KR100775026B1 - 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치 - Google Patents

수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100775026B1
KR100775026B1 KR1020060046592A KR20060046592A KR100775026B1 KR 100775026 B1 KR100775026 B1 KR 100775026B1 KR 1020060046592 A KR1020060046592 A KR 1020060046592A KR 20060046592 A KR20060046592 A KR 20060046592A KR 100775026 B1 KR100775026 B1 KR 100775026B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
dust cover
rail
base body
block
magnet
Prior art date
Application number
KR1020060046592A
Other languages
English (en)
Inventor
한석
Original Assignee
주식회사 오병
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=39061540&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=KR100775026(B1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by 주식회사 오병 filed Critical 주식회사 오병
Priority to KR1020060046592A priority Critical patent/KR100775026B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100775026B1 publication Critical patent/KR100775026B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J5/00Manipulators mounted on wheels or on carriages
    • B25J5/02Manipulators mounted on wheels or on carriages travelling along a guideway
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0075Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/06Safety devices
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S901/00Robots
    • Y10S901/01Mobile robot

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

본 발명은 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치에 관한 것으로서, 더욱더 상세하게는 레일의 내부로 먼지등과 같은 이물질이 유입되지 않도록 하는 더스트커버의 외측면에 마찰이 발생하지 않도록 함으로써, 레일을 따라 블록이 전후로 이동시에 도 더스트커버에 의해 분진등이 발생하는 것이 미연에 방지되도록 하는 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치에 관한 것이다.
본 발명은 베이스몸체(100)의 전후단부에 결합되는 벨트(200)의 전후단부에 설치홈(310)을 가지며 고정되게 설치되는 한쌍의 안착판(300)과, 상기 설치홈(310)에 안착이 이루어지는 자석(400)과, 상기 자석(400)의 상부면에 저면이 접하도록 레일(500)의 개구부에 설치되는 더스트커버(600)와, 상기 더스트커버(600)가 설치되어있는 베이스몸체(100)에 고정되게 결합된 블록(700)의 전후부에 각각 설치되는 가림판(800)으로 구성되는 것에 의해 달성된다.
베이스몸체、벨트、 안착판、설치홈、자석、레일、더스트커버、블록、가림판

Description

수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치{Device of Closing Dust Cover for Horizontally Movable Robot}
도 1은 본 발명인 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치의 설치상태를 보인 분해사시도
도 2는 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치가 설치된 상태를 보인 단면도
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 베이스몸체 200 : 벨트
300 : 안착판 310 : 설치홈
400 : 자석 500 : 레일
600 : 더스트커버 700 : 블록
800 : 가림판 320,810 : 경사면
본 발명은 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치에 관한 것으로서, 더욱더 상세하게는 레일의 내부로 먼지 등과 같은 이물질이 유입되지 않도록 하는 더스트커버의 외측면에 마찰이 발생하지 않도록 함으로써, 레일을 따라 블록이 전후로 이동시에도 더스트커버에 의해 분진등이 발생하는 것이 미연에 방지되도록 하는 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치에 관한 것이다.
일반적으로 수평 이동 로보트는 블록이 레일에 결합되어 이 레일을 따라 수평으로 직선운동하는 장치로써 다수의 축으로 조합되어 직교좌표 로보트 또는 자동화 설비등에 적용되어 다양한 형태의 모듈 시스템을 구성하고 있는 실정이다.
이 수평 이동 로보트는 레일 양단에 베이스몸체에 결합되어 있는 벨트가 감겨진 벨트풀리를 설치하고, 이 벨트풀리에 회전모터를 연결하여 이 회전모터의 회전에 의 레일을 따라 베이스몸체에 결합된 블록을 직선왕복운동시키는 방식과, 회전모터로 회전되는 스크류바에 베이스몸체를 결합하여 이 스크류바의 회전에 의해 베이스몸체에 결합된 블록이 전,후진 하여 직선 왕복운동하는 방식으로 구분된다.
한편, 상기 베이스몸체가 설치되는 레일의 개구부에는 작업실에서 발생되는 각종 먼지 및 분진이 레일의 내부로 유입되는 것을 억제하도록 하는 더스트커버를 설치하여, 상기 롤러의 내부로 작업장에서 발생되는 각종 먼지 및 분진이 베이스몸체가 설치되어 있는 레일의 내부로 유입되지 않도록 하고 있다.
또한, 상기 블록의 전후 양측에는 롤러가 하부에 설치되어 있는 가압판을 결합시키고, 상기 가입판에 설치되어 있는 롤러를 지지하는 지지판을 벨트가 결합되어 있는 베이스몸체에 결합시켜, 상기 베이스몸체가 롤러의 가이드면을 따라 전,후 진하여 왕복 운동하는 경우에도 지지판에 의해 지지된 상태로 더스트커버의 상부면에 접하며 구름운동이 이루어지는 롤러에 의해 가압되면서 레일의 개구부와 더스트커버 사이에 틈새가 발생하지 않도록 하고 있다.
그러나 종래에는 상기 베이스몸체가 레일의 가이드면을 따라 전,후진하여 왕복 운동하는 경우 더스트커버의 상부면에 접하며 구름운동이 이루어지는 롤러에 의해 가압되어지게 됨으로써, 상기 베이스몸체가 레일의 가이드면을 따라 전,후진하며 왕복 운동시 롤러와 더스트커버 사이에 마찰이 발생하면서 분진이 발생하게 되는 문제점이 있었다.
한편, 상기 롤러에 장시간 사용시 먼지때가 끼게 되면 크린룸에서 작업이 이루어지는 LCD 반도체작업을 수행시 불량률이 증가하여 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 레일의 내부로 먼지등과 같은 이물질이 유입되지 않도록 하는 더스트커버의 외측면에 마찰이 발생하지 않도록 함으로써, 레일을 따라 블록이 전후로 이동시에도 더스트커버에 의해 분진등이 발생하는 것이 미연에 방지되도록 하는 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 베이스몸체가 레일의 전,후로 왕복운동하는 경우에도 더스트커버의 외측면에 마찰이 발생하지 않아, 크린룸에서 작업이 이루어지는 LCD 반도체작업을 수행시에도 불량률을 저감시켜 생산성이 향상되도록 하는 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치를 제공하는 데 있다.
이러한 본 발명의 목적은 베이스몸체(100)의 전후단부에 결합되는 벨트(200)의 전후단부에 설치홈(310)을 가지며 고정되게 설치되는 한쌍의 안착판(300)과, 상기 설치홈(310)에 안착이 이루어지는 자석(400)과, 상기 자석(400)의 상부면에 저면이 접하도록 레일(500)의 개구부에 설치되는 더스트커버(600)와, 상기 더스트커버(600)가 설치되어있는 베이스몸체(100)에 고정되게 결합된 블록(700)의 전후부에 각각 설치되는 가림판(800)으로 구성되는 것에 의해 달성된다.
한편, 상기 안착판(300)의 외측 상부면과 가림판(800)의 내부에는 동일한 방향으로 경사면(320)(810)이 각각 일측으로 경사지게 형성되어 있어, 상기 블록(700)이 레일(100)의 전후로 왕복운동가는 경우, 상기 레일(100)의 개구부에 설치되어 있는 더스트커버(600)가 경사면(320)(810)을 따라 안내되면서 원활하게 블록(700)과 베이스몸체(100)가 레일(500)을 따라 전후로 원활하게 왕복운동이 이루어지게 됨을 밝혀 둔다.
또한, 상기 자석(400)의 자력은 자성체인 더스트커버(600)가 상부면과 소정의 간격이 유지되도록 당겨지도록 구성되어, 레일(500)을 따라 베이스몸체(100)가 전후로 이동되는 것에 의해 블록(700)이 레일(500)의 전후로 왕복운동이 이루어지는 경우에도, 상기 레일(500)의 개구부에 설치되어 있는 더스트커버(600) 외측면에 마찰이 발생되지 않게된다.
이러한 본 발명은 베이스몸체(100)가 레일(500)의 전,후로 이동되면서 블록(700)이 레일(500)의 전후로 왕복운동하는 경우에도 더스트커버(600)의 상,하부 외측면에 마찰이 발생하지 않아, 크린룸에서 작업이 이루어지는 LCD 반도체작업을 수행시에도 불량률을 저감되어 생산성이 향상되어지게 된다.
이하 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 그 기술적 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명인 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치의 설치상태를 보인 분해사시도 이고, 도 2는 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치가 설치된 상태를 보인 단면도 이다.
본 발명의 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치는 도 1과 도 2에 도시하고 있는 바와 같이, 레일(500)의 가이드면을 따라 전후로 왕복운동 가능하게 베이스몸체(100)를 설치하고, 상기 베이스몸체(100)의 전후부에 결합되어 있는 벨트(200)의 선단부와 후단부 상부면에 설치홈(310)이 형성되어 있는 안착판(300)을 고정되게 설치하며, 상기 설치홈(310)에는 자성체인 더스트커버(600)가 상부면과 소정의 간격이 유지되도록 당겨지도록 자력이 구성되어 있는 자석(400)을 삽입시킨다.
한편, 상기 자석(400)을 설치홈(310)에 삽입시킨 후에는 레일(500)의 개구부가 폐쇄되도록 길이방향으로 더스트커버(600)를 설치한다.
이때, 상기 베이스몸체(100)가 설치된 부위에 위치하게 되는 더스트커버(600)의 저면은 안착판(300)의 설치홈(310)에 삽입되어 있는 자석(400)의 자력에 의해 레일(500) 방향으로 당겨지면서 자석(400)의 상부면과 간격이 일정한 상태를 유지하게 됨으로써, 베이스몸체(100)의 선단부와 후단부에 위치하게되는 더스트커버(600)에 들뜸현상이 발생하지 않으며 베이스몸체(100)의 상부면에 더스트커버(600)의 저면이 밀착된 상태를 유지하게 된다.
상기와 같이 더스트커버(600)를 레일(500)의 개구부에 설치한 후에는 베이스몸체(100)에 블록(700)을 고정되게 결합시키며, 상기 블록(700)의 선단부와 후단부에는 안착판(300)과 동일한 방향으로 경사진 경사면(810)이 내부에 형성되어 있는 가림판(800)을 결합시켜, 상기 블록(700)의 내부가 외부에 노출되지 않도록 함과 동시에 원활하게 블록(700)이 레일(500)의 전후부로 왕복운동이 이루어지도록 한다.
이와 같이 구성되는 본 발명은 레일(500) 양단에 설치되어 있는 벨트풀리(900)가 회전되도록 회전모터(미도시)를 구동시키게되면, 상기 벨트풀리(900)가 회전모터의 회전력에 의해 일측 및 타측방향으로 회전이 이루어지게되고, 상기 벨트풀리(900)가 일측빛 타측방향으로 회전되는 방향으로 벨트(200)가 일측 및 타측방향으로 이동되어지게되며, 상기 벨트(200)가 이동되는 방향으로 베이스몸체(100)도 레일(500)의 가이드면을 따라 전후진되면서 왕복 운동이 이루어지게 된다.
이때, 상기 베이스몸체(100)의 선단부와 후단부에 위치하는 더스트커버(600)의 저면은 안착판(300)의 설치홈(310)에 설치되어 있는 자석(400)의 자력에 의해 레일(500) 방향으로 당겨진 상태를 유지하게 됨으로써, 상기 베이스몸체(100)에 블록(700)을 결합시켜 레일(500)의 전후부로 왕복 운동시에도 더스트커버(600)의 상 하부 외측면에 마찰이 발생하지 않게 된다.
한편, 상기 블록(700)의 전후단부에는 안착판(300)에 형성된 경사면(320)과 동일한 방향으로 경사면(810)이 내부에 형성되어 가림판(800)이 결합되는 것에 의해, 상기 블록(700)의 내부로 먼지 등과 같은 이물질이 유입되지 않게 됨은 물론, 상기 블록(700)이 전후로 왕복운동시 베이스몸체(100)의 선단부와 후단부에 위치하는 더스트커버(600) 부위의 저면이 안정되게 안착판(300)에 설치된 자석(400)의 상부면과 일정한 간격을 유지하게 된다.
따라서 이러한 본 발명은, 레일(500)을 따라 베이스몸체(100)가 전후로 이동되는 것에 의해 블록(700)이 레일(500)의 전후로 왕복운동이 이루어지는 경우에도 상기 레일(500)의 개구부에 설치되어 있는 더스트커버(600) 외측면에 마찰이 발생되지 않아, 작업실에 마찰열에 의한 분진 등이 발생하지 않게 되는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 베이스몸체(100)가 레일(500)의 전,후로 이동되면서 블록(700)이 레일(500)의 전후로 왕복 운동하는 경우에도 더스트커버(600)의 외측면에 마찰이 발생하지 않아, 크린룸에서 작업이 이루어지는 LCD 반도체작업을 수행 시에도 불량률을 저감되어 생산성이 향상되어지게 되는 등의 효과가 있는 매우 유용한 발명이다.

Claims (3)

  1. 베이스몸체(100)의 전후단부에 결합되는 벨트(200)의 전후단부에 설치홈(310)을 가지며 고정되게 설치되는 한쌍의 안착판(300)과, 상기 설치홈(310)에 안착이 이루어지는 자석(400)과, 상기 자석(400)의 상부면에 저면이 접하도록 레일(500)의 개구부에 설치되는 더스트커버(600)와, 상기 더스트커버(600)가 설치되어있는 베이스몸체(100)에 고정되게 결합된 블록(700)의 전후부에 각각 설치되는 가림판(800)으로 구성되는 것을 특징으로 하는 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 안착판(300)의 외측 상부면과 가림판(800)의 내부에는 동일한 방향으로 경사면(320)(810)이 각각 일측으로 경사지게 형성됨을 특징으로 하는 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 자석(400)의 자력은 자성체인 더스트커버(600)가 레일(500) 방향으로 당겨지면서 자석(400)의 상부면과 간격이 일정한 상태가 유지되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치.
KR1020060046592A 2006-05-24 2006-05-24 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치 KR100775026B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060046592A KR100775026B1 (ko) 2006-05-24 2006-05-24 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060046592A KR100775026B1 (ko) 2006-05-24 2006-05-24 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100775026B1 true KR100775026B1 (ko) 2007-11-09

Family

ID=39061540

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060046592A KR100775026B1 (ko) 2006-05-24 2006-05-24 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100775026B1 (ko)

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100893943B1 (ko) * 2008-10-06 2009-05-04 주식회사 알파로보틱스 직선로봇의 밀폐밴드 결합구조
KR101163105B1 (ko) * 2010-05-27 2012-07-09 (주)티피씨로보틱스 리니어 액추에이터
KR101195368B1 (ko) * 2010-05-12 2012-10-29 (주)동부로봇 리니어 스테이지 로봇
KR101334530B1 (ko) 2013-05-03 2013-11-28 주승갑 마그네틱 홀더 및 탄성부재를 구비하는 직교로봇
KR101334497B1 (ko) 2013-05-03 2013-11-29 주승갑 고무판자석을 구비하는 직교로봇
KR101334486B1 (ko) * 2012-06-18 2013-11-29 강기운 클린타입 직선로봇
CN103465273A (zh) * 2013-09-06 2013-12-25 苏州凯欧机械科技有限公司 一种用于机械手上带防尘罩的轴向定位装置
KR20170034639A (ko) 2015-09-21 2017-03-29 주식회사 에스에프에이 직교로봇
KR20180092481A (ko) 2017-02-09 2018-08-20 주식회사 에스에프에이 직교로봇
KR20190011106A (ko) 2017-07-24 2019-02-01 주식회사 에스에프에이 직교로봇
US10214368B2 (en) 2015-10-23 2019-02-26 NJM Packaging Inc. System using magnetic coupling to move a carriage
CN110745463A (zh) * 2019-11-11 2020-02-04 山西尚风科技股份有限公司 一种可移动皮带输送机防尘罩
US10935075B2 (en) * 2018-10-22 2021-03-02 Hiwin Technologies Corp. Low dust linear module
WO2023167533A1 (ko) * 2022-03-04 2023-09-07 주식회사 제우스 리니어 액추에이터
KR20240014161A (ko) 2022-07-25 2024-02-01 홍춘강 이송장치의 홀 마감 장치

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4500097A (en) * 1983-01-27 1985-02-19 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. Seal device in displacement measuring instrument
JPS638214U (ko) * 1986-07-02 1988-01-20
KR19980033633A (ko) * 1998-04-27 1998-07-25 문희수 분수 노즐
KR19980033633U (ko) * 1996-12-09 1998-09-05 김종진 벨트컨베이어 클리너 이상상태 감지장치
KR19990003494A (ko) * 1997-06-25 1999-01-15 김영환 반도체 소자 제조방법
KR19990003494U (ko) * 1997-06-30 1999-01-25 김종진 철편감지장치가 구비된 크리너 작동장치
KR100203388B1 (ko) * 1991-05-23 1999-06-15 윌리암 에이취 캘넌, 에곤 이 버그 히드록실아민의 존재 하에서 수성 중합체의 안정화
KR200203388Y1 (ko) * 2000-06-16 2000-11-15 지성만 로봇용 액츄에이터의 이물질 유입방지장치
KR20010030407A (ko) * 1999-09-16 2001-04-16 조셉 제이. 스위니 반도체 처리 장치용 다중면 로봇 블레이드
KR20010047959A (ko) * 1999-11-24 2001-06-15 이구택 원료처리용 연속식 언로더의 슈트 자동덮개장치
KR20020034943A (ko) * 2000-10-31 2002-05-09 에모토 간지 이동형 노상 노에 있어서의 환원 생성물의 배출 방법 및그 장치

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4500097A (en) * 1983-01-27 1985-02-19 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. Seal device in displacement measuring instrument
JPS638214U (ko) * 1986-07-02 1988-01-20
KR100203388B1 (ko) * 1991-05-23 1999-06-15 윌리암 에이취 캘넌, 에곤 이 버그 히드록실아민의 존재 하에서 수성 중합체의 안정화
KR19980033633U (ko) * 1996-12-09 1998-09-05 김종진 벨트컨베이어 클리너 이상상태 감지장치
KR19990003494A (ko) * 1997-06-25 1999-01-15 김영환 반도체 소자 제조방법
KR19990003494U (ko) * 1997-06-30 1999-01-25 김종진 철편감지장치가 구비된 크리너 작동장치
KR19980033633A (ko) * 1998-04-27 1998-07-25 문희수 분수 노즐
KR20010030407A (ko) * 1999-09-16 2001-04-16 조셉 제이. 스위니 반도체 처리 장치용 다중면 로봇 블레이드
KR20010047959A (ko) * 1999-11-24 2001-06-15 이구택 원료처리용 연속식 언로더의 슈트 자동덮개장치
KR200203388Y1 (ko) * 2000-06-16 2000-11-15 지성만 로봇용 액츄에이터의 이물질 유입방지장치
KR20020034943A (ko) * 2000-10-31 2002-05-09 에모토 간지 이동형 노상 노에 있어서의 환원 생성물의 배출 방법 및그 장치

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100893943B1 (ko) * 2008-10-06 2009-05-04 주식회사 알파로보틱스 직선로봇의 밀폐밴드 결합구조
KR101195368B1 (ko) * 2010-05-12 2012-10-29 (주)동부로봇 리니어 스테이지 로봇
KR101163105B1 (ko) * 2010-05-27 2012-07-09 (주)티피씨로보틱스 리니어 액추에이터
KR101334486B1 (ko) * 2012-06-18 2013-11-29 강기운 클린타입 직선로봇
KR101334530B1 (ko) 2013-05-03 2013-11-28 주승갑 마그네틱 홀더 및 탄성부재를 구비하는 직교로봇
KR101334497B1 (ko) 2013-05-03 2013-11-29 주승갑 고무판자석을 구비하는 직교로봇
CN103465273A (zh) * 2013-09-06 2013-12-25 苏州凯欧机械科技有限公司 一种用于机械手上带防尘罩的轴向定位装置
KR20170034639A (ko) 2015-09-21 2017-03-29 주식회사 에스에프에이 직교로봇
US10214368B2 (en) 2015-10-23 2019-02-26 NJM Packaging Inc. System using magnetic coupling to move a carriage
KR20180092481A (ko) 2017-02-09 2018-08-20 주식회사 에스에프에이 직교로봇
KR20190011106A (ko) 2017-07-24 2019-02-01 주식회사 에스에프에이 직교로봇
US10935075B2 (en) * 2018-10-22 2021-03-02 Hiwin Technologies Corp. Low dust linear module
CN110745463A (zh) * 2019-11-11 2020-02-04 山西尚风科技股份有限公司 一种可移动皮带输送机防尘罩
WO2023167533A1 (ko) * 2022-03-04 2023-09-07 주식회사 제우스 리니어 액추에이터
KR20240014161A (ko) 2022-07-25 2024-02-01 홍춘강 이송장치의 홀 마감 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100775026B1 (ko) 수평 이동 로보트용 더스트커버 밀착장치
KR100792768B1 (ko) 수평유지테이블이 구비된 리니어 로봇
KR100812988B1 (ko) 리니어 스테이지 로봇
KR101334486B1 (ko) 클린타입 직선로봇
CN113182613B (zh) 一种焊渣清除设备
CN212935746U (zh) 一种直线电机防护机构
KR102010258B1 (ko) 리니어 가이드 장치
KR101751262B1 (ko) 직교로봇
KR101396405B1 (ko) 스테이지 틸팅장치
KR101315572B1 (ko) 투명 투시창이 부착된 클린타입 직선로봇
CN212752093U (zh) 一种直线电机滑台
CN215861587U (zh) 一种丝杆驱动的线性模组
TWI611119B (zh) 定位滑台
CN205802342U (zh) 一种可去除残渣的茶叶皮带输送带
JP2006067657A (ja) リニアモータ
KR101596244B1 (ko) 벨트구동 직교좌표 로봇의 벨트맞물림 방지장치
JP2007144591A (ja) 単軸ロボット
KR101398229B1 (ko) 클린타입 직선로봇
CN210757704U (zh) 一种用于机器人地轨的结构
CN110265279B (zh) 一种工件侧进式双真空室离子束加工系统
KR100735116B1 (ko) 리니어 모터
CN107282485B (zh) 一种用于设备的维护清理装置
KR20120041599A (ko) 더스트커버가 구비된 수평 수직 이동 로봇용 레일장치
KR101483257B1 (ko) 직선 이동형 클린 로봇
KR101481622B1 (ko) 클린 커버 밀착 구조를 갖는 이동 유닛 및 이를 갖는 수평 이동형 직선 로봇

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
J206 Request for trial to confirm the scope of a patent right
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR CONFIRMATION OF THE SCOPE OF RIGHT_AFFIRMATIVE REQUESTED 20120628

Effective date: 20121226

J2X1 Appeal (before the patent court)

Free format text: CONFIRMATION OF THE SCOPE OF RIGHT_AFFIRMATIVE

J302 Written judgement (patent court)

Free format text: JUDGMENT (PATENT COURT) FOR CONFIRMATION OF THE SCOPE OF RIGHT_AFFIRMATIVE REQUESTED 20130207

Effective date: 20130726

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130822

Year of fee payment: 7

J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR CONFIRMATION OF THE SCOPE OF RIGHT_AFFIRMATIVE REQUESTED 20130816

Effective date: 20131129

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140926

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151210

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161017

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171016

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181015

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191121

Year of fee payment: 13