KR100717327B1 - Organic Electro Luminescence Display Device And Method For Fabricating Thereof - Google Patents

Organic Electro Luminescence Display Device And Method For Fabricating Thereof Download PDF

Info

Publication number
KR100717327B1
KR100717327B1 KR1020040011583A KR20040011583A KR100717327B1 KR 100717327 B1 KR100717327 B1 KR 100717327B1 KR 1020040011583 A KR1020040011583 A KR 1020040011583A KR 20040011583 A KR20040011583 A KR 20040011583A KR 100717327 B1 KR100717327 B1 KR 100717327B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
conductive layer
pad
organic electroluminescent
organic
layer
Prior art date
Application number
KR1020040011583A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20050082961A (en
Inventor
김기홍
권재철
Original Assignee
엘지전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지전자 주식회사 filed Critical 엘지전자 주식회사
Priority to KR1020040011583A priority Critical patent/KR100717327B1/en
Priority to EP20050002341 priority patent/EP1566838A3/en
Priority to JP2005039392A priority patent/JP2005235766A/en
Priority to US11/058,607 priority patent/US7358664B2/en
Priority to CNB2005100083630A priority patent/CN100539245C/en
Publication of KR20050082961A publication Critical patent/KR20050082961A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100717327B1 publication Critical patent/KR100717327B1/en
Priority to US11/826,762 priority patent/US7919919B2/en
Priority to JP2010292313A priority patent/JP2011066017A/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/131Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/84Passivation; Containers; Encapsulations
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10OLED displays
    • H10K59/12Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

본 발명은 패드부 불량을 방지할 수 있는 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to an organic electroluminescent display device capable of preventing defective pad portions and a manufacturing method thereof.

본 발명에 따른 유기전계발광표시장치는 유기전계발광어레이와; 상기 유기전계발광어레이를 감싸는 패키징 판과; 상기 유기전계발광어레이에 구동신호를 공급함과 아울러 상기 패키징 판의 외부에 위치하며 제1 및 제2 도전층으로 구성되는 패드와; 상기 패드와 전기적으로 접속되는 신호공급필름을 구비하고, 상기 제2 도전층은 상기 신호공급필름과 비중첩되는 영역에서 상기 제1 도전층을 노출시키는 것을 특징으로 한다.An organic light emitting display according to the present invention includes: an organic electroluminescent array; A packaging plate surrounding the organic electroluminescent array; A pad provided outside the packaging plate, the first and second conductive layers supplying a driving signal to the organic electroluminescent array; And a signal supply film electrically connected to the pad, wherein the second conductive layer exposes the first conductive layer in a region where the signal conductive film is not overlapped with the signal supply film.

Description

유기전계발광표시장치 및 그 제조방법{Organic Electro Luminescence Display Device And Method For Fabricating Thereof} BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an organic electroluminescence display device,             

도 1은 종래의 유기전계발광표시장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다. 1 is a cross-sectional view schematically showing a conventional organic light emitting display device.

도 2는 도 1에 도시된 유기전계발광어레이의 Ⅰ-Ⅰ' 선을 절단하여 나타내는 단면도이다. FIG. 2 is a cross-sectional view of the organic electroluminescent array shown in FIG. 1 taken along the line I-I '.

도 3은 종래의 유기전계발광표시장치의 패드영역을 나타내는 도면이다.3 is a view showing a pad region of a conventional organic light emitting display device.

도 4는 종래의 패드부의 불량을 나타내는 도면이다.4 is a view showing a defect of a conventional pad portion.

도 5는 본 발명에 따른 유기전계발광표시장치의 패드영역을 나타내는 도면이다.5 is a view showing a pad region of an organic light emitting display according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법을 나타내는 순서도이다.6 is a flowchart showing a method of manufacturing an organic light emitting display according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명> Description of the Related Art

2,102 : 기판 4 : 제1 전극 2,102: substrate 4: first electrode

10 : 유기 발광층 12 : 제2 전극 10: organic light emitting layer 12: second electrode

28,128 : 패키징판 26,126 : 실런트28, 128: packaging plate 26, 126: sealant

TCP : 32,312 30,130 : ACFTCP: 32,312 30,130: ACF

36,136 : 투명도전층 34,134 : 불투명도전층 36, 136: transparency layer 34, 134: opacity layer

본 발명은 유기전계발광표시장치에 관한 것으로, 특히, 패드부 불량을 방지할 수 있는 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting display device, and more particularly, to an organic light emitting display device capable of preventing a pad portion from being defective and a method of manufacturing the same.

최근 들어, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : 이하 "LCD"라 함), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하 PDP"라 함) 및 일렉트로 루미네센스(Electro-luminescence:이하 "EL "이라 함)표시장치 등이 있다. 이와 같은 평판표시장치의 표시품질을 높이고 대화면화를 시도하는 연구들이 활발히 진행되고 있다. 2. Description of the Related Art In recent years, various flat panel display devices capable of reducing weight and volume, which are disadvantages of a cathode ray tube (CRT), have been developed. Such a flat panel display device includes a liquid crystal display (LCD), a field emission display (FED), a plasma display panel (PDP), and an electroluminescent And an electro-luminescence (hereinafter referred to as "EL") display device. [0004] Researches for increasing the display quality of such a flat panel display device and attempting to make it larger have been actively conducted.

이들 중 PDP는 구조와 제조공정이 단순하기 때문에 경박 단소하면서도 대화면화에 가장 유리한 표시장치로 주목받고 있지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있다. 이에 비하여, 스위칭 소자로 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)가 적용된 액티브 매트릭스 LCD는 반도체공정을 이용하기 때문에 대화면화에 어렵고 백라이트 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점이 있고, 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 특성이 있다. Among these PDPs, PDPs are attracting attention as a display device that is most advantageous for large screen size but large screen size because of simple structure and manufacturing process, but it has disadvantage of low luminous efficiency, low luminance and high power consumption. On the other hand, an active matrix LCD, in which a thin film transistor (hereinafter referred to as "TFT") is applied as a switching element, is difficult to make a large screen because of using a semiconductor process and has a drawback in that power consumption is large due to a backlight unit, , A prism sheet, a diffuser plate, and the like, and has a narrow viewing angle.

이에 비하여, EL표시장치는 발광층의 재료에 따라 무기EL소자와 유기EL소자로 대별되며 스스로 발광하는 자발광소자로서 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 무기EL소자는 유기EL소자에 비하여 전력소모가 크고 고휘도를 얻을 수 없으며 R, G, B의 다양한 색을 발광시킬 수 없다. 반면에, 유기EL소자는 수십 볼트의 낮은 직류 전압에서 구동됨과 아울러, 빠른 응답속도를 가지고, 고휘도를 얻을 수 있으며 R, G, B의 다양한 색을 발광시킬 수 있어 차세대 평판 디스플레이소자에 적합하다. On the other hand, the EL display device is divided into an inorganic EL element and an organic EL element depending on the material of the light emitting layer, and has the advantage of high response speed, large light emitting efficiency, high luminance and wide viewing angle. Inorganic EL elements have higher power consumption than organic EL elements and can not obtain high luminance, and can not emit various colors of R, G, and B. On the other hand, the organic EL device is driven by a low DC voltage of several tens volts, has a fast response speed, can obtain high luminance, and emits various colors of R, G, and B, and is suitable for a next generation flat panel display device.

도 1은 종래의 유기EL표시장치를 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 유기EL어레이의 Ⅰ-Ⅰ'선을 절단하여 나타내는 단면도이다. FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a conventional organic EL display device, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the organic EL array shown in FIG. 1, taken along line I-I '.

도 1 및 2에 도시된 유기EL소자는 기판(2) 상에 제1 전극(또는 애노드전극)(4)과 제2 전극(또는 캐소드전극)(12)이 서로 교차하는 방향으로 형성된다. The organic EL devices shown in FIGS. 1 and 2 are formed in a direction in which the first electrode (or the anode electrode) 4 and the second electrode (or the cathode electrode) 12 cross each other on the substrate 2.

제1 전극(4)은 기판(2) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 제1 전극(4)이 형성된 기판(2) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(6)이 형성된다. 절연막(6) 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(10) 및 제2 전극(12)의 분리를 위한 격벽(8)이 위치한다. 격벽(8)은 제1 전극(4)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 오버행(Overhang) 구조를 갖게 된다. 격벽(8)이 형성된 절연막(6) 상에는 유기화합 물로 구성되는 유기발광층(10)과 제2 전극(12)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기 발광층(10)은 적(R),녹(G),청(B)의 컬러를 표현하게 되는데, 일반적인 방법으로는 각 화소(P)마다 적, 녹, 청색을 발광하는 별도의 유기물질이 패터닝됨으로써 형성된다. A plurality of first electrodes 4 are formed on the substrate 2 at a predetermined interval. On the substrate 2 on which the first electrode 4 is formed, an insulating film 6 having an opening for each EL cell (EL) region is formed. On the insulating film 6, a partition wall 8 for separating the organic light emitting layer 10 and the second electrode 12 to be formed thereon is disposed. The barrier rib 8 is formed in a direction crossing the first electrode 4 and has an overhang structure in which the upper end portion has a larger width than the lower end portion. An organic light emitting layer 10 and a second electrode 12, which are organic compounds, are sequentially deposited on the insulating layer 6 on which the barrier ribs 8 are formed. The organic light emitting layer 10 displays colors of red (R), green (G) and blue (B). In general, a separate organic material emitting red, green, And is formed by patterning.

유기발광층(10)은 도 2에 도시된 바와 같이 제1 전극(4) 상에 순차적으로 형성된 정공 주입층(10e), 정공수송층(10d), 발광층(10c), 전자수송층(10b) 및 전자주입층(10a)을 포함한다. The organic light emitting layer 10 includes a hole injecting layer 10e, a hole transporting layer 10d, a light emitting layer 10c, an electron transporting layer 10b and an electron injecting layer 10c sequentially formed on the first electrode 4, Layer 10a.

이러한, 유기EL표시장치는 제1 전극(4)과 제2 전극(12) 사이에 전압이 인가되면, 제2 전극(12)으로부터 발생된 전자는 전자 주입층(10a) 및 전자 수송층(10b)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동된다, 또한, 제1 전극(4)으로 부터 발생된 정공은 정공 주입층(10d) 및 정공 수송층(10d)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(10c)에서는 전자 수송층(10b)과 정공 수송층(10d)으로부터 공급되어진 전자와 정공이 충돌하여 재결합함으로써 빛이 발생하게 되고, 이 빛은 제1 전극(4)을 통해 외부로 방출되어 화상이 표시되게 된다. When an electric voltage is applied between the first electrode 4 and the second electrode 12, electrons generated from the second electrode 12 pass through the electron injection layer 10a and the electron transport layer 10b, And the holes generated from the first electrode 4 move toward the light emitting layer 10c through the hole injection layer 10d and the hole transport layer 10d. Accordingly, in the light emitting layer 10c, electrons and holes supplied from the electron transporting layer 10b and the hole transporting layer 10d collide with each other and recombine to generate light. The light is emitted to the outside through the first electrode 4 And an image is displayed.

이러한 유기EL어레이(50)에는 수분 및 산소에 쉽게 열화되는 특성을 가지고 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 봉지(Encapsulation) 공정이 실시됨으로써 유기EL어레이(50)가 형성된 기판(2)과 패키징 판(28)이 실런트(26)를 통해 합착된다. Such an organic EL array 50 is easily deteriorated in moisture and oxygen. In order to solve such a problem, the encapsulation process is performed so that the substrate 2 on which the organic EL array 50 is formed and the packaging plate 28 are bonded together through the sealant 26. [

도 3은 종래의 유기EL장치의 패드영역을 나타내는 도면이다. 3 is a view showing a pad region of a conventional organic EL device.

도 3에 도시된 유기EL장치의 패드영역의 패드(37)는 외부로부터 구동신호를 공급받기 위하여 도전성 필름(ACF : Antisotropic Conductive Film)(30)을 사이에 두고 TCP(Tape Carrier Package)(32)등과 같은 신호공급필름들과 전기적으로 접속된다. 패드(37)는 유기EL어레이(50)의 제1 전극(4) 또는 제2 전극(12)과 접속되는 투명도전층(36)과 투명도전성층(36)의 도전성을 높이기 위한 불투명도전층(34)이 적층된 구조를 갖는다. 여기서, 투명도전층(36)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide) 등이 이용되고, 불투명도전층(34)으로는 몰리브덴(Mo) 등이 이용된다. 또한, 불투명도전층(34) 상에는 수분 및 산소 등에 의해 불투명도전층(34)의 산화를 방지하기 위한 실리콘층(38)이 형성된다. A pad 37 of a pad region of the organic EL device shown in FIG. 3 is connected to a TCP (Tape Carrier Package) 32 via a conductive film (ACF: Antisotropic Conductive Film) 30 to receive driving signals from the outside. And the like. The pads 37 are formed of a transparent conductive layer 36 connected to the first electrode 4 or the second electrode 12 of the organic EL array 50 and an opaque conductive layer 34 for enhancing the conductivity of the transparent conductive layer 36. [ Has a laminated structure. Indium Tin Oxide (ITO), Indium Tin Oxide (IZO), Indium Tin Zinc Oxide (ITZO) and the like are used for the transparent conductive layer 36, and molybdenum (Mo) is used for the opaque conductive layer 34. A silicon layer 38 is formed on the opacity layer 34 to prevent oxidation of the opacity layer 34 by moisture and oxygen.

한편, 이와 같은 종래의 유기EL표시장치의 패드영역에 형성된 불투명도전층(34)은 수분(H2O) 및 산소(O2) 등에 의해 산화됨으로써 TCP(32)를 통해 인가되는 구동신호가 인가되지 않는 등의 패드불량 문제가 빈번히 발생된다. On the other hand, the opacity layer 34 formed in the pad region of the conventional organic EL display device is oxidized by moisture (H 2 O) and oxygen (O 2 ), so that a drive signal applied through the TCP 32 is not applied The pad defects frequently occur.

이를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다. This will be described in more detail as follows.

일반적으로 몰리브덴(Mo) 등으로 형성된 불투명도전층(34)은 수분 및 산소 등에 의해 노출되는 경우 산화되는 성질이 있다. 이러한 불투명도전층(34)은 유기EL어레이(50)가 형성된 기판(2)과 패키징판(28)의 합착공정 및 ACF(30)를 사이에 두고 패드(37)와 TCP(32)와의 접속공정 등이 실시되는 동안 도 4에 도시된 바와 같이 대기중의 수분 및 산소에 의해 노출되게 된다. 이렇게 노출된 불투명도전층(34)에는 산화가 일어나게 되고, 이러한 산화는 곧 각 패드(37)에 인 가되는 전압차에 의한 갈바닉(galvanic) 부식을 촉진시킴으로써 외부구동신호가 유기EL어레이(50)에 인가되지 않게 되는 등 패드부 불량 문제를 초래하게 된다. Generally, the opacity layer 34 formed of molybdenum (Mo) or the like has a property of being oxidized when exposed to moisture, oxygen, or the like. The opaque conductive layer 34 is formed by a bonding process of the substrate 2 on which the organic EL array 50 is formed and the packaging plate 28 and a process of connecting the pads 37 and TCP 32 with the ACF 30 interposed therebetween Is exposed to moisture and oxygen in the atmosphere as shown in Fig. Oxidation occurs in the exposed opaque layer 34 and this oxidation promotes galvanic corrosion due to a voltage difference that is imposed on each pad 37 so that an external driving signal is applied to the organic EL array 50 Resulting in a problem of poor pad portion.

따라서, 본 발명의 목적은 패드부 불량을 방지할 수 있는 유기전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
Accordingly, an object of the present invention is to provide an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same that can prevent a pad portion from being defective.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기전계발광표시장치는 유기전계발광어레이와; 상기 유기전계발광어레이를 감싸는 패키징 판과; 상기 유기전계발광어레이에 구동신호를 공급함과 아울러 상기 패키징 판의 외부에 위치하며 제1 및 제2 도전층으로 구성되는 패드와; 상기 패드와 전기적으로 접속되는 신호공급필름을 구비하고, 상기 제2 도전층은 상기 신호공급필름과 비중첩되는 영역에서 상기 제1 도전층을 노출시키는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 도전층 상에 형성된 실리콘층을 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 제2 도전층은 상기 패키징판 및 상기 접속필름 이외의 영역에서 일부 제거된 것을 특징으로 한다.
상기 제1 도전층은 옥사이드를 포함하고, 상기 제2 도전층은 몰리브덴(Mo)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 유기전계발광어레이는 애노드 전극 및 캐소드 전극을 포함하고, 상기 제1 도전층은 상기 애노드 전극 및 캐소드 전극 중 적어도 어느 하나와 동일 물질인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 유기전계발광표시장치의 제조방법은 유기전계발광어레이 및 상기 유기전계발광어레이에 구동신호를 공급하는 하는 패드를 형성하는 단계와; 패키징 판을 이용하여 상기 유기전계발광어레이를 패키징시키고 상기 패드는 외부로 노출시키는 단계와; 상기 패드와 신호공급필름을 접속시키는 단계를 포함하고, 상기 패드를 형성하는 단계는, 제1 도전층을 형성하는 단계와; 상기 신호공급필름과 비중첩되는 영역에 형성되며 상기 제1 도전층을 노출시키는 제2 도전층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 도전층 상에 실리콘층을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제2 도전층은 상기 패키징판 및 상기 접속필름의 이외의 영역에서 일부 제거된다.
상기 제1 도전층은 옥사이드를 포함하고, 상기 제2 도전층은 몰리브덴(Mo)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
According to an aspect of the present invention, there is provided an organic light emitting display including: an organic electroluminescent array; A packaging plate surrounding the organic electroluminescent array; A pad provided outside the packaging plate, the first and second conductive layers supplying a driving signal to the organic electroluminescent array; And a signal supply film electrically connected to the pad, wherein the second conductive layer exposes the first conductive layer in a region where the signal conductive film is not overlapped with the signal supply film.
And a silicon layer formed on the first conductive layer.
And the second conductive layer is partially removed in a region other than the packaging plate and the connection film.
The first conductive layer includes oxide, and the second conductive layer includes molybdenum (Mo).
The organic electroluminescent array includes an anode electrode and a cathode electrode, and the first conductive layer is the same material as at least one of the anode electrode and the cathode electrode.
A method of manufacturing an organic light emitting display according to the present invention includes: forming an organic electroluminescent array and a pad for supplying a driving signal to the organic electroluminescent array; Packaging the organic electroluminescent array using a packaging plate and exposing the pad to the outside; And connecting the pad and the signal supply film, wherein the forming the pad comprises: forming a first conductive layer; And forming a second conductive layer, which is formed in a region that is not overlapped with the signal supply film, exposing the first conductive layer.
And forming a silicon layer on the first conductive layer.
And the second conductive layer is partially removed in areas other than the packaging plate and the connection film.
The first conductive layer includes oxide, and the second conductive layer includes molybdenum (Mo).
Other objects and features of the present invention will become apparent from the following description of embodiments with reference to the accompanying drawings.

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

이하, 도 5 및 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명 하기로 한다. Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6. FIG.

본 발명에 따른 유기EL장치의 유기EL어레이는 종래와 동일하다. 종래의 도 1에 도시된 바와 같이 기판(2) 상에 제1 전극(또는 애노드 전극)(4)과 제2 전극(또는 캐소드 전극)(12)이 서로 교차하는 방향으로 형성된다. The organic EL array of the organic EL device according to the present invention is the same as the conventional one. A first electrode (or an anode electrode) 4 and a second electrode (or a cathode electrode) 12 are formed in a direction crossing each other on a substrate 2 as shown in FIG.

제1 전극(4)은 기판(2) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 제1 전극(4)이 형성된 기판(2) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(6)이 형성된다. 절연막(6) 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(10) 및 제2 전극(12)의 분리를 위한 격벽(8)이 위치한다. 격벽(8)은 제1 전극(4)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 오버행(Overhag) 구조를 갖게 된다. 격벽(8)이 형성된 절연막(6) 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(10)과 제2 전극(12)이 순차적으로 전면 증착된다. A plurality of first electrodes 4 are formed on the substrate 2 at a predetermined interval. On the substrate 2 on which the first electrode 4 is formed, an insulating film 6 having an opening for each EL cell (EL) region is formed. On the insulating film 6, a partition wall 8 for separating the organic light emitting layer 10 and the second electrode 12 to be formed thereon is disposed. The barrier rib 8 is formed in a direction crossing the first electrode 4 and has an overhang structure in which the upper end portion has a larger width than the lower end portion. On the insulating layer 6 on which the barrier ribs 8 are formed, an organic light emitting layer 10 composed of an organic compound and a second electrode 12 are sequentially deposited on the entire surface.

도 5는 본 발명에 따른 유기EL장치의 패드영역을 나타내는 도면이다. 5 is a view showing a pad region of the organic EL device according to the present invention.

도 5에 도시된 유기EL장치의 패드영역의 패드(137)는 외부로부터 구동신호를 공급받기 위하여 도전성 필름(ACF : Anisotropic Conductive Film)(130)을 사이에 두고 TCP(Tape Carrier Package)(132)등과 같은 접속필름들과 전기적으로 접속된다. 패드(137)는 유기EL어레이(50)의 제1 전극(4) 또는 제2 전극(12)과 접속되는 투명도전층(136)과 투명도전층(136)의 도전성을 높이기 위한 불투명도전층(134)이 적층된 구조를 갖는다. 여기서, 불투명도전층(134)은 투명도전층(136) 상에 형성됨과 아울러 투명도전층(136)이 일부 노출되도록 형성된다. 좀더 구체적으로는 패키징판(128) 및 TCP(132)와 중첩되는 영역 이외의 영역에서는 투명도전층(136)이 노 출되도록 형성된다. 불투명도전층(134) 및 투명도전층(136) 상에는 수분 및 산소 등에 의해 불투명도전층(134)의 산화를 방지하기 위한 실리콘층(138)이 형성된다. A pad 137 of a pad region of the organic EL device shown in FIG. 5 is connected to a TCP (Tape Carrier Package) 132 via an electrically conductive film (ACF: Anisotropic Conductive Film) 130 to receive driving signals from the outside. And the like. The pads 137 are formed by a transparent conductive layer 136 connected to the first electrode 4 or the second electrode 12 of the organic EL array 50 and an opaque conductive layer 134 for enhancing the conductivity of the transparent conductive layer 136 And has a laminated structure. Here, the opacity layer 134 is formed on the transparent conductive layer 136, and the transparent conductive layer 136 is partially exposed. More specifically, the transparent conductive layer 136 is formed so as to be exposed in a region other than the region overlapping with the packaging plate 128 and the TCP 132. [ A silicon layer 138 is formed on the opaque conductive layer 134 and the transparent conductive layer 136 to prevent oxidation of the opaque conductive layer 134 by moisture and oxygen.

이와 같이 본 발명에 따른 유기EL표시장치의 패드영역에는 제1 및 제2 전극(4,12) 중 어느 하나와 접속되는 투명도전층(136) 상에 패키징판(128) 및 TCP(132)와 중첩되는 영역에 불투명도전층(134)이 형성된다. 이에 따라, 패드영역 중 패키징판(128) 및 TCP(132)와 중첩되지 않는 영역에서는 투명도전층(136)이 노출되게 형성됨으로써 종래와 비교하여 수분(H2O) 및 산소(O2) 등에 의해 불투명도전층(134)의 산화를 방지할 수 있게 된다. As described above, in the pad region of the organic EL display device according to the present invention, the packaging plate 128 and the TCP 132 are overlapped on the transparent conductive layer 136 connected to any one of the first and second electrodes 4 and 12 The opaque whole layer 134 is formed. Accordingly, the transparent conductive layer 136 is exposed in the region of the pad region that is not overlapped with the packaging plate 128 and the TCP 132, so that the transparent conductive layer 136 is exposed by moisture (H 2 O) and oxygen (O 2 ) It becomes possible to prevent the opacity layer 134 from being oxidized.

이를 보다 상세히 설명하면 다음과 같다. This will be described in more detail as follows.

일반적으로 몰리브덴(Mo) 등으로 형성된 불투명도전층(134)은 수분 및 산소 등에 의해 노출되는 경우 산화되는 성질이 있는데 반해, 투명도전층(136)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide)등으로 형성됨으로써 산소 및 수분 등에 의해 산화되지 않게 된다. 즉, 투명도전층(136)은 옥사이드(Oxide)를 포함함으로써 불투명도전층(134)에 비해 상대적으로 산에 강한 성질을 갖게 된다. In general, the opaque conductive layer 134 formed of molybdenum (Mo) or the like is oxidized when exposed to moisture or oxygen, whereas the transparent conductive layer 136 is formed of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO) ITO (Indium Tin Zinc Oxide) or the like and is not oxidized by oxygen and moisture. That is, since the transparent conductive layer 136 includes oxide, the transparent conductive layer 136 has a stronger property to the acid than the opaque conductive layer 134.

이에 따라, 유기EL어레이(50)가 형성된 기판(102)과 패키징판(128)의 합착공정 및 ACF(130)를 사이에 두고 패드(137)와 TCP(132)와의 접속공정 등이 실시되는 동안 대기중의 수분 및 산소에 의해 노출되더라도 투명도전층(136)은 산화되지 않게 되고, 불투명도전층(134)은 패키징판(128) 및 TCP(132)에 의해 수분 및 산소에 노출되지 않게 됨으로써 어느 도전층도 산화되지 않게 됨으로써 각 패드(37)에 인가되는 전압차에 의한 갈바닉(galvanic) 부식 또한 발생하지 않게 된다. 이에 따라, 패드불량을 방지할 수 있게 된다. Thus, while the bonding process of the substrate 102 on which the organic EL array 50 is formed and the packaging plate 128 and the connection process of the pad 137 and the TCP 132 are performed with the ACF 130 interposed therebetween The opaque conductive layer 134 is not exposed to moisture and oxygen by the packaging plate 128 and the TCP 132 so that the conductive layer 136 is not exposed to moisture and oxygen, The galvanic corrosion due to the voltage difference applied to each pad 37 does not occur. As a result, pad defects can be prevented.

도 6은 본 발명에 따른 유기EL표시장치의 제조방법을 나타내는 순서도이다. 6 is a flowchart showing a manufacturing method of an organic EL display device according to the present invention.

먼저, 기판(102) 상에 유기EL어레이(50)가 형성됨과 아울러 유기EL어레이(50)의 제1 전극(4) 및 제2 전극(12)과 각각 접속되는 투명도전층(136)이 형성된다.(S2) 여기서, 투명도전층(136)으로는 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide) 등이 이용된다. An organic EL array 50 is formed on a substrate 102 and a transparent conductive layer 136 connected to the first electrode 4 and the second electrode 12 of the organic EL array 50 is formed (S2) Here, the transparent conductive layer 136 may be formed of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium tin zinc oxide (ITZO), or the like.

투명도전층(136) 상에 스퍼터링 등의 증착방법을 이용하여 불투명도전물질이 전면 증착된 후 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각공정에 의해 불투명도전물질이 패터닝됨으로써 불투명도전층(134)이 형성된다.(S4) 여기서, 불투명도전층(134)은 후에 실시될 봉지(Encapsulation) 공정에 의해 기판(102)과 합착될 패키징판(28) 및 패드(137)와 전기적으로 접속된 TCP(132)와 중첩될 영역에 형성된다. 이에 따라, 패키징판(128) 및 TCP(132)와 중첩되지 않은 영역의 투명도전층(136)이 노출되게 된다. 이로써, 투명도전층(136) 및 불투명도전층(134)이 적층된 구조의 패드(137)가 형성된다. The opaque conductive material is entirely deposited on the transparent conductive layer 136 by a deposition method such as sputtering and then the opaque conductive material is patterned by the photolithography process and the etching process using the mask to form the opaque conductive layer 134. (S4) Here, the opacity layer 134 overlaps with the TCP 132 electrically connected with the packaging plate 28 and the pad 137 to be bonded to the substrate 102 by a subsequent encapsulation process Region. As a result, the transparent conductive layer 136 in the region that is not overlapped with the packaging plate 128 and the TCP 132 is exposed. Thus, a pad 137 having a structure in which a transparent conductive layer 136 and an opaque conductive layer 134 are laminated is formed.

이어서, 봉지(Encapsulation) 공정에 의해 패키징판(128)이 기판(102)과 합착되고(S6), ACF(130)를 통해 패드(137)와 TCP(132)가 전기적으로 접속된다.(S8) Then, the packaging plate 128 is bonded to the substrate 102 by an encapsulation process (S6), and the pad 137 and the TCP 132 are electrically connected through the ACF 130. (S8)

이후, 노출된 투명도전층(136) 상에 실리콘층(138)이 형성된다.(S10) Thereafter, the silicon layer 138 is formed on the exposed transparent conductive layer 136. (S10)

이와 같이 본 발명에 따른 유기EL표시장치 및 그 제조방법은 유기EL어레이에 구동신호를 공급하는 투명도전층(136) 상에 상기 투명도전층(136)을 일부 노출시킴과 아울러 패키징판(128) 및 TCP(132)과 중첩되는 영역에 불투명도전층(134)이 형성된다. 이에 따라, 수분(H2O) 및 산소(O2) 등에 의해 불투명도전층(134)이 노출되지 않게 됨으로써 불투명도전층(134)의 산화를 방지할 수 있게 된다. 이로써, 각 패드(137)에 인가되는 전압차에 의한 갈바닉(galvanic) 부식 또한 발생하지 않게 되는 등 패드불량을 방지할 수 있게 된다. As described above, the organic EL display device and the method of manufacturing the same according to the present invention partially expose the transparent conductive layer 136 on the transparent conductive layer 136 for supplying driving signals to the organic EL array, The opaque conductive layer 134 is formed in a region overlapping the opaque layer 132. [ Accordingly, the opacity layer 134 is not exposed by moisture (H 2 O), oxygen (O 2 ), or the like, thereby preventing the opacity layer 134 from being oxidized. As a result, galvanic corrosion due to a voltage difference applied to each pad 137 does not occur, and pad defects can be prevented.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기전계발광표시소자 및 그 제조방법은 유기EL어레이에서 신장된 투명도전층 상에 상기 투명도전층을 일부 노출시킴과 아울러 패키징판 및 TCP와 중첩되도록 불투명도전층을 형성된다. 이에 따라, 수분(H2O) 및 산소(O2) 등에 의해 불투명도전층이 노출되지 않게 됨으로써 불투명도전층이 산화됨을 방지할 수 있게 된다. 이로써, 패드부 불량을 방지할 수 있게 된다. As described above, the organic electroluminescence display device and the method of manufacturing the same according to the present invention partially expose the transparent conductive layer on the transparent conductive layer extended in the organic EL array, and form an opaque conductive layer so as to overlap with the packaging plate and TCP . As a result, the opacity layer is not exposed by moisture (H 2 O), oxygen (O 2 ), or the like, thereby preventing the opacity layer from being oxidized. This makes it possible to prevent the pad portion from being defective.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서,본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.

Claims (10)

유기전계발광어레이와; An organic electroluminescent array; 상기 유기전계발광어레이를 감싸는 패키징 판과; A packaging plate surrounding the organic electroluminescent array; 상기 유기전계발광어레이에 구동신호를 공급함과 아울러 상기 패키징 판의 외부에 위치하며 제1 및 제2 도전층으로 구성되는 패드와; A pad provided outside the packaging plate, the first and second conductive layers supplying a driving signal to the organic electroluminescent array; 상기 패드와 전기적으로 접속되는 신호공급필름을 구비하고, And a signal supply film electrically connected to the pad, 상기 제2 도전층은 상기 신호공급필름과 비중첩되는 영역에서 상기 제1 도전층을 노출시키는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.Wherein the second conductive layer exposes the first conductive layer in a region that is not overlapped with the signal supply film. 제 1 항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 제1 도전층 상에 형성된 실리콘층을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.Further comprising a silicon layer formed on the first conductive layer. 제 2 항에 있어서, 3. The method of claim 2, 상기 제2 도전층은 상기 패키징판 및 상기 접속필름 이외의 영역에서 일부 제거된 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치. Wherein the second conductive layer is partially removed from regions other than the packaging plate and the connection film. 제 1 항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 제1 도전층은 옥사이드를 포함하고,Wherein the first conductive layer comprises an oxide, 상기 제2 도전층은 몰리브덴(Mo)을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발 광표시장치.Wherein the second conductive layer comprises molybdenum (Mo). 제 1 항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 유기전계발광어레이는 애노드 전극 및 캐소드 전극을 포함하고,Wherein the organic electroluminescent array comprises an anode electrode and a cathode electrode, 상기 제1 도전층은 상기 애노드 전극 및 캐소드 전극 중 적어도 어느 하나와 동일 물질인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치.Wherein the first conductive layer is the same material as at least one of the anode electrode and the cathode electrode. 유기전계발광어레이 및 상기 유기전계발광어레이에 구동신호를 공급하는 하는 패드를 형성하는 단계와;Forming an organic electroluminescent array and a pad for supplying a driving signal to the organic electroluminescent array; 패키징 판을 이용하여 상기 유기전계발광어레이를 패키징시키고 상기 패드는 외부로 노출시키는 단계와;Packaging the organic electroluminescent array using a packaging plate and exposing the pad to the outside; 상기 패드와 신호공급필름을 접속시키는 단계를 포함하고,Connecting the pad and the signal supply film, 상기 패드를 형성하는 단계는,Wherein forming the pad comprises: 제1 도전층을 형성하는 단계와;Forming a first conductive layer; 상기 신호공급필름과 비중첩되는 영역에 형성되며 상기 제1 도전층을 노출시키는 제2 도전층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.And forming a second conductive layer formed in a region that is not overlapped with the signal supply film and exposing the first conductive layer. 제 6 항에 있어서, The method according to claim 6, 상기 제1 도전층 상에 실리콘층을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법. Further comprising forming a silicon layer on the first conductive layer. &Lt; Desc / Clms Page number 20 &gt; 제 7 항에 있어서, 8. The method of claim 7, 상기 제2 도전층은 상기 패키징판 및 상기 접속필름의 이외의 영역에서 일부 제거되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법. Wherein the second conductive layer is partially removed in a region other than the packaging plate and the connection film. 제 6 항에 있어서, The method according to claim 6, 상기 제1 도전층은 옥사이드를 포함하고,Wherein the first conductive layer comprises an oxide, 상기 제2 도전층은 몰리브덴(Mo)을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.Wherein the second conductive layer comprises molybdenum (Mo). 제 6 항에 있어서, The method according to claim 6, 상기 유기전계발광어레이는 애노드 전극 및 캐소드 전극을 포함하고,Wherein the organic electroluminescent array comprises an anode electrode and a cathode electrode, 상기 제1 도전층은 상기 애노드 전극 및 캐소드 전극 중 적어도 어느 하나와 동일 물질인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조방법.Wherein the first conductive layer is the same material as at least one of the anode electrode and the cathode electrode.
KR1020040011583A 2004-02-20 2004-02-20 Organic Electro Luminescence Display Device And Method For Fabricating Thereof KR100717327B1 (en)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040011583A KR100717327B1 (en) 2004-02-20 2004-02-20 Organic Electro Luminescence Display Device And Method For Fabricating Thereof
EP20050002341 EP1566838A3 (en) 2004-02-20 2005-02-04 Organic electro-luminescence display device and fabricating method thereof
JP2005039392A JP2005235766A (en) 2004-02-20 2005-02-16 Device and method for manufacturing organic electroluminescent display element
US11/058,607 US7358664B2 (en) 2004-02-20 2005-02-16 Organic electro-luminescence display device having a pad portion
CNB2005100083630A CN100539245C (en) 2004-02-20 2005-02-17 Organic electro-luminescence display device and manufacture method thereof
US11/826,762 US7919919B2 (en) 2004-02-20 2007-07-18 Organic electroluminescent display having a specific structure for a pad supplying the drive signal
JP2010292313A JP2011066017A (en) 2004-02-20 2010-12-28 Organic electroluminescent display element and method of manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040011583A KR100717327B1 (en) 2004-02-20 2004-02-20 Organic Electro Luminescence Display Device And Method For Fabricating Thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050082961A KR20050082961A (en) 2005-08-24
KR100717327B1 true KR100717327B1 (en) 2007-05-15

Family

ID=37269292

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040011583A KR100717327B1 (en) 2004-02-20 2004-02-20 Organic Electro Luminescence Display Device And Method For Fabricating Thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100717327B1 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100779946B1 (en) * 2005-07-20 2007-11-28 주식회사 대우일렉트로닉스 Organic Light Emitting Diode
KR100726954B1 (en) * 2005-09-28 2007-06-14 엘지전자 주식회사 Organic Electro Luminescence Display Device And Method For Fabricating Thereof
KR100726941B1 (en) * 2005-10-06 2007-06-14 엘지전자 주식회사 Organic Electro-Luminescence Display Device And Fabricating Method Thereof
KR100726939B1 (en) * 2005-10-06 2007-06-14 엘지전자 주식회사 Organic Electro-Luminescence Display Device And Fabricating Method Thereof
KR100726940B1 (en) * 2005-10-06 2007-06-14 엘지전자 주식회사 Organic Electro-Luminescence Display Device And Fabricating Method Thereof
KR100805388B1 (en) * 2006-07-12 2008-02-25 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Light Emitting Display

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02260389A (en) * 1989-03-31 1990-10-23 Hitachi Maxell Ltd Socket for connection of dispersed el device and driving circuit
JPH05152069A (en) * 1991-11-28 1993-06-18 Nec Kansai Ltd Thin film el element and manufacture thereof
JP2000243558A (en) 1999-02-16 2000-09-08 Tohoku Pioneer Corp Light emitting display panel and manufacture thereof
JP2001351778A (en) 2000-06-08 2001-12-21 Tohoku Pioneer Corp Organic electroluminescent display device and its manufacturing method
KR20030032736A (en) * 2001-10-19 2003-04-26 삼성전자주식회사 Displaying substrate and liquid crystal display device having the same
JP2003217835A (en) * 2002-01-17 2003-07-31 Nippon Seiki Co Ltd Electroluminescence element

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02260389A (en) * 1989-03-31 1990-10-23 Hitachi Maxell Ltd Socket for connection of dispersed el device and driving circuit
JPH05152069A (en) * 1991-11-28 1993-06-18 Nec Kansai Ltd Thin film el element and manufacture thereof
JP2000243558A (en) 1999-02-16 2000-09-08 Tohoku Pioneer Corp Light emitting display panel and manufacture thereof
JP2001351778A (en) 2000-06-08 2001-12-21 Tohoku Pioneer Corp Organic electroluminescent display device and its manufacturing method
KR20030032736A (en) * 2001-10-19 2003-04-26 삼성전자주식회사 Displaying substrate and liquid crystal display device having the same
JP2003217835A (en) * 2002-01-17 2003-07-31 Nippon Seiki Co Ltd Electroluminescence element

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050082961A (en) 2005-08-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7919919B2 (en) Organic electroluminescent display having a specific structure for a pad supplying the drive signal
KR100755398B1 (en) Organic Electro-luminescence Display Device and Method For Fabricating Thereof
JP2006004942A (en) Organic electroluminescent display device and manufacturing method for the same
JP3918558B2 (en) Organic EL display device
JP5181226B2 (en) Organic electroluminescence display device
KR100717327B1 (en) Organic Electro Luminescence Display Device And Method For Fabricating Thereof
JP2007286212A (en) Organic el display device
KR20020043324A (en) Organic electroluminescence display device and method for fabricating thereof
KR100631121B1 (en) Organic Electro Luminescence Display Device And Method For Fabricating Thereof
KR100623449B1 (en) Organic Electro-Luminescence Display Device And Fabricating Method Thereof
KR100638139B1 (en) Organic Electro-Luminescence Display Device And Fabricating Method Thereof
KR20070038312A (en) Organic electro-luminescence display device and fabricating method thereof
KR100623450B1 (en) Organic Electro-Luminescence Display Device And Fabricating Method Thereof
KR100696593B1 (en) Organic Electro-Luminescence Display Device And Fabricating Method Thereof
KR100623447B1 (en) Organic Electro-Luminescence Device
KR100726954B1 (en) Organic Electro Luminescence Display Device And Method For Fabricating Thereof
KR100726943B1 (en) Organic Electro Luminescence Display Device And Method For Fabricating Thereof
KR100692873B1 (en) Masking apparatus and method for fabricating organic electro luminescence display device using the same
KR100692846B1 (en) Organic electro-luminescence display device and fabricating method thereof
KR100641733B1 (en) Organic Electro-Luminescence Display Device And Fabricating Method Thereof
KR20070067502A (en) Organic electro-luminescence display device and fabricating method thereof
KR100696440B1 (en) Organic Electro-Luminescence Display Device And Fabricating Method Thereof
KR100625034B1 (en) Organic electro-luminescence display device and fabricating method thereof
KR100726994B1 (en) Organic Electro-Luminescence Display Device And Fabricating Method Thereof
KR20060036795A (en) Mother glass for organic electro luminescence device and fabricating method of organic electro luminescence device using the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130424

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140424

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150424

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160422

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170424

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180424

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190424

Year of fee payment: 13