KR100844964B1

KR100844964B1 - 박막 코팅 장치

Info

Publication number: KR100844964B1
Application number: KR1020070004249A
Authority: KR
Inventors: 박근우; 이상현
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2007-01-15
Filing date: 2007-01-15
Publication date: 2008-07-09

Abstract

본 발명은 박막 코팅 장치를 개시한다. 본 발명의 실시예에 따른 박막 코팅 장치는: 기저(基底) 필름을 이송하는 이송 장치와; 이송 장치 일측에 배치된 것으로, 기저 필름의 일면에 코팅 물질을 포함하는 액상 물질을 분사하는 노즐들을 구비하는 적어도 하나의 액상 물질 분사 장치와; 액상 물질 분사 장치의 노즐부로부터 분사된 액상 물질에서 적어도 코팅 물질을 기저 필름 상에 코팅하는 코팅부와, 코팅부 외측에 배치되어 기저 필름을 상기 코팅부와 이격되어 이송되도록 하는 롤링부를 구비하는 이송 코팅 장치를 구비한다.

Description

박막 코팅 장치{Thin film coating apparatus}

도 1은 종래의 박막 코팅 장치를 도시한 개념도이다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 박막 코팅 장치를 도시한 사시도이다.

도 3은 도 2에서 기저 필름의 진행 방향을 따라서 일부를 절단하여 도시한 사시도이다.

도 4는 도 2의 박막 코팅 장치에 구비된 코팅부를 도시한 사시도이다.

도 5는 도 2의 박막 코팅 장치에 구비된 롤링부를 도시한 사시도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

5: 기저 필름 100: 박막 코팅 장치

110: 이송 장치 120: 액상 물질 분사 장치

122: 노즐 124: 분사 챔버

130: 이송 코팅 장치 140: 코팅부

141: 진공 실린더 143: 진공 홀부

150: 롤링부 151: 롤링 본체부

152: 기공부 154: 롤링 구동부

155: 회전 모터 156: 구동 기어

157: 종동 기어 159: 필름 보호 덮개

162: 자유 회전축 164: 회전 롤러

본 발명은 박막 코팅 장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 CNT(Carbon NanoTube), ITO(Indium Tin Oxide) 등의 코팅 물질을 포함하는 액상 물질을 기저 필름 상에 박막으로 도포하여 코팅하는 박막 코팅 장비에 관한 것이다.

기거 필름은 그 일면에 CNT(Carbon Nano Tube), ITO(Indium Thin Oxide), PR(photo resist) 등과 같은 코팅 물질이 도포되어서, 디스플레이 패널의 전극층, 터치 스크린 및 차양막 등의 여러 분야에서 사용되어진다. 이 경우, 상기 코팅 물질은 분산제와 함께 분산 용매에 녹여져서 이루어진 액상 물질로 기저 필름 상에 도포되어 진다.

도 1은, 기저 필름에 액상 물질을 도포하는 진공 필터링(vacuum-filtering) 장치의 일예를 도시한 도면이다. 이 경우 도 1에는 상기 액상 도포 물질이 액상 CNT 용액이고, 기저 필름은 폴리머 필름인 경우를 도시하고 있다. 도 1을 참고하면, 종래의 진공 필터링 장치는 진공 챔버(10)와, 액상 물질 공급부(20)와, 진공 펌프(30)를 구비한다. 진공 챔버(10)는 그 상부(11) 및 하부(12)가 개폐 가능하도록 형성된 것으로, 상기 진공 챔버(10) 내에 폴리머 필름(5)이 안착된다. 이 경우, 상기 진공 챔버의 상부(11)에는 액상 물질 공급부(20)가 설치되고, 상기 진공 챔버의 하부(12)는 진공 펌프(30)와 연결되며, 상기 폴리머 필름(5)이 안착되는 위치에는 안착 지지부(40)가 배치된다.

액상 물질 공급부(20)는, 상기 진공 챔버(10) 내부에 안착된 폴리머 필름(5)의 상면으로 액상 CNT 용액을 도포하는 기능을 한다.

진공 펌프(30)는 상기 진공 챔버(10) 내의 공기를 드레인(drain)하여서, 특히 상기 진공 챔버(10)에 안착된 폴리머 필름(5) 하측에 부압이 발생하도록 한다.

따라서 폴리머 필름(5)이 진공 챔버(10) 내로 반송되면, 진공 챔버 상부(11)와 하부(12)가 접하게 되어서 상기 진공 챔버(10)가 폐쇄된다. 그 후에 액상 물질 공급부(20)로부터 액상 CNT 용액이 상기 폴리머 필름(5)의 상면으로 분사된다. 이때에 상기 진공 펌프(30)가 작동하여 상기 폴리머 필름(5) 상, 하면에 압력 차이가 발생하게 되고, 이에 따라서 상기 액상 CNT 용액 중에 CNT만 상기 폴리머 필름에 걸리고, 상기 CNT를 제외한 분산제 및/또는 분산 용매가 폴리머 필름에 투습되어서 외부로 제거되고, 결과적으로 CNT 박막이 형성되게 된다.

이와 더불어, 상기 진공 필터링 공정 이후에는 DI(Deionized Water) 세척공정을 거칠 수 있다. 이 경우 DI 세척 장치 또한 별도의 진공 챔버(50)와, DI 공급부(60)와, DI 드레인 펌프(70) 등을 구비하여서 상기 진공 필터링 공정과 동일한 공정을 행하여 CNT 박막을 세척할 수 있다.

그런데, 상기와 같은 박막 코팅 방법은, 기저 필름을 진공 챔버(10) 내에 안착하고 그 후에 진공 챔버(10)를 여닫게 되는데, 상기 진공 챔버를 여닫는 공정 시간이 많이 걸려서 전체적인 박막 코팅 시간이 증가한다는 문제점이 있다.

또한, 진공 필터링 공정 후에 DI 세척 공정이 추가되어야 함으로써, 부가적으로 추가되어야 하는 장비가 많아지게 된다.

또한, 진공 펌프가 진공 챔버의 한 방향에 위치함에 따라서 상기 진공 챔버 하부가 균일하게 진공 상태를 유지하기 어려우며, 이에 따라서 기저 필름에서 분산제나 분산용매가 투습되는 정도가 기저 필름의 중앙부 및 가장자리부가 서로 달라서 박막 코팅의 균일도 확보가 쉽지 않다.

본 발명은 상기 문제점을 포함한 여러 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 전체적인 박막 코팅 시간이 감축되는 구조를 가진 박막 코팅 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적은, 박막 코팅에 필요한 장비의 수가 작은 박막 코팅 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은, 특히 유연성을 가진 기저 필름 상에 박막이 균일하게 코팅되도록 하는 구조를 가진 박막 코팅 장치를 제공하는 것이다.

따라서 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 박막 코팅 장치는: 기저 필름을 이송하는 이송 장치와; 상기 이송 장치 일측에 배치된 것으로, 상기 기저 필름의 일면에 코팅 물질을 포함하는 액상 물질을 분사하는 노즐들을 구비하는 적어도 하나의 액상 물질 분사 장치와; 상기 액상 물질 분사 장치의 노즐부로부터 분사된 액상 물질에서 적어도 상기 코팅 물질을 상기 기저 필름 상에 코팅하는 코팅부와, 상 기 코팅부 외측에 배치되어 상기 기저 필름을 상기 코팅부와 이격되어 이송되도록 하는 롤링부를 구비하는 이송 코팅 장치를 구비한다.

이 경우 상기 코팅부는: 중공 실린더 형상으로, 상기 액상 물질 분사 장치의 분사 위치에 대응되어 형성된 적어도 하나의 진공 홀부를 구비하는 진공 실린더와; 상기 진공 실린더와 연통되는 적어도 하나의 진공 펌프;를 구비하고, 상기 롤링부는: 상기 진공 실린더를 감싸도록 형성된 것으로 상기 기저 필름의 일면이 접하는 그물 형상의 롤링 본체부와; 상기 롤링 본체부를 상기 기저 필름 이송방향으로 회전시키는 롤링 구동부;를 구비하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 롤링 구동부는: 회전 모터와; 상기 회전 모터의 회전에 의하여 회전하는 구동 기어와; 상기 구동 기어에 맞물리는 것으로, 상기 롤링 본체부에 결합된 종동 기어를 구비하는 것이 바람직하다.

이 경우, 상기 롤링 본체부는: 펀칭 메탈(punching metal) 소재로 상기 진공 실린더를 감싸는 기공부(氣孔部)와; 상기 기공부의 양측에 배치되어 상기 기공부를 지지하는 것으로, 그 중 하나에는 상기 종동 기어가 설치된 구동 캡부를 구비하는 것이 바람직하다.

이 경우, 상기 기공부(氣孔部) 상측에 상기 기공부를 감싸며 상기 기재 필름을 보호하는 필름 보호 덮개를 더 구비하는 것이 바람직하다.

한편, 상기 롤링부 및 코팅부 사이에는, 상기 진공 실린더의 외주면을 따라서 상기 기저 필름의 진행방향과 수직 방향으로 나란히 배치된 복수의 자유 회전축들과, 상기 자유 회전축에 회전 가능하게 설치되어 자유 회전이 가능하며 상기 롤 링부에 접하는 복수의 회전 롤러들을 구비하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 액상 물질 분사 장치는 상기 액상 분사 장치의 전, 후방 상측에 위치하고, 상기 액상 물질 분사 장치의 노즐부는 상기 액상 물질을 하측 사선(斜線) 방향으로 분사하도록 배치되며, 상기 진공 실린더의 진공 홀부들은 각각 상기 액상 물질 분사 장치의 노즐부의 분사 위치에 맞추어서 형성된 것이 바람직하다.

한편, 상기 액상 물질 분사 장치는, 상기 이송 장치에 의하여 이송되는 기저 필름을 가로지르며 상기 기저 필름과 이격되도록 배치된 것으로 상기 분사 노즐들이 상기 기저 필름의 진행방향과 교차하도록 형성된 분사 챔버를 더 구비하는 것이 바람직하다.

상기 기저 필름은 폴리머 수지 소재의 필름이고, 상기 액상 물질은 액상 탄소나노튜브(CNT, Carbon Nano Tube), 액상 ITO(Indium Thin Oxide), 및 액상 PR(Photo Resist)로 이루어진 군 중에서 선택된 하나인 것이 바람직하다.

이어서 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 박막 코팅 장치를 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2의 박막 코팅 장치를 기저 필름의 진행방향으로 일부를 절단한 사시도이다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 박막 코팅 장치(100)는 이송 장치(110)와, 적어도 하나 이상의 액상 물질 분사 장치(120)와, 이송 코팅 장치(130)를 구비한다.

이송 장치(110)는 기저 필름(5)을 이송한다. 이 경우 상기 이송 장치(110)는 릴투릴(reel to reel) 장치이거나, 컨베이어(conveyer) 장치 등 여러 이송 기구를 이용할 수 있다.

기저 필름(5)은 그 일면에 후술할 코팅 물질이 코팅되는 것으로서, 유리 소재나 폴리머 소재로 이루어질 수 있다. 특히 상기 기저 필름(5)은 유연성을 가진 폴리머 소재로 이루어진 것이 바람직하며, 그 예로서 폴리카보네이트(Polycarbonate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(Polyethylene terephtalate, PET), 플리아미드(Polyamides), 셀룰로스 에스테르(Cellulose ester), 재생 셀룰로스(Regenerated cellulose), 나일론, 폴리프로필렌, 폴리아크릴로니트릴(Polyacrylonitrile), 폴리술폰(Polysulfone), 폴리에스테르술폰(Polyethersulfone) 및 폴리비닐리덴플로라이드(Polyvinylidenfluoride)로 이루어진 군 중에서 선택된 어느 하나일 수 있다.

액상 물질 분사 장치(120)는 상기 이송 장치(110) 일측에 배치된 것으로, 복수의 노즐(122)들을 구비한다. 상기 노즐(122)들은 상기 기저 필름(5)의 일면에 코팅 물질을 포함하는 액상 물질을 분사하는 것으로, 실린더 형상의 분사 챔버(124)에 상기 기저 필름(5)의 진행방향과 교차하는 방향으로 나란히 배치될 수 있다.

또한, 상기 액상 물질 분사 장치(120)는 초음파 분해 장치를 더 구비할 수 있다. 상기 초음파 분해 장치는 초음파로 액상 물질을 미세하게 분해하는 장치로서, 이로써 보다 균일한 액상 물질이 분사될 수 있다.

이 경우, 상기 액상 물질은 액상 탄소나노튜브(CNT, Carbon Nano Tube), 액 상 ITO(Indium Thin Oxide), 및 액상 PR(Photo Resist)로 이루어진 군 중에서 선택된 하나일 수 있다. 이 경우 액상 물질은 코팅 물질과, 상기 코팅 물질을 분산하는 분산제와, 상기 분산제와 코팅 물질이 녹아져 있는 분산 용매로 이루어질 수 있다. 이 경우 코팅 물질이란 탄소나노튜브, ITO, PR 등의 물질을 의미한다. 상기 액상 물질은 기저 필름(5) 일면에 도포되어진 후, 분산 용매 및 분산제의 대부분 또는 전부가 증발 또는 투습되어져 외부로 제거되어져서, 결과적으로 코팅 물질만 상기 기저 필름(5) 일면에 코팅된다.

이송 코팅 장치(130)는 코팅부(140)와, 롤링부(150)를 구비한다. 코팅부(140)는 상기 액상 물질 분사 장치(120)의 노즐(122)부로부터 분사된 액상 물질에서 적어도 상기 코팅 물질을 상기 기저 필름(5) 상에 코팅한다. 롤링부(150)는 상기 코팅부(140) 외측에 배치되어 상기 기저 필름(5)을 상기 코팅부(140)와 이격되어 이송되도록 한다.

즉, 본 발명에 따르면 기저 필름(5)이 코팅 롤링부(150)를 따라서 반송됨과 동시에, 액상 물질 분사 장치(120)에 의하여 액상 물질이 기저 필름(5) 일면에 증착된다. 이 경우, 본 발명에서는 진공 챔버가 불필요하며, 따라서 진공 챔버를 여닫는 시간이 생략될 수 있어서 박막 코팅 시간이 감축된다.

도 4는 본 발명의 박막 코팅 장치에 구비된 코팅부(140)를 도시한 사시도이다. 도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 코팅부(140)는 진공 실린더(141)와, 적어도 하나의 진공 펌프(미도시)를 구비할 수 있다. 진공 실린더(141)는 중공 실린더 형상으로, 하나 또는 복수로 형성된 진공 홀로 이루어진 진공 홀부(143)를 구비한다. 상기 진공 홀부(143)는 상기 액상 물질 분사 장치(120)의 분사 위치에 대응되어 형성될 수 있다. 여기에서 액상 물질 분사 장치(120)의 노즐(122)들이 상기 기저 필름(5)의 진행 방향과 직각 방향으로 복수 개가 나란히 배치될 수 있으며, 이에 따라서 상기 노즐(122)부에 대응되는 진공 홀부(143) 또한 상기 기저 필름(5)의 진행 방향과 직각 방향으로 복수 개가 형성될 수 있다.

진공 펌프는 상기 진공 실린더(141)와 진공 펌프 연결부(145)에 의하여 연된다. 이 경우 상기 진공 실린더(141)의 좌, 우측면 각각에는 좌, 우측 진공 펌프 연결부(145a, 145b)가 결합되고, 상기 진공 펌프들은, 각각 좌측 진공 펌프 연결부와 연결된 좌측 진공 펌프와, 우측 진공 펌프 연결부와 연결된 우측 진공 펌프일 수 있다. 상기 진공 펌프가 진공 실린더(141) 양측으로 부압을 제공함에 따라서, 상기 진공 실린더(141) 내부가 균일하게 진공 상태가 되도록 할 수 있다.

이 경우, 상기 좌, 우측 진공 펌프 연결부(145a, 145b) 각각과 롤링부(150) 사이에는, 상기 롤링부(150)가 진공 연결부에 회전 가능하도록 지지될 수 있도록 하는 베어링(146)이 형성될 수 있다.

도 5는 본 발명의 박막 코팅 장치(100)에 구비된 롤링부(150)를 도시한 도면이다. 도 3 및 도 5를 참조하면, 상기 롤링부(150)는 롤링 본체부(151)와, 롤링 구동부(154)를 구비할 수 있다. 상기 롤링 본체부(151)는 그물 형상으로 상기 진공 실린더(141)를 감싸도록 형성된 것으로 상기 기저 필름(5)의 일면이 접한다. 롤링 구동부(154)는 상기 롤링 본체부(151)를 상기 기저 필름(5) 이송방향으로 회전시킨다.

따라서 상기 이송 장치에 의하여 코팅 롤링부(150)에 반송된 기저 필름(5)은 롤링 본체부(151)에 안착된다. 이 경우 상기 롤링 구동부(154)가 롤링 본체부(151)를 구동하여 회전하도록 하고, 이에 따라서 롤링 본체부(151)에 안착된 기저 필름(5) 또한 상기 롤링 본체부(151)의 회전에 따라서 이동하게 된다.

이 경우, 상기 롤링 구동부(154)는 회전 모터(155)와, 구동 기어(156)와, 종동 기어(157)를 구비할 수 있다. 구동 기어(156)는 상기 회전 모터(155)와 연동되어서 상기 회전 모터(155)의 회전에 의하여 회전한다. 종동 기어(157)는 상기 구동 기어(156)에 직접 또는 간접적으로 맞물리는 것으로, 상기 롤링 본체부(151)에 결합된다. 따라서 회전 모터(155)가 회전하게 되면 구동 기어(156)가 회전하고, 이에 따라서 상기 구동 기어(156)에 맞물려 있는 종동 기어(157)가 회전하게 됨으로써, 상기 종동 기어(157)가 설치된 롤링 본체부(151)가 회전하게 된다.

이 경우, 상기 롤링 본체부(151)는 기공부(152)(氣孔部)와, 구동 캡부(153)를 구비할 수 있다. 상기 기공부(152)는 펀칭 메탈(punching metal) 또는 포어 메탈(pore metal) 소재로 상기 진공 실린더(141)를 감싼다. 이 경우 상기 기공부(152)는 통상시에는 펀칭 메탈 소재로 이루어지는 것이 바람직하나, 초정밀 박막 코팅이 필요한 경우에는 포어 메탈 소재로 이루어질 수 있다.

구동 캡부(153)는 상기 기공부(152)의 양측에 배치되어 상기 기공부(152)를 지지하는 것으로, 그 중 하나에는 상기 종동 기어(157)가 설치된다.

한편, 상기 기공부(氣孔部)(152) 상측에는 필름 보호 덮개(159)가 배치될 수 있다. 상기 필름 보호 덮개(159)는 상기 기공부(152)를 감싸며 상기 기저 필름(5) 을 보호하는 기능을 한다. 이 경우 상기 필름 보호 덮개(159)는 다공성 물질로서 상기 기저 필름을 지지할 수 있는 소재로 이루어지는 것이 바람직한데, 그 예로서 부직포 소재로 이루어질 수 있다.

또한, 다시 도 4로 되돌아가서 상기 롤링부(150) 및 코팅부(140) 사이에는 복수의 자유 회전축(162)들과, 복수의 회전 롤러(164)들이 배치될 수 있다. 자유 회전축(162)들은 상기 진공 실린더(141)의 외주면을 따라서 상기 기저 필름(5)의 진행방향과 수직 방향으로 나란히 배치된다. 회전 롤러(164)들은 상기 자유 회전축(162)에 회전 가능하게 설치되어 자유 회전이 가능하며 상기 롤링부(150)에 접하도록 배치된다. 즉, 상기 회전 롤러(164)들은 상기 자유 회전축(162)을 중심으로 자전할 수 있도록 배치된다. 따라서, 상기 롤링부(150)가 상기 기저 필름(5)의 진행방향으로 회전하게 되면, 상기 롤링부(150)에 접한 회전 롤러(164)들이 상기 롤링부(150)의 회전방향으로 회전하게 된다. 이로 인하여 상기 롤링부(150)가 상기 회전 롤러(164)들의 지지를 받으면서, 진공 실린더(141)와 적절한 이격을 가지고 원활하게 회전할 수 있다.

한편, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 상기 액상 물질 분사 장치(120)는 상기 이송 코팅 장치의 전, 후방 상측에 위치하고, 상기 액상 물질 분사 장치(120)의 노즐(122)들은 상기 액상 물질을 하측 사선(斜線) 방향으로 분사하도록 배치될 수 있다. 즉, 상기 액상 물질 전방 상측에 위치한 전방 액상 물질 분사 장치(120a)에 구비된 노즐(122)들은 상기 롤링 코팅부(140)를 향하여 후방으로 경사지게 액상 물질을 분사하고, 상기 액상 물질 후방 상측에 위치한 후방 액상 물질 분사 장치(120b)에 구비된 노즐(122)들은 상기 롤링 코팅부(140)를 향하여 전방으로 경사지게 액상 물질을 분사할 수 있다.

이에 따라서, 상기 진공 실린더(141)의 진공 홀부(143)들은 각각 상기 액상 물질 분사 장치(120)의 노즐(122)부의 분사 위치에 맞추어서 형성될 수 있다. 즉, 전방 진공 홀부는 기저 필름(5)의 진행 방향의 반대 방향으로 경사지게 형성되고, 후방 진공 홀부는 기저 필름(5)의 진행방향으로 경사지게 형성될 수 있다. 이로써, 하나의 이송 코팅 장치(130)를 사용하여 두 번의 박막 증착이 가능하게 되어서, 보다 정밀하고 균일한 코팅이 가능하게 되며, 그 증착 시간 또한 감축될 수 있다.

여기서, 상기 후방 액상 물질 분사 장치(120b)는, DI(Deionized Water) 세척공정에서 종래의 DI 공급부(60)와 동일한 기능을 하는 DI 공급 장치일 수 있다. 이 경우, DI 세척을 위하여 도 1에 도시된 바와 같은 별도의 진공 챔버(50)와, DI 공급부(60)와, DI 드레인 펌프(70)가 불필요하게 된다.

이하 도 2 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 박막 코팅 장치의 작동을 상세히 설명한다.

먼저 롤 형태의 기저 필름(5)이 이송 장치(110)에 의하여 이송 코팅 장치(130)로 반송된다. 이 경우 이송 코팅 장치(130)의 롤링부(150)가 회전하고 있으므로, 상기 기저 필름(5)은 상기 롤링부(150)에 접하여서 진공 실린더(141) 외곽을 따라서 이동 된다. 이 때 진공 실린더(141) 내부는 진공 펌프에 의하여 부압을 받고 있다. 따라서 진공 홀부(143) 상으로 기저 필름(5)이 이송되면, 상기 기저 필름(5)을 기준으로 진공 실린더(141) 내부와 외부에 압력 차이가 발생하게 된다. 이로 인하여 상기 기저 필름(5)의 멤브레인(membrane)을 통하여 액체 물질을 제외한 물질들의 대부분 또는 전부가 진공 실린더(141) 내부로 투습되고, 코팅 물질만 상기 기저 필름(5)에 걸려서 코팅된다.

이 경우 상기 롤링부(150)와 코팅부(140) 사이에 배치된 회전 롤러(164)에 의하여, 상기 기저 필름(5)이 그 상하면의 압력차에 의하여 상기 진공 실린더(141) 쪽으로 지나치게 접근하지 않고, 상기 진공 실린더(141)와 일정한 이격 거리를 가지고 반송된다.

본 발명에 의하면, 진공 챔버를 여닫을 필요 없이 하나의 이송 코팅 장치에 의하여 기저 필름 상하면에 압력차가 발생하므로, 박막 코팅 시간이 감축한다.

또한, 진공 챔버와 상기 진공 챔버를 구동하는 장치들을 불필요하게 되어서, 박막 코팅에 필요한 장비의 수가 작게 되고 이로 인하여 박막 코팅 장치의 제조비가 감소하게 된다.

또한, 필요에 따라서 하나 또는 두 개의 액상 물질 분사 장치로 액상 물질을 기저 필름 상에 코팅하므로, 박막 코팅 두께 제어가 가능하며, 보다 더 균일한 박막 코팅이 가능하다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따 라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims

기저(基底) 필름을 이송하는 이송 장치;

상기 이송장치 일측에 배치된 것으로, 상기 기저 필름의 일면에 코팅 물질을 포함하는 액상 물질을 분사하는 복수의 노즐들을 구비하는 적어도 하나의 액상 물질 분사 장치; 및

상기 액상 물질 분사 장치의 노즐부로부터 분사된 액상 물질에서 적어도 상기 코팅 물질을 상기 기저 필름 상에 코팅하는 코팅부와, 상기 코팅부 외측에 배치되어 상기 기저 필름을 상기 코팅부와 이격되어 이송되도록 하는 롤링부를 구비하는 이송 코팅 장치를 구비하는 박막 코팅 장치.
제1항에 있어서,

상기 코팅부는: 중공 실린더 형상으로, 상기 액상 물질 분사 장치의 분사 위치에 대응되어 형성된 적어도 하나의 진공 홀부를 구비하는 진공 실린더와; 상기 진공 실린더와 연통되는 적어도 하나의 진공 펌프;를 구비하고,

상기 롤링부는: 상기 진공 실린더를 감싸도록 형성된 것으로 상기 기저 필름의 일면이 접하는 그물 형상의 롤링 본체부와; 상기 롤링 본체부를 상기 기저 필름 이송방향으로 회전시키는 롤링 구동부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.
제2항에 있어서,

상기 롤링 구동부는:

회전 모터와;

상기 회전 모터의 회전에 의하여 회전하는 구동 기어와;

상기 구동 기어에 맞물리는 것으로, 상기 롤링 본체부에 결합된 종동 기어를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.
제3항에 있어서,

상기 롤링 본체부는:

펀칭 메탈(punching metal) 또는 포어 메탈(pore metal) 소재로 상기 진공 실린더를 감싸는 기공부(氣孔部)와;

상기 기공부의 양측에 배치되어 상기 기공부를 지지하는 것으로, 그 중 하나에는 상기 종동 기어가 설치된 구동 캡부를 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.
제4항에 있어서,

상기 기공부(氣孔部) 상측에 상기 기공부를 감싸며 상기 기재 필름을 보호하는 필름 보호 덮개를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.
제2항에 있어서,

상기 롤링부 및 코팅부 사이에는, 상기 진공 실린더의 외주면을 따라서 상기 기저 필름의 진행방향과 수직 방향으로 나란히 배치된 복수의 자유 회전축들과, 상기 자유 회전축에 회전 가능하게 설치되어 자유 회전이 가능하며 상기 롤링부에 접하는 복수의 회전 롤러들을 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.
제2항에 있어서,

상기 액상 물질 분사 장치는 상기 액상 분사 장치의 전, 후방 상측에 위치하고, 상기 액상 물질 분사 장치의 노즐부는 상기 액상 물질을 하측 사선(斜線) 방향으로 분사하도록 배치되며, 상기 진공 실린더의 진공 홀부들은 각각 상기 액상 물질 분사 장치의 노즐부의 분사 위치에 맞추어서 형성된 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.
제1항에 있어서,

상기 액상 물질 분사 장치는, 상기 이송 장치에 의하여 이송되는 기저 필름을 가로지르며 상기 기저 필름과 이격되도록 배치된 것으로 상기 분사 노즐들이 상기 기저 필름의 진행방향과 교차하도록 형성된 분사 챔버를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.
제1항에 있어서,

상기 기저 필름은 폴리머 수지 소재의 필름이고,

상기 액상 물질은 액상 탄소나노튜브(CNT, Carbon Nano Tube), 액상ITO(Indium Thin Oxide), 및 액상 PR(Photo Resist)로 이루어진 군 중에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.