KR100719007B1 - 유기 ｅｌ 장치 및 그의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 목적은 고정밀한 복수의 화소를 가지고, 색 어긋남, 플러스극 및 마이너스극간의 단락 등의 문제가 없고, 마스크 맞춤이 불필요하고, 간편하게 양산 가능하고 고품질이며, 디스플레이 등으로서 바람직하게 사용가능한 유기 EL 장치 및 그의 효율적인 제조 방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 유기 EL 장치는 플러스극과 마이너스극 사이에 배치되어 상기 플러스극 및 상기 마이너스극을 절연하는 뱅크를 복수개 가지고, 상기 뱅크의 격벽에 의해 형성되는 복수의 공극 내에 유기 EL 발광 재료가 있는 유기 EL 장치이며, 1개 이상의 상기 공극이, 상기 공극에 있어서의 상기 뱅크의 격벽간의 개구단측에 있어서의 거리를 d로 하고, 상기 개구단측 이외에 있어서의 거리를 d'로 하고, 상기 개구단측에 대한 타단측에 있어서의 거리를 d"로 했을 때, d > d"이며, 또한 상기 공극에 있어서의 상기 뱅크의 격벽간의 거리가 상기 개구단측으로부터 상기 타단측을 향해서 점차 d-d'≥0을 충족시키는 것을 특징으로 한다.
뱅크, 유기 EL 장치, 디스플레이, 에칭 처리, 플라즈마 처리, 화소, 잉크젯 잉크,

Description

유기 ＥＬ 장치 및 그의 제조 방법{ORGANIC EL DEVICE AND PRODUCTION METHOD THEREFOR}
본 발명은 유기 EL 발광 재료로서 고분자 재료를 이용한 유기 EL 장치 및 그의 효율적인 제조 방법에 관한 것이다.
유기 EL 장치는 무기 EL 소자와 비교해서 저전압으로 구동할 수 있고, 또한, 종래의 무기 LED와 비교해도 복잡한 성장 프로세스를 거치지 않고 제작할 수 있는 고체 자발광 장치이다. 또한, 휴대용 디스플레이로의 적용을 고려했을 경우, 유기 EL 장치는 특히 액정 디스플레이(LCD)와 비교하면, 자발광이기 때문에 백 라이트가 불필요하여 경량이면서 저가인 제품이 실현가능하고, 응답속도가 빠르고, 전고체 소자이기 때문에 충격에 강한 등의 이점을 가진다. 유기 EL 장치는 플래트 패널 디스플레이 등으로의 적용이 기대되고 있다.
한편, 유기 EL 장치에 이용되는 EL 발광 재료로서는 모노머계 재료와 폴리머계 재료가 알려져 있다. 일반적으로, 상기 모노머계 재료는 진공증착에 의해 성막되고, 상기 폴리머계 재료는 도포법에 의해 성막되는데, 상기 폴리머계 재료의 성막쪽이 고가의 장치를 필요로 하지 않는 점에서 실용적이라고 말할 수 있다.
그러나, 상기 EL 발광 재료로서 상기 폴리머계 재료를 이용해서 풀 컬러 디 스플레이로 할 경우, 파랑(B), 초록(G) 및 빨강(R)의 3원색의 발광을 나타내는 EL 발광 재료를 각각 정밀하게 분할 도포하여 화소를 형성하는 것이 어렵다는 문제점이 있다. 종래에는 일반적으로 메탈 마스크를 이용해서 진공증착법에 의해 상기 폴리머계 재료를 분할 도포하는데, 이 경우, 상기 메탈 마스크의 가공치수에 한계가 있고, 또한, 상기 마스크의 위치맞춤 정밀도를 높이는 것이 곤란하여 그 결과, 분할 도포에 의한 해상도를 높일 수 없고, 장치도 고가가 되어 버리는 문제가 있었다.
따라서, 잉크젯법에 의해 파랑(B), 초록(G) 및 빨강(R)의 3원색의 발광을 나타내는 상기 폴리머계 재료를 각각 정밀하게 분할 도포하여 화소를 형성하는 것도 고려되어 왔다. 이 경우, 상기 폴리머계 재료를 유효하게 이용할 수 있고(쓸데 없는 양이 적고), 또한 메탈 마스크로 분할 도포하는 것 보다도 고정밀한 화소 패턴을 형성할 수 있다.
그러나, 잉크젯법으로 분할 도포할 때, 플러스극과 마이너스극 사이에 형성된 절연성의 뱅크의 격벽에 의해 형성된 공극 내에, 상기 EL 발광 재료로서 사용하는 상기 폴리머계 재료를 잉크젯 잉크로서 노즐 헤드로부터 분사시켜 공급할 필요가 있는데, 상기 공극의 개구부가 작기 때문에 소정의 상기 공극 내에 상기 잉크젯 잉크를 확실하게 공급할 수 없어 색 어긋남이 생기거나, 상기 플러스극과 상기 마이너스극의 단락을 일으키는 등의 문제가 있었다.
본 발명의 목적은 고정밀한 복수의 화소를 가지고, 색 어긋남, 플러스극 및 마이너스극간의 단락 등의 문제가 없고, 기판의 대형화가 용이하고, 대형 진공장치등이 불필요하고, 마스크 맞춤이 불필요하고, 재료의 이용효율이 높고, 간편하게 양산 가능하고 고품질이며, 디스플레이 등으로서 바람직하게 사용가능한 유기 EL 장치 및 그의 효율적인 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 유기 EL 장치는 플러스극과 마이너스극 사이에 배치되어 상기 플러스극 및 상기 마이너스극을 절연하는 뱅크를 복수개 가지고, 상기 뱅크의 격벽에 의해 형성되는 복수의 공극 내에 유기 EL 발광 재료가 있는 유기 EL 장치이며, 1개 이상의 상기 공극이, 상기 공극에 있어서의 상기 뱅크의 격벽간의 개구단측에 있어서의 거리를 d로 하고, 상기 개구단측 이외에 있어서의 거리를 d'로 하고, 상기 개구단측에 대한 타단측에 있어서의 거리를 d"로 했을 때, d > d"이고, 또한 상기 공극에 있어서의 상기 뱅크의 격벽간의 거리가 상기 개구단측으로부터 상기 타단측을 향해서 점차 d-d'≥0을 충족시키는 것을 특징으로 한다. 이 유기 EL 장치에 있어서는 상기 개구단측으로부터 상기 타단측에 걸쳐서 상기 공극의 개구 직경이 점차 커져 있기 때문에, 상기 공극 내에 상기 EL 발광 재료로서의 잉크젯 잉크를 용이하면서도 확실하게 노즐 헤드로 분사해서 공급할 수 있다. 그 결과, 상기 유기 EL 장치에 있어서는 복수의 화소가 고정밀하고, 색 어긋남, 플러스극 및 마이너스극간의 단락 등의 문제가 없고, 간편하게 양산 가능하고, 디스플레이 등으로서 바람직하게 사용할 수 있다.
본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법은 본 발명의 유기 EL 장치를 제조하는 방법이며, 본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법에 있어서는 (1) 포토레지스트 및 내열성 폴리머로부터 선택되는 재료로 뱅크를 패턴 형성한 후, 플라즈마 처리를 하거나, 또는 (2) 무기재료로 뱅크를 패턴 형성한 후, 에칭 처리를 하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 (1)의 경우에는 우선 상기 포토레지스트 및 내열성 폴리머로부터 선택되는 재료로 뱅크를 패턴 형성한 후, 상기 뱅크의 패턴을 플라즈마 처리한다. 그러면, 상기 패턴의 격벽에 의해 형성된 공극에 있어서의 개구부 근방이 깎여 그 개구 직경이 상기 공극에 있어서의 저부측보다도 커진다. 또한, 상기 (2)의 경우에는 우선 상기 무기재료로 뱅크를 패턴 형성한 후, 상기 뱅크의 패턴을 에칭 처리한다. 그러면, 상기 뱅크의 패턴의 격벽에 의해 형성된 공극에 있어서의 개구부 근방이 깎여 그 개구 직경이 상기 공극에 있어서의 저부측보다도 커진다. 상기 (1) 및 상기 (2) 중 어느 경우에 있어서나 상기 공극에 있어서의 개구부 근방의 개구 직경이 커져 있기 때문에, 상기 공극 내에 용이하면서도 확실하게 EL 발광 재료가 공급된다. 그 결과, 고정밀한 복수의 화소를 가지고, 색 어긋남, 플러스극 및 마이너스극간의 단락 등의 문제가 없고, 디스플레이 등으로서 바람직한 본 발명의 유기 EL 장치가 효율적으로 제조된다.
도 1은 종래의 유기 EL 장치에 있어서의 뱅크의 일례를 설명하기 위한 개략 설명도이다.
도 2는 본 발명의 유기 EL 장치에 있어서의 뱅크의 일례를 설명하기 위한 개략 설명도이다.
도 3A, 3B, 3C, 3D, 3E 및 3F는 본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법의 일례를 설명하기 위한 개략 설명도이다.
도 4A, 4B, 4C, 4D, 4E 및 4F는 본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법의 다른 예를 설명하기 위한 개략 설명도이다.
<유기 EL 장치>
본 발명의 유기 EL 장치는, 플러스극과 마이너스극 사이에 배치되어 상기 플러스극 및 상기 마이너스극을 절연하는 뱅크를 복수개 가지고, 상기 뱅크의 격벽에 의해 형성되는 복수의 공극 내에서 유기 EL 발광 재료를 가지고, 또한 필요에 따라 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층, 밀봉재 등 기타의 층 내지 부재를 갖는다.
본 발명의 유기 EL 장치에 있어서는 복수개 존재하는 공극 중 1개 이상이 이하의 조건을 충족시키는 것이 필요하고, 전체 공극의 90％ 이상이 이하의 조건을 충족시키는 것이 바람직하며, 전체 공극이 이하의 조건을 충족시키는 것이 보다 바람직하다.
즉, 상기 조건이란, 상기 공극에 있어서의 상기 뱅크의 격벽간의 개구단측에 있어서의 거리를 d로 하고, 상기 개구단측 이외에 있어서의 거리를 d'로 하고, 상기 개구단측에 대한 타단측에 있어서의 거리를 d"로 했을 때, d > d"이고, 또한 상기 공극에 있어서의 상기 뱅크의 격벽간의 거리가 상기 개구단측으로부터 상기 타단측을 향해서 점차 d-d'≥0을 충족시킨다고 하는 조건이다.
이 조건을 충족시킬 경우에는, 상기 공극에 있어서의 개구 직경이 상기 타단측보다도 상기 개구단측에서 커져 있기 때문에, 상기 공극 내에 유기 EL 발광 재료로서의 잉크젯 잉크를 용이하면서도 확실하게 수용시킬 수 있고, 제조효율이 뛰어나고, 또한 얻어지는 유기 EL 장치는 고정밀한 화소를 가져 고품질이다.
또한, 본 발명의 유기 EL 장치에 있어서는 복수개 존재하는 공극 중 1개 이상이 이하의 조건을 충족시키는 것이 필요하고, 전체 공극의 90％ 이상이 이하의 조건을 충족시키는 것이 바람직하며, 전체 공극이 이하의 조건을 충족시키는 것이 보다 바람직하다.
즉, 상기 조건이란, n단의 단차를 가지는 뱅크의 격벽에 의해 형성되고, 상기 n단의 단차 저부에 있어서의 상기 뱅크의 격벽간의 거리를 개구단측으로부터 타단측을 향해 d1, d2, …, dn-1, dn으로 했을 때, d1 > d2 > … > dn-1 > dn을 충족시킨다고 하는 조건이다.
이 조건을 충족시킬 경우에는, 상기 뱅크가 다단 구조를 가지고, 상기 타단측으로부터 상기 개구단측을 향해서 더 깎여 있고, 상기 뱅크의 격벽에 의해 형성되는 공극부에 있어서는 그 개구 직경이 상기 타단측보다도 상기 개구단측에서 커져 있기 때문에, 상기 공극 내에 유기 EL 발광 재료로서의 잉크젯 잉크를 용이하면서도 확실하게 수용시킬 수 있고, 제조효율이 뛰어나고, 더욱이 얻어지는 유기 EL 장치는 고정밀한 화소를 가져 고품질이다.
상기 뱅크가 2단 이상의 단차를 가지고, 상기 공극이, 상기 뱅크의 격벽에 의해 형성되는 경우에는 복수개 존재하는 상기 공극 중 1개 이상이 이하의 조건을 충족시키는 것이 필요하고, 전체 공극의 90％ 이상이 이하의 조건을 충족시키는 것이 바람직하며, 전체 공극이 이하의 조건을 충족시키는 것이 보다 바람직하다.
즉, 상기 조건이란, 가장 상기 개구단측에 위치한, 상기 뱅크의 격벽간의 거리가 최대인 단차를 형성하는 상기 뱅크의 격벽이 테이퍼 형상이라고 하는 조건이다.
이 조건을 충족시킬 경우에는, 상기 뱅크의 개구부가 개구 직경이 큰 테이퍼 형상을 가지고 있기 때문에, 상기 뱅크의 격벽에 의해 형성되는 공극 내에 유기 EL 발광 재료로서의 잉크젯 잉크를 용이하면서도 확실하게 수용시킬 수 있고, 제조효율이 뛰어나고, 더욱이 얻어지는 유기 EL 장치는 고정밀한 화소를 가져 고품질이다.
상기 뱅크가 2단 이상의 단차를 가지고, 상기 공극이, 상기 뱅크의 격벽에 의해 형성되는 경우에는 복수개 존재하는 상기 공극 중 1개 이상이 이하의 조건을 충족시키는 것이 필요하고, 전체 공극의 90％ 이상이 이하의 조건을 충족시키는 것이 바람직하며, 전체 공극이 이하의 조건을 충족시키는 것이 보다 바람직하다.
즉, 상기 조건이란, 상기 뱅크의 격벽에 형성된 각 단이 모두 테이퍼 형상이라고 하는 조건이다.
이 조건을 충족시킬 경우에는, 상기 유기 EL 발광 재료로서의 잉크젯 잉크를, 상기 뱅크의 개구부에 형성된 개구 직경이 큰 테이퍼 형상의 격벽을 따라, 이어서 개구 직경이 보다 작은 테이퍼 형상의 격벽을 따라, 용이하면서도 확실하게 상기 공극 내에 수용시킬 수 있고, 제조효율이 뛰어나고, 더욱이 얻어지는 유기 EL 장치는 고정밀한 화소를 가져 고품질이다.
2단 이상의 단차를 가지는 상기 뱅크 중에서도 본 발명에 있어서는 제조효율 등의 점에서, 2단의 단차를 가지는 뱅크가 바람직하고, 상기 2단의 단차를 가지는 뱅크에 있어서의 격벽이 2단의 테이퍼 형상을 가지는 것이, 잉크젯법으로 상기 공극 내에 유기 EL 발광 재료를 효율적이면서도 확실하게 수용시킬 수 있다는 점에서 보다 바람직하다.
또한, 상기 뱅크가 2단 이상의 단차를 가질 경우, 상기 뱅크는 상기 개구단측의 단차 저부의 테이퍼 각이, 상기 타단측의 단차 저부의 테이퍼 각보다도 작아져 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 뱅크의 격벽에 의해 형성되는 공극 내에 유기 EL 발광 재료를 잉크젯법으로 효율적이면서도 확실하게 수용시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서는 상기 개구단측이 플러스극측이며, 상기 타단측이 마이너스극측인 것이 제조효율 등의 점에서 바람직하다.
상기 뱅크로서는 패터닝 가능한 절연재료로 형성될 수 있고, 특별히 제한은 없고 목적에 따라 적절히 선택할 수 있는데, 포토레지스트 및 내열성 폴리머, 무기재료 등을 바람직하게 들 수 있다.
상기 포토레지스트로서는 특별히 제한은 없고, 공지의 것 중에서 목적에 따라 적절히 선택할 수 있는데, 예를 들면 포지티브형 포토레지스트, 네가티브형 포토레지스트 등을 들 수 있다.
상기 내열성 폴리머로서는 특별히 제한은 없고, 공지의 것 중에서 목적에 따라 적절히 선택할 수 있는데, 예를 들면 폴리이미드 등을 바람직하게 들 수 있다.
상기 무기재료로서는 특별히 제한은 없고, 공지의 것 중에서 목적에 따라 적절히 선택할 수 있는데, 예를 들면 질화규소, 산화규소 등을 바람직하게 들 수 있 다.
이것들은 1종을 단독으로 사용할 수 있고, 2종 이상을 병용할 수도 있다. 또한, 상기 뱅크는 적층 구조체일 수 있고, 상기 적층 구조체로서는 상기 질화규소와 상기 산화규소의 적층 구조체 등을 바람직하게 들 수 있다.
상기 유기 EL 발광 재료로서는 특별히 제한은 없고 목적에 따라 적절히 선택할 수 있는데, 용액화되어 잉크젯법에 의해 노즐 헤드로부터 상기 공극을 향해서 분사할 수 있는 것이 바람직하고, 폴리머계 재료로부터 선택되는 것이 보다 바람직하다.
상기 폴리머계 재료로서는 특별히 제한은 없고, 고분자 유기 EL 장치에서 사용되고 있는 공지의 것 중에서 적절히 선택할 수 있는데, 예를 들면 폴리파라페닐렌비닐렌(PPV), PV 등을 들 수 있다.
본 발명에 있어서는 상기 공극 내에 수용된 상기 유기 EL 발광 재료에 의해 발광층이 형성되고, 상기 발광층을 가지는 개개의 공극에 의해 화소가 구성된다. 여기에서, 상기 공극 내에 수용시키는 유기 EL 발광 재료를, 적색 발광 재료, 녹색 발광 재료, 청색 발광 재료로부터 적절히 선택해서 조합시킴으로써 풀 컬러 디스플레이를 설계할 수 있다.
잉크젯법에 의한 상기 발광층의 형성은 예를 들면 노즐 헤드를 이용해서 상기 잉크젯 잉크를 상기 공극을 향해 분사시켜 공급한 후, 적절히 건조 등을 시킴으로써 행할 수 있다.
상기 발광층의 두께로서는 50 내지 200nm가 바람직하고, 70 내지 150nm가 보 다 바람직하다.
상기 발광층의 두께가 상기 바람직한 수치 범위이면, 상기 유기 EL 장치에 의한 발광 효율·발광 휘도·색 순도가 충분한 것이 된다.
본 발명의 유기 EL 장치는 플러스극 및 마이너스극의 사이에, 상기 뱅크의 격벽에 의해 형성된 공극 내에 형성된 상기 발광층을 가지고, 목적에 따라 적절히 선택한 상기 기타의 층 내지 부재를 가질 수 있다.
-플러스극-
상기 플러스극으로서는 특별히 제한은 없고 목적에 따라 적절히 선택할 수 있는데, 상기 유기 박막층에, 구체적으로는 상기 유기 박막층이 상기 발광층만을 가지는 경우에는 상기 발광층에, 상기 유기 박막층이 또한 상기 정공 수송층을 가질 경우에는 상기 정공 수송층에, 상기 유기 박막층이 또한 상기 정공 주입층을 가질 경우에는 상기 정공 주입층에 정공(캐리어)을 공급할 수 있는 것이 바람직하다.
상기 플러스극의 재료로서는 특별히 제한은 없고 목적에 따라 적절히 선택할 수 있는데, 예를 들면 금속, 합금, 금속산화물, 전기전도성 화합물, 이것들의 혼합물 등을 들 수 있고, 이것들 중에서도 일함수가 4eV 이상인 재료가 바람직하다.
상기 플러스극 재료의 구체예로서는 산화주석, 산화아연, 산화인듐, 산화인듐주석(ITO) 등의 도전성 금속 산화물, 금, 은, 크롬, 니켈 등의 금속, 이들 금속과 도전성 금속 산화물의 혼합물 또는 적층물, 요오드화구리, 황화구리 등의 무기 도전성 물질, 폴리아닐린, 폴리티오펜, 폴리피롤 등의 유기 도전성 재료, 이것들과 ITO의 적층물 등을 들 수 있다. 이것들은 1종을 단독으로 사용할 수 있고, 2종 이 상을 병용할 수도 있다. 이것들 중에서도 도전성 금속 산화물이 바람직하고, 생산성, 고전도성, 투명성 등의 관점에서는 ITO가 특히 바람직하다.
상기 플러스극의 두께로서는 특별히 제한은 없고, 재료 등에 따라 적절히 선택 가능한데, 30 내지 500nm가 바람직하고, 50 내지 200nm가 보다 바람직하다.
상기 플러스극은 통상, 소다석회 유리, 무알칼리 유리 등의 유리, 투명수지등의 기판 위에 형성된다.
상기 기판으로서 상기 유리를 이용할 경우, 상기 유리로부터의 용출 이온을 적게 하는 관점에서는 상기 무알칼리 유리, 실리카 등의 배리어 코팅을 한 상기 소다석회 유리가 바람직하다.
상기 기판의 두께로서는 기계적 강도를 유지하는데 충분한 두께이면 특별히 제한은 없지만, 상기 기재로서 유리를 이용할 경우에는 통상 0.2㎜ 이상이고, 0.7mm 이상이 바람직하다.
상기 플러스극은 예를 들면 증착법, 습식 제막법, 전자빔법, 스퍼터링법, 반응성 스퍼터링법, MBE(분자선 에피택시)법, 클러스터 이온빔법, 이온 플레이팅법, 플라즈마 중합법(고주파 여기 이온 플레이팅법), 분자 적층법, LB법, 인쇄법, 전사법, 화학반응법(졸-겔법 등)에 의해 상기 ITO의 분산물을 도포하는 방법 등의 상술한 방법에 의해 바람직하게 형성할 수 있다.
상기 플러스극은 세정, 기타 처리를 함으로써, 상기 유기 EL 장치의 구동전압을 저하시키거나, 발광 효율을 높이는 것도 가능하다. 상기 기타 처리로서는 예를 들면 상기 플러스극의 소재가 ITO인 경우에는 UV-오존 처리, 플라즈마 처리 등 을 바람직하게 들 수 있다.
-마이너스극-
상기 마이너스극으로서는 특별히 제한은 없고 목적에 따라 적절히 선택할 수 있는데, 상기 유기 박막층에, 구체적으로는 상기 유기 박막층이 상기 발광층만을 가질 경우에는 상기 발광층에, 상기 유기 박막층이 또한 상기 전자 수송층을 가질 경우에는 상기 전자 수송층에, 상기 유기 박막층 및 상기 마이너스극간에 전자 주입층을 가질 경우에는 상기 전자 주입층에 전자를 공급할 수 있는 것이 바람직하다.
상기 마이너스극의 재료로서는 특별히 제한은 없고, 상기 전자 수송층, 상기 발광층 등의 상기 마이너스극과 인접하는 층 내지 분자와의 밀착성, 이온화 포텐셜, 안정성 등에 따라 적절히 선택할 수 있는데, 예를 들면 금속, 합금, 금속산화물, 전기 전도성 화합물, 이것들의 혼합물 등을 들 수 있다.
상기 마이너스극 재료의 구체예로서는 알칼리 금속(예를 들면 Li, Na, K, Cs 등), 알칼리 토류 금속(예를 들면 Mg, Ca 등), 금, 은, 납, 알루미늄, 나트륨-칼륨 합금 또는 그것들의 혼합금속, 리튬-알루미늄 합금 또는 그것들의 혼합금속, 마그네슘-은 합금 또는 그것들의 혼합금속, 인듐, 이테르븀 등의 희토류 금속, 이것들의 합금 등을 들 수 있다.
이것들은 1종을 단독으로 사용할 수 있고, 2종 이상을 병용할 수도 있다. 이것들 중에서도 일함수가 4eV 이하인 재료가 바람직하고, 알루미늄, 리튬-알루미늄 합금 또는 그것들의 혼합금속, 마그네슘-은 합금 또는 그것들의 혼합금속 등이 보다 바람직하다.
상기 마이너스극의 두께로서는 특별히 제한은 없고, 상기 마이너스극의 재료 등에 따라 적절히 선택할 수 있는데, 1 내지 10,000nm가 바람직하고, 20 내지 200nm가 보다 바람직하다.
상기 마이너스극은 예를 들면 증착법, 습식 제막법, 전자빔법, 스퍼터링법, 반응성 스퍼터링법, MBE(분자선 에피택시)법, 클러스터 이온빔법, 이온 플레이팅법, 플라즈마 중합법(고주파 여기 이온 플레이팅법), 분자 적층법, LB법, 인쇄법, 전사법 등의 상술한 방법에 의해 바람직하게 형성할 수 있다.
상기 마이너스극의 재료로서 2종 이상을 병용할 경우에는 상기 2종 이상의 재료를 동시에 증착시켜 합금전극 등을 형성할 수 있고, 미리 조제한 합금을 증착시켜 합금전극 등을 형성할 수 있다.
상기 플러스극 및 상기 마이너스극의 저항값의 경우 낮은 편이 바람직하고, 수백 Ω/□ 이하인 것이 바람직하다.
-정공 주입층-
상기 정공 주입층으로서는 특별히 제한은 없고 목적에 따라 적절히 선택할 수 있는데, 예를 들면 전계인가시에 상기 플러스극으로 정공을 주입하는 기능을 가지고 있는 것이 바람직하다.
상기 정공 주입층의 재료로서는 특별히 제한은 없고 목적에 따라 적절히 선택할 수 있는데, 예를 들면 PEDOT:PSS(폴리(스티렌 술포네이트)로 도핑된 폴리- 3,4-에틸렌디옥시티오펜), 또는 하기 화학식으로 나타내어지는 스타버스트 아민 (4,4',4"-트리스[3-메틸페닐(페닐)아미노]트리페닐아민:m-MTDATA), 구리프탈로시아닌, 폴리아닐린 등을 들 수 있다.
Figure 112005008627260-pct00001
상기 정공 주입층의 두께로서는 특별히 제한은 없고 목적에 따라 적절히 선택할 수 있는데, 예를 들면 50 내지 150nm정도가 바람직하고, 70 내지 100nm가 보다 바람직하다.
상기 정공 주입층은 예를 들면 증착법, 습식 제막법, 전자빔법, 스퍼터링법, 반응성 스퍼터링법, MBE(분자선 에피택시)법, 클러스터 이온빔법, 이온 플레이팅법, 플라즈마 중합법(고주파 여기 이온 플레이팅법), 분자 적층법, LB법, 인쇄법, 전사법 등의 상술한 방법에 의해 바람직하게 형성할 수 있다.
-기타 층 내지 부재-
본 발명의 유기 EL 장치는 목적에 따라 적절히 선택한 기타 층 내지 부재를 가질 수 있고, 상기 기타 층으로서는 예를 들면 보호층, 밀봉재 등을 바람직하게 들 수 있다.
상기 보호층으로서는 특별히 제한은 없고 목적에 따라 적절히 선택할 수 있 는데, 예를 들면 수분이나 산소 등의 유기 EL 장치를 열화 촉진시키는 분자 내지 물질이 유기 EL 장치 내로 침입하는 것을 억제 가능한 것이 바람직하다.
상기 보호층의 재료로서는 예를 들면 In, Sn, Pb, Au, Cu, Ag, Al, Ti, Ni 등의 금속, MgO, SiO, SiO2, Al2O3, GeO, NiO, CaO, BaO, Fe2O3, Y2O3, TiO2 등의 금속 산화물, SiN, SiNxOy 등의 질화물, MgF2, LiF, AlF3, CaF2 등의 금속 불화물, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리이미드, 폴리우레아, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리클로로트리플루오로에틸렌, 폴리디클로로디플루오로에틸렌, 클로로트리플루오로에틸렌과 디클로로디플루오로에틸렌의 공중합체, 테트라플루오로에틸렌과 1종 이상의 코모노머를 포함하는 모노머 혼합물을 공중합시켜 얻어지는 공중합체, 공중합 주쇄에 환상구조를 가지는 함불소 공중합체, 급수율 1％ 이상의 흡수성 물질, 흡수율 0.1％ 이하의 방습성 물질 등을 들 수 있다.
상기 보호층은 예를 들면 증착법, 습식 제막법, 스퍼터링법, 반응성 스퍼터링법, MBE(분자선 에피택시)법, 클러스터 이온빔법, 이온 플레이팅법, 플라즈마 중합법(고주파 여기 이온 플레이팅법), 인쇄법, 전사법 등의 상술한 방법에 의해 바람직하게 형성할 수 있다.
본 발명의 유기 EL 장치의 구조로서는 특별히 제한은 없고 목적에 따라 적절히 선택할 수 있는데, 그 층 구성으로서는 예를 들면 이하의 (1) 내지 (13)의 층 구성, 즉, (1) 플러스극/정공 주입층/정공 수송층/발광층/전자 수송층/전자 주입층/마이너스극, (2) 플러스극/정공 주입층/정공 수송층/발광층/전자 수송층/마이너스 극, (3) 플러스극/정공 수송층/발광층/전자 수송층/전자 주입층/마이너스극, (4) 플러스극/정공 수송층/발광층/전자 수송층/마이너스극, (5) 플러스극/정공 주입층/정공 수송층/발광층겸 전자 수송층/전자 주입층/마이너스극, (6) 플러스극/정공 주입층/정공 수송층/발광층겸 전자 수송층/마이너스극, (7) 플러스극/정공 수송층/발광층겸 전자 수송층/전자 주입층/마이너스극, (8) 플러스극/정공 수송층/발광층겸 전자 수송층/마이너스극, (9) 플러스극/정공 주입층/정공 수송층겸 발광층/전자 수송층/전자 주입층/마이너스극, (10) 플러스극/정공 주입층/정공 수송층겸 발광층/전자 수송층/마이너스극, (11) 플러스극/정공 수송층겸 발광층/전자 수송층/전자 주입층/마이너스극, (12) 플러스극/정공 수송층겸 발광층/전자 수송층/마이너스극, (13) 플러스극/정공 수송층겸 발광층겸 전자 수송층/마이너스극 등을 바람직하게 들 수 있다.
또한, 상기 유기 EL 장치가 상기 정공 블로킹층을 가질 경우에는 상기 (1) 내지 (13)에 있어서, 상기 발광층과 상기 전자 수송층 사이에 상기 정공 블로킹층이 배치되는 층 구성을 바람직하게 들 수 있다.
상기 유기 EL 장치는 단색 발광일 수 있고, 다색 발광일 수 있고, 풀 컬러 타입일 수 있다.
상기 유기 EL 장치를 풀 컬러 타입의 것으로 하는 방법으로서는 예를 들면 「월간 디스플레이」, 2000년 9월호, 33 내지 37페이지에 기재되어 있는 바와 같이, 색의 3원색(청색(B), 녹색(G), 적색(R))에 대응하는 빛을 각각 발광하는 유기 EL 장치를 기판 위에 배치하는 3색 발광법, 백색 발광용의 유기 EL 장치에 의한 백 색 발광을 컬러 필터를 통과시켜 3원색으로 나누는 백색법, 청색 발광용의 유기 EL 장치에 의한 청색 발광을 형광 색소층을 통과시켜 적색(R) 및 녹색(G)으로 변환시키는 색변환법 등이 알려져 있는데, 본 발명에 있어서는 3색 발광법을 특히 바람직하게 채용할 수 있다.
상기 유기 EL 장치의 구동 양태로서는 특별히 제한은 없고 목적에 따라 적절히 선택할 수 있는데, 예를 들면 「일경 일렉트로닉스」, No.765, 2000년 3월 13일호, 55 내지 62페이지에 기재되어 있는 바와 같은, 패시브 매트릭스 패널, 액티브 매트릭스 패널 등의 구동 양태를 바람직하게 들 수 있다.
본 발명의 유기 EL 장치는 예를 들면 컴퓨터, 차재용 표시기, 야외 표시기, 가정용 기기, 업무용 기기, 가전용 기기, 교통관계 표시기, 시계 표시기, 캘린더 표시기, 루미네센트 스크린, 음향기기 등을 비롯한 각종 분야에서 바람직하게 사용할 수 있다.
<유기 EL 장치의 제조 방법>
본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법은 상술한 본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법으로서, (1) 포토레지스트 및 내열성 폴리머로부터 선택되는 재료로 뱅크를 패턴 형성한 후, 플라즈마 처리를 행하거나, 또는 (2) 무기재료로 뱅크를 패턴 형성한 후, 에칭 처리를 하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법에 있어서는 상기 (1) 또는 (2) 이외의 처리 내지 공정에 대해서는 특별히 제한은 없고 목적에 따라 공지의 방법 중에서 적절히 선택할 수 있는데, 예를 들면 플러스극의 패터닝 공정, 플러스극 위에 정공 수송층을 형성하는 공정, 정공 수송층 위에 발광층을 형성하는 공정, 발광층 위에 전자 수송층을 형성하는 공정, 전자 수송층 위에 마이너스극을 형성하는 공정 등을 들 수 있다.
또한, 상기 (1)은 뱅크 형성공정과 플라즈마 처리공정을 포함하고, 상기 (2)는 뱅크 형성공정과 에칭공정을 포함한다.
상기 뱅크 형성공정은 예를 들면 상기 플러스극 위에 상술한 포토레지스트 및 내열성 폴리머로부터 선택되는 재료를 발라서 피막을 형성한 후, 또는, 상술한 무기재료를 증착시켜서 증착막을 형성한 후, 포토리소그래피로 패터닝함으로써 뱅크를 형성하는 공정이다.
상기 뱅크를 형성할 때의 조건 등에 대해서는 특별히 제한은 없고 목적에 따라 적절히 선택할 수 있다.
상기 피복의 방법으로서는 특별히 제한은 없고, 스핀 코팅법 등의 공지의 방법 중에서 적절히 선택할 수 있다.
상기 증착의 방법으로서는 특별히 제한은 없고, CVD법 등의 공지의 방법 중에서 적절히 선택할 수 있다.
상기 플라즈마 처리공정으로서는 그 조건 등에 대해서는 특별히 제한은 없고 목적에 따라 적절히 선택할 수 있고, 산소 플라즈마 및 불소계 플라즈마로부터 선택되는 플라즈마 가스를 이용해서 행하는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 뱅크가 폴리이미드 등의 수지재료로 형성되어 있는 경우에 상기 뱅크를 효율적으로 깎을 수 있다.
상기 에칭 처리 공정으로서는 그 조건 등에 대해서는 특별히 제한은 없고 목적에 따라 적절히 선택할 수 있고, 2종 이상의 에칭 가스를 이용해서 행하는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 뱅크가 상기 무기재료로 형성되어 있는 경우에 상기 뱅크를 효율적으로 깎을 수 있다.
상기 에칭 가스로서는 CF4/O2 가스, CF4 가스 등을 바람직하게 들 수 있다.
상기 에칭 처리 공정에 있어서, 2종의 에칭 가스를 이용해서 에칭 처리를 할 경우에는 예를 들면 이하와 같이 해서 행하는 것이 바람직하다. 즉, CF4/O2 가스로부터 CF4 가스로의 전환을 할 경우에는 플라즈마 N2를 모니터링함으로써 행하는 것이 바람직하고, CF4 가스로부터 CF4/O2 가스로의 전환을 할 경우에는 플라즈마 F2를 모니터링함으로써 행하는 것이 바람직하다. 그리고, 이 때, 모니터링하는 플라즈마 F2 또는 플라즈마 N2의 강도가 15 내지 25％가 되었을 때에 에칭 가스를 바꾸는 것이 바람직하다.
또한, 2종의 무기재료로 뱅크를 패턴 형성했을 경우에는 표층의 에칭율이 하층의 에칭율보다도 커지도록 하는 것이 바람직하다.
상기 발광층을 형성하는 공정에 있어서는 상기 플라즈마 공정 또는 상기 에칭 처리 공정으로 형성된 뱅크의 격벽에 의해 형성되는 공극 내에, 노즐 헤드를 이용해서 잉크젯법에 의해 상기 노즐 헤드로부터 상술한 유기 EL 발광 재료를 함유하는 용액(상술한 잉크젯 잉크)을 분사하여 공급한다. 그 후, 적절히 건조 등을 행함으로써 상기 유기 EL 발광 재료에 의한 발광층을 상기 공극 내에 형성할 수 있다.
위에서 설명한 본 발명의 유기 EL 장치의 제조 방법에 따르면, 본 발명의 유기 EL 장치가 효율적으로 제조된다.
제조된 본 발명의 유기 EL 장치에 있어서는 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 종래의 뱅크에 비해서 뱅크의 격벽에 있어서의 개구부(노출단) 근방이 깎이고, 상기 뱅크의 격벽에 의해 형성되는 공극의 개구 직경이 상기 공극에 있어서의 저부측보다도 커져 있다. 이 때문에, 본 발명의 뱅크의 격벽에 의해 형성되는 공극에는 종래의 뱅크의 격벽에 의해 형성되는 공극에 비해서 용이하면서도 확실하게 유기 EL 발광 재료가 공급된다.
이 때, 도 1에 나타내는 종래예와 같이, 상기 뱅크가 1단 구조이며, 테이퍼 구조가 1종인 경우에는 그것을 완만한 테이퍼 구조로 하면, 상기 잉크젯 잉크를 상기 공극 내에 확실하게 수용시킬 수는 있지만, 상기 공극의 개구부가 크게 넓어져버리기 때문에 고정밀화할 수 없다. 한편, 가파른 테이퍼 구조로 하면, 미세한 공극에 의한 미세한 개구는 형성할 수 있지만, 상기 노즐 헤드로 분출(토출)시킨 상기 잉크젯 잉크를 소정의 공극 내에 수용시키는 것이 곤란해진다. 그러나, 도 2에 나타내는 본 발명과 같이 예를 들면 상기 뱅크가 2단 구조이며, 각 단이 테이퍼 구조를 가지고 있는 경우에는 노즐 헤드로부터 상기 뱅크의 격벽에 의해 형성된 공극을 향해 분사(토출)된 잉크젯 잉크(유기 EL 발광 재료를 함유)의 액적을, 상단의 테이퍼 구조를 따라 아래쪽으로 구르게 하고, 이어서 하단의 테이퍼 구조에 이른 곳에서 상기 공극 내에 확실하게 낙하시킬 수 있다. 그 결과, 상기 유기 EL 장치는 고정밀한 복수의 화소를 가지고, 색 어긋남, 플러스극 및 마이너스극간의 단락 등의 문제가 없고, 디스플레이 등으로서 바람직하게 사용 가능하다.
이하, 본 발명의 실시예를 구체적으로 설명하는데, 본 발명은 이들 실시예에 의해 전혀 제한되지 않는다.
(실시예 1)
도 3A에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(1) 위에 플러스극(하부전극)으로서의 ITO(2)를 2,000Å(200nm)의 두께가 되도록 해서 스퍼터링법으로 형성했다. 이어서, 포토리소그래피와 웨트 에칭으로 ITO(2)를 스트라이프상으로 가공했다.
상기 ITO 위에 폴리이미드(3)를 5,000Å(500nm)의 두께가 되도록 스핀 코팅으로 성막한 후, 도 3B에 나타내는 바와 같이 포토리소그래피에 의해 뱅크 패턴을 형성했다.
이어서, 도 3C에 나타내는 바와 같이, 상기 뱅크 패턴을 O2 플라즈마로 3분간 처리함으로써 2단의 테이퍼 구조를 형성했다.
이어서, 도 3D에 나타내는 바와 같이, 상기 뱅크 패턴간에 형성된 공극, 즉 상기 뱅크의 격벽에 의해 형성된 공극을 향해 노즐 헤드로부터 잉크젯 잉크(유기 EL 발광 재료를 함유)(4)를 잉크젯법으로 분사(토출)시켰다. 그리고, 도 3E에 나타내는 바와 같이, 각 공극 내에 상기 잉크젯 잉크(4)를 수용시켰다.
그 후, 도 3F에 나타내는 바와 같이, 상기 잉크젯 잉크 및 상기 뱅크의 표면을 피복하도록, 마이너스극(상부전극)으로서 AlLi(5)를, 메탈 마스크를 이용하여 3,000Å(300nm)의 두께가 되도록 스트라이프 위에 증착시켜 성막시켰다.
이상에서 제조된 유기 EL 장치에 대해서, 상기 AlLi측이 마이너스극이 되도록 하고, ITO측이 플러스극이 되도록 하여 전류를 흐르게 한 바, ITO측에서 EL 발광이 관측되었다.
(실시예 2)
도 4A에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(1) 위에 플러스극(하부전극)으로서의 ITO(2)를 2,000Å(200nm)의 두께가 되도록 스퍼터링법으로 형성했다. 이어서, 포토리소그래피와 웨트 에칭으로 ITO(2)를 스트라이프상으로 가공했다.
이어서, 도 4B에 나타내는 바와 같이, 상기 ITO 위에 SiO2(두께: 2,000Å[200nm])(6), SIN(두께: 3,000Å[300nm])(7)을 이 순서로 적층한 적층막을 CVD법으로 형성했다. 계속해서 포토리소그래피로 뱅크의 패턴을 형성한 후, 도 4C에 나타내는 바와 같이, 반응성 이온 에칭으로 뱅크의 개구부 근방을 에칭 처리했다. 구체적으로는, SiN을 CF4/O2 가스를 이용해서 에칭 처리하고, Si02를 CF4 가스를 이용해서 에칭 처리했다. 그리고, 에칭 처리 중에 N2의 발광을 모니터링하고, 그 강도가 20％가 되었을 때에 에칭 가스를 전환하였다. 그 결과, 도 4C에 나타내는 바와 같이, 2단의 테이퍼 구조를 가지는 뱅크가 형성되었다.
이어서, 도 4D에 나타내는 바와 같이, 상기 뱅크 패턴간에 형성된 공극, 즉 상기 뱅크의 격벽에 의해 형성된 공극을 향해 노즐 헤드로부터 잉크젯 잉크(유기 EL 발광 재료를 함유)(4)를 잉크젯법으로 분사(토출)시켰다. 그리고, 도 4E에 나타내는 바와 같이 각 공극 내에 상기 잉크젯 잉크를 수용시켰다.
그 후, 도 4F에 나타내는 바와 같이, 상기 잉크젯 잉크 및 상기 뱅크의 표면을 피복하도록, 마이너스극(상부전극)으로서 AlLi(5)를, 메탈 마스크를 이용해서 3,000Å(300nm)의 두께가 되도록 스트라이프 위에 증착시켜 성막시켰다.
이상에서 제조된 유기 EL 장치에 대해서 상기 AlLi측이 마이너스극이 되도록 하고, ITO측이 플러스극이 되도록 하여 전류를 흐르게 한 바, ITO측에서 EL 발광이 관측되었다.
본 발명에 의하면, 고정밀한 복수의 화소를 가지고, 색 어긋남, 플러스극 및 마이너스극간의 단락 등의 문제가 없고, 기판의 대형화가 용이하고, 대형 진공장치 등이 불필요하고, 마스크 맞춤이 불필요하고, 재료의 이용효율이 높고, 간편하게 양산 가능하고 고품질이며, 디스플레이 등으로서 바람직하게 사용가능한 유기 EL 장치 및 그의 효율적인 제조 방법을 제공할 수 있다.

Claims (27)

  1. 플러스극과 마이너스극 사이에 배치되어 상기 플러스극 및 상기 마이너스극을 절연하는 뱅크를 복수개 가지고, 상기 뱅크의 격벽에 의해 형성되는 복수의 공극 내에 유기 EL 발광 재료가 있는 유기 EL 장치이며,
    1개 이상의 상기 공극이, 상기 공극에 있어서의 상기 뱅크의 격벽간의 개구단측에 있어서의 거리를 d로 하고, 상기 개구단측 이외에 있어서의 거리를 d'로 하며, 상기 개구단측에 대한 타단측에 있어서의 거리를 d"로 했을 때, d > d"이고, 또한 상기 공극에 있어서의 상기 뱅크의 격벽간의 거리가 상기 개구단측으로부터 상기 타단측을 향해서 점차 d-d'≥0을 충족시키며,
    1개 이상의 상기 공극이 2단의 테이퍼 형상을 갖는 뱅크의 격벽에 의해 형성되고, 개구단측의 단차 저부의 테이퍼 각이 타단측의 단차 저부의 테이퍼 각보다 작은 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
  2. 제1항에 있어서, 1개 이상의 공극이 n단의 단차를 갖는 뱅크의 격벽에 의해 형성되고, 상기 n단의 단차 저부에 있어서의 상기 뱅크의 격벽간의 거리를 개구단측으로부터 타단측을 향해 d1, d2, …, dn-1, dn으로 했을 때, d1 > d2 > … > dn-1 > dn을 충족시키는 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
  3. 제2항에 있어서, d1 > d2 > … > dn-1 > dn을 충족시키는 공극이 전체 공극의 90％ 이상인 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
  4. 제1항에 있어서, 1개 이상의 공극이 2단 이상의 단차를 갖는 뱅크의 격벽에 의해 형성되고, 가장 개구단측에 위치한, 뱅크의 격벽간의 거리가 최대인 단차를 형성하는 상기 뱅크의 격벽이 테이퍼 형상인 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
  5. 제4항에 있어서, 뱅크의 격벽에 형성된 각 단이 모두 테이퍼 형상인 것을 특징으로 하는 유기 EL 장치.
  6. 삭제
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  18. 포토레지스트 및 내열성 폴리머로부터 선택되는 재료로 뱅크를 패턴 형성한 후 플라즈마 처리를 하는 것을 특징으로 하는, 유기 EL 장치의 제조 방법이며,
    상기 유기 EL 장치가, 플러스극과 마이너스극 사이에 배치되어 상기 플러스극 및 상기 마이너스극을 절연하는 뱅크를 복수개 가지고, 상기 뱅크의 격벽에 의해 형성되는 복수의 공극 내에서 유기 EL 발광 재료를 가지며, 1개 이상의 상기 공극이, 상기 공극에 있어서의 상기 뱅크의 격벽간의 개구단측에 있어서의 거리를 d로 하고, 상기 개구단측 이외에 있어서의 거리를 d'로 하며, 상기 개구단측에 대한 타단측에 있어서의 거리를 d"로 했을 때, d > d"이고, 또한 상기 공극에 있어서의 상기 뱅크의 격벽간의 거리가 상기 개구단측으로부터 상기 타단측을 향해서 점차 d-d'≥0을 충족시키며,
    1개 이상의 상기 공극이 2단의 테이퍼 형상을 갖는 뱅크의 격벽에 의해 형성되고, 개구단측의 단차 저부의 테이퍼 각이 타단측의 단차 저부의 테이퍼 각보다 작은 것을 특징으로 하는, 유기 EL 장치의 제조 방법.
  19. 제18항에 있어서, 뱅크가, 포토레지스트 및 내열성 폴리머로부터 선택되는 재료를 플러스극 위에 발라서 피막을 형성한 후 포토리소그래피로 패터닝함으로써 형성되며, 상기 뱅크에 의해 형성되는 공극 내에 유기 EL 재료를 잉크젯법으로 부여한 후 마이너스극을 형성하는 것을 특징으로 하는, 유기 EL 장치의 제조 방법.
  20. 제18항에 있어서, 플라즈마 처리가 산소 플라즈마 및 불소계 플라즈마로부터 선택되는 플라즈마 가스를 이용해서 행하여지는 것을 특징으로 하는, 유기 EL 장치의 제조 방법.
  21. 무기재료로 뱅크를 패턴 형성한 후 에칭 처리를 하는, 유기 EL 장치의 제조 방법이며,
    상기 유기 EL 장치가, 플러스극과 마이너스극 사이에 배치되어 상기 플러스극 및 상기 마이너스극을 절연하는 뱅크를 복수개 가지고, 상기 뱅크의 격벽에 의해 형성되는 복수의 공극 내에서 유기 EL 발광 재료를 가지며, 1개 이상의 상기 공극이, 상기 공극에 있어서의 상기 뱅크의 격벽간의 개구단측에 있어서의 거리를 d로 하고, 상기 개구단측 이외에 있어서의 거리를 d'로 하며, 상기 개구단측에 대한 타단측에 있어서의 거리를 d"로 했을 때, d > d"이고, 또한 상기 공극에 있어서의 상기 뱅크의 격벽간의 거리가 상기 개구단측으로부터 상기 타단측을 향해서 점차 d-d'≥0을 충족시키며,
    1개 이상의 상기 공극이 2단의 테이퍼 형상을 갖는 뱅크의 격벽에 의해 형성되고, 개구단측의 단차 저부의 테이퍼 각이 타단측의 단차 저부의 테이퍼 각보다 작은 것을 특징으로 하는, 유기 EL 장치의 제조 방법.
  22. 제21항에 있어서, 뱅크가, 무기재료를 플러스극 위에 CVD법에 의해 증착시켜서 증착막을 형성한 후 포토리소그래피로 패터닝함으로써 형성되며, 상기 뱅크에 의해 형성되는 공극 내에 유기 EL 발광 재료를 잉크젯법으로 부여한 후 마이너스극을 형성하는 것을 특징으로 하는, 유기 EL 장치의 제조 방법.
  23. 제21항에 있어서, 에칭 처리가 2종 이상의 에칭 가스를 이용해서 행하여지는 것을 특징으로 하는, 유기 EL 장치의 제조 방법.
  24. 제21항에 있어서, 에칭 처리가 CF4/O2 가스 및 CF4 가스를 이용해서 행하여지는 것을 특징으로 하는, 유기 EL 장치의 제조 방법.
  25. 제24항에 있어서, CF4/O2 가스로부터 CF4 가스로의 전환을 플라즈마 N2를 모니터링함으로써 행하고, CF4 가스로부터 CF4/O2 가스로의 전환을 플라즈마 F2를 모니터링함으로써 행하는 것을 특징으로 하는, 유기 EL 장치의 제조 방법.
  26. 제25항에 있어서, 모니터링하는 플라즈마 F2 또는 플라즈마 N2의 강도가 15 내지 25％가 되었을 때에 에칭 가스를 전환시키는 것을 특징으로 하는, 유기 EL 장치의 제조 방법.
  27. 제21항에 있어서, 2종의 무기재료로 뱅크를 패턴 형성하고, 표층의 에칭율이 하층의 에칭율보다도 커지도록 하는 것을 특징으로 하는, 유기 EL 장치의 제조 방법.
KR1020057002786A 2002-08-21 2003-08-14 유기 ｅｌ 장치 및 그의 제조 방법 KR100719007B1 (ko)

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