KR100808969B1 - 탄성 표면파 필터의 제작 방법 - Google Patents
탄성 표면파 필터의 제작 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (3)
- 임프린트를 도입하여 금속 세선을 형성하여 탄성 표면파 필터 소자를 제작하는 방법에 있어서,임프린트를 하기 위한 몰드를 제작하는 단계와,압전 기판 위에 제1 금속 박막을 증착하고 감광제를 도포하는 단계,상기 제작한 몰드의 패턴 부분이 압전 기판 위의 감광제와 마주하도록 접촉시키고 소정의 압력과 빛 또는 열을 가하는 단계,상기 몰드와 임프린트 된 감광제를 분리하는 단계,상기 임프린트 된 감광제를 마스크로 이용하여 압전 기판 위의 제1 금속 박막의 일부를 선택적으로 식각하여 제거하는 단계 및,남아 있는 감광제를 제거하여 탄성 표면파 필터의 패턴을 완성하는 단계를 포함하여 구성되고,상기 임프린트를 위한 몰드를 제작하는 방법은 반도체 기판에 제2 금속 박막을 증착한 뒤에 감광제를 도포하는 단계와, 상기 기판에 전자선 리소그라피를 이용하여 패턴을 묘사하는 단계, 감광제를 마스크로 이용하여 제2 금속 박막과 반도체 기판의 일부를 선택적으로 식각하여 제거하는 단계 및, 남아 있는 감광제를 제거하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터의 제작 방법.
- 삭제
- 제1항에 있어서,상기 제2 금속은 금(Au), 은(Ag), 또는 알루미늄(Al)인 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터의 제작 방법.
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