KR100847740B1 - 압흔검사시스템 및 압흔검사시스템의 제어방법 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 60
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 34
- 238000007373 indentation Methods 0.000 claims description 154
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 39
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 19
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 11
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 10
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 2
- 238000004148 unit process Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000012850 discrimination method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9501—Semiconductor wafers
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- G—PHYSICS
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N3/40—Investigating hardness or rebound hardness
- G01N3/42—Investigating hardness or rebound hardness by performing impressions under a steady load by indentors, e.g. sphere, pyramid
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2203/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N2203/02—Details not specific for a particular testing method
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Abstract
본 발명은 압흔검사시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이방성도전필름에 의하여 접속되는 패널의 단자부분에 대한 압흔검사를 신속하고 정확하게 검사하도록 하는 압흔검사시스템에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명은 패널(3)의 압흔을 촬영하기 위한 이미지생성부(10)와 압흔영상신호를 처리하기 위한 영상처리부(30)가 구비되며, 이미지생성부(10)는 하측에 대물렌즈(13)가 구비되는 경통(12) 상부로 패널(3)의 영상을 촬영하는 압흔영상카메라(14)가 구비되며, 상기 영상처리부(30)는 압흔영상신호를 수신받아 처리하기 위한 영상신호처리모듈(32), 상기 이미지생성부(10)로부터 전송되는 영상신호를 처리하고 검사대(2)의 이송을 제어하기 위한 메인컨트롤러부(31) 등이 구비되는 것이 특징이다.
압흔, 미분간섭, 이방성도전필름, 패널
Description
본 발명은 압흔검사시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이방성도전필름에 의하여 접속되는 패널의 단자부분에 대한 압흔검사를 신속하고 정확하게 검사하도록 하는 압흔검사시스템에 관한 것이다.
일반적으로 엘씨디(LCD, Liquid Crystal Display) 패널 실장분야에서 엘씨디(LCD) 패널과 티씨피(TCP, Tape Carrier Package) 또는 피씨비(PCB, Printed Circuit Board)와 티씨피(TCP)의 접합 및 씨오쥐(COG, Chip On Glass) 실장 분야에서 베어칩(Bare Chip)과 엘씨디(LCD) 패널의 접합공정에서 이들을 전기적으로 접속시키기 위한 방안으로 통상 이방성도전필름이 주로 이용되고 있다.
이러한 이방성도전필름은 열에 의하여 경화되는 접착제와, 그리고 접착제 내에 분포되는 미세한 도전볼이 혼합되어 이루어지는 것으로, 양면테이프 형태의 구조를 갖는 것이다. 이러한 이방성도전필름의 양면으로 회로 패턴을 구성한 후, 고 온 및 고압의 상태에 있게 되면, 회로패턴의 패드가 맞닿아 도전볼이 깨지면서, 도전볼의 금속부분에 의하여 양측이 통전되도록 하는 것이다.
이와 같은 이방성도전필름을 이용하여 회로를 구성하는 경우에는 단자 및 접촉부분 그리고 도전볼에 의한 압흔의 형상이 아주 작기 때문에, 이에 대한 검사가 정밀하게 이루어져야 하는 것이다. 따라서 이러한 이방성도전필름에 의한 부착상태를 검사하는 과정에서 이를 정확하게 검사하지 못할 경우, 후공정의 진행으로 인한 소재 손실과 아울러 제품의 불량률이 높아지는 원인이 되는 문제점이 발생된다.
따라서 이러한 접합부분에 대한 검사를 위하여 육안 또는 현미경을 이용한 수검사가 적용되고 있으나, 원활한 검사가 진행되기 위한 인력이 필요하게 되고, 검사가 지연되고, 객관적 데이터의 관리에도 문제가 되는 등의 단점이 있다.
상기와 같은 문제점을 해소하기 위한 본 발명은 이방성도전필름에 의하여 접속되는 패널의 단자부분에 대한 압흔검사를 신속히 진행되도록 하여 작업능률이 향상되도록 하는 목적이 있다.
특히 압흔 검사기에 있어서 종래와 같이 다수의 과정을 거치지 아니하고 압흔의 특성을 분석하여 밝기값 지수를 대비하여 적용하기 때문에 압흔에 대하여 신속하고 정확하게 검사하도록 하는 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 압흔검사시스템은 검사대(2) 상부로 놓여지는 패널(3)의 압흔을 촬영하기 위한 이미지생성부(10)가 구비되고, 상기 이미지생성부(10)로부터 압흔영상신호를 전송받아 처리하기 위한 영상처리부(30)가 구비되며, 데이터 정보 입력을 위한 데이터입력부(42) 및 정보가 표시되는 디스플레이부(43)가 구비되어지되, 상기 이미지생성부(10)는 하측에 대물렌즈(13)가 구비되고 내부에 다수의 필터가 내재되는 경통(12)이 구비되고, 경통(12)의 상부로 위치되어 패널(3)의 영상을 촬영하는 압흔영상카메라(14)가 구비되며, 상기 영상처리부(30)는 상기 이미지생성부(10)로부터 전송되는 압흔영상신호를 수신받아 처리하기 위한 영상신호처리모듈(32); 상기 검사대(2)의 이송을 제어하기 위한 제어신호를 처리하기 위한 검사대구동모듈(33); 상기 이미지생성부(10)로부터 전송되는 영상신호를 처리하고 상기 검사대(2)의 이송을 제어하기 위한 메인컨트롤러부(31); 및 메인메모리부(36)가 구비되는 것을 특징으로 한다.
이에 상기 메인컨트롤러부(31)는 상기 영상신호처리모듈(32)로부터 전송되는 영상신호를 주제어부(311)에 신호전송하기 위한 영상신호처리블럭(312); 엘이디구동모듈(35)과 연결되어 주제어부(311)에서 발신되는 엘이디(16)의 구동제어신호를 전송하기 위한 엘이디신호처리블럭(313); 상기 검사대구동모듈(33)과 연결되어 주제어부(311)에서 발신되는 검사대(2)의 작동제어신호를 전송하기 위한 검사대구동신호처리블럭(314); 및 주제어부(311)가 포함되어 구비될 수 있다.
또한 상기 메인메모리부(36)는 상기 패널(3)의 형상 또는 패널(3)의 단자 형상에 대한 정보, 조명방향에 대한 정보, 상기 패널(3)에 적용되는 이방성 도전필름에서의 압흔에 대한 정보가 저장되는 설치정보저장부(361); 상기 설치정보저장부(361)에 저장된 조명방향 및 압흔 크기에 따라 가상압흔형상 및 가상압흔에서의 밝기분포형태에 대한 가상정보를 생성하는 가상압흔정보저장부(362); 상기 이미지생성부(10)로부터 전송되는 압흔영상신호의 데이터가 저장되는 압흔영상정보저장부(363)가 포함되어 구비되고, 상기 메인컨트롤러부(31)는 상기 설치정보저장부(361)에 저장된 조명방향 및 압흔의 크기에 대하여, 조명방향의 수직방향으로 밝기값에 따른 밝기전환선분이 설정되도록 하고, 밝기전환선분을 중심으로 하여 조명쪽으로는 밝은영역으로 설정되도록 하며, 조명의 반대쪽으로는 어두운영역으로 설 정되도록 하는 가상압흔형상이 생성되도록 연산하여, 메인메모리부(36)의 가상압흔정보저장부(362)에 가상압흔형상에 대한 데이터가 저장되도록 구비될 수 있다.
그리고 상기의 압흔검사시스템의 제어방법에 있어서,
1) 검사대(2)의 이미지생성부(10)에 의한 촬영위치에서의 조명방향, 상기 검사대(2) 상부에 놓여지는 패널(3) 및 단자에 대한 정보 및 압흔의 정보가 입력되어 메인메모리부(36)에 저장되도록 하는 기초정보입력단계(S01);
2) 상기 메인메모리부(36)에 저장된 조명방향 정보, 압흔의 정보에 대하여, 가상압흔형상이 생성되도록 하고 메인메모리부(36)에 가상압흔형상에 대한 데이터가 저장되도록 하는 가상압흔형상연산단계(S02);
3) 이미지생성부(10)의 압흔영상카메라(14)를 통하여 촬영된 영상데이터가 입력되어 메인메모리부(36)에 저장되도록 하는 영상취득단계(S03);
4) 상기 가상압흔형상연산단계(S02)에 의하여 형성된 가상압흔형상의 데이터와 촬영되어 입력된 영상데이터를 비교하되, 밝기전환성분, 밝은영역, 어두운영역의 분포가 일치하고, 입력된 압흔의 크기와 비교하여 압흔을 분별하도록 구비되는 압흔판별단계(S04);
5) 상기 압흔판별단계(S04)에 의하여 판별된 압흔의 위치에 대한 정보가 메인메모리부(36)에 저장되도록 하는 압흔위치정보취득단계(S05)가 포함되도록 구비되는 압흔검사시스템의 제어방법이 제공된다.
이에 상기 가상압흔형상연산단계(S02)는 상기 메인메모리부(36)에 저장된 조명방향 정보, 압흔의 정보에 따라서 가상압흔형상이 설정되도록 연산되어지되, 입력된 압흔 크기에 따른 압흔의 중간점을 중심으로 하여 조명방향의 수직방향의 밝기전환선분이 설정되도록 하는 밝기전환선분설정단계(S021);
상기 밝기전환선분을 중심으로 하여 조명쪽 방향의 압흔으로는 밝은영역으로 설정되도록 하는 밝은영역설정단계(S022);
상기 밝기전환선분을 중심으로 하여 조명의 반대쪽 방향의 압흔으로는 어두운영역으로 설정되도록 하는 어두운영역설정단계(S023)가 포함되어 이루어질 수 있다.
상기와 같이 구비되는 본 발명은 이방성도전필름에 의하여 접속되는 패널의 단자부분에 대한 압흔검사를 신속히 할 수 있어 작업능률이 향상되는 효과가 있다.
특히 압흔 검사기에 있어서 종래와 같이 다수의 과정을 거치지 아니하고 압흔의 특성을 분석하여 적용하기 때문에 압흔에 대한 검사를 신속하고 정확하게 할 수 있는 장점이 있는 것이다.
이하 첨부되는 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 압흔검사시스템에 대한 개략적인 구성도, 도 2는 본 발명에 따른 압흔검사시스템에 대한 개략적인 제어 구성도, 도 3은 본 발명에 따른 압흔검사시스템에 대한 제어흐름도, 그리고 도 4 및 도 5는 본 발명에 압흔검사시스템에서의 가상압흔형성에 대한 예시도가 각각 도시된 것이다.
즉 본 발명에 따른 압흔검사시스템(A)은 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 검사대(2) 상부로 놓여지는 패널(3)의 압흔을 촬영하기 위한 이미지생성부(10)가 구비되고, 상기 이미지생성부(10)로부터 압흔영상신호를 전송받아 처리하기 위한 영상처리부(30)가 구비되며, 데이터 정보 입력을 위한 데이터입력부(42) 및 정보가 표시되는 디스플레이부(43)가 구비되어 이루어지는 것이다.
특히 본 발명에 따른 압흔검사시스템(A)의 이미지생성부(10)는 하측에 대물렌즈(13)가 구비되고 내부에 다수의 필터가 내재되는 경통(12)이 구비되고, 경통(12)의 상부로 위치되어 패널(3)의 영상을 촬영하는 압흔영상카메라(14)가 구비되며, 상기 영상처리부(30)는 상기 이미지생성부(10)로부터 전송되는 압흔영상신호를 수신받아 처리하기 위한 영상신호처리모듈(32), 상기 검사대(2)의 이송을 제어하기 위한 제어신호를 처리하기 위한 검사대구동모듈(33), 그리고 상기 이미지생성부(10)로부터 전송되는 영상신호를 처리하고 상기 검사대(2)의 이송을 제어하기 위한 메인컨트롤러부(31); 및 메인메모리부(36)가 구비되는 것이다.
특히 본 발명에 따른 압흔검사시스템(A)에 이용되는 이미지생성부(10)의 압흔영상카메라(14)는 작은 크기의 압흔을 촬영하기 위한 카메라가 이용되는 것이다. 이에 압흔의 검사에는 미분간섭카메라가 적용됨이 바람직하다. 이와 같은 미분간섭카메라는 경통(12) 내에 디아이씨(DIC, Differential Interference Filter) 필터, 편광필터, 애널라이져(Analyzer) 필터 등이 채용되어 대물렌즈(13)로부터 입사되는 압흔의 영상을 보다 선명하게 촬영할 수 있는 장점이 있는 것이다.
그리하여 검사대(2)의 상부에 놓여지는 패널(3)이 대물렌즈(13)의 촬영영역에 위치된 상태에서, 패널(3) 단자의 영상이 촬영되어 영상처리부(30)로 전송되는 것이다.
이와 같이 촬영된 영상데이터는 영상처리부(30)의 영상신호처리모듈(32)로 전송되어, 압흔의 상태를 검사하도록 구성되는 것이다.
이에 상기 메인컨트롤러부(31)는 상기 영상신호처리모듈(32)로부터 전송되는 영상신호를 주제어부(311)에 신호전송하기 위한 영상신호처리블럭(312); 조명의 빛을 비추기 위하여, 엘이디구동모듈(35)과 연결되어 주제어부(311)에서 발신되는 엘이디(16)의 구동제어신호를 전송하기 위한 엘이디신호처리블럭(313); 상기 검사대구동모듈(33)과 연결되어 주제어부(311)에서 발신되는 검사대(2)의 작동제어신호를 전송하기 위한 검사대구동신호처리블럭(314); 및 주제어부(311), 임시메모리(315) 등이 포함되어 구비되는 것이다. 물론 조명으로 자연조명이 이용될 수 있으나, 미세한 부분에 대한 영상취득이 용이하도록 하기 위하여 엘이디(16) 조명이 구성될 수 있으며, 이러한 엘이디(16)로 되는 조명에서 조사되는 빛은 400 ~ 500nm 정도의 조명이 바람직할 것이다. 이러한 조명빛에 의하여 미분간섭카메라에서 보다 선명한 압흔의 영상이 촬영될 수 있는 것이다.
또한 상기 메인메모리부(36)는 상기 패널(3)의 형상 또는 패널(3)의 단자 형 상에 대한 정보, 조명방향에 대한 정보, 상기 패널(3)에 적용되는 이방성 도전필름에서의 압흔에 대한 정보 등의 정보가 저장되는 설치정보저장부(361); 상기 설치정보저장부(361)에 저장된 조명방향 및 압흔 크기에 따라 가상압흔형상 및 가상압흔에서의 밝기분포형태에 대한 가상정보를 생성하는 가상압흔정보저장부(362); 상기 이미지생성부(10)로부터 전송되는 압흔영상신호의 데이터가 저장되는 압흔영상정보저장부(363) 등이 포함되어 구비될 수 있다.
이와 같은 압흔검사시스템(A)은 검사대(2)에 놓여져 압흔검사되는 패널(3)의 초기 정보데이터와 함께 패널(3)의 촬영부분인 압흔에 비춰지는 조명의 방향 등에 대한 기초 정보데이터가 입력된다. 그리하여 이와 같이 입력되는 압흔 및 조명 등에 대한 정보데이터를 기초로 하여, 가상의 압흔 형상을 산출하여 가상압흔형상에 대한 데이터가 메인메모리부(36)의 가상압흔정보저장부(362)에 저장되는 것이다.
그리고 압흔에 대하여 이미지생성부(10)의 압흔영상카메라(14)에 의하여 촬영된 압흔에 대한 데이터가 메인메모리부(36)의 압흔영상정보저장부(363)에 저장되게 되고, 이러한 압흔에 대한 촬영 영상데이터를 대상으로 하여, 가상으로 산출된 가상압흔형상에 대한 데이터를 블럭별로 대비하여 일치되거나 유사한 형상으로 판별되는 경우에는 정상압흔으로 판별되도록 구성되는 것이다.
이에 앞서 도 4 및 도 5에서와 같은 가상압흔영상(d)을 산출하는 상기 메인컨트롤러부(31)에서는 상기 설치정보저장부(361)에 저장된 조명방향 및 압흔의 크기에 대하여, 조명방향의 수직방향으로 밝기값에 따른 밝기전환선분(a)이 설정되도록 하고, 밝기전환선분을 중심으로 하여 조명쪽으로는 밝은영역(b)으로 설정되도록 하며, 조명의 반대쪽으로는 어두운영역(c)으로 설정되도록 하는 가상압흔형상이 생성되도록 연산하여, 메인메모리부(36)의 가상압흔정보저장부(362)에 가상압흔형상에 대한 데이터가 저장되도록 구비되는 것이다.
이러한 본 발명에 따른 압흔검사시스템의 제어방법에 의하여 압흔의 위치 및 형상을 판별하는 과정을 도 1 내지 도 3을 참조하여 살펴보면 다음과 같다.
우선 검사대(2)의 이미지생성부(10)에 의한 촬영위치에서의 조명방향, 상기 검사대(2) 상부에 놓여지는 패널(3) 및 단자에 대한 정보 및 압흔의 정보가 입력되어 메인메모리부(36)에 저장되도록 하는 기초정보입력단계(S01)가 수행되어, 패널(3) 단자의 압흔에 대한 기초정보가 입력되는 것이다.
이후 이와 같이 메인메모리부(36)에 저장된 조명방향 정보, 압흔의 정보 등에 대하여, 가상압흔형상이 생성되도록 하고 메인메모리부(36)에 가상압흔형상에 대한 데이터가 저장되도록 하는 가상압흔형상연산단계(S02)가 수행된다.
이러한 상기 가상압흔형상연산단계(S02)의 과정을 상세히 살펴보면, 도 4 및 도 5와 같이, 상기 메인메모리부(36)에 저장된 조명방향 정보, 및 입력된 압흔의 정보에 따라서 가상압흔형상이 설정되도록 연산되는 것으로, 우선 압흔 크기 정보에 알맞은 압흔의 크기를 산정하게 된다. 이에 통상 압흔의 크기는 작업환경 등에 따라 다소 차이가 있는 것으로, 대체로 이방성도전필름(ACF, Anisotropic Conductive Film)의 적용에 따라 결정되는 것이다. 이러한 이방성도전필름의 형태를 보면, 패널(3)에 적용되기 전의 상태는 접착재를 포함하는 필름의 두께가 대략 15 ~ 35마이크로미터 정도이고, 이에 접착재 내에 분포되는 도전볼의 크기는 대략 3 ~ 15마이크로미터 정도가 되는 것이다. 따라서 이러한 도전볼에 의하여 형성되는 압흔의 크기도 수마이크로미터 정도에서 십여마이크로미터 정도의 크기를 갖게 된다. 이러한 압흔의 크기는 결국 이방성도전필름을 어떤 것으로 선택하여 이용하느냐에 따라 결정되는 것이기 때문에, 촬영전에 초기값으로 입력될 수 있는 것이다. 따라서 이러한 압흔의 크기에 대한 정보를 기초로하여, 가상압흔의 크기를 설정하게 된다. 입력된 데이터에 따라 설정된 압흔 크기에 대하여, 압흔의 중간점을 중심으로 하여 조명방향의 수직방향으로 하는 밝기전환선분이 설정되도록 하는 밝기전환선분설정단계(S021)를 수행한다. 따라서 가상의 압흔에 대하여 압흔의 중간 부근에 조명방향과 수직방향의 밝기전환선분이 설정되는 것이다.
그리고 이러한 상기 밝기전환선분을 중심으로 하여 조명쪽 방향의 압흔으로는 밝은영역으로 설정되도록 하는 밝은영역설정단계(S022)와, 상기 밝기전환선분을 중심으로 하여 조명의 반대쪽 방향의 압흔으로는 어두운영역으로 설정되도록 하는 어두운영역설정단계(S023)로 하여, 가상압흔의 형상을 설정하게 되는 것이다. 이렇게 미리 연산되어 설정된 가상압흔형상을 기초로 하여 촬영된 단자의 압흔과 비교판별하여, 정상압흔여부, 정상압흔의 위치 및 이물질 판별 등을 검사하게 되는 것이다. 즉 도 4에서와 같이 하나의 가상압흔에서 복수의 분할 구역으로 나뉘어지도록 하면 조명방향과 수직인 부분으로 밝기전환선분에 해당하는 분할구역이 설정되고, 조명방향측으로의 분할되는 구역은 밝게 되는 밝은 영역으로 설정되는 것이다. 또한 반대로 조명과 반대측 방향으로 분할되는 가상의 압흔에서는 어두운 영역으로 설정되는 것이다.
따라서 이와 같이 분할되는 가상 압흔에 대하여 중앙의 분할된 부분의 밝기지수를 중간 밝기로 하는 밝기지수 100이라고 가정하고, 총 밝기 범위의 밝기지수 범위가 0 내지 200으로 가정하며, 밝기 지수가 0인 경우에 어두운 경우로 하고, 밝기 지수가 200인 경우에 밝은 경우로 하여 가정할 경우에, 어두운영역의 밝기지수는 중심의 밝기전환선분으로부터 멀어질 수록 어두운 지수(예로 70, 10 등)로 하는 밝기 지수값을 갖게 될 것이다. 또한 밝은 영역 부분의 밝기 지수는 중심의 밝기전환선분으로부터 멀어질 수록 밝은 지수(예로 130, 190 등)로 하는 밝기 지수값을 갖게 될 것으로 가정될 수 있을 것이다.
이후 이미지생성부(10)에 의하여 패널(3)의 해당부분을 촬영하는 것으로, 미분간섭용 카메라를 적용하여 정밀한 압흔의 영상을 취득하게 된다. 이러한 본발명에 따른 압흔영상카메라(14)는 고해상도의 카메라가 적용되는 것이다.
이에 대체로 1600 X 1200 화소 이상의 미분간섭용 카메라가 적용될 수 있다.
또한 패널(3) 단자의 정지영상을 촬영하여 영상취득할 수도 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 이미지생성부(10)의 거치대가 일정 속도로 이동하거나, 또는 검사대(2)가 일정 속도로 이동하면서 패널(3)의 단자 부분을 촬영하도록 하는 라인스캔카메라가 적용될 수도 있다. 이와 같은 라인스캔카메라에 의하면 하나의 패널의 일측 부분의 다수 단자들을 모두 촬영하여 데이터입력되도록 한 후, 촬영된 복수의 단자들에 대한 정상압흔 여부의 판별을 연속하여 수행할 수 있기 때문에 촬영작업 및 판별단계가 일괄되게 처리되어, 전체 처리과정이 간소화될 수 있는 장점이 있다.
이상에서와 같이 이미지생성부(10)의 압흔영상카메라(14)를 통하여 촬영된 영상데이터가 입력되고, 메인메모리부(36)에 저장되도록 하는 영상취득단계(S03)가 수행되는 것이다. 이러한 영상취득단계(S03)에 있어서, 일반적으로 우선 해당 패널(3) 및 단자에 대한 정렬을 하게 된다.
이후 상기 가상압흔형상연산단계(S02)에 의하여 형성된 가상압흔형상의 데이터와 촬영되어 입력된 영상데이터를 비교하여, 정상압흔 여부를 판별하는 압흔판별단계(S04)가 수행되는 것이다. 이러한 압흔 판별은 가상압흔형상을 촬영된 영상데이터와 대비하여 일치하는 밝기분포를 갖는 지점이 있는지 여부로 판별하게 된다. 즉 마치 검사대상의 넓은 종이 위에, 특정 형태의 도형을 움직여가면서, 해당 도형과 일치하는 부분이 있는가를 판별하는 것과 같은 방식이라 할 것이다. 이를 위하여, ① 촬영된 영상데이터를 섹터별로 분별하게 된다. 그리고 가상압흔형상과 촬영된 영상에서의 ② 밝기전환성분이 있는지 여부를 판별하고, 이후 ③밝기전환성분의 방향을 판별하며, ④ 밝은영역, 어두운영역의 분포가 일치하는 부분이 있는지, 그리고 ⑤ 입력된 압흔의 크기와 비교하여 압흔으로 분별되는 정도의 크기의 압흔이 있는지로 하여 압흔을 분별하는 압흔판별단계(S04)가 수행된다. 물론 이와 같은 판별 내용에 대하여, 서로 순서를 달리하여 가상압흔형상의 데이터와 촬영된 압흔의 영상데이터의 비교 판별을 진행할 수 있음은 당연한 것이다.
이에 우선 이물질로 판별되는 경우에는 대체로 수십마이크로미터 정도의 크기가 되므로, 대체로 수마이크로미터 내지 십여마이크로미터로 되는 점의 경우에는 압흔일 가능성이 갖게 된다. 따라서 이러한 ① 크기의 점에 대해서는 가상압흔의 형상과 같은 ② 밝기전환선분의 유무 판별, ③ 밝기전환선분의 분포방향, ④ 밝은 영역의 분포 및 어두운영역의 분포 등으로 대비하여 서로 일치하거나 유사한 분포를 갖게 되면 정상압흔으로 판정하게 된다.
물론 예상되는 압흔의 크기, 즉 수마이크로미터도 안되는 경우에는 광학에러로 압흔 또는 이물질이 아닌 경우에 해당될 수 있으므로, 단자부분으로 하여 판별되도록 구성될 수도 있다. 즉 1 내지 2마이크로미터 정도의 크기 또는 그 이하의 크기를 갖는 물질은 패널(3)의 단자부분에는 있을 가능성이 거의 없기 때문에 압흔이 아닌 것으로 하여 판별되도록 프로그래밍될 수 있는 것이다.
따라서 촬영된 영상 중에서 정상압흔으로 판별되는 경우에는 이러한 압흔의 위치 및 압흔의 형태 등의 정보가 저장되는 것으로, 상기 압흔판별단계(S04)에 의하여 판별된 압흔에 대한 정보가 메인메모리부(36)에 저장되도록 하는 압흔위치정보취득단계(S05)가 수행되는 것이다.
이후 하나의 패널(3)의 개별 단자에 대하여, 정상 압흔의 분포가 해당 단자의 정상적인 전기적 접속상태로 분포되는지를 판별하게 된다. 이는 기초정보입력단계(S01)에서 입력된 단자의 형태 및 위치와 비교하여, 각 단자에 대하여 압흔의 분포가 일정비율 이상인 경우에는 이방성도전필름에 의한 정상접착 및 정상접속으로 판별하게 된다. 이때 정상 상태는 단자에 대하여 절반 이상 또는 2/3 이상으로 압흔이 분포됨으로 하여 설정될 수 있으며, 이러한 판별의 설정치는 제품의 특성 및 이방성도전필름의 특성 등에 의하여 결정될 수 있는 것으로, 본 발명에서는 특별히 한정되는 것은 아니다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 압흔검사시스템(A)에 의하여, 이방성도전필름이 적용되는 필름의 단자부분의 접속이 알맞게 되었는지를 용이하게 판별할 수 있을 뿐만 아니라, 취득된 영상데이터를 이진화하는 등 복잡한 다수 단계로 되는 기존의 판별방법에 비하여 신속하고 정확하게 압흔에 대하여 검사할 수 있어, 작업능률이 향상되는 장점이 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 압흔검사시스템에 대한 개략적인 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 압흔검사시스템에 대한 개략적인 제어 구성도.
도 3은 본 발명에 따른 압흔검사시스템에 대한 제어흐름도.
도 4 및 도 5는 본 발명에 압흔검사시스템에서의 가상압흔형성에 대한 예시도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
A : 압흔검사시스템 2 : 검사대
3 : 패널 10 : 이미지생성부
12 : 경통 13 : 대물렌즈
14 : 압흔영상카메라 16 : 엘이디
30 : 영상처리부 31 : 메인컨트롤러
32 : 영상신호처리모듈 33 : 검사대구동모듈
35 : 엘이디구동모듈 36 : 메인메모리부
Claims (5)
- 검사대(2) 상부로 놓여지는 패널(3)의 압흔을 촬영하기 위한 이미지생성부(10)가 구비되고,상기 이미지생성부(10)로부터 압흔영상신호를 전송받아 처리하기 위한 영상처리부(30)가 구비되며,데이터 정보 입력을 위한 데이터입력부(42) 및 정보가 표시되는 디스플레이부(43)가 구비되어지되,상기 이미지생성부(10)는 하측에 대물렌즈(13)가 구비되고 내부에 다수의 필터가 내재되는 경통(12)이 구비되고, 경통(12)의 상부로 위치되어 패널(3)의 영상을 촬영하는 압흔영상카메라(14)가 구비되며,상기 영상처리부(30)는 상기 이미지생성부(10)로부터 전송되는 압흔영상신호를 수신받아 처리하기 위한 영상신호처리모듈(32);상기 검사대(2)의 이송을 제어하기 위한 제어신호를 처리하기 위한 검사대구동모듈(33);상기 이미지생성부(10)로부터 전송되는 영상신호를 처리하고 상기 검사대(2)의 이송을 제어하기 위한 메인컨트롤러부(31); 및 메인메모리부(36)가 구비되는 압흔검사시스템에 있어서,상기 메인컨트롤러부(31)는,상기 영상신호처리모듈(32)로부터 전송되는 영상신호를 주제어부(311)에 신호전송하기 위한 영상신호처리블럭(312);엘이디구동모듈(35)과 연결되어 주제어부(311)에서 발신되는 엘이디(16)의 구동제어신호를 전송하기 위한 엘이디신호처리블럭(313);상기 검사대구동모듈(33)과 연결되어 주제어부(311)에서 발신되는 검사대(2)의 작동제어신호를 전송하기 위한 검사대구동신호처리블럭(314); 및 주제어부(311)가 포함되어 구비되는 것을 특징으로 하는 압흔검사시스템.
- 삭제
- 제 1항에 있어서,상기 메인메모리부(36)는,상기 패널(3)의 형상 또는 패널(3)의 단자 형상에 대한 정보, 조명방향에 대한 정보, 상기 패널(3)에 적용되는 이방성 도전필름에서의 압흔에 대한 정보가 저장되는 설치정보저장부(361);상기 설치정보저장부(361)에 저장된 조명방향 및 압흔 크기에 따라 가상압흔형상 및 가상압흔에서의 밝기분포형태에 대한 가상정보를 생성하는 가상압흔정보저장부(362);상기 이미지생성부(10)로부터 전송되는 압흔영상신호의 데이터가 저장되는 압흔영상정보저장부(363)가 포함되어 구비되고,상기 메인컨트롤러부(31)는 상기 설치정보저장부(361)에 저장된 조명방향 및 압흔의 크기에 대하여, 조명방향의 수직방향으로 밝기값에 따른 밝기전환선분이 설정되도록 하고, 밝기전환선분을 중심으로 하여 조명쪽으로는 밝은영역으로 설정되도록 하며, 조명의 반대쪽으로는 어두운영역으로 설정되도록 하는 가상압흔형상이 생성되도록 연산하여, 메인메모리부(36)의 가상압흔정보저장부(362)에 가상압흔형상에 대한 데이터가 저장되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 압흔검사시스템.
- 제 1항 또는 제 3항 중 어느 한 항의 압흔검사시스템의 제어방법에 있어서,1) 검사대(2)의 이미지생성부(10)에 의한 촬영위치에서의 조명방향, 상기 검사대(2) 상부에 놓여지는 패널(3) 및 단자에 대한 정보 및 압흔의 정보가 입력되어 메인메모리부(36)에 저장되도록 하는 기초정보입력단계(S01);2) 상기 메인메모리부(36)에 저장된 조명방향 정보, 압흔의 정보에 대하여, 가상압흔형상이 생성되도록 하고 메인메모리부(36)에 가상압흔형상에 대한 데이터가 저장되도록 하는 가상압흔형상연산단계(S02);3) 이미지생성부(10)의 압흔영상카메라(14)를 통하여 촬영된 영상데이터가 입력되어 메인메모리부(36)에 저장되도록 하는 영상취득단계(S03);4) 상기 가상압흔형상연산단계(S02)에 의하여 형성된 가상압흔형상의 데이터와 촬영되어 입력된 영상데이터를 비교하되, 밝기전환성분, 밝은영역, 어두운영역의 분포가 일치하고, 입력된 압흔의 크기와 비교하여 압흔을 분별하도록 구비되는 압흔판별단계(S04);5) 상기 압흔판별단계(S04)에 의하여 판별된 압흔의 위치에 대한 정보가 메인메모리부(36)에 저장되도록 하는 압흔위치정보취득단계(S05)가 포함되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 압흔검사시스템의 제어방법.
- 제 4항에 있어서,상기 가상압흔형상연산단계(S02)는,상기 메인메모리부(36)에 저장된 조명방향 정보, 압흔의 정보에 따라서 가상압흔형상이 설정되도록 연산되어지되, 입력된 압흔 크기에 따른 압흔의 중간점을 중심으로 하여 조명방향의 수직방향의 밝기전환선분이 설정되도록 하는 밝기전환선분설정단계(S021);상기 밝기전환선분을 중심으로 하여 조명쪽 방향의 압흔으로는 밝은영역으로 설정되도록 하는 밝은영역설정단계(S022);상기 밝기전환선분을 중심으로 하여 조명의 반대쪽 방향의 압흔으로는 어두운영역으로 설정되도록 하는 어두운영역설정단계(S023)가 포함되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 압흔검사시스템의 제어방법.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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|---|---|
| KR100847740B1 true KR100847740B1 (ko) | 2008-07-23 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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|---|---|
| KR (1) | KR100847740B1 (ko) |
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