KR100787228B1 - 2축 지자기 센서 및 그 제작방법 - Google Patents
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- (a) 제1 웨이퍼의 일 표면 상에 제1 지자기 센서를 형성하여 제1 지자기센서 파트를 제작하는 단계;(b) 제2 웨이퍼의 일 표면 상에 제2 지자기 센서를 형성하여 제2 지자기센서 파트를 제작하는 단계; 및,(c) 상기 제1 및 제2 지자기 센서가 상호 직교하게 배치되도록 상기 제1 및 제2 지자기센서 파트를 상호 접합 시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 2축 지자기 센서 제작 방법.
- 제1항에 있어서,상기 (c)단계는,상기 제1 웨이퍼의 표면 중 상기 제1 지자기 센서가 형성된 표면과, 상기 제2 웨이퍼의 표면 중 상기 제2 지자기 센서가 형성된 표면이 서로 마주보는 방향으로 배치되도록, 상기 제1 및 제2 지자기센서 파트를 접합시키는 것을 특징으로 하는 2축 지자기 센서 제작 방법.
- 제2항에 있어서,상기 제1 웨이퍼의 일 표면 상의 제1 지자기 센서와 연결되며, 상기 제1 웨이퍼의 타표면까지 연결되는 제1 비아를 형성하는 단계; 및상기 제2 웨이퍼의 일 표면 상의 제2 지자기 센서와 연결되며, 상기 제2 웨이퍼의 타표면까지 연결되는 제2 비아를 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 2축 지자기 센서 제작 방법.
- 제1항에 있어서,상기 (c)단계는,상기 제1 웨이퍼의 표면 중 상기 제1 지자기 센서가 형성된 표면과, 상기 제2 웨이퍼의 표면 중 상기 제2 지자기 센서가 형성된 표면의 반대 측 표면이 서로 마주보는 방향으로 접합하는 것을 특징으로 하는 2축 지자기 센서 제작 방법.
- 제4항에 있어서,상기 제1 웨이퍼의 일 표면 상의 제1 지자기 센서와 연결되며, 상기 제1 웨이퍼의 타표면까지 연결되는 비아를 형성하는 단계; 및상기 제2 지자기센서와 외부회로와 통전을 위한 패드를 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 2축 지자기 센서 제작 방법.
- 제1항에 있어서,상기 (c)단계는,상기 제1 웨이퍼의 표면 중 상기 제1 지자기 센서가 형성된 표면의 반대 측 표면과, 상기 제2 웨이퍼의 표면 중 상기 제2 지자기 센서가 형성된 표면의 반대 측 표면이 서로 마주보는 방향으로 접합하는 것을 특징으로 하는 2축 지자기 센서 제작 방법.
- 제6항에 있어서,상기 제1 지자기센서와 외부회로와 통전을 위한 제1패드를 형성하는 단계;상기 제2 지자기센서와 외부회로와 통전을 위한 제2패드를 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 2축 지자기 센서 제작 방법.
- 제1항에 있어서,상기 (a)단계는,상기 제1 웨이퍼의 일 표면 상에 제1 하부 코일을 형성하는 단계;상기 제1 하부 코일이 적층된 제1 웨이퍼 일 표면 상에 제1 절연층을 형성하는 단계;상기 제1 절연층 상에 소정 형태의 제1 자성코어를 형성하는 단계;상기 제1 자성코어 상에 제2 절연층을 형성하는 단계;상기 제1 하부코일과 연결되는 제1관통전극을 형성하는 단계;상기 제1관통전극을 통해 상기 제1하부코일과 연결되는 제1 상부코일을 상기 제2절연층 상에 형성하는 단계; 및,상기 제1 상부 코일이 적층된 제2절연층 일 표면상에 제3 절연층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 2축 지자기 센서 제작 방법.
- 제1항에 있어서,상기 (b)단계는,상기 제2 웨이퍼의 일 표면 상에 제2 하부 코일을 형성하는 단계;상기 제2 하부 코일이 적층된 제2 웨이퍼 일 표면 상에 제4 절연층을 형성하는 단계;상기 제4 절연층 상에 소정 형태의 제2 자성코어를 형성하는 단계;상기 제2 자성코어 상에 제5 절연층을 형성하는 단계;상기 제2 하부코일과 연결되는 제2 관통전극을 형성하는 단계;상기 제2 관통전극을 통해 상기 제2하부코일과 연결되는 제2 상부코일을 상기 제5절연층 상에 형성하는 단계; 및,상기 제2 상부 코일이 적층된 제 5절연층 일 표면상에 제6 절연층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 2축 지자기 센서 제작 방법.
- 제1 지자기 센서가 표면 상에 형성된 제1 웨이퍼를 구비한 제1 지자기 센서 파트; 및제2 지자기 센서가 표면 상에 형성된 제2 웨이퍼를 구비한 제2 지자기 센서 파트;를 포함하며,상기 제1 및 제2 지자기 센서 파트는 상기 제1 및 제2 지자기 센서가 상호 직교하는 형태가 되도록 상호 접합된 것을 특징으로 하는 2축 지자기 센서.
- 제10항에 있어서,상기 제1 웨이퍼의 일 표면 상의 제1 지자기 센서와 연결되며, 상기 제1 웨이퍼의 타표면까지 연결되는 제1 비아;상기 제2 웨이퍼의 일 표면 상의 제2 지자기 센서와 연결되며, 상기 제2 웨이퍼의 타표면까지 연결되는 제2 비아;를 더 포함하며,상기 제1 및 제2 지자기센서 파트는,상기 제1 웨이퍼의 표면 중 상기 제1 지자기 센서가 형성된 표면과, 상기 제2 웨이퍼의 표면 중 상기 제2 지자기 센서가 형성된 표면이 서로 마주보는 방향으로 접합된 것을 특징으로 하는 2축 지자기 센서.
- 제11항에 있어서,상기 제1비아와 볼 범핑 방식으로 연결되며, 상기 제2비아와 와이어 본딩 방식으로 연결된 회로기판;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 2축 지자기 센서.
- 제10항에 있어서,상기 제1 웨이퍼의 일 표면 상의 제1 지자기 센서와 연결되며, 상기 제2 웨이퍼의 타표면까지 연결되는 비아;상기 제2 지자기센서와 외부회로와 통전을 위한 패드;를 더 포함하며,상기 제1 및 제2 지자기센서 파트는,상기 제1 웨이퍼의 표면 중 상기 제1 지자기 센서가 형성된 표면과, 상기 제2 웨이퍼의 표면 중 상기 제2 지자기 센서가 형성된 표면의 타표면이 서로 마주보는 방향으로 접합된 것을 특징으로 하는 2축 지자기 센서.
- 제13항에 있어서,상기 비아와 볼 범핑 방식으로 연결되며, 상기 패드와 와이어 본딩 방식으로 연결된 회로기판;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 2축 지자기 센서.
- 제10항에 있어서,상기 제1 지자기센서와 외부회로와 통전을 위한 제1패드;상기 제2 지자기센서와 외부회로와 통전을 위한 제2패드;를 더 포함하며,상기 제1 및 제2 지자기센서 파트는,상기 제1 웨이퍼의 표면 중 상기 제1 지자기 센서가 형성된 표면의 타 표면과, 상기 제2 웨이퍼의 표면 중 상기 제2 지자기 센서가 형성된 표면의 타 표면이 서로 마주보는 방향으로 접합된 것을 특징으로 하는 2축 지자기 센서.
- 상기 제15항에 있어서,상기 제1패드와 볼 범핑 방식으로 연결되며, 상기 제2패드와 와이어 본딩 방식으로 연결된 회로기판;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 2축 지자기 센서.
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