom surface of the stopper 37 and forms cutting cuts on the ACF surface located therebetween. do.

다시, 도4 내지 도7 을 참조하면, 상기 이동부(31)는 적치대(42)상에 글래스(G)를 적치하여 헤드 방향으로 이동함으로써 ACF를 부착할 수 있도록 한다.Again, referring to FIGS. 4 to 7, the moving part 31 allows the ACF to be attached by placing the glass G on the loading stand 42 and moving in the head direction.

이러한 이동부(31)는 X축 방향으로 이동가능한 X축 이송부(39)와, Y축 방향으로 이동이 가능한 Y축 이송부(41)와, Z축 방향으로 이동가능한 Z축 이송부(40)와, θ축 방향으로 회전가능한 θ 이송부(38)와, 상기 Y축 이송부(41)의 상면에 장착되며, 진공흡입 방식에 의하여 글래스(G)를 그 상면에 고정하는 적치대(42)로 이루어진다.The moving part 31 includes an X-axis feeder 39 that is movable in the X-axis direction, a Y-axis feeder 41 that is movable in the Y-axis direction, a Z-axis feeder 40 that is movable in the Z-axis direction, It consists of a θ conveyance part 38 rotatable in the θ axis direction and a mounting table 42 mounted on an upper surface of the Y axis conveying part 41 and fixing the glass G to the upper surface by a vacuum suction method.

상기 X축, Y축,Z축, θ축 이송부(39,41,40,38)는 각각 서보모터에 연결되어 서보모터 구동시 적절하게 이동할 수 있다. The X-axis, Y-axis, Z-axis, and θ-axis feeder 39, 41, 40, 38 are respectively connected to the servo motor can be moved properly when driving the servo motor.

그리고, 상기 제1 트랜스퍼(13)는 진공흡착 방식으로 픽업된 글래스(G)를 상기 적치대의 상면으로 이동시킨다. In addition, the first transfer 13 moves the glass G picked up by the vacuum suction method to the upper surface of the loading rack.

따라서, 서보모터들이 구동하는 경우, X축,Y축, Z축, θ축 이송부(39,41,40,38)가 적절하게 이동함으로써 적치대에 안착된 글래스(G)를 헤드방향으로 이송하거나 이탈시킨다.Therefore, when the servo motors are driven, the X, Y, Z, and θ-axis feed units 39, 41, 40, and 38 move properly so that the glass G seated on the loading stand is moved in the head direction. Departure.

그리고, 상기 ACF 검사부(K1)는 상기 헤드(27)의 측면에 배치되어 상기 ACF 의 부착상태를 카메라에 의하여 검사하게 된다. 이러한 카메라는 제어부(11)에 연결됨으로써 글래스(G)에 부착된 ACF를 촬영하여 영상정보를 제어부 및 모니터에 전송하여 ACF의 얼라인 정도, 부착길이, 부착상태를 자동으로 검사 작업자가 판단할 수 있도록 한다.In addition, the ACF inspection unit K1 is disposed on the side of the head 27 to inspect the attachment state of the ACF by a camera. The camera may be connected to the control unit 11 to photograph the ACF attached to the glass G and transmit image information to the control unit and the monitor so that the inspection operator can automatically determine the alignment degree, the attachment length, and the attachment state of the ACF. Make sure

또한, 상기 ACF 본딩부(3)는 수거함을 구비함으로써, ACF 본딩 작업과정에서 발생한 잔여 ACF 보호필름을 수거하여 처리하게 된다. 이때, 수거함은 다양한 방식이 가능하나 바람직하게는 진공 이젝트 방식을 적용하여 ACF필름을 처리하게 된다.In addition, the ACF bonding unit 3 is provided with a collection box to collect and process the remaining ACF protective film generated during the ACF bonding process. At this time, the collection box is possible in a variety of ways, but preferably by applying a vacuum eject method to treat the ACF film.

도4 내지 도7 에 도시된 바와 같이, 상기한 ACF 본딩부(3)에 의하여 글래스(G)상에 ACF를 부착하는 경우, 먼저, 한 쌍의 롤(29)에 권취된 ACF가 중간롤(r)을 통하여 커터(33)와 스토퍼(37)의 사이를 가로질러 배치된다.As shown in Figs. 4 to 7, when the ACF is attached onto the glass G by the ACF bonding portion 3 described above, first, the ACF wound on the pair of rolls 29 is an intermediate roll ( It is arranged across between the cutter 33 and the stopper 37 via r).

이 상태에서, 커터(33)가 상승함으로써 스토퍼(37)의 저면에 ACF를 가압함으로써 ACF의 저면에 절단흠집을 형성한다. 이때, 상기 ACF는 보호필름(도시안됨)상에 탈부착이 가능하도록 부착된 구조이므로 ACF의 표면에만 절단흠집이 형성되고, 보호필름에는 절단흠집이 형성되지 않는다.In this state, the cutter 33 is raised to press the ACF to the bottom surface of the stopper 37 to form cutting scratches on the bottom surface of the ACF. In this case, since the ACF has a structure attached to the protective film (not shown) so as to be detachable, a cut scratch is formed only on the surface of the ACF, and the cut film is not formed on the protective film.

이 상태에서, 상기 이동부(31)의 적치대(42)는 Y축 방향으로 이동하여 한 쌍의 헤드(27)의 하단으로 이동함으로써 글래스(G)가 헤드(27)의 하부에 위치하게 된다. 이때, 상기 커터(33) 및 스토퍼(37)도 같이 연동하여 Z축방향으로 이동하게 된다.In this state, the placing table 42 of the moving part 31 moves in the Y-axis direction and moves to the lower end of the pair of heads 27 so that the glass G is positioned below the heads 27. . At this time, the cutter 33 and the stopper 37 also move together in the Z-axis direction.

따라서, 적치대(42)상에 안착된 글래스(G)가 헤드(27)의 하부에 위치하게 되고, 이 상태에서, 헤드(27)가 하강함으로써 그 하단부가 보호필름상의 ACF만을 가 압하여 글래스(G)의 소정 위치, 즉 전극부에 압착하게 된다.Therefore, the glass G seated on the loading stand 42 is located under the head 27. In this state, the head 27 descends, so that the lower end presses only the ACF on the protective film. A predetermined position (G), that is, the electrode portion is pressed.

이때, 상기 ACF는 커터(33)에 의하여 이미 절단흠이 형성된 상태이므로 용이하게 분리되어 글래스(G)상에 부착될 수 있다.In this case, since the ACF is already formed by the cutter 33, the ACF may be easily separated and attached to the glass G.

그리고, 한 쌍의 헤드(27)의 하단부가 일정 온도의 열과 압력을 ACF에 전달함으로써 글래스(G)상에 부착하게 된다.Then, the lower ends of the pair of heads 27 adhere to the glass G by transferring heat and pressure of a predetermined temperature to the ACF.

상기한 바와 같이, 글래스(G)에 ACF의 부착이 완료된 후, 글래스(G)는 제2 트랜스퍼(19)에 의하여 픽업되어 예비 본딩부(5)로 이송됨으로써 FPC(C)가 1차적으로 본딩된다. As described above, after the attachment of the ACF to the glass G is completed, the glass G is picked up by the second transfer 19 and transferred to the preliminary bonding part 5 so that the FPC C is primarily bonded. do.

상기 예비 본딩부(5)는 도1 과, 도8 내지 도11 에 도시된 바와 같이, DD 모타 구동식의 로터리 인덱스 방식을 적용한다.As shown in FIG. 1 and FIGS. 8 to 11, the preliminary bonding unit 5 applies a DD motor-driven rotary index method.

보다 상세하게 설명하면, 상기 예비 본딩부(5)는 프레임(Frame;45)과, 상기 프레임(45)에 회전가능하게 구비된 DD 모타 구동식의 로터리(Rotary;46)와, 상기 로터리(46)에 각각 부착된 가압헤드(Head;47,56)와, 본딩 위치로 글래스(G)를 이송시키고 얼라인 하는 얼라인 스테이지(Align Stage;50)와, 예비 본딩위치로 공급되는 FPC(C)와 글래스(G)의 얼라인 마크를 인식하는 비젼부(51)를 포함한다.In more detail, the preliminary bonding unit 5 includes a frame 45, a DD motor-driven rotary 46 rotatably provided in the frame 45, and the rotary 46. Pressure heads 47 and 56 attached to the heads, an alignment stage 50 for transferring and aligning the glass G to the bonding position, and an FPC C supplied to the preliminary bonding position. And a vision unit 51 for recognizing the alignment mark of the glass G.

그리고, 상기 예비 본딩부(5)의 일측에는 가압헤드(47,56)에 FPC(C)를 순차적으로 공급하는 FPC 공급부(10)가 구비된다.In addition, one side of the preliminary bonding unit 5 is provided with an FPC supply unit 10 for sequentially supplying the FPC (C) to the pressure head (47, 56).

이러한 구조를 갖는 예비 본딩부에 있어서, 상기 프레임(45)은 로터리(46)가 구비되는 수평판(52)과, 수평판(52)의 양단부를 지지하며 그 사이에 얼라인 스테이지(50)가 이동가능하게 구비되는 한 쌍의 다리부(53)로 이루어진다.In the preliminary bonding portion having such a structure, the frame 45 supports the horizontal plate 52 provided with the rotary 46 and both ends of the horizontal plate 52, and the alignment stage 50 is disposed therebetween. It consists of a pair of legs 53 provided to be movable.

그리고, 상기 수평판(52)에는 일정각도, 바람직하게는 180도씩 회전하는 로터리(46)가 구비됨으로써 글라스상에 FPC(C)를 공급하여 예비 본딩하게 된다.In addition, the horizontal plate 52 is provided with a rotary 46 that rotates by a predetermined angle, preferably by 180 degrees, thereby preliminary bonding by supplying the FPC (C) on the glass.

이 로터리(46)는 수평판(52)의 상부에 구비되는 스테핑 모터(54)와, 스테핑 모터(54)에 연결되어 회전이 가능한 원판(55)으로 이루어진다. The rotary 46 is composed of a stepping motor 54 provided on the upper portion of the horizontal plate 52, and a disk 55 that is connected to the stepping motor 54 and rotatable.

상기 원판(55)은 스텝핑 모터(54)에 연결됨으로써, 스텝핑 모터(54)가 구동하는 경우 일정 각도, 바람직하게는 180도씩 분할하여 360도 회전이 가능하며 필요시에는 90도 회전도 가능하다. The disc 55 is connected to the stepping motor 54, so that when the stepping motor 54 is driven, it is possible to rotate 360 degrees by dividing a predetermined angle, preferably 180 degrees, and, if necessary, 90 degrees.

그리고, 원판(55)의 테두리에는 한 쌍의 가압 헤드(47,56)가 장착됨으로써 상하로 이동하여 FPC(C)를 픽업하거나 글라스상에 공급할 수 있다. In addition, the pair of pressure heads 47 and 56 are mounted on the edge of the disc 55 to move up and down to pick up the FPC C or to supply it onto the glass.

즉, 상기 한 쌍의 가압 헤드(47,56)는 제1 및 제2 가압 헤드(47,56)로 이루어지며 원판(55)이 180도 각도로 회전하는 경우, 각 가압 헤드(47,56)는 원판(55)의 회전궤적을 따라 회전함으로써 FPC(C)를 픽업위치(P1;도16)와 예비 본딩위치(P2;도16)에 순차적으로 도달하게 된다.That is, the pair of pressure heads 47 and 56 are composed of the first and second pressure heads 47 and 56, and each of the pressure heads 47 and 56 when the disc 55 rotates at an angle of 180 degrees. Rotates along the rotational trajectory of the disk 55 to sequentially reach the FPC C at the pick-up position P1 (Fig. 16) and the preliminary bonding position P2 (Fig. 16).

이러한 한 쌍의 가압 헤드(47,56)는 서보모터(57)와 실린더(도식안됨)에 연결됨으로써 Z축 방향을 따라 승하강이 가능한 구조이다. The pair of pressurizing heads 47 and 56 are connected to the servo motor 57 and a cylinder (not shown), and thus the structure is capable of raising and lowering along the Z-axis direction.

따라서, 한 쌍의 가압 헤드(47,56)는 FPC 공급부(10)로부터 공급된 FPC(C)를 픽업하는 경우, 혹은 픽업된 FPC(C)를 예비 본딩시 1차로 서브모터(57)의 구동에 의하여 가압 헤드(47)가 승하강하고, 2차로 실린더(도식안됨)에 의하여 본딩을 하거나 제품종류에 따라서 1,2차 구동순서를 바꾸어 작동할 수도 있다.Accordingly, the pair of pressure heads 47 and 56 drive the submotor 57 primarily when picking up the FPC C supplied from the FPC supply unit 10 or when pre-bonding the picked-up FPC C. By the pressure head 47 is raised and lowered, it is possible to bond by a cylinder (not shown) in the second or to operate the first and second driving order in accordance with the product type.

그리고, 상기한 바와 같이 가압 헤드(47,56)를 2개로 구성함으로써 헤 드(47,56)가 FPC(C)를 픽업하여 예비 본딩위치(P2;도16)로 이동하는 경우 변위의 발생을 최소화할 수 있다.As described above, two heads 47 and 56 are configured so that the heads 47 and 56 pick up the FPC C and move to the preliminary bonding position P2 (Fig. 16). It can be minimized.

그리고 비젼부(51)에는 변위센서가 설치됨으로써 글래스(G)에 부착된 POL의 두께편차를 측정하여 POL 두께의 차이에 따른 얼라인 스테이지(50)의 높이를 자동조절할 수 있다.And by installing the displacement sensor in the vision unit 51 can measure the thickness deviation of the POL attached to the glass (G) to automatically adjust the height of the alignment stage 50 according to the difference in the POL thickness.

이와 같이, 상기 가압 헤드(47,56)는 FPC 공급부(10)에 의하여 공급된 FPC(C)를 글래스(G)상에 예비 본딩한다.As such, the pressurizing heads 47 and 56 prebond the FPC C supplied by the FPC supply unit 10 onto the glass G.

이러한 FPC 공급부(10)는 도12 내지 도16 에 도시된 바와 같이, 상기 예비 본딩부(5;도1)의 후부에 구비되어 FPC(C)를 공급한다.12 to 16, the FPC supply unit 10 is provided at the rear of the preliminary bonding unit 5 (FIG. 1) to supply the FPC (C).

상기 FPC 공급부(10)는 카세트 리프트(L1,L2)에 의하여 이송된 다수개의 FPC 트레이(도시안됨)를 순차적으로 이송시키는 트레이 공급부(58)와, 상기 트레이 공급부(58)로부터 FPC(C)를 하나씩 픽업하여 이송시키는 FPC홀더(59)와, 상기 FPC홀더(59)에 의하여 이송된 FPC(C)를 가압헤드(56)의 픽업위치로 이동시키는 FPC 얼라인부(61)를 포함한다.The FPC supply unit 10 is a tray supply unit 58 for sequentially transferring a plurality of FPC trays (not shown) transferred by the cassette lifts (L1, L2), and the FPC (C) from the tray supply unit 58 FPC holder 59 for picking up and transporting one by one, and FPC alignment portion 61 for moving the FPC (C) transferred by the FPC holder 59 to the pickup position of the pressure head 56.

이러한 구조를 갖는 FPC 공급부에 있어서, 상기 트레이 공급부(58)는 FPC 트레이(도시안됨)를 승하강시키는 제1 및 제2 카세트 리프트(L1,L2)와, 상승한 FPC 트레이로부터 FPC(C)를 픽업하여 분리시키는 한 쌍의 리프트 홀더(60)로 이루어진다.In the FPC supply unit having such a structure, the tray supply unit 58 picks up the FPC (C) from the first and second cassette lifts L1 and L2 for raising and lowering the FPC tray (not shown) and the raised FPC tray. It consists of a pair of lift holder 60 to be separated.

상기 제1 및 제2 카세트 리프트(L1,L2)는 그 상면에 FPC(C)를 안착하고 상승함으로써 제1 및 제2 리프트 홀더(60) 위치까지 이송한다. 이때, 제1 및 제2 카세 트 리프트(L1,L2)는 한 쌍으로 구성하였지만, 단수의 카세트 리프트에 의하여 FPC 트레이를 이송하는 것도 가능하다.The first and second cassette lifts L1 and L2 are transported to the first and second lift holders 60 by mounting and raising the FPC C on the upper surface thereof. At this time, although the first and second cassette lifts L1 and L2 are configured as a pair, it is also possible to transfer the FPC tray by a single cassette lift.

상기 제1 및 제2 리프트 홀더(60)는 순차적으로 혹은 동시에 FPC를 픽업한다.The first and second lift holders 60 pick up the FPC sequentially or simultaneously.

이때, 상기 제1 및 제2 리프트 홀더(60)는 진공장치(도시안됨)에 연결됨으로써 진공압에 의하여 FPC(C)를 트레이로부터 분리할 수 있다.In this case, the first and second lift holders 60 may be connected to a vacuum apparatus (not shown) to separate the FPC C from the tray by vacuum pressure.

이와 같이, FPC(C)를 픽업한 제1 및 제2 리프트 홀더(60)는 Y 축을 따라 FPC 홀더(59) 방향으로 이동한다. 그리고, 제1 및 제2 리프트 홀더(60)는 FPC를 안착 스테이지(64)의 상면에 내려놓는다.In this way, the first and second lift holders 60 picking up the FPC C move in the direction of the FPC holder 59 along the Y axis. Then, the first and second lift holders 60 lower the FPC on the upper surface of the seating stage 64.

안착 스테이지(64)상에 놓여진 FPC는 FPC홀더(59)에 의하여 픽업(Pick Up)될 수 있다.The FPC placed on the seating stage 64 may be picked up by the FPC holder 59.

상기 FPC 홀더(59)는 이송 프레임(62)에 이동가능하게 구비됨으로써 X축 방향으로 이동가능하다. 즉, FPC 홀더(59)는 이송 프레임(62)에 레일 방식 혹은 LM 방식에 의하여 이동가능하게 구비됨으로써 필요시 X축 방향으로 따라 이동할 수 있다. 그리고, 이러한 FPC 홀더(59)는 진공장치(도시안됨)에 연결됨으로써 진공압에 의하여 픽업할 수 있다.The FPC holder 59 is movable in the X-axis direction by being movable in the transfer frame 62. That is, the FPC holder 59 is provided to be movable by the rail method or the LM method in the transfer frame 62, so that the FPC holder 59 can move along the X axis direction if necessary. The FPC holder 59 can be picked up by vacuum pressure by being connected to a vacuum apparatus (not shown).

따라서, 상기 FPC 홀더(59)는 FPC(C)를 픽업하여 FPC 얼라인부(61)의 위치에 도달한다.Accordingly, the FPC holder 59 picks up the FPC C and reaches the position of the FPC alignment portion 61.

상기 FPC 얼라인부(61)는 FPC(C)를 얼라인 함으로써 정확한 위치에 놓여지도록 한다. 이러한 FPC 얼라인부(61)는 이송된 FPC(C)를 정확한 위치에 얼라인하기 위한 FPC 얼라인 스테이지(63)와, FPC(C)를 센터링하기 위하여 FPC(C)의 외형을 비젼하는 비젼 카메라(72)를 포함한다.The FPC alignment unit 61 is placed in the correct position by aligning the FPC (C). The FPC alignment unit 61 is a vision camera for visualizing the appearance of the FPC (C) to center the FPC (C) and the FPC alignment stage 63 for aligning the transferred FPC (C) to the correct position. And 72.

상기 FPC 얼라인 스테이지(63)는 서보모터에 의하여 구동되는 X,Y,Z조절축에 연결되어 적절한 위치로 이동가능한 구조이다. The FPC alignment stage 63 is connected to an X, Y, Z control shaft driven by a servo motor and is movable to an appropriate position.

즉, FPC 얼라인 스테이지(63)에 FPC(C)가 안착되면, X축 조절축(68)이 구동함으로써 FPC 얼라인 스테이지(63)가 X축 방향으로 일정 거리 이동하여 비젼 카메라(72)까지 진행한다.That is, when the FPC (C) is seated on the FPC alignment stage 63, the X-axis adjustment shaft 68 is driven to move the FPC alignment stage 63 a certain distance in the X-axis direction to the vision camera 72 Proceed.

이 상태에서 FPC 센터링용 비젼 카메라(72)가 FPC(C)의 얼라인 마크(M1)를 비젼하고, 비젼된 좌우 외형이 서로 수평이 되도록 맞춘다. 이때, 상기 비젼 카메라(72)는 후술하는 비젼부와 유사한 구조를 갖는다.In this state, the FPC centering vision camera 72 visions the alignment mark M1 of the FPC C, and sets the vision to be horizontal to each other. In this case, the vision camera 72 has a structure similar to that of the vision unit described later.

그리고, 상기 FPC 얼라인 스테이지(63)의 X,Y,Z축 조절축을 적절하게 작동하여 얼라인 스테이지(63)를 등록된 좌표로 이동시킴으로써 자동적으로 FPC(C)의 센터링을 실시하게 된다.Then, by properly operating the X, Y, Z axis adjustment axis of the FPC alignment stage 63, the alignment stage 63 is moved to the registered coordinates to automatically center the FPC (C).

따라서, FPC(C)의 얼라인시 기구적인 외력으로 인하여 FPC(C)가 훼손되는 것을 방지할 수 있고, 정확한 FPC 얼라인이 가능함으로서 불량 FPC의 발생방지는 물론 FPC(C) 얼라인 소요시간이 최소화할 수 있어 텍트타임(Tact Time)이 현저히 단축되어 생산성이 높다.Therefore, it is possible to prevent the FPC (C) from being damaged due to mechanical external force during the alignment of the FPC (C), and accurate FPC alignment is possible to prevent the occurrence of defective FPC as well as the time required for the FPC (C) alignment. This can be minimized, resulting in significantly shorter Tact Times and higher productivity.

상기한 바와 같이, FPC(C)에 대한 센터링 공정이 완료된 후, 이송기(66)에 의하여 FPC(C)는 예비 본딩부(5)로 이송된다.As described above, after the centering process for the FPC C is completed, the FPC C is transferred to the preliminary bonding portion 5 by the conveyor 66.

즉, 도8 및 도15, 도16 에 도시된 바와 같이, FPC(C)가 제1 위치(P1), 즉 픽 업위치에 도달하면, 제1 헤드(56)는 하강하여 FPC(C)를 흡입방식에 의하여 픽업한다.That is, as shown in Figs. 8, 15, and 16, when the FPC C reaches the first position P1, that is, the pick up position, the first head 56 is lowered to raise the FPC C. Pick up by suction method.

그리고, 제1 헤드(56)에 의하여 FPC(C)가 픽업되면 원판(55)은 180도 각도로 회전함으로써 이 FPC(C)가 예비 본딩위치, 즉 제2 위치(P2)에 도달하게 된다. 이때, 제2 위치(P2)에는 비젼부(51)가 배치됨으로써 FPC(C)과 글래스(G)의 얼라인 마크(M1,M2)를 동시에 인식하게 된다.Then, when the FPC C is picked up by the first head 56, the original plate 55 rotates at an angle of 180 degrees so that the FPC C reaches the preliminary bonding position, that is, the second position P2. At this time, the vision unit 51 is disposed at the second position P2 to simultaneously recognize the alignment marks M1 and M2 of the FPC C and the glass G.

이러한 비젼부(51)는 제1 위치(P1)에 배치되어 FPC(C)의 열십자 형상의 얼라인 마크(M1)를 화상 인식하는 제1 카메라(70)와, 제2 위치(P2)에 배치되어 글래스(G)의 열십자 형상의 얼라인 마크(M2)를 각각 화상 인식하는 제2 카메라(71)로 이루어지며, 제1 및 제2 카메라(70,71)는 제어부(11;도1), 바람직하게는 퍼스널 컴퓨터(PC)에 연결됨으로써 영상정보를 처리할 수 있다.Such a vision unit 51 is disposed at the first position P1 and is disposed at the first camera 70 and the second position P2 that recognize images of the alignment marks M1 having a cross shape of the FPC C. FIG. And a second camera 71 arranged to recognize images of the alignment marks M2 of the cross shape of the glass G, respectively, and the first and second cameras 70 and 71 are provided in the control unit 11 (Fig. 1). ), Preferably by connecting to a personal computer (PC) to process the image information.

이러한 비젼부(51)를 도8 에 의하여 보다 상세하게 설명하면, 제1 및 제2 카메라(70,71)는 서로 일체로 연결되며 동일한 구조를 갖는다.8, the first and second cameras 70 and 71 are integrally connected to each other and have the same structure.

그리고, 상기 제1 및 제2 카메라(70,71)는 지지축(69)에 의하여 지지된다.이때, 상기 지지축(69)은 스테핑 모터에 연결됨으로써 X축, Y축, Z축방향으로 이동가능하다. In addition, the first and second cameras 70 and 71 are supported by the support shaft 69. At this time, the support shaft 69 is connected to the stepping motor to move in the X, Y, and Z directions. It is possible.

따라서, 제1 및 제2 카메라(70,71)는 적절하게 이동함으로써 FPC(C)와 글래스(G)의 얼라인마크(M1,M2)를 정확하게 인식할 수 있다.Accordingly, the first and second cameras 70 and 71 can be properly moved to accurately recognize the alignment marks M1 and M2 of the FPC C and the glass G.

그리고, 상기 제1 카메라(70)는 상술한 바와 같이, FPC(C)의 얼라인 마크(M1)를 인식하게 된다. The first camera 70 recognizes the alignment mark M1 of the FPC C as described above.

이러한 얼라이닝 마크(M1)는 카메라가 이를 촬영하여 검은색과 흰색의 2가지 색상으로 편집된 화상정보를 얻을 수 있다. 그리고, FPC(C)의 얼라이닝 마크(M1)에 대한 화상정보는 퍼스널 컴퓨터로 전송된다.Such an aligning mark M1 may be obtained by the camera to obtain image information edited in two colors, black and white. The image information on the alignment mark M1 of the FPC C is transmitted to the personal computer.

상기 제2 카메라(71)는 얼라인 스테이지(50)에 의하여 예비 본딩 위치(P2)로 이송된 글래스(G)의 얼라이닝 마크(M2)를 화상 인식한다.The second camera 71 image-recognizes the aligning mark M2 of the glass G transferred to the preliminary bonding position P2 by the alignment stage 50.

그리고, 제2 카메라(71)로부터 인식된 글래스(G)의 얼라인 마크(M2)의 영상정보는 퍼스널 컴퓨터로 전송된다.The video information of the alignment mark M2 of the glass G recognized by the second camera 71 is transmitted to the personal computer.

따라서, 제1 및 제2 카메라(70,71)로부터 전송된 영상정보는 퍼스널 컴퓨터에 의하여 처리되어 얼라인 스테이지(50)를 제어함으로써 FPC(C)가 글래스(G) 상의 정확한 위치에 예비 본딩 될 수 있도록 한다.Therefore, the image information transmitted from the first and second cameras 70 and 71 is processed by the personal computer to control the alignment stage 50 so that the FPC C can be pre-bonded to the correct position on the glass G. To help.

보다 상세하게 설명하면, 상기 퍼스널 컴퓨터는 제1 카메라(70) 및 제2 카메라(71)에 의하여 전송된 FPC(C) 및 글래스(G)의 얼라인 마크(M1,M2)를 내장된 얼라이닝 마크 편집용 프로그램에 의하여 처리함으로써 보다 정확한 위치를 인식할 수 있도록 한다.In more detail, the personal computer includes a built-in alignment of alignment marks M1 and M2 of the FPC C and the glass G transmitted by the first camera 70 and the second camera 71. Processing by the mark editing program makes it possible to recognize a more accurate position.

즉, 상기 얼라이닝 마크 편집용 프로그램은 마크의 윤곽이 분명하지 않은 경우, 검은색과 흰색의 2가지 색으로 화상을 편집하여 해상도를 조정한다.That is, the alignment mark editing program adjusts the resolution by editing the image in two colors, black and white, when the mark outline is not clear.

따라서, FPC(C)의 얼라이닝 마크(M1) 주위의 불필요한 화상을 자동으로 제거함으로써 얼라이닝 마크(M1)의 인식율을 높일 수 있다.Therefore, the recognition rate of the aligning mark M1 can be improved by automatically removing unnecessary images around the aligning mark M1 of the FPC (C).

그리고, 글래스(G)의 얼라이닝 마크(M2)의 경우, 본래의 마크에서 일정 거리 떨어진 거리를 기준으로 프램그램에 의하여 연산 처리하여 자동적으로 얼라이닝 한 다.Then, in the case of the aligning mark M2 of the glass G, the aligning process is performed automatically by a program based on a distance away from the original mark by a predetermined distance.

상기와 같이 퍼스널 컴퓨터는 처리된 화상정보에 의하여 얼라인 스테이지(50)를 적절하게 이동시킴으로써 FPC(C)가 LCD 상의 정확한 위치에 예비 본딩 될 수 있도록 한다.As described above, the personal computer properly moves the alignment stage 50 by the processed image information so that the FPC C can be pre-bonded to the correct position on the LCD.

도8 및 도15 를 참조하면, 상기 얼라인 스테이지(50)는 X축 방향으로 이동이 가능한 X축 이송부(75)와, Y축 방향으로 이동이 가능한 Y축 이송부(76)와, Z축 방향으로 이동이 가능한 Z축 이송부(77)와, θ축 방향으로이동이 가능한 θ 이송부(78)와, X축 이송부(75)상에 구비되어 글래스(G)가 안착되는 적치대(73)를 포함한다.8 and 15, the alignment stage 50 may include an X-axis feeder 75 that may move in the X-axis direction, a Y-axis feeder 76 that may move in the Y-axis direction, and a Z-axis direction. Z-axis feeder 77 movable in the direction, θ-feeding portion 78 movable in the θ-axis direction, and the mounting table 73 is provided on the X-axis feeder 75, the glass (G) is seated do.

이러한 구조를 갖는 얼라인 스테이지에 있어서, 상기 X축,Y축,Z축,θ축 이송부(75,76,77,78)는 전원이 인가되는 경우, 적절하게 이동함으로써 적치대(73)를 정확한 위치로 이동시킬 수 있다.In the alignment stage having such a structure, the X-axis, Y-axis, Z-axis, and θ-axis feed units 75, 76, 77, and 78 move properly when the power is applied, thereby accurately positioning the loading stand 73. Can be moved to a location.

이때, 상기 적치대(73)는 적어도 하나 이상, 바람직하게는 4개의 안착대를 구비함으로써 1~4개의 글래스(G)를 동시에 이송시킬 수 있다. 물론, 생산용량과 제품의 크기에 따라 적치대(73)에 놓이는 글라스의 수가 변경될 수 있다.At this time, the loading stand 73 may be transported at least one glass (G) at the same time by having at least one, preferably four seating table. Of course, the number of glasses placed on the loading stand 73 may be changed according to the production capacity and the size of the product.

이와 같이, 글래스(G)가 안착된 얼라인 스테이지(50)가 제어부의 제어신호에 의하여 정위치에 도달하면, 제2 위치(P2)에서 FPC(C)를 픽업하고 있는 상태인 가압 헤드(47)가 하강하여 FPC(C)를 글래스(G) 상에 위치시킴으로써 예비 본딩을 실시하게 된다.As described above, when the alignment stage 50 on which the glass G is seated reaches the home position by the control signal of the controller, the pressurizing head 47 is in the state of picking up the FPC C at the second position P2. ) Is lowered and preliminary bonding is performed by placing the FPC (C) on the glass (G).

보다 상세하게 설명하면, 가압 헤드(47)의 가열장치가 본딩팁(Tip)을 가열하 여 일정온도의 열이 발생함으로써 FPC(C)를 열 압착하게 된다. 이때, 열의 온도는 바람직하게는 약 60도이고, 압착시간은 0.1-60초이다.In more detail, the heating device of the pressurizing head 47 heats the bonding tip Tip to generate heat of a predetermined temperature, thereby thermally compressing the FPC C. At this time, the temperature of the heat is preferably about 60 degrees, the pressing time is 0.1-60 seconds.

이와 같은 과정을 통하여 FPC(C)를 글래스(G)상에 예비 본딩될 수 있다.Through this process, the FPC C may be preliminarily bonded onto the glass G.

그리고, 이러한 예비본딩시, 상기 FPC(C)를 글래스(G)의 정위치에 자동으로 정렬될 수 있는데, 이는 비젼부(51)와 얼라인 스테이지(50)의 상호 연동작용에 의한 FPC(C)의 얼라인 작업을 통하여 가능하다. In this preliminary bonding, the FPC C may be automatically aligned at the correct position of the glass G, which is an FPC (C) due to the interaction between the vision unit 51 and the alignment stage 50. Can be done by aligning

이와 같이, FPC(C)를 예비 본딩 된 글래스(G)는 트랜스퍼(13)의 제3 트랜스퍼(21)에 의하여 메인 본딩부(7)로 이송되어 2차적으로 본딩작업이 진행될 수 있다.As such, the glass G pre-bonded with the FPC C may be transferred to the main bonding part 7 by the third transfer 21 of the transfer 13, and the bonding operation may be performed secondarily.

보다 상세하게 설명하면, 상기 메인 본딩부(7)는 도17 내지 도20 에 도시된 바와 같이, 프레임(80)과, 이 프레임(80)의 일측에 구비되어 FPC(C)의 본딩작업을 실시하는 본딩헤드(Bonding Head;81)와, 예비 본딩된 글래스(G)를 본딩위치로 이동시키거나 FPC(C)가 본딩된 글래스(G)를 본딩위치로부터 배출시키는 이송부재(87)와, 상기 프레임(80)의 전방에 구비되어 버퍼필름을 공급하는 필름 공급부(83)를 포함한다.In more detail, as shown in FIGS. 17 to 20, the main bonding unit 7 is provided on the frame 80 and one side of the frame 80 to bond the FPC (C). A bonding head 81 and a transfer member 87 for moving the pre-bonded glass G to the bonding position or discharging the glass G bonded with the FPC C from the bonding position; It is provided in front of the frame 80 includes a film supply unit 83 for supplying a buffer film.

이러한 구조를 갖는 메인 본딩부에 있어서, 상기 본딩헤드(81)는 다수개, 바람직하게는 2개씩 2조로 이루어짐으로써 4개가 구비된다. 이 4개의 본딩헤드(81)가 순차적으로 승하강 운동을 함으로써 본딩작업을 실시하게 된다.In the main bonding portion having such a structure, the bonding heads 81 are provided in plural, preferably two in two, four are provided. The four bonding heads 81 perform the lifting operation in order to perform the bonding operation.

즉, 본딩헤드(81)의 상부에는 구동모터(88)가 각각 구비되며, 이 구동모터(88)들이 구동하는 경우 본딩헤드(81)가 승하강 할 수 있다.That is, the driving motors 88 are provided on the bonding heads 81, respectively, and when the driving motors 88 are driven, the bonding heads 81 may move up and down.

그리고, 이 본딩헤드(81)의 하부에는 일정한 열을 발생시키는 본딩팁이 구비된다. 따라서, FPC(C)를 글래스(G)상에 위치시키고 이 본딩팁(89)을 가열함으로써 글래스(G)에 의한 순간적인 열손실을 최소화 하여 본딩작업을 진행할 수 있다.In addition, a bonding tip for generating a constant heat is provided below the bonding head 81. Therefore, by placing the FPC (C) on the glass (G) and heating the bonding tip 89, it is possible to minimize the instantaneous heat loss by the glass (G) to proceed with the bonding operation.

상기 필름 공급부(83)는 한 쌍의 지지 프레임(90)과, 한 쌍의 지지 프레임(90)의 사이에 구비되어 버퍼필름을 권취하는 권취릴(92)로 이루어진다.The film supply unit 83 includes a pair of support frames 90 and a winding reel 92 provided between the pair of support frames 90 to wind a buffer film.

그리고, 상기 카트리지형의 권취릴(92)에 권취된 버퍼필름은 상기 본딩헤드(81)의 저면에 설치되며 전면에서 후면방향으로 가로질러 삽입 배치된다.Then, the buffer film wound on the cartridge-type winding reel 92 is installed on the bottom surface of the bonding head 81 and inserted across the front to rear direction.

따라서, 상기 본딩헤드(81)가 하강하여 버퍼필름을 본딩 부위에 부착함으로써 ACF의 볼 깨짐을 좋게 하며 이물 및 기스(Scratch)를 방지할 수 있다.Accordingly, the bonding head 81 is lowered to attach the buffer film to the bonding portion, thereby improving the ball cracking of the ACF and preventing foreign substances and scratches.

상기 이송부재(87)는 X축 방향으로 이동이 가능한 X축 이송부(94)와, Y축 방향으로 이동이 가능한 Y축 이송부(95)와, Z축 방향으로 이동이 가능한 Z축 이송부(96)와, θ축 방향으로이동이 가능한 θ 이송부(97)와, X축 이송부(94)상에 구비되어 글래스(G)가 안착되는 안착대(98)를 포함한다.The conveying member 87 includes an X-axis conveying part 94 that is movable in the X-axis direction, a Y-axis conveying part 95 that is movable in the Y-axis direction, and a Z-axis conveying part 96 that is movable in the Z-axis direction. And a θ transfer part 97 that is movable in the θ axis direction, and a seating stand 98 provided on the X axis transfer part 94 on which glass G is seated.

이러한 구조를 갖는 이송부재에 있어서, 상기 X축,Y축,Z축,θ축 이송부(94,95,96,97)는 전원이 인가되는 경우, 적절하게 이동함으로써 안착대(98)를 정확한 위치로 이동시킬 수 있다.In the conveying member having such a structure, the X-axis, Y-axis, Z-axis, and θ-axis conveying portions 94, 95, 96, and 97 are moved properly to move the seating table 98 when power is applied. Can be moved to

이와 같이, 글래스(G)가 안착된 이송부재(87)가 제어부(11)의 제어신호에 의하여 본딩위치에 도달하면, 본딩헤드(81)가 하강하여 FPC(C)를 글래스(G) 상에 본딩시킨다.As such, when the transfer member 87 on which the glass G is seated reaches the bonding position by the control signal of the control unit 11, the bonding head 81 descends and the FPC C is placed on the glass G. Bond.

그리고, 상기 본딩헤드(81)의 상부 전면에는 글래스 얼라인용 카메라(85)가 배치됨으로써 글래스의 얼라인마크의 위치를 인식할 수 있다. 이와 같이 카메라(85)에 의하여 인식된 영상정보는 제어부(11)에 의하여 처리되며, 제어부(11)는 상기 이송부재(87)를 제어함으로써 글래스(G)가 정확한 본딩위치에 도달하도록 한다.The glass alignment camera 85 may be disposed on the upper front surface of the bonding head 81 to recognize the position of the alignment mark of the glass. As described above, the image information recognized by the camera 85 is processed by the controller 11, and the controller 11 controls the transfer member 87 so that the glass G reaches the correct bonding position.

한편, 상기와 같이 본딩 작업이 완료된 글래스(G)는 이송부재(87)가 후진하여 일정 위치에 도달하면 트랜스퍼(13)의 제4 트랜스퍼(23)에 의하여 픽업되어 출측에 구비된 언로딩부(9)를 통하여 외부로 배출될 수 있다. On the other hand, the glass (G), the bonding operation is completed as described above, when the transfer member 87 is backed to reach a predetermined position is picked up by the fourth transfer 23 of the transfer 13, the unloading portion ( It can be discharged to the outside through 9).

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 반도체 본딩장치의 작동과정을 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, an operation process of a semiconductor bonding apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도1 내지 도3 을 참조하면, 본 발명이 제안하는 반도체 본딩장치를 이용하여 FPC(C)를 글래스(G)에 본딩하는 경우, 먼저 로딩부(1)를 이용하여 글래스(G)를 본딩장치의 내부로 이송시킨다.1 to 3, when bonding the FPC C to the glass G using the semiconductor bonding apparatus proposed by the present invention, the glass G is first bonded using the loading unit 1. Transfer to the inside of the

즉, 로딩부(1)의 센터링 스테이지(15)상에 전 공정으로부터 이송된 글래스(G)가 안착된다.That is, the glass G transferred from the whole process is seated on the centering stage 15 of the loading part 1.

그리고, 이송된 글래스(G)는 트랜스퍼(13)의 제1 트랜스퍼(17)에 의하여 진공방식으로 픽업되며 이 트랜스퍼(13)는 두개의 지그로 구성되며 각 지그의 간격조정은 작동중 실린더에 의하여 가변됨으로써 본체부(2)의 ACF 본딩부(3)로 이송된다.Then, the transferred glass G is picked up in a vacuum manner by the first transfer 17 of the transfer 13, and the transfer 13 is composed of two jigs, and the interval of each jig is adjusted by a cylinder during operation. By being variable, it is conveyed to the ACF bonding part 3 of the main body part 2.

상기 ACF 본딩부(3)의 진행과정을 보다 상세하게 설명하면, 도4 내지 도7 에 도시된 바와 같이, X,Y,Z, θ축 방향으로 이동이 가능한 이동부(31)는 진공흡입 방 식에 의하여 글래스(G)를 적치대(42)의 상면에 안착시킨다.The process of the ACF bonding unit 3 will be described in more detail. As shown in FIGS. 4 to 7, the moving unit 31 capable of moving in the X, Y, Z and θ axis directions is a vacuum suction chamber. The glass G is seated on the upper surface of the loading table 42 by the formula.

그리고, 글래스(G)가 안착된 이동부(31)는 Y축방향으로 이동함으로써 헤드(27)의 하단부에 위치하게 된다.The moving part 31 on which the glass G is seated is positioned at the lower end of the head 27 by moving in the Y-axis direction.

이 상태에서, 글래스(G)가 정위치에 정렬된 후, 다수개의 릴(29)이 회전함으로써 릴(29)에 권선된 ACF가 일정 길이로 풀려서 다수의 중간릴(r)을 통과하여 글래스(G)의 상부에 위치한 후 일정한 길이로 커터(Cutter;33)에 의하여 절단된 후 이송된다.In this state, after the glass G is aligned in position, the plurality of reels 29 are rotated so that the ACF wound on the reels 29 is unwound to a predetermined length and passes through the plurality of intermediate reels r to pass the glass ( It is placed on top of G) and then cut by a cutter 33 to a predetermined length and then conveyed.

그리고, ACF 본딩부(3)의 헤드(27)가 하강함으로써 헤드(27)의 하단부가 ACF를 가압한다. 바람직하게는 글래스(G)의 전극을 압착하게 된다.And the lower end of the head 27 pressurizes an ACF by the head 27 of the ACF bonding part 3 descend | falling. Preferably, the electrode of the glass G is pressed.

또한, 헤드(27)가 일정 온도의 열을 ACF에 전달함으로써 글래스(G)상에 부착하게 된다.In addition, the head 27 is attached to the glass (G) by transferring a constant temperature heat to the ACF.

ACF를 글래스(G)상에 부착한 후, 커터(33)가 ACF 테이프를 절단하게 된다. 그리고, 세퍼레이터(Separater;35)가 ACF와 보호필름부(도시안됨)를 분리시킴으로서 ACF가 글래스(G)에 부착되게 된다.After attaching the ACF on the glass G, the cutter 33 cuts the ACF tape. In addition, the separator 35 separates the ACF from the protective film portion (not shown) so that the ACF is attached to the glass G.

그리고, 상기 과정이 완료된 후, ACF의 길이 및 부착정도를 비젼에 의해 검사하며 이물질을 센서에 의해 검사한다. Then, after the process is completed, the length and adhesion of the ACF is inspected by vision and the foreign matter is inspected by the sensor.

이와 같이, ACF 부착공정이 완료된 후, 글래스(G)는 적치대(42)에 안착된 상태에서 트랜스퍼(13)의 제2 트랜스퍼(19)에 의하여 예비 본딩부(5)로 이송되어 FPC(C)가 1차적으로 예비본딩된다.As described above, after the ACF attaching process is completed, the glass G is transferred to the preliminary bonding part 5 by the second transfer 19 of the transfer 13 in the state of being seated on the loading rack 42 and the FPC (C). ) Is primarily prebonded.

보다 상세하게 설명하면, ACF가 압착된 글래스(G)가 예비 본딩부(5)의 얼라 인 스테이지(50)에 안착되어 Y축 방향으로 이동함으로써 예비 본딩위치(P2)에 도달한다.In detail, the glass G to which the ACF is pressed is seated on the align stage 50 of the preliminary bonding portion 5 and moved in the Y-axis direction to reach the preliminary bonding position P2.

이때, 로터리(46)에 구비된 가압헤드(47,56)는 제1 헤드(56)와 제2 헤드(47)로 이루어지며, FPC 공급부(10)로부터 공급된 칩(C)을 제1 위치(P1)에서 픽업한 후 예비 본딩위치(P2)에 위치시키게 된다.At this time, the pressurizing heads 47 and 56 provided in the rotary 46 are formed of the first head 56 and the second head 47, and the chip C supplied from the FPC supply unit 10 is placed in a first position. After picking up at P1, it is positioned at the preliminary bonding position P2.

즉, 도8 과 도15, 도16 에 도시된 바와 같이, 로터리(46)가 일정 각도, 바람직하게는 180도 각도로 회전하여 원형궤적을 따라 제1 위치(P1)에 도달한다.That is, as shown in Figs. 8, 15 and 16, the rotary 46 rotates at an angle, preferably 180 degrees, to reach the first position P1 along the circular trajectory.

이때, 제1 위치(P1)에는 FPC(C)가 FPC 공급부(10)를 통하여 공급된 상태이다. 이와 같은 FPC(C)가 FPC 공급부(10)에 의하여 가압 헤드(47)에 공급되는 과정을 설명하면 다음과 같다.At this time, the FPC C is supplied to the first position P1 through the FPC supply unit 10. When the FPC (C) described above is supplied to the pressure head 47 by the FPC supply unit 10 as follows.

즉, 상기 제1 및 제2 카세트 리프트(L1,L2)는 그 상면에 FPC(C)를 안착하고 상승한다. 그리고, 상기 한 쌍의 리프트 홀더(60)는 순차적으로 혹은 동시에 FPC(C)를 픽업한다.That is, the first and second cassette lifts L1 and L2 rest on the FPC C on the upper surface thereof and ascend. The pair of lift holders 60 pick up the FPC C sequentially or simultaneously.

FPC(C)를 픽업한 제1 및 제2 리프트 홀더(60)는 Y 축을 따라 FPC 홀더(59) 방향으로 이동한다. 그리고, 제1 및 제2 리프트 홀더(60)는 FPC(C)를 안착 스테이지(64)의 상면에 내려놓는다.The first and second lift holders 60 picking up the FPC C move in the direction of the FPC holder 59 along the Y axis. Then, the first and second lift holders 60 lower the FPC C on the upper surface of the seating stage 64.

안착 스테이지(64)상에 놓여진 FPC(C)는 FPC홀더(59)에 의하여 픽업(Pick Up)될 수 있다.The FPC C placed on the seating stage 64 may be picked up by the FPC holder 59.

그리고, 상기 FPC 홀더(59)는 FPC(C)를 픽업하여 FPC 얼라인부(61)의 위치에 도달함으로써 FPC(C)를 정확한 위치에 놓여지도록 한다.The FPC holder 59 picks up the FPC C and reaches the position of the FPC alignment portion 61 so that the FPC C is placed at the correct position.

즉, 얼라인 스테이지(63)에 FPC(C)가 안착되면, X축 조절축이 진행함으로써 X축 방향으로 일정 거리 이동하여 비젼 카메라(72)까지 진행한다.That is, when the FPC (C) is seated on the alignment stage 63, the X-axis adjusting axis advances to move to a certain distance in the X-axis direction to the vision camera 72.

이 상태에서 FPC 센터링용 비젼 카메라(72)가 FPC(C)의 얼라인 마크(M1)를 비젼하고, 비젼된 좌우 외형이 서로 수평이 되도록 맞춘다.In this state, the FPC centering vision camera 72 visions the alignment mark M1 of the FPC C, and sets the vision to be horizontal to each other.

그리고, 상기 얼라인 스테이지(63)의 X,Y,Z축 조절축을 적절하게 작동하여 얼라인 스테이지(63)를 등록된 좌표로 이동시킴으로써 자동적으로 FPC(C)의 센터링을 실시하게 된다.Then, by properly operating the X, Y, Z axis adjustment axis of the alignment stage 63, the alignment stage 63 is moved to the registered coordinates to automatically center the FPC (C).

상기한 바와 같이, FPC(C)에 대한 센터링 공정이 완료된 후, 이송기(66)에 의하여 FPC(C)는 예비 본딩부(5)로 이송된다.As described above, after the centering process for the FPC C is completed, the FPC C is transferred to the preliminary bonding portion 5 by the conveyor 66.

이와 같이, FPC(C)가 예비 본딩부(5)에 도달하면 제1 헤드(56)에 의하여 픽업됨으로써 예비 본딩작업이 진행된다.As such, when the FPC C reaches the preliminary bonding portion 5, the preliminary bonding operation is performed by being picked up by the first head 56.

즉, 도8, 도9, 도15, 그리고 도16 에 도시된 바와 같이, 제1 헤드(56)가 제1 위치(P1)에서 FPC(C)를 픽업한 후, 로터리(46)가 180도 회전함으로써 제2 위치(P2)에 도달한다.That is, as shown in Figs. 8, 9, 15, and 16, after the first head 56 picks up the FPC C at the first position P1, the rotary 46 is 180 degrees. By rotating, the second position P2 is reached.

그리고, 제2 위치(P2)에서 제1 카메라(70)에 의하여 칩(C)의 얼라인 마크(M1)를 인식하게 된다. 이때, FPC 얼라인을 위하여 얼라이닝 마크(M1)가 구비되며, 이 얼라이닝 마크(M1)는 카메라가 이를 촬영하여 검은색과 흰색의 2가지 색상으로 편집된 화상정보를 얻을 수 있다. 그리고, FPC(C)의 얼라인 마크에 대한 영상정보는 퍼스널 컴퓨터로 전송된다.The alignment mark M1 of the chip C is recognized by the first camera 70 at the second position P2. In this case, an aligning mark M1 is provided for FPC alignment, and the aligning mark M1 may be obtained by the camera to obtain image information edited in two colors, black and white. Then, the video information on the alignment mark of the FPC (C) is transmitted to the personal computer.

또한, 이때에는 얼라인 스테이지(50)에 의하여 적치대(73)가 예비 본딩위 치(P2)에 도달한 상태이다.In addition, at this time, the mounting base 73 has reached the preliminary bonding position P2 by the alignment stage 50.

따라서, 제2 카메라(71)가 적치대(73)에 안착된 글래스(G)의 얼라이닝 마크(M2)를 인식하고 제어부에 영상정보를 전송하게 된다.Therefore, the second camera 71 recognizes the aligning mark M2 of the glass G seated on the mounting base 73 and transmits the image information to the controller.

이와 같이, 제1 및 제2 카메라(70,71)로부터 전송된 영상정보는 퍼스널 컴퓨터에 의하여 처리되어 얼라인 스테이지(50)를 제어함으로써 FPC(C)가 글래스(G)의 상면에 정확한 위치에 예비 본딩 될 수 있도록 한다.In this way, the image information transmitted from the first and second cameras 70 and 71 is processed by the personal computer to control the alignment stage 50 so that the FPC C is positioned at the correct position on the upper surface of the glass G. To allow preliminary bonding.

이때, 상기 퍼스널 컴퓨터는 제1 및 제2 카메라(70,71)에 의하여 전송된 FPC(C) 및 글래스(G)의 얼라이닝 마크(M1,M2)를 내장된 얼라이닝 마크 편집용 프로그램에 의하여 처리함으로써 보다 정확한 위치를 인식할 수 있도록 한다.At this time, the personal computer is configured to align the alignment marks M1 and M2 of the FPC C and the glass G transmitted by the first and second cameras 70 and 71 by the built-in alignment mark editing program. By doing so, we can recognize the location more accurately.

즉, 상기 얼라이닝 마크 편집용 프로그램은 마크의 윤곽이 분명하지 않은 경우, 검은색과 흰색의 2가지 색으로 화상을 편집하여 해상도를 조정한다.That is, the alignment mark editing program adjusts the resolution by editing the image in two colors, black and white, when the mark outline is not clear.

따라서, FPC(C)의 얼라이닝 마크(M1) 주위의 불필요한 화상을 자동으로 제거함으로써 얼라이닝 마크(M1)의 인식율을 높일 수 있다.Therefore, the recognition rate of the aligning mark M1 can be improved by automatically removing unnecessary images around the aligning mark M1 of the FPC (C).

그리고, 글래스(G)의 얼라이닝 마크(M2)의 경우 본래의 마크에서 일정 거리 떨어진 거리를 기준으로 프램그램에 의하여 연산 처리하여 자동적으로 얼라이닝 한다.In the case of the aligning mark M2 of the glass G, the aligning mark M2 is automatically aligned by arithmetic processing based on a distance away from the original mark by a predetermined distance.

상기와 같이 퍼스널 컴퓨터는 처리된 화상정보에 의하여 얼라인 스테이지(50)를 적절하게 이동시킴으로써 FPC(C)가 글래스(G) 상의 정확한 위치에 도달할 수 있도록 한다.As described above, the personal computer properly moves the alignment stage 50 by the processed image information so that the FPC C can reach the correct position on the glass G.

이와 같이, 글래스(G)가 안착된 얼라인 스테이지(50)가 퍼스널 컴퓨터의 제 어신호에 의하여 정위치에 도달하면, FPC(C)를 픽업하고 있는 상태인 제1 헤드(56)가 하강하여 FPC(C)를 글래스(G) 상에 위치시킴으로써 예비 본딩을 실시하게 된다.In this way, when the alignment stage 50 on which the glass G is seated reaches the correct position by the control signal of the personal computer, the first head 56 in the state of picking up the FPC C is lowered. Preliminary bonding is performed by placing the FPC (C) on the glass (G).

보다 상세하게 설명하면, 제1 헤드(56)의 가열장치가 본딩팁(Tip)을 가열하여 일정온도의 열이 발생함으로써 FPC(C)를 열압착하게 된다. 이때, 열의 온도는 바람직하게는 약 60도이고, 압착시간은 0.1-60초이다.In more detail, the heating device of the first head 56 heats the bonding tip to generate heat of a predetermined temperature, thereby thermally compressing the FPC C. At this time, the temperature of the heat is preferably about 60 degrees, the pressing time is 0.1-60 seconds.

이와 같은 과정을 통하여 FPC(C)가 글래스(G)상에 예비 본딩될 수 있다.Through this process, the FPC C may be preliminarily bonded onto the glass G.

FPC(C)가 예비 본딩된 글래스(G)는 트랜스퍼(13)의 제3 트랜스퍼(21)에 의하여 메인 본딩부(7)로 이송되어 메인 본딩을 실시한다.The glass G to which the FPC C is pre-bonded is transferred to the main bonding part 7 by the third transfer 21 of the transfer 13 to perform main bonding.

즉, 도17 내지 도20 에 도시된 바와 같이, 제3 트랜스퍼(21)에 의하여 픽업된 글래스(G)는 이송부재(87)의 안착대(98)에 안착된 상태로 본딩헤드(81)의 하부로 이송된다.That is, as shown in FIGS. 17 to 20, the glass G picked up by the third transfer 21 is mounted on the mounting table 98 of the transfer member 87 of the bonding head 81. Conveyed to the bottom.

그리고, 4개의 본딩헤드(81)가 순차적으로 승하강 운동을 함으로써 본딩작업을 실시하게 된다.Then, the four bonding heads 81 perform the lifting operation in order to perform the bonding operation.

이때, 이 본딩헤드(81)의 하부에는 일정한 열을 발생시키는 본딩팁(89)이 구비된다. 따라서, FPC(C)를 글래스(G)상에 위치시키고 이 본딩팁(89)을 가열함으로써 본딩작업을 진행할 수 있다.At this time, the lower portion of the bonding head 81 is provided with a bonding tip 89 for generating a constant heat. Therefore, the bonding operation can be performed by placing the FPC C on the glass G and heating the bonding tip 89.

그리고, 이러한, 본딩헤드(81)의 전방부에 구비된 필름 공급부(83)에 권선된 버퍼필름(Buffer Film)이 공급됨으로써 본딩부위에 부착된다.The buffer film wound around the film supply unit 83 provided at the front of the bonding head 81 is supplied to the bonding portion.

이때, 상기 버퍼필름은 본딩헤드(81)의 전면에서 후면방향으로 권취됨으로써 본딩될 수 있다.In this case, the buffer film may be bonded by winding in the rear direction from the front of the bonding head 81.

이와 같이, 글래스(G)의 본딩 부위에 버퍼필름을 부착함으로써 ACF의 볼 깨짐을 좋게 하며 이물 및 스크래치를 방지할 수 있다.As such, by adhering the buffer film to the bonding portion of the glass G, it is possible to improve the cracking of the ACF and to prevent foreign substances and scratches.

한편, 상기와 같이 본딩 작업이 완료된 글래스(G)는 이송부재(87)가 후진하여 일정 위치에 도달하면, 트랜스퍼(13)의 제4 트랜스퍼(23;도1)에 의하여 픽업되어 출측에 구비된 언로딩부(9)를 통하여 외부로 배출될 수 있다.On the other hand, the glass (G), the bonding operation is completed as described above, when the conveying member 87 is retracted to reach a predetermined position, is picked up by the fourth transfer 23 (Fig. 1) of the transfer 13 is provided on the exit side It may be discharged to the outside through the unloading unit (9).

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 FOG 본딩장치는 다음과 같은 장점이 있다.As described above, the FOG bonding apparatus according to the preferred embodiment of the present invention has the following advantages.

첫째, FPC 공급부를 구비하여 FPC 본딩과정을 자동화함으로써 FOG 본딩작업 시간을 단축하여 3.5초로 초고속 생산할 수 있다.First, it is possible to produce ultra-fast production of 3.5 seconds by shortening the FOG bonding time by automating the FPC bonding process with the FPC supply unit.

둘째, 각 스테이지의 X,Y,Z,θ 축의 적용으로 다수개의 FPC본딩이 가능함으로써 다양한 형상의 FPC를 본딩할 수 있다.Second, by applying the X, Y, Z, θ axis of each stage, it is possible to bond a plurality of FPC by a plurality of FPC bonding.

셋째, 예비 본딩시 엘씨디 패널과 FPC의 얼라인 마크를 동시에 인식할 수 있는 카메라를 적용함으로써 본딩작업 시간을 단축할 수 있다.Third, the bonding time can be shortened by applying a camera that can simultaneously recognize the alignment marks of the LCD panel and the FPC during preliminary bonding.

넷째, 예비 본딩시 헤드의 Z축 적용으로 패널과 FPC의 간격을 미세하게 근접함으로써 예비 본딩 시간을 단축 할 있다.Fourth, the preliminary bonding time can be shortened by finely approaching the gap between the panel and the FPC by applying the Z axis of the head.

다섯째, ACF 작업시 ACF 필름의 부착상태를 카메라에 의하여 검사함으로써 얼라인 정도, 부착길이, 부착상태를 검사할 수 있다.Fifth, by checking the attachment state of the ACF film by the camera during the ACF operation, the alignment degree, the attachment length, and the attachment state can be inspected.

여섯째, 접촉식 변위센서에 의하여 POL의 두께편차를 자동으로 측정함으로써 POL필름의 두께편차에 따라 얼라인 스테이지의 높이를 조절하여 셋업시간을 단축과 얼라인 정도 개선, 글래스 손상의 최소화 및 다양한 글래스의 대응이 가능하다. Sixth, by measuring the thickness deviation of the POL by the contact displacement sensor, the height of the alignment stage is adjusted according to the thickness deviation of the POL film to shorten the setup time, improve the alignment accuracy, minimize the glass damage, and Correspondence is possible.

일곱째, 메인 본딩시 테프론 테입의 공급방식을 전후진 방식의 카트리지를 적용함으로써 테프론 테입의 소모량을 줄일 수 있고, 테프론 테입의 교체주기 및 교체시간을 단축시킬 수 있다.Seventh, it is possible to reduce the consumption of the Teflon tape, and to reduce the replacement cycle and replacement time of the Teflon tape by applying the cartridge of the Teflon tape supplying method back and forth during the main bonding.

여덟째, 메인 본딩부에 카메라를 구비함으로써 이송중 발생할 수 있는 얼라인의 오차를 보정 하여 정도를 향상 시킬 수 있다.Eighth, by providing a camera in the main bonding portion, it is possible to improve the accuracy by correcting the alignment error that may occur during the transfer.

아홉째, 로딩부 트랜스퍼 장치를 실린더 방식으로 적용함으로써 폭의 가변이 가능하여 필요에 따라 폭 조절을 할 수 있다.Ninth, the width of the width can be adjusted by applying the loading unit transfer device in a cylindrical manner, it is possible to adjust the width as needed.

열번째, FPC 공급시 반전기능을 적용하여 FPC의 공급방향에 관계없이 작업이 가능하다.Tenth, by applying the inversion function when supplying FPC, it is possible to work regardless of the feeding direction of FPC.

열한번째, FPC공급부 만을 교체하므로서 FOG에서 COG로 COG에서 FOG로 변경생산이 가능하여 장비운영 효율이 높다.Eleventh, it is possible to change production from FOG to COG and COG to FOG by replacing only the FPC supply unit.

열두번째, 상기 COG장비는 타장비와 IN LINE시스템으로 구성이 가능한 장비로서 LOADER와 CLEANER, FOG본딩기, AOI검사기를 연속공정으로 구성하여 초고속 모듈생산라인으로 구성이 가능하다.Twelfth, the COG equipment is a device that can be configured with other equipment and an IN LINE system, and can be configured as a high-speed module production line by configuring a LOADER, CLEANER, FOG bonding machine, and AOI inspector in a continuous process.

본 발명은 당해 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진자라면 누구든지 특허청구의 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어나지 않고도 다양하게 변경실시 할 수 있으므로 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니한다.The present invention can be variously changed by those skilled in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims, and is not limited to the specific preferred embodiments described above. .

Claims (14)

LCD 패널을 로딩하는 로딩부;A loading unit for loading an LCD panel; 상기 로딩부에 의하여 로딩된 글래스상에 이방성 도전 필름을 자동으로 부착시키는 ACF 본딩부와, 상기 ACF가 부착된 글래스상에 FPC를 로터리 방식에 의하여 미리 실장하고 얼라인하는 예비 본딩부와, 상기 예비 본딩부로부터 이송된 글래스에 FPC 필름을 최종적으로 실장하는 메인 본딩부로 이루어지는 본체부;An ACF bonding unit for automatically attaching an anisotropic conductive film onto the glass loaded by the loading unit, a preliminary bonding unit for pre-mounting and aligning the FPC on the glass to which the ACF is attached by a rotary method; A main body portion including a main bonding portion for finally mounting the FPC film on the glass transferred from the bonding portion; 상기 본체부에 FPC를 얼라인한 상태로 순차적으로 공급하는 FPC 공급부;An FPC supply unit sequentially supplying the FPC to the main body in an aligned state; 상기 글래스를 컨베이어 방식에 의하여 외부로 배출하는 언로딩부;An unloading part which discharges the glass to the outside by a conveyor method; 상기 로딩부의 글래스를 상기 ACF 본딩부로 이송하는 제1 트랜스퍼와, 상기 ACF 본딩부로부터 글래스를 상기 예비 본딩부로 이송하는 제2 트랜스퍼와, 상기 예비 본딩부로부터 글래스를 상기 메인 본딩부로 이송하는 제3 트랜스퍼와, 상기 메인 본딩부로부터 글래스를 상기 언로딩부로 이송하는 제4 트랜스퍼로 이루어짐으로써 글래스를 이송시키는 트랜스퍼; 그리고A first transfer for transferring the glass of the loading unit to the ACF bonding unit, a second transfer for transferring the glass from the ACF bonding unit to the preliminary bonding unit, and a third transfer for transferring the glass from the preliminary bonding unit to the main bonding unit And a fourth transfer transfer glass from the main bonding portion to the unloading portion. And 상기 로딩부, 본체부, 언로딩부를 제어하는 제어부를 포함하는 반도체 본딩장치.And a controller to control the loading unit, the main body unit, and the unloading unit. 삭제delete 제1 항에 있어서, 상기 ACF 본딩부는 프레임(Frame)과, 이 프레임의 일측에 구비되어 상하 왕복운동이 가능한 한 쌍의 헤드(Head)와, 한 쌍의 헤드의 인접 측방 위치에 구비되어 본딩작업에 필요한 ACF를 권선하는 다수의 릴(Reel)과, 그리고, 상기 한 쌍의 헤드로 글래스를 이송시키는 이동부와, 상기 헤드의 하단에 구비되어 상기 ACF를 일정 길이로 절단하는 커터, ACF를 부착후 ACF가 정확히 The method of claim 1, wherein the ACF bonding portion is provided at a frame, a pair of heads provided on one side of the frame and capable of vertically reciprocating movement, and adjacent side positions of the pair of heads for bonding operation. A plurality of reels winding the required ACF, a moving part for transferring glass to the pair of heads, a cutter provided at the lower end of the head to cut the ACF to a predetermined length, and an ACF attached thereto. ACF exactly after 부착되었는지 여부를 검사하는 ACF 검사기를 포함하는 반도체 본딩장치.A semiconductor bonding device comprising an ACF checker for checking whether it is attached. 제1 항에 있어서, 상기 예비 본딩부는 프레임(Frame)과, 상기 프레임에 회전가능하게 구비된 로터리(Rotary)와, 상기 로터리에 각각 부착된 가압 헤드와, 본딩 위치로 글래스를 이송시키는 얼라인 스테이지(Align Stage)와, 상기 가압 헤드의 본딩위치로 공급되는 FPC와 글래스의 패턴 및 위치를 인식하는 비젼부를 포함하며, 상기 로터리가 일정하게 180도씩 회전함으로써 FPC를 글래스상에 예비본딩시키는 반도체 본딩장치.The alignment stage of claim 1, wherein the preliminary bonding unit comprises a frame, a rotary rotatably provided in the frame, a pressure head attached to the rotary unit, and an alignment stage for transferring the glass to a bonding position. (Align Stage), and the vision bonding unit for recognizing the pattern and position of the glass and FPC supplied to the bonding position of the pressure head, the semiconductor bonding device for pre-bonding the FPC on the glass by rotating the rotary by a constant 180 degrees . 제4 항에 있어서, 상기 로터리는 수평판의 상부에 구비되는 DD 모터와, 상기 DD 모터에 연결되어 회전이 가능한 원판과, 상기 원판에 상하로 이동가능하게 구비됨으로써 FPC를 글래스 표면의 ACF위에 본딩하는 가압 헤드를 포함하는 반도체 본딩장치.5. The rotary machine of claim 4, wherein the rotary unit is provided with a DD motor provided on an upper part of the horizontal plate, a disk connected to the DD motor and rotatable, and the disk is movable up and down to bond the FPC to the ACF of the glass surface. A semiconductor bonding apparatus comprising a pressurized head. 제4 항에 있어서, 상기 비젼부는 상기 가압 헤드의 하부에 배치되어 FPC의 얼라인 마크를 화상 인식하는 제1 카메라와, 상기 제1 카메라와 일체로 연결되어 글래스의 얼라인 마크를 각각 화상 인식하는 제2 카메라를 포함하며, 상기 제1 및 제2 카메라는 상기 제어부에 영상정보를 전송하는 반도체 본딩장치.The display apparatus of claim 4, wherein the vision unit is disposed under the pressurizing head and is connected to the first camera to recognize the alignment mark of the FPC, and the alignment mark of the glass is respectively recognized. And a second camera, wherein the first and second cameras transmit image information to the controller. 제6 항에 있어서, 상기 제어부는 제1 및 제2 카메라로부터 전송된 화상정보에 의하여 상기 FPC와 글래스의 위치를 인식하고, 이 얼라이닝 마크의 화상정보를 프로그램에 의하여 처리함으로써 글래스의 ITO 패턴과 FPC의 범프면과의 얼라이닝 마크의 일치율을 높일 수 있는 FPC 패턴 얼라이닝용 프로그램을 갖춘 반도체 본딩장치.The method according to claim 6, wherein the control unit recognizes the position of the FPC and the glass by the image information transmitted from the first and second cameras, and processes the image information of the aligning mark by a program to process the ITO pattern of the glass. A semiconductor bonding device with a program for aligning an FPC pattern that can increase the matching ratio of alignment marks with the bump surface of the FPC. 제4 항에 있어서, 상기 얼라인 스테이지는 X축 방향으로 이동이 가능한 X축 이송부와, Y축 방향으로 이동이 가능한 Y축 이송부와, Z축 방향으로 이동이 가능한 Z축 이송부와, θ축 방향으로 이동이 가능한 θ축 이송부와, 상기 X축 이송부상에 구비되어 글래스가 안착되는 안착대를 포함하는 반도체 본딩장치.5. The alignment stage of claim 4, wherein the alignment stage comprises: an X-axis feeder movable in the X-axis direction, a Y-axis feeder movable in the Y-axis direction, a Z-axis feeder movable in the Z-axis direction, and a θ-axis direction. And a seating plate provided on the X-axis conveying unit and movable on the X-axis conveying unit to seat the glass. 제1 항에 있어서, 상기 FPC 공급부는 카세트 리프트에 의하여 이송된 다수개의 FPC 트레이를 순차적으로 이송시키는 트레이 공급부와, 트레이 공급부로부터 FPC를 하나씩 이송시키는 FPC홀더와, 상기 FPC홀더에 의하여 이송된 FPC를 픽업위치로 이송하고 FPC를 얼라인하는 FPC 얼라인부를 포함하는 반도체 본딩장치.The FPC supply unit according to claim 1, wherein the FPC supply unit sequentially transfers a plurality of FPC trays transferred by a cassette lift, an FPC holder for transferring FPCs one by one from the tray supply unit, and an FPC transferred by the FPC holder. A semiconductor bonding apparatus comprising an FPC alignment portion for transferring to a pickup position and aligning the FPC. 제9 항에 있어서, 상기 FPC 얼라인부는 이송된 FPC를 정확한 위치에 얼라인 하기 위한 FPC 얼라인 스테이지와, 상기 FPC를 센터링하기 위하여 FPC의 외형을 비젼하는 비젼 카메라를 포함하는 반도체 본딩장치.The semiconductor bonding apparatus of claim 9, wherein the FPC alignment unit comprises an FPC alignment stage for aligning the transferred FPC to a correct position, and a vision camera for visualizing an appearance of the FPC to center the FPC. 제1 항에 있어서, 상기 메인 본딩부는 프레임과, 이 프레임의 일측에 상하왕복 운동이 가능하고 가변 피치방식의 본딩헤드, 상기 본딩헤드의 하단부에 구비되어 칩이 본딩된 글래스에 열을 전달하는 본딩팁과, 상기 본딩헤드의 인접위치에 구비되어 버퍼필름을 권치하는 필름 공급부와, 상기 본딩헤드의 상부에 구비되어 글래스의 위치를 인식하여 영상정보를 상기 제어부에 전송하는 카메라와, 상기 본딩헤드의 하부에 글래스를 이송시키는 이송부재를 포함하는 반도체 본딩장치.The bonding method of claim 1, wherein the main bonding unit is configured to bond the frame, a vertically reciprocating movement to one side of the frame, a variable pitch bonding head, and a lower end of the bonding head to transfer heat to the glass on which the chip is bonded. A tip, a film supply unit provided at an adjacent position of the bonding head to wind a buffer film, a camera provided at an upper portion of the bonding head to recognize a position of glass, and to transmit image information to the control unit; A semiconductor bonding apparatus comprising a transfer member for transferring the glass to the lower portion of the. 제11 항에 있어서, 상기 이송부재는 X축 방향으로 이동이 가능한 X축 이송부와, Y축 방향으로 이동이 가능한 Y축 이송부와, Z축 방향으로 이동이 가능한 Z축 이송부와, θ축 방향으로 이동이 가능한 θ축 이송부와, 상기 X축 이송부상에 구비되어 글래스가 안착되는 안착대를 포함하는 반도체 본딩장치.12. The method of claim 11, wherein the conveying member is an X-axis feeder that can move in the X-axis direction, a Y-axis feeder that can move in the Y-axis direction, a Z-axis feeder that can move in the Z-axis direction, and in the θ-axis direction And a seating plate provided on the X-axis conveying unit and movable on the X-axis conveying unit. 제11 항에 있어서, 상기 필름 공급부는 한 쌍의 지지 프레임과, 한 쌍의 지지 프레임의 사이에 구비되어 버퍼필름을 권취하는 권취릴로 이루어지는 반도체 본딩장치.12. The semiconductor bonding apparatus of claim 11, wherein the film supply unit comprises a pair of support frames and a winding reel provided between the pair of support frames to wind the buffer film. 삭제delete
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