TW503346B - Method of production control and method of manufacturing TFT substrate - Google Patents

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503346 五、發明說明（1 ) 本發明係關於生產管理方法，特別是關於，很適合使 用在製造液晶顯不裝置之TFT基板之生產管理方法。 【傳統技術】 (1)生產管理方法，排程方法： 在以往，-般生產線之排程方法，多使用負荷平準化 之方法。負荷平準化之方法在對裝置分配一定製程之製品 時，係先將對應生產計劃之量之製品堆積在（瓶頸製程等 之）裝置。而當該裝置之負荷超過100%時，㈣負荷移到 可在同一期間分配該製品而負荷未滿100%之其他裝置。 而再將負荷移到對生產能力有餘力之其他期間。 另一稱作看板方式之生產管理方法，係到前製程去拿 來後製程所用之份量之製品，前製程則補充被取走之份量 之製品之方式（例如，菅又忠美，等「生產管理事典」曰 本實業出版社PP.301)使其能達成剛好及時(just in time)2 方式。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 而稱著TOC之生產改善手法之基本排程方法，或生產 官理方法，係採取，將機具物料集中在，因長時間之停頓 等而可能對整個工廠之生產計劃有不良影響之管束（限制 restriction)製程之前，及出貨前之方式。這時，在管束製 程之前一製程（假設不是管束製程）必須具有充分之保護能 力，以免衫響到管束製程之處理（例如，稻橫垣夫「T〇c 革I5制、力條件之理_」曰本能率協會management center pp.119-142)。 如液晶顯不裝置之TFT基板，或液晶顯示裝置之生產 本紙張尺度適財國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱) 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（2 ) 線，裝置複雜保養需要長時間時，瓶頸製程不—定指運作 時之能力最小之製程。例如，規範中曰程，如—個月之生 產計劃之瓶頸製程之每一天之平均處理能力為i，而中日 程之生產計劃是配合此瓶頸製程之能力設定時。若瓶頸制 程之裝置會因每月兩次丨.5日之定 、衣 <疋期保養而停止運作時， 此製程在定期保養以外每日必須以U之能力進行處理。 縱使此瓶頸製程之下-個製程之裝置在動作時有1〇5之能 力，但瓶頸製程之裝置停頓時，下一製程因不會有物料而 同時停下來，該下-製程便無法發揮平⑴之能力。這時 ，如果要使瓶頸以外之所有製程均具有u之能力，常會 需要魔大之投資。而若允許其他製程配合瓶頸製程之停: 而=止，規範能力之陸路會移到其他製程，生產線便無法 以最大限度活用瓶頸製程本來具有之能力。 以作業期間來管理生產線之交貨期時，期限一接近， 便有出現過多之交貨優先，後製程優先之可能性。如此時 ’若由製程群共用裝置群’因為裝置有前製程之物料也不 處理，而是等候後製程之製品進行處理，因此會頻繁出現 等候製品之情況。結果是在前製程發生彼大之損失，對下 一中日程生產計劃產生延遲，很容“心性循環。 (2)生產線之設計•構成方法： 傳統之半導體裝置之生產線之構成方法，有一種習知 之方法S，以從生產計劃決定之各堆料機之卡艮（批次）之 機架間運送之入庫總數（from)與機架間運送之出庫總數（t〇) 之和為大概之數值，以決定各機架之堆料機之保管棚架數 私紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐 ------------------—— — — — t---------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明說明（ A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 之方法。這個時候， 、可依據各堆料機之入庫總數盥出庫總 ;之比率決定堆料機之棚架數。然而，這種方式並不能在 A 、友確保官束製程所需要之機具物料，棚架之有 效性有問題。 日、、二微裝置（micro device)1998 年 3 月號 ρρ· 、。己載有不在各機架設置堆料機，而是分散保管在 裝置近旁之方法。這是有長時間停頓之裝置時，在裝置近 旁設置：管其停頓時間份之製品所需要之保管棚架之想 :但’廷種方式在停頓時由前製程供應大量之製品時， 管架便會不夠用’而有必須停止整個生產線之問題。 【本發明欲解決之課題】 (1)生產管理方法，排程方法： 先說明傳統之負荷平準化方法之課題。在傳統之負 平準化方法’負荷之堆積與平準化係採取，首先將製品 配在同-時間帶負荷較少之其他裝置，然後再錯開時間 配衣0口之方法。因此，在不同日期或不同製程之各裝置 負荷率不會相同。而各裝置在各製程之使用比率也是每 不同。延種方法因製品之分配自由度大，因此有規則之設 疋車乂難，计具也會花很長之時間之問題。因此，現實是 好將計算限定在瓶頸製程等，對應用到現場產業有相當 之π礙難行之問題。同時，要在短時間評估因更動投資 合或變動保養預定後之機具物料平衡也很困難。因此， 依據機具物料平衡之評估作成最合適之中曰程生產計劃 與之連動之小日程生產計劃很困難。同時，因生產計劃變 法 保 何 分 分 之 曰 只 大 組 要 及 -----------— ----I----- <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 503346

更或發生問題時之處理預定之重新檢討或保養更動時之再 計算也需要長時間，無法及時預防生產線損失及恢復。 利用看板方式之剛好及時生產時，若有長時間停頓之 裝置時，其停頓時間中生產線會停頓下來。因此，要預先 考慮因生產線内之裝置停頓下來所造成之生產線停頓之損 失，將生產線之總處理能力設定成低一點，始有剛好及時 生產之可能。這對例如液晶顯示裝置之TFT基板製造線等 之附加價值較投資額低，有必要藉量產效果來確保利益之 另-方面，裝置之世代交替較快，裝置之可靠性不夠：生 產線並不很適合。

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TOC排程方法係將機具物料集中在管束製程直前及出 貨前。此等以外之製程則必須令其具有充分之保護能力， 以免受管束製程之長時間停頓之影響，對整個卫廠之生產 計劃產生影響。惟’要使其具有充分之保護能力，會成為 增加裳置台數或提高裝置規格，致增大設備投資。設備投 資之增大在減價抵銷費佔製品成本很大比率之液晶顯示裝 置之TFT基板或半導體裝置之製造線會成為增加製品成本 之很大之原因。 同時’傳統之生產管理方法係由製程群共用裝置群’ 因裝置之共關係，包含可以相互授受能力之製程群之 產線上有兩種以上之品種在流動時，會產生下述問題。 即，假設在生產線存在有，在_定之製程加工_定品種 製品所使用之機器之履歷，限制在其他^ 工^種之製品之機器之限定使用條件。這個時候 生 亦 之 在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（21〇 X 297公H ) 發明說明（5) 定之製程之一定品種之製品之處理裝置履歷，會因手處理 伤之時間差而影響到其他製程之該品種製品之處理效率時 ，無法達成同時考慮因手處理造成之時㈣或裝置之保養 預定，以最大效率活用裝置群之處理能力，藉成為生產計 劃對象之作業期間之累積’訂定將製程群之處理能力最大 化之排程。 (2)生產線之設計•構成方法： 上述之以各堆料機之入庫總數與出庫總數之和作為大 致上之目標來決定，依照人庫總數與出庫總數之比率決定 各機架之棚架數之方法，係依據使任―製程均具有等量機 具物料之想法。但這種方法卻沒有考慮裝置之長時間停頓 對整個生產線之影響。 例如，看看因入庫總數/出庫總數較其他機架少，便 減少含有因裝置之長時間停頓而對整個生產線有很大影響 之製程之機架之棚架數。當裝置長時間停頓使該製程停^ 無法投入該批次時’因為沒有保管後續批次之場所，因此 該製程之前一製程也停下來’其影響將逐漸波及整個生產 線。 ，另一方面，若因入庫總數/出庫總數較其他機架多， 便增加裝置幾乎不會停頓之機架之棚架數，則會有很多空 棚架，而無法有效利用棚架。 —其次說明不按機架配置堆料機，在裝置之近旁分散保 管之方法之課題。本方法係僅在預料會長時間停頓之裝置 之近旁放置棚架’因此無法防止停頓之裝置之後製程因機 503346 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（6 ) 具物料不足而停下來。

在傳統之TFT基板製造線，隨著最終製品之液晶顯示 衣置之大型化，製品基板之面積也大型化，因此製造裝置 之大型化一直在演進。其結果，在裝置之MTBF(平均故障 時間）或MTTR(平均修復時間）尚未充分改善前，便會改接 至新機種，而不得不在MTBF或m1TR很低之狀態下進行 ! 生產線官理。另一方面，液晶顯示裝置因畫面大，一片TFT 基板能取得之面數不多，較之半導體裝置，無法提高附加 知、值’因此為了降低成本而提高生產線之總處理能力很重 要。因此，為了以MTBF或MTTR不充分之裝置確保儘可 能大之總處理能力，而要求儘量減少裝置之長時間停頓之 影響。在以往，以裝置之可靠性不充分之狀態下，確保很 咼之總處理能力之生產管理方法並不存在，因此要以製造 TFT基板確保利益十分困難。 本發明之目的在提供，由製程群共用裝置群時，能夠 達成’各裝置在各製程之使用比率，在成為中日程生產計 劃對象之作業期間原則上成為一定之排程之生產管理方法 〇 同時，本發明之目的在提供，在具有會有長時間停頓 之瓶頸製程之生產線，能夠達成，將設備投資抑制在最低 限度，且能夠將瓶頸製程之能力活用到最大限度之生產線 設計之生產線管理方法。 同時，本發明之目的在提供，交貨期接近時，能夠進 行適正之出貨優先，將前製程之延遲抑制在最低限度，整 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格⑽χ挪公楚） !1 t 應 — II 祖 II ί請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 9

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 述 時 体上能夠進行最適合之生產線運用之生產線管理方法。 同時’本發明之目的在提供’在由多數裝置群處理多 數製程群及多數品種群之生產線，若存在有機器之限制使 用條件時，能夠達成，同時考慮因手處理份造成之時間差 或裝置之保養預定，以最大效率活用裝置群之處理能力， 藉成為生產計劃之對象之作業期間之累積，訂定將製程群 之處理能力最大化之排程之生產線管理方法。 而且，本發明之目的在提供，在如液晶顯示裝置之 基板之生產線，裝置之可靠性不充分之狀態之生產線，能 夠將裝置之長時間停頓抑制在最低限度，改善總處理能力 ’確保利益之生產管理方法。 上述目的可以藉由，在由製程群共用裝置群，而因裝 置之共用關係、，相互可以授受能力之製程群，從這些製程 群求出，該製程群之各製程之製品處理能力，與該各製程 之必要製品處理數之比率之負荷率，將其當作是，成為中 日程生產計劃對象之作#㈣整体之上述各製程之累積能 力，與上述各製程之累積生產預定之比率，計算各裝置之 對上述各製程之最合適使用比率’使上述製程群之各製程 之該負荷率相同，而將上述最合適使用比率反映到小日程 生產計劃上，為其特徵之生產管理方法而達成。 上述本發明之生產管理方法，係使上述作業期間之上 述各裝置對上述各製程之使用比率大致上等於上述最高使 用比率律制定上述各製程之處理預定，對於對應上 中日程生產計劃之平準化之出貨預定及投入預定，依某 ^ ^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 10 503346 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（8 點之上述各製程之實際之機具物料為基礎，計算在上述作 業功間之整條線上之機具物料之變遷，依據上述機具物料 之過多或不足之發生狀況，評估投入計劃或保養預定之良 否，製作對應上述中日程生產計劃之最合適按日計劃，及 視需要與上述按日計劃連動之上述小日程生產計劃，為其 特徵。 ^ 鬥吋’上迷目的可 貨預定及製成率計劃、生產線之出貨實績及機具物料、對 依據各製程之處理預定之處理預定量之處理等—定之製程 =結束，將上述一定製程之能力移到與上述一定製程共用 衣置之後製程’在上述後製程之上述預定處理量完成後， 將相當於所移之上述能力之能力移回上述一定製程，藉此 適切進行為遵守交貨期之出貨優I為其特徵之生產^理 方法而達成。 同％，上述目的可以藉由，兩種以上之品種在，包含 :製程群共用裝置群’因共用裝置之關係，能夠相互授受 犯力之製程群之生產線上流動時，在上述製程群中之一個 ::程用來加工一種品種製品之裝置之履歷，有限制在上述 衣群中之其他製程加工上述品種時能使用之 限定_存在時，計算上述各裝置對上述各製程及上述品 種之取合適使用比率，使其財日程生產計劃對象之作業 期間之累積處理，上述製程群之各製程之製品處理能力盘 上述各製程之必要製品處理數之比率之負荷率會相等，而 將上述最合聽収枝❹H、日程生產㈣，為 ------------» ^ · I--- - - — ί $ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

11 A7 經濟部智慧財 產局員工消費合作社印製 五、發明說明（9 之生產管理方法而達成。 同蚪，上述目的可以藉由，矩陣狀之多數像素領域之 各項域刀別形成薄膜電晶體之TFT基板之製造，使用記載 、、申明專利氣圍第1項至第4項中任一方法，為其特徵之 TFT基板之製造方法而達成。 【發明之實施形態】 么么麥貝施例說明本發明一實施形態之生產管理方法 如下。百先說明本實施形態之生產管理方法之程序與作用 (1)生產管理方法，排程： 為了達成負荷平準化所做之分配需要花較長時間之傳 統之課題，本生產管理方法以下述方式解決。亦即，由梦 程群共用装置群時，計算各裝置對上述各製程之最合適i 用比率，使製程群之各製程之製品處理能力，與各製程之 必要製品處理數之比率之負荷率’與成為中日程生產計，

對象之作業期間之累積處理相等，而將其反映到小曰程I 產計劃之排程，以進行生產管理。 藉此，可以統合管理小日程之排程，對中日 劃使整個生產線成為最合適。 计 甲曰二二使各衣置在各製程之使用比率’原則上在成為 / 劃之對象之作業期間保持1。藉此可以縮 短處理預定或機具物料變換 内評估以在短時間 維持平衡。因此，可以 γ曰私生產計劃及與 本紙張尺度適用中國國家鮮（CNS)A4規格(2】G X 297公爱了 ------------φ Μ------lit--------- (.請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 12 503346

五、發明說明（10 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 之連動之小日程生產計劃。 同時’因生產計劃變更或發生問題時之處理預定之重 新檢討或保養之更動時之再計算也需要長時間，無法及時 預防生產線損失及復原。 ▲如上述’看板方式具有’若有長時間停頓之裝置時， 其停頓時間中生產線會停止下來之課題。而TGC之基本排 程方法’則有為了避免因管束製程之長時間停頓，對整個 工薇之生產計财生影響，而增加裝置⑽或提高裝置規 格，致使設備投資增大之課題。對這些課題，本生產管理 方法係以下述方式解決。 亦即，在瓶頸製程或管束製程之前後之製程群間，作 成裝置在製程間之共用關係，當在瓶頸製程或管束製程發 生長時間之停頓時，將其後製程會因物料不足成為等候製 品之製程之處理能力移到瓶頸製程之前製程，而在瓶頸製 程或官束製程之裝置復原後，再度將移到前製程之能力移 回後製程，藉此將因瓶頸製程或管束製程之裝置之長時間 停頓對生產線之影響抑制在最低限度。 這時’預先對中日程生產計劃計算出製程群所共用之 裝置群之裝置在各製程之最合適使用比率。因此，可以用 此表合適使用比率做為基準’暫定方式計算移到瓶頸製程 之前製程之能力’很容易在瓶頸製程復原後將相當於此之 能力移回瓶頸製程之後製程。 若製程群之總能力為一定’將能力移到前製程再移回 後製程，整體上，對生產計劃不會產生落後。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 丨！ 裝！ —訂·！ •線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 13 A7 五、發明說明（η ) 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消費 合 作 社 印 製 同％ ’本生產管理方法在依據中日程生產計劃之出貨 預定及製成率、生產線之出貨實績及機具物料、各製程之 處理預定’察知某製程已完成對應中日程之生產計割之處 理量（例如以月管理時，該月之處理狀量）之處理時，將 該製程之能力移到與該製程共用袭置之後製程’而在該後 製程^成該月之預定處理量後，將相當於移出能力之能力 移回前製程，藉此可以適切執行出貨優先。 同時，本實施形態之生產管理方法在由多數裝置群處 理多數製程群與多數品種群，且存在有機器之使用限定條 件某製程用來加工某品種製品之裝置之履歷，限制其他 製程加工該種品種製品時能夠使用之機器）時，計算各裝 置對各製程及品種之最合適使用比率 生產計劃對象之作業期間之累積處理，製程群=: 製品處理能力，與各製程之必要製品處理數之比率之負荷 率會相等’而將上述最合適使用比率反映到小曰程生產計 劃之排程。 如此即可考慮’因手處理造成之時間差或裝置之保養 預定’以最大效率活用裝置群之處理能力，編排成在成為 ^產計劃對象之作業期間，製程群之處理能力之累積成為 最大之作業程序。 這蚪，右能配合機器之使用受到限制之最初製程之 品處理用機器’與每一品種之最合適使用比率，將製— 批數）投入生產線，即可基本上以先入先出之調度進行 製程之處理。 程 製 品（ 各 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格⑽χ挪公楚 503346 五、發明說明（I2 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用本實施形態之生產管理方法，製造有必要在裝置 之可靠性不充分之狀態下確保很高之總處理能力之如丁打 基板之製品，即可將裝置之故障或保養對生產線之影響抑 制在最低限度，以改善總處理能力，達成成本之降低。同 時，若配合本生產管理方法設計構成裝置或生產線，便能 夠以最少之投資實現最大之總處理能力。在本實施形態之 生產管理方法，為了不使某製程之裝置之長時間停頓，影 響到其他製程，在該製程之直後確保有相當於安全物料數 之物料，直前則確保與此大致同數之空棚架。而發生長時 間停頓時，直後物料被下一製程消耗而減少，同時在直前 則滯留有大致與此同數之等待投人之物料。如果適管理使 直前物料與直後物料之和在平常時與長時間停頓時均保持 一疋，便可以防止裝置長時間停頓對其他製程造成影響。 以往因為對製程之物料只考慮直前物料，因此裝置長時間 停頓時便會發生物料增加，使生產線停頓下來之問題。本 實施形態因為是以直前物料與直後物料之和來管理，因此 在裝置長時間停頓時仍可使物料保持一定。亦即，只要比 較直前物料與直後物料之和之計劃數與和之實績物料數， 便可以不必停止生產線，由本製程吸收其影響。 (2)生產線之設計•構成方法： 本實施形態不僅在預測會發生裝置之長時間停頓之管 束製程之直前’也在此管束製程之前後之製程群間作成裝 置之製程間之共用關係。而在管束製程前之在共用關係下 <製程之直前’也準備有可保持後製程之裝置移過來致處

五、發明說明（l3 ) 理能力暫時急增時仍可吸收之物料所需要充分多之堆料機 之棚架數。 藉此，當管束製程之裝置長時間停頓時，管束製程之 後製程即暫時將裝置之能力移到管束製程之前製程，管束 製程之裝置復原後即將前製程之能力移到其他及後製程， 以防止發生影響整個工廠之生產計劃之損失。 同時提供，從裝置之運作實績資料計算安全機具物料 數之方法。此方法較之從機具物料數及處理數之變遷以近 似方式求出之方法，可以明確定義計劃物料數。由於計算 此安全機具物料數’可以決定必要之堆料機之棚架數。因 為可以在需要之處所準備需要之棚架數，藉此可以防止裝 置長時間停頓之影響及於其他製程，堆料機之棚架可以確 實貢獻生產線之總處理能力。同時也可以排除設置無用之 棚架而造成浪費’可以將堆料機之成本抑制在必要之最低 限度。 【實施例】 以下再使用實施例具体說明本生產管理方法。 [實施例1 ] 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

假設以裝置群EjChl，-…，n)處理製程群pi(i^，— ，m)時，裝置Ej對製程Pi之最合適使用比率為_，裝置 Ej對製程Pi之月之第k日之最大處理能力為丁诉（片/日），而 定義如下。

Tijk={1440x(l-Fj)-Djk}xRijs/Hij[片/日].· ·⑴ 其中，常數1440係將1日（24小時）以分表示者。Fj係平均

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21(^297公爱 503346 Α7 Β7 ο 五、發明說明（Η) 故障率，Djk係第k日之保養時間，Hij(分）係以品種平準 化之生產節拍。再者，製造TFT基板或製造半導體裝置時 ，以處理為主規律速度者為I置。生產節拍係裝置處理！ 片基板所需要之時間，成為測量負荷之單位。生產節拍有 時因品種而異。處理各品種之必要數依生產計劃而定。於 是，某一裝置各處理一定數目時之負荷之大小，可以用每 〜種之生產節拍乘上每_品種之必要處理數而取其總和 之時間表示之。 裝置Ej對製程Pi之中日程生產計劃上之第k日之平準化 之處理預定以LI.Tijk^之，日料巾日程生 產計劃上之最終作業曰。其中之以係對成為中曰程生產計 劃對象之作業時間整体之各製程之累積能力，其各製程之 累積生產預定之負荷率，可滿足下式。 【式1】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 f η U|?Ll · 丁1讲=生產計劃上之月之必要處理數[片/日]· · 計算（1)式之Rijs使各製程之（2)式之u相等，則可 出裝置群Ej之各裝置對餘群pi之各製程之最合適使用 率〇 (2) 求 比 士再者，負荷率係指對裝置可處理製品之總時間之負 時間之比率。負荷率1〇〇%係指將裝置可處理製品之總 間全部用來處理製品。所謂可處理製品之時間係從工廠〜 作業時間扣除該裝置之平均故障時間，維持裝置之性能所 必須之疋期保養、檢查、附帶作業之時間，因休息或交班 本紙張尺度翻中_家^^S)A4規格⑽χ挪 何 時 之 Μ.--------^—-------Μ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 17 B7 (3) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 A7 五、發明說明（I5) 等而有計劃地將裝置空下來之時間後之時間。 依據本實施例1時，各裝置在 係，或錯綜之保養預定之狀況下，：二稷雜之共❹ =預定，對所給之初期物料及出貨預定 為中曰程生產計劃對象之作業期間彳心 化。因此可以瞬間制丨個 產線之物料變 工右期間之機具物料之過或 ^4間評估投人計劃之改變或保養預定之更改 後之機具物料是^平衡，作成最合適之巾 與此連動之小曰程生產計劃。 產计*彳及 [實施例2] 依照貫施例1計算負荷率Li，便可決定裝置聯製程Μ ,月之第k日之最大處理能力為Tijk。而以下式求出各製 私之月之第k日之平準化之處理預定Yik。 【式2】

Yik = X Li · Tijk [片 / 日] 使（3)式之Y!k在中曰程生產計劃之作業期間内之各作 業曰，成為各製程之處理預定，藉此可使此期間之各裝置 對各製私之使用比率，等於此作業期間之最合適使用比率 Rijs。並以此Yik作為初期值，以各製程之某一時點之機 具物料為基礎計算機具物料之變遷，從物料之過與不足之 發生狀況評估投入計劃或保養預定之良否，作成對應最合 適之中日程生產計劃之曰程計劃。

0 Μ--------—------^91. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) [實施例3]

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） ^3346

it、 發明說明（ 因定期保養，某製程Pb因裝置長時間停頓致發生處 理不足時，調整製程間共用裝置£111之使用比率Rij，使其 後製程Ρχ之在實施例2計算之機具物料不要變成負。這時 裝置Em則認為，夾著長時間停頓之裝置所負責之製程作 ，其後製程之Px與其前製程Py可以處理，而從ρχ製程將 能力移至Py製程。所移之能力以為，中曰程生產計劃為月 單位，發生長時間停頓之月之第a日發生裝置£111之長時間 停頓，所移之裝置Em之後製·Ρχ之使用比率為Rxmk，則 △t = 1440x(Rxms-Rxmk)/Hxm · · ·⑷ 於是在該曰以後，從裝置£爪在!^製程之使用時間，將相 當於1440x(Rxms-Rxmk)/Hxm之時間移回ρχ製程。如此便 可以消除在後製程Ρχ因裝置Em之長時間停頓造成之處理 不足，防止在後製程Ρχ之處理降低。 製私Pb疋瓶頸製程時，在製程pb之裝置開始運作後 也不會有大幅度超過平準化之預定量之製品流進該後製程 Ρχ。在足裡檢讨，對中日程例如i個月之生產計劃加以規 律速度之瓶頸製程Pb之每1天之平均處理能力為1，中日 程之生產計劃是配合此瓶頸製程Pb之能力設定時之情形 〇 假設中日程之生產計劃之丨天之必要處理量為N(片/日） 。例如瓶頸製程Pb之裝置會每個月兩次因15天之定期保 養而停機時，此Pb製程在定期保養日以外必須以丨丨咖之 月b力進行處理。瓶頸製程pb後面之ρχ製程在運作時具有 ι·〇⑽之能力日寺，開始運作後每天從Py製程將〇〇5χΝ移回 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐 ---------— II — illlll — ^illl — Ι — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 19 A7 B7 五、發明說明（Π)

Px製程即可。這時，Px製程與py製程之處理量恢復到平 衡所需之時間Tr為，

Tnt/(〇.05xN)=1440x(Rxms—Rxmk)/(〇〇5xHxmxN)···^) [貫施例4 ] 以丁ik表示實施例2之（3)式使u=i時之Yik，該Tik則表 示製程i之第k曰之最大可處理數。 【式3】 (6)

Tik = Ϊ Tijk [片 / 曰] 因裝置故障或品質不良等，使特定之製程或製程群之 處理落後岭，在最大可處理數以下之範圍内，對此製程之 處理預定數加上必要之加成，藉此進行復原。以加成係數 為a(〇Sasi)時，加成處理預定數Yiku為

Yiku = Yik + a X (Tik - Yik) · · · (?) [實施例5 ] 僅藉實施例4之方法很難復原時，可以藉下述方法復 原。亦即，判斷各製程從中曰程生產計劃之第！天所累積 處理之實績是否達到中日程生產計劃之預定處理量。越是 前面之製程手處理時間越長，因此會較快到達預定數。到 達預定數之製程Py與後面（靠近出貨）之製程以共用裝置 Em時，因為出貨優先而由py製程將能力移到&製程。中 日程生產計劃是以月為單位，若在月之第a日製程之累積 處理η !貝到達生產計畫卜移動時之裝置化在後製程巧之 使用比率為Rymk，而是從日至第k+n日間移動能力， 本紙張尺度翻t關家鮮（CNS)A4職7^297 4 )

(8) 五、發明說明（I8 則移動之能力△!!為 【式4】 K十π Δυ = X 1440 X (Ryms - Rymq) / Hym

Px製程之累積處理數到達中曰程生產計劃之預定數 後，再度將移動之能力Δι1從製程Ρχ移回Py製程，使其恢 復平衡。 [實施例6] 再說明多數裝置群處理多數製程群與多數製品品種之 生產線時之情形。檢討在這種生產線存在有，在某製程用 來加工某品種製品之機器之履歷，會限制能夠在其他製程 加工該品種製品之機器之機器使用條件之情形。有這種生 產線機器之使綠制時，首先按各製程，對處理該製程之 各裝置設定處理中日程生產計劃（通常丨個月左右）預定生 產之品種之比率。 這時若在製程A與製程B之間有機器使用限制時，例 如有’製程Ad號機處理之製品，在製郎係由！號機或3 號機來處理之限制時，使製程蚊！號機之各品種之處理 量比率’與製程⑷號機與3號機之各品種之處理量比率 相等。同樣地，如果有’製程故丨號機處理之製品，在製 程B係由某號機群來處理之機器限制時，使這些機器群之 各品種之處理量比率與製程At號機之各品種之處理量比 率相等。 又對使用與有機器限制之製程群同樣之装 裝置 里屢 —腦 — I — 繼歷 — — I* I 屢 I I — — — — · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

21 503346 五、發明說明（l9 ) 來處理，但不存在品種或機器限制之製，呈，則使處理該製 程之各機器之各品種之處理量比率相等。如此設定品種比 率後，没定將各機器使用在各製程之使用時間比率。然後 ’對設定有中日程生產計劃之生產線之作業期間之各機器 之保養預定，計算各製程之可處理片數，再進行各機器在 各製程之品種之處理比率，與在各製程之各機器之使用時 間比率之回歸計算，使各製程在生產計劃上之必要處理片 數與可處理片數之比率之負荷率相等。 如此設定時，對成為中曰程生產計劃對象之整個作業 期間，可使裝置對製程與品種之使用比率，及製品對各機 器系列之使用比率最合適化。而且，若使製品投入生產線 之順序配合產生機器限制之最初製程之品種與機器之比率 ’基本上可以藉先入先出之調度進行最合適之處理。 本务明不限疋如上述實施形態，可以有各種變形。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 例如’上述實施形態係特別以液晶顯示裝置之TFT基 板之生產線為例子進行說明，但本發明並不限定如此，本 發明應可以適用於彩色濾波器（CF)基板之製造過程、或基 板之黏貼或液晶之注入等之單元製程之生產管理或排程、 或者生產線之設計及構成方法等。 同時，不限定於液晶顯示裝置之製造過程，本發明也 適用於電漿顯示器面板（PDP)、或半導體晶圓之生產線之 生產管理及排程、或者生產線之設計及構成方法等。 依據以上所說明之實施形態，本發明可以整理成如下 22 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 發明說明（20 ) (第1發明） 在由製程群共用裝置群，而因裝置之共用關係，相互 可以授受能力之製程群’從這些製料求出，該製程群之 各製程之製品處理能力，與該各製程之必要製品處理數之 比率之負荷率’將其t作是，成為中日程生產計劃對象之 作業期間整体之上述各製程之累積能力，與 累積生產預定之比率， “之 ，計算各裝置之對上述各製程之最合適使用比率，使上 述製程群之各製程之該負荷率相同， 而將上述最合適使用比率反映到小日程生產 為其特徵之生產管理方法。 (第2發明） 如第1發明之生產管理方法， 係使上述作業期間之上述各裝置對上述各製程之使用 比率大致上等於上述最高使用比率，—律制定上述各製程 之處理預定， 對於對應上述中日程生產計劃之平準化之出貨預定及 投入預定，依某時點之上述各製程之實際之機具物料為基 礎’計算在上述作業㈣之整條線上之機具物料之變遷， ▲依據上述機具物料之過多或不足之發生狀況，評估投 入计劃或保養預定之良否，製作對應上述中日程生產計割 之最合適按日計劃’及視需要與上述按日計劃連動之上述 小曰程生產計劃， 為其特徵之生產管理方法。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（η (第3發明） 如第1或第2發明之生產管理方法， 在瓶頸製私或官束製程之前後製程間作成裝置之共用 關係， 在上述瓿頸製程或上述管束製程發生長時間之停頓時 ，將該製程之後製程因機具物料不足而成等候製品之製程 之裝置能力，移撥到較上述瓶頸製程或上述管束製程為前 面之製程， 上述瓶頸製程或上述管束製程復原後，將相當於上述 移撥到前製程之上述能力之能力移回上述後製程， 為其特徵之生產管理方法。 (第4發明） 如第3發明之生產管理方法， 以上述最合適使用比率為基準，計算暫行移撥至上述 前製程之上述能力， 以上述製程群之總能力為一定之條件下，在上述瓶頸 製程或上述管束製程復原後，將相當於上述計算之能力之 能力移回上述後製程，藉此使其整体上對生產計劃不產生 落後， 為其特徵之生產管理方法。 (第5發明） 如第1或第2發明之生產管理方法， 以預測可能在上述作業期間中在上述瓶頸製程或上述 管束製程發生之故障造成之最長停止時間，及因定期保養 -----------Aw ^ i — — —— — — --I I I I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 24 503346

五、發明說明（22 ❹ •經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 而停止之時間之較長之任—方作為預測最長停止時間， …調整各製程之處理預定，使其從上述後製程將對應上 述預測取長停止時間之上述能力份移撥至上述前製程時， 在上述前製程確保有吸收上述能力份所必要之物料機具， 為其特徵之生產管理方法。 (第6發明） 如第5發明之生產管理方法， 在上述前製程或更前之製程之裝置周邊設置保管上述 物料機具之保管棚’以便確保上述前製程之上述物料機具 為其特徵之生產管理方法。 (第7發明） 如第6發明之生產管理方法， 在上述瓶頸製程或上述管束製程之周邊，配設用以保 官上述瓶頸製程或上述管束製程之機具物料之保管棚， 為其特徵之生產管理方法。 (第8發明） 辨認一定之製程，已完成，對依據中日程生產計劃之 出貝預定及製成率計劃、生產線之出貨實績及機具物料、 各製程之處理預定之處理預定量之處理， 將上述一定製程之能力移到與上述一定製程共用裝置 之後製程，在上述後製程完成上述預定處理量後，將相當 於所移之上述能力之能力移回上述_定製程，藉此適切進 行遵守交貨期之出貨優先， ------Μ----------------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

五、發明說明（23) 為其特徵之生產管理方法。 (第9發明） 狀兩種以上之品種在包含由製程群共用裝置群’因共用 ^置之_ ’能夠相互授受能夠之製程群之生產線上流動 w ’若存取有，在上述製程群中之—個製程用來加工一種 =種製品之裝置之履歷’會限制在上述製程群中之其他製 私加工上述—種品種之製品可使用之機器之使用限定條件 計算上述各裝置對上述各製程與上述品種之最合適使 用比率，使其對中曰程生產計劃對象之作業期間之累積處 理’上述製程群之各製程之製品處理能力，與上述各製程 之必要製品處理數之比率之負荷率會相等， 而將上述最合適使用㈣反❹H、日程生產計劃。 為其特徵之生產管理方法。 (第10發明） 如第9發明之生產管理方法， 係依據上述產生機器使用限制之最初製程之處理製品 之機器之上述最合適使用比率，將製品投人生產線，藉此 ，原則上以先入先出之調度處理上述各製程， 為其特徵之生產管理方法。 (第11發明） 在矩陣狀之多數像素領域之各領域分別形成薄膜電晶 體之TFT基板之製造方法， _ 使用έ己載於申凊專利範圍第1項至第1 〇項中任_項所 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2W X 297公釐） A7 五、發明說明（24) 。己載之生產官理方法’為其特徵之tft基板之製造方法。 如以上所述，依據本發明時，可以獲得下述效果。 〇)在由製程群共用裝置群時，因為計算各裝置對各 製程之最合適使用比率，將其反映到小日程生產計劃，使 其對:定之作業期間之累積處理負荷率會相等，因此可以

經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 消 費 合 作 社 印 製 、、先口官理小日程之排程，使整個生產線對中日程生產計劃 成為最合適。 (2) 因為使各裝置對各製程之使用比率在一定之作業 期間原則上成為-定，因此可以縮短處理預定或機具物料 艾遷k間’同時’可以在短時間内評估投入計劃之 改變或保養預定之更改後之機具物料是否平衡。藉此可以 作成最合適之中曰程生產計劃及與之連動之小曰程生產計 劃。同時，生產計劃之變更、發生問題時之處理預定之重 仃檢討、保養預定之改變之再計算等，也可以在短時間内 完成，可以即時防止生產線損失與使其復原。 (3) 因為在瓶頸製程前後之製程間作成裝置之共用關 係，因此可以將瓶頸製程或管束製程之裝置之長時間停頓 對生產線之影響抑制在最低限度。 (4) 此夠以製程群所共用之裝置群之裝置對各製程之 最合適使用比率為基準，計算暫行移撥至瓶頸製程之前製 程之能力，瓶頸製程復原後，很容易將相當於此之能力移 回瓶頸製程之後製程。在製程群之總能力一定之條件下， 為了移撥能力，將能力移撥至前製程然後移回後製程時， 整体上對生產計劃不會產生落後。 本紙張尺度適用申國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 27

503346 五、發明說明（25) (5) 因為可以對已處理完處理預定量之與一定之製程 共用裝置之後製程，移撥該一定之製程之能力，而當後製 程處理完處理預定量後，將相當於移撥之能力之能力移回 韵製程，因此可以適切地進行出貨優先。 (6) 當存在有機器之使用限定條件時，可以計算各裝 置之對各製程與品種之最合適使用比率，使對一定之作業 期間之累積處理其負荷率會相等，而反映在小曰程生產叶 劃，基本上可以按先入先出之調度處理各製程。 (7) 有必要以例如TFT基板之生產線，在裝置之可靠性 不充分之狀態下確保很高之總處理能力時，可以將裝置之 故障或保養對生產線之影響抑制到最低限度，改善總處理 能力，降低成本。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 準 標 家 國 國 中 用 適 度 尺 張 紙 本 釐 公 97 2 X 10 2 /V 格 規 A4 8 2

Claims (1)

1. \ 圍 ί專青 -Φ申 09888 ABCD 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 L 一種生產管理方法，其特徵在於， 在由製程群共用裝置群，而因裝置之共用關係， 可以彳又又此力之製程群，從這些製程群求出，驾 衣私群之各製程之製品處理能力，與該各製程之必要 製品處理數之比率之負荷率，將其當作是，成為中曰 ，生產計劃對象之作業期間整体之上述各製程之累積 能力，與上述各製程之累積生產預定之比率， 、 計算各裝置之對上述各製程之最合適使用比率， 使上述製程群之各製程之該負荷率相同， 而將上述最合適使用比率反映到小日程生產計割上。 2·如申請專利範圍第丨項之生產管理方法， 係使上述作業期間之上述各裝置對上述各製程之 使用比率大致上等於上述最高使用比率，一律制定上 述各製程之處理預定， —對於對應上述中日程生產計劃之平準化之出貨預 疋及技入預疋，依某時點之上述各製程之實際之機具 物料為基礎，計算在上述作業期間之整條線上之機具 物料之變遷， 依據上述機具物料之過多或不足之發生狀況，評 估投入計劃或保養預定之良否，製作對應上述中日程 生產計劃之最合適按日計劃，及視需要與上述按日計 劃連動之上述小日程生產計劃。 3· -種生產管理方法，其特徵在於，辨認中日程生產計 劃之出貨預定及良品率計劃、生產線之出貨實績及規 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱）

   29 六、申請專利範圍 模、對依據各製程之處理預定之處理預定量 一定之製程已結束， + 將上述-定製程之能力移到與上述_定製程 裝置之後段製程，在上述後段製程之上述預定處理量 完成後，將相當於所移之上述能力之能力移回上述_ 定製程’藉此適切進行為了遵守交貨期之出貨優：。 4· 一種生產管理方法，其特徵在於， 文 兩種以上之品種，在包含由製程群共用裝置群， 因共用裝置之關係，能夠相互授受能力之製程群之生 產線上流動時，若存在有，在上述製程群中之-個梦 程用來加工一種品種製品之裝置之履歷，會限制上述 製程群中之其他製程加工上述_種品種之製品^使 用之機器之使用限定條件時， 、計算上述各裝置對上述各製程及上述品種之最合 適使用比率’使其對中日程生產計劃對象之作業期間 之累積處理，上述製程群之各製程之製品處理能力， f上述各製程之必要製品處理數之比率之負載率會相 而將上述最合適使用比率反映到小日程生產計劃 5. -種在矩陣狀之多數像素領域之各領域分別形成薄膜 電晶體之TFT基板之製造方法，其特徵在於， 使用記載於申請專利範圍第】項至第4項中任一項 所記载之生產管理方法。