KR100771484B1 - 진공회수시스템의 수분분리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공회수시스템의 수분분리장치에 관한 것으로서, 밑면에 배수구가 형성되고, 대체로 상부에 공기 흡기구와 공기 배기구가 형성되는 밀폐형태의 트랩; 상기 트랩의 배수구와 연결되고, 상기 배수구를 통해 배출되는 수분을 저장하는 탱크; 및 상기 트랩의 내부에 설치되고, 상기 배기구와 연결되는 데미스터(demister);를 포함하는 것을 특징으로 한다.

진공회수, 수분분리

Description

진공회수시스템의 수분분리장치{Water Separation Device for Vacuum Evacuation System}

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 수분분리장치의 대략적인 구성도이고,

도 2는 도 1에 도시된 데미스터(demister)의 분리 사시도이고,

도 3은 도 1에 도시된 수분분리장치의 평면도이고,

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 수분분리장치의 평면도이고,

도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 수분분리장치의 구성도이고,

도 6, 도 7, 도 8, 및 도 9는 도 5에 도시된 수분분리장치가 구비된 진공회수시스템의 동작과정을 단계별로 나타낸 개략도이다.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

100: 수분분리장치 10: 트랩

12: 흡기구 14: 배기구

16: 배수구 20: 탱크

30: 데미스터(demister) 40: 제1밸브

42: 제2밸브 44: 제3밸브

50: 제어수단 60: 안내관

70: 진공필터 200: 진공펌프

본 발명은 진공회수시스템에 구비되는 수분분리장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 펌프로 수분이 유입되는 현상을 확실하게 차단하고, 분리수거된 수분의 처리가 용이한 진공회수시스템의 수분분리장치에 관한 것이다.

반도체 생성라인에는 반도체 웨이퍼를 설계된 크기에 맞게 절단하는 절단공정이 있으며, 절단공정에서는 반도체 웨이퍼를 흡착고정 및 이물질(예들 들어 웨이퍼 절단과정에서 발생하는 미세분진(particle))을 흡입하는 수단으로 진공회수시스템이 사용된다.

이러한 절단공정의 진공회수시스템은 반도체 웨이퍼를 흡착하기 위한 공기와, 반도체 웨이퍼를 세척하는 세척수(주로 탈이온수(Di-water:Deionized Water)를 사용한다)를 빨아들이기 위한 수단으로 진공펌프를 구비한다. 그런데, 절단공정에서는 공기와 세척수가 혼합되어 진공펌프 측으로 흡입되므로, 통상적으로는 액체 즉, 세척수에 대한 영향을 덜 받는 수봉식 펌프(water ring vacuum pump)가 많이 사용된다.

그러나, 수봉식 펌프를 이용한 진공회수시스템은 물과 공기를 함께 흡입하므로, 대용량의 펌프가 필요하다. 때문에. 종래 진공회수시스템은 대용량의 펌프사용으로 인하여, 시스템의 전력소모량이 높을 뿐만 아니라 전체 시스템의 가격도 높은 문제점이 있다.

때문에, 근래에는 진공펌프와 작업대상물(즉, 반도체 웨이퍼)을 연결하는 배관에 필터와 같은 세척수 분리수단을 이용하고 있다. 그러나, 이와 같은 수단은 세척수와 공기를 어느 정도 분리해 낼 수 있으나, 필터의 기공이 수분으로 인하여 쉽게 좁아지므로 진공펌프에 부하를 유발하여 전력소모량을 크게 증대시키는 문제점이 있다.

따라서, 진공펌프와 작업대상물 사이에 설치되어, 세척수와 공기를 효과적으로 분리할 수 있는 진공회수시스템용 수분분리장치의 개발이 적실히 요청된다.

본 발명은 상기와 같은 필요에 의해 발명된 것으로서, 진공펌프와 작업대상물 사이에 설치되어 공기와 함께 흡입되는 수분만을 쉽게 분리해 낼 수 있으며, 진공펌프에 부하를 유발하지 않는 진공회수시스템의 수분분리장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 한 실시예에 따르면, 밑면에 배수구가 형성되고, 대체로 상부에 공기 흡기구와 공기 배기구가 형성되는 밀폐형태의 트랩; 상기 트랩의 배수구와 연결되고, 상기 배수구를 통해 배출되는 수분을 저장하는 탱크; 및 상기 트랩의 내부에 설치되고, 상기 배기구와 연결되는 데미스터(demister);를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공회수시스템의 수분분리장치가 제공된다.

바람직하게는, 상기 데미스터는 윗면 및 밑면이 개방된 수용용기; 상기 수용용기의 밑면을 덮으며 다수의 통기공이 형성된 바닥판; 상기 바닥판과 상기 트랩을 연결하는 연결부재; 및 상기 수용용기의 내부에 채워지는 금속섬유로 이루어지는 것이 좋다.

또한, 상기 배기구에는 진공필터가 더 설치되는 것이 좋다.

또한, 상기 흡기구는 상기 트랩의 측면에 형성되고, 상기 배기구는 상기 트랩의 윗면에 형성되는 것이 좋다.

또한, 상기 흡기구는 상기 트랩의 측면에 대하여 비스듬한 각도로 형성되는 것이 좋다.

또한, 상기 배기구에는 상기 배기구를 통해 흡입되는 공기 및 수분이 하방으로 분사될 수 있도록 분사방향을 안내하는 앵글형태의 안내관이 더 설치되는 것이 좋다.

또한, 상기 배수구에는 상기 배수구의 개폐를 제어하는 제1밸브가 더 설치되는 것이 좋다.

또한, 상기 탱크의 체적은 상기 트랩의 체적보다 작은 것이 좋다.

또한, 상기 탱크에는 상기 탱크 내부의 기압을 조절하는 제2밸브와, 상기 탱크의 내부에 저장되는 수분을 외부로 배출하는 제3밸브를 더 구비하는 것이 좋다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 수분분리장치의 대략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 데미스터(demister)의 분리 사시도이고, 도 3은 도 1에 도시 된 수분분리장치의 평면도이다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 수분분리장치(100)는 트랩(10), 탱크(20), 및 데미스터(demister, 30)로 구성된다.

트랩(10)은 전체적으로 원통형의 구조물로서, 몸통(10a)과 뚜껑(10b)으로 분리된다. 트랩(10)의 몸통(10a)은 트랩(10)의 전체적인 형상을 이루는 부분으로서, 윗면이 개방되고, 하부의 단면적이 급격하게 감소하여 배수구(16)를 형성하는 형태이다. 몸통(10a)의 측면에는 작업대상물 또는 작업장(예들 들어, 반도체 웨이퍼)으로부터 흡입되는 공기 및 세척수가 유입되는 흡기구(12)가 형성된다. 트랩(10)의 뚜껑(10b)은 몸통(10a)의 단면과 일치하는 원판 형태이다. 뚜껑(10b)은 몸통(10a)의 개방된 윗면에 체결되어 몸통(10a)의 내부공간을 밀폐시킨다. 뚜껑(10b)에는 몸통(10a)의 내부와 소통하는 배기구(14)가 형성된다.

탱크(20)는 수분을 저장하는 저장용기로서, 트랩(10)의 배수구(16)에 연결된다. 탱크(20)의 상부는 도 1에 도시된 바와 같이 단면적이 점차 줄어드는 형태로 형성되는 것이 좋다. 아울러, 탱크(20)의 체적은 트랩(10)의 체적보다 작은 것이 바람직하다.

데미스터(demister, 30)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 수용용기(32), 바닥판(34), 연결부재(36), 및 여러 겹으로 겹쳐진 금속섬유(38)로 구성되며, 트랩(10)의 내부에 설치된다. 트랩(10)에 설치된 데미스터(30)는 트랩(10)의 배기구(14)를 통해 배출되는 공기 중의 수분을 걸러내는 구실을 한다. 다음에서는 데미스터(30)의 각 구성요소를 면밀히 살펴보겠다.

수용용기(32)는 윗면 및 밑면이 개방된 원통 형태로서, 다층으로 이루어진 금속섬유(38)를 수용한다. 수용용기(32)는 트랩(10) 뚜껑(10b)의 밑면에 하방으로 돌출되게 설치된다. 바닥판(34)은 수용용기(32)의 단면과 대체로 동일 또는 유사한 판 형태(즉, 원판 형태)로서, 수용용기(32)의 밑면에 결합한다. 바닥판(34)은 수용용기(32) 외측의 공기 또는 수분이 수용용기(32)의 내측으로 유입될 수 있도록 두께방향으로 관통된 다수의 통기공(34a)을 갖는다. 연결부재(36)는 소정의 길이를 갖는 봉 형태의 부재로서, 바닥판(34)과 트랩(10)을 연결한다. 즉, 연결부재(36)는 바닥판(34)을 관통하여 트랩(10)의 상부인 뚜껑(10a)에 체결한다. 따라서, 수용용기(32)는 바닥판(34)에 결합하는 연결부재(36)를 매개로 트랩(10)에 고정된다. 금속섬유(38)는 가는 금속재질의 섬유 또는 그물망이 불규칙적으로 엉킨 형태로서, 데미스터(30)를 통과하는 수분의 이동을 방해하는 구실을 한다. 즉, 공기와 같이 기체는 금속섬유(38)를 비교적 쉽게 통과하지만, 수분과 같은 액체는 금속섬유(38)에 이슬형태로 맺히게 된다. 따라서, 본 발명에 도시된 형태의 데미스터(30)를 사용하면 공기 중의 수분을 원활하게 분리해낼 수 있다. 참고로, 이와 같은 형태의 데미스터(30)는 일반적인 필터에 비해 기공이 크므로 공기의 흐름을 크게 방해하지 않으며, 진공펌프에 부하를 증가시키지 않는 장점이 있다. 한편, 데미스터(30)를 구성하는 모든 부재들은 내식성이 좋은 스테인리스 스틸 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.

이와 같이 구성된 제1실시예의 동작원리를 도 1 및 도 3을 참조하여 간략하게 설명하면 다음과 같다.

진공회수시스템이 작동하여 수분분리장치에 진공 압력이 걸리면, 트랩(10)의 흡기구(12)를 통해서는 작업대상물 또는 작업장에서 발생하는 공기와 이물질(반도체 웨이퍼 절단공정에서는 세척수, 미세분진 등)이 흡입되고, 트랩(10)의 배기구(14)를 통해서는 트랩(10) 내부의 공기가 배출된다.

흡기구(12)를 통해 흡입되는 공기 및 이물질은 도 3에 도시된 바와 같이 데미스터(30)의 바깥쪽으로 분사된다. 분사된 물질 중 세척수는 공기에 비해 상당한 질량을 가지므로, 트랩(10)에 유입된 후에는 중력(참고로 트랩(10) 내부는 대기에 비해 상대적으로 기압이 낮으나 중력에 의한 영향은 받는다)에 의해 트랩(10)의 아래쪽으로 떨어지려는 관성을 갖으며, 대부분의 세척수는 배수구(16)를 통해 탱크(20)로 흘러내린다. 반면, 공기는 질량이 가벼워 중력에 의한 영향을 거의 받지 않으므로, 배기구(14)에 걸리는 진공압력에 의해 데미스터(30)를 통과한 후 배기구(14)를 통해 배출된다.

한편, 데미스터(30)로 유입되는 공기 중에 포함된 작은 물방울은 데미스터(30)의 금속섬유(38)에 맺힌 후, 일정 크기 또는 무게에 다다르면 데미스터(30)의 바닥판(34)에 형성된 통기공(34a)을 통해 하방으로 떨어져 탱크(20)에 저장된다. 그리고, 웨이퍼의 절단공정 중에서 발생한 미세분진은 세척수에 용해되어 세척수와 함께 탱크(20)로 흘러내린다.

따라서, 본 발명에 따르면, 진공회수작업에 의해 흡입되는 공기 중에 포함된 액체상태의 물질을 효과적으로 분리할 수 있으므로, 진공펌프의 효율을 극대화할 수 있으며, 진공펌프의 크기 및 펌핑작업 시 발생하는 소음을 작게 할 수 있다.

다음에서는 본 발명의 다른 형태에 대해서 살펴보겠다. 도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 수분분리장치의 평면도이고, 도 5는 본 발명의 제3실시예에 따른 수분분리장치의 구성도이다. 참고로, 제1실시예의 구성요소와 동일한 구성요소는 동일한 도면부호를 사용하며, 이들 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략한다.

제2실시예의 수분분리장치(100a)는 흡기구(12)의 형성 위치에 있어서 제1실시예와 다른 형태를 갖는다. 즉, 제1실시예의 수분분리장치(100)에서는 흡기구(12)가 트랩(12)의 중심을 향하게 형성되어 있으나, 제2실시예의 수분분리장치(100a)에서는 도 4에 도시된 바와 같이, 흡기구(12)가 트랩(10)의 측면(즉 원주면)에 비스듬하게 또는 측면의 접선방향과 대체로 일치되게 형성되어 있다.

따라서, 흡기구(12)를 통해 공기 및 세척수가 유입되면, 공기 및 세척수는 트랩(10)의 내부 측면을 따라 회전하는 관성을 갖는다. 이때, 질량이 상대적으로 큰 세척수는 중력의 영향을 받아, 트랩(10)의 내부 측면을 따라 회전하면서 점차 하방으로 이동하나, 질량이 가벼운 공기는 중력보다는 진공펌프의 흡입압력의 영향을 받아 점차 트랩(10)의 상방으로 이동한다. 결국, 세척수는 트랩(10)의 내부 측면에 따라 흘러내려 탱크(20)로 이동되어 탱크(20)에 저장되나, 공기는 트랩(10)의 내부에 편심되게 설치된 데미스터(30)를 통해 배기구(14)로 배출된다.

본 제2실시예는 제1실시예와 달리 공기와 함께 흡입되는 세척수 또는 수분이 트랩(10)의 중앙에 그대로 분사되는 것이 아니라, 트랩(10)의 내부 측면을 적시는 형태로 분사되므로, 세척수 또는 수분이 트랩(10)의 내부 측면과 마찰에 의해 배기 구(14) 측으로 쉽게 빨려가지 않는 장점이 있으며, 공기와 세척수 또는 수분이 원심력에 의해 쉽게 분리되는 장점이 있다(원심력은 질량에 비례하므로 질량이 큰 세척수 또는 수분과 공기가 트랩(10)을 따라 회전하면서 점차 분리된다).

제3실시예의 수분분리장치(100b)는 트랩(10)과 데미스터(30)에 의해 분리된 세척수 또는 수분의 자동분리배출이 용이하도록 구성된 것으로서, 도 5에 도시된 바와 같이 다수의 밸브(40, 42, 44)와 이들 밸브(40, 42, 44)의 제어수단(50)을 구비한 점에 있어서 제1실시예 및 제2실시예와 큰 차이점을 갖는다.

다음에서는 제3실시예와 전술된 실시예의 차이점을 토대로, 제3실시예의 수분분리장치(100b)를 설명하겠다.

도 5에 도시된 바와 같이 본 실시예의 수분분리장치(100b)는 안내관(60), 다수의 밸브(40, 42, 44), 및 제어수단(50)을 더 포함한다.

안내관(60)은 앵글 형태의 관으로서, 트랩(10)의 흡기구(12)에 설치된다. 안내관(60)은 흡기구(12)를 통해 배출되는 공기 및 세척수 또는 수분이 대체로 하방으로 분사되도록 유도한다. 이와 같이 안내관(60)이 설치되면, 흡기구(12)를 통해 흡입되는 공기 및 세척수 또는 수분의 분사방향이 데미스터(30)의 통기공(34a)과 반대인 탱크(20) 쪽을 향하므로, 세척수 또는 수분이 데미스터(30)의 통기공(34a) 측으로 빨려들어가는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. 참고로, 안내관(60)은 토출구(60a)의 위치가 데미스터(30)의 통기공(34a)보다 낮게 위치되도록 소정의 길이를 갖는 것이 바람직하다.

제1밸브(40)는 트랩(10)과 탱크(20)의 연결부위에 설치되고, 제2밸브(42)와 제3밸브(44)는 탱크(20)에 설치된다. 그리고, 제어수단(50)은 별도의 공간 또는 탱크(20)의 외측에 설치되어, 이들 밸브(40, 42, 44)의 개폐동작을 제어한다.

제1밸브(40)는 트랩(10)의 배수구(16)에 설치되어, 탱크(20)로 이동하는 세척수 또는 수분의 유량을 제어하고, 트랩(10)의 내부공간과 탱크(20)의 내부공간을 선택적으로 분리하는 구실을 한다.

제2밸브(42)는 탱크(20)의 상부에 설치되고, 제3밸브(44)는 탱크(20)의 하부에 설치된다. 바람직하게는, 탱크(20)의 상부와 하부에 대기 및 배수관과 각각 소통하는 배관(22, 24)이 설치되고, 이들 배관(22, 24)에 제2밸브(42)와 제3밸브(44)가 각각 설치되는 것이 좋다. 이러한 구성에서 제2밸브(42)는 탱크(20) 내부로 공기의 유입을 선택적으로 조절하는 구실을 하고, 제3밸브(44)는 탱크(20)에 채워진 세척수 또는 수분의 배출량을 조절하는 구실을 한다. 즉, 이들 밸브(40, 42, 44)는 트랩(10) 또는 탱크(20)에 저장되는 세척수 또는 수분을 대기상태의 외부로 쉽게 배출하기 위해 마련된 것이다.

다음에서는 이러한 밸브(40, 42, 44)들의 개폐동작에 따른 수분분리장치의 동작과정을 하나의 사용 예를 토대로 상세히 살펴보겠다. 도 6, 도 7, 도 8, 및 도 8는 도 5에 도시된 수분분리장치가 구비된 진공회수시스템의 동작과정을 단계별로 나타낸 개략도이다. 참고로, 도 5 내지 도 8에 도시된 실시예에서는 진공필터(70)가 더 설치되어 있으며, 이 진공필터(70)는 10㎛ 이하의 메시 크기를 갖는다.

도 6에 도시된 바와 같이, 수분분리장치(100b)는 진공펌프(200)와 작업라인(300, 본 사용예에서는 반도체생산라인의 웨이퍼 절단공정 라인)과 연결된다. 진공펌프(200)는 작업라인(300)에 필요한 진공상태를 만들어주기 위해 작동한다. 본 사용예에서는 작업라인(300)에서 세척수가 분사되므로, 공기와 함께 세척수가 진공펌프(200) 측으로 빨려들어간다. 한편, 초기상태에서는, 제1밸브(40)는 개방상태로 유지되고, 제2밸브(42)와 제3밸브(44)는 폐쇄 상태로 유지된다.

진공펌프(200) 측으로 이동하는 공기와 세척수는 먼저 수분분리장치(100b)에 토출된다. 이때, 세척수는 전술된 실시예에서 설명한 바와 같이 중력에 의해 트랩(10)의 하방으로 흘러내려 탱크(20)에 저장되고, 공기는 진공펌프(200)의 진공압력에 의해 데미스터(30)를 통해 진공펌프(200) 측으로 이동한다. 그리고 진공펌프(200)로 이동하는 공기 중에 포함된 수분 또는 물방울들은 1차적으로 데미스터(30)에 의해 걸러지고, 2차적으로 진공필터(70)에 의해 걸러진다. 따라서, 진공필터(70)의 상태를 보면 진공펌프(200)로 유입되는 공기 중의 오염도를 판단할 수 있다.

이와 같은 상태가 일정시간 동안 지속되면, 도 6에 도시된 바와 같이 탱크(20)의 하부에는 상당량의 세척수가 고이게 된다. 그러면, 제어수단(50)은 제1설정시간(t1) 또는 탱크(20)에 설치되는 수위감지센서(도시되지 않음)의 측정값에 따라, 도 7에 도시된 바와 같이 제1밸브(40)를 폐쇄한다. 참고로, 제1설정시간(t1)은 작업라인(300)으로부터 유입되는 수분의 평균량이나 탱크(20)에 저장되는 세척수의 양을 감안하여 설정되는 것이 좋다.

제1밸브(40)가 개방된 후 제1설정시간(t1)이 지나면, 제어수단(50)은 도 7에 도시된 바와 같이 제1밸브(40)를 폐쇄하고, 도 8에 도시된 바와 같이 닫혔던 제2밸브(42)와 제3밸브(44)를 순차적 또는 동시에 개방한다. 그러면, 탱크(20) 주위의 공기가 탱크(20) 내부와 대기 간의 압력차이(참고로, 탱크(20) 내부의 압력은 대기에 비하여 낮다)에 의해 탱크(20) 내부로 유입되어 탱크(20) 내부의 압력을 대기와 거의 평형한 상태로 만든다. 그리고, 탱크(20)에 저장된 물은 위치에너지에 의해 탱크(20)의 밑면에 형성된 배관(34)과 제3밸브(44)를 통해 외부로 배출된다. 참고로, 제1밸브(40)는 트랩(10) 내부가 대기압보다 낮은 상태로 유지될 수 있도록 제2밸브(42)와 제3밸브(44)의 개방시기 동안에는 전혀 개방되지 않는다.

위와 같은 과정을 통해 탱크(20)에 저장된 물이 배출되면, 제어수단(50)은 제3밸브(44)를 제2설정시간(t2) 동안 개방시킨 뒤 폐쇄하고, 도 8에 도시된 바와 같이 제1밸브(40)를 다시 개방한다.

그런데, 탱크(20)의 저장된 세척수의 배출 후에는 탱크(20)의 내부 압력(대기압 상태임)이 트랩(10)의 내부 압력(대기압보다 낮은 상태임)에 비해 높으므로, 제1밸브(40)를 개방하면, 탱크(20)의 공기가 트랩(10) 쪽으로 유입되는 현상이 발생한다. 때문에, 탱크(20)에 저장된 세척수를 배출하는 동안 트랩(10)에 저장된 세척수가 이러한 압력차에 의해 트랩(10)의 상부인 데미스터(30) 쪽으로 유입될 수 있다.

본 발명은 바로 이러한 점을 감안하여, 탱크(20)의 압력을 트랩(10)의 체적공간에서 대부분이 흡수할 수 있도록, 트랩(10)의 체적을 탱크(20)의 체적에 비해 상당히(트랩(10)의 체적이 탱크(20)의 체적의 3배 이상인 것이 좋다) 크게 제작하였다. 따라서, 탱크(20)의 내부 압력이 트랩(10)보다 높은 상태에서 제1밸브(40)를 개방하여도, 트랩(10)에 저장된 세척수가 탱크(20)의 압력에 의해 위로 상승하지 못하고, 도 9에 도시된 바와 같이 탱크(20)로 흘러내리고, 탱크(20)의 공기만 트랩(10) 측으로 상승한다. 그리고, 탱크(20)에서 상승하는 공기 중에 포함된 소량의 세척수, 즉 작은 물방울은 데미스터(30)에 의해 걸러진다. 따라서, 본 발명에 따르면, 연속적인 진공작업 중에도 공기 중에 포함된 세척수를 용이하게 분리해 낼 수 있다.

참고로, 밸브들(40, 42, 44)에 대한 개폐동작의 제어는 제어수단(50)에 설정된 시간주기 또는 센서로부터 입력되는 신호에 따라 진공펌프(200)와 작업라인(300)이 가동되는 내내 계속된다.

한편, 위에서는 반도체 라인의 웨이퍼 절단공정을 하나의 사용예로 들어 설명하였으나, 자동차 엔진 생산라인에서 엔진 성능시험 후 엔진에 포함된 오일을 회수하는 진공회수시스템에서도 본 발명을 이용할 수 있다. 그리고 진공펌프를 이용하는 기타 시스템에서, 본 발명은 기체와 액체를 분리하는 장치로서 유용하게 활용할 수 있다.

본 발명은 기체와 액체가 혼입되는 진공회수시스템에서 기체와 액체를 신속하고 효과적으로 분리할 수 있는 장점이 있다.

또한, 본 발명에 따르면 기체와 액체의 분리효율이 높아지므로, 저용량의 진 공펌프를 사용할 수 있으며, 대용량 진공펌프의 사용에 따른 소음발생을 효과적으로 줄일 수 있다.

아울러, 본 발명에 따르면 흡입된 공기 중에 포함된 수분이 진공펌프로 유입되기 전에 원천적으로 걸러지므로, 건식 펌프(Dry Pump), 유회전식 펌프(Oil Rotary Pump), 수봉식 펌프(Water Ring Pump), 에어 이젝터 등의 모든 종류의 진공펌프를 사용할 수 있다.

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대해서 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 얼마든지 다양하게 변경하여 실시할 수 있을 것이다.

Claims (9)

1. 밑면에 배수구가 형성되고, 상부에 공기 흡기구와 공기 배기구가 형성되는 밀폐형태의 트랩;

   상기 트랩의 배수구와 연결되고, 상기 배수구를 통해 배출되는 수분을 저장하는 탱크; 및

   상기 트랩의 내부에 설치되고, 상기 배기구와 연결되는 데미스터(demister);를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공회수시스템의 수분분리장치.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 데미스터는 윗면 및 밑면이 개방된 수용용기; 상기 수용용기의 밑면을 덮으며 다수의 통기공이 형성된 바닥판; 상기 바닥판과 상기 트랩을 연결하는 연결부재; 및 상기 수용용기의 내부에 채워지는 금속섬유로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공회수시스템의 수분분리장치.
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 배기구에는 진공필터가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 진공회수시스템의 수분분리장치.
4. 청구항 1에 있어서,

   상기 흡기구는 상기 트랩의 측면에 형성되고, 상기 배기구는 상기 트랩의 윗면에 형성되는 것을 특징으로 하는 진공회수시스템의 수분분리장치.
5. 청구항 4에 있어서,

   상기 흡기구는 상기 트랩의 측면에 대하여 비스듬한 각도로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공회수시스템의 수분분리장치.
6. 청구항 1에 있어서,

   상기 배기구에는 상기 배기구를 통해 흡입되는 공기 및 수분이 하방으로 분사될 수 있도록 분사방향을 안내하는 앵글형태의 안내관이 더 설치되는 것을 특징으로 하는 진공회수시스템의 수분분리장치.
7. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 배수구에는 상기 배수구의 개폐를 제어하는 제1밸브가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 진공회수시스템의 수분분리장치.
8. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 탱크의 체적은 상기 트랩의 체적보다 작은 것을 특징으로 하는 진공회수시스템의 수분분리장치.
9. 청구항 7에 있어서,

   상기 탱크에는 상기 탱크 내부의 기압을 조절하는 제2밸브와, 상기 탱크의 내부에 저장되는 수분을 외부로 배출하는 제3밸브를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 진공회수시스템의 수분분리장치.

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