KR100848077B1 - 토출 검사 장치 및 액적 토출 장치 - Google Patents

Abstract

세팅한 워크에 대하여, 기능 액적 토출 헤드를 주사 방향으로 상대적으로 이동시키면서, 상기 기능 액적 토출 헤드를 토출 구동시켜서 상기 워크에 묘화(描畵)를 행하는 묘화 장치를 구비한 액적 토출 장치에 설치되어 상기 기능 액적 토출 헤드의 토출 불량을 검사하는 토출 검사 장치로서, 상기 기능 액적 토출 헤드의 검사 토출을 받는 밴드 형상의 검사 시트와, 상기 검사 시트가 흡착 탑재 배치되는 동시에 상기 검사 시트를 흡착하기 위한 진공 흡인 수단 및 상기 검사 시트를 부상시키기 위한 에어 공급 수단에 연통(連通)하는 검사 스테이지와, 상기 검사 스테이지의 일단(一端)측에 배열 설치되어 롤 모양으로 감은 상기 검사 시트를 상기 검사 스테이지 위에 속출하는 시트 속출 기구와, 상기 검사 스테이지의 타단(他端)측에 배열 설치되어 속출한 상기 검사 시트를 상기 검사 스테이지 위로부터 권취하는 시트 권취 기구와, 상기 검사 스테이지와 상기 진공 흡인 수단 사이에 개설되어 상기 검사 스테이지의 흡인 에어를 제어하는 흡인 에어 밸브 유닛과, 상기 검사 스테이지와 상기 에어 공급 수단 사이에 개설되어 상기 검사 스테이지의 부상 에어를 제어하는 부상 에어 밸브 유닛과, 상기 흡인 에어 밸브 유닛, 상기 부상 에어 밸브 유닛, 상기 시트 속출 기구 및 상기 권취 기구를 제어하는 제어 수단을 구비하고, 상기 제어 수단은 상기 검사 시트의 속출 동작 및 상기 검사 시트의 권취 동작 시에 상기 검사 시트를 부상시키는 것을 특징으로 하는 토출 검사 장치.

액적 토출 장치, 묘화 장치, 에어 흡인 기구, 시트 속출 기구

Description

토출 검사 장치 및 액적 토출 장치{EJECTION INSPECTION DEVICE AND LIQUID DROPLET EJECTION APPARATUS}

도 1은 실시예에 따른 액적 토출 장치의 평면도.

도 2는 실시예에 따른 액적 토출 장치의 정면도.

도 3은 실시예에 따른 토출 검사 장치의 정면도.

도 4는 토출 검사 장치의 평면도.

도 5는 토출 검사 장치의 배면도.

도 6은 토출 검사 장치의 우측 도면.

도 7은 토출 검사 장치의 에어 흡인 기구 및 에어 부상 기구의 회로도.

도 8은 토출 검사 장치에 의해 검사 시트의 부상 전송 및 흡착 탑재 배치를 설명하는 개념도.

도 9는 컬러 필터 제조 공정을 설명하는 플로차트.

도 10의 (a) 내지 도 10의 (e)는 제조 공정 순으로 나타낸 컬러 필터의 모식 단면도.

도 11은 본 발명을 적용한 컬러 필터를 사용한 액정 장치의 개략적인 구성을 나타내는 요부 단면도.

도 12는 본 발명을 적용한 컬러 필터를 사용한 제 2 예의 액정 장치의 개략적인 구성을 나타내는 요부 단면도.

도 13은 본 발명을 적용한 컬러 필터를 사용한 제 3 예의 액정 장치의 개략적인 구성을 나타내는 요부 단면도.

도 14는 유기 EL 장치인 표시 장치의 요부 단면도.

도 15는 유기 EL 장치인 표시 장치의 제조 공정을 설명하는 플로차트.

도 16은 무기물 뱅크층의 형성을 설명하는 공정도.

도 17은 유기물 뱅크층의 형성을 설명하는 공정도.

도 18은 정공 주입/수송층을 형성하는 과정을 설명하는 공정도.

도 19는 정공 주입/수송층이 형성된 상태를 설명하는 공정도.

도 20은 청색의 발광층을 형성하는 과정을 설명하는 공정도.

도 21은 청색의 발광층이 형성된 상태를 설명하는 공정도.

도 22는 각각의 색의 발광층이 형성된 상태를 설명하는 공정도.

도 23은 음극의 형성을 설명하는 공정도.

도 24는 플라스마형 표시 장치(PDP 장치)인 표시 장치의 요부 분해 사시도.

도 25는 전자 방출 장치(FED 장치)인 표시 장치의 요부 단면도.

도 26의 (a) 및 도 26의 (b)는 각각 표시 장치의 전자 방출부 둘레의 평면도 및 그 형성 방법을 나타내는 평면도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 액적 토출 장치 2 : 묘화(描畵) 장치

4 : 토출 검사 장치 17 : 기능 액적 토출 헤드

61 : 방진 캐비닛 63 : 검사 스테이지

68 : 경사 조정 기구 71 : 다공질 플레이트

72 : 테두리 모양 프레임 73 : 에어실

81 : 시트 속출 기구 82 : 시트 권취 기구

98 : 흡인 밸브 유닛 108 : 공급 밸브 유닛

S : 검사 시트 W : 기판

본 발명은 잉크젯 방식으로 기능액을 토출하는 기능 액적 토출 헤드의 토출검사 장치, 액적 토출 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기에 관한 것이다.

종래, 기능 액적 토출 헤드를 토출 구동시켜서 워크(예를 들어 액정 표시 장치의 유리 기판)에 묘화(描畵)를 행하는 묘화 장치를 구비한 액적 토출 장치에 설치되어, 기능 액적 토출 헤드의 토출 결과를 화상 인식함으로써, 기능 액적 토출 헤드의 토출 불량을 검사하는 토출 검사 장치가 알려져 있다(일본국 공개특허 제2005-14216호 공보 참조).

그런데, 종래의 토출 검사 장치에 대하여 러닝 코스트의 삭감 등을 고려해서 검사용 워크로서 롤 모양으로 감은 검사 시트를 사용하여, 검사 시트를 검사 스테이지 위에 속출하는 동시에, 이것을 검사 스테이지 위로부터 권취하도록 구성하는 것이 고려된다. 또한, 기능 액적 토출 헤드의 노즐면에 검사 워크가 접촉하는 것을 방지하기 위해 검사 시트를 검사 스테이지 위에 흡착 탑재 배치한 상태에서 토출 검사를 행하는 것이 바람직하다.

그러나, 이 경우 흡인을 해제해도 검사 시트가 검사 스테이지에 바싹 붙어버릴(진공 흡착) 우려가 있다. 또한, 이 경우 검사 시트가 검사 스테이지와 서로 마찰하면서 전송되기 때문에, 정전기를 일으키기 쉽고 일단 떼어냈다고 해도 정전 흡착에 의해 검사 시트가 검사 스테이지에 붙어버릴 우려가 있다. 검사 시트가 검사 스테이지에 붙은 상태로 전송되면, 검사 시트에 주름이 생기거나 검사 시트의 속출·권취 부하가 증대(모터의 과부하)하기 때문에, 검사 시트를 적절히 전송하지 못하는 문제가 생긴다. 또한, 검사 시트가 정전기를 일으킨 경우에는 토출 검사 시의 기능액의 착탄 위치에도 영향을 준다.

본 발명은 검사 시트를 검사 스테이지 위에 흡착 탑재 배치하는 동시에, 검사 시트의 속출·권취 부하를 증대시키지 않고 검사 시트를 전송할 수 있는 토출 검사 장치, 액적 토출 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명의 토출 검사 장치는 세팅한 워크에 대하여, 기능 액적 토출 헤드를 주사 방향으로 상대적으로 이동시키면서, 상기 기능 액적 토출 헤드를 토출 구동시켜서 워크에 묘화를 행하는 묘화 장치를 구비한 액적 토출 장치에 설치되어, 기능 액적 토출 헤드의 토출 불량을 검사하는 토출 검사 장치로서, 기능 액적 토출 헤드의 검사 토출을 받는 밴드 형상의 검사 시트와, 검사 시트가 흡착 탑재 배치되는 동시에, 검사 시트를 흡착하기 위한 진공 흡인 수단 및 검사 시트를 부상시키기 위한 에어 공급 수단에 연통(連通)하는 검사 스테이지와, 검사 스테이지의 일단(一端)측에 배열 설치되어, 롤 모양으로 감은 검사 시트를 검사 스테이지 위에 속출하는 시트 속출 기구와, 검사 스테이지의 타단(他端)측에 배열 설치되어 속출한 검사 시트를 검사 스테이지 위로부터 권취하는 시트 권취 기구와, 검사 스테이지와 진공 흡인 수단 사이에 개설되어 검사 스테이지의 흡인 에어를 제어하는 흡인 에어 밸브 유닛과, 검사 스테이지와 에어 공급 수단 사이에 개설되어 검사 스테이지의 부상 에어를 제어하는 부상 에어 밸브 유닛과, 흡인 에어 밸브 유닛, 부상 에어 밸브 유닛, 시트 속출 기구 및 상기 권취 기구를 제어하는 제어 수단을 구비하고, 제어 수단은 검사 시트의 속출 동작 및 검사 시트의 권취 동작 시에 검사 시트를 부상시키는 것을 특징으로 한다.

이 구성에 의하면, 제어 수단에 의해 흡인 에어 밸브 유닛, 부상 에어 밸브 유닛, 시트 속출 기구 및 시트 권취 기구를 제어함으로써, 토출 검사할 때에 흡인 에어에 의해 검사 시트가 검사 스테이지에 흡착 탑재 배치되는 동시에, 검사 시트의 흡착을 해제하고, 또한 검사 시트를 부상 에어에 의해 검사 스테이지로부터 부상시킨 상태에서 검사 시트의 전송(속출 및 권취)이 행해진다. 이 때문에, 검사 시트를 검사 스테이지에 흡착 탑재 배치함으로써, 검사 시트가 검사 스테이지에 붙은 상태가 되었다고 해도 이것을 확실히 떼어낼 수 있다. 또한, 검사 시트를 부상시키면서 전송하기 때문에 검사 시트가 검사 스테이지와 마찰하지 않고 정전기가 일어나는 일도 없다. 이 때문에, 검사 시트를 진공 흡착이나 정전 흡착 등에 의해 검사 스테이지에 붙은 상태로 전송하는 일이 없다. 따라서, 검사 시트의 속출·권취 부하를 증대시키지 않고 검사 시트를 전송할 수 있다

이 경우 검사 스테이지는 검사 시트를 흡착 탑재 배치하는 다공질 플레이트와, 상부에 다공질 플레이트를 수평으로 유지하는 테두리 모양 프레임과, 다공질 플레이트의 하면에 면하여 테두리 모양 프레임의 내측에 형성되는 동시에, 진공 흡인 수단 및 에어 공급 수단에 각각 연통하는 에어실을 갖고 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 테두리 모양 프레임에 의해 다공질 플레이트가 수평으로 유지된다. 또한, 진공 흡인 수단에 의해 에어실을 통해서 다공질 플레이트 위의 검사 시트가 흡인된다. 이 때문에, 검사 시트는 다공질 플레이트 위에 수평으로 흡착 탑재 배치된다. 게다가, 다공질 플레이트 위에서 흡인되기 때문에 흡착면의 평면 정밀도를 손상하지 않고 균일하게 흡인된다. 이 때문에, 검사 스테이지 위에 검사 시트를 수평 또는 평탄하게 탑재 배치할 수 있다.

또한, 다공질 플레이트로서는 예를 들어 소결(燒結) 금속(스테인리스 등)이나 소결 가공한 불소 수지로 이루어지는 다공질체로 구성한 것을 사용할 수 있다.

이 경우, 테두리 모양 프레임 및 다공질 플레이트는 도전성을 갖는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 검사 시트가 탑재 배치되는 테두리 모양 프레임 및 다공질 플레이트를 도전성으로 함으로써, 검사 시트가 정전기에 의해 대전하는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.

이 경우, 시트 속출 기구 및 시트 권취 기구는 각각 구동원을 갖고 있고, 제어 수단은 시트 속출 기구 및 시트 권취 기구를 동시에 구동하여 속출 동작 및 권취 동작을 행하게 하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 시트 권취 기구의 구동에 추가해서 이것을 동시에 시트 속출 기구를 구동함으로써, 검사 시트에 대하여 텐션(tension)을 거의 걸지 않고 전송할 수 있다. 따라서, 검사 시트의 속출·권취 부하를 보다 경감할 수 있다.

이 경우, 검사 스테이지는 검사 시트의 연장 방향으로 분할한 복수의 분할 스테이지로 구성되고, 흡인 에어 밸브 유닛은 복수의 분할 스테이지의 흡인 에어를 개별적으로 제어할 수 있도록 구성되고, 또한 부상 에어 밸브 유닛은 복수의 분할 스테이지의 부상 에어를 개별적으로 제어할 수 있도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 예를 들어 복수의 분할 스테이지를 한쪽의 단부(端部)에 위치하는 것으로부터 다른쪽(他方) 단부에 위치하는 것을 향해 순서대로 흡착 동작시킴으로써, 에어를 배출하면서 검사 시트를 흡착하고 검사 시트를 적절히 흡착 탑재 배치할 수 있게 된다. 또한, 복수의 분할 스테이지를 한쪽의 단부에 위치하는 것으로부터 다른쪽의 단부에 위치하는 것을 향해 순서대로 부상 동작시킴으로써, 검사 시트를 원활하게 부상시킬 수 있게 된다.

이 경우, 제어 수단은 검사 시트의 흡착 시에 흡인 에어 밸브 유닛을 제어하고, 복수의 분할 스테이지를 한쪽의 단부에 위치하는 것으로부터 다른쪽의 단부에 위치하는 것을 향해 순서대로 흡착 동작시키는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 한쪽의 단부로부터 순서대로 에어를 배출하면서 검사 시트를 흡착할 수 있고, 주름이 생기지 않고 검사 시트를 적절하게 흡착 탑재 배치할 수 있다.

이 경우, 제어 수단은 검사 시트의 흡착 시에 다른쪽의 단부측에 시트 속출 기구가 위치하고 있는 경우에는, 시트 속출 기구를 약간 역(逆)전송 구동시켜서 검사 시트에 텐션을 부여하고, 다른쪽의 단부측에 시트 권취 기구가 위치하고 있는 경우에는, 시트 권취 기구를 약간 정(正)전송 구동시켜서 검사 시트에 텐션을 부여하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 검사 시트는 다른쪽의 단부로부터 텐션이 부여된 상태에서, 그 반대측의 단부(한쪽의 단부)로부터 흡착 동작이 개시된다. 이 때문에, 보다 효과적으로 에어를 배출하면서 검사 시트를 흡착할 수 있다.

이 경우, 제어 수단은 검사 시트의 흡착 시에 흡인 에어 밸브 유닛을 제어하고, 복수의 분할 스테이지를 중간부에 위치하는 것으로부터 양단부에 위치하는 것을 향해 순서대로 흡착 동작시키는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 중간부로부터 양단부를 향해 순서대로 에어를 배출하면서 검사 시트를 흡착할 수 있고, 주름이 생기지 않고 검사 시트를 단시간 또는 효과적으로 흡착 탑재 배치할 수 있다.

이 경우, 제어 수단은 검사 시트의 흡착 시에 시트 속출 기구를 약간 역전송 구동시키고, 또한 시트 권취 기구를 약간 정전송 구동시켜서 검사 시트에 텐션을 부여하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 검사 시트는 양단부로부터 각각 텐션이 부여된 상태에서 중간부로부터 흡착 동작이 개시된다. 이 때문에, 더욱 효과적으로 에어를 배출하면서 검사 시트를 흡착할 수 있다.

이 경우, 각 분할 스테이지의 분할 에어실은 세분화된 복수의 세분화 에어실로 구성되고, 복수의 세분화 에어실에는 각각 흡인 에어 밸브 유닛에 연결되는 흡인 에어 유로(流路) 및 부상 에어 밸브 유닛에 연결되는 부상 에어 유로가 접속되고, 흡인 에어 밸브 유닛은 복수의 세분화 에어실의 흡인 에어를 개별적으로 제어할 수 있도록 구성되고, 또한 부상 에어 밸브 유닛은 복수의 세분화 에어실의 부상 에어를 개별적으로 제어할 수 있도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 흡인 에어 밸브 유닛에 의해 복수의 세분화 에어실의 흡인 에어가 개별적으로 제어되고, 부상 에어 밸브 유닛에 의해 복수의 세분화 에어실의 부상 에어가 개별적으로 제어된다. 이 때문에, 각 분할 다공질(多孔質) 플레이트에 대하여 흡인 에어 및 부상 에어를 보다 세세하게 제어할 수 있다. 따라서, 예를 들어 검사 시트의 연장 방향으로 세분화한 복수의 세분화 에어실을 한쪽의 단부에 위치하는 것으로부터 다른쪽의 단부에 위치하는 것을 향해 순서대로 흡착 동작시킴으로써, 더욱 효과적으로 에어를 배출하면서 검사 시트를 흡착하고 검사 시트를 흡착 탑재 배치할 수 있게 된다. 또한, 각 분할 에어실에 있어서, 복수의 세 분화 에어실에 연결되는 흡인 에어 유로 및 부상 에어 유로 중 1개의 흡인 에어 유로, 또는 부상 에어 유로에 밸브 고장 등의 결함이 발생한 경우에도, 다른 흡인 에어 유로 및 부상 에어 유로에 의해 검사 시트를 흡인 및 부상시킬 수 있다. 즉, 각 분할 스테이지에 있어서, 검사 시트를 완전히 흡인 또는 부상시키지 않은 상황을 회피할 수 있다.

본 발명의 액적 토출 장치는 상기한 토출 검사 장치와 묘화 장치를 구비한 것을 특징으로 한다.

이 구성에 의하면, 검사 시트를 검사 스테이지 위에 흡착 탑재 배치하는 동시에, 검사 시트의 속출·권취 부하를 증대시키지 않고 검사 시트를 전송할 수 있는 토출 검사 장치를 구비함으로써, 토출 검사 장치를 적절하게 구동시킨 상태에서 기능 액적 토출 헤드의 토출 불량 검사를 행할 수 있다.

이 경우, 묘화 장치는 워크를 세팅하는 세팅 테이블과, 기능 액적 토출 헤드에 대하여 세팅 테이블을 통해서 워크를 주사 방향으로 이동시키는 이동 기구를 갖고, 토출 검사 장치는 세팅 테이블에 인접하는 동시에, 이동 기구에 탑재되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 이동 기구에 의해 세팅 테이블에 세팅한 워크를 기능 액적 토출 헤드에 대하여 주사 방향으로 이동시키면서 묘화를 행한 후, 이것에 계속해서 세팅 테이블에 인접하는 토출 검사 장치를 기능 액적 토출 헤드에 면하게 함으로써 토출 검사가 행해진다. 이 때문에, 워크에 대한 묘화 후, 바로 토출 검사를 행할 수 있고 생산 효율을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 전기 광학 장치의 제조 방법은 상기한 액적 토출 장치를 사용하여 워크 위에 기능액에 의한 성막부(成膜部)를 형성하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 전기 광학 장치는 상기한 액적 토출 장치를 사용하여 워크 위에 기능액에 의한 성막부를 형성하는 것을 특징으로 한다.

이들 구성에 따르면, 토출 검사 장치를 적절하게 구동시킨 상태에서 기능 액적 토출 헤드의 토출 불량 검사를 행할 수 있는 액적 토출 장치에 의해 제조함으로써, 신뢰성이 높은 워크를 효율적으로 생산할 수 있다. 또한, 전기 광학 장치(플랫 패널 디스플레이: FPD)로서는, 컬러 필터, 액정 표시 장치, 유기 EL 표시 장치, PDP 장치, 전자 방출 장치 등이 고려된다. 또한, 전자 방출 장치는 소위 FED(Field Emission Display)나 SED(Surface-conduction Electron-Emitter Display) 장치를 포함하는 개념이다. 또한, 전기 광학 장치로서는, 금속 배선 형성, 렌즈 형성, 레지스트 형성 및 광확산체 형성 등을 포함하는 장치가 고려된다.

본 발명의 전자 기기는 상기한 전기 광학 장치의 제조 방법에 의해 제조한 전기 광학 장치, 또는 상기한 전기 광학 장치를 탑재한 것을 특징으로 한다.

이 경우, 전자 기기로서는 소위 플랫 패널 디스플레이를 탑재한 휴대 전화, 퍼스널 컴퓨터 외에 각종 전기 제품이 이에 해당한다.

이하, 첨부의 도면을 참조하여 본 발명에 따른 토출 검사 장치 및 이것을 구비한 액적 토출 장치에 대해서 설명한다. 이 액적 토출 장치는 액정 표시 장치 등의 FPD의 제조 라인에 일체로 구성되어 있어, 특수한 잉크나 발광성 수지액 등의 기능액을 기능 액적 토출 헤드에 도입하고, 컬러 필터 등의 기판 위에 기능액에 의 한 성막부를 형성하는 것이다.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 액적 토출 장치(1)는 기능 액적 토출 헤드(17)를 탑재한 묘화 장치(2)와, 묘화 장치(2)에 첨설(添設)된 메인터넌스 장치(3)와, 기능 액적 토출 헤드(17)의 토출 불량을 검사하기 위한 토출 검사 장치(4)를 구비하고, 토출 검사 장치(4)의 검사 결과에 기초하여 메인터넌스 장치(3)에 의해 기능 액적 토출 헤드(17)의 기능 유지·회복을 행하는 동시에, 묘화 장치(2)에 의해 기판(W(워크)) 위에 기능액을 토출하는 묘화 처리를 행하도록 하고 있다. 또한, 액적 토출 장치(1)에는 각종 카메라를 갖는 화상 인식 장치(5)와, 장치 전체를 통괄 제어하는 제어 컴퓨터(6(도 8 참조))가 일체로 구성되어 있다.

또한, 액적 토출 장치(1)는 클린 에어(clean air)의 관리하에 설치되어 있다. 즉, 액적 토출 장치(1)는 체임버 룸(7)에 수용되어 있고, 체임버 룸(7)에는 이에 병설한 도면 이외의 클린 에어 공급 유닛에 의해 온도 관리된 청정한 가스(클린 에어(1))가 공급되도록 되어 있다.

묘화 장치(2)는 기판(W)을 탑재 배치하는 X축 테이블(12) 및 X축 테이블(12)에 직교하는 Y축 테이블(13)로 이루어지는 XY 이동 기구(11)와, Y축 테이블(13)에 이동 가능하게 부착된 7개의 캐리지(14)와, 각각의 캐리지(14)에 매달려 설치되어 각각 12개(도 1 및 도 2에서는 2개만 나타냄)의 기능 액적 토출 헤드(17)를 장착한 헤드 유닛(15)을 구비하고 있다.

X축 테이블(12)에 의한 기판(W)의 이동 궤적과 Y축 테이블(13)에 의한 캐리지(14)의 이동 궤적이 교차하는 영역이 묘화 처리를 행하는 묘화 영역(18)이 되어 있고, 또한 Y축 테이블(13)에 의한 캐리지(14)의 이동 궤적 위의 X축 테이블(12)로부터 외측으로 벗어난 영역이 메인터넌스 영역(19)이 되어 있고, 이 메인터넌스 영역(19)에 상기의 메인터넌스 장치(3)가 설치되어 있다. 한편, X축 테이블(12)의 바로 앞쪽의 영역은 액적 토출 장치(1)에 대한 기판(W)의 반출입을 행하는 기판 반출입 영역(20)이 되어 있다.

X축 테이블(12)은 반입된 기판(W)을 흡착 세팅하는 세팅 테이블(21)과, 세팅한 기판(W)을 θ보정하기 위한 θ테이블(22)과, θ테이블을 통해서 세팅 테이블(21)을 탑재 배치하는 탑재 배치 베이스(23)와, 탑재 배치 베이스(23)를 X축 방향으로 슬라이드 가능하게 지지하는 X축 에어 슬라이더(24)와, X축 방향으로 연장하여 세팅 테이블(21)을 통해서 기판(W)을 X축 방향으로 이동시키는 좌우 한 쌍의 X축 리니어모터(도시 생략)와, X축 리니어모터에 병설되어 X축 에어 슬라이더(24)의 이동을 안내하는 한 쌍의 X축 가이드 레일(25)을 구비하고 있다. 또한, 세팅 테이블(21)의 전후로는 기판(W)의 묘화 전후에 각 기능 액적 토출 헤드(17)로부터의 플러싱(flushing)을 받는 한 쌍의 플러싱 박스(26)가 설치되어 있다.

이렇게 구성된 X축 테이블(12)에 의해 세팅 테이블(21)에 세팅한 기판(W)이 X축 방향으로 왕복 운동한다. 또한, 기판 반출입 영역(20)측으로부터 묘화 영역(18)측(도 1의 하측으로부터 상측)으로 이동 할때를 왕동(往動)이라 하고, 묘화 영역(18)측으로부터 기판 반출입 영역(20)측(도 1의 상측으로부터 하측)으로 이동 할때를 복동(復動)이라고 한다.

또한, 후술하는 토출 검사 장치(4)는 세팅 테이블(21)에 대하여 왕동측에 인 접하고 탑재 배치 베이스(23) 위에 탑재되어 있다. 그 때문에, X축 테이블(12)을 구동시킴으로써, 세팅 테이블(21)과 토출 검사 장치(4)를 일체로 하여 X축 방향으로 이동하도록 되어 있다.

한편, Y축 테이블(13)은 전후 한 쌍의 컬럼(column)(32)에 탑재 배치되어 있고, 7개의 캐리지(14)를 각각 매달려 설치하는 7개의 브리지 플레이트(31)가 Y축 방향으로 정렬하도록 이것을 양쪽에서 지지하는 7세트의 Y축 슬라이더(도시 생략)와, Y축 방향으로 연장하여 각 세트의 Y축 슬라이더를 통해서 각 브리지 플레이트(3)를 Y축 방향으로 이동시키는 전후 한 쌍의 Y축 리니어모터(도시 생략)와, Y축 방향으로 연장하여 7개의 브리지 플레이트(31)의 이동을 안내하는 전후 각 2개(합계 4개)의 Y축 가이드 레일(도시 생략)을 구비하고 있다. 이 때문에, 7개의 캐리지(14)를 개별적으로, 또는 일괄하여 Y축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.

각 캐리지(14)는 모터 구동계에서 구성되고, 탑재한 헤드 유닛(15)을 승강하는 헤드 승강 기구(36)를 갖고 있다. 이 헤드 승강 기구(36)에 의해 워크 갭(기능 액적 토출 헤드(17)의 노즐면(42)과 기판(W) 표면의 간격)을 소정의 값(예를 들어 0.15mm~0.3mm)으로 조정할 수 있도록 되어 있다.

액적 토출 장치(1)에는 7개의 캐리지(14)에 12개씩, 합계 84개의 기능 액적 토출 헤드(17)가 탑재되어 있고, 소위 라인 인쇄 방식으로 묘화 처리를 행하도록 되어 있다. 즉, 84개의 기능 액적 토출 헤드(17)가 Y축 방향(기판(W)의 폭 방향)으로 연결되어 대형의 기판(W)(예를 들어 폭 1800mm)에 대하여도 1회의 토출 주사로 기판(W)의 전체 영역에 묘화 처리를 행할 수 있다.

각 기능 액적 토출 헤드(17)는 도시하지 않은 기능액 팩(도시 생략) 등으로부터 기능액이 공급되어, 잉크젯 방식(예를 들어 압전 소자 구동)으로 기능액을 토출하는 것이다. 복수(예를 들어 180개)의 노즐(41)을 나열 설치한 노즐면(42)을 갖고 있어 헤드 드라이버(도시 생략)로부터 구동 파형을 인가함으로써 각 노즐(41)로부터 기능액이 토출된다.

메인터넌스 장치(3)는 메인터넌스 영역(19)에 배열 설치되어 기능 액적 토출 헤드(17) 내에서 증점(增粘)한 기능액을 제거하기 위한 흡인(클리닝)을 행하는 7개의 흡인 유닛(46)과, 흡인 유닛(46)의 묘화 영역(18)측에 배열 설치되어 기능 액적 토출 헤드(17)의 노즐면(42)을 불식하는 와이핑 유닛(47)과, 와이핑 유닛(47)의 묘화 영역(18)측에 배열 설치되어 노즐(41)로부터 토출된 기능액의 비행 상태를 촬상하는 비행 관측 유닛(48)을 구비하고 있다.

화상 인식 장치(5)는 기판 반출입 영역(20)의 전후 양측을 향하도록 배열 설치되어 기판(W)에 형성된 2개의 얼라인먼트 마크(도시 생략)를 각각 화상 인식하는 2대의 얼라인먼트 카메라(51)와, 상기의 Y축 테이블(13)에 첨설된 카메라 이동 기구(도시 생략)에 의해 Y축 방향으로 이동 가능하게 탑재되어 토출 검사 장치(4)의 검사 시트(S)(도 3 등 참조)에 토출·착탄한 기능액을 화상 인식하는 검사용 카메라(52)를 갖고 있다.

토출 검사 장치(4)는 상세는 후술하지만, 상기의 탑재 배치 베이스(23) 위에 배열 설치되어 있어 전(全) 기능 액적 토출 헤드(17)에 대응한 길이를 갖는 검사 스테이지(63)와, 검사 스테이지(63) 위에 흡착 탑재 배치되어 각 기능 액적 토출 헤드(17)로부터의 검사 토출을 받는 검사 시트(S)를 갖고 있다. 또한, 검사 시트(S)에 대하여 각 기능 액적 토출 헤드(17)로부터 검사 토출을 행할 때에 기판(W)에 대한 묘화와 동일한 조건이 되도록, 기능 액적 토출 헤드(17)의 노즐면(42)과 검사 시트(S) 상면의 간격은 상기의 워크 갭과 동일한 정도의 약간의 거리로 설정되어 있다.

각 기능 액적 토출 헤드(17)는 검사 시트(S)에 대하여 토출 검사 1회마다 폭 방향(X축 방향)으로 착탄 위치를 바꾸면서 검사 토출을 행한다. 그리고, 복수회의 토출 검사에 의해 검사 시트(S)의 폭 전체(전면)에 토출 검사가 행해지면, 그 검사필 부분이 권취되어 새롭게 속출된 미묘화 부분에 대하여, 마찬가지로 복수회의 토출 검사가 행해지도록 되어 있다.

제어 컴퓨터(6)는 도시는 생략하지만, 퍼스널 컴퓨터(도시 생략) 등으로 구성되어 있고, 각 장치와 접속되어 CPU나 메모리 등으로 이루어지는 컴퓨터 본체, 키보드 및 디스플레이 등을 갖고 있다. 또한, 상세는 후술하지만, 토출 검사 장치(4)의 검사 시트(S)의 흡착 불량이 검출되면 디스플레이 위에 그 취지가 표시(통지)되도록 되어 있다.

여기서, 액적 토출 장치(1)에 의한 기판(W)의 일련의 묘화 처리에 대해서 간단하게 설명한다. 먼저, 기판 반출입 영역(20)에 이동시킨 세팅 테이블(21)에 기판(W)을 세팅하는 동시에, 기능액을 토출하기 전의 준비로서 2대의 얼라인먼트 카메라(51)에 의한 얼라인먼트 마크의 화상 인식 결과에 기초하여 기판(W)의 얼라인먼트를 행한다.

계속해서, 기판(W)에 대하여 기능 액적 토출 헤드(17)를 주사 방향으로 상대적으로 이동시키면서 기능 액적 토출 헤드(17)를 토출 구동시켜서 기판(W)에 묘화를 행한다. 즉, X축 테이블(12)에 의해 기판(W)을 X축 방향으로 왕복 운동시키면서 기판(W)에 대하여 복수의 기능 액적 토출 헤드(17)로부터 기능액을 각각 토출·착탄시킨다.

묘화 처리의 최종 단계에서는, X축 테이블(12)에 의해 세팅 테이블(21)과 함께 복동해 온 토출 검사 장치(4)를 세팅 테이블(21)에 추종하도록 하고, 복수의 기능 액적 토출 헤드(17)에 면하게 한다. 복수의 기능 액적 토출 헤드(17)는 세팅 테이블(21) 위의 기판(W)에 묘화을 행한 후, 추종해 온 토출 검사 장치(4)의 검사 시트(S)에 대하여 전 노즐(41)로부터 검사용 토출을 행한다. 이 때문에, 기판(W)에 대한 묘화 후, 바로 토출 검사를 행할 수 있고 생산 효율을 향상시킬 수 있다.

계속해서, 상기의 검사용 카메라(52)를 Y축 방향으로 주사시키면서 토출 결과를 화상 인식한다. 각 노즐(41)에 도트 빠짐, 비행 구부러짐 등의 이상이 확인되지 않았을 경우에는 계속해서 다음 기판(W)에 대한 묘화 처리가 행해지고, 이상이 확인되었을 경우에는 묘화 처리를 행하기 전에 대응하는 기능 액적 토출 헤드(17)(헤드 유닛(15))를, 메인터넌스 장치(3)에 면하게 하여 메인터넌스 처리를 행하도록 되어 있다.

도 3 내지 도 8을 참조하여 토출 검사 장치(4)에 대해서 상세하게 설명한다. 토출 검사 장치(4)는 상기의 탑재 배치 베이스(23) 위에 설치되어 각종 전장 기기(후술하는 제어 유닛(67) 등)를 수용하는 방진 캐비닛(61)과, 방진 캐비닛(61) 위의 후반부에 탑재 배치된 베이스 프레임(62)과, 베이스 프레임(62) 위에 지지되어 검사 시트(S)를 흡착 탑재 배치하는 검사 스테이지(63)와, 검사 스테이지(63)의 한쪽의 단부로부터 검사 시트(S)를 검사 스테이지(63) 위에 속출하는 동시에, 속출한 검사 시트(S)를 검사 스테이지(63) 위로부터 검사 스테이지(63)의 다른쪽의 단부에 권취하는 시트 전송 기구(64)를 구비하고 있다.

또한, 토출 검사 장치(4)는 검사 시트(S)를 검사 스테이지(63) 위에 흡착하기 위한 에어 흡인 기구(65)와, 검사 시트(S)를 검사 스테이지(63)로부터 부상시키기 위한 에어 부상 기구(66)(도 7 참조)와, 각 부를 제어하는 제어 유닛(67)을 구비하고 있고, 기능 액적 토출 헤드(17)로부터의 검사 토출을 받는 검사 시트(S)를 검사 스테이지(63) 위에 흡착 탑재하는 동시에 이것을 부상시키면서 전송하도록 되어 있다. 또한, 베이스 프레임(62)과 각 분할 스테이지(63a) 사이에는 각 분할 스테이지(63a)가 수평이 되도록 미세하게 조정 가능한 경사 조정 기구(68)가 개설되어 있다.

검사 시트(S)는 방진지(防塵紙) 등의 비발진성 필름재 및 지재(紙材)로 구성되고, 밴드 형상(예를 들어 폭 1OOmm)으로 형성되어 있다. 또한, 속출측 단부를 원통 형상의 속출 코어(C1)에 감은 상태로 시트 전송 기구(64)의 시트 속출 기구(81)(후술함)에 장착되고, 권취측 단부를 원통 형상의 권취 코어(C2)에 감은 상태로 시트 권취 기구(82)(후술함)에 장착되어 있다. 그리고, 속출 코어(C1) 및 권취 코어(C2)에 대해서도 수지 등의 비발진성 재료로 구성되어 있다.

이에 따라, 검사 시트(S)나 속출 코어(C1) 및 권취 코어(C2)로부터의 발진이 방지되어 있다. 또한, 검사 시트(S)는 진애(塵埃)의 혼입을 극력 방지하기 위해, 청결한 환경에서 제조하여 청결도를 유지한 채 패킹하고, 체임버 룸(7) 내에서 개봉하는 것이 바람직하다.

검사 스테이지(63)는 검사 시트(S)를 흡착 탑재하는 다공질 플레이트(71)와, 상부에 다공질 플레이트(71)를 수평으로 유지하는 테두리 모양 프레임(72)과, 다공질 플레이트(71)의 하면에 면하여 테두리 모양 프레임(72)의 내측에 형성되는 동시에, 후술하는 진공 흡인 장치 및 에어 공급 장치(도시 생략)에 연통하는 에어실(73)(도 8 참조)을 갖고 있다.

또한, 검사 스테이지(63)는 검사 시트(S)의 연장 방향(Y축 방향)으로 분할한 6개의 분할 스테이지(63a)로 구성되어 있고, 그것에 따라 다공질 플레이트(71)는 Y축 방향으로 분할한 6개의 분할 다공질 플레이트(71a)로, 테두리 모양 프레임(72)은 Y축 방향으로 분할한 6개의 분할 테두리 모양 프레임(72a)으로, 에어실(73)은 Y축 방향으로 분할한 6개의 분할 에어실(73a)로 구성되어 있다. 즉, 각 분할 스테이지(63a)는 분할 다공질 플레이트(71a)와, 분할 테두리 모양 프레임(72a)과, 분할 에어실(73a)로 이루어져 있다.

이렇게, 복수의 분할 스테이지(63a)에 의해 검사 스테이지(63)를 구성함으로써, 검사 스테이지(63)를 복수의 기능 액적 토출 헤드(17)에 대응한 긴 것(본 실시예에서는 1800mm 이상)으로 하는 것이 용이하다.

또한, 각 분할 에어실(73a)은 격벽(隔璧)에 의해 복수의 세분화 에어실(73s)로 세분화되어 있다. 즉, 6개의 분할 에어실(73a) 중 양단의 2개의 분할 에어 실(73a)은 Y축 방향으로 세분화된 3개의 세분화 에어실(73s)로 각각 구성되고, 중간의 4개의 분할 에어실(73a)은 Y축 방향으로 세분화된 2개의 세분화 에어실(73s)로 각각 구성되어 있다. 즉, 검사 스테이지(63)의 에어실(73)은 14개의 세분화 에어실(73s)을 갖고 있다.

각 분할 다공질 플레이트(71a)는 평면으로부터 보아 직사각형의 플레이트 모양으로 형성되고, 그 폭은 검사 시트(S)의 폭보다도 약간 좁은 폭(예를 들어 94mm)으로 되어 있다. 또한, 스테인리스 등의 소결 금속으로 이루어지는 다공질체로 구성되어 있어, 탑재 배치한 검사 시트(S)를 평면 정밀도를 손상시키지 않고 균일하게 흡인할 수 있는 동시에, 균일하게 부상시킬 수 있도록 되어 있다. 또한, 각 분할 다공질 플레이트(71a)는 도전성을 갖고 있어, 다공질체에 테플론(등록 상표) 등을 사용할 경우에는 최표층에 도전성 처리가 되어 있다.

각 분할 테두리 모양 프레임(72a)은 스테인리스 등의 도전성 재료로 구성되어 있고, 상면을 개방한 평면으로부터 보아 직사각형의 박스 모양으로 형성되어 있다. 각 분할 테두리 모양 프레임(72a)은 도시는 생략하지만, 분할 다공질 플레이트(71a)가 탑재 배치되는 둘레의 벽부, 후술하는 에어 흡인 튜브(91) 및 에어 공급 튜브(101)가 접속하는 저부(底部)와, 둘레의 벽부에 탑재 배치된 분할 다공질 플레이트(71a)가 후술하는 삭감 가공 시 등에 휘지 않도록 이것을 지지하는 격자 모양의 보강 리브로 구성되어 있다.

검사 시트(S)의 연장 방향(Y축 방향)에 대향하는 양쪽 짧은변 부분의 둘레의 벽부 (짧은변 둘레의 벽부)는 그 상단부가 각 분할 다공질 플레이트(71a)의 짧은변 부분을 탑재 배치하는 탑재 배치부로 되어 있다. 이 때문에, 인접하는 2개의 분할 테두리 모양 프레임(72a)은 인접하는 분할 다공질 플레이트(71a)끼리 맞닿게 한 상태로, 즉 검사 시트(S)의 연장 방향으로 연속하도록 해서 탑재 배치하고 있다.

또한, 인접하는 분할 다공질 플레이트(71a)끼리는 접착제에 의해 맞닿게 한 상태로 접착되어 있다. 이것에 의하면, 인접하는 분할 다공질 플레이트(71a)끼리의 간격으로부터 흡인 에어가 누설되지 않는다. 이 때문에, 검사 시트(S)를 균일하게 흡인할 수 있다.

한편, 각 분할 테두리 모양 프레임(72a)의 X축 방향에 대향하는 양쪽 긴변 부분의 둘레의 벽부(긴변 둘레의 벽부(78))는 그 상단부가 각각 내측이 계단부를 통해서 낮게 형성되어 있고, 이 계단부의 부분에서 각 분할 테두리 모양 프레임(72a)을 탑재 배치하고 있다. 그리고, 양쪽 긴변 둘레의 벽부(78)(각 분할 테두리 모양 프레임(72a)의 양측부)의 상단면(78a)은 탑재 배치한 각 분할 다공질 플레이트(71a)의 상면과 동일한 면이 되도록 형성되어 있다. 예를 들어 두꺼운 분할 다공질 플레이트(71a)를 탑재 배치한 후, 양쪽 긴변 둘레의 벽부(78)의 상단면(78a)과 동일한 면이 될 때까지 분할 다공질 플레이트(71a)를 삭감하도록 하고 있다.

이렇게, 각 분할 다공질 플레이트(71a)의 상면과 각 테두리 모양 프레임(72)의 양쪽 긴변 둘레의 벽부(78)의 상단면(78a)을 동일한 면이 되도록 형성하는 동시에, 각 분할 다공질 플레이트(71a)의 폭이 검사 시트(S)의 폭보다 약간 좁은 폭으로 형성되어 있기 때문에, 검사 시트(S)는 폭 방향의 양단부가 각 분할 다공질 플 레이트(71a)로부터 약간 초과되어 각 테두리 모양 프레임(72)의 양쪽 긴변 둘레의 벽부(78)의 상단면(78a)에 걸린 상태로 각 분할 다공질 플레이트(71a) 위에 탑재 배치된다(도 4 참조). 이 때문에, 검사 시트(S)가 다소 사행(蛇行)(±3mm정도) 하면서 전송되었다고 해도, 각 분할 다공질 플레이트(71a)의 전면(全面)이 검사 시트(S)에 덮이기 때문에, 흡인 에어가 누설되지 않고 검사 시트(S)를 효율적으로 흡인할 수 있다.

경사 조정 기구(68)는 검사 시트(S)의 연장 방향(Y축 방향)에 따르는 각 분할 스테이지(63a)의 한쪽의 변측의 중간부 위치에 개설된 1개의 조정 나사 기구(79)와, 다른쪽의 변측의 양단부 위치에 개설된 2개의 조정 나사 기구(79)로 구성되어 있다.

각 조정 나사 기구(79)는 도시는 생략하지만, 각 분할 스테이지(63a)의 전방 또는 후방에 고정되어, 상하 방향으로 관통하는 조정 나사 구멍(너트)을 형성한 슬라이드 블록과, 슬라이드 블록의 조정 나사 구멍에 나사 결합하는 조정 나사와, 베이스 프레임(62)의 전방 또는 후방에 고정되어 조정 나사의 하단이 접하는 고정 블록으로 구성되어 있다. 슬라이드 블록에 대하여 조정 나사를 회전시키면(조이거나 또는 느슨해지게 함), 슬라이드 블록이 상하 이동하고, 베이스 프레임에 대하여 각 분할 스테이지(63a)를 상하 이동시킬 수 있다.

3개의 조정 나사 기구(79)의 조정 나사를 각각 적절하게 회전시킴으로써, 각 분할 스테이지(63a)가 수평이 되도록 그 경사를 간단하고 또한 적절하게 조정할 수 있다. 그리고, 복수의 분할 스테이지(63a)를 서로 경사지지 않고 동일 수평면 위 에 설치할 수 있기 때문에 복수의 분할 다공질 플레이트(71a)가 정확하게 수평으로 유지된다. 따라서, 검사 시트(S)를 정밀도 양호하게 수평으로 탑재 배치할 수 있다.

그리고, 검사 시트(S)는 다공질 플레이트(71) 위에서 흡인되기 때문에 흡착면의 평면 정밀도를 손상하지 않고 균일하게 흡인된다. 따라서, 검사 스테이지(63) 위에 검사 시트(S)를 수평 또는 평탄하게 탑재 배치할 수 있도록 되어 있다.

시트 전송 기구(64)는 검사 스테이지(63)의 일단(一端)측(도시 좌측)에 배열 설치되어 롤 모양으로 감은 검사 시트(S)를 검사 스테이지(63) 위에 속출하는 시트 속출 기구(81)와, 검사 스테이지(63)의 타단(他端)측(도시 우측)에 배열 설치되어 속출한 검사 시트(S)를 검사 스테이지(63) 위로부터 권취하는 시트 권취 기구(82)를 갖고 있다.

시트 속출 기구(81)는 방진 캐비닛(61)의 한쪽의 측면에 고정되고, 검사 시트(S)의 속출 코어(C1)가 삽입하여 장전되는 속출축(83)(예를 들어 에어 샤프트)과 속출축(83)의 일단(一端)에 커플링(coupling)을 통해서 접속되어 속출축(83)을 속출 회전시키는 속출 모터(84)(서보 모터 등)와, 검사 스테이지(63)의 단부에 회전 가능하게 부착되어 속출축(83)으로부터 속출된 검사 시트(S)를 검사 스테이지(63) 위에 안내하는 속출 가이드 롤러(85)로 구성되어 있다. 또한, 후술하는 전송 속도 검출기(86)에 의해 속출 모터(84)가 제어되고 있다. 또한, 속출 모터(84)의 토크를 검출하고 이와 더불어 속출 모터(84)를 제어해도 된다.

마찬가지로, 시트 권취 기구(82)는 방진 캐비닛(61)의 다른쪽의 측면에 고정되어 검사 시트(S)의 권취 코어(C2)가 삽입하여 장전되는 권취축(87)(예를 들어 에어 샤프트)과, 권취축(87)의 일단에 커플링을 통해서 접속되어 권취축(87)을 권취 회전시키는 권취 모터(88)(서보 모터 등)와, 검사 스테이지(63)의 단부에 회전 가능하게 부착되어 검사 스테이지(63) 위에 전송되어 온 검사 시트(S)를 권취축(87)으로 안내하는 권취 가이드 롤러(89)로 구성되어 있다. 또한, 권취 가이드 롤러(89)에는 엔코더 등으로 구성된 전송 속도 검출기(86)가 설치되어 있고, 이에 따라 권취 모터(88)가 제어되고 있다. 물론, 이 경우도 토크 관리에 의한 제어가 가능하다.

이렇게 구성된 시트 속출 기구(81) 및 시트 권취 기구(82)에 의해, 롤 모양의 검사 시트(S)가 검사 스테이지(63) 위에 속출되는 동시에 이것이 검사 스테이지(63) 위로부터 권취된다. 이 때문에, 롤 모양의 검사 시트(S)를 토출 검사에 제공할 수 있게 되고 검사 시트(S)의 교환 빈도가 적어진다. 따라서, 액적 토출 장치(1)를 효율적으로 가동시킬 수 있다. 또한, 검사 시트(S)의 길이는 교환 빈도를 적게 하기 위해 어느 정도 긴(예를 들어 50m) 쪽이 바람직하다.

또한, 상세한 것은 후술하지만, 속출 모터(84) 및 권취 모터(88)는 제어 유닛(67)에 의해 동시에 구동하도록 제어되고 있다. 또한, 검사 시트(S)를 전송한 후, 검사 시트(S)를 흡착할 때에 시트 속출 기구(81)를 약간 역이송 구동(속출 모터(84)를 역회전)하거나, 시트 권취 기구를 약간 정전송 구동(권취 모터(88)를 정회전)해서 검사 시트(S)에 텐션을 부여하도록 하고 있다.

또한, 도시는 생략하지만, 권취축(87) 및 속출축(83)의 하방에는 각각 이젝터 등으로 구성된 흡인 장치가 설치되어, 만일 검사 시트(S)로부터 진애가 생겼을 경우에도 이것을 흡입하여 제거하도록 되어 있다.

도 7 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 에어 흡인 기구(65)는 14개의 세분화 에어실을 개별적으로 흡인 가능하게 구성되어 있고, 14개의 세분화 에어실(73s)에 대응하여 각 세분화 에어실(73s)의 저부에 형성된 흡인구(도시 생략)에 접속된 14개의 에어 흡인 튜브(91)와, 14개의 에어 흡인 튜브(91)를 3세트로 나누어 각각 합류시킨 3개의 합류 흡인 튜브(92)를 갖고, 각 합류 흡인 튜브(92)는 압축 에어 공급 설비(공장 설비)로부터의 압력 에어가 공급되는 이젝터 등으로 구성된 진공 흡인 장치(도시 생략)에 연통하고 있다.

각 에어 흡인 튜브(91)에는 세분화 에어실(73s)측으로부터 순서대로, 흡인 필터(94)와, 에어실의 압력을 검출하기 위한 진공 센서(95)와, 흡인 유량 조정 밸브(96)(스로틀 밸브)와, 흡인 전환 밸브(97)(전자 전환판)가 개설되어 있다. 제어 유닛(67)에 의해 각 흡인 전환 밸브(97)를 개폐 제어함으로써, 각 세분화 에어실(73s)의 흡인 에어를 개별적으로 제어하고 있다.

에어 흡인 기구(65) 전체로서는, 흡인 필터(94), 진공 센서(95), 흡인 유량조정 밸브(96) 및 흡인 전환 밸브(97)를 14개씩 갖고 있다. 이들은 각각 흡인 필터 유닛(도시 생략), 진공 센서 유닛(도시 생략), 흡인 유량 조정 밸브 유닛(도시 생략) 및 흡인 밸브 유닛(98)(흡인 에어 밸브 유닛)으로서 유닛화되어 후술하는 방진 캐비닛(61)에 수용되어 있다.

마찬가지로, 에어 부상 기구(66)는 압축 에어 공급 설비로부터의 압축 에어를 압력 조정하는 레귤레이터(regulator) 등으로 구성된 에어 공급 장치(도시 생략)에 접속된 상류측 공급 튜브(103)와, 상류측 공급 튜브(103)로부터 분기(分岐)된 3개의 접속 공급 튜브(102)와, 각 접속 공급 튜브(102)로부터 분기되어 각 세분화 에어실(73s)의 저부에 형성된 공급구(도시 생략)에 접속된 14개의 에어 공급 튜브(101)로 구성되고, 압력 조정된 에어를 14개의 세분화 에어실(73s)에 개별적으로 공급 가능하게 되어 있다.

각 에어 공급 튜브(101)에는 세분화 에어실(73s)측으로부터 순서대로, 공급 필터(104)와, 공급 유량 조정 밸브(106)(스로틀 밸브)와, 공급 전환 밸브(107)(전자 전환판)가 개설되어 있다. 제어 유닛(67)에 의해 각 공급 전환 밸브(107)를 개폐 제어함으로써, 각 세분화 에어실(73s)의 부상 에어를 개별적으로 제어하고 있다.

에어 부상 기구(66) 전체로서는, 공급 필터(104), 공급 유량 조정 밸브(106) 및 공급 전환 밸브(107)를 14개씩 갖고 있다. 이들은 각각 공급 필터 유닛, 공급 유량 조정 밸브 유닛 및 공급 밸브 유닛(108)(부상 에어 밸브 유닛)으로서 유닛화되어 후술하는 방진 캐비닛(61)에 수용되어 있다.

이렇게 구성된 흡인 밸브 유닛(98) 및 공급 밸브 유닛(108)을 제어함으로써, 각 분할 스테이지(63a)를 흡착 동작시키거나 부상 동작시키고 있다. 즉, 각 세분화 에어실에 있어서, 각 흡인 전환 밸브(97)를「개(開)」라고 하는 동시에, 각 공급 전환 밸브(107)를「폐(閉)」라고 함으로써, 각 세분화 에어실(73s)에 흡인 에어 가 생기고 각 분할 스테이지(63a)가 흡착 동작을 한다.

이때, 각 분할 스테이지(63a)에 있어서, 검사 시트(S)가 분할 다공질 플레이트(71a)로부터 부상하고 흡인 에어가 누설되고 있을 경우에는, 대응하는 진공 센서(95)에 의해 소정의 부압보다도 부압소(부압의 절대값이 소)가 검출된다. 이와같이, 각 에어 흡인 튜브(91)에 진공 센서(95)를 개설함으로써, 흡착 불량에 따르는 검사 시트(S)의 부상을 간단하고 또한 확실하게 검출할 수 있다.

그리고, 그 검출 결과가 제어 유닛(67)을 통해서 제어 컴퓨터(6)에 출력되어, 대응하는 분할 스테이지(63a)에서 검사 시트(S)가 부상하고 있는 취지의 경고가 표시되도록 되어 있다. 이 때문에, 검사 시트(S)의 흡착 불량에 의해 검사 시트(S)가 부상하고, 기능 액적 토출 헤드(17)의 노즐면(42)과 접촉할 우려가 있는 상태 그대로 기능 액적 토출 헤드(17)에 의해 검사 시트(S)에 대한 검사 토출을 행하는 것을 회피할 수 있다. 물론, 토출 검사 동작을 자동 정지하도록 해도 된다.

또한, 검사 시트(S)의 부상을 검사 스테이지(63)의 한쪽의 단부(예를 들어 시트 속출 기구(81)측)에 설치된 발광 소자와, 다른쪽의 단부(예를 들어 시트 권취 기구(82)측)에 설치된 수광(受光) 소자로 이루어지는 광센서에 의해 검출하도록 해도 된다.

한편, 각 세분화 에어실에서 각 흡인 전환 밸브(97)를「폐」라고 하는 동시에, 각 공급 전환 밸브(107)를「개」라고 함으로써, 각 세분화 에어실(73s)에 부상 에어가 생기고 각 분할 스테이지(63a)가 부상 동작을 한다.

제어 유닛(67)은 CPU나 메모리 등의 소자를 일체로 구성한 회로 기판이나 릴 레이 회로 등으로 구성되어 있고, 후술하는 방진 캐비닛(61)에 수용되어 있다. 또한, 상기의 제어 컴퓨터(6)에 접속되어 있어 제어 컴퓨터(6)의 각종 지령을 수용하면서 토출 검사 장치(4)의 각 부를 제어하는 동시에, 진공 센서(95)의 검출 결과 등을 제어 컴퓨터(6)에 출력하도록 되어 있다. 또한, 제어의 구체적인 내용에 대해서는 후술한다.

방진 캐비닛(61)은 검사 스테이지(63)의 하측에 배열 설치되어 있고, 스테인리스제의 앵글 부재를 격자 모양으로 붙인 캐비닛 프레임(111)과, 캐비닛 프레임(111)에 기밀하게 부착한 스테인리스제의 복수매의 패널(112)로 구성되어 있다. 또한, 그 하면에는 방청 처리(도금)된 설치 기구(113)가 복수개 고정되어 있고, 이 설치 기구(113)에 의해 상기의 탑재 배치 베이스(23) 위에 설치된다. 이와 같이, 방진 캐비닛(61)은 스테인리스 등의 방청 재료 및 표면을 방청 처리한 재료로 구성되어 있다. 이 때문에, 방진 캐비닛(61)으로부터 녹이 생기는 것을 방지할 수 있고, 방진 캐비닛(61)으로부터의 발진을 방지할 수 있다.

방진 캐비닛(61)은 발진의 우려가 있는 각종 전장(電裝) 장치 등을 수용하고 있어, 예를 들어 그 하부에는 시트 속출 기구(81)측으로부터 순서대로, 흡인 밸브 유닛(98), 제어 유닛(67) 및 공급 밸브 유닛(108)이 탑재 배치되어 있다. 또한, 방진 캐비닛(61)의 상부에는 상기의 에어 흡인 튜브(91) 및 에어 공급 튜브(101) 등의 튜브 종류가 수용되어 있다.

방진 캐비닛(61)의 양측 면의 패널(112)에는 시트 속출 기구(81)에 면한 속출측 흡기구(吸氣口)(도시 생략)와, 시트 권취 기구(82)에 면한 권취측 흡기구(114)가 형성되어 있다. 속출측 흡기구 및 권취측 흡기구(114)에는 금속 메시(mesh) 필터가 부착되어 있다.

또한, 방진 캐비닛(61)의 전방의 패널(112)에는 시트 속출 기구(81)측의 속출측 배기구(도시 생략)와, 시트 권취 기구(82)측의 권취측 배기구(도시 생략)가 형성되어 있다. 또한, 각 배기구에 면하고 배기 팬 및 필터(예를 들어 ULPA 필터)로 이루어지는 팬 필터 유닛(115)이 배열 설치되어 있다.

팬·필터 유닛을 구동함으로써 속출측 흡기구 및 권취측 흡기구(114)로부터 캐비닛 외(外) 에어를 흡기하는 동시에, 속출측 배기구 및 권취측 배기구로부터 캐비닛 내(內) 에어를 외부로 배기한다. 이 때문에, 시트 속출 기구(81) 또는 시트 권취 기구(82)로부터 발진했다고 해도, 그 진애를 각각 속출측 흡기구 및 권취측 흡기구(114)로부터 방진 캐비닛(61) 내로 흡입할 수 있다. 그리고, 팬 필터 유닛(115)의 필터를 통해서 캐비닛 내 에어를 속출측 배기구 및 권취측 배기구로부터 배기하기 때문에 방진 캐비닛(61) 내의 진애를 장치 설치 분위기 중으로 배출할 일이 없다. 방진 캐비닛(61) 내에서 제어 유닛(67) 등으로부터 발생한 열을 방진 캐비닛(61) 밖으로 내보낼 수 있다.

또한, 속출측 배기구 및 권취측 배기구에 팬 필터 유닛(115)을 설치하는 대신에, 일단(一端)을 각 배기구에 연통하고, 타단을 배기 처리 설비(공장 설비)에 연통하는 배기 관로를 설치해도 된다.

여기서, 도 8을 참조하여 토출 검사 장치(4)에서의 검사 시트(S)의 부상 전송 및 검사 시트(S) 위의 흡착 탑재 배치의 일련의 동작에 대해서 설명한다. 또 한, 도 8에서는 도시 간략화를 위해서, 흡인 전환 밸브(97), 공급 전환 밸브(107) 및 진공 센서(95)는 각각 도시 좌측 단부의 세분화 에어실(73s)에 설치되는 것만 제어 유닛(67)에 접속했지만, 실제로는 모든 흡인 전환 밸브(97), 공급 전환 밸브(107) 및 진공 센서(95)가 각각 제어 유닛(67)에 접속되어 개별적으로 제어를 받고 있다.

먼저, 검사 스테이지(63) 위에 흡착 탑재 배치한 검사 시트(S)에 검사 토출이 행해진다(도 8의 (a) 참조). 이때, 검사 시트(S)는 상기한 바와 같이, 검사 스테이지(63) 위에 수평 또는 평탄하게 탑재 배치된다. 이 때문에, 기능 액적 토출 헤드(17)의 노즐면(42)과 검사 시트(S) 상면의 간격은 상기의 워크 갭(0.15mm~0.30mm)과 같은 정도의 약간의 거리로 설정되어 있지만, 검사 시트(S)에 대하여 기능 액적 토출 헤드(17)를 주사했을 때에 기능 액적 토출 헤드(17)의 노즐면(42)에 검사 시트(S)가 접촉할 일이 없다.

그 후, 검사 시트(S)의 전송에 앞서 검사 시트(S)의 흡착을 해제한다(도 8의 (b) 참조). 즉, 흡인 밸브 유닛(98)을 제어하고 전(全) 분할 스테이지(63a)의 흡착 동작을 정지시킨다.

계속해서 검사 시트(S)를 부상시킨다(도 8의 (c) 참조). 즉, 공급 밸브 유닛(108)을 제어하고, 전 분할 스테이지(63a)의 부상 동작을 개시한다. 이 때문에, 검사 시트(S)를 검사 스테이지(63)에 흡착 탑재 배치함으로써, 검사 시트(S)가 검사 스테이지(63)로부터 벗어나기 어려운 상태가 되었다고 해도, 이것을 확실히 벗어날 수 있다. 또한, 검사 시트(S)를 원활하게 부상시키기 위해, 14개의 세분화 에어실(73s)에 대하여 예를 들어 시트 속출 기구(81)측 단부의 것으로부터 시트 권취 기구(82)측 단부의 것을 향해서 순서대로 부상 에어를 생기도록 해도 된다.

검사 시트(S)를 부상시킨 후, 시트 속출 기구(81) 및 시트 권취 기구(82)를 동시에 구동하고, 검사필 부분이 권취될 때까지 검사 시트(S)를 전송한다(도 8의 (d) 참조). 이 때문에, 검사 시트(S)가 검사 스테이지(63)와 맞닿지 않고 정전기가 일어나지 않는다. 따라서, 검사 시트(S)를 진공 흡착이나 정전 흡착 등에 의해 검사 스테이지(63)에 장착된 상태로 전송하지 않고, 검사 시트(S)에 주름이 생기거나, 검사 시트(S)의 권취 부하가 증대하지 않는다. 또한, 검사 시트(S)가 정전기를 내기 않기 때문에, 토출 검사 시의 기능액의 착탄 위치에 영향을 주지 않는다. 또한, 상기한 바와 같이, 검사 시트(S)가 탑재 배치되는 각 분할 테두리 모양 프레임(72a) 및 각 분할 다공질 플레이트(71a)를 도전성으로 하고 있어, 검사 시트(S)가 정전기에 의해 대전하는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있도록 되어 있다.

또한, 검사 시트(S)를 검사 스테이지(63)로부터 부상시킨 상태에서 검사 시트(S)를 전송함으로써, 검사 시트(S)를 검사 스테이지(63)와 맞닿게 하지 않고 전송할 수 있어, 검사 시트(S)나 검사 스테이지(63)로부터의 발진을 방지할 수 있다.

또한, 시트 속출 기구(81) 및 시트 권취 기구(82)를 동시에 구동하고 검사 시트(S)를 전송함으로써, 검사 시트(S)에 대하여 텐션을 거의 걸지 않고 전송할 수 있다. 이 때문에, 가령 검사 시트(S)가 검사 스테이지(63)에 접했다고 해도, 강하게 맞닿지 않고 검사 시트(S)나 검사 스테이지(63)로부터의 발진을 방지할 수 있다. 또한, 검사 시트(S)의 권취 부하도 경감되어, 속출 모터(84) 및 권취 모터(88)가 과부하 되는 것을 방지할 수 있다.

검사 시트(S)의 전송이 완료되면 새롭게 속출된 검사 시트(S)를 검사 스테이지(63) 위로 흡착 탑재 배치한다. 이때, 시트 속출 기구(81)를 약간 역전송 구동시켜 검사 시트(S)에 텐션을 부여한 상태에서, 14개의 세분화 에어실(73s)에 대하여 시트 권취 기구(82)측 단부의 것으로부터 시트 속출 기구(81)측 단부의 것을 향해서 순서대로 흡인 에어를 생기게 한다(도 8의 (e) 참조). 이 때문에, 시트 권취 기구(82)측 단부로부터 순서대로 에어를 배출하면서 검사 시트(S)를 흡착할 수 있고, 주름이 생기지 않고 검사 시트(S)를 적절하게 흡착 탑재 배치할 수 있다.

이때, 검사 시트(S)에 텐션을 부여하지 않고, 시트 권취 기구(82)측 단부의 것으로부터 시트 속출 기구(81)측 단부의 것을 향해서 순서대로 흡인 에어를 생기게 하는 것만이라도 된다. 다만, 본 실시예와 같이, 시트 속출 기구(81)측으로부터 검사 시트(S)에 텐션을 부여함으로써 보다 효과적으로 에어를 배출하면서 검사 시트(S)를 흡착할 수 있다.

또한, 시트 권취 기구(82)를 약간 정전송 구동시켜서 검사 시트(S)에 텐션을 부여한 상태에서, 14개의 세분화 에어실(73s)을 시트 속출 기구(81)측 단부의 것으로부터 시트 권취 기구(82)측 단부의 것을 향해서 순서대로 흡인 에어를 생기게 해도 된다. 또한, 단시간에 검사 시트(S)를 흡착 탑재 배치하기 위해서 시트 속출 기구(81)를 약간 역전송 구동시키고, 또한 시트 권취 기구(82)를 약간 정전송 구동시켜서 검사 시트(S)에 양단부로부터 텐션을 부여한 상태에서, 14개의 세분화 에어실(73s)을 중간부에 위치하는 것으로부터 시트 속출 기구(81)측 단부의 것 및 시트 권취 기구(82)측 단부의 것을 향해서 순서대로 흡인 에어를 생기게 해도 된다.

그리고, 시트 속출 기구(81)측 단부의 세분화 에어실(73s)까지 흡인 에어를 생기게 하면, 새롭게 속출된 검사 시트(S)의 전체가 검사 스테이지(63) 위에 흡착 탑재 배치된다(도 8의 (f) 참조). 이와 같이 하여, 토출 검사 장치(4)에서의 검사 시트(S)의 부상 전송 및 검사 시트(S) 위의 흡착 탑재 배치의 일련의 동작이 완료된다.

또한, 본 실시예에서는 세분화 에어실(73s) 단위로 흡인 에어 및 부상 에어의 제어를 행했지만, 분할 에어실(73a)(분할 스테이지(63a)) 단위로 행해도 된다. 다만, 세분화 에어실(73s) 단위로 행함으로써 각 분할 다공질 플레이트(71a)에 대하여 흡인 에어 및 부상 에어를 보다 섬세하게 제어할 수 있고, 상술한 검사 시트(S)의 흡착 탑재 배치 시의 에어의 추방 등을 보다 적절하게 행할 수 있다.

이상과 같이, 본 실시예의 액적 토출 장치(1)에 의하면, 검사 시트(S)를 수평 또는 평탄하게 탑재 배치할 수 있는 토출 검사 장치(4)를 구비함으로써, 기능 액적 토출 헤드(17)의 노즐면(42)에 검사 시트(S)가 접촉하지 않고, 기능 액적 토출 헤드(17)의 토출 불량 검사를 적절하게 행할 수 있다. 또한, 장치 설치 분위기 중의 진애를 증가시키지 않고 검사 시트(S)를 검사 스테이지(63) 위에 전송하는 동시에, 검사 시트(S)를 검사 스테이지(63) 위에 흡착 탑재 배치할 수 있는 토출 검사 장치(4)를 구비함으로써, 클린 에어의 관리 하에서 진애를 혼입시키지 않고 기판(W)에 대하여 묘화를 행할 수 있다. 또한, 검사 시트(S)를 검사 스테이지(63) 위에 흡착 탑재 배치하는 동시에, 검사 시트(S)의 속출·권취 부하를 증대시키지 않고 검사 시트(S)를 전송할 수 있는 토출 검사 장치(4)를 구비함으로써, 토출 검사 장치(4)를 적절하게 구동시킨 상태에서 기능 액적 토출 헤드(17)의 토출 불량 검사를 행할 수 있다.

다음으로, 본 실시예의 액적 토출 장치(1)를 사용해서 제조되는 전기 광학 장치(플랫 패널 디스플레이)로서, 컬러 필터, 액정 표시 장치, 유기 EL 장치, 플라스마 디스플레이(PDP 장치), 전자 방출 장치(FED 장치, SED 장치), 또한 이들 표시 장치에 형성되어 이루어지는 액티브 매트릭스 기판 등을 예로 이들 구조 및 그 제조 방법에 대해서 설명한다. 또한, 액티브 매트릭스 기판은 박막 트랜지스터 및 박막 트랜지스터에 전기적으로 접속하는 소스선, 데이터선이 형성된 기판을 말한다.

먼저, 액정 표시 장치나 유기 EL 장치 등에 일체로 구성되는 컬러 필터의 제조 방법에 대해서 설명한다. 도 9는 컬러 필터의 제조 공정을 나타내는 플로차트, 도 10의 (a) 내지 도 10의 (e)는 제조 공정순으로 나타낸 본 실시예의 컬러 필터(500)(필터 기체(500A))의 모식 단면도이다.

먼저, 블랙 매트릭스 형성 공정(S101)에서는 도 10의 (a)에 나타낸 바와 같이, 기판(W)(501) 위에 블랙 매트릭스(502)를 형성한다. 블랙 매트릭스(502)는 금속 크롬, 금속 크롬과 산화크롬의 적층체, 또는 수지 블랙 등에 의해 형성된다. 금속 박막으로 이루어지는 블랙 매트릭스(502)를 형성하기 위해서는 스퍼터링법이나 증착법 등을 사용할 수 있다. 또한, 수지 박막으로 이루어지는 블랙 매트릭스(502)를 형성할 경우에는 그라비아 인쇄법, 포토레지스트법, 열전사법 등을 사용 할 수 있다.

계속해서, 뱅크 형성 공정(S102)에서 블랙 매트릭스(502) 위에 중첩하는 상태로 뱅크(503)를 형성한다. 즉, 먼저 도 10의 (b)에 나타낸 바와 같이, 기판(501) 및 블랙 매트릭스(502)를 덮도록 네거티브형의 투명한 감광성 수지로 이루어지는 레지스트층(504)을 형성한다. 그리고, 그 상면을 매트릭스 패턴 형상으로 형성된 마스크 필름(505)으로 피복한 상태에서 노광 처리를 행한다.

또한, 도 10의 (c)에 나타낸 바와 같이, 레지스트층(504)의 미노광 부분을 에칭 처리하는 것에 의해 레지스트층(504)을 패터닝하고 뱅크(503)를 형성한다. 또한, 수지 블랙에 의해 블랙 매트릭스를 형성하는 경우에는 블랙 매트릭스와 뱅크를 겸용하는 것이 가능해 진다.

이 뱅크(503)와 그 하부의 블랙 매트릭스(502)는 각 화소 영역(507a)을 구획하는 구획 벽부(507b)가 되고, 후의 착색층 형성 공정에서 기능 액적 토출 헤드(17)에 의해 착색층(성막부)(508R, 508G, 508B)을 형성할 때에 기능 액적의 착탄 영역을 규정한다.

이상의 블랙 매트릭스 형성 공정 및 뱅크 형성 공정을 경과함으로써, 상기 필터 기체(500A)를 얻을 수 있다.

또한, 본 실시예에서는, 뱅크(503)의 재료로서 도막 표면이 소액(소수)성이 되는 수지 재료를 사용하고 있다. 그리고, 기판(유리 기판)(501)의 표면이 친액(친수)성이므로, 후술하는 착색층 형성 공정에서 뱅크(503)(구획 벽부(507b))에 둘러싸여진 각 화소 영역 (507a) 내의 액적의 착탄 위치의 편차를 자동 보정할 수 있 다.

다음으로, 착색층 형성 공정(S103)에서는, 도 10의 (d)에 나타낸 바와 같이, 기능 액적 토출 헤드(17)에 의해 기능 액적을 토출해서 구획 벽부(507b)로 둘러싸여진 각 화소 영역(507a) 내에 착탄시킨다. 이 경우, 기능 액적 토출 헤드(17)를 사용하고, R·G·B의 3색의 기능액(필터 재료)을 도입하고 기능 액적의 토출을 행한다. 또한, R·G·B의 3색의 배열 패턴으로서는, 스트라이프 배열, 모자이크 배열 및 델타 배열 등이 있다.

그 후, 건조 처리(가열 등의 처리)를 거쳐서 기능액을 정착시켜 3색의 착색층(508R, 508G, 508B)을 형성한다. 착색층(508R, 508G, 508B)을 형성하면, 보호막 형성 공정(S104)으로 이동시켜 도 10의 (e)에 나타낸 바와 같이, 기판(501), 구획 벽부(507b) 및 착색층(508R, 508G, 508B)의 상면을 덮도록 보호막(509)을 형성한다.

즉, 기판(501)의 착색층(508R, 508G, 508B)이 형성되어 있는 면 전체에 보호막용 도포액이 토출된 후, 건조 처리를 거쳐서 보호막(509)이 형성된다.

그리고, 보호막(509)을 형성한 후, 컬러 필터(500)는 다음 공정의 투명 전극이 되는 IT0(Indium Tin 0xide) 등의 막 부착 공정으로 이행한다.

도 11은 상기의 컬러 필터(500)를 사용한 액정 표시 장치의 일례로서의 패시브 매트릭스형 액정 장치(액정 장치)의 개략적인 구성을 나타내는 요부 단면도이다. 이 액정 장치(520)에, 액정 구동용 IC, 백라이트, 지지체 등의 부대 요소를 장착함으로써 최종 제품으로서의 투과형 액정 표시 장치를 얻을 수 있다. 또한, 컬러 필터(500)는 도 10의 (a) 내지 도 10의 (e)에 나타낸 것과 동일하므로 대응하는 부위에는 동일한 부호를 첨부하고 그 설명은 생략한다.

이 액정 장치(520)는 컬러 필터(500), 유리 기판 등으로 이루어지는 대향 기판(521) 및 이들간에 삽입된 STN(Super Twisted Nematic) 액정 조성물로 이루어지는 액정층(522)에 의해 개략적으로 구성되어 있어, 컬러 필터(500)를 도면 중상측(관측자측)에 배치하고 있다.

또한, 도시는 생략하지만, 대향 기판(521) 및 컬러 필터(500)의 외면(액정층 (522)측과는 반대측의 면)에는 편광판이 각각 배열 설치되고, 또한 대향 기판(521)측에 위치하는 편광판의 외측에는 백라이트가 배열 설치되어 있다.

컬러 필터(500)의 보호막(509) 위(액정층측)에는 도 11에서 좌우측 방향으로 긴 스트립(strip) 형상의 제 1 전극(523)이 소정의 간격으로 복수 형성되어 있고, 이 제 1 전극(523)의 컬러 필터(500)측과는 반대측의 면을 덮도록 제 1 배향막(524)이 형성되어 있다.

한편, 대향 기판(521)에 있어서의 컬러 필터(500)와 대향하는 면에는 컬러 필터(500)의 제 1 전극(523)과 직교하는 방향으로 긴 스트립 형상의 제 2 전극(526)이 소정의 간격으로 복수 형성되고, 이 제 2 전극(526)의 액정층(522)측의 면을 덮도록 제 2 배향막(527)이 형성되어 있다. 이들 제 1 전극(523) 및 제 2 전극(526)은 ITO 등의 투명 도전 재료에 의해 형성되어 있다.

액정층(522) 내에 설치된 스페이서(528)는 액정층(522)의 두께(셀 갭)를 일정하게 유지하기 위한 부재이다. 또한, 밀봉재(529)는 액정층(522) 내의 액정 조 성물이 외부에 누출하는 것을 방지하기 위한 부재이다. 또한, 제 1 전극(523)의 일단부는 리드 배선(523a)으로서 밀봉재(529)의 외측까지 연장되어 있다.

그리고, 제 1 전극(523)과 제 2 전극(526)이 교차하는 부분이 화소이며, 이 화소가 되는 부분에 컬러 필터(500)의 착색층(508R, 508G, 508B)이 위치하도록 구성되어 있다.

일반적인 제조 공정에서는, 컬러 필터(500)에 제 1 전극(523)의 패터닝 및 제 1 배향막(524)의 도포를 행해서 컬러 필터(500)측의 부분을 작성하는 동시에, 이것과는 별도로 대향 기판(521)에 제 2 전극(526)의 패터닝 및 제 2 배향막(527)의 도포를 행해서 대향 기판(521)측의 부분을 작성한다. 그 후에 대향 기판(521)측의 부분에 스페이서(528) 및 밀봉재(529)를 만들어 넣고, 이 상태에서 컬러 필터(500)측의 부분을 서로 부착한다. 다음으로, 밀봉재(529)의 주입구로부터 액정층(522)을 구성하는 액정을 주입하고 주입구를 폐지한다. 그 후에 양쪽 편광판 및 백라이트를 적층한다.

실시예의 액적 토출 장치(1)는, 예를 들어 상기의 셀 갭을 구성하는 스페이서 재료(기능액)를 도포하는 동시에, 대향 기판(521)측의 부분에 컬러 필터(500)측의 부분을 서로 부착하기 전에 밀봉재(529)로 둘러싼 영역에 액정(기능액)을 균일하게 도포하는 것이 가능하다. 또한, 상기의 밀봉재(529)의 인쇄를 기능 액적 토출 헤드(17)로 행하는 것도 가능하다. 또한, 제 1·제 2 양쪽 배향막(524, 527)의 도포를 기능 액적 토출 헤드(17)로 행하는 것도 가능하다.

도 12는 본 실시예에서 제조한 컬러 필터(500)를 사용한 액정 장치의 제 2 예의 개략적인 구성을 나타내는 요부 단면도이다.

이 액정 장치(530)가 상기 액정 장치(520)와 크게 다른 점은 컬러 필터(500)를 도면 중하측(관측자측과는 반대측)에 배치한 점이다.

이 액정 장치(530)는 컬러 필터(500)가 유리 기판 등으로 이루어지는 대향 기판(531) 사이에 STN 액정으로 이루어지는 액정층(532)이 삽입되어서 개략적으로 구성되어 있다. 또한, 도시는 생략하지만, 대향 기판(531) 및 컬러 필터(500)의 외면에는 편광판 등이 각각 배열 설치되어 있다.

컬러 필터(500)의 보호막(509) 위(액정층(532)측)에는, 도면 중 깊이 방향으로 긴 스트립 형상의 제 1 전극(533)이 소정의 간격으로 복수 형성되어 있고, 이 제 1 전극(533)의 액정층(532)측의 면을 덮도록 제 1 배향막(534)이 형성되어 있다.

대향 기판(531)의 컬러 필터(500)와 대향하는 면 위에는, 컬러 필터(500)측의 제 1 전극(533)과 직교하는 방향으로 연장하는 복수의 스트립 형상의 제 2 전극(536)이 소정의 간격으로 형성되고, 이 제 2 전극(536)의 액정층(532)측의 면을 덮도록 제 2 배향막(537)이 형성되어 있다.

액정층(532)에는 이 액정층(532)의 두께를 일정하게 유지하기 위한 스페이서(538)와, 액정층(532) 내의 액정 조성물이 외부에 누출되는 것을 방지하기 위한 밀봉재(539)가 설치되어 있다.

그리고, 상기한 액정 장치(520)와 마찬가지로, 제 1 전극(533)과 제 2 전극(536)의 교차하는 부분이 화소이며, 이 화소가 되는 부위에 컬러 필터(500)의 착 색층(508R, 508G, 508B)이 위치하도록 구성되어 있다.

도 13은 본 발명을 적용한 컬러 필터(500)를 사용해서 액정 장치를 구성한 제 3 예를 나타낸 것으로, 투과형의 TFT(Thin Film Transistor)형 액정 장치의 개략적인 구성을 나타내는 분해 사시도이다.

이 액정 장치(550)는 컬러 필터(500)를 도면 중상측(관측자측)에 배치한 것이다.

이 액정 장치(550)는, 컬러 필터(500)와, 이것에 대향하도록 배치된 대향 기판(551)과, 이들간에 삽입된 액정층(도시 생략)과, 컬러 필터(500)의 상면측(관측자측)에 배치된 편광판(555)과, 대향 기판(551)의 하면측에 배열 설치된 편광판(도시 생략)에 의하여 개략적으로 구성되어 있다.

컬러 필터(500)의 보호막(509)의 표면(대향 기판(551)측의 면)에는 액정 구동용의 전극(556)이 형성되어 있다. 이 전극(556)은 ITO 등의 투명 도전 재료로 이루어지고, 후술의 화소 전극(560)이 형성되는 영역 전체를 덮는 전면 전극이 되어 있다. 또한, 이 전극(556)의 화소 전극(560)과는 반대측의 면을 덮은 상태로 배향막(557)이 설치되어 있다.

대향 기판(551)의 컬러 필터(500)와 대향하는 면에는 절연층(558)이 형성되어 있고, 이 절연층(558) 위에는 주사선(561) 및 신호선(562)이 서로 직교하는 상태로 형성되어 있다. 그리고, 이들 주사선(561)과 신호선(562)에 둘러싸여진 영역 내에는 화소 전극(560)이 형성되어 있다. 또한, 실제의 액정 장치에서는 화소 전극(560) 위에 배향막이 설치되지만 도시를 생략한다.

또한, 화소 전극(560)의 노치부와 주사선(561)과 신호선(562)에 둘러싸여진 부분에는, 소스 전극, 드레인 전극, 반도체 및 게이트 전극을 구비하는 박막 트랜지스터(563)가 일체로 구성되어 있다. 그리고, 주사선(561)과 신호선(562)에 대한 신호의 인가에 의해 박막 트랜지스터(563)를 온·오프 해서 화소 전극(560)의 통전 제어를 행할 수 있도록 구성되어 있다.

또한, 상기의 각 예의 액정 장치(520, 530, 550)는 투과형의 구성으로 했지만, 반사층 또는 반투과 반사층을 만들고, 반사형의 액정 장치 또는 반투과 반사형의 액정 장치로 할 수도 있다.

다음으로, 도 14는 유기 EL 장치의 표시 영역(이하, 간단히 표시 장치(600)라고 함)의 요부 단면도이다.

이 표시 장치(600)는 기판(W)(601) 위에 회로 소자부(602), 발광 소자부(603) 및 음극(604)이 적층된 상태로 개략적으로 구성되어 있다.

이 표시 장치(600)에 있어서는, 발광 소자부(603)로부터 기판(601)측으로 출발한 광이, 회로 소자부(602) 및 기판(601)을 투과해서 관측자측에 출사되는 동시에, 발광 소자부(603)로부터 기판(601)의 반대측으로 출발한 광이 음극(604)에 의해 반사된 후, 회로 소자부(602) 및 기판(601)을 투과해서 관측자측으로 출사되도록 되어 있다.

회로 소자부(602)와 기판(601) 사이에는 실리콘 산화막으로 이루어지는 하지 보호막(606)이 형성되고, 이 하지 보호막(606) 위(발광 소자부(603)측)에 다결정 실리콘으로 이루어지는 섬 형상의 반도체막(607)이 형성되어 있다. 이 반도체 막(607)의 좌우의 영역에는, 소스 영역(607a) 및 드레인 영역(607b)이 고농도 양이온 주입에 의해 각각 형성되어 있다. 그리고 양이온이 주입되지 않는 중앙부가 채널 영역(607c)이 되어 있다.

또한, 회로 소자부(602)에는 하지 보호막(606) 및 반도체막(607)을 덮는 투명한 게이트 절연막(608)이 형성되고, 이 게이트 절연막(608) 위의 반도체막(607)의 채널 영역(607c)에 대응하는 위치에는, 예를 들어 Al, Mo, Ta, Ti, W 등으로 구성되는 게이트 전극(609)이 형성되어 있다. 이 게이트 전극(609) 및 게이트 절연막(608) 위에는 투명한 제 1 층간 절연막(611a)과 제 2 층간 절연막(611b)이 형성되어 있다. 또한, 제 1, 제 2 층간 절연막(611a, 611b)을 관통하고, 반도체막(607)의 소스 영역(607a), 드레인 영역(607b)에 각각 연통하는 컨택트 홀(612a, 612b)이 형성되어 있다.

그리고, 제 2 층간 절연막(611b) 위에는, ITO 등으로 이루어지는 투명한 화소 전극(613)이 소정의 형상으로 패터닝되어 형성되고, 이 화소 전극(613)은 컨택트 홀(612a)을 통해서 소스 영역(607a)에 접속되어 있다.

또한, 제 1 층간 절연막(611a) 위에는, 전원선(614)이 배열 설치되어 있고, 이 전원선(614)은 컨택트 홀(612b)을 통해서 드레인 영역(607b)에 접속되어 있다.

이렇게, 회로 소자부(602)에는 각 화소 전극(613)에 접속된 구동용의 박막 트랜지스터(615)가 각각 형성되어 있다.

상기 발광 소자부(603)는 복수의 화소 전극(613) 위의 각각에 적층된 기능층(617)과 각 화소 전극(613) 및 기능층(617) 사이에 설치되어, 각 기능층(617)을 구획하는 뱅크부(618)에 의해 개략적으로 구성되어 있다.

이들 화소 전극(613), 기능층(617) 및, 기능층(617) 위에 배열 설치된 음극(604)에 의해 발광 소자가 구성되어 있다. 또한, 화소 전극(613)은 평면으로부터 보아, 대략 직사각형 모양으로 패터닝되어 형성되어 있고, 각 화소 전극(613) 사이에 뱅크부(618)가 형성되어 있다.

뱅크부(618)는, 예를 들어 SiO, SiO₂, TiO₂ 등의 무기 재료에 의해 형성되는 무기물 뱅크층(618a)(제 1 뱅크층)과, 이 무기물 뱅크층(618a) 위에 적층되어, 아크릴 수지, 폴리이미드 수지 등의 내열성, 내용매성에 뛰어난 레지스트에 의해 형성되는 단면 사다리꼴 형상의 유기물 뱅크층(618b)(제 2 뱅크층)으로 구성되어 있다. 이 뱅크부(618)의 일부는 화소 전극(613)의 가장자리 둘레 부분 위에 좌초된 상태로 형성되어 있다.

그리고, 각 뱅크부(618) 사이에는 화소 전극(613)에 대하여 상방을 향해서 점차로 확장 개구한 개구부(619)가 형성되어 있다.

상기 기능층(617)은 개구부(619) 내에서 화소 전극(613) 위에 적층 상태로 형성된 정공 주입/수송층(617a)과, 이 정공 주입/수송층(617a) 위에 형성된 발광층(617b) 등에 의해 구성되어 있다. 또한, 이 발광층(617b)에 인접해서 그 밖의 기능을 갖는 다른 기능층을 더 형성해도 된다. 예를 들어 전자 수송층을 형성하는 것도 가능하다.

정공 주입/수송층(617a)은 화소 전극(613)측으로부터 정공을 수송해서 발광 층(617b)에 주입하는 기능을 갖는다. 이 정공 주입/수송층(617a)은 정공 주입/수송층 형성 재료를 포함하는 제 1 조성물(기능액)을 토출함으로써 형성된다. 정공 주입/수송층 형성 재료로서는 공지의 재료를 사용한다.

발광층(617b)은 적색(R), 녹색(G), 또는 청색(B)의 어느 하나에 발광하는 것으로, 발광층 형성 재료(발광 재료)를 포함하는 제 2 조성물(기능액)을 토출함으로써 형성된다. 제 2 조성물의 용매(비극성 용매)로서는 정공 주입/수송층(617a)에 대하여 불용(不溶)한 공지의 재료를 사용하는 것이 바람직하고, 이러한 비극성 용매를 발광층(617b)의 제 2 조성물로 사용함으로써, 정공 주입/수송층(617a)을 재 용해시키지 않고 발광층(617b)을 형성할 수 있다.

그리고, 발광층(617b)에서는 정공 주입/수송층(617a)으로부터 주입된 정공과, 음극(604)으로부터 주입되는 전자가 발광층에서 재결합해서 발광하도록 구성되어 있다.

음극(604)은 발광 소자부(603)의 전면을 덮는 상태로 형성되어 있고, 화소 전극(613)과 한 쌍이 되어 기능층(617)에 전류를 흐르게 하는 역할을 다한다. 또한, 이 음극(604)의 상부에는 도시를 생략한 밀봉 부재가 배치된다.

다음으로, 상기의 표시 장치(600)의 제조 공정을 도 15~도 23을 참조해서 설명한다.

이 표시 장치(600)는 도 15에 나타낸 바와 같이, 뱅크부 형성 공정(S111), 표면 처리 공정(S112), 정공 주입/수송층 형성 공정(S113), 발광층 형성 공정(S114) 및 대향 전극 형성 공정(S115)을 거쳐서 제조된다. 또한, 제조 공정은 예시하는 것에 한정되지 않고, 필요에 따라 그 밖의 공정이 제외될 경우 다시 추가될 경우도 있다.

먼저, 뱅크부 형성 공정(S111)에서는, 도 16에 나타낸 바와 같이, 제 2 층간 절연막(611b) 위에 무기물 뱅크층(618a)을 형성한다. 이 무기물 뱅크층(618a)은 형성 위치에 무기물 막을 형성한 후, 이 무기물 막을 포토리소그래피 기술 등에 의해 패터닝함으로써 형성된다. 이때, 무기물 뱅크층(618a)의 일부는 화소 전극(613)의 주연부와 겹치도록 형성된다.

무기물 뱅크층(618a)을 형성하면 도 17에 나타낸 바와 같이, 무기물 뱅크층(618a) 위에 유기물 뱅크층(618b)을 형성한다. 이 유기물 뱅크층(618b)도 무기물 뱅크층(618a)과 마찬가지로 포토리소그래피 기술 등에 의해 패터닝해서 형성된다.

이렇게 해서 뱅크부(618)가 형성된다. 또한, 이에 따라 각 뱅크부(618) 사이에는 화소 전극(613)에 대하여 상방으로 개구(開口)한 개구부(619)가 형성된다. 이 개구부(619)는 화소 영역을 규정한다.

표면 처리 공정(S112)에서는 친액화 처리 및 발액화 처리가 행해진다. 친액화 처리를 실시하는 영역은 무기물 뱅크층(618a)의 제 1 적층부(618aa) 및 화소 전극(613)의 전극면(613a)이며, 이들 영역은 예를 들어 산소를 처리 가스라고 하는 플라스마 처리에 의해 친액성으로 표면 처리된다. 이 플라스마 처리는 화소 전극(613)인 ITO의 세정 등도 겸하고 있다.

또한, 발액화 처리는 유기물 뱅크층(618b)의 벽면(618s) 및 유기물 뱅크 층(618b)의 상면(618t)에 실시되어, 예를 들어 4불화메탄을 처리 가스로 하는 플라스마 처리에 의해 표면이 불화 처리(발액성으로 처리)된다.

이 표면 처리 공정을 행함으로써, 기능 액적 토출 헤드(17)를 사용해서 기능층(617)을 형성할 때에 기능 액적을 화소 영역에 보다 확실하게 착탄시킬 수 있고, 또한, 화소 영역에 착탄한 기능 액적이 개구부(619)로부터 넘쳐 나오는 것을 방지 할 수 있다.

그리고, 이상의 공정을 거침으로써 표시 장치 기체(600A)를 얻을 수 있다. 이 표시 장치 기체(600A)는 도 2에 나타낸 액적 토출 장치(1)의 세팅 테이블(21)에 탑재 배치되고, 이하의 정공 주입/수송층 형성 공정(S113) 및 발광층 형성 공정(S114)이 행해진다.

도 18에 나타낸 바와 같이, 정공 주입/수송층 형성 공정(S113)에서는 기능 액적 토출 헤드(17)로부터 정공 주입/수송층 형성 재료를 포함하는 제 1 조성물을 화소 영역인 각 개구부(619) 내에 토출한다. 그 후, 도 19에 나타낸 바와 같이, 건조 처리 및 열처리를 행하고, 제 1 조성물에 포함되는 극성 용매를 증발시켜 화소 전극(전극 면(613a))(613) 위에 정공 주입/수송층(617a)을 형성한다.

다음으로, 발광층 형성 공정(S114)에 대해서 설명한다. 이 발광층 형성 공정에서는 상기한 바와 같이, 정공 주입/수송층(617a)의 재용해를 방지하기 위해서, 발광층 형성 때에 사용하는 제 2 조성물의 용매로서 정공 주입/수송층(617a)에 대하여 불용한 비극성 용매를 사용한다.

그러나, 한편, 정공 주입/수송층(617a)은 비극성 용매에 대한 친화성이 낮기 때문에, 비극성 용매를 포함하는 제 2 조성물을 정공 주입/수송층(617a) 위에 토출해도 정공 주입/수송층(617a)과 발광층(617b)을 밀착시킬 수 없거나 또는 발광층(617b)을 균일하게 도포할 수 없는 우려가 있다.

그래서, 비극성 용매 배열에 발광층 형성 재료에 대한 정공 주입/수송층(617a)의 표면의 친화성을 높이기 위해서, 발광층 형성 전에 표면 처리(표면 개질 처리)를 행하는 것이 바람직하다. 이 표면 처리는 발광층 형성 때에 사용하는 제 2 조성물의 비극성 용매와 동일한 용매 또는 이것과 비슷한 용매인 표면 개질재를, 정공 주입/수송층(617a) 위에 도포하고 이것을 건조시킴으로써 행한다.

이러한 처리를 실시함으로써 정공 주입/수송층(617a)의 표면이 비극성 용매에 친숙해지기 쉬워져, 이후의 공정에서 발광층 형성 재료를 포함하는 제 2 조성물을 정공 주입/수송층(617a)에 균일하게 도포할 수 있다.

그리고, 다음으로 도 20에 나타낸 바와 같이, 각각의 색 중 어느 하나에(도 20의 예에서는 청색(B)) 대응하는 발광층 형성 재료를 함유하는 제 2 조성물을 기능 액적으로서 화소 영역(개구부(619)) 내에 소정량 주입한다. 화소 영역 내에 주입된 제 2 조성물은 정공 주입/수송층(617a) 위에 확장되어 개구부(619) 내에 가득차게 된다. 또한, 만일 제 2 조성물이 화소 영역으로부터 벗어나서 뱅크부(618)의 상면(618t) 위에 착탄한 경우에도, 이 상면(618t)은 상술한 바와 같이 발액 처리가 실시되어 있으므로, 제 2 조성물이 개구부(619) 내에 전입되기 쉽게 되어 있다.

그 후, 건조 공정 등을 행함으로써 토출 후의 제 2 조성물을 건조 처리하고, 제 2 조성물에 포함되는 비극성 용매를 증발시켜 도 21에 나타낸 바와 같이 정공 주입/수송층(617a) 위에 발광층(617b)이 형성된다. 이 도면의 경우, 청색(B)에 대응하는 발광층(617b)이 형성되어 있다.

마찬가지로, 기능 액적 토출 헤드(17)를 사용하여, 도 22에 나타낸 바와 같이 상기한 청색(B)에 대응하는 발광층(617b)의 경우와 같은 공정을 순차적으로 행하고, 다른 색(적색(R) 및 녹색(G))에 대응하는 발광층(617b)을 형성한다. 또한, 발광층(617b)의 형성 순서는 예시한 순서에 한정되지 않고 어떤 순서로 형성해도 된다. 예를 들어 발광층 형성 재료에 따라 형성하는 순서를 정하는 것도 가능하다. 또한, R·G·B의 3색의 배열 패턴으로서는, 스트라이프 배열, 모자이크 배열 및 델타 배열 등이 있다.

이상과 같이, 화소 전극(613) 위에 기능층(617), 즉 정공 주입/수송층(617a) 및 발광층(617b)이 형성된다. 그리고, 대향 전극 형성 공정(S115)에 이행한다.

대향 전극 형성 공정(S115)에서는 도 23에 나타낸 바와 같이, 발광층(617b) 및 유기물 뱅크층(618b)의 전면에 음극(604)(대향 전극)을 예를 들어, 증착법, 스퍼터링법, CVD법 등에 의해 형성한다. 이 음극(604)은 본 실시예에 있어서는 예를 들어 칼슘층과 알루미늄층이 적층되어서 구성되어 있다.

이 음극(604)의 상부에는, 전극으로서의 A1막, Ag막이나, 그 산화 방지를 위한 SiO2, SiN 등의 보호층이 적절하게 설치된다.

이와 같이 하여 음극(604)을 형성한 후, 이 음극(604)의 상부를 밀봉 부재에 의해 밀봉하는 밀봉 처리나 배선 처리 등의 기타 처리 등을 실시함으로써 표시 장치(600)를 얻을 수 있다.

다음으로, 도 24는 플라스마형 표시 장치(PDP 장치: 이하 간단히 표시 장치(700)라고 함)의 요부 분해 사시도이다. 또한, 도 24에서는 표시 장치(700)를 그 일부를 자른 상태로 나타내고 있다.

이 표시 장치(700)는 서로 대향해서 배치된 제 1 기판(701), 제 2 기판(702) 및 이들간에 형성되는 방전 표시부(703)를 포함해서 개략적으로 구성된다. 방전 표시부(703)는 복수의 방전실(705)에 의해 구성되어 있다. 이들 복수의 방전실(705) 중, 적색 방전실(705R), 녹색 방전실(705G), 청색 방전실(705B)의 3개의 방전실(705)이 세트가 되어서 1개의 화소를 구성하도록 배치되어 있다.

제 1 기판(701)의 상면에는 소정의 간격으로 줄무늬 모양의 어드레스 전극(706)이 형성되고, 이 어드레스 전극(706)과 제 1 기판(701)의 상면을 덮도록 유전체층(707)이 형성되어 있다. 유전체층(707) 위에는, 각 어드레스 전극(706) 사이에 위치하고, 또한 각 어드레스 전극(706)을 따르도록 격벽(708)이 세워서 설치되어 있다. 이 격벽(708)은 도면에 나타나 있는 바와 같이, 어드레스 전극(706)의 폭 방향 양측으로 연장되는 것과 어드레스 전극(706)과 직교하는 방향으로 연장 설치된 도면에 나타나 있지 않은 것을 포함한다.

그리고, 이 격벽(708)에 의해 구획된 영역이 방전실(705)이 되어 있다.

방전실(705) 내에는 형광체(709)가 배치되어 있다. 형광체(709)는 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 중 어느 하나의 색의 형광을 발광하는 것으로, 적색 방전실(705R)의 저부에는 적색 형광체(709R)가, 녹색 방전실 (705G)의 저부에는 녹색 형광체(709G)가, 청색 방전실(705B)의 저부에는 청색 형광체(709B)가 각각 배치되 어 있다.

제 2 기판(702)의 도면 중 하측의 면에는, 상기 어드레스 전극(706)과 직교하는 방향으로 복수의 표시 전극(711)이 소정의 간격으로 줄무늬 모양으로 형성되어 있다. 그리고, 이들을 덮도록 유전체층(712) 및 MgO 등으로 이루어지는 보호막(713)이 형성되어 있다.

제 1 기판(701)과 제 2 기판(702)은 어드레스 전극(706)과 표시 전극(711)이 서로 직교하는 상태로 대향시켜서 부착되어 있다. 또한, 상기 어드레스 전극(706)과 표시 전극(711)은 도시하지 않은 교류 전원에 접속되어 있다.

그리고, 각 전극(706, 711)에 통전함으로써 방전 표시부(703)에서 형광체(709)가 여기 발광하고, 컬러 표시가 가능해 진다.

본 실시예에 있어서는, 상기 어드레스 전극(706), 표시 전극(711) 및 형광체(709)를 도 2에 나타낸 액적 토출 장치(1)를 사용해서 형성할 수 있다. 이하, 제 1 기판(701)에서의 어드레스 전극(706)의 형성 공정을 예시한다.

이 경우, 제 1 기판(701)을 액적 토출 장치(1)의 세팅 테이블(21)에 탑재 배치된 상태에서 이하의 공정이 행해진다.

먼저, 기능 액적 토출 헤드(17)에 의해 도전막 배선 형성용 재료를 함유하는 액체 재료(기능액)를 기능 액적으로서 어드레스 전극 형성 영역에 착탄시킨다. 이 액체 재료는 도전막 배선 형성용 재료로서 금속 등의 도전성 미립자를 분산매에 분산시킨 것이다. 이 도전성 미립자로서는, 금, 은, 구리, 팔라듐, 또는 니켈 등을 함유하는 금속 미립자나, 도전성 폴리머 등을 사용할 수 있다.

보충 대상이 되는 모든 어드레스 전극 형성 영역에 대해서 액체 재료의 보충이 종료하면, 토출후의 액체 재료를 건조 처리하고 액체 재료에 포함되는 분산매를 증발시킴으로써 어드레스 전극(706)이 형성된다.

그런데, 상기에 있어서는 어드레스 전극(706)의 형성을 예시했지만, 상기 표시 전극(711) 및 형광체(709)에 대해서도 상기 각 공정을 거침으로써 형성할 수 있다.

표시 전극(711)의 형성의 경우, 어드레스 전극(706)의 경우와 마찬가지로, 도전막 배선 형성용 재료를 함유하는 액체 재료(기능액)를 기능 액적으로서 표시 전극 형성 영역에 착탄시킨다.

또한, 형광체(709)의 형성의 경우에는 각각의 색(R, G, B)에 대응하는 형광 재료를 포함한 액체 재료(기능액)를 기능 액적 토출 헤드(17)로부터 액적으로서 토출하고, 대응하는 색의 방전실(705) 내에 착탄시킨다.

다음으로, 도 25는 전자 방출 장치(FED 장치 또는 SED 장치라고 함:이하, 간단히 표시 장치(800)라고 함)의 요부 단면도이다. 또한, 도 25에서는 표시 장치(800)를 그 일부를 단면으로서 나타내고 있다.

이 표시 장치(800)는 서로 대향해서 배치된 제 1 기판(801), 제 2 기판(802) 및 이들 사이에 형성되는 전계 방출 표시부(803)를 포함해서 개략적으로 구성된다. 전계 방출 표시부(803)는 매트릭스 형상으로 배치한 복수의 전자 방출부(805)에 의해 구성되어 있다.

제 1 기판(801)의 상면에는 캐소드 전극(806)을 구성하는 제 1 소자 전극 (806a) 및 제 2 소자 전극(806b)이 서로 직교하도록 형성되어 있다. 또한, 제 1 소자 전극(806a) 및 제 2 소자 전극(806b)으로 구획된 부분에는 갭(808)을 형성한 도전성 막(807)이 형성되어 있다. 즉, 제 1 소자 전극(806a), 제 2 소자 전극(806b) 및 도전성 막(807)에 의해 복수의 전자 방출부(805)가 구성되어 있다. 도전성 막(807)은 예를 들어 산화 팔라듐(PdO) 등으로 구성되고, 또한, 갭(808)은 도전성 막(807)을 성막한 후 포밍 등으로 형성된다.

제 2 기판(802)의 하면에는 캐소드 전극(806)에 대고개 하는 애노드 전극(809)이 형성되어 있다. 애노드 전극(809)의 하면에는 격자 형상의 뱅크부(811)가 형성되고, 이 뱅크부(811)로 둘러싸여진 하방을 향하는 각 개구부(812)에 전자 방출부(805)에 대응하도록 형광체(813)가 배치되어 있다. 형광체(813)는 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 중 어느 하나의 색의 형광을 발광하는 것으로, 각 개구부(812)에는, 적색 형광체(813R), 녹색 형광체(813G) 및 청색 형광체(813B)가 상기한 소정의 패턴으로 배치되어 있다.

그리고, 이와 같이 구성한 제 1 기판(801)과 제 2 기판(802)은 미소한 간격을 두고 부착되어 있다. 이 표시 장치(800)에서는 도전성 막(갭(808))(807)을 통하여, 음극인 제 1 소자 전극(806a) 또는 제 2 소자 전극(806b)으로부터 돌출되는 전자를 양극인 애노드 전극(809)으로 형성한 형광체(813)에 닿게하여 여기 발광하고 컬러 표시가 가능해 진다.

이 경우도, 다른 실시예와 동일하게, 제 1 소자 전극(806a), 제 2 소자 전극(806b), 도전성 막(807) 및 애노드 전극(809)을 액적 토출 장치(1)를 사용해서 형성할 수 있는 동시에, 각각의 색의 형광체(813R, 813G, 813B)를 액적 토출 장치(1)를 사용해서 형성할 수 있다.

제 1 소자 전극(806a), 제 2 소자 전극(806b) 및 도전성 막(807)은 도 26의 (a)에 나타낸 평면 형상을 갖고 있고, 이것들을 성막하는 경우에는, 도 26의 (b)에 나타낸 바와 같이, 미리 제 1 소자 전극(806a), 제 2 소자 전극(806b) 및 도전성 막(807)을 만들어 혼잡하는 부분을 남기고, 뱅크부(BB)를 형성(포토리소그래피법)한다. 다음으로, 뱅크부(BB)에 의해 구성된 홈 부분에 제 1 소자 전극(806a) 및 제 2 소자 전극(806b)을 형성(액적 토출 장치(1)에 의한 잉크젯법)하고, 그 용제를 건조시켜 성막을 행한 후, 도전성 막(807)을 형성(액적 토출 장치(1)에 의한 잉크젯법)한다. 그리고, 도전성 막(807)을 성막 후 뱅크부(BB)를 제거해(애싱 박리 처리), 상기의 포밍 처리로 이행한다. 또한, 상기의 유기 EL 장치의 경우와 마찬가지로, 제 1 기판(801) 및 제 2 기판(802)에 대한 친액화 처리나, 뱅크부(811, BB)에 대한 발액화 처리를 행하는 것이 바람직하다.

또한, 다른 전기 광학 장치로서는, 금속 배선 형성, 렌즈 형성, 레지스트 형성 및 광확산체 형성 등의 장치가 고려된다. 상기한 액적 토출 장치(1)를 각종의 전기 광학 장치(디바이스)의 제조에 사용함으로써 각종의 전기 광학 장치를 효율적으로 제조할 수 있다.

본 발명은 검사 시트를 검사 스테이지 위에 흡착 탑재 배치하는 동시에, 검사 시트의 속출·권취 부하를 증대시키지 않고, 검사 시트를 전송할 수 있는 토출 검사 장치, 액적 토출 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공하는 것을 과제로 한다.

Claims (15)

1. 세팅한 워크에 대하여, 기능 액적 토출 헤드를 주사 방향으로 상대적으로 이동시키면서, 상기 기능 액적 토출 헤드를 토출 구동시켜서 상기 워크에 묘화(描畵)를 행하는 묘화 장치를 구비한 액적 토출 장치에 설치되어 상기 기능 액적 토출 헤드의 토출 불량을 검사하는 토출 검사 장치로서,

   상기 기능 액적 토출 헤드의 검사 토출을 받는 밴드 형상의 검사 시트와,

   상기 검사 시트가 흡착 탑재되는 동시에, 상기 검사 시트를 흡착하기 위한 진공 흡인 수단 및 상기 검사 시트를 부상시키기 위한 에어 공급 수단에 연통(連通)하는 검사 스테이지와,

   상기 검사 스테이지의 일단(一端)측에 배열 설치되어 롤 모양으로 감은 상기 검사 시트를 상기 검사 스테이지 위에 속출하는 시트 속출 기구와,

   상기 검사 스테이지의 타단(他段)측에 배열 설치되어 속출된 상기 검사 시트를 상기 검사 스테이지 위로부터 권취하는 시트 권취 기구와,

   상기 검사 스테이지와 상기 진공 흡인 수단 사이에 개설되어 상기 검사 스테이지의 흡인 에어를 제어하는 흡인 에어 밸브 유닛과,

   상기 검사 스테이지와 상기 에어 공급 수단 사이에 개설되어 상기 검사 스테이지의 부상 에어를 제어하는 부상 에어 밸브 유닛과,

   상기 흡인 에어 밸브 유닛, 상기 부상 에어 밸브 유닛, 상기 시트 속출 기구 및 상기 시트 권취 기구를 제어하는 제어 수단을 구비하고,

   상기 제어 수단은 상기 검사 시트의 속출 동작 및 상기 검사 시트의 권취 동작 시에 상기 검사 시트를 부상시키는 것을 특징으로 하는 토출 검사 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 검사 스테이지는,

   상기 검사 시트를 흡착 탑재하는 다공질 플레이트와,

   상부에 상기 다공질 플레이트를 수평으로 유지하는 테두리 모양 프레임과,

   상기 다공질 플레이트의 하면에 면하여 상기 테두리 모양 프레임의 내측에 형성되는 동시에, 상기 진공 흡인 수단 및 상기 에어 공급 수단에 각각 연통하는 에어실을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 토출 검사 장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 테두리 모양 프레임 및 상기 다공질 플레이트는 도전성을 갖는 것을 특징으로 하는 토출 검사 장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 시트 속출 기구 및 상기 시트 권취 기구는 각각 구동원을 갖고 있고,

   상기 제어 수단은 상기 시트 속출 기구 및 상기 시트 권취 기구를 동시에 구동하여 상기 속출 동작 및 상기 권취 동작을 행하게 하는 것을 특징으로 하는 토출 검사 장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 검사 스테이지는 상기 검사 시트의 연장 방향으로 분할한 복수의 분할 스테이지로 구성되고,

   상기 흡인 에어 밸브 유닛은 상기 복수의 분할 스테이지의 흡인 에어를 개별적으로 제어할 수 있도록 구성되고,

   상기 부상 에어 밸브 유닛은 상기 복수의 분할 스테이지의 부상 에어를 개별적으로 제어할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 토출 검사 장치.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 제어 수단은 상기 검사 시트의 흡착 시에 상기 흡인 에어 밸브 유닛을 제어하고,

   상기 복수의 분할 스테이지를 한쪽의 단부에 위치하는 것으로부터 다른쪽의 단부에 위치하는 것을 향해서 순서대로 흡착 동작시키는 것을 특징으로 하는 토출 검사 장치.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 제어 수단은 상기 검사 시트의 흡착 시에,

   상기 다른쪽의 단부측에 상기 시트 속출 기구가 위치하고 있을 경우에는, 상기 시트 속출 기구를 약간 역전송 구동시켜서 상기 검사 시트에 텐션(tension)을 부여하고,

   상기 다른쪽의 단부측에 상기 시트 권취 기구가 위치하고 있을 경우에는, 상기 시트 권취 기구를 약간 정전송 구동시켜서 상기 검사 시트에 텐션을 부여하는 것을 특징으로 하는 토출 검사 장치.
8. 제 5 항에 있어서,

   상기 제어 수단은 상기 검사 시트의 흡착 시에 상기 흡인 에어 밸브 유닛을 제어하고,

   상기 복수의 분할 스테이지를 중간부에 위치하는 것으로부터 양단부에 위치하는 것을 향해서 순서대로 흡착 동작시키는 것을 특징으로 하는 토출 검사 장치.
9. 제 8 항에 있어서,

   상기 제어 수단은 상기 검사 시트의 흡착 시에,

   상기 시트 속출 기구를 약간 역전송 구동시키고, 상기 시트 권취 기구를 약간 정전송 구동시켜서, 상기 검사 시트에 텐션을 부여하는 것을 특징으로 하는 토출 검사 장치.
10. 제 5 항에 있어서,

    상기 각 분할 스테이지의 분할 에어실은 세분화된 복수의 세분화 에어실로 구성되고,

    상기 복수의 세분화 에어실에는 각각 상기 흡인 에어 밸브 유닛에 연결되는 흡인 에어 유로 및 상기 부상 에어 밸브 유닛에 연결되는 부상 에어 유로가 접속 되고,

    상기 흡인 에어 밸브 유닛은 상기 복수의 세분화 에어실의 흡인 에어를 개별적으로 제어할 수 있도록 구성되고,

    상기 부상 에어 밸브 유닛은 상기 복수의 세분화 에어실의 부상 에어를 개별적으로 제어할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 토출 검사 장치.
11. 제 1 항에 기재된 토출 검사 장치와,

    상기 묘화 장치를 구비한 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
12. 제 11 항에 있어서,

    상기 묘화 장치는,

    상기 워크를 세팅하는 세팅 테이블과,

    상기 기능 액적 토출 헤드에 대하여, 상기 세팅 테이블을 통해서 상기 워크를 주사 방향으로 이동시키는 이동 기구를 갖고,

    상기 토출 검사 장치는 상기 세팅 테이블에 인접하는 동시에 상기 이동 기구에 탑재되어 있는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
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