KR100786311B1 - 액상 데시켄트의 토출 시스템 및 토출 방법 - Google Patents

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Abstract

유기 전계 발광 디스플레이 제조 방법에 있어서의 액상 데시켄트를 정밀하게 토출할 수 있는 액상 데시켄트 토출 시스템 및 토출 방법에 관한 것으로, 전자 소자 내의 수분을 제거하기 위한 액상 데시켄트의 토출 시스템에 있어서, 액상 데시켄트를 수용하는 액상 데시켄트 탱크부와 전자 소자 내로 액상 데시켄트를 토출하는 액상 데시켄트 헤드부를 포함하고, 전자 소자로의 액상 데시켄트의 토출량은 전자 소자의 종류 또는 전자 소자의 제조 공정에 따라 변경가능한 구성을 마련한다.
상기와 같은 액상 데시켄트 토출 시스템 및 토출 방법을 이용하는 것에 의해, 메탈 캔 또는 글라스 캔의 소정의 부분에 액상 데시켄트 공급의 안정성을 유지할 수 있다.
데시켄트, 메탈 캔, 토출 펌프, 드롭 모터, 조정 모터

Description

액상 데시켄트의 토출 시스템 및 토출 방법{LIQUID MEMBER DESICCANT EJECTING SYSTEM AND METHOD THEREFOR}
도 1은 종래의 캔이 형성된 유기 전계 발광 디스플레이 구성 단면도,
도 2는 종래의 기술로서 유기 전계 발광 디스플레이에 데시켄트 절연막을 형성한 것을 나타내는 도면,
도 3은 릴에 감겨 있는 테이프 형의 데시켄트를 공급하는 릴 데시켄트 공급장치의 사시도,
도 4는 릴 데시켄트 공급장치에서 공급된 데시켄트를 금속 캔이나 글라스 캔에 부착하기 위한 데시켄트 부착기를 나타내는 도면,
5는 본 발명에 따른 전자 소자 내의 수분을 제거하기 위한 액상 데시켄트의 토출 시스템의 사시도,
도 6은 도 5에 도시된 액상 데시켄트 헤드부(303)의 사시도,
도 7은 본 발명에 따라 메탈 캔 또는 글라스 캔의 정렬을 위한 설명도,
도 8은 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 시스템의 블록도,
도 9는 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 과정을 설명하기 위한 흐름도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
301 : 액상 데시켄트 탱크부 303 : 액상 데시켄트 헤드부
401 : 조정 모터 403 : 드롭 모터
405 : 토출 펌프 406 : 데시켄트 공급관
본 발명은 각종 정보산업기기의 표시소자 또는 발광소자로 사용되는 유기전계발광 소자 내부의 수분을 제거하는 기술에 관한 것으로, 특히 유기 전계 발광 디스플레이(OELD: Organic Electro Luminescence Display) 제조 방법에 있어서의 액상 데시켄트(desiccant)를 정밀하게 토출할 수 있는 액상 데시켄트 토출 시스템 및 토출 방법에 관한 것이다.
OLED 제조에 있어서 Encapsulation 공정 장비 중의 하나인 Reel Type의 Desiccant 장치가 있다. 하지만 Thin OLED를 제작하기 위해서는 Tape 형태의 Desiccant보다는 Liquid Desiccant가 필요하고, 이에 대응하는 장비가 필요하기 때문이다.
유기 전계 발광 디스플레이는 매우 얇고, 매트릭스 형태로 어레이할 수 있어, 5~20V정도의 낮은 전압으로 구동되는 장점이 있고, 넓은 시야각, 고속 응답성, 고 콘트라스트(Contrast) 등 뛰어난 특성으로, 표면 광원(surface light source)의 디스플레이 및 이동 통신 단말기의 디스플레이에 사용될 수 있으며, 얇고 가벼우며 색감이 좋기 때문에 차세대 평면 디스플레이에 적합하다.
일반적으로 유기 EL 소자는 서로 마주보는 한 쌍의 전극 사이에 유기발광층 이 배치되어 한쪽 전극은 유기발광 재료 층에 전자를 공급하고 다른 한쪽 전극은 유기발광 재료 층에 정공(hole)을 공급하여 전자와 정공이 유기발광 물질층 내부에서 결합하면서 발광하는데 해상도와 내충격성이 높고, 다양한 색상을 구현할 수 있는 등의 장점이 있어서 각종 정보 산업기기의 표시소자로 널리 사용되고 있다.
그러나 유기 전계 발광소자는 시간이 경과함에 따라 휘도, 발광 균일도 등의 발광특성이 나빠지는 특성이 있으며, 이러한 원인 중의 하나는 제조 당시 유기전계발광소자의 구성부품에 흡착되어 있던 수분이나 결함 부위나 가장자리를 통하여 침투하는 수분이다.
그리하여 수분제거제를 사용하여 유기 전계 발광소자 내의 수분을 제거하는데 수분제거제에 배합되는 제습물질에는 실리카겔과 같이 물리적 흡착에 의하여 수분을 제거하는 것과 화학반응에 의하여 수분을 제거하는 것이 있다.
물리적 흡착제를 사용하는 밀폐형 전자 디바이스용 제습제로, 미국특허 5,304,419에는 감압성 점착제(pressure sensitive adhesive)와 다공성 흡습제(desiccant)를 배합하여 제조하는 방법이 개시되어 있고, 미국특허 5,401,536에는 폴리머와 알루미나실리케이트 분말을 배합하여 제조하는 방법이 개시되어 있고, 미국특허 5,591,379에는 투습성 바인더에 몰레큘라 시브(molecular sieve) 등의 다공성 흡습제(desiccant)를 배합하여 제조하는 방법이 개시되어 있다.
또 화학반응에 의한 제습 물질을 사용하는 밀폐형 전자 디바이스용 제습제로, 일본공개특허공보 평3-261091에는 오산화인분말을 통기성 용기에 넣어 내부에 장착하도록 된 유기EL소자용 제습제가 개시되어 있다.
또한 미국특허 5,882,761에는 금속산화물, 금속 황산화물(metal sulfate), 금속 할라이드 및 금속염소산염(metal perchlorate)을 파우더 형태로 사용하거나 진공증착, 스퍼터링 또는 스핀코팅에 의해 밀폐형 케이스의 내부에 코팅하여 제습하는 방법이 개시되어 있다.
또한 대한민국 공개특허공보 2003-0077935호(2003.10.04)에 있어서는 유기발광소자 등에 사용하는 제습 속도가 빠르고, 유연성이 있는 필름형태의 제습제 및 그의 제조방법에 관한 것으로서, 수분과 반응하여 수분을 제거하는 제습 물질, 미세기공이 있어 수분이 이동하는 통로를 제공하면서 성형시 폴리머 바인더에 미세기공을 형성할 수 있도록 기체나 휘발성 물질을 함유하는 다공성 물질, 제습 물질과 다공성 물질의 혼합물에 형태를 부여하면서 성형시 다공성 물질에 함유된 기체나 휘발성 물질의 방출에 의해 미세한 기공이 형성되어 수분의 이동 통로를 제공하는 폴리머 바인더를 포함하는 제습 속도가 빠른 제습제 및 그의 제조에 대해 개시되어 있다.
또한 대한민국 공개특허공보 2003-0079790호(2003.10.10)에 있어서는 기판, 기판의 한 면에 배치된 유기 발광 다이오드(OLED) 소자들의 어레이 및 OLED 소자들에 의해 방출된 광과 충돌하지 않도록 패턴화된 배열로 OLED 소자들의 어레이와 동일 기판 면 상에서 OLED 소자들의 어레이 위에 제공되는 건조제 물질을 포함하며, 상부 방출(top-emitting) OLED 디스플레이 장치에 관한 것이 개시되어 있다.
이러한 흡습제를 사용한 구조의 일 예를 도 1에 따라 설명한다.
도 1는 종래의 캔이 형성된 유기 전계 발광 디스플레이 구성 단면도이다.
즉 도 1의 구조는 유리기판(11)위에 투명한 양극전극(12)이 형성되고, 그 양극전극(12)의 상부에 유기막(13)이 형성되고, 유기막(13)의 상부에 음극전극(14)이 형성되어 있으며, 유기막(13)과 음극전극(14)은 절연막(15)과 격벽(16)으로 둘러싸인 구조로 디스플레이의 픽셀이 형성된다.
이러한 유기 전계 발광 디스플레이에서는 절연막(15)과 격벽(16)을 유기물인 포토레지스트로 사용하고 있으며, 이런 유기물 절연막과 격벽은 유기막(13)의 증착 중이나 디스플레이가 동작 중 아웃가싱(Outgassing)의 소스로 작용하여, 디스플레이의 수명을 단축시키는 요인이 되므로, 유기 전계 발광 디스플레이를 감싸도록 캔(20)을 유리기판(11)의 상부에 UV 실런트(Sealant)(21)로 접착시키고, 상기 캔(20)의 내부에는 흡습제(22)를 삽입시키는 구조가 알려져 있다.
그러나 도 1에 도시된 구조에서는 캔의 내부의 흡습제로 완벽하게 흡수하기에는 불가능하므로, 이를 해결하기 위한 방법의 일 예가 대한민국 공개특허공보 2003-0034889호(2003.05.09)에 개시되어 있다.
도 2는 상기 공보 2003-0034889호에 있어서 유기 전계 발광 디스플레이에 데시켄트(desiccant) 절연막을 형성한 것을 나타내는 도면이다.
즉 도 2에는 양극전극 라인(11)들이 마주보는 측면을 노출시키고, 양극전극 라인(11)들과 평행하며, 각각 이격된 개구들을 구비하는 제 1 새도우 마스크를 복수의 양극전극 라인(11)들 상부에 올려놓고, 데시켄트 절연막을 증착하며, 양극전극 라인(11)들로부터 90°회전되고, 각각 이격된 개구들을 구비하는 제 2 새도우 마스크(13)를 복수의 양극전극 라인(11)들 상부에 올려놓고, 다시 데시켄트 절연막 을 증착하여 양극 전극라인들의 상부에 데시켄트 절연막으로 둘러싸인 매트릭스(Matrix) 형태의 픽셀(11')들이 형성된 구조를 나타낸다.
이러한 구조의 데시켄트 절연막들은 통상 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같은 릴 데시켄트 공급장치에 의해 실현되었다.
도 3은 릴에 감겨 있는 테이프 형의 데시켄트를 공급하는 릴 데시켄트 공급장치의 사시도 이고, 도 4는 릴 데시켄트 공급장치에서 공급된 데시켄트를 금속 캔이나 글라스 캔에 부착하기 위한 데시켄트 부착기를 나타내는 도면이다.
도 3 및 도 4에 있어서, (1)은 테이프 형의 데시켄트가 감겨지는 데시켄트 릴(1) 이고, (2)는 금속 캔 또는 글라스 캔에 부착하기 위해 데시켄트 릴(1)에 감겨진 데시켄트를 공급하는 릴 데시겐트 공급부(2) 이며, (3)은 릴 데시겐트 공급부(2)에서 공급된 데시켄트를 금속 캔 또는 글라스 캔에 부착하는 데시켄트 픽업 및 부착기이다.
또 (4) 및 (5)는 데시켄트 픽업 및 부착기(3)로 로딩된 금속 캔 또는 글라스 캔과 픽업된 데시켄트를 정렬하여 데시켄트를 부착하기 위한 Y축 스테이지 및 X축 스테이지이다.
즉, 도 3 및 도 4에 도시된 구조에 있어서는 금속 캔이나 글라스 캔이 플라즈마 또는 UV 클리닝을 마치고 데시켄트 픽업 및 부착기(3)로 로딩 되면, 데시켄트 부착기(3)에서 데시켄트 릴(1)에 감겨 있는 테이프 형의 데시켄트를 픽업 헤드(Pick-Up Head)를 이용하여 흡착하고, 금속 캔이나 글라스 캔 위에 픽업 헤드의 모터를 이용하여 데시켄트를 부착시킨다.
또 대한민국 공개특허공보 2000-0055686호(2000.09.15)에는 공기에 포함된 수분을 액체 흡습제를 이용하여 흡수함으로써 습공기를 건조공기로 변화시키는 기능을 수행하는 제습부를 구비한 시스템에 관한 개시되어 있다.
그러나, 상기 공보 및 도 1 내지 도 4에 도시된 종래의 기술에 있어서는 데시켄트 릴(1)에 의한 데시켄트 공급의 불안정성, 최종 공급과 헤드 다운 시 데시켄트의 위치의 틀어짐, 헤드에 의한 픽업시 흡착 불량 발생, 셀의 종류에 따른 데시켄트 교체의 필요성 등의 문제가 있었다.
또 금속 캔 내부에 데시켄트를 장착하기 위한 공간이 필요하므로 셀의 두께가 한정된다는 문제도 있었다. 또한 최근에는 유기전계발광소자의 두께가 점점 얇아지는 추세에 있기 때문에 수분제거제의 두께를 줄이기 위하여 액상으로 만들어 도포한 후에 경화하는 방법 등이 시도되고 있으나 제조 공정이 복잡하다는 문제도 있었다.
미국특허 5,188,405에는 유기발광층 위에 물리적 흡착제와 폴리머의 혼합물을 코팅하는 방법을 제시하고 있으나 구체적인 공정은 제시되어 있지 않고, 미국특허 6,198,217B1에는 알루미늄 박막을 코팅하는 방법이 제시되어 있으나 평면상의 알루미늄은 표면에서만 수분과 반응을 하므로 수분 제거량이 적다는 문제점도 있었다.
또한 미국특허 6,226,890에는 필름의 한 면에는 액상의 제습제를 도포하고 다른 한 면에는 점착제를 도포하여 경화시켜 유기전계발광소자 내부에 부착하는 방법이 개시되어 있는데 이는 필름에 점착층의 두께가 더해져 두껍게 되고 그 제조 비용이 증가하게 된다는 문제가 있었다.
본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 데시켄트 공급을 안정적으로 유지하며, 셀의 종류에 따라 데시켄트를 교체할 필요가 없는 OLED 제조 방법에 있어서의 액상 데시켄트의 토출 시스템 및 토출 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 셀의 두께를 최소화하면서 데시켄트를 정밀하게 토출할 수 있는 OLED 제조 방법에 있어서의 액상 데시켄트의 토출 시스템 및 토출 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 시스템은 전자 소자 내의 수분을 제거하기 위한 액상 데시켄트의 토출 시스템에 있어서, 액상 데시켄트를 수용하는 액상 데시켄트 탱크부와 상기 전자 소자 내로 상기 액상 데시켄트를 토출하는 액상 데시켄트 헤드부를 포함하고, 상기 전자 소자로의 상기 액상 데시켄트의 토출량은 캔의 체적에 따른 정량의 액상 데시컨트를 토출할 수 있도록 변경가능한 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 시스템에 있어서, 상기 전자 소자는 유기 전계 발광 디스플레이 소자인 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 시스템에 있어서, 상기 액상 데시켄트의 토출은 상기 유기 전계 발광 디스플레이 소자용 메탈 캔 또는 글라스 캔 위에 토출되는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 시스템에 있어서, 상기 액상 데시켄트 헤드부에서 토출된 액상 데시켄트의 토출량을 측정하는 토출량 측정부, 상기 유기 전계 발광 디스플레이 소자에 대응하여 적정의 토출량을 미리 저장하고 있는 토출량 기억부, 상기 토출량 측정부에서 측정된 토출량과 상기 토출량 기억부에 저장되어 있는 토출량을 비교하는 토출량 비교부, 상기 토출량 비교부의 비교 결과, 측정된 토출량과 저장된 토출량이 상이한 경우 상기 토출부의 토출량을 제어하는 토출량 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 시스템에 있어서, 상기 액상 데시켄트 헤드부는 한 쌍으로 마련되는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 시스템에 있어서, 상기 한 쌍의 액상 데시켄트 헤드부의 각각은 상기 액상 데시켄트를 토출하는 토출 펌프, 상기 토출 펌프를 구동하는 드롭 모터 및 상기 토출량 제어부로부터의 제어에 따라 상기 액상 데시켄트의 토출량을 조정하는 조정 모터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 시스템에 있어서, 상기 토출량 측정부는 상기 메탈 캔 또는 글라스 캔이 투입되기 전에 상기 액상 데시켄트의 토출량을 측정하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 시스템에 있어서, 상기 토출량 측 정부는 상기 액상 데시켄트의 중량을 측정하기 위한 측정컵을 이용하는 발란스를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 시스템에 있어서, 상기 토출량 측정부는 상기 액상 데시켄트의 부피를 측정하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 시스템에 있어서, 상기 메탈 캔 또는 글라스 캔의 위치를 정렬하는 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 시스템에 있어서, 상기 액상 데시켄트 헤드부는 고정되고, 상기 스테이지의 이동에 의해 상기 메탈 캔 또는 글라스 캔의 위치가 정렬되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 방법은 전자 소자 내의 수분을 제거하기 위해, 액상 데시켄트를 수용하는 액상 데시켄트 탱크부와 상기 전자 소자 내로 상기 액상 데시켄트를 토출하는 액상 데시켄트 헤드부를 구비하여 액상 데시켄트를 토출하는 방법에 있어서, 상기 전자 소자에 대응하여 적정의 토출량을 미리 저장하는 단계, 상기 액상 데시켄트를 토출하는 단계, 상기 토출된 액상 데시켄트의 토출량을 측정하는 단계, 상기 측정된 토출량과 상기 저장되어 있는 토출량을 비교하는 단계, 상기 토출량을 비교하는 단계에서의 비교 결과, 측정된 토출량과 저장된 토출량이 상이한 경우 상기 토출량을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 방법에 있어서, 상기 전자 소자로의 상기 액상 데시켄트의 토출량은 캔의 체적에 따른 정량의 액상 데시컨트를 토출할 수 있도록 변경가능한 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 방법에 있어서, 상기 전자 소자는 유기 전계 발광 디스플레이 소자인 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 방법에 있어서, 상기 액상 데시켄트의 토출은 상기 유기 전계 발광 디스플레이 소자용 메탈 캔 또는 글라스 캔 위에 토출되는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 방법에 있어서, 상기 토출량의 측정은 상기 메탈 캔 또는 글라스 캔이 투입되기 전에 실행되는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 방법에 있어서, 상기 토출량 측정은 상기 액상 데시켄트의 중량을 측정하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 방법에 있어서, 상기 토출량 측정은 상기 액상 데시켄트의 부피를 측정하는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 방법에 있어서, 상기 액상 데시켄트 헤드부는 고정되고, 스테이지의 이동에 의해 상기 메탈 캔 또는 글라스 캔의 위치가 정렬되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 상기 및 그밖의 목적과 새로운 특징은 본 명세서의 기술 및 첨부 도면에 의해 더욱 명확하게 될 것이다.
이하, 본 발명의 구성을 도면에 따라서 설명한다.
또한, 본 발명의 설명에 있어서는 동일 부분은 동일 부호를 붙이고, 그 반복 설명은 생략한다.
5는 본 발명에 따른 전자 소자 내의 수분을 제거하기 위한 액상 데시켄트의 토출 시스템의 사시도이다.
도 5에 있어서, (301)은 액상 데시켄트를 수용하는 액상 데시켄트 탱크부이고, (302)는 액상 데시켄트 탱크부(301)에서 전자 소자 내로 액상 데시켄트를 공급하기 위해 액상 데시켄트 탱크부(301)에 연결된 액상 데시켄트 공급튜브이다.
또 (303)은 액상 데시켄트 탱크부(301)의 하부에 마련되고, 액상 데시켄트 공급튜브(302)와 연결되어 전자 소자 내로 세팅된 정량의 액상 데시켄트를 토출하기 위한 액상 데시켄트 헤드부이며, (304)는 전자 소자 내로 액상 데시켄트를 공급하는 노즐이다.
본 발명의 주요 특징은 전자 소자로의 액상 데시켄트의 토출량을 전자 소자의 종류 또는 전자 소자의 제조 공정에 따라 변경가능하게 토출할 수 있는 것이다.
또 본 발명에서 사용되는 액체 데시켄트로는 리튬클로라이드(LiCl)가 주로 사용되며, 이 외에도 CaCl 2 , LiBr 등을 사용해도 좋다.
또 본 발명에 따른 전자 소자는 대표적으로 유기 전계 발광 디스플레이 소자이며, 액상 데시켄트의 토출은 유기 전계 발광 디스플레이 소자의 메탈 캔(Metal Can) 또는 글라스 캔(Glass Can) 위에 토출되는 것이다.
다음에 액상 데시켄트 헤드부(303)의 구체적인 구성에 대해 도 6에 따라 설명한다.
도 6은 도 5에 도시된 액상 데시켄트 헤드부(303)의 사시도 이다.
도 6에 있어서, (401)은 액상 데시켄트의 토출량을 조정하는 조정 모터이고, (402)는 조정 모터(401)의 회전력에 따라 액상 데시켄트 공급튜브(302)에서 공급되는 액상 데시켄트의 양을 조정하는 토출 조절부재 이다.
(403)은 액상 데시켄트를 토출하는 구동 모터(이하, 드롭 모터라 한다)이고, (404)는 드롭 모터(404)에 연결된 회전 부재이며, 드롭 모터(404)가 작동함에 따라 회전 부재(404)가 회전하게 된다.
(405)는 회전 부재(404)에 삽입된 토출 펌프이고, (406)은 액상 데시켄트를 노즐(304)에 공급하기 위한 데시켄트 공급관이다.
다음에 액상 데시켄트 헤드부(303)에 의해 토출된 액상 데시켄트이 투입되는 메탈 캔 또는 글라스 캔을 지지하는 구조에 대해 도 7에 따라 설명한다.
도 7은 본 발명에 따라 메탈 캔 또는 글라스 캔의 정렬을 위한 설명도 이다.
도 7에 있어서, (501)은 기재이고, (502)는 도 5에 도시된 헤드부(303)가 한 쌍으로 마련된 토출 헤드이고, (506)은 액상 데시켄트의 중량을 측정하기 위한 측정컵을 이용하는 발란스이다.
(507)은 메탈 캔 또는 글라스 캔을 Y축 방향으로 이동시키기 위한 Y축 스테이지이고, (508)은 메탈 캔 또는 글라스 캔을 X축 방향으로 이동시키기 위한 X축 컬럼이다.
본 발명에 있어서는 액상 데시켄트 탱크부(301)의 이동시 토출될 액상 데시켄트의 물리 화학적 변형을 방지하기 위해 헤드부(303)를 고정시키고, Y축 스테이지(507)와 X축 컬럼(508)을 이동시켜 메탈 캔 또는 글라스 캔의 위치가 정렬되는 구조로 하는 것이 바람직하다.
다음에 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 시스템의 동작에 대해 도 8및 도 9에 따라 설명한다.
도 8은 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 시스템의 블록도이고, 도 9는 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 과정을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 8에 있어서, (601)은 도 6에 도시된 조정 모터(401), 드롭 모터(403), 이들 모터를 구동하기 위한 전원부 등으로 이루어진 모터 구동부이고, (602)는 액상 데시켄트 탱크부(301), 액상 데시켄트 공급튜브(302), 노즐(304), 데시켄트 공급관(406) 등으로 이루어진 토출부이다.
이와 같은 모터 구동부(601)와 토출부(602)의 구성 및 각각의 작동은 예를 들어 대한민국 공개특허 공보 2005-1250호(2005. 01. 06 공개)에 기재된 적하 장치의 기술 사상을 참조하며, 그 구체적인 설명은 생략한다.
또 도 8에서, (603)은 발란스(506) 등을 구비하여 액상 데시켄트 헤드부(303)에서 토출된 액상 데시켄트의 토출량을 측정하는 토출량 측정부이고, (604)는 통상의 반도체 메모리 소자를 구비하고, 유기 전계 발광 디스플레이 소자에 대응하여 적정의 토출량을 미리 저장하고 있는 토출량 기억부이다.
즉, 토출량 측정부(603)는 메탈 캔 또는 글라스 캔이 스테이지 상에 투입되기 전에 미리 토출부(602)에서 토출되는 액상 데시켄트의 토출량을 측정하며, 토출량 기억부(604)에는 유기 전계 발광 디스플레이 소자용 메탈 캔 또는 글라스 캔의 종류 또는 이들의 제조 공정에 따라 필요한 액상 데시켄트의 토출량을 미리 산출하 여 그 값이 저장되어 있다.
(605)는 토출량 측정부(603)에서 측정된 토출량과 토출량 기억부(604)에 저장되어 있는 토출량을 비교하는 토출량 비교부이고, (606)은 마이크로 프로세서 등으로 이루어지고, 토출량 비교부(605)의 비교 결과에 따라 토출부(602)의 토출량을 조정하기 위해 모터 구동부(601)의 회전력 등을 제어하는 토출량 제어부이다.
즉, 토출량 제어부(606)는 토출량 측정부(603)에서 측정된 토출값이 사양서 벗어날 시 조정 모터를 이용 펌프 내부의 용적을 조절하여 정량의 액상 데시켄트를 주입하게 한다.
다음에 상기와 같이 구성된 액상 데시켄트의 토출 시스템의 동작에 대해 설명한다.
먼저, 메탈 캔 또는 글라스 캔이 스테이지 상에 투입되기 전에 데시켄트 헤드부(303)가 작동하여 액상 데시켄트 탱크부(301)에 저장되어 있는 액상 데시켄트가 액상 데시켄트 공급튜브(302), 데시켄트 공급관(406), 노즐(304)을 거쳐 토출된다(S10).
다음에 발란스(506) 등을 이용하여 토출된 액상 데시켄트를 측정한다(S20).
이 후, 스텝 S20에서 측정된 토출값과 토출량 기억부(604)에 미리 산출하여 저장된 값을 비교하고(S30), 그 비교값이 정량이 아니면 토출량 제어부(606)를 통해 토출량이 조정되고(S40) 스텝 S20으로 되돌아 간다.
스텝 S30에서 정량의 토출로 판단되면, 메탈 캔 또는 글라스 캔이 기재(501) 상의 스테이지로 투입된다(S50).
이후, Y축 스테이지(507)와 X축 컬럼(508)을 이동시켜 메탈 캔 또는 글라스 캔의 위치가 액상 데시켄트 헤드부(303)에서 액상 데시켄트가 토출될 위치로 정렬된다(S60).
스텝 S60에서 메탈 캔 또는 글라스 캔의 위치와 액상 데시켄트 헤드부(303)의 위치가 일치하면, 액상 데시켄트 헤드부(303)가 작동하여 메탈 캔 또는 글라스 캔의 소정의 부분에 정량의 액상 데시켄트가 도입된다.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.
즉, 상기 실시예에 있어서는 액상 데시켄트의 중량을 측정하기 위해 측정컵을 이용하는 발란스에 관한 실시예에 대해 설명하였지만, 이에 한정되는 것은 아니며 액상 데시켄트의 부피를 측정하는 초음파 센서로도 실현할 수 있음은 물론이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 시스템 및 토출 방법에 의하면, 정밀 위치 제어에 의한 드롭 방식에 의해 메탈 캔 또는 글라스 캔의 소정의 부분에 액상 데시켄트 공급의 안정성을 유지할 수 있다는 효과가 얻어진다.
또, 본 발명에 따른 액상 데시켄트의 토출 시스템 및 토출 방법에 의하면, 메탈 캔 또는 글라스 캔의 체적과 공정에 따른 정량의 액상 데시켄트를 주입할 수 있고, 유기 전계 발광 디스플레이 소자의 두께를 최소화할 수 있으며, 또한 택트 타임(Tact time)을 단축할 수 있다는 효과도 얻어진다.

Claims (19)

  1. 전자 소자 내의 수분을 제거하기 위한 액상 데시켄트의 토출 시스템에 있어서,
    액상 데시켄트를 수용하는 액상 데시켄트 탱크부와
    상기 전자 소자로 상기 액상 데시켄트를 토출하는 액상 데시켄트 헤드부를 포함하고,
    상기 전자 소자로의 상기 액상 데시켄트의 토출량은 캔의 체적에 따른 정량의 액상 데시컨트를 토출할 수 있도록 변경가능한 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 전자 소자는 유기 전계 발광 디스플레이 소자인 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 시스템.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 액상 데시켄트의 토출은 상기 유기 전계 발광 디스플레이 소자용 메탈 캔 또는 글라스 캔 위에 토출되는 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 시스템.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 액상 데시켄트 헤드부에서 토출된 액상 데시켄트의 토출량을 측정하는 토출량 측정부,
    상기 유기 전계 발광 디스플레이 소자에 대응하여 적정의 토출량을 미리 저장하고 있는 토출량 기억부,
    상기 토출량 측정부에서 측정된 토출량과 상기 토출량 기억부에 저장되어 있는 토출량을 비교하는 토출량 비교부,
    상기 토출량 비교부의 비교 결과, 측정된 토출량과 저장된 토출량이 상이한 경우 상기 토출부의 토출량을 제어하는 토출량 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 시스템.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 액상 데시켄트 헤드부는 한 쌍으로 마련되는 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 시스템.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 한 쌍의 액상 데시켄트 헤드부의 각각은
    상기 액상 데시켄트를 토출하는 토출 펌프,
    상기 토출 펌프를 구동하는 구동 모터 및
    상기 토출량 제어부로부터의 제어에 따라 상기 액상 데시켄트의 토출량을 조정하는 조정 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 시스템.
  7. 제 4항에 있어서,
    상기 토출량 측정부는 상기 메탈 캔 또는 글라스 캔이 투입되기 전에 상기 액상 데시켄트의 토출량을 측정하는 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 시스템.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 토출량 측정부는 상기 액상 데시켄트의 중량을 측정하기 위한 측정컵을 이용하는 발란스를 포함하는 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 시스템.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 토출량 측정부는 상기 액상 데시켄트의 부피를 측정하는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 시스템.
  10. 제 4항에 있어서,
    상기 메탈 캔 또는 글라스 캔의 위치를 정렬하는 스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 시스템.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 액상 데시켄트 헤드부는 고정되고, 상기 스테이지의 이동에 의해 상기 메탈 캔 또는 글라스 캔의 위치가 정렬되는 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 시스템.
  12. 전자 소자 내의 수분을 제거하기 위해, 액상 데시켄트를 수용하는 액상 데시켄트 탱크부와 상기 전자 소자 내로 상기 액상 데시켄트를 토출하는 액상 데시켄트 헤드부를 구비하여 액상 데시켄트를 토출하는 방법에 있어서,
    상기 전자 소자에 대응하여 적정의 토출량을 미리 저장하는 단계,
    상기 액상 데시켄트를 토출하는 단계,
    상기 토출된 액상 데시켄트의 토출량을 측정하는 단계,
    상기 측정된 토출량과 상기 저장되어 있는 토출량을 비교하는 단계,
    상기 토출량을 비교하는 단계에서의 비교 결과, 측정된 토출량과 저장된 토출량이 상이한 경우 상기 토출량을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 방법.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 전자 소자로의 상기 액상 데시켄트의 토출량은 캔의 체적에 따른 정량의 액상 데시컨트를 토출할 수 있도록 변경가능한 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 방법.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 전자 소자는 유기 전계 발광 디스플레이 소자인 것을 특징으로 하는 액 상 데시켄트의 토출 방법.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 액상 데시켄트의 토출은 상기 유기 전계 발광 디스플레이 소자용 메탈 캔 또는 글라스 캔 위에 토출되는 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 방법.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 토출량의 측정은 상기 메탈 캔 또는 글라스 캔이 투입되기 전에 실행되는 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 토출량 측정은 상기 액상 데시켄트의 중량을 측정하는 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 방법.
  18. 제 16항에 있어서,
    상기 토출량 측정은 상기 액상 데시켄트의 부피를 측정하는 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 방법.
  19. 제 16항에 있어서,
    상기 액상 데시켄트 헤드부는 고정되고, 스테이지의 이동에 의해 상기 메탈 캔 또는 글라스 캔의 위치가 정렬되는 것을 특징으로 하는 액상 데시켄트의 토출 방법.
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