KR100740407B1 - Substrate processing apparatus and substrate processing method - Google Patents

Substrate processing apparatus and substrate processing method Download PDF

Info

Publication number
KR100740407B1
KR100740407B1 KR1020060015755A KR20060015755A KR100740407B1 KR 100740407 B1 KR100740407 B1 KR 100740407B1 KR 1020060015755 A KR1020060015755 A KR 1020060015755A KR 20060015755 A KR20060015755 A KR 20060015755A KR 100740407 B1 KR100740407 B1 KR 100740407B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
liquid
substrate
fluid
gas
nozzle
Prior art date
Application number
KR1020060015755A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20060095464A (en
Inventor
가즈오 조다이
Original Assignee
다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 filed Critical 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤
Publication of KR20060095464A publication Critical patent/KR20060095464A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100740407B1 publication Critical patent/KR100740407B1/en

Links

Images

Classifications

    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47J—KITCHEN EQUIPMENT; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; APPARATUS FOR MAKING BEVERAGES
    • A47J27/00—Cooking-vessels
    • A47J27/12—Multiple-unit cooking vessels
    • A47J27/13—Tier cooking-vessels
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47J—KITCHEN EQUIPMENT; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; APPARATUS FOR MAKING BEVERAGES
    • A47J27/00—Cooking-vessels
    • A47J27/002—Construction of cooking-vessels; Methods or processes of manufacturing specially adapted for cooking-vessels
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S220/00—Receptacles
    • Y10S220/912—Cookware, i.e. pots and pans

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Weting (AREA)

Abstract

본 발명의 기판 처리 장치 및 방법은, 전공정에서 기판으로부터 제거하기 어려운 처리액이 부여되어 있던 경우 등이더라도, 기판에 대해 린스액이 전공정의 처리조로 역류하는 것을 방지하면서, 기판상에 잔존하는 전공정에서의 처리액에 의한 악영향을 저감하는 처리를 행하는 것이다. 그 때문에, 수세 처리부의 처리 챔버에서, 반송중인 기판(W)의 표면에 대해 기판 반송방향 하류측을 향해 입구 노즐(20)로부터 린스액을 공급하여, 해당 수세 처리부보다 전공정의 처리조로의 린스액의 역류를 방지하면서, 전공정에서 공급된 처리액으로부터 린스액으로의 치환을 행한다. 이 린스액이 공급된 후의 기판(W)의 표면에 대해 기액유체 노즐(21)로부터 기판 반송방향에 교차하는 기판 폭의 전역에 걸쳐 기체와 액체로 이루어지는 기액유체를 공급하여, 기판 표면에 여전히 잔존하는 전공정의 처리액을 제거한다. INDUSTRIAL APPLICABILITY The substrate processing apparatus and method of the present invention are capable of preventing the rinsing liquid from flowing back to the substrate processing tank even when the processing liquid is difficult to remove from the substrate in the previous process, Thereby reducing the adverse effect caused by the treatment liquid in the process. Therefore, the rinsing liquid is supplied from the inlet nozzle 20 toward the downstream side in the substrate transport direction with respect to the surface of the substrate W being transported in the processing chamber of the water washing processing section, and the rinse liquid The process liquid supplied from the previous process is replaced with the rinsing liquid. Liquid fluid consisting of a gas and a liquid is supplied to the surface of the substrate W after the rinsing liquid is supplied over the entire width of the substrate crossing the vapor-liquid fluid nozzle 21 in the substrate transfer direction, Remove the process definition liquid.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a substrate processing apparatus,

도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 관한 기판 처리 장치의 개략 구성을 도시하는 구성도이고, 기액유체 노즐이 설치된 수세 처리부가 도시되어 있다. Fig. 1 is a configuration diagram showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus according to the first embodiment of the present invention, and shows a water treatment section provided with a gas-liquid fluid nozzle.

도 2는 도 1의 기판 처리 장치에 설치된 입구 노즐 및 기액유체 노즐의 배치를 도시하는 평면도이고, 입구 노즐 및 기액유체 노즐로부터 린스액이 토출되는 모습을 도시한다. FIG. 2 is a plan view showing the arrangement of the inlet nozzle and the vapor-liquid fluid nozzle provided in the substrate processing apparatus of FIG. 1, and shows a state in which the rinse liquid is discharged from the inlet nozzle and the vapor-liquid fluid nozzle.

도 3은 입구 노즐 및 기액유체 노즐의 배치와, 입구 노즐 및 기액유체 노즐로부터 린스액이 토출되는 모습을 도시하는 측면도이다. 3 is a side view showing an arrangement of an inlet nozzle and a gas-liquid fluid nozzle, and a state in which rinse liquid is discharged from an inlet nozzle and a gas-liquid fluid nozzle.

도 4는 본 발명의 제2 실시형태에 관한 기판 처리 장치의 개략 구성을 도시하는 구성도이고, 고압 스프레이 노즐이 설치된 수세 처리부가 도시되어 있다. Fig. 4 is a configuration diagram showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus according to a second embodiment of the present invention, and shows a water treatment section provided with a high-pressure spray nozzle.

도 5(a)는 제2 실시형태에 관한 기판 처리 장치에 구비되는 고압 스프레이 노즐의 토출구의 일례를 도시하는 해당 노즐의 저면도이고, 또한 해당 토출구로부터 토출된 고압유체의 기판 표면에서의 토출 영역을 도시한다. 5 (a) is a bottom view of a corresponding nozzle showing an example of a discharge port of a high-pressure spray nozzle provided in the substrate processing apparatus according to the second embodiment, and FIG. 5 Lt; / RTI >

도 5(b)는 제2 실시형태에 관한 기판 처리 장치에 구비된 고압 스프레이 노즐의 토출구의 다른 예를 도시하는 해당 노즐의 저면도이고, 또한 해당 토출구로부터 토출되는 고압 유체의 기판 표면에서의 토출 영역을 도시한다. 5 (b) is a bottom view of the nozzle showing another example of the discharge port of the high-pressure spray nozzle provided in the substrate processing apparatus according to the second embodiment, and also shows the discharge of the high- Area.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>Description of the Related Art

10 : 수세 처리부 12 : 처리 챔버10: flushing treatment section 12:

14 : 입구측 개구 16 : 출구측 개구14: inlet side opening 16: outlet side opening

21 : 기액유체 노즐 26, 28, 30 : 린스액 공급배관21: gas-liquid fluid nozzle 26, 28, 30: rinsing liquid supply pipe

50 : 컨트롤러 W : 배관50: Controller W: Piping

본 발명은 액정표시 디바이스(LCD), 플라즈마 표시 디바이스(PDP), 반도체 디바이스 등의 제조 프로세스에서, LCD 또는 PDP용 유리기판, 반도체 기판 등의 피처리 기판에 대해 각종 처리, 예를 들면 에칭처리 후의 치환처리를 행하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. The present invention can be applied to various processes such as a process for manufacturing a liquid crystal display device (LCD), a plasma display device (PDP), a semiconductor device, and the like, And a substrate processing apparatus that performs substitution processing.

종래, 기판 처리 장치에서, 에칭처리 후의 기판에 대한 린스처리는, 다음과 같이 하여 행해지고 있다. 예를 들면, 일본국 특허 공개 2004-273984호에 나타나 있는 바와 같이, 기판이 수세 처리부의 처리 챔버 내로 반입되어 왔을 때, 처리 챔버의 입구측 개구 부근에서 입구 노즐로부터 기판 반송방향 하류측을 향해 린스액을 공급하고, 기판이 반송방향 하류측으로 더 진행되면, 처리 챔버 내로부터 반출될 때까지 상부 스프레이 노즐로부터 린스액을 기판의 표면에 공급한다. 이는 (1) 입구 노즐로부터 기판에 공급한 린스액이 전공정의 처리조로 역류하는 것을 방지하면서, (2) 처리 챔버의 입구 부근에서 슬릿 형상의 입구 노즐로부터, 바로 아래의 기판 표면 부분에 다량의 린스액을 균일하게 공급하여 단시간에 린스액으로의 치환을 행함으로써, 전처리에서 이용된 처리액의 잔존에 의한 기판 표면에 형성된 배선 패턴의 형상이나 선폭의 균일성 악화를 방지하도록 하고, 그 후에 상부 스프레이 노즐(22)로부터 린스액 공급을 행하도록 한 것이다. Conventionally, in the substrate processing apparatus, the rinsing process for the substrate after the etching process is performed as follows. For example, as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-273984, when the substrate is brought into the processing chamber of the water washing processing section, rinsing from the inlet nozzle toward the downstream side in the substrate transfer direction near the inlet opening of the processing chamber When the substrate further advances toward the downstream side in the carrying direction, the rinse liquid is supplied to the surface of the substrate from the upper spray nozzle until it is taken out from within the processing chamber. This is because (1) the rinse liquid supplied to the substrate from the inlet nozzle is prevented from flowing back to the main processing tank, (2) a large amount of rinsing is performed from the slit-shaped inlet nozzle in the vicinity of the inlet of the processing chamber, It is possible to prevent the deterioration of the shape and line uniformity of the wiring pattern formed on the substrate surface due to the remnant of the processing solution used in the pretreatment by replacing the rinsing liquid in a short time by uniformly supplying the liquid, So that the rinsing liquid is supplied from the nozzle 22.

그러나, 상기의 기판 처리 장치에 의하면, 입구 노즐로부터 린스액을 공급해도, 전공정에서 이용된 처리액이 점도가 높은 것인 등, 기판 표면으로부터 제거하기 어려운 것인 경우는, 기판 표면에 부착한 전공정의 처리액을 정확하게 린스액으로 치환하는 것이 곤란해지기 때문에, 잔존하는 전공정의 처리액에 의해, 기판에 형성된 배선 패턴 등에 악영향이 미치는 경우가 있다. However, according to the above-described substrate processing apparatus, even if the rinse liquid is supplied from the inlet nozzle, if the processing liquid used in the previous step is difficult to remove from the surface of the substrate, such as a high viscosity, It is difficult to accurately replace the major-definition-treatment-treatment liquid with the rinse liquid. Therefore, the remaining major-definition-treatment liquid may adversely affect the wiring pattern formed on the substrate and the like.

본 발명은, 상기의 문제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 전공정에서 기판으로부터 제거하기 어려운 처리액이 부여되어 있던 경우 등이라도, 기판에 대해 새롭게 공급하는 린스액이 전공정의 처리조로 역류하는 것을 방지하면서, 기판상에 잔존하는 전공정에서의 처리액에 의한 악영향을 저감할 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problem, and it is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for preventing a rinse solution newly supplied to a substrate from flowing back to a major definition processing tank And to provide a substrate processing apparatus and a substrate processing method capable of reducing the adverse effects caused by the processing liquid in all the steps remaining on the substrate.

본 발명에 의하면, 미리 정해진 방향으로 반송되는 기판의 표면에 부착한 처리액을 린스액으로 치환하는 치환처리를 행하는 처리조 내에 배치되고, 해당 반송중인 기판의 표면에 대해 기판 반송방향 하류측을 향해 린스액을 공급하는 린스액 공급수단과, 상기 처리조 내에서 상기 린스액 공급수단보다도 기판 반송방향 하류측에 설치되고, 해당 기판 반송방향에 교차하는 기판 폭의 전역에 걸쳐, 상기 기판 의 표면에 대해 유체를 공급하는 유체 공급수단을 구비하는 기판 처리 장치이다. According to the present invention, there is provided a substrate processing apparatus, which is disposed in a processing tank for performing a substitution process for replacing a processing liquid adhering to a surface of a substrate to be processed in a predetermined direction by a rinsing liquid, A rinsing liquid supply means for supplying a rinsing liquid to the rinsing liquid supply means; a rinsing liquid supply means provided on a downstream side of the rinsing liquid supply means in the substrate transfer direction in the processing tank, And a fluid supply means for supplying a fluid to the fluid supply means.

또한, 미리 정해진 방향으로 반송되는 기판의 표면에 부착한 처리액을 린스액으로 치환하는 치환처리를 행하는 처리조 내에서, 해당 반송중인 기판의 표면에 대해 기판 반송방향 하류측을 향해 린스액을 공급하는 제1 공정과, 상기 처리조 내에서의 상기 제1 공정에 의한 린스액 공급 위치보다도 기판 반송방향 하류측에서, 해당 기판 반송방향에 교차하는 기판 폭의 전역에 걸쳐, 상기 기판의 표면에 대해 유체를 공급하는 제2 공정을 갖는 기판 처리 방법이다. Further, in the treatment tank for performing the replacement treatment for replacing the treatment liquid attached to the surface of the substrate carried in the predetermined direction with the rinsing liquid, a rinsing liquid is supplied toward the downstream side in the substrate transport direction with respect to the surface of the substrate being transported And a rinsing liquid supply unit for supplying a rinsing liquid to the surface of the substrate across the entire width of the substrate crossing the substrate transport direction on the downstream side in the substrate transport direction with respect to the rinsing liquid supply position by the first step in the processing tank And a second step of supplying the fluid.

이들 구성에서는, 처리조 내의 입구 근방에서, 반송중인 기판의 표면에 대해 기판 반송방향 하류측을 향해 린스액을 공급함으로써, 해당 처리조보다 전공정의 처리조로 린스액이 역류하는 것을 방지하면서, 전공정에서 공급된 처리액으로부터 린스액으로의 치환을 행한다. 그리고, 이 린스액이 공급된 후의 기판 표면에 대해 기판 반송방향에 교차하는 기판 폭의 전역에 걸쳐 공급되는 유체에 의해서도, 기판 표면에 여전히 잔존하는 전공정의 처리액을 제거하기 때문에, 전공정에서 점도가 높은 처리액 등의 제거하기 어려운 처리액이 부여되어 있던 경우라도, 해당 잔존 처리액을 기판 표면으로부터 더 제거할 수 있다. In these configurations, the rinsing liquid is supplied toward the downstream side in the substrate transport direction with respect to the surface of the substrate being transported in the vicinity of the inlet in the processing tank, thereby preventing the rinsing liquid from flowing backward into the processing- To the rinsing liquid. Also, even when the fluid supplied over the entire width of the substrate crossing the substrate transfer direction with respect to the substrate surface after the rinsing liquid is supplied is removed, the total surface treatment liquid still remaining on the surface of the substrate is removed. It is possible to further remove the remaining treatment liquid from the surface of the substrate even if the treatment liquid is difficult to remove such as a high treatment liquid.

상기 유체를 기체 및 액체의 2 유체로 구성해도 된다. 기체와 액체로 이루어지는 기액유체로 하면, 단열팽창 효과로 유체 온도가 낮아지고, 기판 표면에 잔존하는 전공정의 처리액은 해당 기액유체에 의해 냉각된다. 또한, 이 기액유체의 액체 부분을 잔 입자형상으로 해도 된다. 그렇게 함으로써, 액체 부분은 주위의 열로 용이하게 증발할 수 있다. 즉, 주위의 열을 기화열로서 탈취할 수 있다. 이에 의한 냉각 효과에 의해서도, 기판 표면에 잔존하는 처리액이 냉각된다. 그 때문에, 예를 들면, 전공정에서 부여된 처리액이 에칭액인 경우 등에는, 이 에칭액을 냉각하여 에칭 레이트를 저하시킬 수 있기 때문에, 기판 표면에 형성된 배선 패턴의 형상이나 선폭의 균일성이 기판 표면에 잔존하는 에칭액에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다. The fluid may be composed of two fluids, a gas and a liquid. In the case of a gas-liquid fluid composed of a gas and a liquid, the fluid temperature is lowered due to the effect of the thermal expansion, and the major-definition processing liquid remaining on the substrate surface is cooled by the vapor-liquid fluid. The liquid portion of the gas-liquid fluid may be in the form of a residual particle. By doing so, the liquid portion can easily evaporate into the surrounding heat. That is, the surrounding heat can be deodorized as the heat of vaporization. By this cooling effect, the treatment liquid remaining on the surface of the substrate is also cooled. Therefore, for example, in the case where the process liquid applied in the previous process is an etchant, the etching rate can be lowered by cooling the etchant, so that the shape of the wiring pattern formed on the substrate surface and the uniformity of the line- It can be prevented from being damaged by the etchant remaining on the surface.

또한, 상기 유체를 고압으로 공급해도 된다. Further, the fluid may be supplied at a high pressure.

또, 상기 고압 유체는, 고압의 액체로 공급하는 것이 바람직하다. It is preferable that the high-pressure fluid is supplied as a high-pressure liquid.

고압 유체를 공급함으로써, 기판 표면에 잔존하는 전공정에서 부여된 처리액을 제거하고, 전공정에서 점도가 높은 처리액이 기판 표면에 부여되어 있던 경우라도, 해당 잔존 처리액을 확실히 제거할 수 있다. By supplying the high-pressure fluid, even when the treatment liquid imparted in the previous step remaining on the substrate surface is removed and the treatment liquid having a high viscosity in the previous process is applied to the surface of the substrate, the remaining treatment liquid can be reliably removed .

본 발명에 의하면, 처리조보다 전공정의 처리조로 린스액이 역류하는 것을 방지하면서, 전공정에서 공급된 처리액으로부터 린스액으로의 치환을 단시간에 행할 수 있다. 또한, 기체와 액체로 이루어지는 기액유체의 기판으로의 공급에 의해, 전공정에서 점도가 높은 처리액 등의 제거하기 어려운 처리액이 기판 표면에 부여되어 있던 경우라도, 해당 잔존 처리액을 정확하게 제거하여 잔존 처리액이 기판에 대해 미치는 악영향을 저감할 수 있다. According to the present invention, it is possible to replace the rinse liquid from the treatment liquid supplied in the previous process in a short period of time while preventing the rinse liquid from flowing back into the treatment tank. In addition, even when a treatment liquid which is difficult to remove such as a high viscosity liquid is applied to the surface of the substrate by the supply of the vapor-liquid fluid to the substrate, the residual liquid is precisely removed It is possible to reduce the adverse effect of the residual treatment liquid on the substrate.

또, 고압 유체의 기판으로의 공급에 의해, 전공정에서 점도가 높은 처리액 등의 제거하기 어려운 처리액이 기판 표면에 부여되어 있던 경우라도, 해당 잔존 처리액을 확실히 제거할 수 있다. In addition, even when a treatment liquid which is difficult to remove such as a high viscosity liquid is applied to the surface of the substrate by the supply of the high-pressure fluid to the substrate, it is possible to reliably remove the residual treatment liquid.

이하, 본 발명의 일 실시형태에 관한 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 관한 기판 처리 장치의 개략 구성을 도시하는 구성도이고, 특히, 본 발명의 특징적 구성인 린스액 공급기구(입구 노즐(20) 및 기액유체 노즐(21))가 설치된 수세 처리부를 도시하고 있다. 제1 실시형태에 관한 기판 처리 장치(1)에서는, 수세 처리부(10)의 전공정으로서, 수세 처리부(10)에 인접하여 에칭 처리조가 설치되어 있다(도시 생략). 에칭 처리조에서는, 현상 처리에 의해 패턴 형성된 레지스트 막보다 하층의 노출부분을 제거하기 위해, 에칭용 약액(이후, 에칭액이라 한다)이 기판 표면에 공급되기 때문에, 수세 처리부(10)에서는 에칭용 약액 등을 씻어내고, 수세 처리부(10)에서 공급하는 새로운 린스액(예를 들면, 순수 등으로 이루어진다. 전공정으로 기판(W)에 공급된 처리액과는 다른 액이면 된다.)으로 치환한다. Hereinafter, a substrate processing apparatus and a substrate processing method according to one embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Fig. 1 is a configuration diagram showing a schematic configuration of a substrate processing apparatus according to the first embodiment of the present invention. Particularly, the rinse liquid supply mechanism (inlet nozzle 20 and gas-liquid fluid nozzle 21) ) Is installed in the water treatment section. In the substrate processing apparatus 1 according to the first embodiment, an etching treatment tank is provided adjacent to the water washing treatment section 10 (not shown) as a previous step of the water washing treatment section 10. In the etching treatment tank, since the etching solution (hereinafter, referred to as an etching solution) is supplied to the substrate surface in order to remove exposed portions below the resist film patterned by the developing process, in the water treatment section 10, And is replaced with a new rinsing liquid (for example, pure water or the like, supplied by the water washing processing unit 10, which is different from the processing liquid supplied to the substrate W in the previous step).

수세 처리부(10)는, 입구측　개구(14) 및 출구측 개구(16)를 갖는 처리 챔버(12)를 구비한다. 처리 챔버(12)의 내부에는, 기판(W)을 수평 자세, 또는 기판 반송방향(도 1의 화살표 방향)에 직교하는 방향으로 경사시킨 자세로 반송하는 롤러 컨베이어(18)가 설치되어 있다. 이 수세 처리부(10)에는 상술한 바와 같이, 에칭 처리부에서 표면에 에칭액이 부착된 상태의 기판(W)이 반송되어 온다. 처리 챔버(12)의 입구측　개구(14) 부근에는, 기판(W)의 표면에 린스액을 토출하는 입구 노즐(린스액 공급수단)(20)이 설치되어 있다. 이 입구 노즐(20)은, 기판(W)에 대해 린스액을 다량으로 공급하여, 전공정에서 기판(W)의 표면에 부여되어 있는 에칭액을 단시간에 린스액으로 치환한다. 또, 이 입구 노즐(20)보다 기판 반송방향 하류 측에는, 기체 및 액체로 이루어지는 기액유체를 기판에 대해 토출하는 기액유체 노즐(기액유체 공급수단)(21)이 기판 반송로의 상방에 설치되어 있고, 기액유체 노즐(21)보다 더 하류측에는, 기판 반송로의 상방 및 하방에 기판 반송로를 따라 각각 상부 스프레이 노즐(22), 하부 스프레이 노즐(24)이 설치되어 있다. The water treatment section 10 has a processing chamber 12 having an inlet side opening 14 and an outlet side opening 16. A roller conveyor 18 for conveying the substrate W in a horizontal posture or in a posture in which the substrate W is inclined in a direction orthogonal to the substrate conveying direction (arrow direction in FIG. 1) is provided in the processing chamber 12. As described above, the substrate W with the etchant adhered to the surface thereof is transported to the water washing unit 10. An inlet nozzle (rinse liquid supply means) 20 for discharging a rinse liquid is provided on the surface of the substrate W near the inlet opening 14 of the processing chamber 12. The inlet nozzle 20 supplies a large amount of rinsing liquid to the substrate W and replaces the etching liquid applied to the surface of the substrate W in the previous step with the rinsing liquid in a short period of time. On the downstream side of the inlet nozzle 20 in the substrate transport direction, a gas-liquid fluid nozzle (gas-liquid fluid supply means) 21 for discharging gas-liquid fluid composed of gas and liquid to the substrate is provided above the substrate transport path Upper spray nozzles 22 and lower spray nozzles 24 are provided on the lower side of the vapor fluid nozzle 21 along the substrate transfer path above and below the substrate transfer path.

입구 노즐(20), 상부　스프레이 노즐(22) 및 하부　스프레이 노즐(24)에는 린스액　공급배관(26, 28, 30)이 각각 접속되어 있고, 각 린스액 공급배관(26, 28, 3O)에는 개폐 제어밸브(V1, V2, V3)가 각각 설치되어 있다. 각 린스액　공급배관(26, 28, 30)은 각각 배관(32a)에 접속되고, 배관(32a)은 펌프(34)의 토출구 측에 유로 접속되어 있다. 펌프(34)의 흡입구 측은 배관(32b)을 통해 순수(2)가 저류된 저수조(36)의 저부에 접속되어 있다. The rinse liquid supply pipes 26, 28 and 30 are connected to the inlet nozzle 20, the upper spray nozzle 22 and the lower spray nozzle 24. The rinse liquid supply pipes 26, 28, Closing control valves V 1 , V 2 , and V 3 , respectively. Each of the rinsing liquid supply pipes 26, 28 and 30 is connected to a pipe 32a and the pipe 32a is connected to a discharge port side of the pump 34. [ The suction port side of the pump 34 is connected to the bottom of the water storage tank 36 in which the pure water 2 is stored through the pipe 32b.

기액유체 노즐(21)에는 린스액 배관(31)이 접속되어 있고, 예를 들면 순수가 도시를 생략한 순수 공급원, 또는 저수조(36)로부터 적당히 공급되도록 되어 있다. 린스액 배관(31)에는 개도(開度) 조정이 가능한 밸브(V6)가 설치되어 있고, 기액유체 노즐(21)에 공급하는 순수 유로의 개폐 및 순수의 유량 조절이 가능하게 되어 있다. The rinse liquid pipe 31 is connected to the vapor-liquid fluid nozzle 21, and for example, pure water is appropriately supplied from a pure water supply source (not shown) or a water storage tank 36. Rinse liquid pipe 31, the opening degree is (開度) adjustment is possible, and the valve (V 6) is installed, is capable of adjusting the flow rate of pure water of the pure water passage opening, and for supplying the gas-liquid fluid nozzle 21.

또, 기액유체 노즐(21)에는, 질소가스 공급원으로부터 고압의 질소가스를 기액유체 노즐(21)에 공급하는 질소가스 배관(33)이 접속되어 있다. 이 질소가스 배관(33)에는, 개도 조정이 가능한 밸브(V7)가 설치되어 있고, 기액유체 노즐(21)에 공급되는 질소가스의 유로의 개폐 및 질소가스의 유량 조절이 가능하게 되어 있다. 또, 밸브(V7)의 개도를 바꿈으로써, 기액유체 노즐(21)에 도입되는 질소가스의 압력(유량)을 바꿔, 기액유체 노즐(21)에서 생성되는 순수의 액체방울의 입경을 변화시키는 것도 가능하다. 질소가스 배관(33)에서 밸브(V7)와 기액유체 노즐(21) 사이에는, 기액유체 노즐(21)에 도입되는 질소가스의 압력을 측정하는 압력계(35)가 설치되어 있다. 이 압력계(35)에 의한 검출 결과는 컨트롤러(50)로 이송되고, 컨트롤러(50)는 해당 검출 결과에 따라 밸브(V7)의 개폐를 제어하여 질소가스의 압력을 조정하는 것이 가능하게 되어 있다. The gas-liquid fluid nozzle 21 is connected to a nitrogen gas pipe 33 for supplying a high-pressure nitrogen gas from the nitrogen gas supply source to the vapor-liquid fluid nozzle 21. [ The nitrogen gas pipe 33 is provided with a valve V 7 capable of opening and closing the opening and closing of the flow path of the nitrogen gas supplied to the vapor fluid nozzle 21 and the flow rate of the nitrogen gas. Further, by changing the opening degree of the valve (V 7), changing the pressure (flow rate) of the nitrogen gas to be introduced into the gas-liquid fluid nozzle 21, to change the grain size of the droplets of the pure water that is generated in the gas-liquid fluid nozzle 21 It is also possible. A pressure gauge 35 for measuring the pressure of the nitrogen gas introduced into the vapor-liquid fluid nozzle 21 is provided between the valve V 7 and the vapor-liquid fluid nozzle 21 in the nitrogen gas pipe 33. Detection result by the pressure gauge 35 is sent to the controller 50, the controller 50 may, depending on the detection result and controls the opening and closing of the valve (V 7) it is possible to adjust the pressure of the nitrogen gas .

상기 밸브(V6, V7)를 동시에 열어, 기액유체 노즐(21)에 순수 및 질소가스 가 동시에 도입되면, 기액유체 노즐(21)에 의해 순수의 액체방울(mist)이 생성되어 분사되게 되어 있다. 밸브(V6, V7)의 개폐 동작은 컨트롤러(50)에 의해 제어된다. When pure water and nitrogen gas are simultaneously introduced into the vapor-liquid fluid nozzle 21 by simultaneously opening the valves V 6 and V 7 , liquid mist of pure water is generated and injected by the vapor-liquid fluid nozzle 21 have. The opening and closing operations of the valves V 6 and V 7 are controlled by the controller 50.

기판(W)의 표면을 세정할 때는, 컨트롤러(50)의 제어에 의해 입구 노즐(20) 로부터 린스액을 토출시킴과 동시에, 기액유체 노즐(21)로부터 기판(W)의 표면을 향해 순수 및 질소가스로 이루어지는 기액유체를 분사시키고, 또, 상부 스프레이 노즐(22) 및 하부　스프레이 노즐(24)로부터 미스트 형상의 린스액을 기판(W)에 대해 분무한다. The rinsing liquid is ejected from the inlet nozzle 20 under the control of the controller 50 and the liquid is ejected from the vapor liquid nozzle 21 toward the surface of the substrate W, And a mist-like rinsing liquid is sprayed from the upper spray nozzle 22 and the lower spray nozzle 24 to the substrate W. The mist-

처리 챔버(12)의 저부에는, 액 유출관(42)이 설치되어 있다. 액 유출관(42)은, 회수용 배관(44)과 배액용 배관(46)으로 분기하고 있다. 회수용 배관(44)의 선단 유출구는, 저수조(36) 내로 도입되어 있다. 또한, 배액용 배관(46)을 통해 사용 완료의 린스액이 폐기된다. 회수용 배관(44) 및 배액용 배관(46)에는, 개폐 제어밸브(V4, V5)가 각각 설치되어 있다. At the bottom of the processing chamber 12, a liquid outflow pipe 42 is provided. The liquid outflow pipe 42 branches to the recovery pipe 44 and the drain pipe 46. The leading end outlet of the return pipe 44 is introduced into the water storage tank 36. In addition, the used rinsing liquid is discarded through the drainage pipe 46. Has a recovery pipe 44 and the drain pipe (46), the opening control valve (V 4, V 5) are provided, respectively.

다음으로, 입구 노즐(20) 및 기액유체인 노즐(21)에 대해 설명한다. 도 2는 입구 노즐(20) 및 기액유체 노즐(21)의 배치와, 입구 노즐(20) 및 기액유체 노즐(21)로부터 린스액이 토출되는 모습을 도시하는 평면도, 도 3은 입구 노즐(20) 및 기액유체 노즐(21)의 배치와, 입구 노즐(20) 및 기액유체 노즐(21)로부터 린스액이 토출되는 모습을 도시하는 측면도이다. Next, the inlet nozzle 20 and the nozzle 21 which is a gas-liquid fluid will be described. 2 is a plan view showing the arrangement of the inlet nozzle 20 and the vapor-liquid fluid nozzle 21 and the state in which the rinse liquid is discharged from the inlet nozzle 20 and the vapor-liquid fluid nozzle 21. Fig. And the gas-liquid fluid nozzle 21, and the rinsing liquid is discharged from the inlet nozzle 20 and the vapor-liquid fluid nozzle 21. [0158] As shown in FIG.

도 2에 도시하는 바와 같이, 입구 노즐(20)은 기판(W)의 반송방향에 직교하는 기판 폭 방향으로 연장되고, 해당 기판 폭에 걸치는 길이로 설치되어 있다. 입구 노즐(20)에는, 린스액이 토출되는 슬릿(201)이 입구 노즐(20)의 길이방향에 걸쳐 기판 폭의 전역에 설치되어 있다. 또한, 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 이 슬릿(201)으로부터 기판(W) 표면의 폭 전역에 대해 기판 반송방향 하류측을 향해 커튼 형상으로 다량의 린스액을 토출한다. 토출된 린스액은 입구 노즐(20)보다 기판 반송방향 하류측의 기판(W) 표면 전역으로 확대되게 되어 있다. 이에 의해, 반송되어 오는 기판(W)의 표면에 잔존하고 있는 전공정에서의 처리액(에칭액)을 단시간에 씻어내게 되어 있다. As shown in Fig. 2, the inlet nozzle 20 extends in the substrate width direction orthogonal to the transport direction of the substrate W, and is provided with a length corresponding to the width of the substrate. In the inlet nozzle 20, a slit 201 through which the rinse liquid is discharged is provided over the entire width of the substrate in the longitudinal direction of the inlet nozzle 20. As shown in Figs. 2 and 3, a large amount of rinsing liquid is discharged in a curtain shape toward the downstream side in the substrate transport direction with respect to the entire width of the surface of the substrate W from this slit 201. [ The discharged rinsing liquid is spread over the entire surface of the substrate W on the downstream side of the inlet nozzle 20 in the substrate transport direction. As a result, the process liquid (etching liquid) in the previous process remaining on the surface of the transferred substrate W is washed away in a short time.

또한, 입구 노즐(20)의 기판 반송방향 하류측에 설치된 기액유체 노즐(21)도 기판(W)의 폭방향으로 연장되고, 해당 기판 폭에 걸치는 길이로 설치되어 있다. 이 기액유체 노즐(21)에는, 바로 아래에 위치하는 기판(W) 표면부분에 기액유체를 토 출하는 토출구(210)가 기액유체 노즐(21)의 길이방향에 걸쳐 일정 간격으로 복수 설치되어 있다. 각 토출구(210)로부터는 예를 들면, 기판(W) 표면에 대해 직교시켜 분사하는 경우, 기판(W)으로부터 토출구(210)까지의 거리 20㎜∼100㎜(보다 바람직하게는 70㎜), 분사압 0.4Mpa로 기액유체를 분사한다. 각 토출구(210)끼리의 간격은 도 2에 도시하는 바와 같이, 각 토출구(210)로부터 분사된 기액유체가 기판(W)의 표면에 달했을 때, 기액유체의 각 분사영역(R)이 기판 폭 방향에서 겹치도록 설정된다. The gas-liquid fluid nozzle 21 provided on the downstream side of the inlet nozzle 20 in the substrate transport direction also extends in the width direction of the substrate W and is provided with a length corresponding to the width of the substrate W. The gas-liquid fluid nozzle 21 is provided with a plurality of discharge ports 210 for discharging the gas-liquid fluid to the surface portion of the substrate W immediately below the gas-liquid fluid nozzle 21 at regular intervals over the longitudinal direction of the vapor-liquid fluid nozzle 21 . The distance from the substrate W to the discharge port 210 is 20 mm to 100 mm (more preferably, 70 mm), and when the discharge is performed from the discharge ports 210, The gas-liquid fluid is injected at an injection pressure of 0.4 MPa. As shown in FIG. 2, when the gas-liquid fluids ejected from the respective ejection openings 210 reach the surface of the substrate W, the respective ejection regions R of the vapor- Direction.

상기 기액유체 노즐(21)의 토출구(210)로부터 토출된 기액유체는, 상기 압력으로 기판(W)의 표면에 달하고, 각 토출구(210)로부터 각각 토출되는 기액유체끼리 겹치기 때문에, 기판 폭 방향에 걸쳐 기액유체의 벽과 같은 것이 형성된다. The gas-liquid fluids discharged from the discharge ports 210 of the vapor-liquid fluid nozzles 21 reach the surface of the substrate W by the above-described pressure and the vapor-liquid fluids discharged from the respective discharge ports 210 overlap each other, The same as the wall of the gas-liquid fluid is formed.

상기 입구 노즐(20)로부터 린스액이 커튼 형상으로 분사되고, 그때까지 기판(W)의 표면에 잔존하고 있던 처리액은, 입구 노즐(20)로부터 토출된 린스액에 의해 기판(W)의 표면을 기판 반송방향 하류측을 향해 씻어 내어지는데, 이 전공정에서 기판(W)에 부여된 처리액(에칭액)을 포함하는 린스액은, 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 상기 기액유체의 벽에 의해 기액유체 노즐(21)의 설치 위치에서 막혀, 그 이상 기판 반송방향 하류측에는 흐르지 않는다. 막힌 린스액은, 기액유체의 벽을 따라 기판 폭방향으로 흐르고, 기판(W)의 측가장자리부에서 기판(W)의 표면으로부터 처리 챔버(12)의 저부로 흘러내린다. 본 실시형태의 경우, 기판(W)이 롤러 컨베이어(18)에 의해 기판 반송방향에 직교하는 방향으로 기울인 자세로 반송되고 있기 때문에, 상기 막힌 린스액은 해당 경사의 하측이 되는 기판(W) 측가장자리부로 안내되어 처리 챔버(12)의 저부로 흘러내린다. The rinsing liquid is jetted from the inlet nozzle 20 in a curtain shape and the processing liquid remaining on the surface of the substrate W until then is discharged to the surface of the substrate W by the rinsing liquid discharged from the inlet nozzle 20 2 and 3, the rinsing liquid containing the processing liquid (etching liquid) imparted to the substrate W in the previous step is rinsed by the rinsing liquid Liquid nozzle 21 at the mounting position of the gas-liquid nozzle 21 and does not flow further downstream in the substrate-transport direction. The clogged rinsing liquid flows along the wall of the vapor-liquid flow in the substrate width direction and flows from the side edge of the substrate W to the bottom of the processing chamber 12 from the surface of the substrate W. [ In the case of the present embodiment, since the substrate W is transported by the roller conveyor 18 in an inclined posture in a direction orthogonal to the substrate transport direction, the clogged rinsing liquid is transported to the substrate W side And then flows down to the bottom of the processing chamber 12.

이와 같이, 기판(W) 상에 전공정에서 부여된 처리액은, 기판(W)의 표면으로부터 흘러내리는데, 예를 들면, 전공정에서 부여된 처리액이 점도가 높은 것인 경우 등, 기판(W)의 표면으로부터 제거하기 어려운 것인 경우는, 입구 노즐(20)로부터의 린스액에 의한 세정 후의 기판(W) 표면에 처리액이 잔존할 가능성이 있다. 그러나, 본 실시형태의 경우, 기액유체 노즐(21)의 토출구(210)로부터 분사되는 기액유체는 상기한 바와 같이, 기체 및 액체로 이루어지기 때문에, 단열 팽창의 효과로 온도가 낮아져 있고, 기판(W)의 표면에 잔존하는 전공정의 처리액이 냉각되게 된다. 또한, 상기 기액유체의 액체부분은 잔 입자이기 때문에, 주위의 열로 용이하게 증발하여 기화열로서 주위의 열을 탈취하는데, 이에 의한 냉각 효과로도 기판(W)의 표면에 잔존하는 전공정의 처리액이 냉각된다. 그 때문에, 전공정에서 부여된, 예를 들면 에칭액을 냉각하여 에칭 레이트(반응 속도)를 저하시킬 수 있기 때문에, 기판(W)의 표면에 잔존하는 에칭액이 기판(W)의 표면에 형성된 배선 패턴의 형상이나 선폭의 균일성에 미치게 하는 악영향이 저감된다. As described above, the process liquid applied in the previous process on the substrate W flows down from the surface of the substrate W. For example, in the case where the process liquid imparted in the previous process has a high viscosity, W, there is a possibility that the treatment liquid remains on the surface of the substrate W after cleaning by the rinsing liquid from the inlet nozzle 20. However, in the case of the present embodiment, since the gas-liquid fluid ejected from the ejection port 210 of the vapor-liquid fluid nozzle 21 is composed of the gas and the liquid as described above, the temperature is lowered by the effect of the adiabatic expansion, W is cooled down. Further, since the liquid portion of the vapor-liquid fluid is a residual particle, it easily evaporates into surrounding heat to deodorize the surrounding heat as the heat of vaporization. By this cooling effect, the main-plasma processing liquid remaining on the surface of the substrate W And cooled. Therefore, it is possible to reduce the etching rate (reaction rate), which is given in the previous process, for example, by cooling the etching liquid. Therefore, the etching liquid remaining on the surface of the substrate W is transferred to the wiring pattern The adverse effect of the shape and the uniformity of the line width is reduced.

또한, 상기한 바와 같이, 기액유체인 노즐(21)로부터는, 일정한 압력으로 기액유체를 기판(W)의 표면에 분사하기 때문에, 분사된 기액유체의 압력에 의해서도 기판(W)의 표면에 잔존하는 전공정의 처리액을 제거하는 효과는 얻어진다. As described above, since the gas-liquid fluid is jetted onto the surface of the substrate W at a constant pressure from the nozzle 21 which is a gas-liquid fluid, the gas-liquid fluid remains on the surface of the substrate W by the pressure of the gas- The effect of removing the processing liquid to be defined is obtained.

또, 상기 기액유체의 벽에 의한 린스액의 막음 효과에 의해, 기액유체 노즐(21)보다 기판 반송방향 하류측에서는, 기판(W)으로부터 흘러내리는 린스액에는 전공정에서의 처리액이 잔존하지 않기 때문에, 기액유체 노즐(21)보다 하류측의 영역 에서 린스액을 회수하면, 재이용에 적합한 것이 된다. Further, due to the blocking effect of the rinsing liquid caused by the wall of the vapor-liquid fluid, the rinsing liquid flowing down from the substrate W on the downstream side of the vapor-liquid fluid nozzle 21 in the substrate transfer direction does not contain the treatment liquid in the previous step Therefore, when the rinsing liquid is recovered in the region on the downstream side of the vapor-liquid fluid nozzle 21, it becomes suitable for reuse.

다음으로, 본 발명에 관한 기판 처리 장치의 제2 실시형태를 설명한다. 도 4는 제2 실시형태에 관한 기판 처리 장치의 개략 구성을 도시하는 구성도이고, 특히, 본 발명의 특징적 구성인 린스액 공급기구(입구 노즐(20) 및 고압 스프레이 노즐(21'))가 적용된 수세 처리부(10')를 도시하고 있다. 도 5 (a)는 제2 실시형태에 관한 기판 처리 장치에 구비되는 고압 스프레이 노즐의 토출구와, 해당 토출구로부터 토출되는 고압 유체의 기판 표면에서의 토출 영역의 일례를 도시한 도면, 도 5(b)는 제2 실시형태에 관한 기판 처리 장치에 구비되는 고압 스프레이 노즐의 토출구와, 해당 토출구로부터 토출되는 고압 유체의 기판 표면에서의 토출 영역의 다른 예를 도시한 도면이다. Next, a second embodiment of the substrate processing apparatus according to the present invention will be described. 4 is a configuration diagram showing a schematic configuration of the substrate processing apparatus according to the second embodiment. Particularly, the rinse solution supply mechanism (inlet nozzle 20 and high-pressure spray nozzle 21 '), which is a characteristic feature of the present invention, And shows the applied water washing unit 10 '. 5 (a) is a view showing an example of a discharge port of a high-pressure spray nozzle provided in the substrate processing apparatus according to the second embodiment and a discharge area on the substrate surface of a high-pressure fluid discharged from the discharge port, and Fig. 5 Is a view showing another example of a discharge port of a high-pressure spray nozzle provided in the substrate processing apparatus according to the second embodiment and a discharge area on the substrate surface of a high-pressure fluid discharged from the discharge port.

도 4에 도시하는 바와 같이 제2 실시형태에 관한 기판 처리 장치(1')는, 제1 실시형태의 기판 처리 장치(1)를 구비하고 있는 기액유체 노즐(21) 대신에, 고압 스프레이 노즐(고압유체 공급수단)(21')을 구비한다. 제1 실시형태의 기액유체 노즐(21)은 기액유체에 의한 냉각 작용과, 기액유체의 분사압에 의해 잔존 처리액이 기판(W)에 미치는 악영향을 저감시키는 것이었지만, 제2 실시형태의 고압 스프레이 노즐(21')은 토출하는 린스액의 압력으로 잔존 처리액의 제거율을 높여, 잔존 처리액이 기판(W)에 미치는 악영향을 저감시키는 것이다. 4, the substrate processing apparatus 1 'according to the second embodiment is different from the substrate processing apparatus 1 according to the first embodiment in that a high-pressure spray nozzle (not shown) is used instead of the vapor-liquid fluid nozzle 21 having the substrate processing apparatus 1 according to the first embodiment Pressure fluid supply means) 21 '. The gas-liquid fluid nozzle 21 of the first embodiment reduces the adverse effect of the remaining processing liquid on the substrate W by the cooling action by the gas-liquid fluid and the jetting pressure of the gas-liquid fluid, The spray nozzle 21 'increases the removal rate of the remaining treatment liquid by the pressure of the rinsing liquid to be discharged, thereby reducing adverse effects of the residual treatment liquid on the substrate W.

고압 스프레이 노즐(21')은, 순수 등의 린스액을 고압으로 기판(W)에 대해 토출하게 되어 있고, 린스액 공급배관(61)에 의해 린스액 탱크(64)에 배관 접속되어 있다. The high-pressure spray nozzle 21 'discharges the rinsing liquid such as pure water to the substrate W at a high pressure and is piped to the rinsing liquid tank 64 by the rinsing liquid supply pipe 61.

또한, 고압 스프레이 노즐(21')과 린스액 탱크(64) 사이의 린스액 공급배관(61)에는 필터(62), 유량 조절용 개폐 밸브(V8) 및 펌프(63)가 설치되어 있다. 펌프(63)는 인버터(65)의 출력에 의해 구동되고, 인버터(65)의 출력은 컨트롤러(50)에 의해 제어된다. 펌프(63)는, 컨트롤러(50)에 의해 인버터(65)의 주파수를 제어함으로써, 고압 스프레이 노즐(21') 측을 향한 토출 압력을 임의로 절환하여, 구동제어 가능하게 되어 있다. The rinsing liquid supply pipe 61 between the high-pressure spray nozzle 21 'and the rinsing liquid tank 64 is provided with a filter 62, a flow rate adjusting opening / closing valve V 8 and a pump 63. The pump 63 is driven by the output of the inverter 65 and the output of the inverter 65 is controlled by the controller 50. The pump 63 controls the frequency of the inverter 65 by the controller 50 to arbitrarily switch the discharge pressure toward the high-pressure spray nozzle 21 'so that the drive can be controlled.

또한, 고압 스프레이 노즐(21')은 제1 실시형태에 관한 기액유체 노즐(21)과 동일하여, 기판 반송방향에서 입구 노즐(20)의 기판 반송방향 하류측에 설치되어 있고, 기판(W)의 기판 폭 방향으로 연장되어, 해당 기판 폭에 걸치는 길이로 설치된다. 그리고, 고압 스프레이 노즐(21')에는, 그 바로 아래의 기판(W)의 표면 부분에 대해 고압으로 린스액을 토출하는 토출구(210')(도 5(a)(b) 참조)가 고압 스프레이 노즐(21')의 길이 방향에 걸쳐 일정 간격으로 복수 설치되어 있다. The high-pressure spray nozzle 21 'is the same as the vapor-liquid fluid nozzle 21 of the first embodiment and is provided on the downstream side of the inlet nozzle 20 in the substrate transfer direction in the substrate transfer direction. In the substrate width direction, and is provided with a length corresponding to the width of the substrate. 5 (a) and 5 (b)) for discharging the rinsing liquid to the surface portion of the substrate W immediately under the high pressure spray nozzle 21 ' A plurality of nozzles 21 'are provided at regular intervals over the longitudinal direction of the nozzle 21'.

상기 각 토출구(210')는, 기판(W) 표면에 대해 직교하도록 하여 고압의 린스액을 분사한다. 이 각 토출구(210')끼리의 간격은, 각 토출구(210)로부터 분사된 린스액이 기판(W)의 표면에 달했을 때, 각각의 린스액의 분사 영역이 기판 폭 방향에서 빈틈없이 겹치도록 설정된다. 각 토출구(210')로부터는, 예를 들면, 기판(W) 표면에 대해 직교시켜 린스액을 분사하는 경우, 기판(W)으로부터 토출구(210)까지의 거리20㎜∼100㎜(보다 바람직하게는 70㎜), 분사압 O.3∼O.4Mpa로 린스액을 분사한다. Each of the ejection openings 210 'is orthogonal to the surface of the substrate W to eject a high-pressure rinsing liquid. The interval between the respective ejection openings 210 'is set such that when the rinse liquid ejected from each of the ejection openings 210 reaches the surface of the substrate W, the ejection regions of the respective rinse liquids overlap each other in the width direction of the substrate do. The distance from the substrate W to the discharge port 210 is preferably 20 mm to 100 mm (more preferably, 20 mm to 100 mm), for example, when the rinsing liquid is sprayed orthogonally to the surface of the substrate W, Is 70 mm), and the rinsing liquid is sprayed at an injection pressure of 0.3 to 0.4 MPa.

예를 들면, 도 5 (a)의 상부에 도시하는 바와 같이, 각 토출구(210')에 설치되어 있는 린스액을 토출시키는 토출공(2101')을 타원 직경으로 하여, 고압 스프레이 노즐(21')의 길이 방향에 평행해지도록 나열하여 설치하고, 도 5(a)의 하부에 도시하는 바와 같이, 각 토출공(2101')의 린스액 분사영역(R1)의 길이방향 단부끼리 겹치도록 한다. 이렇게 하면, 토출공(2101')끼리의 간격을 비교적 넓게 해도 린스액에 의한 분사영역(R1)을 교차시킬 수 있기 때문에, 고압 스프레이 노즐(21')에 형성하는 토출구(210')의 수를 적게 할 수 있다. For example, as shown in the upper part of FIG. 5 (a), the discharge hole 2101 'for discharging the rinsing liquid provided in each discharge port 210' is set to an elliptical diameter, and the high pressure spray nozzle 21 ' And the end portions in the longitudinal direction of the rinse liquid ejection region R 1 of each of the ejection holes 2101 'overlap each other as shown in the lower portion of Fig. 5 (a) . By doing so, the jetting area R 1 of the rinsing liquid can be crossed even if the intervals between the discharging holes 2101 'are relatively wide. Therefore, the number of the discharging holes 210' formed in the high-pressure spraying nozzle 21 ' Can be reduced.

또한, 도 5(b)의 상부에 도시하는 바와 같이, 토출구(210＂)의 각 토출공(2101＂)을 고압 스프레이 노즐(21')의 길이방향에 대해 일정한 각도로 경사시켜 병설하고, 도 5(b)의 하부에 도시하는 바와 같이, 각 토출공(2101＂)의 린스액 분사영역(R2)의 측부(폭방향의 단부)끼리 겹치도록 한다. 이렇게 하면, 토출공(2101＂)으로부터의 린스액에 의한 잔존 처리액 제거영역을 넓게 할 수 있고, 또, 린스액에 의한 기판(W)으로의 타력을 크게 확보할 수 있으므로, 잔존 처리액의 제거율을 높일 수 있다. As shown in the upper part of Fig. 5 (b), the discharge holes 2101 &quot; of the discharge ports 210 "are juxtaposed while being inclined at a constant angle with respect to the longitudinal direction of the high pressure spray nozzle 21 ' (Width direction end portions) of the rinsing liquid ejection regions R 2 of the respective ejection holes 2101 &quot; overlap each other as shown in the lower part of Fig. 5 (b). This makes it possible to widen the area for removing the remaining process liquid by the rinse liquid from the discharge hole 2101 &quot;, and also to secure a large amount of force on the substrate W by the rinsing liquid. The removal rate can be increased.

또, 본 발명은 상기 실시형태의 구성에 한정되지 않고 여러 가지의 변형이 가능하다. 예를 들면, 상기 제1 실시형태에서는 기액유체 노즐(21)이 순수 및 질소가스로 이루어지는 기액유체를 토출하는 것으로 하여 설명했지만, 기액유체 노즐로부터 토출하는 기액유체를 이루는 액체 및 기체는 이들에 한정되지 않고, 다른 액체 및 기체를 이용하는 것도 가능하다. The present invention is not limited to the configuration of the above embodiment, and various modifications are possible. For example, in the first embodiment, the gas-liquid fluid nozzle 21 discharges the gas-liquid fluid composed of pure water and nitrogen gas. However, the liquid and gas constituting the gas-liquid fluid discharged from the gas- But it is also possible to use other liquids and gases.

또한, 기액유체 노즐(21)의 구성은, 상기 실시형태에서 나타낸 것에는 한정되지 않고, 상기와는 다른 구성으로 이루어지는 것을 채용해도 된다. The structure of the vapor-liquid fluid nozzle 21 is not limited to that shown in the above-described embodiment, and a structure different from that described above may be employed.

또한, 상기 제2 실시형태에서는, 고압 스프레이 노즐(21')로부터 순수를 토출하는 것으로 하여 설명하고 있지만, 다른 액체를 고압으로 토출하도록 해도 되고, 또, 고압의 기체를 토출하도록 해도 된다. 기체를 분사하는 경우는, 각 토출구(210')로부터는, 예를 들면, 기판(W) 표면에 대해 직교시켜 기체를 분사하는 것으로 하여, 기판(W)으로부터 토출구(210)까지의 거리 20㎜∼100㎜, 예를 들면 0.15Mpa의 분사압으로 기체를 분사한다. In the second embodiment, pure water is discharged from the high-pressure spray nozzle 21 '. However, other liquid may be discharged at a high pressure, or a high-pressure gas may be discharged. A gas is sprayed perpendicularly to the surface of the substrate W from each of the discharge ports 210 'so that the distance from the substrate W to the discharge port 210 is 20 mm The gas is injected at an injection pressure of 100 mm, for example, 0.15 MPa.

또한, 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 입구 노즐(20) 및 기액유체 노즐(21) 또는 고압 스프레이 노즐(21')이 구비되는 처리조를 박리처리 후의 공정인 수세 처리부(10)로 하고 있지만, 이는 입구 노즐(20) 및 기액유체 노즐(21) 또는 고압 스프레이 노즐(21')이 구비되는 처리조를 수세 처리부(10)에 한정하는 의미가 아니라, 다른 처리를 행하는 처리조에 입구 노즐(20) 및 기액유체 노즐(21) 또는 고압 스프레이 노즐(21')을 구비하도록 하는 것도 가능하다. In the first and second embodiments, the treatment tank in which the inlet nozzle 20 and the gas-liquid fluid nozzle 21 or the high-pressure spray nozzle 21 'are provided is the water wash processing section 10 which is a process after the separation treatment However, this does not mean that the treatment tank in which the inlet nozzle 20 and the gas-liquid fluid nozzle 21 or the high-pressure spray nozzle 21 'are provided is limited to the wash water treatment section 10, 20 and a gas-liquid fluid nozzle 21 or a high-pressure spray nozzle 21 '.

또한, 상기 실시형태에서는, 처리 챔버(12)의 입구 노즐(20) 및 기액유체 노즐(21)을 에칭처리 후의 기판(W)을 린스액으로 치환하는 처리를 행하는 것으로 하여 설명하고 있지만, 예를 들면, 박리처리 후, 세정처리 후, 현상처리 후 등의 기판(W)에 대해서도 적용이 가능하다. In the above-described embodiment, the description has been given assuming that the process of replacing the substrate W after the etching process with the inlet nozzle 20 and the vapor-liquid fluid nozzle 21 of the process chamber 12 is performed by rinsing liquid. It is also applicable to the substrate W after the peeling treatment, after the cleaning treatment, after the development treatment, and the like.

본 발명에 의하면, 전공정에서 기판으로부터 제거하기 어려운 처리액이 부여 되어 있던 경우 등이라도, 기판에 대해 새롭게 공급하는 린스액이 전공정의 처리조로 역류하는 것을 방지하면서, 기판상에 잔존하는 전공정에서의 처리액에 의한 악영향을 저감할 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공한다.According to the present invention, even if a treatment liquid which is difficult to remove from the substrate in the previous process is applied, the rinse liquid newly supplied to the substrate can be prevented from flowing back to the major definition treatment tank, The present invention also provides a substrate processing apparatus and a substrate processing method capable of reducing an adverse effect caused by a processing solution of a substrate.

Claims (8)

미리 정해진 방향으로 반송되는 기판의 표면에 부착한 처리액을 린스액으로 치환하는 치환처리를 행하는 처리조 내에 배치되고, 해당 반송중인 기판의 표면에 대해 기판 반송방향 하류측을 향해 린스액을 공급하는 린스액 공급수단과, The rinsing liquid is supplied to the downstream side in the substrate transport direction with respect to the surface of the substrate being transported in the processing tank for performing the replacement processing for replacing the processing liquid adhered to the surface of the substrate to be transported in the predetermined direction with the rinsing liquid Rinsing liquid supply means, 상기 처리조 내에서 상기 린스액 공급수단보다도 기판 반송방향 하류측에 설치되고, 해당 기판 반송방향에 교차하는 기판 폭의 전역에 걸쳐, 상기 기판의 표면에 대해 유체를 공급하여, 상기 린스액 공급 수단으로부터 공급된 처리액의 기판 반송 방향 하류측으로의 흐름을 막는 유체 공급수단을 구비하는 기판 처리 장치. Wherein the rinse liquid supply means is provided on the downstream side of the rinse liquid supply means in the treatment tank and supplies fluid to the surface of the substrate across the entire width of the substrate crossing the substrate transfer direction, And a fluid supply means for preventing the flow of the processing liquid supplied from the processing chamber to the downstream side in the substrate transfer direction. 제1항에 있어서, 상기 유체 공급수단은, 기체와 액체로 이루어지는 기액유체를 공급하는 기판 처리 장치. The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the fluid supply means supplies a gas-liquid fluid comprising a gas and a liquid. 제1항에 있어서, 상기 유체 공급수단은, 고압 유체를 공급하는 기판 처리 장치. The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the fluid supply means supplies high-pressure fluid. 제3항에 있어서, 상기 유체 공급수단은, 고압의 액체를 공급하는 기판 처리 장치. The substrate processing apparatus according to claim 3, wherein the fluid supply means supplies a high-pressure liquid. 미리 정해진 방향으로 반송되는 기판의 표면에 부착한 처리액을 린스액으로 치환하는 치환처리를 행하는 처리조 내에서, 해당 반송중인 기판의 표면에 대해 기판 반송방향 하류측을 향해 린스액을 공급하는 제1 공정과, A process for supplying a rinse liquid toward the downstream side in the substrate transport direction with respect to the surface of the substrate being transported in a treatment tank for carrying out a replacement treatment for replacing the treatment liquid adhered to the surface of the substrate carried in the predetermined direction with the rinse liquid, 1 process, 상기 처리조 내에서의 상기 제1 공정에 의한 린스액 공급 위치보다도 기판 반송방향 하류측에서, 해당 기판 반송방향에 교차하는 기판 폭의 전역에 걸쳐, 상기 기판의 표면에 대해 유체를 공급하여, 상기 린스액 공급 수단으로부터 공급된 처리액의 기판 반송 방향 하류측으로의 흐름을 막는 제2 공정을 갖는 기판 처리 방법.Supplying a fluid to the surface of the substrate across the entire width of the substrate crossing the substrate transfer direction on the downstream side of the rinse liquid supply position in the substrate transfer direction by the first step in the processing tank, And a second step of blocking the flow of the processing liquid supplied from the rinsing liquid supply means to the downstream side in the substrate transfer direction. 제5항에 있어서, 제2 공정에서 공급되는 유체는, 기체와 액체로 이루어지는 기액유체인 기판 처리 방법. The substrate processing method according to claim 5, wherein the fluid supplied in the second step is a gas-liquid fluid comprising a gas and a liquid. 제5항에 있어서, 제2 공정에서 공급되는 유체는, 고압유체인 기판 처리 방법. The substrate processing method according to claim 5, wherein the fluid supplied in the second step is a high-pressure fluid. 제7항에 있어서, 제2 공정에서 공급되는 유체는, 고압의 액체인 기판 처리 방법. The substrate processing method according to claim 7, wherein the fluid supplied in the second step is a high-pressure liquid.
KR1020060015755A 2005-02-28 2006-02-17 Substrate processing apparatus and substrate processing method KR100740407B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2005-00054750 2005-02-28
JP2005054750A JP4514140B2 (en) 2005-02-28 2005-02-28 Substrate processing apparatus and substrate processing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060095464A KR20060095464A (en) 2006-08-31
KR100740407B1 true KR100740407B1 (en) 2007-07-16

Family

ID=36947126

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060015755A KR100740407B1 (en) 2005-02-28 2006-02-17 Substrate processing apparatus and substrate processing method

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4514140B2 (en)
KR (1) KR100740407B1 (en)
CN (1) CN100378914C (en)
TW (1) TWI274607B (en)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4502854B2 (en) * 2005-03-22 2010-07-14 株式会社高田工業所 Substrate processing apparatus and processing method
JP4850775B2 (en) * 2007-05-07 2012-01-11 大日本スクリーン製造株式会社 Substrate processing equipment
JP2009147260A (en) * 2007-12-18 2009-07-02 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Substrate processing apparatus
WO2010000571A2 (en) * 2008-06-09 2010-01-07 Consejo Superior De Investigaciones Cientificas Absorber and absorber-evaporator assembly for absorption machines and lithium bromide - water absorption machines that integrate said absorber and absorber-evaporator assembly
KR101086517B1 (en) 2008-10-15 2011-11-23 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 Apparatus for treating a substrate
JP6329380B2 (en) * 2014-02-07 2018-05-23 株式会社ジャパンディスプレイ Manufacturing method and manufacturing apparatus for liquid crystal display device
JP6658195B2 (en) * 2016-03-28 2020-03-04 大日本印刷株式会社 Etching method and etching apparatus

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11305184A (en) 1998-04-23 1999-11-05 Advanced Display Inc Manufacture of liquid crystal display panel, and cleaning device used therefor
KR20010018028A (en) * 1999-08-17 2001-03-05 윤종용 Wafer cleaning apparatus with blow nozzle in cover
KR20040080980A (en) * 2003-03-12 2004-09-20 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 Substrate processing method and substrate processing apparatus

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3323385B2 (en) * 1995-12-21 2002-09-09 大日本スクリーン製造株式会社 Substrate cleaning apparatus and substrate cleaning method
JP3185753B2 (en) * 1998-05-22 2001-07-11 日本電気株式会社 Method for manufacturing semiconductor device
FR2797405B1 (en) * 1999-08-12 2001-10-26 Coillard Sa Ets ULTRA CLEAN LIQUID RINSING BIN
JP2004074021A (en) * 2002-08-19 2004-03-11 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Substrate processing apparatus and substrate cleaning unit
JP2004095926A (en) * 2002-09-02 2004-03-25 Dainippon Screen Mfg Co Ltd Substrate treatment equipment
JP4275968B2 (en) * 2003-03-07 2009-06-10 芝浦メカトロニクス株式会社 Substrate cleaning processing equipment

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11305184A (en) 1998-04-23 1999-11-05 Advanced Display Inc Manufacture of liquid crystal display panel, and cleaning device used therefor
KR20010018028A (en) * 1999-08-17 2001-03-05 윤종용 Wafer cleaning apparatus with blow nozzle in cover
KR20040080980A (en) * 2003-03-12 2004-09-20 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 Substrate processing method and substrate processing apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
CN1828826A (en) 2006-09-06
CN100378914C (en) 2008-04-02
JP4514140B2 (en) 2010-07-28
TW200630169A (en) 2006-09-01
KR20060095464A (en) 2006-08-31
JP2006245051A (en) 2006-09-14
TWI274607B (en) 2007-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100740407B1 (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
KR100556626B1 (en) Substrate processing method and substrate processing apparatus
TWI520196B (en) Water saving type rinsing system in conveyable substrate type processing apparatus
TWI467643B (en) Substrate processing device
KR101531437B1 (en) Substrate processing apparatus
JP2014184434A (en) Water-saving cleaning system in conveyance type board processing device
JP4675113B2 (en) Substrate cleaning device
KR20060087417A (en) Method and apparatus for treating a substrate
JP3982812B2 (en) Air knife cleaning method, air knife and wet etching apparatus
JP2005185984A (en) Substrate cleaning device and substrate treating system
JP4275968B2 (en) Substrate cleaning processing equipment
JP2010103383A (en) Substrate processing apparatus
JP2009279477A (en) Apparatus for removing treatment liquid, apparatus for treating substrate, and method of setting up nozzle gap
KR20100055812A (en) Apparatus for processing a substrate
KR20080005942U (en) Two-fluid supply module for cleaning substrate and cleaning device using the same
JP7312738B2 (en) Substrate processing equipment
KR101856197B1 (en) Apparatus for providing chemical liquid
KR100537316B1 (en) Steam transaction device
JP2005074370A (en) Liquid draining device
KR101915053B1 (en) All-in-one steam nozzle forming liquid curtain
JP2001156035A (en) Device for processing board and method for preventing splash from infiltrating into adjoining processing tank
KR100945025B1 (en) Spraying device of wet treatment apparatus
JP2006245059A (en) Apparatus and method of processing substrate
JP2000208459A (en) Cleaning unit
KR20080004564U (en) Wet cleaning apparatus of large area substrate

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
G170 Publication of correction
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130621

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140630

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150619

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160617

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170616

Year of fee payment: 11

LAPS Lapse due to unpaid annual fee