KR100733315B1 - 전계방출표시장치 및 그 제작방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 전계방출표시장치 및 그 제작방법에 관한 것으로서, 하나 이상의 스페이서를 상부 기판과 하부 기판 중 적어도 일 기판에 대하여 정렬하는 정렬단계와; 상기 스페이서들이 상기 정렬단계에서 정렬된 위치에 고정되도록, 상기 스페이서들의 일측을 상기 기판들 중 정렬된 기판에 접착시키는 스페이서 접착단계와; 상기 스페이서 접착단계 후에 프레임과 상기 상부 및 하부 기판을 접착시키는 기판 접착단계를 포함함으로써, 상부 및 하부 기판과 프레임을 가열로에서 접착하기에 앞서 상온에서 자외선 레이저로 프리트를 융착시켜 스페이서들을 고정시키므로, 가열로에서의 열팽창과 프리트 유동으로 인한 스페이서들의 위치 변동이 방지되는 이점이 있다.
전계방출표시장치, FED, 스페이서, 자립, 슬롯, 프리트

Description

전계방출표시장치 및 그 제작방법{Field emission display and manufacturing process of it}
도 1은 종래 기술에 따른 전계방출표시장치가 도시된 분해사시도,
도 2는 종래 기술에 따른 전계방출표시장치가 도시된 부분 단면도,
도 3 내지 도 8은 본 발명에 따른 전계방출표시장치의 제작방법 제 1 실시예가 도시된 도로서,
도 3은 전계방출표시장치 제작방법의 순서도,
도 4는 정렬단계에서 전계방출표시장치의 조립도,
도 5는 전계방출표시장치 일부분의 상세 단면도,
도 6은 스페이서 접착단계에서 전계방출표시장치의 단면도,
도 7은 기판 접착단계에서 전계방출표시장치의 단면도,
도 8은 외부에서 대기압이 작용되는 전계방출표시장치의 부분 단면도,
도 9는 본 발명에 따른 전계방출표시장치의 제작방법 제 2 실시예가 도시된 부분 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
52: 상부 기판 57a, 57b, 57c: 형광체
58: 프리트 60: 프레임
62: 하부 기판 70: 스페이서
75: 지그 98: 프리트
99: 가접착제
본 발명은 전계방출표시장치 및 그 제작방법에 관한 것으로서, 스페이서가 상부 기판 또는 하부 기판에 접착될 때 유동되지 않도록 상부 및 하부 기판과 프레임을 가열로에서 접착하기에 앞서 스페이서의 위치와 각도를 고정시켜 제작된 전계방출표시장치 및 그 제작방법에 관한 것이다.
일반적으로 전계방출표시장치은 전계에 의하여 다수의 에미터(emitter)에서 방출된 전자가 형광체를 여기시켜 발광시킴으로써 영상을 표시하는 평판 표시장치이다.
도 1은 종래 기술에 따른 전계방출표시장치가 도시된 분해사시도이고, 도 2는 종래 기술에 따른 전계방출표시장치가 도시된 부분 단면도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 전계방출표시장치는 다수의 에미터와 캐소드(cathode) 전극이 구비된 하부 기판(12)과, 화소(pixel)들을 구획하도록 구성되는 형광체가 도포되고 에노드(anode) 전극이 구비된 상부 기판(2)과, 상기 하부 기판(12)과 상부 기판(2) 사이에 설치되어 이들 기판을 이격되게 결합시키는 프레임(10)으로 구성된다.
상기 상부 및 하부 기판(2, 12)과 상기 프레임(10)에 의하여 밀폐되는 공간은 10-6Torr 이하의 진공으로 유지되어야 하는 바, 진공으로 유지되지 못하면 방출된 전자의 평균 자유 행정이 감소되고, 기체입자들이 상기 에미터에 흡착되어 전류의 방출을 막거나 상기 에미터를 손상시키고, 기체입자들이 이온화되어 방출된 전자의 궤적을 변경시켜, 상기 전계방출표시장치의 작동을 방해하고 수명을 단축시키기 때문이다.
상기한 공간이 진공으로 밀폐되면 상기 프레임(10)으로 지지된 채 대기압력을 받게 되어, 상기 프레임(10)에서 멀어질수록 상기 하부 기판(12)과 상부 기판(2) 사이의 간격이 좁아져서, 전극들간의 항복현상이 발생하거나, 전자 궤적이 혼선(cross talk)되어 화소들이 상호 간섭되거나, 상기 하부 기판(12)과 상기 상부 기판(2)이 붕괴될 위험이 생기는 바, 이러한 위험을 제거하기 위하여 상기 하부 기판(12)과 상기 상부 기판(2)을 지지하도록 이들 기판 사이에서 이들 기판들에 대해 수직으로 설치되어 이들 기판 사이의 간격을 유지시키는 다수의 스페이서(20, spacer)가 설치된다.
상기 스페이서(20)들은 상기 전계방출표시장치의 화소들 사이에 설치되어 시각적으로 보이지 않는 폭, 구체적으로는 100㎛ 이하의 폭을 갖도록 형성된다.
또한 상기 스페이서(20)들은 각각의 위치와 각도가 고정되도록 상기 상부 및 하부 기판(2, 12)에 접촉되는 양단 부분에 프리트(frit)를 도포(dispensing)시켜 그 프리트로 상기 기판들에 접착되는 바, 상기 프리트는 가열로에서 용융된 후 냉각되면서 상기 스페이서(20)들을 상기 기판들에 접착시키며, 이때 상기 스페이서(20)들의 접착은 상기 상부 및 하부 기판(2, 12)과 상기 프레임(10)의 접착과 함께 진행된다.
그러나, 종래 기술에 따른 전계방출표시장치는, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 스페이서(20)들이 접착될 때 상기 프리트(8)의 유동성, 상기 가열로의 온도 분포차, 그리고 접착되는 부재들 상호간의 열팽창계수 차이로 인하여 상기 스페이서(20)들이 유동하게 된다.
상기 스페이서(20)들이 유동하게 되어 상기 기판들에 대하여 수직되지 못하면 상기한 위험을 제거하도록 이들 기판 사이의 간격을 유지시키는 스페이서(20)의 역할을 수행하지 못하는 문제점이 발생한다.
또한 상기 스페이서(20)들이 유동하게 되어 상기 형광체(7), 상기 기판들에 구비된 전극(6, 13, 16) 또는 상기 하부 기판(12)에 구비된 에미터(15)을 침범하게 되면, 침범된 전극(6, 13, 16)이 상기 스페이서(20)로 전달된 압력을 받아 손상되거나, 방출된 전자가 상기 스페이서(20)에 충돌하여 그 스페이서(20)가 이상 발광하거나, 그 스페이서(20)의 2차 전자 방출, 전하 축적 등으로 인하여 전계에 영향을 주어, 화상이 왜곡되는 문제점이 발생한다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 스페이서가 상부 기판 또는 하부 기판에 접착될 때 유동되지 않도록 상부 및 하부 기판과 프레임을 가열로에서 접착하기에 앞서 스페이서의 위치와 각도를 고정시켜 제작되는 전계방출표시장치와 그 제작방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 전계방출표시장치는 전계가 방출되어 화상이 구현되는 상부 및 하부 기판과; 상기 기판들 사이의 공간이 진공으로 밀폐되도록 이들 기판들의 가장자리를 따라 형성되어, 이들 기판들을 이격되게 지지하는 프레임과; 상기 기판들과 프레임으로 밀폐되는 공간에 설치되고, 상기 기판들 중 일 기판에 접착되고 타 기판에 밀착되어, 이들 기판들을 이격되게 지지하는 하나 이상의 스페이서를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 전계방출표시장치의 제작방법은, 하나 이상의 스페이서를 상부 기판과 하부 기판 중 적어도 일 기판에 대하여 정렬하는 정렬단계와; 상기 스페이서들이 상기 정렬단계에서 정렬된 위치에 고정되도록, 상기 스페이서들의 일측을 상기 기판들 중 정렬된 기판에 접착시키는 스페이서 접착단계와; 상기 스페이서 접착단계 후에 프레임과 상기 상부 및 하부 기판을 접착시키는 기판 접착단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 전계방출표시장치의 제작방법은 상기 기판 접착단계가 종료되어 상기 기판들과 상기 프레임으로 둘러싸인 공간의 압력을 낮추고 밀폐하는 공정이 종료된 후, 상기 기판들에 대기압이 작용하여 상기 스페이서들이 고정되는 마무리 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 정렬단계는 지그에 상기 스페이서들을 삽입시켜 정렬하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 스페이서 접착단계는 상기 스페이서들의 접착 부분에 도포된 프리트로 전자기파가 조사되어 상기 스페이서들이 접착되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 기판 접착단계는 상기 스페이서들의 접착제가 용융되지 않는 온도 범위에서 실행되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 스페이서 접착단계는 상기 스페이서들의 접착 부분에 도포되어 상기 기판 접착단계에서 증발되는 가접착제로써 상기 스페이서들이 접착되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 가접착제는 스페이서들의 접착 부분에 도포되어 상기 기판 접착단계에서 융착되는 프리트와 함께 도포되는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 3 내지 도 8은 본 발명에 따른 전계방출표시장치의 제작방법 제 1 실시예가 도시된 도로서, 도 3은 전계방출표시장치 제작방법의 순서도이고, 도 4는 정렬단계에서 전계방출표시장치의 조립도이고, 도 5는 전계방출표시장치 일부분의 상세 단면도이고, 6은 스페이서 접착단계에서 전계방출표시장치의 단면도이고, 도 7은 기판 접착단계에서 전계방출표시장치의 단면도이고, 도 8은 외부에서 대기압이 작용되는 전계방출표시장치의 부분 단면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 전계방출표시장치의 제작방법 제 1 실시예는 상부 및 하부 기판을 제작하는 제 1 단계(S1)와, 하부 기판에 대하여 복수개의 스페이서들을 정렬하는 제 2 단계(S2)와, 정렬된 상기 스페이서들의 위치를 예비적으로 고정시키는 제 3 단계(S3)와, 상부 및 하부 기판과 프레임을 실런트로 접착하는 제 4 단계(S4)와, 상기 상부 및 하부 기판과 상기 프레임으로 둘러싸인 공간이 진공으로 되도록 배기하는 제 5 단계(S5)와, 게터를 활성화시키는 제 6 단계(S6)로 구성된다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 상부 기판(52)은 사각 평판 형상의 상판(54)과; 그 유리 기판의 내측면에 구비되어, 정(+)극성의 고전압이 인가되면 상기 에미터(65)들로부터 방출된 전류를 상기 형광체(57a, 57b, 57c)에 충돌되도록 가속시키는 에노드 전극(56)과; 화상을 구성하는 기본 단위인 화소가 구획되도록 적/녹/청색(R/G/B)으로 구성되고 각 화소에 할당되어 상기 에노드 전극(56)의 내측면에 도포되는 한 세트의 형광체(57a, 57b, 57c)로 구성된다.
상기 형광체(57a, 57b, 57c)는 상기 에노드 전극(56)에 1kV를 넘는 전압이 인가될 때 발광하는 고전압 형광체가 바람직하며, 이때 상기 상부 기판(52)과 상기 하부 기판(62)의 간격은 고전압이 인가되므로 1mm 정도 또는 그 이상으로 하여야 한다.
다만 상기 형광체(57a, 57b, 57c)는, 고전압 형광체에 한정되지 않고, 1kV 이하의 전압에서 작동하는 저전압 형광체도 가능하며, 이때 상기 상부 기판(52)과 상기 하부 기판(62)의 간격을 300㎛ 이하로 줄일 수 있지만 저전압 형광체의 발광 효율이 떨어지는 단점이 있다.
상기 하부 기판(62)은 상기 상판(54)에 대응하는 사각 평판 형상의 하판(67)과; 전자들이 방출되도록 구성된 다수의 에미터(65)와; 전자들이 상기 에미터(65)들로부터 터널링되어 방출되도록 전압이 인가되는 게이트 전극(63)과; 상기 에미터(65)들에 전류를 공급하는 캐소드 전극(66)과; 상기 캐소드 전극(66)과 상기 에미터(65)들 사이에 설치되어 상기 캐소드 전극(66)에서 상기 각 에미터(65)로 과전류가 공급되는 것을 방지하는 저항층으로 구성된다.
상기 게이트 전극(63)과 상기 캐소드 전극(66)은 규칙적인 간격을 둔 다수의 띠로 배열되되, 상호간에 수직으로 교차되는 격자 형상으로 배열된다.
상기 게이트 전극(63)은 상기 캐소드 전극(66)과 교차하는 부분에 게이트 홀이 형성된다.
상기 게이트 전극(63)과 상기 캐소드 전극(66) 사이에는 두 전극 사이의 전류 소통을 방지하는 절연층(64)이 구비된다.
즉, 상기 하부 기판(62)은 내측을 향하여 캐소드 전극(66), 저항층, 절연층(64), 게이트 전극(63)의 순으로 설치되며, 상기 에미터(65)들은 상기 게이트 홀에 설치된다.
상기 제 1 단계(S1)에서는 상기 상부 및 하부 기판(52, 62)이 상기한 바와 같은 구성으로 제작된다.
상기 제 2 단계(S2)에서는 다수의 스페이서(70)들은 지그(75)에 삽입되어 상기 하부기판에 대하여 수직되게 정렬되며, 이때 상기 지그(75)는 프레임(60)에 끼워져 프레임(60) 및 상기 상부 기판(52)과 함께 정렬되는 것이 바람직하지만, 이에 한정되지 않고, 상기 스페이서(70)들을 예비적으로 고정시킬 상부 기판(52)이나 하부 기판(62)에 대하여만 정렬시키는 것도 가능하며, 이러한 정렬 대상에 따라 상기 지그(75)의 형상과 정렬 방법이 정해지며, 이때 상기 제 4 단계(S4)의 접착 이전에 기판과 프레임(60)을 정렬시켜야 한다.
상기 프레임(60)은 상기 상부 기판(52)과 상기 하부 기판(62)의 사이에 설치되고 이들 기판 사이의 공간이 진공으로 밀폐되도록 이들 기판의 가장자리를 따라 형성되어 이들 기판을 이격되게 지지한다.
상기 스페이서(70)들은 상기 상부 기판(52)과 상기 하부 기판(62) 사이의 공간에 설치되어 이들 기판 사이의 간격이 유지되도록 이들 기판들을 지지한다.
상기 스페이서(70)들은 상기 전계방출표시장치의 화소들 사이에 설치되어 시각적으로 보이지 않게 100㎛ 이하의 폭을 갖고, 상기 상부 기판(52)과 상기 하부 기판(62) 사이의 간격에 해당하는 높이를 갖고, 배치된 위치에서 각 스페이서(70)의 양단이 상기 테두리의 마주보는 두 내측면에 접촉되도록 하는 길이를 갖고, 일자형으로 형성된 리브형 스페이서(70)인 것이 바람직하다.
또한 상기 스페이서(70)들은 상기 에미터(65)로부터 방출된 전자와의 충돌시 2차 전자의 발생이 최대한 억제되어야 하고, 표면전도성을 구비하여 전하의 축적이 방지되어야 하고, 탈기체 현상이 적어야 하고, 고진공 상태에서 상기 상부 기판(52)과 상기 하부 기판(62)의 간격을 유지시키도록 충분한 기계적 강도를 가져야 한다.
또한 상기 스페이서(70)들은 소정의 간격을 두고 상호 나란하게 배치되되, 상기 하부 기판(62) 및 상기 상부 기판(52)에 수직되면서 상기 게이트 홀과 그에 마주한 상기 형광체(57a, 57b, 57c)의 사이를 가리지 않고 화소와 화소 사이의 위치하도록 정렬된다.
상기 제 3 단계(S3)에서는 상기 제 2 단계(S2)에서 정렬된 상기 스페이서(70)들이 정렬된 위치에서 상기 하부 기판(62)에 접착되는데, 구체적으로 상기 스페이서(70)들의 접착 부분에 프리트(58)가 도포되고, 레이저로 자외선을 도포된 프리트(58)에 조사시키면 프리트(58)가 용융되어 식으면서 융착되어 상기 스페이서(70)와 상기 하부 기판(62)을 접착시킨다.
이때 상기 프리트(58)는 융착되면서 상기 실런트(59)보다 높은 용융온도를 갖게 된다.
또한, 상기 제 3 단계(S3)는 상기 기판들, 상기 프레임(60), 상기 지그(75)의 열팽창으로 나타날 수 있는 정렬 오차를 줄이기 위해 상온 환경에서 실행되는 것이 바람직하다.
한편 상기 상부 기판(52)과 상기 스페이서(70) 사이에 프리트가 도포되어 접착되는 것도 가능하지만, 상기 상부 기판(52)에는 상기 형광체(57a, 57b, 57c)가 촘촘하게 배열되어 있어서 상기 프리트가 상기 형광체(57a, 57b, 57c)를 침범할 소 지가 크고 이에 따라 화상 구현에 영향을 줄 수 있으므로, 프리트는 상기 상부 기판(52)과 상기 스페이서(70) 사이보다 상기 하부 기판(62)과 상기 스페이서(70) 사이에에 도포되는 것이 바람직하다.
상기 제 4 단계(S4)에서는, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(60)과 상기 상부 기판(52) 및 상기 하부 기판(62)이 접촉되는 부위에 상기 실런트(59)가 도포되며, 상기 전계방출표시장치를 가열로에 넣고 가열하면 상기 실런트(59) 융착되면서 상기 상부 및 하부 기판(52, 62)과 상기 프레임(60)이 접착된다.
이때 상기 실런트(59)를 용융시키기에 앞서 상기 제 2 단계(S2)에서 설치되었던 상기 지그(75)를 제거한다.
상기 실런트(59)는 상기 제 4 단계(S4)에서 도포될 수도 있지만, 상기 제 1 단계(S1)에서 상기 기판들을 제작할 때 미리 도포시킬 수도 있다.
상기 제 5 단계(S5)에서는 상기 상부 및 하부 기판(52, 62)과 상기 프레임(60)에 의하여 밀폐되는 공간으로부터 기체 입자를 배기하여 10-6Torr 이하의 진공 상태로 만든다.
이때, 배기는 상기 상부 또는 하부 기판(62)이나 상기 프레임(60)에 형성된 배기홀을 통하여 배기한 후 그 배기홀을 밀봉시키는 방법이 바람직하지만, 이에 한정되지 않고 상기 제 3 내지 4 단계, 또는 상기 제 4 단계(S4)를 진공 챔버 내에서 실행하는 것도 가능하며, 이와 같은 진공 챔버 내에서의 작업에 더하여 배기홀을 통한 최종 배기를 추가로 실행하는 것도 물론 가능하다.
상기 제 6 단계(S6)는 상기 상부 및 하부 기판(52, 62)과 상기 프레임(60)에 의하여 밀폐되는 공간이 상기 전계방출표시장치의 작동시 10-6Torr 이하의 진공으로 유지되도록 상기 밀폐되는 공간에 설치되어 기체입자를 흡수하는 게터(getter)를 활성화시킨다.
상기 게터는 상기 에미터(65)와 상기 형광체(57a, 57b, 57c) 사이를 가리지 않도록 비유효스크린에 해당하는 상기 프레임(60) 근방에 설치되며, 상기 에미터(65)와 상기 형광체(57a, 57b, 57c)에 의한 화상구현을 방해하지 않도록 비증발성 게터(Non Evaporable Getter)로 구성되는 것이 바람직하지만, 이에 한정되지 않고 증발성 게터(Evaporable Getter)로 구성하되 별도로 증발된 게터입자를 차단하는 적절한 구성을 갖는 것도 가능하다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 전계방출표시장치의 제 1 실시예의 작용을 설명하면 다음과 같다.
상기 제 2 단계(S2)에서 상기 각 스페이서(70)는 상기 지그(75)에 삽입되어 수직으로 세워져 정렬된다.
상기 제 3 단계(S3)에서 상기 프리트(58)가 레이저로써 집중 가열되어 융착되므로 타 부분의 열팽창이 거의 없어 상기 각 스페이서(70)는 상기 제 2 단계(S2)에서 정렬된 대로 상기 하부 기판(62)에 접착된다.
상기 제 4 단계(S4)에서 상기 실런트(59)가 상기 가열로에서 융착되어 상기 상부 및 하부 기판(52, 62)과 상기 프레임(60)을 접착시키며, 이때 융착되어 상기 스페이서(70)들을 접착시킨 프리트(58)는 상기 가열로의 온도 범위에서 용융되지 아니하므로 상기 스페이서(70)들의 정렬된 위치가 변하지 않는다.
도 8에 도시된 바와 같이, 상기 제 5 및 6 단계에서 진공 배기 및 게터 활성화가 이루어지고 상기 전계방출표시장치가 대기에 노출되면, 상기 상부 및 하부 기판(52, 62)은 외부의 대기압(80)과 내부의 진공압(81) 차이에 해당하는 응력을 받게 되어 상기 기판들을 지지하는 상기 스페이서(70)로부터 멀어지는 부분일수록 큰 응력 변형이 나타나게 된다.
이와 같은 응력 변형은 시각적으로 두드러지지는 않지만, 상기 각 스페이서(70)의 접착되지 않은 부분의 위치가 변하지 않도록 고정시키는 역할을 하게 된다.
또한 상기 각 스페이서(70)가 설치된 상기 기판들의 부분에 대기압이 작용되어 상기 각 스페이서(70)들이 움직이지 않도록 마찰력을 발생시킨다.
상기한 바와 같이 마찰력과 응력 변형과 함께 작용하여 상기 각 스페이서(70)의 일측의 위치를 고정시키므로, 상기 각 스페이서(70)는 일측만 일 기판에 접착되고 타 기판에는 접착되지 않아도 양측이 고정되게 된다.
도 9는 본 발명에 따른 전계방출표시장치의 제작방법 제 2 실시예가 도시된 부분 단면도이다.
이에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 전계방출표시장치의 제작방법은 스페이서 접착단계를 제외하고는 제 1 실시예의 전계방출표시장치의 제 작방법과 동일하게 구성된다.
상기 각 스페이서(70)에 프리트가 도포된 후, 제 3 단계(S3)에서 상기 각 스페이서(70)에 도포된 프리트(98) 위로 가접착제(99)가 도포되어 상기 각 스페이서(70)가 상기 하부 기판(62)에 예비적으로 접착된다.
제 4 단계(S4)에서는 도포된 상기 가접착제(99)가 증발되면서 상기 프리트(98)가 용융되어, 상기 각 스페이서(70)가 상기 하부 기판(62)에 접착된다.
상기와 같이 구성되고 작용되는 본 발명에 따른 전계방출표시장치 및 그 제작방법은 상부 및 하부 기판과 프레임을 가열로에서 접착하기에 앞서 상온에서 자외선 레이저로 프리트를 융착시켜 스페이서들을 고정시키므로, 가열로에서의 열팽창과 프리트 유동으로 인한 스페이서들의 위치 변동이 방지되는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 전계방출표시장치 및 그 제작방법은 스페이서들을 정확한 위치에 설치할 수 있으므로, 스페이서들의 위치 변동으로 인한 부품 손상 내지 수명 단축과 화상 왜곡이 방지되는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 전계방출표시장치 및 그 제작방법은 대기압에 따른 상부 및 하부 기판의 변형을 이용하여 스페이서들의 위치를 고정시키므로, 스페이서들의 위치를 고정시키기 위한 공정을 단순화할 수 있는 이점이 있다.

Claims (13)

  1. 전계가 방출되어 화상이 구현되는 상부 및 하부 기판과;
    상기 기판들이 이격되게 지지하고, 상기 기판들의 가장자리에 실런트를 매개로 접합되는 프레임과;
    상기 기판들과 프레임으로 밀폐되는 공간에 설치되고, 상기 기판들 중 일 기판에 프리트를 매개로 접착되고 타 기판에 밀착되어, 이들 기판들을 이격되게 지지하는 하나 이상의 스페이서를 포함하고,
    상기 프리트의 용융점은 상기 실런트의 용융점보다 높은 것을 특징으로 하는 전계방출표시장치.
  2. 삭제
  3. 하나 이상의 스페이서를 상부 기판과 하부 기판 중 적어도 일 기판에 대하여 정렬하는 정렬단계와;
    상기 스페이서들이 상기 정렬단계에서 정렬된 위치에 고정되도록, 상기 스페이서들의 일측에 프리트를 도포한 후 상기 정렬된 기판에 접착하는 스페이서 접착단계와;
    상기 스페이서 접착단계 후에 프레임과 상기 상부 및 하부 기판을 상기 프리트보다 용융점이 낮은 실런트로 접착하는 기판 접착단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출표시장치의 제작방법.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 전계방출표시장치의 제작방법은 상기 기판 접착단계가 종료되어 상기 기판들과 상기 프레임으로 둘러싸인 공간의 압력을 낮추고 밀폐하는 공정이 종료된 후, 상기 기판들에 대기압이 작용하여 상기 스페이서들이 고정되는 마무리 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전계방출표시장치의 제작방법.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 정렬단계는 지그에 상기 스페이서들을 삽입시켜 정렬하는 것을 특징으로 하는 전계방출표시장치의 제작방법.
  6. 청구항 3에 있어서,
    상기 스페이서 접착단계는 자외선을 방출하는 레이저를 조사하여 상기 프리트를 용융시켜 상기 스페이서들을 접착하는 것을 특징으로 하는 전계방출표시장치의 제작방법.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 청구항 3 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 접착단계는 가열로 내에서 상기 기판들과 상기 실런트를 용융시켜 접착하는 것을 특징으로 하는 전계방출표시장치의 제작방법.
  11. 삭제
  12. 청구항 3 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 스페이서 접착단계는 상기 스페이서들을 상기 프리트에 의해 상기 기판에 접착하기 전에 상기 기판 접착단계에서 증발되는 가접착제로 상기 스페이서들을 상기 기판에 가접착하는 것을 특징으로 하는 전계방출표시장치의 제작방법.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 가접착제는 상기 프리트상에 도포되는 것을 특징으로 하는 전계방출표시장치의 제작방법.
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