KR100779518B1

KR100779518B1 - 광디스크 스핀코팅용 장치

Info

Publication number: KR100779518B1
Application number: KR1020040045476A
Authority: KR
Inventors: 강태식; 한미영; 이성근; 장성훈; 홍영준
Original assignee: 주식회사 엘지화학
Priority date: 2004-06-18
Filing date: 2004-06-18
Publication date: 2007-11-27
Also published as: KR20050120209A

Abstract

광디스크 스핀코팅용 장치가 개시된다.

본 발명에 따른 광디스크 스핀코팅용 장치는 광디스크 지지대 상에 구비되어 있는 광디스크를 고정하기 위한 진공 구멍; 및 광디스크의 중심 구멍에 끼워지는 중심축을 구비하고, 상기 중심축의 말단부에는 탄성체가 구비되어 있으며, 광디스크의 장착시에 상기 탄성체에 의해 상기 광디스크의 중심 구멍을 폐색하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따른 광디스크 스핀코팅용 장치에 의하면, 별도의 캡을 탈부착할 필요가 없으므로 공정이 간단해 지며, 상기 종래 기술에 따른 캡을 사용하는 것에 의해 발생될 수 있는 광디스크 중심부 오염, 캡의 탈부착의 어려움 또는 기포 발생에 의한 오염 등의 문제점들을 해결할 수 있을 뿐만 아니라, 제조공정을 단축시키며, 제조 비용을 절감할 수 있다.

광디스크, 스핀코팅

Description

광디스크 스핀코팅용 장치{Apparatus for optical disc spin-coating}

도 1은 스핀 코팅시, 기판 상에 광경화성 수지를 토출하는 위치의 기판 중심으로부터의 거리와 광투과층의 두께의 분포를 나타낸다.

도 2는 본 발명의 실시예 1에 사용되는 광디스크 스핀코팅용 장치의 개략도이다.

도 3은 본 발명에 사용될 수 있는 탄성체의 예시를 나타낸다.

도 4는 본 발명의 또 다른 구현예에 따른 광디스크 스핀코팅용 장치를 나타낸다.

도 5는 본 발명의 실시예 2에 사용되는 광디스크 스핀코팅용 장치의 개략도이다.

도 6은 본 발명에 따라 광디스크를 스핀코팅하고, 이를 이동시켜 자외선 경화시키는 단계를 도시한 개략도이다.

도 7은 본 발명에 따라 스핀코팅된 광디스크를 이동시키는 단계를 도시한 개략도이다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따라, 특수한 형태의 지그를 사용하여 스핀코팅을 하는 경우에 스핀코팅된 광디스크를 이동시키는 단계를 도시한 개략도이다.

도 9는 종래기술에 따라 비교예 1에 사용되는 광디스스크 스핀코팅용 장치의 개략도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

11...광디스크 기판 20...턴테이블

22...수지 배출구 23...진공 구멍

24...공기 주입구 30, 30a, 30b, 30c...탄성체

90...흡착형 이동암 91...광디스크 이동장치

92...자외선 경화기 93...광디스크 홀더

94...에어실린더 95...압축공기 출입구

96...지그

본 발명은 광디스크 스핀코팅용 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 광디스크의 중심 부분을 폐색하기 위하여 별도의 캡을 사용할 필요가 없기 때문에, 제조공정이 단축되며, 광경화성 수지에 의한 중심 부위의 오염이 없는 광디스크를 제조할 수 있는 광디스크 스핀코티용 장치에 관한 것이다.

일반적으로 광디스크는 비접촉식으로 정보를 기록/재생하는 광픽업 장치의 정보 기록 매체로 널리 채용된다. 광디스크는 600∼800MB의 기록 용량을 갖는 CD(Compact Disc)로부터 4∼10 GB 기록 용량의 DVD(Digital Versatile Disc)로 변천하면서 데이터의 집적도를 향상시키는 방향으로 개발되어 왔다. 최근에는 좀 더 고품질의 음질과 화질을 제공하기 위하여 405nm의 블루레이져를 사용하여 20 GB 이상의 저장 용량을 가지는 광디스크(Blu-ray Disc, BD 또는 HD-DVD))가 개발되고 있다.

이러한 기록밀도의 향상은 여러 방법에 의해 실현될 수 있는데, 그 중에서 조사되는 광 스폿(spot)의 미소화가 큰 비중을 차지하고 있다. 데이터 집적 용량을 증가시키기 위한 광 스폿의 미소화는 레이저 파장과 렌즈의 개구수에 의하여 결정되며, 이들의 관계는 수학식 1 내지 3으로 나타낼 수 있다.

D ∝ 1.22λ/NA

F ∝ λ/NA²

f ∝ A/2NA

상기 식에 있어서, D는 스폿의 직경이며, λ는 레이저의 파장, NA는 렌즈의 개구수, F는 초점 깊이, f는 초점 거리, A는 렌즈 직경이다.

상기 수학식 1에 나타난 바와 같이, 레이저의 파장이 짧아지고 렌즈의 개구수가 커지면 스폿의 크기가 작아지며, 디스크의 피트 및 대응되는 트랙 크기가 축소되고, 기록밀도는 스폿의 2승값에 반비례하여 증가하게 되어 기록 밀도가 높아지게 된다. 반면에, 상기 수학식 2에 나타난 바와 같이, 파장이 짧아지고 개구수가 커지면 초점 깊이는 짧아지게 되며, 수학식 3에 나타낸 바와 같이 초점 거리도 짧아지게 된다.

즉, CD에서 DVD를 거쳐 BD로 갈수록, 광 스폿의 직경이 작아지고, 초점 깊이 및 초점 거리가 짧아지게 되는 것이다. 이처럼 초점 깊이 및 초점 거리가 짧아질수록, 재생 특성은 광디스크의 광 입사면의 상태에 민감해지기 때문에, 입사면에는 스크래치가 없어야 하며, 두께 편차도 매우 작아야 한다는 조건을 만족해야 한다.

한편, 광디스크의 제조에 있어서, 광투과층, 보호층 또는 락커층 등은 스핀코팅을 이용하여 성막하는데, 이는 스핀 코팅 후 제거되는 수지를 장치내에서 재순환시킬 수 있으며, 스핀 코팅의 시간과 수지의 점도를 제어하는 것에 의해 광투과층 등의 두께를 임의로 조절할 수 있다는 장점이 있기 때문이다.

상기 스핀 코팅시, 기판 상에 광경화성 수지를 토출하는 위치의 기판 중심으로 부터의 거리와 광투과층의 두께의 분포를 도 1에 나타내었다. 상기에서는 광경화성 수지를 토출하는 위치의 기판 중심으로부터의 거리를 5∼25mm의 범위에서 5mm 간격으로 이동시키며 측정하였으며, 31은 중심으로 부터의 반경 5mm, 32는 반경 10mm, 33은 반경 15mm, 34는 반경 20mm, 35는 반경 25mm에 대한 광투과층의 두께 분호를 나타낸다. 도 1에서 알 수 있듯이, 광경화성 수지를 토출하는 위치가 기판의 내주측으로 갈 수록 광투과층의 두께의 편차가 줄어들며, 기판의 정 중앙에 토출한다면, 이론상으로는 두께 편차가 전혀 없는 광투과층을 얻을 수 있다.

CD 경우에 있어서는 레이저의 초점 거리가 매우 길기 때문에 1.2 mm 두께로 성형 가공된 폴리카보네이트 기판에 스퍼터링에 의해 기록층과 반사층을 형성하고 그 위에 얇은 락커층을 스핀 코팅(spin coating)하여 기록층과 반사층 등을 보호하도록 하고 있다. 이러한 락커층은 그 두께가 3∼5㎛로서 매우 얇기 때문에 두께 편차가 발생한다고 해도, 그 차이는 매우 미세하며, CD에서 기록 또는 재생광은 폴리카보네이트 기판 하부로 부터 입사되기 때문에 최상부의 락커층에 두께 편차가 있더라도, 재생시 에러가 발생할 가능성은 거의 없다. 따라서, 상기 락커층의 스핀 코팅시, 광경화성 수지의 토출을 광디스크의 중심 부분에서 할 필요성은 그리 크지 않다.

그러나, 집적용량이 증가된 블루레이저를 이용하는 광디스크(BD)의 경우에는 데이터의 집적도는 높아지는 반면, 초점 거리가 매우 짧아지기 때문에 1.1 mm 두께의 폴리카보네이트 위에 반사층 및 기록층 등을 성막한 후, 그 위에 0.1 mm 의 광투과층을 형성시키게 되고, 이러한 광투과층으로 재생광이 입사하는 구조로 이루어져 있다. 따라서, BD의 경우에는 그 재생특성은 상기 광투과층 표면의 상태 및 두께 편차에 매우 민감하게 된다.

상기 광투과층을 형성시키는 방법으로는 폴리카보네이트로 이루어진 0.1mm두께의 얇은 광투과 시트를 감압 접착제나 자외선 경화형 접착제를 이용하여 접착시키는 방법이 있으나, 거대한 시트 상에 디스크를 접착시킨 후, 그 테두리를 잘라내는 방법에 의하기 때문에, 상기 시트의 손실량이 과도하게 되고, 그에 따라 제조비용이 증가하며, 환경 부하가 커진다는 문제점이 있다. 따라서, 스핀 코팅법에 의해 상기 광투과층을 형성시키는 것이 일반적이다.

도 1을 참조로 하여 이미 설명한 바와 같이, 자외선 경화 수지를 광디스크 중심에서 벗어난 소정의 반경위치에서 환상으로 도포하여 스핀 코팅할 경우에 수지층은 광디스크 중심에서 외부 방향으로 점점 두꺼워지게 되며, 특히, BD의 경우에는 이러한 두께 편차에 의해 에러가 발생할 가능성이 커진다. 따라서, 이를 방지하기 위해 스핀 코팅시 광경화 수지를 회전 중심에 도포해야 하는데, 종래의 광디스크 기판의 중심에는 중심 구멍이 있기 때문에, 광경화성 수지가 상기 중심 구멍으로 침투하는 것을 방지하는 여러가지 기술구성이 알려져 있다.

예컨대, 일본 특허공개공보 JP1998-289489호에는 광디스크의 중심 구멍을 폐색시키기 위하여 별도의 캡을 이용하고, 스핀 코팅 이후에 전자석을 이용하여 상기 캡을 탈착하는 기술이 개시되어 있으나, 광경화 수지가 상기 캡과 광디스크 사이로 스며들어 디스크 중심부 오염이 발생하는 문제점이 있었으며, 이에 의해 광디스크의 중심부에 얼룩이 생겨서 외관상 보기 좋지 않을 뿐만 아니라, 드라이버에 장착시 드라이버 구동 축과 상기 광디스크의 중심 구멍이 맞지 않아 에러가 발생할 가능성이 있다. 또한, 광경화 수지 도포 전후에 캡을 디스크 중심에 탈부착하는 단계가 더 부가되기 때문에 작업공정이 길어지고 작업 효율이 떨어지며, 제조비용도 고가라는 문제점이 있다.

또한, 캡을 이용하여 스핀 코팅을 하는 경우에는 스핀코팅이 된 부분과 캡에 의해 가려진 부분간에 두께의 차이가 존재하기 때문에, 기록 및 재생시 문제가 발생할 수 있다.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 별도로 캡을 사용할 필요 가 없기 때문에, 캡의 장착 및 탈착시 발생할 수 있는 종래기술의 문제점을 해결하고, 제조공정을 단축시키는 한편, 광디스크의 중심부의 오염의 염려가 없는 광디스크 스핀코팅용 장치를 제공하는 것이다.

본 발명은 상기 기술적 과제를 달성하기 위하여,

광디스크 지지대 상에 구비되어 있는 광디스크를 고정하기 위한 진공 구멍; 및 광디스크의 중심 구멍에 끼워지는 중심축을 구비하고, 상기 중심축의 말단부에는 탄성체가 상기 말단부의 상부면을 덮도록 부착되어 있으며, 광디스크의 장착시에 상기 탄성체에 의해 상기 광디스크의 중심 구멍을 폐색하는 것을 특징으로 하는 턴테이블을 포함하는 광디스크 스핀코팅용 장치를 제공한다.

본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 탄성체는 천연고무, 이소프렌 고무, 부타디엔 고무, 클로로프렌 고무, SBS 고무, NBR 고무, SBR 고무, 실리콘 고무 또는 우레탄 고무일 수 있다.

또한, 상기 탄성체는 상기 중심축의 외주부 및 말단부를 둘러싸고 있는 것일 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 상기 탄성체의 외주부에는 요철 형상의 돌기가 형성되어 있을 수 있다.

또한, 상기 탄성체의 말단부의 높이는 상기 턴테이블에 광디스크를 장착한 경우의 광디스크의 표면의 높이와 같으며, 그 외경은 상기 광디스크의 중심 구멍의 내경과 같거나 0.5mm 이하 만큼 큰 것이 바람직하다.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 상기 턴테이블의 중심축 외주의 하부에는 광경화성 수지를 배출할 수 있는 개구가 더 구비되어 있을 수 있다.

본 발명에 따른 광디스크 스핀코팅용 장치는, 상기 탄성체의 외경은 상기 광디스크의 중심 구멍보다 0.05 내지 1mm 작으며, 상기 턴테이블의 중심축과 탄성체사이에 공기를 주입함으로써 상기 탄성체를 팽창시키는 것에 의해, 상기 광디스크의 중심 구멍과 상기 탄성체간의 틈새를 완전히 폐색할 수 있도록 상기 중심축의 내부에 공기 주입구를 더 구비하는 것일 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 본 발명에 따른 광디스크 스핀코팅용 장치의 턴테이블에는 광디스크의 장착 및 탈착 위치간을 슬라이딩 이동하도록 에어실린더와 연결되어 있는 광디스크 홀더가 구비되어 있을 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.

도 2에는 본 발명에 따른 광디스크 스핀코팅용 장치의 개략도를 나타내었다. 중심축의 말단부에는 탄성체(30)가 상기 말단부의 상부면을 덮도록 부착되어 있으며, 광디스크의 장착시에 상기 탄성체(30)에 의해 상기 광디스크(11)의 중심 구멍을 폐색하기 때문에 별도의 캡이 필요치 않으며, 광경화성 수지는 상기 탄성체(30)의 정중앙부에 토출되어 스핀코팅된다. 한편, 턴테이블(20)의 광디스크 지지대 상에는 광디스크(11)의 장착시 진공에 의해 상기 광디스크(11)를 고정하기 위한 진공 구멍(23)이 구비되어 있으며, 상기 진공 구멍(23)의 위치와 개수는 특별히 제한되지는 않는다.

본 발명에 사용되는 탄성체는 탄성을 가지는 재료인한 당업자에게 자명한 범위내에서 특별히 제한되지 않으며 예컨대, 천연고무, 이소프렌 고무, 부타디엔고 무, 클로로프렌 고무, SBS고무, NBR고무, SBR고무 또는 우레탄 고무 등 일 수 있다. 한편, 상기 턴테이블(20)의 재질은 당업계에서 통상적으로 사용되는 것이면 특별히 제한되지는 않는다.

상기 탄성체(30)는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 중심축의 말단부에 상기 말단부의 상부면을 덮도록 부착될 수 있으며, 광디스크의 중심 구멍을 폐색할 수 있는 한, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 중심축의 외주부 및 말단부를 둘러싸고 있거나, 탄성체(30b)와 같이 중심축의 말단에서 1/3 지점에 위치할 수도 있다. 또한 상기 탄성체의 외주부에는 도 3의 탄성체(30a)와 같이 요철 형상의 돌기가 형성되어 있을 수 있는데, 이는 광디스크의 장착 및 탈착을 용이하게 하는 한편, 광경화성 수지가 상기 광디스크의 중심 구멍과 탄성체(30)사이로 새어들어가는 것을 방지하는데 더 유리하기 때문이다.

상기 탄성체(30)의 말단부의 높이는 상기 턴테이블에 광디스크(11)를 장착한 경우의 광디스크(11)의 표면의 높이와 같은 것이 바람직한데, 만일 그 높이가 광디스크(11)의 표면의 높이보다 높거나 낮으면, 스핀 코팅시 광경화성 수지에 기포가 발생하여 에러가 생길 염려가 있다. 한편, 상기 탄성체(30)의 외경은 상기 광디스크의 중심 구멍의 내경보다 0.1 내지 0.5mm큰 것인 것이 바람직한데, 0.1mm 미만일 때에는 광경화성 수지가 새어들어갈 염려가 있으며, 0.5mm를 초과하는 때에는 광디스크의 장착과 탈착이 원활하지 않기 때문에 바람직하지 않다.

도 4에는 본 발명의 일 실시예에 따른 광디스크 스핀코팅용 장치의 개략도를 나타내었다. 도시되어 있는 바와 같이, 턴테이블의 중심축 외주의 하부에는 광 경화성 수지를 배출할 수 있는 수지 배출구(22)가 더 구비되어 있으며, 이는 상기 중심축을 타고 새어들어온 광경화성 수지를 외부로 배출하기 위한 통로가 된다.

본 발명에 따른 광디스크 스핀코팅용 장치는, 도 5에 도시된 바와 같이, 턴테이블의 중심축과 탄성체(30)사이에 공기를 주입함으로써 상기 탄성체(30)를 팽창시키는 것에 의해, 상기 광디스크(11)의 중심 구멍과 상기 탄성체(30)간의 틈새를 완전히 폐색할 수 있도록 상기 중심축의 내부에 공기 주입구(24)를 더 구비하는 것일 수 있다. 이 경우 광디스크의 장착 및 탈착시에는 공기를 배출하여 상기 탄성체를 수축시킴으로써, 상기 광디스크의 장착 및 탈착을 용이하게 하는 것이 가능하다.

도 6에는 본 발명에 따라 광디스크를 스핀코팅하고, 이를 이동시켜 자외선 경화시키는 단계에 대한 개략도를 도시하였다. 흡착형 이동암(90)이 광디스크 기판(11)을 흡착하여 턴테이블(20)상에 장착시킨 다음, 노즐(30)이 구비되어 있는 회전식 암 형태의 토출기가 작동하여 광경화성 수지를 토출하고 스핀코팅한 후, 상기 스핀코팅된 광디스크를 광디스크 이동장치(91)에 의해, 자외선 경화기(92)로 이동시켜 경화시킨다.

도 7에는 본 발명에 따라 스핀코팅된 광디스크를 이동시키는 단계에 대한 개략도를 도시하였다. 도 7을 참조하면, 스핀코팅 후, 에어실린더(94)와 연결되어 있는 광디스크 홀더(93)를 상부로 밀어올려, 턴테이블(20)로부터 광디스크를 탈착시킨 후에 광디스크 이동장치(91)를 상기 광디스크 하부로 이동시킨 다음, 상기 광디스크 홀더(93)를 하부로 내리면, 광디스크가 상기 광디스크 이동장치(91)에 위치하 게 되며, 이를 자외선 경화기(92)의 하부로 평행이동시킨 후, 자외선을 조사하여 경화시키면 된다.

도 8에는 본 발명의 또 다른 실시예에 따라, 특수한 형태의 지그를 사용하여 스핀코팅을 하는 경우에 스핀코팅된 광디스크를 이동시키는 단계에 대한 개략도를 도시하였다. 도 8을 참조하면, 작동순서는 (a), (b), (c) 순서로 되어 있으며, 스핀코팅 후, 지그의 내부에 구비되어 있는 에어실린더(94)와 연결되어 있는 광디스크 홀더(93)를 상부로 밀어올려, 지그(96)로부터 광디스크(21)를 탈착시킨 후에 광디스크 이동장치(91)를 상기 광디스크(21) 하부로 이동시킨 다음, 상기 광디스크 홀더(93)를 하부로 내리면, 광디스크가 상기 광디스크 이동장치(91)에 위치하게 되며, 이를 자외선 경화기(92)의 하부로 평행이동시킨 후, 자외선을 조사하여 경화시키면 된다. 한편, 도 8(d)에는 상기 지그(96)의 평면사시도를 나타내었다.

본 발명에 따른 광디스크 스핀코팅용 장치는 기록층을 구비하는 추기형(Write Once Read Many: WORM) 및 소거가능형(Erasable)은 물론 기록되어진 정보를 재생만 하는 재생 전용형(Read Only Memory; ROM) 광디스크의 제조에도 사용할 수 있으며, 스핀 코팅에 의한 광투과층을 구비하는 광디스크에는 특별한 제한없이 모두 사용 가능하다. 또한, 상기 광투과층 이외에도, 기계적 특성 향상을 위한 보호막, 중간층막 또는 락커층 등을 스핀 코팅하는 경우에도 사용될 수 있다.

본 발명에 따른 광디스크 스핀코팅용 장치를 이용하여 광경화성 수지를 스핀코팅하는 방법을 이하 설명한다.

턴테이블(20) 상에 광디스크(11)을 장착하여, 광디스크(11)의 중심 구멍이 상기 탄성체(30)에 의해 완전히 밀폐되도록 한 후, 진공 구멍(23)을 통하여 상기 광디스크(11)와 턴테이블(20) 사이에 진공을 유지시키면 스핀코팅의 전단계가 완료된다. 다음으로 탄성체(30)의 중심부에 노즐을 통해 광경화성 수지를 토출한 다음, 상기 턴테이블(20)을 회전시켜 스핀 코팅을 한다. 상기 광경화성 수지를 토출하는 단계에서 상기 턴테이블(20)의 회전속도는 약 20 내지 100rpm 정도로 상대적으로 느린 속도인 것이 바람직하며, 토출이 끝난 직후에는 속도를 증가시켜 균일한 광투과층이 형성되도록 한다. 상기 스핀 코팅시의 속도는 성막하고자 하는 광투과층의 두께와 밀접한 관계가 있는데, 속도가 빠를수록 생성된 광투과층의 두께는 얇아진다. 한편, 상기 광경화성 수지는 당업계에 통상적으로 사용되는 것이면 특별히 제한되지 않으며, 예컨대, 아크릴레이트계 수지가 주로 사용된다.

상기 광경화성 수지를 스핀코팅한 다음에는 상기 광디스크(11)를 상기 스핀코팅장치에서 탈착시켜야 하는데, 이는 상기 광경화성 수지를 경화하고 난 다음이든, 경화시키기 이전이든 모두 가능하지만, 광경화성 수지를 경화하고 난 다음에 탈착시키는 경우에는 광투과층의 경계면이 미세하게 파괴되어 버(burr)가 생길 염려가 있기 때문에, 광경화성 수지를 경화시키기 이전에 상기 광디스크(11)를 탈착한 후 광을 조사하여 경화시키는 것이 더 바람직하다.

이하, 바람직한 실시예를 들어, 본 발명을 더욱 상세히 설명하지만, 본 발명이 이에 의해 제한되는 것은 아니다.

실시예 1

전체 두께가 1.1 mm이고, 외경이 120mm이며, 내경(중심 구멍의 직경)이 15mm 인 폴리카보네이트(PC) 광디스크 기판을 사출 성형한 다음, 스퍼터링 공정에 의해 Ag 합금/ZnS-SiO₂/SbGeTe/ZnS-SiO₂의 4층막 구조를 성막하여 광디스크를 제조하였다. 다음으로, 상기 광디스크를 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 턴테이블의 중심축에 위치시킨 후, 진공 구멍(23)을 통하여 광디스크를 진공으로 고정하였다. 상기 탄성체는 SBR고무(금호석유화학 제조)를 사용하였으며, 외경은 15.1mm로 제작하였다. 이어서 광디스크 중심부에 자외선 경화 수지(EB 8402(SK UCB 제조), Irgacure 184(Ciba SC 제조), Irgacure 651(Ciba SC 제조), Methylethylketone 포함)를 도포하여 스핀 코팅한 다음, 에어실린더(94)와 연결되어 있는 광디스크 홀더를 상부로 밀어올린 후, 광디스크 이동장치에 의해 자외선 경화기로 옮겨서 경화하여 광디스크를 제작하였다.실시 결과 기존 발명의 별도의 캡을 사용하는 것보다 코팅 시간을 단축할 수 있었으며 광디스크 중심부의 오염 없이 깨끗한 코팅을 할 수 있었다.

실시예 2

도 5에 도시된 바와 같이 먼저 턴테이블에 실시예 1에서 사용한 광디스크 기판(11)을 장착한 후 광디스크를 진공 구멍(23)을 사용하여 진공으로 고정하였다. 턴테이블 중심축의 내부에 구비된 공기 주입구(24)에 공기를 주입하여 탄성체(30)를 팽창시켜 광디스크(11)와 중심축 사이의 미세한 틈새를 모두 밀폐시켰다. 상기에서 탄성체(30)로는 NBR고무(금호석유화학 제조)를 사용하였으며, 외경은 14.5mm로 제작하였다. 이어서 광디스크 중심부에 자외선 경화 수지(EB 8402(SK UCB 제조), Irgacure 184(Ciba SC 제조), Irgacure 651(Ciba SC 제조), Methylethylketone 포함)를 도포하여 스핀 코팅하였으며 턴테이블 중심축의 공기를 배출시킨 다음, 에어실린더(94)와 연결되어 있는 광디스크 홀더를 상부로 밀어올린 후, 광디스크 이동장치에 의해 자외선 경화기로 옮겨서 경화하여 광디스크를 제작하였다. 실시 결과 별도의 캡을 사용하는 것보다 코팅 시간을 단축할 수 있었으며 광디스크 중심부의 오염 없이 깨끗한 코팅을 할 수 있었다.

비교예 1

종래기술에 따라 도 9에 도시된 바와 같은 캡을 사용하여 광디스크를 스핀 코팅하였다. 이 때 캡의 위치가 중심에 정확히 맞지 않을 경우 캡을 장착하는데 에러가 발생하였다. 이어서 광디스크와 캡을 진공으로 고정한 후 캡의 중심부에 자외선 경화 수지(EB 8402(SK UCB 제조), Irgacure 184(Ciba SC 제조), Irgacure 651(Ciba SC 제조), Methylethylketone 포함)를 도포하여 스핀 코팅하였다. 이어서 광디스크로부터 캡을 제거하고 광디스크를 자외선 경화기로 옮겨서 경화하여 최종적으로 광디스크를 제작하였다. 이와 같은 방법으로 스핀 코팅 후 캡을 제거하는 과정에서 캡과 광디스크 사이로 스며든 수지에 의해 광디스크가 함께 제거되는 현상이 발생하였으며, 광디스크 중심부의 오염이 발생하였다. 또한 광디스크 한 개를 코팅하는데 있어서 본 발명의 턴테이블을 사용할 때보다 2배 이상의 시간이 걸렸다.

Claims

광디스크 지지대 상에 구비되어 있는 광디스크를 고정하기 위한 진공 구멍; 및 광디스크의 중심 구멍에 끼워지는 중심축을 구비하고, 상기 중심축의 말단부에는 탄성체가 상기 말단부의 상부면을 덮도록 부착되어 있으며, 광디스크의 장착시에 상기 탄성체에 의해 상기 광디스크의 중심 구멍을 폐색하는 것을 특징으로 하는 턴테이블을 포함하는 광디스크 스핀코팅용 장치.
제 1항에 있어서, 상기 탄성체는 천연고무, 이소프렌 고무, 부타디엔 고무, 클로로프렌 고무, SBS 고무, NBR 고무, SBR 고무, 실리콘 고무 또는 우레탄 고무인 것을 특징으로 하는 광디스크 스핀코팅용 장치.
제 1항에 있어서, 상기 탄성체는 상기 중심축의 외주부 및 말단부를 둘러싸고 있는 것을 특징으로 하는 광디스크 스핀코팅용 장치.
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 탄성체의 외주부에는 요철 형상의 돌기가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광디스크 스핀코팅용 장치.
제 1항에 있어서, 상기 탄성체의 말단부의 높이는 상기 턴테이블에 광디스크를 장착한 경우의 광디스크의 표면의 높이와 같으며, 그 외경은 상기 광디스크의 중심 구멍의 내경과 같거나 0.5mm 이하 만큼 큰 것을 특징으로 하는 광디스크 스핀코팅용 장치.
제 1항에 있어서, 상기 턴테이블의 중심축 외주의 하부에는 광경화성 수지를 배출할 수 있는 개구가 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 광디스크 스핀코팅용 장치.
제 3항에 있어서, 상기 탄성체의 외경은 상기 광디스크의 중심 구멍보다 0.05 내지 1mm 작으며, 상기 턴테이블의 중심축과 탄성체사이에 공기를 주입함으로써 상기 탄성체를 팽창시키는 것에 의해, 상기 광디스크의 중심 구멍과 상기 탄성체간의 틈새를 완전히 폐색할 수 있도록 상기 중심축의 내부에 공기 주입구를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광디스크 스핀코팅용 장치.
제 1항에 있어서, 상기 턴테이블에는 광디스크의 장착 및 탈착 위치간을 슬라이딩 이동하도록 에어실린더와 연결되어 있는 광디스크 홀더가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 광디스크 스핀코팅용 장치.