KR100816234B1 - 반도체 소자 제조 시스템의 안정성 센싱 처리 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 안정성 센서로 구현되는 안정성 센서부와, 안정성 센서부로부터 발생되는 센싱 신호에 따라 알람을 발생시키고, 제조 장비를 일시 중지시키는 센서 보드와, 안정성 센서부와, 센서 보드 사이에 위치하며, 작업자의 선택에 따라 센싱 신호의 전송을 온 또는 오프하는 스위칭부를 포함하는 반도체 소자 제조 시스템의 안정성 센싱 처리 장치를 개시함으로써, 안정성 센서가 구비되는 반도체 소자의 제조 장비에서 불필요하게 발생되는 알람을 방지할 수 있음으로, 반도체 소자의 제조 효율을 극대화할 수 있음은 물론, 작업자가 제조 장비에서 발생되는 알람을 선택적으로 방지할 수 있도록 하는 것이다.

Description

반도체 소자 제조 시스템의 안정성 센싱 처리 장치{apparatus for proccessing safety sensor in system of production semiconductor device}

도 1은 일반적인 안정성 센서를 구비하는 제조 장비를 개략적으로 설명하기 위한 블록 도면.

도 2는 일반적인 안정성 센서를 구비하는 제조 장비를 실례를 예시한 도면.

도 3은 본 발명의 바랍직한 실시예에 따른 안정성 센서를 구비하는 제조 장비를 개략적으로 설명하기 위한 블록 도면.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 안정성 센서를 구비하는 제조 장비를 예시하기 위한 회도 도면.

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 안정성 센서를 구비하는 제조 장비를 설명하기 위한 도면.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 센서 보드 110 : 단자부

200 : 안정성 센서부 300 : 스위칭부

SW : 스위치 PD : 발광 다이오드

400 : 전원 공급기

본 발명은 반도체 소자 제조 시스템의 안정성 센싱 처리 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 반도체 소자의 제조 장비에 불필요하게 안정성 센서에 알람이 발생되면서 제조 장비가 멈춰버려 작업 효율이 저하되는 현상을 방지할 수 있는 반도체 소자 제조 시스템의 안정성 센싱 처리 장치에 관한 것이다.

일반적인 반도체 소자의 제조 공정은 고순도로 정제된 실리콘 용융액에 SEED 결정을 접촉, 회전시키면서 단결정 규소봉(INGOT)을 성장시키는 단결정 성장 과정과, 규소봉을 균일한 두께의 얇은 웨이퍼로 잘라내는 규소봉 절단 과정과, 웨이퍼의 한쪽면을 연마하여 거울면처럼 만들어주며, 연마된 면에 회로 패턴을 그려넣는 웨이퍼 표면 연마 과정과, CAD(Computer Aided Design) 시스템을 사용하여 전자회로와 실제 웨이퍼 위에 그려질 회로패턴을 설계하는 회로 설계 과정과, 설계된 회로패턴을 E-beam설비로 유리판 위에 그려 MASK(RETICLE)를 만드는 MASK(RETICLE) 제작 과정과, 고온(800~1200℃)에서 산소나 수증기를 실리콘 웨이퍼표면과 화학반응시켜 얇고 균일한 실리콘산화막(SiO2)를 현상시켜는 산화(OXIDATION) 공정 과정과, 빛에 민감한 물질인 감광액(PR:Photo Resist)를 웨이퍼 표면에 고르게 도포시키는 감광액(PR : Photo Resist)도포 과정과, STEPPEE를 사용하여 MASK에 그려진 회로패턴에 빛을 통과시켜 PR막이 형성된 웨이퍼 위에 회로패턴을 사진 찍는 노광(EXPOSURE) 공정 과정과, 웨이퍼 표면에서 빛을 받은 부분의 막을 현상시키는 현 상(DEVELOPMENT) 공정과, 회로 패턴을 형성시켜 주기 위해 화학물질이나 반응성 GAS를 사용하여 필요 없는 부분을 선택적으로 제거시키는 식각(ETCHING)공정과, 회로 패턴과 연결된 부분에 불순물을 미세한 GAS입자 형태로 가속하여 웨이퍼의 내부에 침투시킴으로써 전자소자의 특성을 만들어 주는 이온 주입(ION IMPLANTAION) 과정과, GAS간의 화학반응으로 형성된 입자들을 웨이퍼표면에 증착하여 절연막이나 전도성막을 형성시키는 화학기상증착(CVD:Chemical Vapor Deposition)공정 과정과, 웨이퍼 표면에 형성된 각 회로를 알루미늄선으로 연결시키는 금속배선(METALLIZATION) 공정 과정과, 웨이퍼에 형성된 IC칩들의 전기적 동작여부를 컴퓨터로 검사하여 불량품을 자동 선별하는 웨이퍼 자동선별(EDS TEST) 공정 과정과, 웨이퍼상의 수 많은 칩들을 분리하기 위해 다이아몬드 톱을 사용하여 웨이퍼를 전달하는 웨이퍼 절단(SAWING) 공정 과정과, 낱개로 분리되어 있는 칩 중 EDS TEST에서 실품으로 판정된 칩을 리드프레임(READ FRAME)위에 올려놓은 칩 집착(DIE ATTACH)공정 과정과, 칩 내부의 외부연결단자와 리드프레임을 가는 금선으로 연결하여 주는 금속연결(WIRE BONDING) 공정 과정과, 연결 금선 부분을 보호하기 위해 화학수지로 밀봉해 주는 성형(MOLDING) 공정 과정과, 성형된 칩의 전기적 특성 및 기능을 컴퓨터로 최종 검사하는 최종 검사(FINAL TEST) 과정으로 이루어진다.

이러한, 반도체 소자의 제조 공정에는 다양한 제조 장비들이 이용되며, 제조 장비에는 공정의 안정성 등을 목적으로 안정성 센서( Safety Sensor)가 부착되어, 문제가 발생하면, 알람을 발생시키는 것이 일반적이다.

안정성 센서 중 제조 장비(Machine)의 전면(Front)부에 입/출입(In / Out) 포트의 좌/우측에 장착되어 제조 장비내로 캐리어의 로딩 또는 업로딩 작업 시에 외부의 저항을 받지 않도록 하는 인터 락(Inter-lock) 기능을 하는 센서가 있다.

도 1은 일반적인 안정성 센서를 구비하는 제조 장비를 개략적으로 설명하기 위한 블록 도면이다.

도 1을 참조하면, 제조 장비의 구동 또는 작업에 문제가 발생하면, 이를 센싱하는 안정성 센서로 구현되는 안정성 센서부(20)와, 제조 장비의 안정성 센서들의 센싱 상태에 따라 알람을 발생시키면서 제조 장비의 안정성 구동을 제어하는 센싱 보드(10)가 신호선으로 연결된다.

안정성 센서부(20)는 문제가 발생하면, 이를 센싱하여 센싱 신호를 센서 보드(10)로 전송하고, 센서 보드(10)는 센싱 신호에 따라 알람을 발생하고, 제조 장비에 문제가 발생하였음으로, 제조 장비를 일시 정시시킨다.

도 2는 일반적인 안정성 센서를 구비하는 제조 장비를 실례를 예시한 도면이다.

도 2에 예시된 바와 같이, 안정성 센서부(20)는 비접점 스위치 방식으로 위치 제어 센서로 구현될 수 있는 안정성 센서의 송신부(21) 및 수신부(22)가 구비될 수 있다.

안정성 센서의 송신부(21) 및 수신부(22)는 센싱 위치 상에 문제를 센싱하여 센싱 신호를 센서 보드(10)로 전송한다.

그러나, 도 2에 예시된 바와 같이, 안정성 센서를 구비하는 제조 장비는 캐리어를 로딩 또는 업로딩하기 위하여 포드(pod)가 돌출되거나, 포드 상에 작업자가 필요한 물품을 잠시 올려놓는 경우에도 알람 메시지를 발생시키는 동시에 제조 장비를 멈춰버리게 되어, 결과적으로, 작업 시간에 증가하게 되어 반도체 소자의 제조 효율이 저하된다.

즉, 표준 오픈 타입(normal Close Type)의 스위칭(Switching) 역할을 하는 안정성 센서는 자체적으로 감도 조절 및 동작의 온/오프(On / Off) 선택 기능이 없어, 상황에 따른 기능의 설정을 변화할 수 없으면, 상기 도 2에 예시된 바와 같이, 우측의 빈 포드가 앞으로 돌출되어 있을 경우 캐리어의 로딩 및 업로딩시 무조건 알람이 발생하게 된다.

따라서 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 안정성 센서가 구비되는 반도체 소자의 제조 장비에서 불필요하게 발생되는 알람을 전면 방지할 수 있어, 반도체 소자의 제조 효율을 극대화할 수 있는 반도체 소자 제조 시스템의 안정성 센싱 처리 장치를 제공하는 것에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따른 반도체 소자 제조 시스템의 안정성 센싱 처리 장치는, 안정성 센서로 구현되는 안정성 센서부와, 안정성 센서부로부터 발생되는 센싱 신호에 따라 알람을 발생시키고, 제조 장비를 일시 중지시키는 센서 보드와, 안정성 센서부와, 센서 보드 사이에 위치하며, 작업자의 선 택에 따라 센싱 신호의 전송을 온 또는 오프하는 스위칭부를 포함하는 반도체 소자 제조 시스템의 안정성 센싱 처리 장치.

본 발명에 따른 스위칭부는, 복수개의 스위치와, 발광 다이오드를 구비하며, 제 1 스위치의 일측 단자가 전원 공급기와 연결되고, 타측 단자가 발광 다이오드(PD)의 캐소드 단자에 연결되고, 발광 다이오드(PD)의 애노드 단자는 전원 공급기와 연결되며, 제 2 스위치의 양 단자는 센서 보드의 두 개 단자에 연결되는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 스위칭부는, 작업자가 센싱 신호가 전송되지 않는 오프 상태를 선택하면, 제 1 스위치가 온 상태가 되어, 발광 다이오드(PD)가 구동되고, 제 2 스위치가 온 상태가 되어 센서 보드의 자체 신호가 재입력되어 센서 보드가 정상 동작하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 따른 반도체 소자 제조 시스템의 안정성 센싱 처리 장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세 설명한다.

도 3은 본 발명의 바랍직한 실시예에 따른 안정성 센서를 구비하는 제조 장비를 개략적으로 설명하기 위한 블록 도면이다.

도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 제조 장비는 제조 장비의 안정성 센서들의 센싱 상태에 따라 알람을 발생시키면서 제조 장비의 안정성 구동을 제어하는 센싱 보드(100)와, 안정성 센서로 구현되는 안정성 센서부(200)와, 안정성 센서부(200)와 센서 보드(100)간 신호선 상에 위치하며, 안정성 센서부(200)에서 제조 장비의 문제를 센싱하여 센싱 보드(100)로 전송하는 센싱 신호의 전송을 온/오프하는 스위칭부(300)를 구비한다.

안정성 센서부(200)로 구현되는 안정성 센서는 다양한 근접 센서들이 모두 해당될 수 있다.

스위칭부(300)의 스위칭 상태는 작업자가 상황에 따라 선택할 수 있으며, 작업자가 온 상태를 선택하면, 안정성 센싱부(200)로부터 센서 보드(100)로 센싱 신호가 전송되도록 스위칭 온하고, 오프 상태가 선택되면, 안정성 센싱부(200)로부터 센서 보드(100)로 센싱 신호가 전송되지 않도록 스위칭 오프한다.

즉, 작업자는 작업 상황에 따라 스위칭부(300)의 스위칭 상태를 온/오프하여 불필요하게 알람이 발생하여 제조 장비가 일시 중지되는 것을 방지한다.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 안정성 센서를 구비하는 제조 장비를 예시하기 위한 회로 도면이다.

도 4에 예시된 바와 같이, 안정성 센서부(200)이 송신부 및 수신부에서 발생되는 센싱 신호는 신호선을 통해 스위칭부(300)로 인가되고, 스위칭부(300)는 스위칭 상태에 따라 센서 보드(100)와 연결되는 신호선을 통해 센싱 신호를 센서 보드(100)로 전송하거나, 전송하지 않는다.

즉, 안정성 센서부(100)(Operator I/L SNS)에서 센서 보드(100)(D/IN(A32) Board)로 들어가는 신호선(Signal Line)에 하드웨어 또는 소프트웨어로 구현될 수 있는 스위칭부(300)를 구비하여, 신호선을 통해 전송되는 센싱 신호의 전송을 온/오프 제어함으로써, 불필요한 알람 발생을 방지할 수 있다.

도 4에서 설명되지 않은 회로 소자는 제조 장비의 구동을 위한 소자들이다.

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 안정성 센서를 구비하는 제조 장비를 설명하기 위한 도면이다.

도 5를 참조하면, 제조 장비의 전면 패널 등과 같은 수단에 구동 전원(DC 5V)을 제공하는 전원 공급기(400)와, 전원 공급기(400)로부터 구동 전원이 인가되고, 센서 보드(10)와 연결되며, 복수개의 스위치(SW1, SW2)와, 발광 다이오드(PD)를 구비하는 스위칭부(300) 와, 센서 보드(100)를 포함한다.

스위칭부(300)의 제 1 스위치(SW1)는 일측 단자가 전원 공급기(400)와 연결되고, 타측 단자가 발광 다이오드(PD)의 캐소드 단자에 연결되고, 발광 다이오드(PD)의 애노드 단자는 전원 공급기(400)와 연결된다.

그리고, 제 2 스위치(SW2)는 센서 보드(100)의 단자부(110)의 두 개 단자와 연결되어 있다.

만약, 스위칭부(300)가 센싱 신호가 센서 보드(100)로 전송되지 않는 스위칭 오프되면, 즉, 제 1 스위치(SW1)와, 제 2 스위치(SW2)가 온 상태가 된다.

제 1 스위치(SW1)가 온 상태가 되면, 발광 다이오드(PD)에 구동 전원이 인가되어 발광하게 된다. 이때, 발광 다이오드(PD)는 스위칭부(300)의 상태를 표시하는 표시 수단으로, 발광되면, 스위칭 오프 상태이고, 발광하지 않으면, 스위칭 온 상태임이 표시된다.

그리고, 제 2 스위치(SW2)가 온 되면, 단자부(110)의 두 개의 단자가 상호 연결되어, 센서 보드(100)의 자체 신호가 센서 보드(100)로 재입력되어, 정상 동작 한다.

이상에서 본 발명은 기재된 구체 예에 대해서만 상세히 설명하였지만 본 발명의 기술 사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 안정성 센서가 구비되는 반도체 소자의 제조 장비에서 불필요하게 발생되는 알람을 방지할 수 있음으로, 반도체 소자의 제조 효율을 극대화할 수 있다.

그리고, 본 발명에 따른 작업자가 제조 장비에서 발생되는 알람을 선택적으로 방지할 수 있다.

Claims (3)

1. 반도체 소자 제조 시스템의 안정성 센싱 처리 장치에 있어서,

   안정성 센서로 구현되는 안정성 센서부와,

   상기 안정성 센서부로부터 발생되는 센싱 신호에 따라 알람을 발생시키고, 상기 제조 장비를 일시 중지시키는 센서 보드와,

   상기 안정성 센서부와, 상기 센서 보드 사이에 위치하며, 작업자의 선택에 따라 상기 센싱 신호의 전송을 온 또는 오프하는 스위칭부를 포함하는 반도체 소자 제조 시스템의 안정성 센싱 처리 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 스위칭부는,

   복수개의 스위치와, 발광 다이오드를 구비하며,

   제 1 스위치의 일측 단자가 전원 공급기와 연결되고, 타측 단자가 발광 다이오드(PD)의 캐소드 단자에 연결되고, 발광 다이오드(PD)의 애노드 단자는 전원 공급기와 연결되며, 제 2 스위치의 양 단자는 상기 센서 보드의 두 개 단자에 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 시스템의 안정성 센싱 처리 장치.
3. 제 1 항 또는 제 2항에 있어서, 상기 스위칭부는,

   작업자가 상기 센싱 신호가 전송되지 않는 오프 상태를 선택하면, 상기 제 1 스위치가 온 상태가 되어, 상기 발광 다이오드(PD)가 구동되고,

   상기 제 2 스위치가 온 상태가 되어 상기 센서 보드의 자체 신호가 재입력되어 상기 센서 보드가 정상 동작하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조 시스템의 안정성 센싱 처리 장치.

Images