KR100828360B1 - 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법 - Google Patents
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Abstract
잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드는, 토출될 잉크가 채워지는 잉크챔버가 표면 쪽에 소정 깊이로 형성되고, 잉크챔버로 잉크를 공급하기 위한 잉크피드홀이 배면 쪽에 형성된 기판; 잉크챔버의 바닥면 상에 형성되는 히터; 및 기판 상에 적층되는 것으로, 잉크챔버와 연통하는 노즐이 관통되어 형성된 노즐층;을 구비하고, 잉크챔버는 바닥면 쪽으로 갈수록 좁아지며, 잉크챔버의 측벽은 오목한 라운드 형상을 가진다.
Description
도 1은 종래 잉크젯 프린트헤드를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ'선을 따라 본 단면도이다.
도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ'선을 따라 본 단면도이다.
도 5a 내지 도 10c는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
110... 기판 112... 잉크피드홀
113... 히터 114... 리스트릭터
122... 잉크챔버 130... 노즐층
132... 노즐 140... 버블
150... 희생층
본 발명은 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 잉크의 토출 특성을 향상시킬 수 있는 열구동 방식의 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 잉크젯 프린트헤드는 인쇄용 잉크의 미소한 액적(droplet)을 기록용지 상의 원하는 위치에 토출시켜서 소정 색상의 화상으로 인쇄하는 장치이다. 이러한 잉크젯 프린트헤드는 잉크 액적의 토출 메카니즘에 따라 크게 두가지 방식으로 분류될 수 있다. 그 하나는 열원을 이용하여 잉크에 버블(bubble)을 발생시켜 그 버블의 팽창력에 의해 잉크 액적을 토출시키는 열구동 방식의 잉크젯 프린터헤드이고, 다른 하나는 압전체를 사용하여 그 압전체의 변형으로 인해 잉크에 가해지는 압력에 의해 잉크 액적을 토출시키는 압전구동 방식의 잉크젯 프린트헤드이다.
열구동 방식의 잉크젯 프린트헤드에서의 잉크 액적 토출 메카니즘을 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다. 발열 저항체(heating resistor)로 이루어진 히터에 펄스 형태의 전류가 흐르게 되면, 히터에서 열이 발생되면서 히터에 인접한 잉크는 대략 300℃로 순간 가열된다. 이에 따라 잉크가 비등하면서 버블이 생성되고, 생성된 버블은 팽창하여 잉크 챔버 내부에 채워진 잉크에 압력을 가하게 된다. 이로 인해 노즐 부근에 있던 잉크가 노즐을 통해 액적의 형태로 잉크 챔버 밖으로 토출된다.
도 1은 종래 열구동 방식의 잉크젯 프린트헤드를 개략적으로 도시한 단면도이다. 도 1을 참조하면, 종래의 열구동 방식의 잉크젯 프린트헤드는, 기판(10)과, 기판(10) 상에 적층되는 것으로 토출될 잉크가 채워지는 잉크챔버(22)가 형성된 챔 버층(20)과, 상기 챔버층(20) 상에 적층되는 것으로 잉크가 토출되는 노즐(32)이 형성된 노즐층(30)를 구비한다. 여기서, 상기 잉크챔버(22)의 바닥면을 이루는 기판(10)의 표면에는 잉크챔버(22) 내의 잉크를 가열하여 버블(40)을 발생시키는 히터(13)가 형성되어 있다. 상기 챔버층은 일반적으로 감광성 폴리머 포토레지스트(photoresist)로 이루어지며, 상기 노즐층은 감광성 폴리머 포토레지스트 또는 니켈 플레이트로 이루어진다.
상기와 같은 구조에서, 히터(13)에 펄스 형태의 전류가 공급되어 열이 발생되면 잉크챔버(22) 내에 채워진 잉크가 가열되면서 버블(40)이 생성된다. 이렇게 생성된 버블(40)은 계속적으로 팽창하게 되고, 이렇게 팽창하는 버블(40)의 압력에 의하여 잉크챔버(22) 내에 채워진 잉크는 노즐(32)을 통해 액적의 형태로 외부로 토출된다.
상기와 같은 종래 열구동 방식의 잉크젯 프린트헤드에서는 잉크의 토출성능에 중요한 역할을 하는 챔버층(20)을 액상의 감광성 폴리머 포토레지스트를 기판 (10)상에 스핀 코팅(spin coating)함으로써 형성하였다. 그러나, 이러한 방법으로는 10㎛ 이상의 균일한 두께를 가지는 챔버층(20)을 형성하기가 어렵다. 이러한 챔버층(20) 두께의 불균일성은 잉크의 토출 특성에 나쁜 영향을 미치게 된다. 또한, 상기와 같은 잉크젯 프린트헤드에서는, 잉크챔버(22)의 측벽이 기판(10)의 표면에 수직하게 형성되므로 히터(13)에 의하여 발생된 버블(40)이 팽창할 때 잉크챔버(22)의 측벽과 버블(40) 사이에는 비교적 큰 공간이 존재하게 된다. 이는 잉크의 토출에 기여하는 버블(40)의 압력을 감소시키는 요인이 되어 결국 잉크의 토출 특 성이 떨어지게 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 잉크의 토출 특성을 향상시킬 수 있는 열구동 방식의 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여,
본 발명의 구현예에 따른 잉크젯 프린트헤드는,
토출될 잉크가 채워지는 잉크챔버가 표면 쪽에 소정 깊이로 형성되고, 상기 잉크챔버로 잉크를 공급하기 위한 잉크피드홀이 배면 쪽에 형성된 기판;
상기 잉크챔버의 바닥면 상에 형성되는 히터; 및
상기 기판 상에 적층되는 것으로, 상기 잉크챔버와 연통하는 노즐이 관통되어 형성된 노즐층;을 구비하고,
상기 잉크챔버는 바닥면 쪽으로 갈수록 좁아지며, 상기 잉크챔버의 측벽은 오목한 라운드 형상을 가진다.
상기 잉크챔버의 바닥면은 플랫한 것이 바람직하다.
상기 기판에는 상기 잉크챔버와 잉크피드홀을 연결하는 리스트릭터가 형성된다. 여기서, 상기 리스트릭터는 상기 잉크챔버와 동일 평면 상에서 상기 기판의 표면에 나란하게 형성되는 것이 바람직하다.
상기 잉크챔버의 높이는 5㎛ ~ 20㎛ 가 될 수 있다.
본 발명의 다른 구현예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법은,
(가) 등방성 건식식각 방법에 의하여 기판의 표면 쪽에 잉크챔버 및 상기 잉크챔버와 연통하는 리스트릭터를 소정 깊이로 형성하는 단계;
(나) 상기 잉크챔버의 바닥면 상에 히터를 형성하는 단계;
(다) 상기 기판 상에 상기 잉크챔버와 연통하는 노즐이 형성된 노즐층을 적층하는 단계; 및
(라) 상기 기판의 배면 쪽에 잉크피드홀을 형성하는 단계;를 포함한다.
상기 (가) 단계는, 상기 기판 상에 상기 잉크챔버 및 리스트릭터가 형성될 부분을 노출시키는 식각마스크를 형성하는 단계; 및 상기 식각마스크를 통하여 노출된 상기 기판의 표면을 등방성 건식식각 방법에 의하여 소정 깊이로 식각하여 상기 잉크챔버 및 리스트릭터를 형성하는 단계;를 포함할 수 있다.
상기 (다) 단계는, 상기 잉크챔버 및 리스트릭터의 내부에 희생층을 채우는 단계; 상기 기판 및 희생층의 상면에 포토레지스트를 형성하는 단계; 및 상기 포토레지스트를 포토리소그라피 공정에 의하여 패터닝하여 상기 노즐을 형성하는 단계;를 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 (라) 단계는, 상기 기판의 배면 쪽을 식각하여 상기 희생층을 노출시키는 상기 잉크피드홀을 형성하는 단계; 및 상기 노즐 및 잉크피드홀을 통하여 상기 희생층을 제거하는 단계;를 포함할 수 있다.
한편, 상기 (다) 단계는, 상기 기판 상에 감광성 드라이 필름을 형성하는 단계; 및 상기 감광성 드라이 필름을 포토리소그라피 공정에 의하여 패터닝하여 상기 노즐을 형성하는 단계;를 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 (라) 단계는 상기 기판 의 배면 쪽을 식각하여 상기 리스트릭터와 연통하는 상기 잉크피드홀을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 열구동 방식의 잉크젯 프린트헤드의 개략적인 평면도이다. 그리고, 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ'선을 따라 본 단면도이며, 도 4는 도 2의 Ⅳ-Ⅳ'선을 따라 본 단면도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 열구동 방식의 잉크젯 프린트헤드는 기판(110)과, 상기 기판(110) 상에 적층되는 노즐층(130)을 구비한다. 상기 기판(110)으로는 일반적으로 실리콘 기판이 사용된다. 상기 기판(110)의 표면 쪽에는 토출될 잉크가 채워지는 잉크챔버(122)가 소정 깊이로 형성되어 있다. 여기서, 상기 잉크챔버(122)는 바닥면 쪽으로 갈수록 좁아지도록 형성된다. 그리고, 상기 잉크챔버(122)의 측벽은 오목한 라운드 형상을 가지도록 형성되며, 잉크챔버(122)의 바닥면은 플랫하게 형성된다. 이러한 잉크챔버(122)는 기판(110)의 표면 쪽을 후술하는 등방성 건식식각(isotropic dry etching) 방법에 의하여 소정 깊이로 식각함으로써 형성될 수 있다. 상기 잉크챔버(122)의 높이는 대략 5㎛ ~ 20㎛ 가 될 수 있다.
상기 기판(110)의 배면 쪽에는 잉크챔버(122)로 잉크를 공급하기 위한 잉크피드홀(ink feedhole,112)이 형성되어 있다. 그리고, 상기 잉크챔버(122)와 잉크피드홀(112) 사이에는 잉크챔버(122)와 잉크피드홀(112)을 연결하는 리스트릭터 (restrictor,114)가 형성되어 있다. 여기서, 상기 리스트릭터(114)는 잉크챔버(122)와 동일 평면 상에서 상기 기판(110)의 표면에 나란하게 형성된다.
상기 잉크챔버(122)의 바닥면 상에는 잉크챔버(122) 내의 잉크를 가열하여 버블(140)을 발생시키는 히터(113)가 형성되어 있다. 상기 히터(113)는 탄탈륨-알루미늄 합금, 탄탈륨 질화물(tantalum nitride), 티타늄 질화물(titanium nitride) 또는 텅스텐 실리사이드(tungsten silicide) 등과 같은 발열 저항체로 이루어질 수 있다. 한편, 도면에는 도시되어 있지 않으나, 상기 기판(110) 상에는 상기 히터(113)에 전류를 인가하기 위한 도체(conductor)가 형성될 수 있으며, 상기 히터(113) 및 도체의 상면에는 이들을 보호하기 위한 보호층이 박막의 형태로 형성될 수 있다. 한편, 도 2에는 사각형의 히터(113) 및 이에 대응하는 사각형의 단면 형상을 가지는 잉크챔버(122)가 도시되어 있으나, 본 실시예에서는 이에 한정되지 않고 히터(113) 및 잉크챔버(122)가 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
잉크챔버(122), 리스트릭터(114) 및 잉크피드홀(112)이 형성된 기판(110) 상에는 잉크의 토출이 이루어지는 노즐(132)이 관통되어 형성된 노즐층(130)이 적층되어 있다. 여기서, 상기 노즐(132)은 잉크챔버(122)의 상부에서 잉크챔버(122)와 연통하도록 형성된다.
상기와 같은 구조의 잉크젯 프린트헤드에서는, 잉크챔버(122)는 기판(110)의 표면 쪽을 등방성 식각방법에 의하여 식각함으로써 형성되므로, 잉크챔버(122)의 높이를 정밀하게 조절할 수 있다. 이에 따라, 잉크챔버(122)를 원하는 높이로 균일하게 형성할 수 있게 되어 잉크의 토출 특성이 향상될 수 있다. 또한, 기판(110)의 표면 쪽에 형성되는 잉크챔버(122)는 그 측벽이 오목한 라운드 형상을 가지므로, 히터(113)에 의하여 발생된 버블(140)이 팽창할 때 잉크챔버(122)의 측벽과 버블(140) 사이의 공간이 종래 잉크젯 프린트헤드에서보다 크게 줄어든다. 따라서, 히터(113)에 의하여 발생되는 버블(140)의 팽창력은 대부분 잉크의 토출에 기여하게 되므로, 결국 잉크의 토출 특성을 향상될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드를 제조하는 방법을 설명하기로 한다. 도 5a 내지 도 10c는 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.
먼저, 도 5a는 기판(110)의 표면 쪽에 잉크챔버(122) 및 리스트릭터(114)를 형성한 상태를 도시한 평면도이고, 도 5b 및 도 5c는 각각 도 5a의 종단면도 및 횡단면도이다. 도 5a 내지 도 5c를 참조하면, 기판(110)의 표면 쪽을 등방성 건식식각 방법에 의하여 소정깊이로 식각함으로써 잉크챔버(122) 및 리스트릭터(114)를 형성한다. 여기서, 상기 잉크챔버(122) 및 리스트릭터(114)는 동일 평면 상에서 기판(110)의 표면에 나란하게 형성된다. 상기 기판(110)으로는 일반적으로 실리콘 기판을 사용한다. 구체적으로, 기판(110) 상에 잉크챔버(122) 및 리스트릭터(114)가 형성될 부분을 노출시키는 식각마스크(미도시)를 마련하고, 이 식각마스크를 통하여 노출된 기판(110)의 표면을 등방성 건식식각 방법에 의하여 소정 깊이로 식각하게 되면 잉크챔버(122) 및 리스트릭터(114)가 형성된다. 이와 같이 기판(110)의 표면을 등방성 건식식각 방법에 의하여 식각하게 되면, 상기 잉크챔버(122)는 바닥면 쪽으로 갈수록 좁아지도록 형성된다. 그리고, 상기 잉크챔버(122)의 측벽은 오목한 라운드 형상으로 형성되며, 잉크챔버(110)의 바닥면은 플랫한 형상으로 형성된다. 또한, 상기 리스트릭터(114)의 양 측벽도 오목한 라운드 형상으로 형성된다.
도 6a는 잉크챔버(122)의 바닥면 상에 히터(113)를 형성한 상태를 도시한 평면도이고, 도 6b 및 도 6c는 각각 도 6a의 종단면도 및 횡단면도이다. 도 6a 내지 도 6c를 참조하면, 기판(110)의 표면 쪽에 형성된 잉크챔버(122)의 바닥면 상에 잉크챔버(122) 내의 잉크를 가열하여 버블을 발생시키는 히터(113)를 형성한다. 상기 히터(113)는 잉크챔버(122)의 바닥면을 포함한 기판(110)의 표면에 탄탈륨-알루미늄 합금, 탄탈륨 질화물, 티타늄 질화물 또는 텅스텐 실리사이드 등과 같은 발열 저항체를 박막으로 형성하고, 이를 소정 형태로 패터닝함으로써 형성될 수 있다.
도 7a는 잉크챔버(122) 및 리스트릭터(114)의 내부에 희생층(150)을 채운 상태를 도시한 평면도이고, 도 7b 및 도 7c는 각각 도 7a의 종단면도 및 횡단면도이다. 도 7a 내지 도 7c를 참조하면, 기판(110)의 표면 쪽에 형성된 잉크챔버(122) 및 리스트릭터(114)의 내부에 소정 물질로 이루어진 희생층(150)을 형성하고, 이 희생층(150)의 상면을 예를 들면 화학적 기계적 연마(CMP; Chemical Mechanical Polishing) 공정에 의하여 평탄화시킨다. 여기서, 상기 희생층(150)은 기판(110)과 식각선택성을 가지는 물질로 이루어지는 것이 바람직하다.
도 8a는 기판(110) 상에 노즐층(130)을 형성한 상태를 도시한 평면도이고, 도 8b 및 도 8c는 각각 도 8a의 종단면도 및 횡단면도이다. 도 8a 내지 도 8c를 참조하면, 상기 노즐층(130)은 기판(110) 및 희생층(150)의 상면에 액상 또는 드라이 필름으로 이루어진 포토레지스트(photoresist)을 도포하고, 이를 포토리소그라피 (photolithography) 공정에 의하여 패터닝함으로써 형성될 수 있다. 여기서, 상기 잉크챔버(122)의 상부에 위치하는 노즐층(130)에는 잉크의 토출이 이루어지는 노즐(132)이 관통되어 형성된다.
도 9a는 기판(110)의 배면 쪽에 잉크피드홀(112)을 형성한 상태를 도시한 평면도이고, 도 9b 및 도 9c는 각각 도 9a의 종단면도 및 횡단면도이다. 도 9a 내지 도 9c를 참조하면, 기판(110)의 배면 쪽에 소정의 식각마스크(미도시)를 마련하고, 이 식각마스크를 통해 노출된 기판(110)의 배면을 건식 또는 습식 식각방법에 의하여 희생층(150)이 노출될 때까지 식각하게 되면 잉크피드홀(112)이 형성된다.
도 10a는 잉크챔버(122) 및 리스트릭터(114)의 내부에 채워진 희생층(150)을 제거한 상태를 도시한 평면도이고, 도 10b 및 도 10c는 각각 도 10a의 종단면도 및 횡단면도이다. 도 10a 내지 도 10c를 참조하면, 노즐(132) 및 잉크피드홀(112)을 통하여 노출된 희생층(150)을 선택적으로 식각하여 제거하게 되면, 노즐(132)과 연통하는 잉크챔버(122) 및 잉크피드홀(112)과 연통하는 리스트릭터(114)가 형성되어 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드가 완성된다.
이상의 실시예에서는 잉크챔버(122) 및 리스트릭터(114)의 내부에 희생층(150)을 채운 다음, 그 위에 노즐층(130)을 형성하는 경우가 설명되었으나, 잉크챔버(122) 및 리스트릭터(114)가 형성된 기판(110) 상에 상기 노즐층(130)을 직접 형성하는 것도 가능하다. 구체적으로, 상기 노즐층은 잉크챔버(122) 및 리스트릭터(114)가 형성된 기판(110) 상에 감광성 드라이 필름을 형성한 다음, 이를 포토리소그라피 공정에 의하여 패터닝함으로써 형성될 수 있다. 이때, 상기 잉크챔버(122) 의 상부에 위치하는 노즐층(130)에는 잉크챔버(122)와 연통하는 노즐(132)이 형성된다. 이어서, 기판(110)의 배면 쪽을 식각하여 리스트릭터(114)와 연통하는 잉크피드홀(112)을 형성하게 되면, 본 발명의 실시예에 따른 잉크젯 프린트헤드가 완성된다.
이상에서 본 발명에 따른 바람직한 실시예가 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 예를 들면, 한 층이 기판이나 다른 층의 위에 존재한다고 설명될 때, 그 층은 기판이나 다른 층에 직접 접하면서 위에 존재할 수도 있고, 그 사이에 제 3의 층이 존재할 수도 있다. 그리고, 본 발명에 따른 잉크젯 프린트헤드의 각 요소는 예시된 물질과 다른 물질이 사용될 수 있으며, 각 물질의 적층방법 및 형성방법도 단지 예시된 것으로서, 다양한 다른 적층방법 및 형성방법이 적용될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 잉크젯 프린트헤드의 제조방법에 있어서, 각 단계의 순서는 경우에 따라서 예시된 바와 달리할 수도 있다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 잉크챔버가 기판의 표면을 등방성 식각방법에 의하여 식각함으로써 형성되므로, 잉크챔버의 높이를 정밀하게 조절할 수 있다. 이에 따라, 잉크챔버를 원하는 높이로 균일하게 형성할 수 있게 되어 잉크의 토출 특성이 향상될 수 있다.
둘째, 기판의 표면 쪽에 형성되는 잉크챔버는 그 측벽이 오목한 라운드 형상을 가지므로, 히터에 의하여 발생된 버블이 팽창할 때 잉크챔버의 측벽과 버블 사이의 공간이 종래 잉크젯 프린트헤드에서보다 크게 줄어든다. 따라서, 히터에 의하여 발생되는 버블의 팽창력은 대부분 잉크의 토출에 기여하게 되므로, 결국 잉크의 토출 특성이 향상될 수 있다.
Claims (15)
- 토출될 잉크가 채워지는 잉크챔버가 표면 쪽에 소정 깊이로 형성되고, 상기 잉크챔버로 잉크를 공급하기 위한 잉크피드홀이 배면 쪽에 형성된 기판;상기 잉크챔버의 바닥면 상에 형성되는 히터; 및상기 기판 상에 적층되는 것으로, 상기 잉크챔버와 연통하는 노즐이 관통되어 형성된 노즐층;을 구비하고,상기 잉크챔버는 바닥면 쪽으로 갈수록 좁아지며, 상기 잉크챔버의 측벽은 오목한 라운드 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드.
- 제 1 항에 있어서,상기 잉크챔버의 바닥면은 플랫한 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드.
- 제 1 항에 있어서,상기 기판에는 상기 잉크챔버와 잉크피드홀을 연결하는 리스트릭터가 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드.
- 제 3 항에 있어서,상기 리스트릭터는 상기 잉크챔버와 동일 평면 상에서 상기 기판의 표면에 나란하게 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드.
- 제 1 항에 있어서,상기 잉크챔버의 높이는 5㎛ ~ 20㎛ 인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드.
- (가) 등방성 건식식각 방법에 의하여 기판의 표면 쪽에 잉크챔버 및 상기 잉크챔버와 연통하는 리스트릭터를 소정 깊이로 형성하는 단계;(나) 상기 잉크챔버의 바닥면 상에 히터를 형성하는 단계;(다) 상기 기판 상에 상기 잉크챔버와 연통하는 노즐이 형성된 노즐층을 적층하는 단계; 및(라) 상기 기판의 배면 쪽에 잉크피드홀을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 기판은 실리콘으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 (가) 단계는,상기 기판 상에 상기 잉크챔버 및 리스트릭터가 형성될 부분을 노출시키는 식각마스크를 형성하는 단계; 및상기 식각마스크를 통하여 노출된 상기 기판의 표면을 등방성 건식식각 방법에 의하여 소정 깊이로 식각하여 상기 잉크챔버 및 리스트릭터를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 잉크챔버의 측벽은 오목한 라운드 형상으로 형성되며, 상기 잉크챔버의 바닥면은 플랫하게 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
- 제 9 항에 있어서,상기 잉크챔버는 5㎛ ~ 20㎛의 높이로 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 (다) 단계는,상기 잉크챔버 및 리스트릭터의 내부에 희생층을 채우는 단계;상기 기판 및 희생층의 상면에 포토레지스트를 형성하는 단계; 및상기 포토레지스트를 포토리소그라피 공정에 의하여 패터닝하여 상기 노즐을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 포토레지스트는 액상 또는 드라이 필름으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 (라) 단계는,상기 기판의 배면 쪽을 식각하여 상기 희생층을 노출시키는 상기 잉크피드홀을 형성하는 단계; 및상기 노즐 및 잉크피드홀을 통하여 상기 희생층을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 (다) 단계는,상기 기판 상에 감광성 드라이 필름을 형성하는 단계; 및상기 감광성 드라이 필름을 포토리소그라피 공정에 의하여 패터닝하여 상기 노즐을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
- 제 14 항에 있어서,상기 (라) 단계는 상기 기판의 배면 쪽을 식각하여 상기 리스트릭터와 연통 하는 상기 잉크피드홀을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트헤드의 제조방법.
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