KR100815450B1 - The tube feeding apparatus for vertical handler - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 튜브 피딩 구조는 소자 피딩부의 후단에 고정 형성되는 고정 플레이트와, 상기 고정 플레이트의 하단에서 후측으로 연장 형성되는 가이드와, 상기 가이드가 삽입되는 소정의 홀이 형성되는 운동 플레이트와, 상기 고정 플레이트의 하측에 형성되어 전후로의 움직임에 의하여 적층된 최 하단 튜브의 하단 위치가 가이드되는 튜브 받침구가 전면에 형성되는 받침구 제어부와, 상기 받침대 지지구의 상측에 형성되어 돌기에 의한 전후로의 움직임에 의하여 최하단 튜브의 직근 상측 튜브 위치가 지지되도록 하기 위한 제 1 적재 튜브 지지구와, 상기 고정 플레이트 및/또는 운동 플레이트의 상단에 일측이 소정의 힌지 구조로 결합되는 한 쌍의 회동바와, 상기 회동바의 타측에서 하측으로 연장 형성되는 한쌍의 가이드바와, 상기 회동바의 소정 위치에 수직으로 축 삽입되는 한쌍의 연결구와, 상기 한 쌍의 연결구의 소정 위치에 서로 반대방향으로 나사산이 형성되는 소정의 삽입홀에 삽입되며 양단부에는 반대 방향의 나사산이 형성되는 조절바가 포함되는 것을 특징으로 한다.The tube feeding structure of the vertical handler according to the present invention includes a fixed plate fixedly formed at the rear end of the element feeding unit, a guide extending from the lower end of the fixed plate to the rear side, and a movement plate having a predetermined hole into which the guide is inserted. And, the base plate formed on the lower side of the fixed plate is guided by the lower end of the lowermost tube laminated by the movement back and forth is formed on the front support base control unit, and formed on the upper side of the pedestal support by the projection A first stacking tube support for allowing the uppermost tube position of the lowermost tube to be supported by movement back and forth, and a pair of pivoting bars having one side coupled to a predetermined hinge structure on an upper end of the fixed plate and / or the movement plate; A pair of guide bars extending downward from the other side of the pivoting bar, It is inserted into a pair of connectors that are axially inserted into a predetermined position of the turning bar, and a predetermined insertion hole is formed in the opposite direction in the predetermined position of the pair of connectors, the opposite ends of the thread is formed It characterized in that the adjustment bar is included.
본 발명은 다양한 튜브의 폭 및 튜브의 전체 길이에 무관하게 편리하게 튜브를 적재할 수 있는 효과가 있다. The present invention has the effect that the tube can be conveniently loaded regardless of the width of the tube and the total length of the tube.
튜브, 피딩Tube, feeding
Description
도 1은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 사시도. 1 is a perspective view of a vertical handler according to the present invention.
도 2는 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 작동 상태를 설명하기 위한 블록도. 2 is a block diagram illustrating an operating state of the vertical handler according to the present invention.
도 3은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에 있어서 소자 피딩부의 확대 사시도. Figure 3 is an enlarged perspective view of the element feeding unit in the vertical handler according to the present invention.
도 4는 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에서 소자 이송부의 부분 확대도. 4 is a partially enlarged view of a device transfer unit in the vertical handler according to the present invention.
도 5는 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에서 소자 선별부의 동작을 설명하는 도면. 5 is a view for explaining the operation of the element selector in the vertical handler according to the present invention.
도 6은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에 있어서 소자 저장부의 확대 사시도. Figure 6 is an enlarged perspective view of the element storage in the vertical handler according to the present invention.
도 7은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 동작 방법을 설명하는 플로우 차트. 7 is a flowchart illustrating a method of operating a vertical handler according to the present invention.
도 8은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에 있어서 튜브 피딩부의 사시도.8 is a perspective view of the tube feeding unit in the vertical handler according to the present invention.
도 9는 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에 있어서 튜브 피딩부의 분해 사시도.Figure 9 is an exploded perspective view of the tube feeding portion in the vertical handler according to the present invention.
도 10은 본 발명에서 튜브 피딩부의 동작을 개념적으로 설명하는 도면.10 is a view conceptually illustrating the operation of the tube feeding unit in the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
100 : 튜브 피딩부 110 : 튜브 115 : 가이드100: tube feeding part 110: tube 115: guide
120 : 고정 플레이트 121 : 가이드 돌기 125 : 운동 플레이트120: fixing plate 121: guide protrusion 125: exercise plate
130 : 받침구 제어부 135 : 제 1 적재 튜브 지지구 130: support hole control unit 135: first loading tube support
165 : 튜브 받침구165: tube support
175 : 베이스 플레이트 185 : 조임나사175: base plate 185: tightening screw
200 : 소자 피딩부 300 : 소자 이송부200: element feeding unit 300: element transfer unit
400 : 소자 기록/검사부 500 : 소자 선별부400: device recording / testing unit 500: device selection unit
600 : 소자 저장부600: device storage unit
본 발명은 버티컬 핸들러(Vertical handler)의 튜브 피딩(feeding) 구조에 관한 것으로서, 보다 상세히는 반도체 소자가 적재되어 있는 튜브가 적층되어 놓이며, 상기 적층된 튜트의 최하단 튜브에서 반도체 소자가 모두 소진되는 경우에 새로운 튜브로 손쉽게 교체가능하며, 나아가 반도체 소자의 형상이나 튜브의 형상에 무관하게 어떠한 튜브라도 편리하게 적재할 수 있도록 하는 튜브 피딩 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a tube feeding structure of a vertical handler, and more particularly, to which tubes in which semiconductor elements are loaded are stacked, in which the semiconductor elements are exhausted in the lowest tube of the stacked tubes. In this case, the present invention relates to a tube feeding structure that can be easily replaced with a new tube, and furthermore, any tube can be conveniently loaded regardless of the shape of the semiconductor element or the tube.
버티컬 핸들러는 하측으로 경사져 형성된 슈트(Chute)에 가이드되어 반도체 소자가 낙하하며, 낙하하는 동안에 소정의 정지 동작 중에 반도체 소자가 멈추어져 소정의 데이터가 기록 및 테스트되고, 또한, 기록 및 테스트된 반도체 소자가 소정의 칩 저장부에 선별되어 저장되는 장치이다. 한편, 상기 버티컬 핸들러의 주된 기능은, 소정의 튜브에 저장되어 있는 반도체 소자에 데이터가 기록 및 테스트된 후, 배출되는 동작 중에 자동으로 선별이 이루어져 저장되도록 하는 것을 주된 목적으 로 한다.The vertical handler is guided by a chute formed to be inclined downward so that the semiconductor element falls, and the semiconductor element is stopped during a predetermined stop operation during the fall, and predetermined data is recorded and tested, and the recorded and tested semiconductor element Is a device that is selected and stored in a predetermined chip storage unit. On the other hand, the main function of the vertical handler, the data is recorded and tested in the semiconductor element stored in a predetermined tube, the main purpose is to be automatically sorted and stored during the discharge operation.
그러나, 종래의 버티컬 핸들러의 튜브 피딩 구조는 반도체 소자의 형상에 따라 각각의 개별적인 튜브 피딩 구조가 형성되어 있으며, 또한 각각의 반도체 소자의 형상에 맞게 형성된 튜브 피딩 구조가 개별적인 튜브에 맞추어서 개별적으로 교체되어야만 하는 문제점이 있었다.However, in the tube feeding structure of the conventional vertical handler, each individual tube feeding structure is formed according to the shape of the semiconductor element, and the tube feeding structure formed according to the shape of each semiconductor element must be replaced individually in accordance with the individual tubes. There was a problem.
또한, 종래의 버티컬 핸들러의 튜브 피딩 구조는 하나의 튜브가 이용되어 튜브에 적재된 모든 튜브가 공급된 후에는 새로이 튜브가 사용자에 의하여 교체되어야만 하는 불편한 점이 있었다. In addition, the tube feeding structure of the conventional vertical handler has a disadvantage that a new tube needs to be replaced by a user after all tubes loaded in the tube are supplied with one tube.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반도체 소자의 형상에 무관하게 어떠한 튜브라도 적재될 수 있는 버티컬 핸들러의 튜브 피딩 구조를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a tube feeding structure of a vertical handler which can be loaded with any tube regardless of the shape of a semiconductor device.
본 발명의 또 다른 목적은 튜브의 길이에 따라 가변되어 어떠한 튜브라도 손쉽게 적재될 수 있는 버티컬 핸들러의 튜브 피딩 구조를 제공하는 것을 목적으로 한다. It is a further object of the present invention to provide a tube feeding structure of a vertical handler which can vary depending on the length of the tube so that any tube can be easily loaded.
본 발명의 또 다른 목적은 적재된 모든 튜브에서 모든 반도체 소자가 공급될 때까지, 멈추지 않고 계속하여 동작될 수 있는 버티컬 핸들러의 튜브 피딩 구조는 제공하는 것을 목적으로 한다.It is another object of the present invention to provide a tube feeding structure of a vertical handler that can be operated continuously without stopping until all semiconductor elements are supplied in all loaded tubes.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 튜 브 피딩 구조는 소자 피딩부의 후단에 고정 형성되는 고정 플레이트와, 상기 고정 플레이트의 하단에서 후측으로 연장 형성되는 가이드와, 상기 가이드가 삽입되는 소정의 홀이 형성되는 운동 플레이트와, 상기 운동 플레이트의 하측에 형성되어 전후로의 움직임에 의하여 적층된 최 하단 튜브의 하단 위치가 가이드되는 튜브 받침구가 전면에 형성되는 받침구 제어부와, 상기 받침대 지지구의 상측에 형성되어 돌기에 의한 전후로의 움직임에 의하여 최하단 튜브의 직근 상측 튜브 위치가 지지되도록 하기 위한 제 1 적재 튜브 지지구와, 상기 고정 플레이트 및/또는 운동 플레이트의 상단에 일측이 소정의 힌지 구조로 결합되는 한 쌍의 회동바와, 상기 회동바의 타측에서 하측으로 연장 형성되는 한쌍의 가이드바와, 상기 회동바의 소정 위치에 수직으로 축 삽입되는 한쌍의 연결구와, 상기 한 쌍의 연결구의 소정 위치에 서로 반대방향으로 나사산이 형성되는 소정의 삽입홀에 삽입되며 양단부에는 반대 방향의 나사산이 형성되는 조절바가 포함되는 것을 특징으로 한다. The tube feeding structure of the vertical handler according to the present invention for achieving the above object is a fixed plate which is fixed to the rear end of the element feeding portion, a guide extending from the lower end of the fixed plate to the rear side, and the guide A support plate control part formed at a front surface of the exercise plate having a predetermined hole inserted therein, and a tube support hole formed at a lower side of the exercise plate and guided to a lower end position of the lowest tube stacked by moving forward and backward; A first loading tube support for forming the upper right end tube position of the lowermost tube by the movement back and forth by the projection formed on the upper side of the pedestal supporter, and one side of the fixed plate and / or the movement plate at one end by a predetermined hinge. A pair of pivot bars coupled to the structure, and from the other side of the pivot bars to the lower side A pair of guide bars extending in a direction, a pair of connecting holes axially inserted into a predetermined position of the pivoting bar, and a predetermined insertion hole in which threads are formed in opposite directions to each other at a predetermined position of the pair of connecting holes. Both ends are characterized in that it comprises a control bar that is formed with a thread in the opposite direction.
본 발명에 의하여 반도체 소자가 적재되는 튜브는 끊임없이 계속하여 공급되고, 또한 튜브의 형상에 무관하게 적재될 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, the tube on which the semiconductor element is loaded is continuously and continuously supplied, and there is an effect that the tube can be loaded regardless of the shape of the tube.
이하에서는 본 발명의 넓은 사상에 따른 구체적인 실시예를 설명하도록 한다. 그러나, 이미 공지된 바가 있는 기술에 대해서는 그 상세한 설명을 생략하도록 한다. Hereinafter will be described a specific embodiment according to the broad idea of the present invention. However, the description of the known techniques will be omitted.
도 1은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 사시도이다. 1 is a perspective view of a vertical handler according to the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 버티컬 핸들러는 내부에 다수의 반도체 소자가 일렬로 적재되는 다수의 튜브가 상하로 적층되어 반도체 소자가 연속적으로 배출되 도록 하기 위한 튜브 피딩부(100)와, 상기 튜브 피딩부(100)에서 일렬지어 연속적으로 배출되는 반도체 소자가 안정되게 하나씩 공급되도록 하기 위한 소자 피딩부(200)와, 반도체 소자에 데이터를 수록하고, 또한, 수록된 데이터의 정상적인 수록 여부가 확인되어 정상 또는 불량의 여부가 체크되도록 하기 위한 소자 기록/검사부(400)와, 상기 소자 피딩부(200)로 부터 상기 소자 기록/검사부(400)로 운반되도록 하고, 또한, 상기 소자 기록/검사부(400)에서 기록/검사된 반도체 소자가 배출되도록 하기 위한 소자 이송부(300)와, 상기 소자 기록/검사부(400)에서 배출되는 반도체 소자가 정상적으로 배출되어 정상 또는 불량의 여부에 따라 소정의 적재 구조에 저장되도록 하기 위한 칩 선별부(500)와, 상기 칩 선별부(500)로 부터 배출되는 반도체 소자가 소정의 적재 튜브에 저장되도록 하는 칩 저장부(600)가 포함된다. Referring to FIG. 1, the vertical handler of the present invention includes a
설명된 바와 같은 보다 상세히 설명하면, 상기 튜브 피딩부(100)는 소정의 가이드 구조에 의하여 튜브가 적재되며, 상기 튜브의 속에는 다수의 반도체 소자가 일렬로 삽입되어 있다. 그리고, 하나의 튜브 속에 삽입되어 있는 반도체 소자는 일렬로 연속적으로 배출되는데, 상기 반도체 소자가 전부 배출된 뒤에는 소정의 센서에 의하여 최하층의 튜브는 낙하되고, 상기 최하층 튜브 바로 위의 튜브가 한 층 내려와, 내부의 적재구조에 삽입되어 있는 반도체 소자가 배출되도록 한다. In more detail as described, the
또한, 상기 소자 피딩부(200)는 상기 튜브 피딩부(100)로 부터 연속적으로 배출되는 반도체 소자가 스토퍼 구조에 의해 단속되어 한번의 클럭(핸들러가 동작되는 소정의 단위)에 하나의 반도체 소자만이 슈트에 의해 활강되도록 한다. 이와 같은 소자 피딩부(200)에 의하여 한번의 클럭에 하나의 반도체만이 활강됨으로써, 반도제 소자의 잼 현상이 효과적으로 억제될 수 있다. In addition, the
한편, 상기 소자 피딩부(200)의 하단에는 걸림턱이 형성되어 활강된 반도체 소자가 정지상태에서 대기하게 된다. Meanwhile, a locking step is formed at the lower end of the
또한, 상기 소자 이송부(300)는 상기 걸림턱에서 정지하여 대기하고 있는 반도체 소자가 흡입력에 의하여 부착되고, 상하로의 동작 및 좌우로의 동작에 의하여 부착된 반도체 소자가 외부로부터의 방해없이 소자 기록/검사부(400)로 이송될 수 있도록 한다. In addition, the
또한, 상기 소자 기록/검사부(400)는 아이씨 소켓(IC Socket) 및 소정의 푸쉬 구조가 포함되어, 아이씨 소켓에 적재되는 반도체 소자의 리드가 반도체 소자 소켓에 고정된 상태에서 데이터가 기록/검사되도록 한다.In addition, the device recording /
또한, 상기 소자 선별부(500)는 데이터가 수록된 반도체 소자가 상기 소자 기록/검사부(400)로부터 상기 칩 이송부(300)에 의해 배출된 뒤에, 적재 튜브의 용량 및 정상/불량의 여부에 따라 적절한 위치에 반도체 소자가 놓일 수 있도록 한다. 그리고, 상기 소자 선별부(500)는 좌우로 움직이는 선형 모드로서, 적절한 위치에 놓인 뒤에 반도체 소자가 지지되는 걸림턱이 개방되도록 함으로써, 자중에 의하여 반도체 소자가 낙하되도록 한다. In addition, the
또한, 상기 소자 저장부(600)는 낙하되는 반도체 소자의 개수가 센서에 의하여 확인되는 상태에서 동작됨으로써, 계속해서 낙하되는 반도체 소자의 개수가 확인되어, 적재 튜브에 반도체 소자가 적재된 정도가 확인될 수 있도록 한다. 한편, 상기 소자 저장부(600)에 형성되는 소정의 최소한 하나 이상의 튜브에는 기록 상태가 불량인 반도체 소자가 저장되도록 하는 것이 바람직하다. In addition, the
도 2는 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 작동 상태를 설명하기 위한 블록도이다. 2 is a block diagram illustrating an operating state of the vertical handler according to the present invention.
도 2를 참조하여 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 구성을 설명하면, 버티컬 핸들러의 내부 구성은 전체로서 버티컬 핸들러가 제어되도록 하기 위한 마이크로 콘트롤러(10)와, 상기 마이크로 콘트롤러(10)에 의해 제어되어 소정의 데이터가 입력또는 테스트되도록 하기 위한 프로그램부(20)와, 상기 마이크로 콘트롤러(10)에 의해 제어되어 상기 소자 이송부(300) 및 소자 선별부(500)가 적절히 제어되어 동작되도록 하기 위한 모터 구동부(30)와, 상기 프로그램부(20)로 기록하고자 하는 데이터가 전송되고, 또한 기록된 데이터의 정상 여부가 판별되도록 하기위한 퍼스널 컴퓨터(80)가 주요한 구성으로 포함된다. Referring to FIG. 2, the configuration of the vertical handler according to the present invention will be described. The internal configuration of the vertical handler is controlled by the
보다 상세히, 상기 프로그램부(20)는 반도체 소자에 소정의 데이터가 수록되도록 하기위한 프로그램 입력부(21)와, 입력된 데이터의 정상 여부가 판별되도록 하기 위한 테스트부(22)가 포함된다. In more detail, the
보다 상세히, 상기 마이크로 콘트롤러(10)는 상기 프로그램 입력부(21)가 제어되도록 하기 위한 프로그램 제어부(11)와, 상기 테스트부(22)가 제어되도록 하기 위한 테스트 제어부(12)와, 핸들러의 동작이 제어되도록 하기 위한 지지 제어부(13)가 포함된다. In more detail, the
보다 상세히, 상기 모터 구동부(30)는 상기 소자 이송부(도 1의 300참조)와 상기 소자 선별부(500)가 적절히 구동되도록 하기 위하여, 상기 기기제어부(13)로 부터의 제어 신호에 의해 적절히 구동되도록 하는 모터 콘트롤러(31a)(31b)와, 모터가 구동되도록 하기 위한 드라이버(32a)(32b)와, 모터가 포함되어 소정의 선형 동작이 이루어져 소자 이송 구동부(33a)와 소자 선별 구동부(33b)가 포함된다. In more detail, the
한편, 상기 기기제어부(13)에 의해 제어되는 구성요소로는 진공 상태의 조성을 위한 펌프가 최소한 포함되는 압력기기(40)와, 반도체 소자의 위치가 확인되도록 하기 위한 센서부(50)와, 반도체 소자가 정상적으로 기록되지 못한 경우에, 해당되는 소자를 따로이 수납되어 기록이 삭제되도록 하기 위한 프로그램 이레이저(Program Eraser)(60)와, 반도체 소자에 정상적으로 데이터가 기록된 경우에 반도체 소자에 일정의 라벨이 찍히도록 하기 위한 라벨 프린터(70)와, 상기 소자 피딩부(200)가 동작되도록 하기위한 스토퍼 제어부(90)가 각각 포함된다. On the other hand, the components controlled by the
도 3은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에 있어서 소자 피딩부의 확대 사시도이다. 3 is an enlarged perspective view of an element feeding unit in the vertical handler according to the present invention.
도 3을 참조하면, 반도체 소자의 진행 방향을 기준으로 하측으로 기울어지며 형성되는 슈트(Chute)(210)와, 상기 슈트(210)의 이격된 상측에 형성되어 자중에 의하여 하측으로 진행되는 반도체 소자가 멈추도록 하기 위한 제 1 스토퍼(215) 및 상기 제 1 스토퍼(215)의 하측에 형성되는 제 2 스토퍼(220)와, 상기 제 1 스토퍼(215)의 직근 상측에서 슈트(210)의 측면에 형성되어 반도체 소자의 존재 여부가 감지되도록 하기 위한 소자 소진 센서(225)와, 소자 피딩부(도 1의 200참조)의 최하단에 형성되어 하나씩 공급되는 반도체 소자의 위치가 일정 시간 동안 유지 되어 소자 이송부(300)에 의해 이송될 수 있도록 하기 위한 걸림판(235)과, 상기 걸림판(235)의 측면 슈트(210)에 형성되어 상기 걸림판(235)에 반도체 소자가 위치되는 지의 여부가 확인되도록 하기 위한 제 1 위치 센서(230)가 포함된다. Referring to FIG. 3, a
상기 제 1 스토퍼(215) 및 제 2 스토퍼(220)는 솔레노이드또는 공기압에 의한 피스톤과 같은 소정의 푸쉬수단에 의하여 상하로 선형 운동하게 된다. 또한, 상기 스토퍼(215)(220)의 하단이 슈트(210)의 상면 또는 반도체 소자의 상면에 닿아 스토퍼(215)(220)의 하측에 놓이는 반도체 소자의 진행이 방해되어 하측으로 내려가지 않도록 한다. The
상기 소자 피딩부(200)의 동작을 설명하도록 한다. The operation of the
상기 스토퍼(215)(220)는 상하 방향으로 선형동작에 의해 하측에 놓이는 반도체 소자가 멈추게 되는 것을 살필 수 있다. The
또한, 상기 소자 소진 센서(225)는 상기 제 1 스토퍼(215)의 상측에 놓이는 센서로서, 슈트(210)의 양측에 형성되어 하나의 튜브로부터 공급되는 반도체 소자가 모두 소진되면 이를 감지하여 또 다른 튜브로 교체되도록 한다. In addition, the
또한, 상기 제 1 위치 센서(230)는 슈트(230)의 하단에 형성되어 반도체 소자가 걸려있는 상태를 감지하여 반도체 소자가 하나씩 적절히 공급될 수 있도록 한다. 그리고, 제 2 위치 센서에 반도체 소자가 감지되지 않는 경우에는 다수의 반도체 소자에 잼(Jam)이 발생된 것으로서, 핸들러에 고장이 발생된 것으로 핸들러가 급 정지되도록 하는 인터럽트신호가 발생되도록 한다. In addition, the
도 4는 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에서 소자 이송부의 부분 확대도이다. 4 is a partially enlarged view of a device transfer unit in the vertical handler according to the present invention.
도 4를 참조하면, 상기 소자 이송부(300)는 진공의 공기압에 의해서 반도체 소자가 흡착되도록 하기 위한 제 1 흡착부재(310) 및 제 2 흡착부재(315)와, 상기 흡착부재(310)(315)가 단부에 지지되는 이송 지지대(320)와, 이송 지지대(320)의 일측 면의 하측에 형성되어 이송 지지대(320)가 상하 및 좌우로 동작가능토록 하기위한 상하 픽업부(325)가 포함된다. Referring to FIG. 4, the
보다 상세히, 상기 상하 픽업부(325)는 상하로 움직이며 제 1, 2 흡착부재(310)(315)가 상하로 움직이며, 반도체 소자가 흡착되며 이송될 수 있도록 한다. 그리고, 상기 상하 픽업부(325)의 동작은 공기압에 의한 푸쉬에 의해서 이루어진다.In more detail, the
한편, 상기 상하 픽업부(325)의 하측에는 타이밍 벨트 및 모터가 포함되는 선형 동작 기구가 형성되어 상기 상하 픽업부(325)가 좌우로 동작될 수 있도록 한다. 그리고, 상기 상하 픽업부(325)에 있어서 좌우로의 동작은 모터 구동부(도 2의 30참조)의 제어에 의해서 이루어진다.Meanwhile, a linear operation mechanism including a timing belt and a motor is formed below the upper and
도 5는 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에서 소자 선별부의 동작을 설명하는 도면이다. 5 is a view for explaining the operation of the element selector in the vertical handler according to the present invention.
도 5를 참조하면, 상기 소자 선별부(500)는 상기 소자 기록/검사부(400)에서 반도체 소자에 데이터가 기록 및 검사된 후에 배출되면, 반도체 소자의 정상 및 불량의 여부가 확인되어 적절하게 배출되도록 하는 것으로서, 하측에 타이밍 벨트 및 모터가 포함되는 소정의 선형 동작 기구가 형성되어 전후로 움직이게 되는 베이스와(525), 상기 베이스(525)의 상면에 형성되어 반도체 소자의 진행이 가이드되도록 하는 슈트(520)와, 반도체 소자가 배출되기 전까지 움직이며 동요되지 않도록 하기 위하여 소자 선별부(500)의 하측 단부에 형성되는 제 3 스토퍼(510)와, 제 3 스토퍼(510)에 의하여 반도체 소자가 멈추어진 것이 확인되도록 하기위한 제 2 위치 센서(515)가 포함된다. Referring to FIG. 5, when the
상기 소자 선별부(500)의 동작을 설명하면, 상기 베이스(525)는 베이스(525)의 하측에 형성되며 상기 모터 구동부(도 2의 30참조)의 소자 선별 구동부(도 2의 33c참조)에 의하여 구동되는 모터 및 상기 모터와 연결되는 타이밍 벨트에 의하여 전후로 동작된다. Referring to the operation of the
설명된 바와 같은 동작을 참조하면, 상기 소자 이송부(300)에 의하여 이송된 반도체 소자는 상기 슈트(520)의 상단에 놓인 뒤에 슈트(520)에 의하여 가이드되어 하측으로 이동되며, 이동되는 중에 슈트(520)의 하단에 형성된 제 3 스토퍼(510)에 걸려 진행이 멈추어지게 된다. Referring to the operation as described, the semiconductor element transferred by the
또한, 제 3 스토퍼(510)에 반도체 소자가 걸린 후에는, 베이스(525)가 이동되어 적절한 위치까지 이동된다. 적절한 위치로 베이스(525)가 이동된 뒤에는 상기 제 3 스토퍼(510)가 개방되어 반도체 소자가 소자 저장부(600)로 배출된다. In addition, after the semiconductor element is caught by the
도 6은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에 있어서 소자 저장부의 확대 사시도이다. 6 is an enlarged perspective view of an element storage unit in the vertical handler according to the present invention.
도 6을 참조하면, 상기 소자 선별부는 기록/검사된 반도체 소자가 저장되도록 하기 위한 다수의 튜브가 삽입되는 튜브 삽입홈(610)과, 상기 튜브 삽입홈(610)에 삽입된 튜브의 위치가 고정되도록 하기위한 조임 부재(615)와, 상기 튜브 삽입 홈(610)을 따라 삽입 저장되는 반도체 소자가 저장되어 저장될 수 있는 용량이 가득 찬 경우에는 더이상 삽입되지 않도록 하기 위하여 저장되는 반도체 소자의 개수가 카운터되도록 하기 위한 카운터 센서(620)가 포함된다. Referring to FIG. 6, the device sorting unit may include a
상기 카운터 센서(620)에 의하여 저장되는 반도체 소자의 개수가 용량을 초과하는 경우에는, 상기 기기 제어부(13)에 의하여 제어되는 소자 선별 구동부(33c)에 의하여 더 이상 해당되는 튜브 삽입홈(610)으로는 상기 베이스(도 5의 525참조)가 진행되지 않도록 하는 것이다. When the number of semiconductor elements stored by the
도 7은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 동작 방법을 설명하는 플로우 차트이다. 7 is a flowchart illustrating a method of operating a vertical handler according to the present invention.
도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 핸들러는 상기 튜브 피딩부(100)에서 연속적으로 일렬로 정렬된 튜브에 의하여 반도체 소자가 공급되는 것을 상정한다. 반도체 소자가 일렬로 공급된 상태에서 먼저 상기 제 1 스토퍼(215) 및 제 2 스토퍼(220)가 모두 하측으로 이동되어 반도체 소자의 진로가 저지되도록 한다(ST 100). 그리고, 반도체 소자가 상기 제 1 스토퍼(215)에 의하여 저지된 후에는 제 1 스토퍼(215)의 개방에 의하여 반도체 소자가 슈트를 따라 이동되도록 한다(ST 110). 그리고, 제 1 스토퍼(215)는 저지되고, 제 2 스토퍼(220)는 개방되도록 하여 반도체 소자가 하나씩 공급되도록 한다(ST 120). 그리고, 상기 제 2 스토퍼(220)가 저지되어 또 다른 하나의 반도체 공급을 대비하도록 한다(ST 130). Referring to FIG. 7, the handler according to the present invention assumes that the semiconductor device is supplied by a tube continuously arranged in a line in the
상기 단계에 의하여 반도체 소자가 하나씩 공급된 후에는, 반도체 소자가 상기 소자 이송부(300)에 의하여 소자 기록/저장부(400)로 이송되는데, 이때 상기 소 자 이송부(300)는 두 개의 흡착부재(310)(315)가 구비되어 하나의 반도체 소자가 제 1 흡착부재(310)에 의하여 소자 기록/검사부(400)로 이송되는 중에, 제 2 흡착부재(315)는 소자 기록/검사부(400)로부터 이미 기록 및 검사 과정이 끝난 또 다른 하나의 반도체 소자가 상기 소자 선별부(500)로 이송되도록 한다(ST 140).After the semiconductor elements are supplied one by one in this step, the semiconductor elements are transferred to the element recording /
그리고, 반도체 소자에 소정의 데이터가 기록/저장 완결된 뒤에는 정상 또는 불량이 판단되어, 정상/불량에 따라 반도체 소자가 선별되도록 한다(ST 150). After the predetermined data has been recorded / stored in the semiconductor device, normal or bad is determined, and the semiconductor device is sorted according to normal / bad (ST 150).
반도체 소자가 선별된 뒤에는 반도체 소자가 소정의 튜브에 저장됨으로써, 반도체 소자의 기록/검사가 완결된 소자는 저장되며 핸들러에 의한 모든 공정이 종료된다(ST 160).After the semiconductor device is selected, the semiconductor device is stored in a predetermined tube, whereby the device having completed recording / inspection of the semiconductor device is stored and all processes by the handler are completed (ST 160).
한편, 상기된 바와 같은 버티컬 핸들러의 구동 방법 중에 상기 소자 소진 센서(225)에 의하여 반도체 소자의 소진이 감지된 경우에는, 튜브 피딩부(100)에 소정의 신호가 인가되도록 하여, 새로운 튜브가 교체되도록 한다. Meanwhile, when exhaustion of the semiconductor device is detected by the
또한, 상기 제 1 위치 센서(230) 또는 제 2 위치 센서(515)(230)에 의하여 반도체 소자의 잼(Jam)이 감지되는 경우에는 소정의 경보 신호가 발생되도록 하며, 또한, 버티컬 핸들러의 동작이 정지 또는 종료되도록 하여 계속적으로 발생되는 핸들러의 보다 큰 고장이 방지되도록 한다. In addition, when the jam of the semiconductor device is detected by the
도 8은 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에 있어서 튜브 피딩부의 사시도이고, 도 9는 본 발명에 따른 버티컬 핸들러에 있어서, 튜브 피딩부의 분해 사시도이다. 8 is a perspective view of a tube feeding part in the vertical handler according to the present invention, and FIG. 9 is an exploded perspective view of the tube feeding part in the vertical handler according to the present invention.
도 8 및 도 9를 참조하면, 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 튜브 피딩부는 튜브(110)와, 상기 소자 피딩부(도 1의 200참조)의 후단에 고정 형성되는 고정 플 레이트(120)와, 상기 고정 플레이트(120)의 하측에서 후측으로 연장 형성되는 한 쌍의 가이드(115)와, 상기 가이드(115)의 후측에 하단이 삽입형성되는 운동 플레이트(125)와, 상기 운동 플레이트(125)의 하측에 고정 형성되는 베이스 플레이트(175)와, 상기 베이스 플레이트(175)의 상측에 놓여 적층된 다수의 튜브(110)중 최하단의 튜트(110)가 지지되도록 하기위한 받침구 제어부(130)와, 상기 받침구 제어부(130)의 앞쪽에 형성되어 소정의 푸쉬 수단에 의하여 밀리거나 당겨져 최하단의 튜브(110)가 걸려 지지되도록 하거나, 아래로 떨어져 제거되도록 하기 위한 제 1, 2 튜브 받침구(165)와, 최하단에 위치되는 튜브의 직근 상측의 튜브가 지지되며 소정의 신호에 의해 전단에 형성되는 소정의 스위치가 왕복동 운동하여 튜브가 지지되거나 이탈되도록 하기위한 제 1 적재 튜브 지지구(135)와, 상기 운동 플레이트(125)가 상기 가이드(115)에 고정되며, 상기 튜브(110)의 사양에 맞추어 운동 앞뒤로 운동가능 하도록 하기위하여 상기 운동 플레이트(125)의 하단에 형성되는 조임나사(185)가 포함된다. 8 and 9, the tube feeding part of the vertical handler according to the present invention includes a
한편, 상기 고정 플레이트(120) 측에는 튜브(110)의 좌우 양측이 지지되도록 하기 위한 소정의 지지 구조가 형성되는데, 이러한 지지구조는 운동 플레이트(125)측과 고정 플레이트(120)측이 동일하므로, 고정 플레이트(120)측에 대해서만 설명하도록 한다. On the other hand, the fixed
상기 고정 플레이트(120)의 상단과 소정의 힌지 구조를 형성하며 후측으로 연장 형성되는 제 1 회동바(145a) 및 제 2 회동바(145b)와, 상기 회동바(145a)(145b) 상의 소정 위치에서 상측으로 연장 형성되는 제 1 연결구(150a) 및 제 2 연결구(150b)와, 상기 제 1 연결구(150a) 및 제 2 연결구(150b)의 대향되는 위치에 형성되는 소정의 삽입홀에 삽입되는 조절바(155)와, 상기 제 1 회동바(145a) 및 제 2 회동바(145b)의 끝단부에서 하측으로 연장 형성되어 상기 튜브(110)의 양측이 가이드되도록 하기위한 제 1 가이드바(160a) 및 제 2 가이드바(160b)가 포함된다. A
또한, 상기 고정 플레이트의 중심부에서 자중에 의하여 튜브(110)가 아래로 떨어지지 않도록 하는 지지판으로서 튜브 고정판(170)이 더 형성될 수도 있다. 다만, 상기 튜브 고정판(170)은 고정 플레이트(120)의 가공 상의 문제로 인하여 발생하게 되는 개구부가 막혀지도록 하기위한 것으로서, 개구부가 원래 없거나, 막혀질 수 있는 또 다른 구성이 채용된다고 하더라도 본 발명 본래의 효과에는 무관하다. 그리고, 상기 튜브 받침구(165)가 당겨져 최하단의 튜브가 떨어지는 경우, 튜브가 수납되도록 하기 위한 소정의 튜브 저장구(180)가 더 포함된다. In addition, the
또한, 상기 제 1 적재 튜브 지지구(135)와 대칭되어, 최하단 튜브의 직근하는 상측의 튜브가 안정되게 고정되도록 하기위한 제 2 적재 튜브 지지구(140)가 포함된다. 다만, 상기 제 2 적재 튜브 지지구(140)가 삭제된다고 하더라도, 튜브가 순차적으로 공급되도록 하는 본 발명의 효과에는 차이가 없으며, 다만, 튜브의 이동 시에 발생될 수 있는 진동이 억제되도록 함으로써, 튜브 피딩 구조가 보다 안정되게 동작가능한 효과가 있다.In addition, a second
또한, 상기 고정 플레이트(120)의 하측에는 최하단 튜브의 전단이 지지되도록 하기 위하여, 튜브의 대략 중심부 하측에 오목하게 형성되는 홈이 삽입될 수 있 는 가이드 돌기(121)가 형성되어 튜브의 위치가 보다 정확하게 가이드되도록 할 수도 있다.In addition, in order to support the front end of the lowermost tube at the lower side of the fixing
한편, 상기 조절바(155)의 양단에는 소정의 나사부가 형성되며, 조절바(155) 양단의 나사부는 일측이 왼나사이면, 타측은 오른 나사로 되는, 조절바(155) 양단의 나사 형상이 반대 방향을 지시하도록 한다. 또한, 조절바(155)의 양단이 삽입되는 제 1, 2 연결구(150a)(150b)를 관통하여 형성되는 삽입홀 또한 양측의 삽입홀이 반대되는 방향의 나사산으로 형성되도록 한다. 그리고, 상기 연결구(150a)(150b)는 상기 회동바(145a)(146b)에 대하여 축 삽입으로 결합되어 자유로이 회전가능한 구성을 취하고 있는데, 이러한 구성으로 인하여 제 1, 2 회동바(145a)(145b)가 회전된다고 하더라도, 조절바(155)의 회전동작에는 어떤 무리도 없다.On the other hand, both ends of the
이와 같이 조절바(155) 양단에 위치하는 한 쌍의 나사형상 및 제 1, 2 연결구(150a)(150b)에 형성되는 삽입홀 각각이 서로 반대되는 방향으로 나사산이 형성되도록 함으로써, 조절바(155)가 일방향으로 회전되면 제 1, 2 회동바(145a)(145b)가 서로 좁혀지거나 넓어지게 됨으로써, 제 1, 2 가이드바(160a)(160b)에 삽입되는 튜브의 폭이 보다 편리하게 조정될 수 있다. As such, a pair of screw shapes positioned at both ends of the
보다 상세히는, 일 방향으로 조절바(155)가 회전됨으로써 제 1, 2 가이드바(160a)(160b)가 일제히 서로 좁혀져 폭이 좁은 튜브가 삽입되도록 할 수도 있고, 또 다른 방향으로 조절바(155)가 회전됨으로써 제 1, 2 가이드바(160a)(160b)가 일제히 서로 넓혀져 폭이 보다 넓은 튜브가 삽입되도록 할 수 있다.
In more detail, the first and
설명된 바와 같은 구성을 참조하여, 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 튜브 피딩부의 동작을 설명하도록 한다. With reference to the configuration as described, it will be described the operation of the tube feeding portion of the vertical handler according to the present invention.
본 발명에 적용되는 상기 튜브는 고정 플레이트(120)와 운동 플레이트(125)에 대칭으로 형성되는 상기 제 1 가이드바(160a)와 제 2 가이드바(160b)의 범위 안에 튜브의 양측단이 가이드될 수 있는 범위 내에 놓일 수 있다. The tube applied to the present invention may be guided at both ends of the tube in the range of the
또한, 본 발명에 적용되는 튜브가 적층될 수 있는 높이는 튜브의 상하 높이가 합하여진 높이가 상기 가이드(115)로부터 제 1, 2 가이드바(160a)(160b) 상단까지의 거리를 초과하지 않는 범위 내에서 적층될 수 있다. In addition, the height that can be stacked in the tube applied to the present invention is a range in which the height of the upper and lower heights of the tube does not exceed the distance from the
또한, 본 발명에 적용되는 튜브의 길이는 상기 고정 플레이트(120)와 상기 운동 플레이트(125) 사이에서 형성될 수 있는 간격의 범위 내에서 놓일 수 있다. 결국, 본 발명에 적용될 수 있는 튜브의 길이는, 상기 운동 플레이트(125)가 움직이도록 하여, 전후로 움직이도록 하여 놓인 위치의 범위 내에서 형성되는 고정 플레이트(120)와 베이스 플레이트(175)의 간격이 되는 것이다. 그러므로, 상기 운동 플레이트(125)가 전후로 움직이는 동작 중에 형성되는 고정 플레이트(120)와 운동 플레이트(125)사이의 간격이 튜브가 놓일 수 있는 전체 길이가 되며, 튜브가 놓일 수 있는 길이는 조임나사(185)의 풀고 조임에 의하여 조정될 수 있는 것이다. In addition, the length of the tube applied to the present invention may be placed within the range of the gap that can be formed between the
한편, 적층 형성된 튜브가 차례대로 공급 또는 제거되는 동작을 설명하도록 한다. On the other hand, it will be described an operation in which the laminated tube is sequentially supplied or removed.
최 하단의 튜브로부터 모든 반도체 소자가 소진되어 튜브가 비어지면, 상기 소자 소진 센서(도 3의 225참조)에 의하여 최하단 튜브로 부터의 반도체 소진이 감 지되어 마이크로 콘트롤러(10)에 전달되며, 마이크로 콘트롤러(10)의 제어에 의하여 받침구 제어부(130)가 구동되어, 상기 튜브 받침구(165)가 후퇴된다. When all the semiconductor elements are exhausted from the bottommost tube and the tubes are empty, the semiconductor exhaustion from the bottommost tube is sensed by the element exhaust sensor (see 225 of FIG. 3) and transmitted to the
상기 튜브 받침구(165)의 후퇴에 의하여 최하단에 적층된 튜브가 아래로 떨어져, 상기 튜브 저장구(180)에 수납된다. Due to the retreat of the
최하단의 튜브가 이탈된 후에는 튜브 받침구(165)가 다시 전진하여 또 다른 튜브가 놓일 수 있도록 한다.After the lowermost tube is dislodged, the
그리고, 상기 마이크로 콘트롤러(10)의 제어에 의하여 제 1, 2 튜브지지구(135)(140)가 각각 후퇴되도록 하여 튜브의 지지구조가 제거됨으로써, 새로운 튜브에 적재되어 있는 반도체 소자가 공급되도록 한다. In addition, the first and second tube supports 135 and 140 are retracted by the control of the
한편, 상기한 바와 같은 구성을 취하는 버티컬 핸들러의 튜브 피딩 구조는 다양한 형상의 튜브가 적절히 적재될 수 있으며, 한번의 적재로 모든 튜브에 적재되어 있는 반도체 소자가 기록/검사될 때까지 핸들러의 동작 정지 없이 일괄적으로 동작될 수 있다.On the other hand, the tube feeding structure of the vertical handler having the configuration as described above can be appropriately stacked tubes of various shapes, the operation of the handler is stopped until the semiconductor element loaded on all tubes in one stack is recorded / inspected It can be operated in a batch without.
도 10은 본 발명에서 튜브 피딩부의 동작을 개념적으로 설명하는 도면이다. 10 is a view conceptually illustrating the operation of the tube feeding unit in the present invention.
도 10을 참조하면, 상기 튜브(110)는 상하로 다수가 적재된다. 그리고, 상기 튜브(110)중에서 최하단 튜브(110a)의 후단은 상기 받침구 제어부(130)에 의하여 동작되는 튜브 받침구(165)에 의하여 지지될 수 있으며, 상기 최하단 튜브(110a)의 전단은 상기 가이드 돌기(도 9의 121참조)에 지지됨으로써, 그 위치가 안정되게 유지될 수 있다. Referring to FIG. 10, a plurality of
그리고, 상기 최하단 튜브(110a)의 직근 상측에는 또 하나의 튜브(110b)가 형성되어 그 후단은 제 1 적재 튜브 지지구(135), 그 전단은 제 2 적재 튜브 지지구(도 9의 140참조)에 의하여 지지된다. 이러하 구성과 기 설명된 바와 같은 동작으로 튜브(110)의 공급은 원화히 이루어질 수 있다.In addition, another
본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 튜브 피딩 구조는 다양한 튜브의 폭 및 튜브의 전체 길이에 무관하게 편리하게 튜브를 적재할 수 있는 효과가 있다. The tube feeding structure of the vertical handler according to the present invention has the effect of conveniently loading the tubes regardless of the width of the various tubes and the entire length of the tubes.
또한, 본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 튜브 피딩 구조는 적재된 모든 튜브에서 모든 반도체 소자가 소진될 때까지 정상적으로 계속하여 동작됨으로써, 사용자는 보다 편리하게 핸들러를 조작할 수 있으며, 운전 중의 고장에 대응한 최소의 인원만이 투입되면, 핸들러가 정상적으로 동작될 수 있으므로, 결국에는 핸들러의 사용 효율이 높아지는 효과가 있다. In addition, the tube feeding structure of the vertical handler according to the present invention continues to operate normally until all the semiconductor elements are exhausted in all the loaded tubes, so that the user can operate the handler more conveniently, corresponding to a failure during operation. If only a small number of personnel are put in, the handler can be operated normally, and thus, the use efficiency of the handler is increased.
본 발명에 따른 버티컬 핸들러의 튜브 피딩 구조는 튜브의 폭에 맞추어 가이드 바의 양측단이 보다 편리하게 조정될 수 있으므로, 사용상의 편의성이 한층 더 높아지는 효과가 있다. In the tube feeding structure of the vertical handler according to the present invention, since both ends of the guide bar can be more conveniently adjusted according to the width of the tube, the convenience of use is further enhanced.
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