KR100723405B1 - 마이크로 렌즈 어레이 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 마이크로 렌즈 어레이에 있어서,기판;상기 기판을 관통하여 형성된 복수개의 홀;상기 기판의 제 1면에 형성되며, 상기 복수개의 홀을 중심으로 각각 형성된 렌즈부들;을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이.
- 제 1항에 있어서,상기 기판의 제 2면에 형성된 광흡수층;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이.
- 제 1항에 있어서,상기 홀은 1 내지 50 마이크로미터의 지름을 지닌 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이.
- 제 3항에 있어서,상기 기판에 형성된 복수개의 홀 사이의 간격은 상기 홀 지름의 2배 내지 5배인 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이.
- 제 1항에 있어서,상기 렌즈부는 폴리 우레탄계 수지, 폴리 에스테르계 수지, 폴리 염화비닐계 수지, 폴리 아세트산 비닐계 수지, 셀룰로오스계 수지, 폴리아미드계 수지, 폴리 프로필렌계 수지, 폴리 스티렌계 수지와 폴리 메틸메타크릴레이트, 폴리 리드록시에틸메타크릴레이트 또는 폴리 시클로헥실메타크릴레이트 등의 아크릴계 수지 중 적어도 어느 하나를 포함하여 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이.
- 제 1항에 있어서,상기 렌즈부의 초점 부위에 형성된 광흡수층을 더 포함한 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이.
- 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법에 있어서,(가) 기판에 복수개의 홀을 형성시키는 단계;(나) 상기 기판의 제 1면을 광투과성 고분자 용액과 접촉시키는 단계;(다) 상기 고분자 용액을 가압하여 상기 기판에 형성된 복수개의 홀을 통해 상기 기판의 제 2면으로 상기 고분자 용액을 렌즈 형태로 돌출시키고 경화시킴으로써 렌즈부들로 형성시키는 단계; 및(라) 상기 기판의 제 1면에 접촉시킨 상기 고분자 용액을 상기 기판과 분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법.
- 제 7항에 있어서,상기 (가) 단계는 상기 기판의 제 2면에 광흡수층을 형성시키는 공정;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법.
- 제 7항에 있어서,상기 (가) 단계는, 상기 홀을 1 내지 50 마이크로미터의 지름으로 상기 홀 지름의 2배 내지 5배 간격으로 복수개로 형성시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법.
- 제 7항에 있어서,상기 고분자 용액은 폴리 우레탄계 수지, 폴리 에스테르계 수지, 폴리 염화비닐계 수지, 폴리 아세트산 비닐계 수지, 셀룰로오스계 수지, 폴리아미드계 수지, 폴리 프로필렌계 수지, 폴리 스티렌계 수지와 폴리 메틸메타크릴레이트, 폴리 리드록시에틸메타크릴레이트 또는 폴리 시클로헥실메타크릴레이트 등의 아크릴계 수지 중 적어도 어느 하나를 포함하여 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법.
- 제 10항에 있어서,상기 고분자 용액에 광중합 개시제가 더 포함된 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법.
- 제 7항에 있어서,상기 (다) 단계의 상기 기판의 제 2면에 돌출된 렌즈 형태의 상기 고분자 물질을 경화시키기 위하여, 가열 또는 광조사 공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법.
- 제 7항에 있어서,상기 (라) 단계에서, 상기 고분자 물질을 상기 기판과 분리한 뒤, 상기 기판의 제 1면을 평탄화하는 공정을 더 실시하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법.
- 제 7항에 있어서,(마) 상기 기판의 제 1면의 상기 홀 부위를 에칭하여 상기 렌즈부의 초점 부위에 홈을 형성시키는 단계; 및(바) 상기 홈에 광흡수층을 형성시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법.
- 제 7항 또는 14항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광흡수층은 그라파이트를 포함하는 물질로 형성시키는 것을 특징으로 하는 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법.
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