KR100808050B1 - 불화아르곤 노광원을 이용한 패턴 형성 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 소자 제조 방법에 관한 것으로, 특히 패턴의 변형을 최소화하며 좁은 패턴 형성을 가능하게 할 수 있는 불화아르곤 노광원을 이용한 패턴 형성 방법을 제공하기 위한 것으로, 이를 위해 본 발명은, 기판 상에 피식각층과 반사방지층을 차례로 형성하는 단계; 불화아르곤 노광원을 이용한 사진식각 공정을 실시하여 상기 반사방지층 상에 불화아르곤용 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 제1온도 조건을 유지하며, 상기 반사방지층을 선택적으로 식각하여 상기 피식각층 표면을 노출시키는 단계; 상기 제1온도 조건보다 상대적으로 높은 제2온도 조건을 유지하며, 상기 잔류하는 반사방지층을 마스크로 해서 상기 피식각층을 선택적으로 식각하는 단계를 포함하는 불화아르곤 노광원을 이용한 패턴 형성 방법을 제공한다.
불화아르곤, SAC, ArF, KrF, 불소계 가스, 전자빔 조사.
Description
도 1은 ArF 사진식각 공정을 사용하여 랜딩 플러그 콘택 형성시 줄무늬 모양 형태의 패턴 변형을 도시한 사진,
도 2는 LPC 공정시 주어진 조건 하에서 압력, 파워, 기판 온도 등의 변수에 따른 포토레지스트 패턴 변형 정도를 도시한 사진,
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일실시예에 따른 ArF 노광원을 이용한 패턴 형성 공정을 도시한 단면도,
도 4에 각각 도시된 본 발명의 ArF 사진식각 공정을 통한 패턴을 도시한 사진.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 기판 11 : 게이트전극
12 : 하드마스크 13 : 스페이서
14 : 피식각층 17 : 콘택홀
본 발명은 반도체 기술에 관한 것으로 특히, 불화아르곤(ArF) 노광원을 이용한 패턴 형성 방법에 관한 것이다.
반도체 소자의 진전을 지지해 온 미세 가공 기술은 사진식각(Photo lithography) 기술인 바, 이 기술의 해상력 향상이 반도체 소자의 고집적화의 장래와 직결된다고 해도 과언은 아니다
이러한 사진식각 공정은 주지된 바와 같이, 포토레지스트 패턴을 형성하는 공정과 상기 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 하는 식각 공정을 통해 피식각층을 식각해서 원하는 형태의 패턴 예컨대, 콘택홀 등을 형성하는 공정을 포함하는 바, 여기서 포토레지스트 패턴은 피식각층 상에 포토레지스트를 도포하는 공정과 준비된 노광 마스크를 이용해 포토레지스트를 노광하는 공정 및 소정의 화학용액으로 노광되거나, 또는 노광되지 않은 포토레지스트 부분을 제거하는 현상 공정을 통해 이루어진다.
DRAM(Dynamic Random Access Memory)을 핵심으로 하는 반도체 제품의 대량생산이 시작된 이후로 사직식각 기술 개발이 비약적으로 이루어져 왔다.
광학 사진식각 기술에서의 해상력은 노광원의 파장에 반비례 하는데 “단계와 반복” 의 노광방식을 채택한 초기의 스테퍼(Stepper)에서 사용한 광원의 파장은 436㎚ (g-line)에서 365㎚(i-line)을 거쳐 현재는 248㎚(KrF Excimer Laser) 파 장의 DUV(Deep Ultra-violet)를 이용하는 스테퍼나 스캐너 타입의 노광장비를 주로 사용하고 있다.
광 사진식각 기술은 그동안 0.6 mm 이상의 높은 구경수(Numerical Aperture) 렌즈와 하드웨어, 즉 구경, 맞춤, 등과 같은 노광장비 자체의 발전은 물론이고 CAR(Chemically Amplified Resist) 타입 포토레지스트와 같은 재료의 개발 그리고 공정 측면에서의 TLR(Tri Layer Resist), BLR(Bi-Layer Resist), TSI(Top Surface Imaging), ARC(Anti Reflective Coating), 마스크 면에선 PSM(Phase Shift Mask)과 OPC (Optical Proximity Correction) 등의 많은 기술개발들이 이루어져 왔다.
248㎚의 DUV 사진식각 기술은 초기에 시간 지연 효과, 기질 의존성 등과 같은 많은 문제들이 발생하여 0.18㎛ 디자인의 제품을 개발하였다. 그러나 0.15㎛ 이하의 디자인을 갖는 제품을 개발하기 위해서는 새로운 193㎚(ArF Excimer Laser)의 파장을 갖는 새로운 DUV 사진식각 기술로의 기술개발이 필수적이다. 그러나, 이러한 DUV 사진식각 기술에서 해상력을 높이기 위한 여러 기술을 조합한다 하여도 0.1㎛ 이하의 패턴은 불가능하므로 새로운 광원을 갖는 사진식각 기술의 개발이 활발히 진행되고 있다.
현재 가장 근접한 기술로는 전자 빔과 X-선을 광원으로 하는 노광장비 개발이 이루어져 있고, 그외에 약한 X-선을 S광원으로 하는 EUV (Extreme Ultraviolet) 기술이 개발되고 있다.
초기의 노광장비는 접촉프린터로서 기판 위에 바로 마스크를 대고 눈으로 마춘 후 노광하는 방식이였다. 이 기술이 조금 더 발전하여 마스크와 기판간의 갭을 줄여 해상력을 높였는데 갭의 차이에 따라 연접촉(Soft contact)과 경접촉(Hard contact)(10㎛ 이하) 등의 근접 프린터로 노광하게 된다.
그후, 꾸준한 발전을 통해 최근에는 KrF 레이저(λ=248㎚)를 광원으로 하는 노광장비의 개발과 포토레지스트의 발전 그리고 기타 부대기술의 향상으로 인하여 0.15㎛ 이하의 패턴도 가능하게 되었다.
현재는 ArF(불화아르곤) 레이저(λ=193㎚)로 하는 장비를 0.11㎛까지의 패턴을 목표로 개발하고 있다. DUV 사진식각 기술은 i-선 대비 해상도 및 DOF 등의 성능면에서 우수하지만, 공정제어가 쉽지 않다. 이러한 문제는 짧은 파장에서 기인된 광학적인 원인과 화학증폭형 포토레지스트의 사용에 의한 화학적인 원인으로 구분할 수 있다. 파장이 짧아지면 정지파 효과에 의한 CD 흔들림 현상과 기질 위상에 의한 반사광의 새김현상이 심해진다. CD 흔들림이란 입사광과 반사광의 간섭 정도가 포토레지스트의 미소한 두께 차이 또는 기질 필름의 두께차이에 따라 변함으로써 결과적으로 선 두께가 주기적으로 변하는 현상을 말한다. DUV 공정에서는 민감도 향상을 위해서 화학증폭형 포토레지스트를 사용할 수밖에 없는데, 그 반응메카니즘과 관련하여 PED(Post Exposure Delay) 안정성, 기질 의존성 등의 문제점이 발생하는 바, ArF 노광기술의 핵심 과제 중의 하나는 ArF용 포토레지스트의 개발이다. ArF는 KrF와 같은 화학 증폭형이지만 재료를 근본적으로 개량해야 하는 필요가 있기 때문인데, ArF용 포토레지스트 재료 개발이 어려운 것은 벤젠고리를 사용할 수 없기 때문이다. 벤젠고리는 건식 식각(Dry etching) 내성을 확보하기 위해 i-선 및 KrF 포토레지스트에 사용되어 왔다. 그러나, ArF 포토레지스트에 벤젠고리가 도 입될 경우 ArF 레이저의 파장영역인 193nm에서 흡광도가 크기 때문에 투명성이 떨어져 포토레지스트 하부까지 노광이 불가능한 문제가 발생한다. 이 때문에, 벤젠고리를 가지지 않고 건식 식각 내성을 확보할 수 있으며, 접착력이 좋고 2.38% TMAH에 현상할 수 있는 재료의 연구가 진행 되고 있다. 현재까지 세계적으로 많은 회사 및 연구소에서 연구성과를 발표하고 있는 상태이다. 하지만, 현재 상용화되어 있는 것으로는 COMA(CycloOlefin-Maleic Anhydride) 또는 아크릴레이드(Acrylate) 계통의 폴리머 형태, 또는 이들의 혼합 형태로서 이들은 상기한 바와 같은 벤젠 구조를 가지고 있다.
결국, 도 1에 도시된 바와 같이 ArF 노광원을 이용한 사진식각을 통해 랜딩 플러그 콘택(Landing Plug Contact; 이하 LPC라 함) 등의 공정 시 줄무늬 모양 형태의 패턴의 변형(Striation)이 일어나거나, SAC 식각 도중 PR이 뭉치거나(Cluster) 성형 변형(Plastic deformation)되는 현상과 SAC 식각 도중 PR의 내성이 약하여 한쪽으로 몰리는 현상이 발생하는 바, ArF 포토레지스트의 약한 내구성과 불소계 기체에서의 약한 물성적 특성을 보완하는 것이 시급한 과제이다.
상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 본 발명은, 패턴의 변형을 최소화하며 좁은 패턴 형성을 가능하게 할 수 있는 불화아르곤 노광원을 이용한 패턴 형성 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명은, 기판 상에 피식각층과 반사방지층을 차례로 형성하는 단계; 불화아르곤 노광원을 이용한 사진식각 공정을 실시하여 상기 반사방지층 상에 불화아르곤용 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 제1온도 조건을 유지하며, 상기 반사방지층을 선택적으로 식각하여 상기 피식각층 표면을 노출시키는 단계; 상기 제1온도 조건보다 상대적으로 높은 제2온도 조건을 유지하며, 상기 잔류하는 반사방지층을 마스크로 해서 상기 피식각층을 선택적으로 식각하는 단계를 포함하는 불화아르곤 노광원을 이용한 패턴 형성 방법을 제공한다.
바람직하게, 본 발명의 상기 제1온도 조건은 -40℃ ∼ 25℃ 이며, 상기 제2온도 조건은 30℃ ∼ 80℃인 것을 특징으로 한다.
본 발명은, COMA 또는 아크릴레이드 등의 ArF용 포토레지스트 패턴을 이용하여 패턴 형성할 때, 패턴 변형의 가장 큰 원인으로 작용하는 온도 조건을 적절히 유지 즉, 반사방지층의 식각시에는 저온 공정을 실시하고 피식각층의 식각시에는 상대적으로 고온공정을 실시함으로써, ArF용 포토레지스트 패턴의 변형을 최소화하도록 하는 것을 그 특징으로 한다.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 보다 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2는 LPC 공정시 주어진 조건 하에서 압력, 파워, 기판 온도 등의 변수에 따른 포토레지스트 패턴 변형 정도를 도시한 사진이다.
도 2를 참조하면, 26 mTorr의 압력과 50 mTorr의 압력 하에서의 패턴의 변화 모습을 비교하면, 50 mTorr에서 패턴 변형이 감소함을 알 수 있으며, 파워를 줄일 수록 패턴 변형이 개선된다.
한편, 온도의 경우 그 개선 특성이 두드러지게 나타나 0℃ 이하일 수록 패턴 변형이 거의 발생하지 않음을 알 수 있다.
즉, 본 발명은 패턴 변형의 주요 인자인 온도를 특히, 1차 식각단계인 반사방지층 식각 단계에서 저온 공정을 실시하며, 2차 식각 단계인 피식각층 식각 단계에서 상대적으로 고온 공정을 실시함으로써, 패턴 변형을 최소화하도록 하는 바, 이는 패턴의 변형은 두 식각 단계 중 특히 반사방지층을 식각하는 제1단계의 식각시 상대적으로 큰 영향을 받기 때문이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일실시예에 따른 ArF 노광원을 이용한 패턴 형성 공정을 도시한 단면도로서, 이를 참조하여 상세히 설명한다.
먼저 도 3a에 도시된 바와 같이, 반도체 소자를 형성하기 위한 여러 요소가 형성된 기판(10) 상에 폴리실리콘과 텅스텐 실리사이드 등의 실리사이드가 적층된 다수의 게이트전극(11)을 형성한다.
즉, 기판(10)과 게이트전극(11)의 접촉 계면에 게이트 산화막(도시하지 않음)을 형성하며, 게이트전극(11) 상에 후속의 자기 정렬 식각(Self align contact) 등에 의한 게이트전극의 손실을 방지하기 위한 질화막 등의 하드마스크(12)을 형성한다.
이어서, 게이트전극(11)을 포함한 기판 전면에 질화막 등의 스페이서용 절연막을 증착한 후 전면식각 공정을 통해 게이트전극(11) 측벽에 스페이서(13)를 형성한 다음, 전체 구조 상부에 예컨대, APL(Advanced Planarization Layer) 산화막, BPSG(Boro Phospho Silicate Glass), SOG(Spin On Glass) 또는 HDP(High Density Plasma) 산화막 등의 산화막으로 이루어진 피식각층(14)을 형성한다.
이어서, 피식각층(14) 상에 유기계열의 반사방지층(Organic Anti-Refrective Coating)(15)을 1000Å 내지 3000Å의 두께로 두껍게 형성한 후, 반사방지층(15) 상에 ArF용 포토레지스트를 도포한 다음, ArF 노광원을 이용한 사진식각 공정을 통해 포토레지스트 패턴(16)을 형성한다.
구체적으로, 반사방지층(15) 상에 COMA 또는 아크릴레이드 등의 ArF용 포토레지스트를 1000Å 내지 5000Å의 두께가 되도록 도포한 다음, 이 때, 식각에 따른 포토레지스트 패턴(16)의 내성을 강화시키기 위한 추가 공정으로 전자빔(Electron beam) 조사 또는 Ar 이온주입(Ion implantation) 등을 실시한 다음, 불화아르곤 노광원(도시하지 않음)과 소정의 레티클(도시하지 않음)을 이용하여 포토레지스트의 소정 부분을 선택적으로 노광하고, 현상 공정을 통해 노광 공정을 통해 노광되거나 혹은 노광되지 않은 부분을 잔류시킨 다음, 후세정 공정 등을 통해 식각 잔유물 등을 제거함으로써 포토레지스트 패턴(16)을 형성한다.
다음으로, 도 3b에 도시된 바와 같이 기판(10)의 온도를 저온으로 유지하며 반사방지층(15)을 선택적으로 식각하여 피식각층(14) 표면을 노출시킨다.
구체적으로, 기판(10) 온도를 -40℃ ∼ 25℃로 유지하며, O2, N2, CF4, C2F6, C4F6 및 C4F8로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함하는 플라즈마를 이용하여 반사방지층(15)을 선택적으로 식각하며, 이 때 포토레지스트 패턴(16)의 손상을 최소화할 수 있도록 시간을 적절히 조절한다.
다음으로, 도 3c에 도시된 바와 같이 기판(10)의 반사방지층(15) 식각시보다 상대적으로 고온으로 유지하며 포토레지스트 패턴(16)을 포함한 반사방지층(15)을 식각마스크로 하는 식각 공정으로 피식각층(14)을 선택적으로 식각한다.
구체적으로, 기판(10)의 온도를 30℃ 내지 80℃로 유지하여 실시하며, Ar, CH2F2, CF4, C2F6, C4F6 및 C4F8로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 이용한다.
여기서, 피식각층(14)의 일부를 식각할 때, 식각 타겟 선정은 게이트전극(11), 여기서는 하드마스크(12) 상에 형성된 피식각층(14)의 두께를 고려하여 결정하는 바, 본 발명의 실시예에서는 피식각층(14)을 선택적으로 식각하여 게이트전극(11) 사이의 기판(10) 표면을 노출시키는 콘택홀(17)이 형성된다.
이어서, 세정 공정을 통해 상기한 SAC 공정시 발생한 부산물인 폴리머 등을 제거한 다음, 반사방지층(15)과 포토레지스트 패턴(16) 제거를 통해 패턴 형성 공정이 완료된다.
여기서, 반사방지층(15)의 식각과 피식각층(16)의 식각은 동일 장비내 각각 다른 식각 챔버에서 진행하는 것이 바람직하며, 두 챔버간에는 로드락 시스템을 통해 진공파괴(Vacuum break)없이 공정이 이어진다.
따라서, 도 4에 각각 도시된 본 발명의 ArF 사진식각 공정을 통한 패턴 형성 공정 적용 후의 사진에 도시된 바와 같이 패턴 변형이 최소화 됨을 알 수 있다.
한편, 상기한 본 발명의 일실시에에서의 패턴은 I형의 고립된 패턴 또는 홀형태의 패턴 등을 모두 포함할 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명은, ArF 노광원을 이용한 사진식각 공정을 통한 패턴 형성시 ArF용 포토레지스트 패턴의 변형에 가장 큰 영향을 미치는 온도 조건을 패턴 변형에 가장 큰 식각단계인 1차 식각단계에서 저온으로 유지하며 공정을 진행한 다음, 2차 식각 단계에서는 이보다는 상대적으로 고온으로 식각 공정을 진행하여 포토레지스트 패턴의 손상을 방지할 수 있으며, 보다 미세한 패턴을 형성할 수 있음을 실시예를 통해 알아 보았다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
전술한 본 발명은, ArF 사진식각 공정에 따른 PR 패턴의 변형과 손실을 방지할 수 있게 함으로써, 소자의 집적도 및 공정 마진을 향상시킬 수 있는 탁월한 효과를 기대할 수 있다.
Claims (8)
- 기판 상에 피식각층과 반사방지층을 차례로 형성하는 단계;불화아르곤 노광원을 이용한 사진식각 공정을 실시하여 상기 반사방지층 상에 불화아르곤용 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계;상기 반사방지층을 선택적으로 식각하여 상기 피식각층 표면을 노출시키는 단계; 및상기 잔류하는 반사방지층을 마스크로 해서 상기 피식각층을 선택적으로 식각하는 단계를 포함하되, 상기 반사방지층의 식각은 상기 피식각층의 식각보다 낮은 온도에서 진행하는 불화아르곤 노광원을 이용한 패턴 형성 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 피식각층은 산화막을 포함하는 것을 특징으로 하는 불화아르곤 노광원을 이용한 패턴 형성 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 반사방지층의 식각은 -40℃ ∼ 25℃에서 진행하며, 상기 피식각층의 식각은 30℃ ∼ 80℃에서 진행하는 불화아르곤 노광원을 이용한 패턴 형성 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 반사방지층을 식각하는 단계에서 O2, N2, CF4, C2F6, C4F6 및 C4F8로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함하는 플라즈마를 이용하는 것을 특징으로 하는 불화아르곤 노광원을 이용한 패턴 형성 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 불화아르곤용 포토레지스트 패턴은 1000Å 내지 5000Å의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 불화아르곤 노광원을 이용한 패턴 형성 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 불화아르곤용 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계는,상기 반사방지층 상에 불화아르곤용 포토레지스트를 도포하는 단계;상기 불화아르곤용 포토레지스트의 식각 내성을 향상시키기 위해 전자빔 조사 또는 아르곤 이온주입을 실시하는 단계;불화아르곤 노광원을 이용한 사진식각 공정을 실시하여 상기 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 불화아르곤 노광원을 이용한 패턴 형성 방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 불화아르곤용 포토레지스트는 COMA(CycloOlefin-Maleic Anhydride) 또는 아크릴레이드(Acrylate)를 포함하는 것을 특징으로 하는 불화아르곤 노광원을 이용한 패턴 형성 방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 피식각층을 식각하는 단계에서 Ar, CH2F2, CF4, C2F6 , C4F6 및 C4F8로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나를 포함하는 플라즈마를 이용하는 것을 특징으로 하는 불화아르곤 노광원을 이용한 패턴 형성 방법.
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