KR100631121B1 - Organic Electro Luminescence Display Device And Method For Fabricating Thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 패드부 불량을 방지할 수 있는 유기전계발광표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same that can prevent the failure of the pad portion.

본 발명에 따른 유기전계발광표시소자는 유기전계발광어레이의 제1 및 제2 전극 중 적어도 어느 하나와 전기적으로 접속된 제1 도전층과; 상기 제1 도전층 상에 형성된 제2 도전층과; 상기 제1 및 제2 도전층을 덮도록 형성되며 상기 제2 도전층을 일부 노출시키는 홀을 갖는 더미 절연패턴과; 상기 제2 도전층을 일부 노출시키는 상기 홀을 통해 상기 패드와 전기적으로 접속되는 신호공급필름을 포함하는 패드부를 구비한다. An organic light emitting display device according to the present invention comprises: a first conductive layer electrically connected to at least one of the first and second electrodes of an organic light emitting array; A second conductive layer formed on the first conductive layer; A dummy insulating pattern formed to cover the first and second conductive layers and having a hole partially exposing the second conductive layer; And a pad part including a signal supply film electrically connected to the pad through the hole partially exposing the second conductive layer.

Description

유기전계발광표시소자 및 그 제조방법{Organic Electro Luminescence Display Device And Method For Fabricating Thereof} Organic electroluminescent display device and manufacturing method therefor {Organic Electro Luminescence Display Device And Method For Fabricating Thereof}             

도 1은 종래의 유기전계발광표시소자를 개략적으로 나타내는 단면도이다. 1 is a cross-sectional view schematically illustrating a conventional organic light emitting display device.

도 2는 도 1에 도시된 유기전계발광어레이의 Ⅰ-Ⅰ' 선을 절단하여 나타내는 단면도이다. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II ′ of the organic light emitting array shown in FIG. 1.

도 3은 종래의 유기전계발광표시소자의 패드부를 나타내는 도면이다.3 is a diagram illustrating a pad portion of a conventional organic light emitting display device.

도 4는 종래의 패드부의 불량을 나타내는 도면이다.4 is a view showing a failure of a conventional pad portion.

도 5는 본 발명에 따른 유기전계발광표시소자의 일부를 나타내는 도면이다. 5 is a view illustrating a part of an organic light emitting display device according to the present invention.

도 6은 도 5에 도시된 패드부(A)를 구체적으로 나타내는 사시도이고, 도 7은 도 5의 Ⅱ-Ⅱ' 선을 절단하여 나타내는 단면도이다. FIG. 6 is a perspective view illustrating the pad part A illustrated in FIG. 5 in detail, and FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line II-II ′ of FIG. 5.

도 8은 본 발명에 따른 유기전계발광표시소자의 제조방법을 나타내는 순서도이다.8 is a flowchart illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명> <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

2,102 : 기판 4 : 제1 전극 2,102: substrate 4: first electrode

10 : 유기 발광층 12 : 제2 전극 10 organic light emitting layer 12 second electrode

26,126 : 실런트 28,128 : 패키징판 26,126: Sealant 28,128: Packaging Plate

30,130 : ACF 32, 132: 신호공급필름30,130: ACF 32, 132: Signal supply film

34,134 : 불투명도전층 36,136 : 투명도전층 34,134: opaque conductive layer 36,136: transparent conductive layer

38, 138: 실리콘막 175 : 더미 절연패턴
180 : 접촉홀38 and 138: silicon film 175: dummy insulating pattern
180: contact hole

본 발명은 유기전계발광표시소자에 관한 것으로, 특히, 패드부 불량을 방지할 수 있는 유기전계발광표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to an organic light emitting display device, and more particularly, to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same that can prevent a failure of a pad portion.

최근 들어, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : 이하 "LCD"라 함), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : 이하 PDP"라 함) 및 일렉트로 루미네센스(Electro-luminescence:이하 "EL "이라 함)표시장치 등이 있다. 이와 같은 평판표시장치의 표시품질을 높이고 대화면화를 시도하는 연구들이 활발히 진행되고 있다. Recently, various flat panel displays have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. Such flat panel displays include liquid crystal displays (hereinafter referred to as "LCDs"), field emission displays (FEDs), plasma display panels (hereinafter referred to as PDPs), and electroluminescence. Nessence ("EL") display device, etc. There are active researches to improve the display quality of such a flat panel display device and attempt to enlarge the screen.

이들 중 PDP는 구조와 제조공정이 단순하기 때문에 경박 단소하면서도 대화면화에 가장 유리한 표시장치로 주목받고 있지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있다. 이에 비하여, 스위칭 소자로 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)가 적용된 액티브 매트릭스 LCD는 반도체공정을 이용하기 때문에 대화면화에 어렵고 백라이트 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점이 있고, 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 특성이 있다. Among them, PDP is attracting attention as a display device which is light and small and is most advantageous for large screen because of its simple structure and manufacturing process. However, PDP has low luminous efficiency, low luminance and high power consumption. On the other hand, an active matrix LCD having a thin film transistor (hereinafter referred to as a TFT) as a switching element has a disadvantage in that it is difficult to large screen due to the semiconductor process and consumes a lot of power due to the backlight unit. , Optical prism sheet, diffusion plate, etc. are characterized by high optical loss and narrow viewing angle.

이에 비하여, EL표시소자는 발광층의 재료에 따라 무기EL소자와 유기EL소자로 대별되며 스스로 발광하는 자발광소자로서 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 무기EL소자는 유기EL소자에 비하여 전력소모가 크고 고휘도를 얻을 수 없으며 R, G, B의 다양한 색을 발광시킬 수 없다. 반면에, 유기EL소자는 수십 볼트의 낮은 직류 전압에서 구동됨과 아울러, 빠른 응답속도를 가지고, 고휘도를 얻을 수 있으며 R, G, B의 다양한 색을 발광시킬 수 있어 차세대 평판 디스플레이소자에 적합하다. In contrast, the EL display device is classified into an inorganic EL device and an organic EL device according to the material of the light emitting layer. The EL display device is a self-luminous device that emits light by itself. Inorganic EL devices have higher power consumption and higher luminance than organic EL devices and cannot emit various colors of R, G, and B. On the other hand, the organic EL device is driven at a low DC voltage of several tens of volts, has a fast response speed, obtains high brightness, and emits various colors of R, G, and B, which is suitable for next-generation flat panel display devices.

도 1은 종래의 유기EL표시소자를 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 유기EL어레이의 Ⅰ-Ⅰ'선을 절단하여 나타내는 단면도이다. 1 is a cross-sectional view schematically showing a conventional organic EL display element, and FIG. 2 is a cross-sectional view cut along the line II ′ of the organic EL array shown in FIG. 1.

도 1 및 2에 도시된 유기EL어레이(50)는 기판(2) 상에 제1 전극(또는 애노드전극)(4)과 제2 전극(또는 캐소드전극)(12)이 서로 교차하는 방향으로 형성된다. The organic EL array 50 shown in FIGS. 1 and 2 is formed on the substrate 2 in a direction in which the first electrode (or anode electrode) 4 and the second electrode (or cathode electrode) 12 cross each other. do.

제1 전극(4)은 기판(2) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 제1 전극(4)이 형성된 기판(2) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(6)이 형성된다. 절연막(6) 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(10) 및 제2 전극(12)의 분리를 위한 격벽(8)이 위치한다. 격벽(8)은 제1 전극(4)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 오버행(Overhang) 구조를 갖게 된다. 격벽(8)이 형성된 절연막(6) 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(10)과 제2 전극(12)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기 발광층(10)은 적(R),녹(G),청(B)의 컬러를 표현하게 되는데, 일반적인 방법으로는 각 화소(P)마다 적, 녹, 청색을 발광하는 별도의 유기물질이 패터닝됨으로써 형성된다. A plurality of first electrodes 4 are spaced apart at predetermined intervals on the substrate 2. On the substrate 2 on which the first electrode 4 is formed, an insulating film 6 having an opening for each EL cell EL region is formed. On the insulating film 6, a partition 8 for separating the organic light emitting layer 10 and the second electrode 12 to be formed thereon is positioned. The partition 8 is formed in a direction crossing the first electrode 4 and has an overhang structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion. On the insulating film 6 on which the partition 8 is formed, the organic light emitting layer 10 and the second electrode 12 made of an organic compound are sequentially deposited on the entire surface. The organic light emitting layer 10 expresses the colors of red (R), green (G), and blue (B). In general, a separate organic material emitting red, green, and blue light is emitted for each pixel (P). It is formed by patterning.

유기발광층(10)은 도 2에 도시된 바와 같이 제1 전극(4) 상에 순차적으로 형성된 정공 주입층(10e), 정공수송층(10d), 발광층(10c), 전자수송층(10b) 및 전자주입층(10a)을 포함한다. As shown in FIG. 2, the organic light emitting layer 10 may include a hole injection layer 10e, a hole transport layer 10d, a light emitting layer 10c, an electron transport layer 10b, and an electron injection sequentially formed on the first electrode 4. Layer 10a.

이러한, 유기EL표시소자는 제1 전극(4)과 제2 전극(12) 사이에 전압이 인가되면, 제2 전극(12)으로부터 발생된 전자(또는 캐소드)는 전자 주입층(10a) 및 전자 수송층(10b)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동된다. 또한, 제1 전극(4)으로 부터 발생된 정공(또는 애노드)은 정공 주입층(10e) 및 정공 수송층(10d)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(10c)에서는 전자수송층(10b)과 정공수송층(10d)으로부터 공급되어진 전자와 전공의 재결합으로 엑시톤(Exiton)이 형성되고, 이러한 엑시톤은 다시 기저상태로 여기되면서 일정한 에너지의 빛을 제1 전극(4)을 통하여 외부로 방출됨으로써 화상이 표시되게 된다. In the organic EL display device, when a voltage is applied between the first electrode 4 and the second electrode 12, the electrons (or cathodes) generated from the second electrode 12 are transferred to the electron injection layer 10a and the electrons. It moves toward the light emitting layer 10c through the transport layer 10b. In addition, holes (or anodes) generated from the first electrode 4 move toward the light emitting layer 10c through the hole injection layer 10e and the hole transport layer 10d. Accordingly, in the light emitting layer 10c, exciton is formed by recombination of electrons and electrons supplied from the electron transport layer 10b and the hole transport layer 10d, and the exciton is excited to the ground state and emits light of constant energy. The image is displayed by being discharged to the outside through the first electrode 4.

이러한 유기EL어레이(50)에는 수분 및 산소에 쉽게 열화되는 특성을 가지고 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 봉지(Encapsulation) 공정이 실시됨으로써 유기EL어레이(50)가 형성된 기판(2)과 캡(28)이 실런트(26)를 통해 합착된다. The organic EL array 50 has a property that is easily degraded by moisture and oxygen. In order to solve this problem, an encapsulation process is performed to bond the substrate 2 and the cap 28 on which the organic EL array 50 is formed through the sealant 26.

도 3은 종래의 유기EL소자의 패드부를 나타내는 도면이다. 3 is a view showing a pad portion of a conventional organic EL element.

도 3에 도시된 유기EL소자의 패드부의 패드(37)는 외부로부터 구동신호를 공급받기 위하여 이방성 도전성 필름(ACF : Antisotropic Conductive Film)(30)을 사이에 두고 COF(Chip On Film), TCP(Tape Carrier Package)등과 같은 신호공급필름(32)과 전기적으로 접속된다. 패드(37)는 유기EL어레이(50)의 제1 전극(4) 또는 제2 전극(12)과 접속되는 투명도전층(36)과, 투명도전층(36)의 도전성을 높이기 위한 불투명도전층(34)이 적층된 구조를 갖는다. 여기서, 투명도전층(36)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide) 등이 이용되고, 불투명도전층(34)으로는 몰리브덴(Mo) 등이 이용된다. 또한, 불투명도전층(34) 상에는 수분 및 산소 등에 의해 불투명도전층(34)의 산화를 방지하기 위한 실리콘막(38)이 형성된다. The pad 37 of the pad portion of the organic EL device shown in FIG. 3 has a chip on film (COF) and TCP (Anisotropic Conductive Film (ACF) 30 interposed therebetween to receive a driving signal from the outside. And a signal supply film 32 such as a tape carrier package). The pad 37 includes a transparent conductive layer 36 connected to the first electrode 4 or the second electrode 12 of the organic EL array 50, and an opaque conductive layer 34 for enhancing the conductivity of the transparent conductive layer 36. It has a laminated structure. The transparent conductive layer 36 may be formed of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium tin zinc oxide (ITZO), or the like, and molybdenum (Mo) may be used as the opaque conductive layer 34. On the opaque conductive layer 34, a silicon film 38 is formed to prevent oxidation of the opaque conductive layer 34 by moisture, oxygen, or the like.

그러나, 종래의 유기EL표시소자에서는 상기 불투명도전층(34)이 유기EL어레이(50)가 형성된 기판(2)과 캡(28)의 합착공정 및 ACF(30)를 사이에 두고 패드(37)와 신호공급필름(32)과의 접속공정 등이 실시되는 동안 도 4에 도시된 바와 같이 대기중의 수분 및 산소에 의해 노출되게 된다. 이렇게 노출된 불투명도전층(34)에는 산화가 일어나게 된다. 또한, 상기 불투명도전층(34) 상에 실리콘막(38)이 형성된 후에도 실리콘막(38)과 투명도전층(36) 및 불투명도전층(34) 사이의 계면으로 산소 및 수분이 침투함으로써 불투명도전층(34)에는 산화가 일어나게 된다. 이러한 산화는 곧 각 패드(37)에 인가되는 전압차에 의한 갈바니(Galvanic) 부식을 촉진시킴으로써 외부구동신호가 유기EL어레이(50)에 인가되지 않게 되는 등 패드부 불량 문제를 초래하게 된다. However, in the conventional organic EL display device, the opaque conductive layer 34 is formed by bonding the substrate 2 and the cap 28 on which the organic EL array 50 is formed and the ACF 30 between the pad 37 and the pad 37. As shown in FIG. 4, the connection with the signal supply film 32 is performed by moisture and oxygen in the air. Oxidation occurs in the opaque conductive layer 34 thus exposed. In addition, even after the silicon film 38 is formed on the opaque conductive layer 34, oxygen and moisture penetrate into the interface between the silicon film 38, the transparent conductive layer 36, and the opaque conductive layer 34. Oxidation occurs. This oxidation immediately causes galvanic corrosion due to the voltage difference applied to each pad 37, resulting in a pad failure problem such that the external drive signal is not applied to the organic EL array 50.

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따라서, 본 발명의 목적은 패드부 불량을 방지할 수 있는 유기전계발광표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
Accordingly, an object of the present invention relates to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same that can prevent a failure of a pad portion.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기전계발광표시소자는 상기 패드부는 상기 유기전계발광어레이의 제1 및 제2 전극 중 적어도 어느 하나와 전기적으로 접속된 제1 도전층과; 상기 제1 도전층 상에 형성된 제2 도전층과; 상기 제1 및 제2 도전층을 덮도록 형성되며 상기 제2 도전층을 일부 노출시키는 홀을 갖는 더미 절연패턴 및; 상기 제2 도전층을 일부 노출시키는 상기 홀을 통해 상기 패드와 전기적으로 접속되는 신호공급필름을 포함하는 패드부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 유기전계발광어레이를 패키징하는 캡을 더 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the organic light emitting display device according to the present invention comprises: a pad portion comprising: a first conductive layer electrically connected to at least one of the first and second electrodes of the organic light emitting array; A second conductive layer formed on the first conductive layer; A dummy insulating pattern formed to cover the first and second conductive layers and having a hole partially exposing the second conductive layer; And a pad part including a signal supply film electrically connected to the pad through the hole partially exposing the second conductive layer.
It characterized in that it further comprises a cap for packaging the organic light emitting array.

상기 더미 절연패턴 상에 형성된 실리콘막을 더 구비하는 것을 특징으로 한다. A silicon film formed on the dummy insulating pattern is further provided.

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상기 유기전계발광어레이는 상기 제1 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 구비하고, 상기 절연막은 상기 더미 절연패턴과 동일물질인 것을 특징으로 한다.The organic light emitting array has an insulating film defining a light emitting area by partially exposing the first electrode, wherein the insulating film is made of the same material as the dummy insulating pattern.

본 발명은 유기전계발광어레이에 구동신호를 전달하는 패드부를 형성하는 단계를 포함하는 유기전계발광표시소자의 제조방법에 있어서, 상기 패드부를 형성하는 단계는 기판 상에 상기 유기전계발광어레이의 제1 및 제2 전극 중 적어도 어느 하나와 전기적으로 접속되는 제1 도전층을 형성하는 단계와; 상기 제1 도전층 상에 제2 도전층을 형성하는 단계와; 상기 제1 및 제2 도전층을 덮도록 형성되며 상기 제2 도전층을 일부 노출시키는 홀을 갖는 더미 절연패턴을 형성하는 단계 및; 상기 제2 도전층을 노출시키는 상기 홀을 통해 상기 패드에 신호공급필름을 접속시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 유기전계발광어레이를 패키징하기 위해 캡을 상기 기판과 합착시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention provides a method of manufacturing an organic light emitting display device, the method comprising: forming a pad unit for transmitting a driving signal to an organic light emitting array; And forming a first conductive layer electrically connected to at least one of the second electrodes; Forming a second conductive layer on the first conductive layer; Forming a dummy insulating pattern formed to cover the first and second conductive layers, the dummy insulating pattern having a hole partially exposing the second conductive layer; And connecting a signal supply film to the pad through the hole exposing the second conductive layer.
And bonding the cap with the substrate to package the organic electroluminescent array.

상기 더미 절연패턴 상에 실리콘막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. The method may further include forming a silicon film on the dummy insulating pattern.

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상기 유기전계발광어레이는 상기 제1 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 구비하고, 상기 절연막은 상기 더미 절연패턴과 동일물질로 동시에 형성되는 것을 특징으로 한다. The organic light emitting array has an insulating film defining a light emitting area by partially exposing the first electrode, and the insulating film is formed of the same material as the dummy insulating pattern.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 5 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 8.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 유기EL표시소자의 일부를 나타내는 도면이고, 도 6은 도 5에 도시된 패드부(A)의 패드를 구체적으로 나타내는 도면이고, 도 7은 도 5에 도시된 Ⅱ-Ⅱ'선을 절단하여 도시한 도면이다. FIG. 5 is a view showing a part of an organic EL display device according to an exemplary embodiment of the present invention, FIG. 6 is a view showing in detail a pad of the pad portion A shown in FIG. 5, and FIG. 7 is shown in FIG. It is a figure which cut | disconnected the line II-II '.

도 5 내지 도 7에 도시된 본 발명에 따른 유기EL표시소자의 유기EL어레이(150)의 구조는 종래와 동일하다. 기판(102) 상에 제1 전극(또는 애노드 전극)(104)과 제2 전극(또는 캐소드 전극)(112)이 서로 교차하는 방향으로 형성된다. The structure of the organic EL array 150 of the organic EL display device according to the present invention shown in Figs. 5 to 7 is the same as in the prior art. The first electrode (or anode electrode) 104 and the second electrode (or cathode electrode) 112 are formed on the substrate 102 in a direction crossing each other.

제1 전극(104)은 기판(102) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 제1 전극(104)이 형성된 기판(102) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(106)이 형성된다. 절연막(106) 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(110) 및 제2 전극(112)의 분리를 위한 격벽(108)이 위치한다. 격벽(108)은 제1 전극(104)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 오버행(Overhag) 구조를 갖게 된다. 격벽(108)이 형성된 절연막(106) 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(110)과 제2 전극(112)이 순차적으로 전면 증착된다. The first electrode 104 is formed on the substrate 102 spaced apart by a predetermined interval. On the substrate 102 on which the first electrode 104 is formed, an insulating film 106 having an opening for each EL cell EL region is formed. The partition 108 is disposed on the insulating layer 106 to separate the organic light emitting layer 110 and the second electrode 112 to be formed thereon. The partition 108 is formed in a direction crossing the first electrode 104 and has an overhag structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion. On the insulating layer 106 on which the partition 108 is formed, the organic light emitting layer 110 and the second electrode 112 made of an organic compound are sequentially deposited on the entire surface.

유기EL표시소자의 패드부의 패드(137)는 외부로부터 구동신호를 공급받기 위하여 이방성 도전성 필름(ACF : Antisotropic Conductive Film)(130)을 사이에 두고 COF(Chip On Film), TCP(Tape Carrier Package)등과 같은 신호공급필름(132)들과 전기적으로 접속된다. The pad 137 of the pad portion of the organic EL display device has a chip on film (COF) and a tape carrier package (TCP) with an anisotropic conductive film (ACF) 130 interposed therebetween to receive a driving signal from the outside. It is electrically connected to the signal supply films 132 such as.

패드(137)는 유기EL어레이(150)의 제1 전극(104) 또는 제2 전극(112)과 접속되는 투명도전층(136)과, 투명도전층(136)의 도전성을 높이기 위한 불투명도전층(134)과, 투명도전층(136) 및 불투명도전층(134)을 덮도록 형성되는 더미 절연패턴(175)을 구비한다.The pad 137 may include a transparent conductive layer 136 connected to the first electrode 104 or the second electrode 112 of the organic EL array 150, and an opaque conductive layer 134 to increase the conductivity of the transparent conductive layer 136. And a dummy insulating pattern 175 formed to cover the transparent conductive layer 136 and the opaque conductive layer 134.

더미 절연패턴(175)은 불투명도전층(34)의 산화 및 부식을 방지하는 역할한다. 다시 말해서, 수분(H2O) 및 산소(O2) 등에 취약한 몰리브덴(Mo) 등으로 형성된 불투명도전층(134)을 덮도록 더미 절연패턴(175)이 형성됨으로써 불투명도전층(134)이 수분(H2O) 및 산소(O2) 등에 노출되지 않게 된다. 이에 따라, 패드(37)가 산화 및 부식되는 등의 패드부 불량을 방지할 수 있게 된다. The dummy insulating pattern 175 serves to prevent oxidation and corrosion of the opaque conductive layer 34. In other words, the dummy insulating pattern 175 is formed to cover the opaque conductive layer 134 formed of molybdenum (Mo), which is vulnerable to moisture (H 2 O), oxygen (O 2 ), and the like. 2 O) and oxygen (O 2 ) is not exposed. As a result, it is possible to prevent failure of the pad part such as oxidation of the pad 37 and corrosion.

한편, 더미 절연패턴(175)에는 불투명도전층(134)을 일부 노출시키는 접촉홀(180)이 형성되고, 신호공급필름(132)은 접촉홀(180)을 통해 노출되는 불투명도전층(134)과 접속됨으로써 패드(137)와 전기적으로 접속될 수 있게 된다. Meanwhile, a contact hole 180 exposing a portion of the opaque conductive layer 134 is formed in the dummy insulating pattern 175, and the signal supply film 132 is connected to the opaque conductive layer 134 exposed through the contact hole 180. This allows electrical connection with the pad 137.

여기서, 투명도전층(136)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide) 등이 이용되고, 불투명도전층(134)으로는 몰리브덴(Mo) 등이 이용된다. 더미 절연패턴(175)은 유기EL어레이(150)의 절연패턴(106)과 동일물질로 형성된다. The transparent conductive layer 136 may be formed of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium tin zinc oxide (ITZO), or the like, and molybdenum (Mo) may be used as the opaque conductive layer 134. The dummy insulating pattern 175 is formed of the same material as the insulating pattern 106 of the organic EL array 150.

더미 절연패턴(175) 상에와 기판(102)과 더미 절연패턴(175)의 계면영역 상에 실리콘막(138)이 더 형성됨으로써 불투명도전층(134)의 보호에 만전을 기할 수 있게 된다. Since the silicon film 138 is further formed on the dummy insulating pattern 175 and on the interface region between the substrate 102 and the dummy insulating pattern 175, protection of the opaque conductive layer 134 may be ensured.

이와 같이 본 발명에 따른 유기EL표시소자의 패드부는 유기EL어레이(150)의 제1 및 제2 전극(104,112) 중 적어도 어느 하나와 전기적으로 접속된 투명도전층(136) 및 불투명도전층(134)과, 투명도전층(136) 및 불투명도전층(134)을 덮도록 형성되며 상기 불투명도전층(134)을 일부 노출시키는 접촉홀(180)을 갖는 더미 절연패턴(175)이 형성된다. 이에 따라, 수분 및 산소 등으로부터 불투명도전층(34)을 보호할 수 있게 됨으로써 패드부 불량을 방지할 수 있게 된다. As such, the pad portion of the organic EL display device according to the present invention may include a transparent conductive layer 136 and an opaque conductive layer 134 electrically connected to at least one of the first and second electrodes 104 and 112 of the organic EL array 150. The dummy insulating pattern 175 is formed to cover the transparent conductive layer 136 and the opaque conductive layer 134 and has contact holes 180 partially exposing the opaque conductive layer 134. Accordingly, the opaque conductive layer 34 can be protected from moisture, oxygen, and the like, thereby preventing failure of the pad portion.

도 6은 본 발명에 따른 유기EL표시소자의 제조방법을 나타내는 순서도이다. 6 is a flowchart showing a method of manufacturing an organic EL display device according to the present invention.

먼저, 기판(102) 상에 유기EL어레이(150)의 제1 전극(104) 및 제2 전극(112)과 각각 접속되는 투명도전층(136)이 형성된다.(S2) 여기서, 투명도전층(136)으로는 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide) 등이 이용된다. First, a transparent conductive layer 136 connected to the first electrode 104 and the second electrode 112 of the organic EL array 150 is formed on the substrate 102. (S2) Here, the transparent conductive layer 136 Indium Tin Oxide (ITO), Indium Zinc Oxide (IZO), Indium Tin Zinc Oxide (ITZO), and the like are used.

투명도전층(136) 상에 스퍼터링 등의 증착방법을 이용하여 불투명도전물질이 전면 증착된 후 마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각공정에 의해 불투명도전물질이 패터닝됨으로써 불투명도전층(134)이 형성된다.(S4) After the opaque conductive material is entirely deposited on the transparent conductive layer 136 using a deposition method such as sputtering, the opaque conductive layer 134 is formed by patterning the opaque conductive material by a photolithography process and an etching process using a mask. (S4)

이후, 제1 전극(104), 투명도전층(136) 및 불투명도전층(134)이 형성된 기판(102) 상에 감광성절연물질이 증착된 후 포토리쏘그래피 공정에 의해 감광성 절연물질이 패터닝됨으로써 유기EL어레이(150)의 절연막(106)과, 불투명도전층(134) 상에 더미 절연패턴(175)이 형성된다.(S6) 절연막(106)은 제1 전극(104)을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하고, 더미 절연막(175)은 투명도전층(136) 및 불투명 도전층(134)을 덮도록 형성됨과 동시에 불투명도전층(134)의 일부를 노출시키는 접촉홀(180)을 포함한다. Thereafter, after the photosensitive insulating material is deposited on the substrate 102 on which the first electrode 104, the transparent conductive layer 136, and the opaque conductive layer 134 are formed, the photosensitive insulating material is patterned by a photolithography process, thereby forming an organic EL array. A dummy insulating pattern 175 is formed on the insulating film 106 of 150 and the opaque conductive layer 134. (S6) The insulating film 106 partially exposes the first electrode 104 to define a light emitting area. The dummy insulating layer 175 includes a contact hole 180 formed to cover the transparent conductive layer 136 and the opaque conductive layer 134 and to expose a portion of the opaque conductive layer 134.

이로써, 투명도전층(136), 불투명도전층(134) 및 더미 절연패턴(175)이 적층된 구조의 패드(137)가 형성된다. As a result, a pad 137 having a structure in which the transparent conductive layer 136, the opaque conductive layer 134, and the dummy insulating pattern 175 are stacked is formed.

이어서, 봉지(Encapsulation) 공정에 의해 캡(128)이 기판(102)과 합착되고(S8), ACF(130)를 통해 패드(137)와 신호공급필름(132)이 전기적으로 접속된다.(S10) 즉, ACF(130)는 더미 절연패턴(175)의 접촉홀(180)을 통해 패드(137)의 불투명도전층(134)과 접속되게 된다. Subsequently, the cap 128 is bonded to the substrate 102 by an encapsulation process (S8), and the pad 137 and the signal supply film 132 are electrically connected through the ACF 130 (S10). That is, the ACF 130 is connected to the opaque conductive layer 134 of the pad 137 through the contact hole 180 of the dummy insulating pattern 175.

이후, 더미 절연패턴(175) 상에 실리콘막(138)이 형성된다.(S12) Thereafter, a silicon film 138 is formed on the dummy insulating pattern 175 (S12).

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기전계발광표시소자 및 그 제조방법에서의 패드부는 투명도전층 및 불투명도전층과, 투명도전층 및 불투명도전층을 덮도록 형성되어 수분 및 산소 등으로부터 불투명도전층을 보호하는 더미 절연패턴이 구비된다. 이에 따라, 불투명도전층이 산화 또는 부식되는 등의 패드부 불량이 방지 된다. As described above, the pad portion in the organic light emitting display device and the manufacturing method thereof according to the present invention is formed to cover the transparent conductive layer and the opaque conductive layer, and the transparent conductive layer and the opaque conductive layer to protect the opaque conductive layer from moisture and oxygen, etc. An insulation pattern is provided. As a result, failure of the pad part such as oxidation or corrosion of the opaque conductive layer is prevented.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다. Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (8)

유기전계발광어레이에 구동신호를 전달하는 패드부를 포함하는 유기전계발광표시소자에 있어서, An organic light emitting display device comprising a pad unit for transmitting a driving signal to an organic light emitting array, 상기 패드부는 상기 유기전계발광어레이의 제1 및 제2 전극 중 적어도 어느 하나와 전기적으로 접속된 제1 도전층과; The pad part includes a first conductive layer electrically connected to at least one of the first and second electrodes of the organic light emitting array; 상기 제1 도전층 상에 형성된 제2 도전층과; A second conductive layer formed on the first conductive layer; 상기 제1 및 제2 도전층을 덮도록 형성되며 상기 제2 도전층을 일부 노출시키는 홀을 갖는 더미 절연패턴 및;A dummy insulating pattern formed to cover the first and second conductive layers and having a hole partially exposing the second conductive layer; 상기 제2 도전층을 일부 노출시키는 상기 홀을 통해 상기 패드와 전기적으로 접속되는 신호공급필름을 구비하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자.And a signal supply film electrically connected to the pad through the hole partially exposing the second conductive layer. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기전계발광어레이를 패키징하는 캡을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자.An organic light emitting display device further comprising a cap for packaging the organic light emitting array. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 더미 절연패턴 상에 형성된 실리콘막을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자.The organic light emitting display device further comprising a silicon film formed on the dummy insulating pattern. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 유기전계발광어레이는 The organic electroluminescent array is 상기 제1 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 구비하고, An insulating film defining a light emitting area by partially exposing the first electrode, 상기 절연막은 상기 더미 절연패턴과 동일물질인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자. The insulating film is an organic light emitting display device, characterized in that the same material as the dummy insulating pattern. 유기전계발광어레이에 구동신호를 전달하는 패드부를 형성하는 단계를 포함하는 유기전계발광표시소자의 제조방법에 있어서, In the method of manufacturing an organic light emitting display device comprising the step of forming a pad portion for transmitting a drive signal to the organic light emitting array, 상기 패드부를 형성하는 단계는 Forming the pad portion 기판 상에 상기 유기전계발광어레이의 제1 및 제2 전극 중 적어도 어느 하나와 전기적으로 접속되는 제1 도전층을 형성하는 단계와; Forming a first conductive layer electrically connected to at least one of the first and second electrodes of the organic light emitting array on the substrate; 상기 제1 도전층 상에 제2 도전층을 형성하는 단계와; Forming a second conductive layer on the first conductive layer; 상기 제1 및 제2 도전층을 덮도록 형성되며 상기 제2 도전층을 일부 노출시키는 홀을 갖는 더미 절연패턴을 형성하는 단계 및;Forming a dummy insulating pattern formed to cover the first and second conductive layers, the dummy insulating pattern having a hole partially exposing the second conductive layer; 상기 제2 도전층을 노출시키는 상기 홀을 통해 상기 패드에 신호공급필름을 접속시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조방법.And connecting a signal supply film to the pad through the hole exposing the second conductive layer. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 유기전계발광어레이를 패키징하기 위해 캡을 상기 기판과 합착시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조방법. And attaching a cap to the substrate to package the organic light emitting array. 제 5 항에 있어서, The method of claim 5, 상기 더미 절연패턴 상에 실리콘막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조방법.A method of manufacturing an organic light emitting display device, the method comprising: forming a silicon film on the dummy insulating pattern. 제 7 항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 유기전계발광어레이는 The organic electroluminescent array is 상기 제1 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하는 절연막을 구비하고, An insulating film defining a light emitting area by partially exposing the first electrode, 상기 절연막은 상기 더미 절연패턴과 동일물질로 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시소자의 제조방법.And the insulating film is formed of the same material as the dummy insulating pattern at the same time.
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