KR100763982B1 - 생산관리방법 및 ｔｆｔ 기판의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정표시장치의 TFT기판의 제조에 적절히 사용할 수 있는 생산관리방법에 관한 것으로, 장치군을 공정군으로 공용하는 경우에, 각 장치의 각 공정에 대한 사용비율이 중기 생산계획의 대상이 되는 조업기간에 원칙적으로 일정하게 되는 스케줄링을 가능하게 하는 생산관리방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

장치군을 공정군으로 공용하고 있고, 장치의 공용관계에 의해서 서로 능력의 수수가 가능한 공정군에 있어서, 당해 공정군의 각 공정의 제품처리능력에 대한 당해 각 공정의 필요제품처리 수의 비율인 부하율을, 중기 생산계획의 대상이 되는 조업기간 전체에서의 상기 각 공정의 누적능력에 대한 상기 각 공정의 누적생산예정의 비율로서 구하고, 당해 부하율이 상기 공정군의 각 공정에서 똑같아지도록 각 장치의 상기 각 공정에 대한 최적사용비율을 계산하고, 상기 최적사용비율을 단기 생산계획에 반영시키도록 구성한다.

Description

생산관리방법 및 ＴＦＴ 기판의 제조방법{MANUFACTURING MANAGEMENT METHOD AND FABRICATION METHOD OF TFT SUBSTRATE}

본 발명은 생산관리방법에 관한 것이며, 특히 액정표시장치의 TFT기판의 제조에 사용하는 데 적합한 생산관리방법에 관한 것이다.

(1) 생산관리방법, 스케줄링방법:

종래 생산라인의 스케줄링방법으로서 일반적으로 부하평준화 방법이 사용되고 있다. 부하평준화 방법은 장치에 소정 공정의 제품을 할당하는 경우, 먼저 생산계획에 대응하는 양의 제품을 보틀넥(bottleneck) 공정 등의 장치에 산적한다. 그리고 당해 장치의 부하가 100%를 넘으면, 같은 기간에 그 제품을 할당하는 것이 가능하여 부하가 100% 미만인 다른 장치에 그 부하를 옮긴다. 그리고 또 생산능력에 대하여 여력이 생기는 다른 기간으로 부하를 옮기도록 한다.

또 "간반방식(kanban system)"으로 불리는 생산관리방법은 후공정이 사용한 제품만을 전(前)공정에서 인수하고, 전공정은 인수해 간 제품만큼을 보충하는 방식이고 (예를 들면 스가마다 다다미, 이외 「생산관리를 알게 되는 사전) 닛뽕지쓰교(日本實業)출판사 pp.301), 저스트 인 타임(just in time)을 가능하게 하는 방식이다.

또 TOC로 불리는 생산개선수법의 기본적인 스케줄링 또는 생산관리방법으로는 장시간의 정지 등으로 공장 전체의 생산계획에 악영향을 미칠 가능성이 있는 제약공정의 직전과, 출하전에 재공품(work in-process)을 집중시키는 방식을 취하고 있다. 이 경우 제약공정 전의 공정(제약공정이 아니라고 하자)은 제약공정의 처리에 영향을 주지 않도록 충분한 보호능력을 가질 필요가 있다라고 되어 있다 (예를 들면 이나가끼 기미오, 「TOC혁명 제약조건의 이론」 일본능률협회 메니지먼트 센터 pp. 119-142).

액정표시장치의 TFT기판이나 액정표시장치의 생산라인과같이 장치가 복잡하여 메인티넌스에 장시간을 요하는 경우에는, 보틀넥(bottleneck) 공정은 종종 가동시의 능력이 최소의 공정을 의미하고 있지 않다. 예를 들면 중기, 예를 들면 1개월의 생산계획을 속도 결정하는 보틀넥 공정의 1일당의 평균처리능력을 1로 하고, 중기의 생산계획이 이 보틀넥 공정의 능력에 맞추어서 설정되어 있는 경우를 생각한다. 보틀넥 공정의 장치가 월 2회 1.5일의 정기 메인티넌스로 정지하는 경우, 이 공정은 정기 메인티넌스의 날 이외는 1.1의 능력으로 처리를 할 필요가 있다. 만일 이 보틀넥의 다음 공정 장치가 가동시에 1.05의 능력을 갖고 있었다고 하여도, 보틀넥의 장치가 정지하고 있는 동안, 다음 공정에도 재공품이 없고, 동시에 정지하는 경우에는 당해 다음 공정은 평균해서 1의 능력을 발휘할 수 없게 되고 만다. 이 경우 보틀넥 이외의 공정에 모두 1.1의 능력을 갖게 하는 것은 자주 큰 투자를 필요로 한다. 또 보틀넥의 정지에 맞추어서 다른 공정이 정지하는 것을 허용하면, 능력을 속도 결정하는 애로 사항이 다른 공정으로 옮겨져, 라인은 본래의 보틀넥 공 정의 능력을 최대한으로 활용할 수 없게 된다.

라인의 납기를 중기 생산계획의 조업기간으로 관리하는 경우, 기한이 가까워지면 과잉의 출하우선(出荷優先), 후공정우선이 행하여질 가능성이 있다. 그렇게 되면 공정군이 장치군을 공용하고 있는 경우, 장치가 전공정의 재공품이 있어도 처리를 하지 않고, 후공정의 제품을 기다려서 처리를 하기 때문에 제품대기가 빈번히 생긴다. 결과로서 전공정에서 큰 손실이 발생하고, 다음 중기 생산계획에 대한 지연이 생기어 쉽게 악순환을 당하게 되는 등의 문제가 있다.

(2) 생산라인의 설계·구성방법:

종래의 반도체장치의 생산라인의 구성방법으로서, 각 베이(bay)의 스톡커(stocker)의 보관선반의 수를, 생산계획에서 정해지는 각 스톡커의 카세트(로트)의 베이간 반송으로부터의 입고총수(from)와 베이간 반송에의 출고총수(to)의 합계를 목표로 하여 정하는 방법이 알려져 있다. 이 경우 각 스톡커의 입고총수와 출고총수의 비율에 따라서 스톡커의 선반 수가 결정된다. 그러나 이 방식으로는 실제의 생산라인에서 제약공정이 필요로 하는 재공품의 확보를 할 수 없게 되어 선반의 유효성에 문제가 있다.

이에 대하여 베이마다의 스톡커는 두지 않고 장치 근방에 분산보관하는 방법이 닛께이마이크로 디바이스 1998년 3월호 pp. 104-107에 기재되어 있다. 이것은 장시간 정지하는 장치가 있는 경우에 그 정지시간만큼의 제품을 보관해두는데 필요한 보관선반을 장치 근방에 설치하는 등의 사고방식이다. 그런데 이 방식으로는 정지시에 전공정에서 다량의 제품이 공급되면 선반이 부족하기 때문에 라인 전체를 정지할 필요가 생기게 되는 문제가 있다.

(1) 생산관리방법, 스케줄링방법:

종래의 부하평준화 방법의 과제에 대하여 설명하겠다. 종래의 부하평준화방법으로는 부하의 산적과 평준화는 우선 동일시간대에 보다 부하가 작은 다른 장치에 제품을 할당하고, 다음에 시간적으로 어긋나게 하여 제품을 할당해 가는 방법을 취하고 있다. 따라서 각 장치의 부하율은 다른 날이나 다른 공정에서는 똑 같아지지 않는다. 또 각 장치의 각 공정에 대한 사용비율도 날마다 달라진다. 이러한 방법으로는 제품의 할당의 자유도가 크기 때문에 룰(rule)의 설정이 어렵고, 계산에도 장시간을 요하게 되는 등의 문제가 있다. 이 때문에 현실적으로는 보틀넥 공정으로 좁혀서 계산을 하는 등, 현장에의 적용에는 상당한 제약이 생기고 있다. 또 투입계획의 변경이나 메인티넌스 예정의 변경에 의한 재공품 밸런스의 양호 여부를 단시간에 평가하기는 곤란하다. 따라서 재공품 밸런스의 평가에 의해서 최적의 중기 생산계획 및 그것과 연동하는 단기 생산계획을 작성하는 것이 곤란하다. 또 생산계획의 변경이나 트러블 발생시의 처리 예정의 변경이나 메인티넌스의 변경을 위한 재계산에도 장시간을 요하여, 라인손실의 예방과 복구를 적시에 하기는 어려웠다.

"간반방식"에 의한 "저스트 인 타임"생산의 경우 장시간 정지하는 장치가 있는 경우에는, 그 정지 시간만큼 생산라인이 정지된다. 따라서 라인 내의 장치의 정지에 의한 라인정지손실을 미리 고려하여 생산라인의 처리량을 다소 작게 설정하여 비로소 "저스트 인 타임" 생산이 가능하게 된다. 이것은 액정표시장치의 TFT기판제조라인 등과 같이 부가가치가 투자액에 대하여 비교적 낮고, 양산효과로 이익을 확보할 필요가 있는 한편, 장치의 세대교체가 빨라서 장치의 신뢰성이 불충분한 라인에는 적합하지 않다.

TOC스케줄링방법으로는 제약공정직전과 출하전에 재공품을 집중시키고 있다. 이 들 이외의 공정은 제약공정의 장시간 정지의 영향으로 공장 전체의 생산계획에 영향을 주지 않도록, 충분한 보호능력을 갖게 할 필요가 있다. 그러나 충분한 보호능력을 갖게 하기 위해서는 장치대수를 증가시키거나 장치사양을 높게 하거나 하게 되므로 설비투자가 증대된다. 설비투자의 증대는 감가상각비가 제품 비용의 큰 비율을 차지하는 액정표시장치의 TFT기판이나 반도체장치의 제조라인으로는 제품 비용을 증가시키는 큰 요인으로 된다.

또 종래의 생산관리방법으로는 장치군을 공정군으로 공용하고 있었으며, 장치의 공용관계에 의해서 서로 능력의 수수(授受)가 가능한 공정군을 포함한 라인을 2종류 이상의 품종이 흐르는 생산라인에 있어서 이하와 같은 문제가 생긴다. 즉 소정의 공정에서의 소정 품종의 제품의 가공에 사용한 기기의 이력에, 다른 공정에서의 당해 품종의 제품 가공에 사용할 수 있는 기기를 제약하는 등의 기기의 사용한정조건이 생산라인에 존재하게 된다. 이 경우 소정의 공정에서의 소정 품종제품의 처리장치이력이 타임 버킷(time bucket)의 시간차로 다른 공정의 당해 품종제품의 처리의 효율에 영향을 주는 경우에, 타임 버킷에 의한 시간차나 장치의 메인티넌스 예정도 고려하여 장치군의 처리능력을 최대효율로 활용하고, 공정군의 처리능력을 생산계획의 대상이 되는 조업기간의 누적으로 최대화할 수 있는 바와 같은 스케줄링이 안 되는 등의 문제가 있다.

(2) 생산라인의 설계·구성방법:

상술한 각 스톡커의 입고총수와 출고총수의 합계를 목표로서 정하고, 입고총수와 출고총수의 비율에 따라서 각 베이의 스톡커의 선반 수를 정하는 방법은 어떤 공정에도 균등하게 재공품을 갖도록 하려는 사고방식에 의하고 있다. 그런데 이 방법은 장치의 장시간 정지가 라인 전체에 주는 영향을 고려하고 있지 않다.

예를 들면 입고총수/ 출고총수가 다른 베이에 비해서 작다고 해서, 장치의 장시간 정지로 라인 전체에 큰 영향이 있는 공정을 포함한 베이의 선반 수를 적게 하여 둔 경우를 생각해 본다. 장치의 장시간 정지로 그 공정이 정지되어 로트의 투입을 할 수 없게 되면, 후속 로트를 보관하는 장소가 없기 때문에 그 공정의 전공정도 정지되어 영향은 차례로 라인 전체에 파급되고 만다.

한편 입고총수/ 출고총수가 다른 베이에 비해서 많다고 해서 장치정지가 거의 없는 공정의 베이의 선반 수를 늘리면 빈 선반만 많아져서 선반의 유효한 이용을 할 수 없게 된다.

다음에 베이마다 스톡커는 두지 않고 장치의 근방에 분산보관하는 방법의 과제에 대하여 설명하겠다. 이 방법으로는 장시간 정지가 예상되는 장치의 근방에만 선반을 두기 때문에 정지장치 후의 공정이 재공품부족으로 정지되고 마는 것을 막을 수 없다.

종래의 TFT기판 제조라인으로는 최종제품인 액정표시장치의 대형화에 수반되 어 제품기판의 면적도 대형화되고, 따라서 제조장치의 대형화가 진행되어 왔다. 그 결과 장치의 MTBF(평균고장시간)나 MTTR(평균회복시간)이 충분히 개선되지 않은 채, 새로운 기종에의 전환을 하게 되어, MTBF나 MTTR가 낮은 상태에서의 라인관리를 강요하는 결과로 되어 있다. 한편 액정표시장치는 화면크기가 크기 때문에 1매의 TFT기판에서의 취하는 면수가 적고, 반도체장치와 비교하면 부가가치를 높게 할 수 없어, 비용 절감을 위한 라인의 처리량의 향상이 중요하게 되어 있다. 따라서 MTTR나 MTBF의 불충분한 장치로 될 수 있는 한 큰 처리량을 확보하기 위해서 장치의 장시간 정지의 영향을 될 수 있는 한 적게 하는 것을 요망하고 있다. 종래는 이와 같은 장치의 신뢰성이 불충분한 상태에서, 높은 처리량을 확보하는 생산관리방법에 의한 TFT기판의 제조방법이 존재하지 않았기 때문에 TFT기판의 제조에 의한 이익확보가 어려웠다.

본 발명의 목적은 장치군을 공정군으로 공용하는 경우에, 각 장치의 각 공정에 대한 사용비율이 중기 생산계획의 대상이 되는 조업기간으로 원칙적으로 일정하게 되는 스케줄링을 가능하게 하는 생산관리방법을 제공하는 데에 있다.

또 본 발명의 목적은 장시간 정지를 수반하는 보틀넥 공정을 갖는 생산라인에 있어서, 설비투자를 최소한으로 억제하고, 또한 보틀넥 공정의 능력을 최대한으로 활용하는 생산라인의 설계를 할 수 있는 생산관리방법을 제공하는 데에 있다.

또 본 발명의 목적은 납기가 가까워진 경우에 적정한 출하우선을 행하여 전공정의 지연을 최소한으로 억제하고, 전체로서 최적의 라인운용을 가능하게 하는 생산관리방법을 제공하는 데에 있다.

또 본 발명의 목적은 복수의 장치군이 복수의 공정군과 복수의 품종군을 처리하는 생산라인에 있어서, 기기의 사용한정조건이 존재하는 경우에 타임 버킷에 의한 시간차나 장치의 메인티넌스 예정도 고려하여 장치군의 처리능력을 최대효율로 활용하고, 공정군의 처리능력을 중기 생산계획의 대상이 되는 조업기간의 누적으로 최대화하는 스케줄링을 가능하게 하는 생산관리방법을 제공하는 데에 있다.

또 본 발명의 목적은 액정표시장치에 있어서의 TFT기판의 생산라인과 같은 장치의 신뢰성이 불충분한 상태의 라인에 있어서, 장치의 장시간 정지의 영향을 최소한으로 억제하고, 처리량을 개선하여 이익을 확보할 수 있는 생산관리방법을 제공하는 데에 있다.

상기 목적은 장치군을 공정군으로 공용하고 있으며, 장치의 공용관계에 의해서 서로 능력의 수수가 가능한 공정군에 있어서, 상기 공정군의 각 공정의 제품처리능력에 대한 상기 각 공정의 필요제품처리 수의 비율인 부하율을, 중기 생산계획의 대상이 되는 조업기간 전체에서의 상기 각 공정의 누적능력에 대한 상기 각 공정의 누적생산예정의 비율로서 구하는 부하율 산출 단계, 상기 부하율 산출 단계에서 산출된 상기 부하율이 상기 공정군의 각 공정에서 똑같아지도록 각 장치의 상기 각 공정에 대한 최적사용비율을 계산하는 최적사용비율 계산 단계, 상기 최적사용비율 산출 단계에서 계산된 상기 최적사용비율을 단기 생산계획에 반영시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법에 의해서 달성된다.

상기 본 발명의 생산관리방법에 있어서, 상기 조업기간 전체에서의 상기 각 장치의 상기 각 공정에 대한 사용비율을 상기 최적사용비율에 대략 똑같이 하여 상기 각 공정의 처리 예정량을 일의적으로 정하는 처리 예정량 결정 단계, 상기 중기 생산계획에 대응하는 평준화된 출하예정량과 투입예정량에 대하여 임의의 시점에서의 상기 각 공정의 실제의 재공품을 기초로 상기 조업기간 전체에서의 라인 전체에 걸친 재공품 추이를 계산하는 재공품 추이 계산 단계, 상기 재공품 추이 계산 단계에서으 계산 결과 상기 재공품의 과부족의 발생상황에 기초하여 투입계획이나 메인티넌스 예정의 양호 여부를 평가하는 단계, 상기 평가에 기초하여 상기 중기 생산계획에 대응하는 최적의 일당계획과, 필요에 따라서 상기 일당계획과 연동하는 상기 단기 생산계획을 작성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또 상기 목적은 중기 생산계획에서의 출하예정 및 수율계획과 라인의 출하실적 및 재공품과 각 공정의 처리 예정에 기초한 처리 예정량에 대한 처리로 소정 공정이 중단한 것을 인식하는 공정 중단 인식 단계, 및 상기 공정 중단 인신 단계에서 인식된 상기 소정 공정과 장치를 공용하는 후의 공정에 상기 소정 공정의 능력을 전용(轉用)하고, 상기 후의 공정의 상기 처리 예정량의 처리가 종료된 후에 전용된 상기 능력에 상당하는 능력을 상기 소정 공정으로 되돌림으로써, 납기준수를 위한 출하우선을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법에 의해서 달성된다.

또 상기 목적은 장치군을 공정군으로 공용하고 있으며, 장치의 공용관계에 의해서 서로 능력의 수수가 가능한 공정군을 포함한 라인을 2종류 이상의 품종이 흐르는 경우, 상기 공정군 중 하나의 공정에서의 하나의 품종의 제품의 가공에 사용한 장치의 이력에, 상기 공정군 중 다른 공정에서 상기 하나의 품종의 제품의 가공에 사용할 수 있는 기기를 제약하는 사용한정조건이 존재하는 경우에, 상기 공정군의 각 공정의 제품처리능력에 대한 상기 각 공정의 필요제품처리 수의 비율인 부하율이 중기 생산계획의 대상이 되는 조업기간의 누적처리에 대하여 똑같아지도록 상기 각 장치의 상기 각 공정과 상기 품종에 대한 최적사용비율을 계산하는 최적사용비율 계산 산출 단계, 및 상기 최적사용비율을 단기 생산계획에 반영시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법에 의해서 달성된다.

또 상기 목적은 매트릭스상인 복수의 화소영역의 각각에 박막 트랜지스터를 형성하는 TFT기판의 제조방법에 있어서, 상기 본 발명의 생산관리방법 중의 어느 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 TFT기판의 제조방법에 의해서 달성된다.

실시예

본 발명의 일실시형태에 의한 생산관리방법에 대하여 실시예를 사용하여 설명하겠다. 처음에 본 실시형태에 의한 생산관리방법의 수순과 작용에 대하여 설명하겠다.

(1) 생산관리방법, 스케줄링:

부하평준화를 위한 할당에 긴 시간을 필요로 하는 종래의 과제에 대하여, 본 생산관리방법은 이하와 같이 하여 해결한다. 즉 장치군을 공정군으로 공용하고 있는 경우에, 공정군의 각 공정의 제품처리능력에 대한 각 공정의 필요제품처리 수의 비율인 부하율을, 중기 생산계획의 대상이 되는 조업기간의 누적처리에 대하여 똑같아지도록 각 장치의 각 공정에 대한 최적사용비율을 계산하는 단계와, 이것을 단기 생산계획에서의 스케줄링에 반영시키는 단계에 의해서 생산관리를 한다.

이에 의해서 라인 전체를 중기 생산계획에 대하여 최적으로 되도록 단기의 스케줄링을 통합적으로 관리하는 것이 가능하게 된다.

동시에 각 장치의 각 공정에 대한 사용비율이 중기 생산계획의 대상이 되는 조업기간을 원칙적으로 일정하게 되도록 한다. 이에 의해서 처리 예정이나 재공품 추이의 계산시간을 단축할 수 있다. 그리고 투입계획의 변경이나 메인티넌스 예정의 변경에 의한 재공품 밸런스의 양호 여부를 단시간에 평가할 수 있다. 따라서 최적의 중기 생산계획 및 이것과 연동하는 단기 생산계획의 작성이 가능하게 된다.

또 생산계획의 변경이나 트러블 발생시의 처리 예정의 변경이나 메인티넌스의 변경을 위한 재계산도 단시간에 행할 수 있고, 라인손실의 예방과 복구를 적시에 행할 수 있다.

전술한 바와 같이 "간반방식"은 장시간 정지하는 장치가 있는 경우에 그 정지시간만큼 생산라인이 정지되는 등의 과제를 갖고 있다. 또 TOC의 기본적인 스케줄링은 제약공정이 장시간 정지하여도 공장 전체의 생산계획에 영향을 주는 일이 없도록 장치대수를 증가하거나 장치사양을 높게 하거나 할 필요가 생기게 되어 설비투자를 증대시키게 하는 과제를 갖고 있다. 이들 과제에 대하여 본 생산관리방법은 아래와 같이 하여 해결한다.

즉 보틀넥 공정이나 제약공정의 전후의 공정군 사이에서 장치의 공정간의 공용관계를 만들고, 보틀넥 공정이나 제약공정에서 장시간 정지가 생기면, 그 후공정에서 재공품부족으로 제품대기로 되는 공정의 장치능력을 보틀넥 공정의 전공정에 전용하고, 보틀넥 공정이나 제약공정의 장치복구 후는, 재차 전공정에 전용한 능력을 후공정으로 되돌림으로써 보틀넥 공정이나 제약공정에서의 장치의 장시간 정지의 라인에의 영향을 최소한으로 억제하도록 한다.

이 때 공정군으로 공용되고 있는 장치군의 장치의 각 공정에 대한 최적사용비율은 미리 중기 생산계획에 대하여 최적사용비율 계산 단계에 의해서 계산되어 있다. 이 때문에 이 최적사용비율을 기준으로 하여 잠정적으로 보틀넥의 전공정에 전용한 능력을 계산하고, 보틀넥장치의 복구 후, 이에 상당하는 능력을 용이하게 보틀넥의 후공정으로 되돌릴 수 있다.

공정군의 전체 능력이 일정하다고 하면 능력을 전공정에 전용한 후에 후공정으로 되돌려도 전체로서 생산계획에 대한 지연은 생기지 않는다.

또 본 생산관리방법은 중기 생산계획의 출하예정 및 수율계획과, 라인의 출하실적 및 재공품과, 각 공정의 처리 예정에 기초하여 중기의 생산계획에 대응하는 처리량(예를 들면 월 단위로 관리하는 경우는 그 달의 처리 예정량)의 처리로 어떤 공정이 중단된 것을 인식하는 공정 중단 인식 단계와, 이 공정 중단 인식 단계에서 인식된 그 공정과 장치를 공용하는 후공정에 그 공정의 능력을 전용하고, 그 후공정은 그 달의 처리 예정량의 처리를 종료한 후에 전용된 능력에 상당하는 능력을 전공정으로 되돌림으로써 출하우선을 조절하는 단계에 의해서 이루어질 수 있다.

또 본 실시형태에 의한 생산관리방법은 복수의 장치군이 복수의 공정군과 복수의 품종군을 처리하고, 또한 기기의 사용한정조건(어떤 공정에서의 어떤 품종의 제품의 가공에 사용한 장치의 이력이 다른 공정에서의 그 품종의 제품의 가공에 사용할 수 있는 기기를 제약한다)이 존재하는 경우에, 공정군의 각 공정의 제품처리능력에 대한 각 공정의 필요제품처리 수의 비율인 부하율을, 중기 생산계획의 대상이 되는 조업기간의 누적처리에 대하여 똑같아지도록 각 장치의 각 공정과 품종에 대한 최적사용비율을 계산하는 최적사용비율 계산 단계와, 이것을 단기 생산계획에서의 스케줄링에 반영시키는 단계에 의해서 이루어질 수 있도록 하고 있다.

이와 같이 함으로써 타임 버킷에 의한 시간차나 장치의 메인티넌스 예정도 고려하여 장치군의 처리능력을 최대효율로 활용하고, 공정군의 처리능력을 생산계획의 대상이 되는 조업기간의 누적으로 최대화하는 스케줄링이 가능하게 된다.

이 때 기기의 사용한정이 생기는 최초의 공정에서의 제품처리의 기기와 품종마다의 최적사용비율에 맞추어서 라인에의 제품(로트) 투입을 함으로써, 기본적으로는 선입(先入) 선출(先出)에 의한 디스패치(dispatch)로 각 공정의 처리를 하는 것이 가능하게 된다.

본 실시형태에 의한 생산관리방법을 사용하여, 장치의 신뢰성이 불충분한 상태에서 높은 처리량을 확보할 필요가 있는 TFT기판과 같은 제품을 제조함으로써 장치의 고장이나 메인티넌스의 라인에의 영향을 최소한으로 억제하여 처리량을 개선하여 비용 절감을 달성할 수 있다. 또 본 생산관리방법에 맞추어서 장치나 라인을 설계하여 구성함으로써, 최소한의 투자로 최대한의 처리량을 실현할 수 있게 된다.

본 실시의 형태에 의한 생산관리방법으로는, 어떤 공정 장치의 장시간 정지의 영향을 다른 공정에 미치지 않도록 하기 위한 안전 재공품 수에 상당하는 재공품을 당해 공정의 직후에 확보하고, 직전에는 이것과 거의 동수의 빈 선반을 확보해두도록 하고 있다. 그리고 장시간 정지가 발생한 경우에는 직후 재공품이 다음 공정에서 소비되어서 감소되는 동시에 직전에 이것과 거의 동수인 투입대기의 재공품이 쌓인다.

직후 재공품과 직전 재공품의 합계가 평상시에도 장치 장시간 정지시에도 일정하게 되도록 관리함으로써 장치 장시간 정지가 다른 공정에 영향을 주는 것을 방지할 수 있다. 종래에는 공정의 재공품을 직전 재공품만으로 생각하고 있기 때문에 장치의 장시간 정지시에는 재공품이 증가되어 라인이 정지되고 마는 등의 문제가 생겼다. 본 실시형태로서는 직전 재공품과 직후 재공품의 합계로 관리함으로써, 장치 장시간 정지시에도 재공품을 일정하게 관리할 수 있다. 즉 직전 재공품과 직후 재공품의 합계의 계획수와 합계의 실적 재공품을 비교함으로써 라인을 멈출 필요가 없어져서 영향을 자기공정만으로 흡수하는 것이 가능하게 된다.

(2) 생산라인의 설계·구성방법:

본 실시형태로는 장치의 장시간 정지가 예상되는 제약공정의 직전 뿐만 아니고, 이 제약공정의 전후의 공정군 사이에서 장치의 공정간의 공용관계를 만든다. 그리고 제약공정의 전의 공용관계에 있는 공정의 직전에도, 후공정의 장치가 전용되어서 처리능력이 일시적으로 급증하여도 흡수할 수 있는 만큼의 재공품을 보유하는데 필요충분한 스톡커의 선반 수를 준비한다.

이에 의해서 제약공정의 장치가 장시간 정지되면 제약공정의 후공정은 일시적으로 장치의 능력을 제약공정의 앞의 공정에 전용하고, 제약공정의 장치복구 후는 전공정의 능력을 다른 후공정에 전용하도록 하여, 공장 전체의 생산계획에 영향을 주는 손실이 발생하는 것을 방지한다.

또 장치의 가동실적 데이터에서 안전 재공품 수를 계산하는 방법을 제공한다. 이 방법은 재공품과 처리 수의 추이에서 근사적으로 구하는 방법에 비해서, 계획 재공품 수를 명확하게 정의하는 것이 가능하다. 이 안전 재공품 수를 계산함으로써 필요한 스톡커의 선반 수를 정할 수 있다. 필요한 곳에 필요한 선반 수를 준비함으로써, 장치 장시간 정지의 영향이 다른 공정에 미치는 것을 방지하고, 스톡 커의 선반이 라인의 처리량 최대화에 확실히 기여하게 된다. 또한 불필요한 선반을 놓아두는 낭비도 배제할 수 있어, 스톡커의 비용을 필요 최소한으로 억제하는 것이 가능하게 된다.

[실시예]

이하 구체적으로 실시예를 사용하여 본 생산관리방법에 대해서 설명하겠다.

(실시예 1)

장치군 Ej(j=1,…, n)가 공정군 Pi(i=1, …, m)를 처리하는 경우에 있어서, 장치 Ej의 공정 Pi에 대한 최적사용비율을 Rijs, 장치 Ej의 공정 Pi에 대한 월의 제 k일째의 최대처리능력을 Tijk(매/일)로 하고 다음 식으로 정의한다.

Tijk= {1440×(1-Fj)-Djk} × Rijs/Hij [매/일] …(1)

다만 정수 1440는 1일(24시간)을 분으로 나타낸 것이다. Fj는 평균고장율, Djk는 제 k일째의 메인티넌스 시간, Hij(분)은 품종으로 평준화된 택트(tact)이다. 또 TFT기판의 제조나 반도체장치의 제조에 있어서는 처리를 주로 속도 결정하는 것은 장치이다. 택트는 장치가 1매의 기판을 처리하는데 요하는 시간이며 부하를 측정하는 단위로 된다. 택트는 품종에 의해서 상이한 경우가 있다. 각 품종을 처리할 필요 수는 생산계획에 의해서 결정된다. 그래서 어떤 장치가 각 품종을 일정 수씩 처리할 때의 부하의 크기는, 품종마다의 택트에 품종마다의 필요처리 수를 곱하여 총합계를 취한 시간으로 나타낼 수 있다.

또 장치 Ej의 공정 Pi에 대한 중기 생산계획상의 제 k일째의 평준화된 처리 예정을 Li·Tijk로 나타내고, 또 제 f일째를 중기 생산계획 상의 최종조업일로 한 다. 여기서 Li는 중기 생산계획의 대상이 되는 조업기간 전체에서의 각 공정의 누적능력에 대한 각 공정의 누적생산예정의 부하율로 다음 식을 만족한다.

…(2)

(2)식의 Li가 각 공정에서 똑같아지도록 (1)식의 Rijs를 계산함으로써, 장치군 Ej의 각 장치의 공정군 Pi의 각 공정에 대한 최적사용비율을 구할 수 있다.

또 부하율에 대하여 언급하면, 부하율이란 장치가 제품처리가능한 총시간에 대한 부하시간의 비율을 말한다. 부하율 100%란 장치가 제품처리가능한 시간에 최대한으로 처리하는 것을 의미한다. 제품처리가능한 시간이란 공장의 조업시간으로부터 그 장치의 평균고장시간과, 장치의 성능을 유지하는데 필요한 정기 메인티넌스, 점검, 부대작업을 위한 시간과, 휴식이나 인계 등으로 장치를 계획적으로 비우는 시간을 뺀 시간이다.

본 실시예 1에 의해서 각 장치의 공정간에서의 복잡한 공용관계나 메인티넌스 예정이 서로 얽힌 상황에 있어서도, 공정마다의 처리 예정이 일의적으로 정해지고, 주어진 초기 재공품과 출하예정에 대하여 중기 생산계획의 대상이 되는 조업기간에서의 라인 전체에 걸친 재공품 추이를 순시적으로 계산할 수 있다. 따라서 1개월 정도의 기간에서의 재공품의 과부족을 순시에 예측하여, 투입계획의 변경이나 메인티넌스 예정의 변경에 의한 재공품 밸런스의 양호 여부를 단시간에 평가하고, 최적의 중기 생산계획, 및 이것과 연동하는 단기 생산계획의 작성이 가능하게 된다.

(실시예 2)

부하율 Li를 실시예 1과 같이 계산함으로써 장치 Ej의 공정 Pi에 대한 월의 제 k일째의 최대처리능력 Tijk는 일의적으로 정해진다. 그래서 각 공정의 월의 제 k일째의 평준화된 처리 예정 Yik를 다음 식으로 구한다.

…(3)

(3)식의 Yik를 중기 생산계획의 조업기간 내의 각 조업일에 있어서, 각 공정의 처리 예정으로 함으로써 이 기간에서의 각 장치의 각 공정에 대한 사용비율을 이 조업기간에 있어서의 최적사용비율 Rijs와 똑같이 한다. 또 이 Yik를 초기치로 하여 각 공정의 어떤 시점의 재공품을 기초로 재공품 추이를 계산하고, 재공품의 과부족의 발생상황에 따라서 투입계획이나 메인티넌스 예정의 양호 여부를 평가하여 최적의 중기 생산계획에 대응하는 일당계획을 작성한다.

(실시예 3)

정기 메인티넌스 등으로 어떤 공정 Pb에서 장치의 장시간 정지에 의한 처리부족이 발생하는 경우에, 그 후공정 Px에 있어서 실시예 2에서 계산한 재공품이 음으로 되지 않도록 공정간 공용장치 Em의 사용비율 Rij를 조정한다. 이 때 장치 Em이 장시간 정지하는 장치가 담당하는 공정 Pb를 사이에 끼워서 다음 공정에 해당하 는 Px공정과, 앞의 공정에 해당하는 Py공정을 처리가능으로 하여, Px공정에서 Py공정에 능력을 전용한다. 전용되는 능력 △t는 중기 생산계획을 월단위로 하고 장시간 정지가 발생하는 월의 제 a일째에 장치 Em의 장시간 정지가 발생하는 것으로 하고, 전용된 경우의 장치 Em의 후공정 Px에서의 사용비율을 Rxmk로 하여,

△t=1440 × (Rxms-Rxmk) / Hxm …(4)

가 주어진다. 그래서 이 1440×(Rxms-Rxmk)에 상당하는 시간을 다음 날 이후에 장치 Em의 Py공정에서의 사용시간에서 Px공정으로 되돌리도록 한다. 이에 의해서 후공정 Px에 있어서의 장치 Em의 장시간 정지에 의한 처리부족을 해소하여 후공정 Px에서의 처리저하를 방지할 수 있다.

공정 Pb가 보틀넥 공정인 경우, 그 후공정 Px에는 공정 Pb의 장치가동 개시후에도 평준화된 예정을 크게 상회하는 양의 제품은 흘러나오지 않는다. 중기 예를 들면 1개월의 생산계획을 속도 결정하는 보틀넥 공정 Pb의 1일당의 평균처리능력을 1로 하고, 중기의 생산계획이 이 보틀넥 공정 Pb의 능력에 맞추어서 설정되어 있는 경우를 생각한다.

중기의 생산계획에서의 1일의 필요처리량을 N(매/일)으로 한다. 예를 들면 보틀넥 공정 Pb의 장치가 월에 2회 1.5일의 정기 메인티넌스로 정지되는 경우, 이 Pb공정은 정기 메인티넌스의 날 이외는 1.1×N의 능력으로 처리를 할 필요가 있다. 보틀넥 공정 Pb의 다음의 px공정이 가동시간에 1.05×N의 능력을 가지고 있는 경우, 가동 개시후에는 1일 0.05×N씩 Py에서 Px공정에 능력을 되돌려가면 된다. 이 경우 Px공정과 Py공정의 처리량의 밸런스가 복구될 때까지의 기간Tr은,

Tr=△t/ (0.05×N)=1440×(Rxms-Rxmk) / (0.05×Hxm× N) …(5)

로 주어진다.

(실시예 4)

실시예 2의 (3)식으로 Li=1로 한 경우의 Yik를 Tik로 나타내면, Tik는 공정 i의 제 k일째의 최대처리가능수를 나타낸다.

…(6)

장치트러블이나 품질트러블 등으로 특정한 공정 또는 공정군의 처리가 늦는 경우에는, 이들 공정의 처리 예정수를 최대처리가능수 이하의 범위에서 필요한 추가를 행함으로써 복구를 한다. 추가 덧붙임 처리 예정수 Yiku는 추가 덧붙임 계수를 a(0≤a≤1)로 하고,

Yiku=Yik+a×(Tik-Yik) …(7)

가 된다.

(실시예 5)

실시예 4의 방법만으로서는 복구가 어려운 경우 다음과 같은 방법으로 복구를 할 수 있다. 즉 각 공정이 중기 생산계획의 1일째에서의 누적으로 처리한 실적이 중기 생산계획의 예정처리량에 달하고 있는지의 여부를 판정한다. 앞의 공정일수록 타임 버킷이 길기 때문에 빠른 시점에서 예정수에 달한다. 예정수에 달한 공정 Py가 후의(출하에 더 가까운) 공정 Px와 장치 Em을 공용하고 있는 경우, 출하우 선을 위한 Py공정에서 Px공정에 능력을 전용한다. 전용되는 능력 △u는 중기 생산계획이 월단위로서, 달의 제 a일째에 공정 Py의 누계처리실적이 생산계획에 달하였다고 하고, 전용된 경우의 장치 Em의 후공정 Py에서의 사용비율을 Rymk로 하고, 제 k일째에서 k+n일째까지 능력을 전용했다고 하면,

… (8)

이 된다.

Px공정의 누적처리 수가 중기 생산계획의 예정수에 달한 후는 전용된 능력 Au를 재차 Px공정에서 Py공정으로 되돌려서 밸런스를 회복시킨다.

(실시예 6)

복수의 장치군이 복수의 공정군과 복수의 제품품종군을 처리하는 생산라인의 경우에 대하여 설명하겠다. 이와 같은 생산라인으로서 어떤 공정에서의 어떤 품종의 제품 가공에 사용한 기기의 이력에, 다른 공정에서의 그 품종의 제품의 가공에 사용할 수 있는 기기를 제약한다고 하는 기기의 사용한정조건이 존재하는 경우를 생각한다. 이와 같은 생산라인 기기의 사용한정이 있는 경우에는, 우선 공정마다 그 공정을 처리하는 각 장치에 대하여 중기 생산계획(통상 1개월 정도)으로 생산을 예정하고 있는 품종을 처리하는 비율을 설정한다.

이 때 공정 A와 공정 B 사이에 기기한정이 존재하는 경우, 예를 들면 공정 A의 제1 기기에서의 처리제품은 공정 B에서는 제1 기기나 제3 기기로 처리한다고 하는 한정이 있는 경우, 공정 A에서의 제1 기기의 각 품종의 처리량 비율에, 공정 B에서의 제1 기기와 제3 기기의 각 품종의 처리량 비율을 똑 같이 하도록 한다. 마찬가지로 공정 A에서의 제i 기기의 처리제품이 공정 B에서는 어떤 기기군으로 처리한다고 하는 기기한정이 있는 경우, 이들 기기군에서의 각 품종의 처리량 비율을 공정 A에서의 제i 기기의 각 품종의 처리량 비율과 똑같아지도록 한다.

또 기기한정이 있는 공정군과 같은 장치군의 장치에서 처리하고 있으나, 품종의 한정이나 기기한정이 존재하지 않는 공정에 대하여는 그 공정을 처리하는 각 기기의 각 품종의 처리량 비율이 똑같아지도록 한다. 이와 같이 품종비율을 설정한 후, 각 기기를 각 공정에 사용하는 사용시간비율을 설정한다. 그 후에 중기 생산계획이 설정되어 있는 라인의 조업기간의 각 기기의 메인티넌스 예정에 대하여, 각 공정의 처리가능매수를 계산하고, 이에 대한 생산계획 상의 처리필요매수의 비율인 부하율이 각 공정에서 똑 같아지도록 각 기기의 각 공정에서의 품종의 처리비율과, 각 공정에서의 각 기기의 사용시간비율의 회귀계산을 한다.

이와 같이 설정하면 중기 생산계획의 대상이 되는 조업기간 전체에 대하여, 장치의 공정과 품종에 대한 사용비율과, 제품의 각 기기계열에 대한 사용비율을 최적화할 수 있다. 또 제품의 라인에의 투입순서를 기기한정이 생기는 최초 공정의 품종과 기기의 비율에 맞추어 투입함으로써 기본적으로는 선입 선출의 디스패치에 의해서 최적의 처리를 할 수 있다.

본 발명은 상기 실시의 형태에 한정하지 않고 여러가지 변형이 가능하다.

예를 들면 상기 실시형태에서는 특히 액정표시장치의 TFT기판의 생산라인을 예로 들어 설명하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 컬러 필터(CF) 기판의 제조공정, 또는 기판 접합이나 액정주입 등의 셀 공정에서의 생산관리나 스케줄링, 또는 생산라인의 라인설계 및 구성방법에도 본 발명을 적용할 수 있다.

또 액정표시장치의 제조공정에 한정하지 않고, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)이나 반도체 웨이퍼의 생산라인의 생산관리 및 스케줄링 또는 생산라인의 라인설계 및 구성방법에도 본 발명은 적용 가능하다.

이상 설명한 실시형태에 의해서 본 발명은 아래와 같이 정리된다.

(제1의 발명)

장치군을 공정군으로 공용하고 있으며, 장치의 공용관계에 의해서 서로 능력의 수수가 가능한 공정군에 있어서, 상기 공정군의 각 공정의 제품처리능력에 대한 상기 각 공정의 필요제품처리 수의 비율인 부하율을, 중기 생산계획의 대상이 되는 조업기간 전체에서의 상기 각 공정의 누적능력에 대한 상기 각 공정의 누적생산예정의 비율로서 구하는 부하율 산출 단계,

상기 부하율 산출 단계에서 산출된 상기 부하율이 상기 공정군의 각 공정에서 똑같아지도록 각 장치의 상기 각 공정에 대한 최적사용비율을 계산하는 최적사용비율 계산 단계, 및

상기 최적사용비율 계산 단계에서 계산된 상기 최적사용비율을 단기 생산계획에 반영시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법.

(제2의 발명)

제1발명의 생산관리방법에 있어서,

상기 조업기간 전체에서의 상기 각 장치의 상기 각 공정에 대한 사용비율을 상기 최적사용비율에 대략 똑같이 하여 상기 각 공정의 처리 예정량을 일의적으로 정하는 처리 예정량 결정 단계,

상기 중기 생산계획에 대응하는 평준화된 출하예정량과 투입예정량에 대하여, 임의의 시점에서의 상기 각 공정의 실제의 재공품을 기초로, 상기 조업기간 전체에 있어서의 라인 전체에 걸친 재공품 추이를 계산하는 재공품 추이 계산 단계,

상기 재공품 추이 계산 단계에서의 계산 결과 상기 재공품의 과부족의 발생상황에 기초하여 투입계획이나 메인티넌스 예정의 양호 여부를 평가하는 단계, 및

상기 평가에 기초하여 상기 중기 생산계획에 대응하는 최적의 일당계획과, 필요에 따라서 상기 일당계획과 연동하는 상기 단기 생산계획을 작성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법.

(제3의 발명)

제1 또는 제2발명의 생산관리방법에 있어서,

보틀넥 공정이나 제약공정의 전후의 공정간에서 장치의 공용관계를 만드는 단계,

상기 보틀넥 공정이나 상기 제약공정에서 장시간의 정지가 생기면 당해 공정의 후공정에서 재공품 부족으로 제품대기로 되는 공정의 장치능력을 상기 보틀넥 공정이나 상기 제약공정보다 앞의 공정에 전용하는 단계, 및

상기 보틀넥 공정이나 상기 제약공정의 복구 후는 상기 앞의 공정에 전용한 상기 능력에 상당하는 능력을 상기 후의 공정으로 되돌리는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법.

(제4의 발명)

제3발명의 생산관리방법에 있어서,

상기 최적사용비율을 기준으로 하여 잠정적으로 상기 앞의 공정에 전용된 상기 능력을 계산하는 단계,

상기 공정군의 전체 능력이 일정하다는 조건하에서 상기 보틀넥 공정이나 상기 제약공정의 복구 후는, 상기 계산된 능력에 상당하는 능력을 상기 후의 공정으로 되돌림으로써 전체로서 생산계획에 대하여 지연이 생기지 않도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법.

(제5의 발명)

제3 또는 제4발명의 생산관리방법에 있어서,

상기 조업기간 중에 예상되는 상기 보틀넥 공정이나 상기 제약공정에서 발생하는 고장에 의한 최장정지시간과, 정기 메인티넌스에 의한 정지시간 중의 어느 긴 쪽을 예상최장정지시간으로하는 단계, 및

상기 예상최장정지시간에 대응하는 상기 능력만큼을 상기 후의 공정에서 상기 앞의 공정에 전용한 경우에, 상기 앞의 공정에서 상기 능력만큼을 흡수하는데 필요한 재공품이 확보되도록 상기 각 공정의 처리 예정을 조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법.

(제6의 발명)

제5발명의 생산관리방법에 있어서,

상기 앞의 공정의 상기 재공품이 확보되도록 상기 앞의 공정 또는 그것보다 더 앞의 공정의 장치주변에 상기 재공품을 보관하는 보관선반을 마련하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법.

(제7의 발명)

제6발명의 생산관리방법에 있어서,

상기 보틀넥 공정이나 상기 제약공정의 주변에 상기 보틀넥 공정이나 상기 제약공정의 재공품을 보관하는 보관선반을 마련하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법.

(제8의 발명)

중기 생산계획에서의 출하예정 및 수율계획과 라인의 출하실적 및 재공품과 각 공정의 처리 예정에 기초한 처리 예정량에 대한 처리에서 소정 공정이 중단된 것을 인식하는 공정 중단 인식 단계,

상기 공정 중단 인식 단계에서 인식된 상기 소정 공정과 장치를 공용하는 후의 공정에 상기 소정 공정의 능력을 전용하고, 상기 후의 공정의 상기 처리 예정량의 처리가 종료된 후에, 전용된 상기 능력에 상당하는 능력을 상기 소정 공정으로 되돌림으로써 납기준수를 위한 출하우선을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법.

(제9의 발명)

장치군을 공정군으로 공용하고 있으며, 장치의 공용관계에 의해서 서로 능력의 수수가 가능한 공정군을 포함한 라인을 2종류 이상의 품종이 흐르는 경우, 상기 공정군 중 하나의 공정에서의 하나의 품종의 제품의 가공에 사용한 장치의 이력에, 상기 공정군 중 다른 공정에서 상기 하나의 품종의 제품 가공에 사용할 수 있는 기기를 제약하는 사용한정조건이 존재하는 경우에,

상기 공정군의 각 공정의 제품처리능력에 대한 상기 각 공정의 필요제품처리 수의 비율인 부하율이 중기 생산계획의 대상이 되는 조업기간의 누적처리에 대하여 똑같아지도록 상기 각 장치의 상기 각 공정과 상기 품종에 대한 최적사용비율을 계산하는 최적사용비율 계산 단계, 및

상기 최적사용비율 계산 단계에서 계산된 상기 최적사용비율을 단기 생산계획에 반영시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법.

(제10의 발명)

제9발명의 생산관리방법에 있어서,

상기 기기의 사용한정이 생기는 최초의 공정에서의 제품처리의 기기의 상기 최적사용비율에 기초하여 라인에 제품을 투입함으로써, 원칙적으로 선입 선출에 의한 디스패치로 상기 각 공정을 처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법.

(제11의 발명)

매트릭스상의 복수의 화소영역의 각각에 박막 트랜지스터를 형성하는 TFT기판의 제조방법에 있어서,

제1 내지 제10의 발명 중의 어느 생산관리방법을 사용하는 것을 특징으로 하는 TFT기판의 제조방법.

이상과 같이 본 발명에 의하면 이하의 효과를 얻을 수 있다.

(1) 장치군을 공정군으로 공용하고 있는 경우에 있어서, 소정 조업기간의 누적처리에 대하여 부하율이 똑같아지도록 각 장치의 각 공정에 대한 최적사용비율을 계산하여 단기 생산계획에 반영시키기 때문에 라인 전체를 중기 생산계획에 대하여 최적이 되도록 단기의 스케줄링을 통합적으로 관리할 수 있다.

(2) 각 장치의 각 공정에 대한 사용비율이 소정 조업기간에 원칙적으로 일정하게 되도록 하므로, 처리 예정이나 재공품 추이의 계산시간이 단축될 수 있고, 또 투입계획의 변경이나 메인티넌스 예정의 변경에 의한 재공품 밸런스의 양호 여부를 단시간에 평가할 수 있도록 된다. 이에 의해서 최적의 중기 생산계획 및 그것과 연동하는 단기 생산계획의 작성이 가능하게 된다. 또 생산계획의 변경이나 트러블 발생시의 처리 예정의 변경이나 메인티넌스의 변경을 위한 재계산도 단시간에 할 수 있고, 라인손실의 예방과 복구를 적시에 하는 것도 가능하게 된다.

(3) 보틀넥 공정 전후의 공정간에서 장치의 공용관계를 만들기 때문에, 보틀넥 공정이나 제약공정에서의 장치의 장시간 정지의 라인에의 영향을 최소한으로 억제할 수 있다.

(4) 공정군으로 공용하고 있는 장치군의 장치의 각 공정에 대한 최적사용비율을 기준으로 하고, 잠정적으로 보틀넥 공정의 전공정에 전용한 능력을 계산하고, 보틀넥 공정의 장치의 복구 후, 이에 상당하는 능력을 용이하게 보틀넥 공정의 후의 공정으로 되돌릴 수 있다. 공정군의 전체 능력이 일정한 조건으로 능력을 전용하기 위해서 능력을 전공정에 전용하고, 다음에 후공정으로 되돌린 경우에 전체로서 생산계획에 대하여 지연이 생기는 일은 없다.

(5) 처리 예정량을 처리해버린 소정의 공정과, 장치를 공용하는 후공정에 대하여, 당해 소정 공정의 능력을 전용하고, 후공정이 처리 예정량을 처리해 버리면, 전용된 능력에 상당하는 능력을 전공정으로 되돌리도록 할 수 있기 때문에 출하우선을 적절히 할 수 있다.

(6) 기기의 사용한정조건이 존재하는 경우에 소정 조업기간의 누적처리에 대하여 부하율이 똑같아지도록 각 장치의 각 공정과 품종에 대한 최적사용비율을 계산하여 단기 생산계획에 반영시킬 수 있고, 기본적으로 선입 선출에 의한 디스 패치로 각 공정의 처리를 행하는 것이 가능하게 된다.

(7) TFT기판의 생산라인과 같은 장치의 신뢰성이 불충분한 상태에서 높은 처리량을 확보할 필요가 있는 경우에는, 장치의 고장이나 메인티넌스의 라인에의 영향을 최소한으로 억제하고, 처리량을 개선하여 비용 절감을 이룰 수 있다.

Claims (5)

1. 장치군(群)을 공정군(工程群)으로 공용하고 있고, 장치의 공용관계에 의해서 서로 능력의 수수(授受)가 가능한 공정군에서, 상기 공정군의 각 공정의 제품처리능력에 대한 상기 각 공정의 필요제품처리 수의 비율인 부하율을, 중기 생산계획의 대상이 되는 조업기간 전체에서의 상기 각 공정의 누적능력에 대한 상기 각 공정의 누적생산예정의 비율로서 구하는 부하율 산출 단계,

   상기 부하율 산출 단계에서 산출된 상기 부하율이 상기 공정군의 각 공정에서 똑같아지도록 각 장치의 상기 각 공정에 대한 최적사용비율을 계산하는 최적사용비율 계산 단계, 및

   상기 최적사용비율 계산 단계에서 계산된 상기 최적사용비율을 단기 생산계획에 반영시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법.
2. 제1항에 있어서,

   상기 조업기간 전체에서의 상기 각 장치의 상기 각 공정에 대한 사용비율을 상기 최적사용비율에 똑같이 하여 상기 각 공정의 처리 예정량을 일의적으로 정하는 처리 예정량 결정 단계,

   상기 중기 생산계획에 대응하는 평준화된 출하예정량과 투입예정량에 대하여, 임의의 시점에서의 상기 각 공정의 실제의 재공품(work in-process)을 기초로 상기 조업기간 전체에서의 라인 전체에 걸친 재공품 추이를 계산하는 재공품 추이 계산 단계,

   상기 재공품 추이 계산 단계에서의 계산 결과 상기 재공품의 과부족의 발생상황에 기초하여 투입계획이나 메인티넌스 예정의 양호 여부를 평가하는 단계, 및

   상기 평가에 기초하여 상기 중기 생산계획에 대응하는 최적의 일당계획과, 필요에 따라서 상기 일당계획과 연동하는 상기 단기 생산계획을 작성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법.
3. 장치군(群)을 공정군(工程群)으로 공용하고 있고, 중기 생산계획에서의 출하예정 및 수율계획과 라인의 출하실적 및 재공품과 각 공정의 처리 예정에 기초한 처리 예정량에 대한 처리를 어떤 공정이 중단한 것을 인식하는 공정 중단 인식 단계, 및

   상기 공정 중단 인식 단계에서 인식된 그 공정과 장치를 공용하는 후의 공정에 상기 인식된 그 공정의 능력을 전용(轉用)하고, 상기 후의 공정의 상기 처리 예정량의 처리가 종료된 후에, 전용된 상기 능력에 상당하는 능력을 상기 인식된 그 공정으로 되돌림으로써, 납기준수를 위한 출하우선을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법.
4. 장치군을 공정군으로 공용하고 있고, 장치의 공용관계에 의해서 서로 능력의 수수가 가능한 공정군을 포함한 라인을 2종류 이상의 품종이 흐르는 경우, 상기 공정군 중 하나의 공정에서의 하나의 품종의 제품의 가공에 사용한 장치의 이력(履歷)에, 상기 공정군 중 다른 공정에서 상기 하나의 품종의 제품의 가공에 사용할 수 있는 기기를 제약하는 사용한정조건이 존재하는 경우에,

   상기 공정군의 각 공정의 제품처리능력에 대한 상기 각 공정의 필요제품처리 수의 비율인 부하율이 중기 생산계획의 대상이 되는 조업기간의 누적처리에 대하여 똑같아지도록 상기 각 장치의 상기 각 공정과 상기 품종에 대한 최적사용비율을 계산하는 최적사용비율 계산 단계, 및

   상기 최적사용비율 계산 단계에서 계산된 상기 최적사용비율을 단기 생산계획에 반영시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생산관리방법.
5. 매트릭스 형상의 복수의 화소영역의 각각에 박막 트랜지스터를 형성하는 TFT기판의 제조방법에 있어서,

   청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 생산관리방법을 사용하는 것을 특징으로 하는 TFT기판의 제조방법.