KR100696440B1 - Organic Electro-Luminescence Display Device And Fabricating Method Thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명은 라인저항을 감소시키며 소비전력을 절감시킬 수 있는 유기 전계발광표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to an organic light emitting display device capable of reducing line resistance and reducing power consumption, and a method of manufacturing the same.
본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자는 유기발광층을 사이에 두고 서로 교차되게 형성되는 애노드 전극 및 캐소드 전극과; 상기 애노드 전극에 제1 구동신호를 공급하는 제1 신호라인과; 상기 캐소드 전극에 제2 구동신호를 공급하는 제2 신호라인을 구비하고, 상기 제2 신호라인은 복수개의 도전층들로 구성되며, 상기 캐소드 전극은 상기 복수개의 도전층들 중 상기 캐소드 전극과 동일 물질로 형성된 도전층과 직접 접촉된 것을 특징으로 한다.An organic electroluminescent display device according to the present invention comprises: an anode electrode and a cathode electrode formed to cross each other with an organic light emitting layer therebetween; A first signal line supplying a first driving signal to the anode electrode; And a second signal line for supplying a second driving signal to the cathode electrode, wherein the second signal line includes a plurality of conductive layers, and the cathode electrode is the same as the cathode electrode of the plurality of conductive layers. It is characterized in that it is in direct contact with the conductive layer formed of a material.
Description
도 1은 종래의 유기 전계발광 표시소자를 개략적으로 도시하는 평면도이다. 1 is a plan view schematically illustrating a conventional organic electroluminescent display device.
도 2는 도 1에 도시된 유기 전계발광 표시소자의 A영역을 구체적으로 나타내는 도면이다. FIG. 2 is a diagram illustrating region A of the organic electroluminescent display device illustrated in FIG. 1 in detail.
도 3은 도 2에 도시된 Ⅰ-Ⅰ'선 및 Ⅱ-Ⅱ'선을 절단하여 도시한 단면도이다. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along lines II ′ and II-II ′ of FIG. 2.
도 4는 종래의 다층의 신호라인에서 나타나는 라인저항을 나타내는 회로도이다. 4 is a circuit diagram showing a line resistance appearing in a conventional multilayer signal line.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 유기 전계발광 표시소자의 일부를 나타내는 도면이다. 5 illustrates a portion of an organic electroluminescent display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 실시예에에 따른 신호라인에서 나타나는 라인저항을 나타내는 회로도이다.6 is a circuit diagram illustrating a line resistance appearing in a signal line according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 7a 내지 도 7h는 본 발명의 실시예에 따른 유기 전계발광 표시소자의 제조방법을 나타내는 도면이다. 7A to 7H illustrate a method of manufacturing an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명> <Brief description of symbols for the main parts of the drawings>
2,102 : 기판 4,104 : 애노드 전극2,102: substrate 4,104: anode electrode
12,112 : 캐소드 전극 10,110 : 유기발광층12,112: cathode electrode 10,110: organic light emitting layer
6,106 : 절연막 8,108 : 격벽6,106 insulating film 8,108 partition wall
52,152 : 제2 신호라인 54 : 제1 신호라인 52,152: second signal line 54: first signal line
107 : 지지패턴107: support pattern
본 발명은 유기 전계발광표시소자에 관한 것으로, 특히 라인저항을 감소시키며 소비전력을 절감시킬 수 있는 유기 전계발광표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic electroluminescent display device, and more particularly, to an organic electroluminescent display device capable of reducing line resistance and reducing power consumption, and a method of manufacturing the same.
최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판표시장치는 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel) 및 일렉트로 루미네센스(Electro-Luminescence, 전계 발광 : 이하 "EL"라 함) 표시 소자 등이 있다.Recently, various flat panel displays have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. Such flat panel displays include liquid crystal displays, field emission displays, plasma display panels, and electro-luminescence (EL). Display elements).
이와 같은 평판표시장치의 표시품질을 높이고 대화면화를 시도하는 연구들이 활발히 진행되고 있다. 이들 중 EL 표시 소자는 스스로 발광하는 자발광소자이다. EL 표시 소자는 전자 및 정공 등의 캐리어를 이용하여 형광물질을 여기 시킴으로써 비디오 영상을 표시하게 된다. In order to improve the display quality of such a flat panel display device and to attempt to make a large screen, there are active researches. Among these, the EL display element is a self-light emitting element that emits light by itself. The EL display element displays a video image by exciting fluorescent material using carriers such as electrons and holes.
이 EL 표시소자는 사용하는 재료에 따라 무기 EL 표시소자과 유기 EL 표시소자로 크게 나뉘어진다. This EL display element is roughly divided into an inorganic EL display element and an organic EL display element according to the material used.
유기 EL 표시소자는 100∼200V의 높은 전압을 필요로 무기 EL 표시소자에 비해 5∼20V 정도의 낮은 전압으로 구동됨으로써 직류 저전압 구동이 가능하다. 또한, 유기 EL 표시소자는 넓은 시야각, 고속 응답성, 고 콘트라스트비(contrast ratio) 등의 뛰어난 특징을 갖고 있으므로 그래픽 디스플레이의 픽셀(pixel), 텔레비젼 영상 디스플레이나 표면 광원(Surface Light Source)의 픽셀로서 사용될 수 있으며, 얇고 가벼우며 색감이 좋기 때문에 차세대 평면 디스플레이에 적합한 소자이다. The organic EL display element requires a high voltage of 100 to 200 V and is driven at a voltage lower than that of the inorganic EL display element by about 5 to 20 V, thereby enabling direct DC low voltage driving. In addition, the organic EL display element has excellent characteristics such as wide viewing angle, high-speed response, and high contrast ratio, so that it is used as a pixel of a graphic display, a pixel of a television image display or a surface light source. It can be used and is suitable for next-generation flat panel display because it is thin, light and good color.
도 1은 일반적인 유기EL표시소자를 개략적으로 도시하는 도면이고, 도 2는 도 1의 일부(A영역)를 구체적으로 나타내는 평면도이고, 도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'선 및 Ⅱ-Ⅱ'을 절단하여 도시한 단면도이다. FIG. 1 is a view schematically showing a general organic EL display device, FIG. 2 is a plan view specifically showing a part (area A) of FIG. 1, and FIG. 3 is a line I-I 'and II-II' of FIG. This is a cross-sectional view shown by cutting.
도 1 내지 도 3에 도시된 종래의 유기EL표시소자는 구동전극(예를 들어, 애노드 전극, 캐소드 전극) 등이 형성된 표시영역(P1)과, 표시영역(P1)의 구동전극 들에 구동신호를 공급하는 패드부(25) 등이 위치하는 비표시영역(P2)을 구비한다. In the organic EL display device shown in FIGS. 1 to 3, a driving signal is formed on a display area P1 in which driving electrodes (for example, an anode electrode and a cathode electrode) are formed, and the driving electrodes of the display area P1. And a non-display area P2 where the
표시영역(P1)에는 애노드전극(4)과, 애노드 전극(4)과 교차하는 방향으로 형성된 캐소드 전극(12)이 형성된다. In the display area P1, an
애노드 전극(4)은 기판(2) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 애노드 전극(4)이 형성된 기판(2) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 (애노드 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의함) 절연막(6)이 형성된다. 절연막(6) 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(10) 및 캐소드전극(12)의 분리를 위한 격벽(8)이 위치한다. 격벽(8)은 애노드 전극(4)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 오버행(Overhang) 구조를 갖게 된다. 격벽(8)이 형성된 절연막(6) 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(10)과 캐소드전극(12)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기발광층(10)은 절연막(6) 상에 정공 주입층(10e), 정공 수송층(10e), 발광층(10c), 전자 수송층(10b) 및 전자 주입층(10a)이 적층되어 형성된다. A plurality of
비표시영역(P2)에는 표시영역(P1)의 애노드 전극(4)에서 신장된 제1 신호 라인(54)과, 제1 신호 라인(54)을 통해 애노드 전극(4)에 데이터 전압을 공급하는 데이터 패드들이 형성되고, 캐소드 전극(12)과 접속된 제2 신호 라인(52)과, 제2 신호 라인(52)을 통해 스캔전압을 공급하는 스캔패드가 마련된다. The non-display area P2 supplies a data voltage to the
제2 신호 라인(52)은 도 3에 도시된 바와 같이 제1 내지 제4 도전층(52a,52b,52c,52d)으로 구성되며, 제2 내지 제4 도전층(52b,52c,52d)은 제1 도전층(52a)의 도전성을 향상시키는 역할을 한다. 여기서, 제1 도전층(52a)은 투명도전성물질 즉, 애노드 전극과 동일물질로 형성되며, 제2 및 제4 도전층(52b,52d)은 불투명물질로써 몰리브덴(Mo) 등으로 형성되며, 제3 도전층(52c)은 알루미늄(Al) 등으로 형성된다. As shown in FIG. 3, the
이와 같은 구조를 갖는 종래의 유기EL표시소자는 애노드 전극(4)과 캐소드 전극(12) 사이에 전압이 인가되면, 캐소드 전극(12)으로부터 발생된 전자(또는 캐 소드)는 전자 주입층(10a) 및 전자 수송층(10b)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동된다. 또한, 애노드 전극(4)으로 부터 발생된 정공(또는 애노드)은 정공 주입층(10d) 및 정공 수송층(10d)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(10c)에서는 전자 수송층(10b)과 정공 수송층(10d)으로부터 공급되어진 전자와 정공이 충돌하여 재결합함으로써 빛이 발생하게 되고, 이 빛은 애노드 전극(4)을 통해 외부로 방출되어 화상이 표시되게 된다. In the conventional organic EL display device having such a structure, when a voltage is applied between the
한편, 제2 신호라인(52)과 캐소드 전극(12)은 도 3의 B영역에 나타낸 바와 같이 제2 신호라인(52)의 제1 도전층(52a)과 캐소드 전극(12)이 접촉하게 된다. 여기서, 캐소드 전극(12)이 제2 신호라인(52)의 제1 도전층(52a)과 접촉하게 됨으로써 스캔신호 인가에 대한 저항이 증가하게 된다. Meanwhile, as shown in region B of FIG. 3, the
즉, 제2 신호라인(52)으로부터 스캔신호가 캐소드 라인(12)에 전달되기 위해서는 제2 도전층(52b) 및 제1 도전층(52a)을 경유해야 하므로 도 4에 도시된 바와 같이 제2 도전층(52b) 및 제1 도전층(52a)에 의해 라인저항이 증가되게 된다. 그 결과, 소자구동을 위한 소비전력이 증가되는 문제가 발생된다. That is, in order to transmit the scan signal from the
따라서, 본 발명의 목적은 라인저항을 감소시키며 소비전력을 절감시킬 수 있는 유기 전계발광표시소자 및 그 제조방법을 제공하는데 있다. Accordingly, an object of the present invention is to provide an organic electroluminescent display device and a method of manufacturing the same, which can reduce line resistance and reduce power consumption.
상기 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자는 유기발광층을 사이에 두고 서로 교차되게 형성되는 애노드 전극 및 캐소드 전극과; 상기 애노드 전극에 제1 구동신호를 공급하는 제1 신호라인과; 상기 캐소드 전극에 제2 구동신호를 공급하는 제2 신호라인을 구비하고, 상기 제2 신호라인은 복수개의 도전층들로 구성되며, 상기 캐소드 전극은 상기 복수개의 도전층들 중 상기 캐소드 전극과 동일 물질로 형성된 도전층과 직접 접촉된 것을 특징으로 한다.
상기 제2 신호라인은 기판 상에 순차적으로 적층된 제1 내지 제4 도전층으로 이루어지며, 상기 제3 도전층은 상기 캐소드 전극과 동일물질로 이루어짐과 아울러 상기 제4 도전층보다 더 길게 형성되어 상기 캐소드 전극과 직접 접촉된 것을 특징으로 한다.
상기 캐소드 전극과 상기 제3 도전층과 부분적으로 중첩된 것을 특징으로 한다.
상기 캐소드 전극과 접촉된 제3 도전층은 상기 제1,제2,제4 도전층보다 저항이 작은 것을 특징으로 한다.
상기 캐소드 전극 및 상기 캐소드 전극과 접촉된 도전층은 알루미늄(Al)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 유기전계발광표시소자의 제조방법은 기판 상의 표시영역에 애노드 전극을 형성하는 단계와; 상기 표시영역을 제외하는 비표시영역에 위치하며 복수개의 도전층들로 이루어지는 신호라인을 형성하는 단계와; 유기발광층을 사이에 두고 상기 애노드 전극과 교차되며 상기 복수개의 도전층들 중 자신과 동일물질로 형성된 도전층과 직접 접촉된 캐소드 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 적어도 하나의 도전층으로 이루어지는 신호라인을 형성하는 단계는 기판 상에 순차적으로 제1 내지 제4 도전층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제3 도전층은 상기 캐소드 전극과 동일물질로 형성됨과 아울러 상기 제4 도전층보다 더 길게 형성되어 상기 캐소드 전극과 직접 접촉되는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 내지 제4 도전층을 형성하는 단계는 상기 기판 상에 제1 도전층을 형성하는 단계와; 상기 제1 도전층 상에 제2 및 제3 도전층을 순차적으로 형성하는 단계와; 상기 제3 도전층을 부분적으로 노출시키는 제4 도전층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 캐소드 전극은 상기 제3 도전층과 부분적으로 중첩되는 것을 특징으로 한다.
상기 캐소드 전극과 접촉된 제3 도전층은 상기 제1,제2,제4 도전층보다 저항이 작은 것을 특징으로 한다.
상기 캐소드 전극 및 상기 캐소드 전극과 접촉된 도전층은 알루미늄(Al)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 설명 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. In order to achieve the above objects, the organic electroluminescent display device according to the present invention includes an anode electrode and a cathode electrode formed to cross each other with an organic light emitting layer therebetween; A first signal line supplying a first driving signal to the anode electrode; And a second signal line for supplying a second driving signal to the cathode electrode, wherein the second signal line includes a plurality of conductive layers, and the cathode electrode is the same as the cathode electrode of the plurality of conductive layers. It is characterized in that it is in direct contact with the conductive layer formed of a material.
The second signal line includes first to fourth conductive layers sequentially stacked on a substrate, and the third conductive layer is formed of the same material as the cathode electrode and longer than the fourth conductive layer. It is characterized in that the direct contact with the cathode electrode.
And partially overlap the cathode electrode and the third conductive layer.
The third conductive layer in contact with the cathode has a lower resistance than the first, second and fourth conductive layers.
The cathode electrode and the conductive layer in contact with the cathode electrode is characterized in that it comprises aluminum (Al).
A method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention includes forming an anode electrode in a display area on a substrate; Forming a signal line including a plurality of conductive layers on a non-display area excluding the display area; And forming a cathode electrode intersecting the anode electrode with an organic light emitting layer interposed therebetween and in direct contact with a conductive layer formed of the same material as that of the plurality of conductive layers.
The forming of the signal line including the at least one conductive layer may include sequentially forming first to fourth conductive layers on a substrate, wherein the third conductive layer is formed of the same material as the cathode electrode. In addition, it is formed longer than the fourth conductive layer is characterized in that in direct contact with the cathode electrode.
The forming of the first to fourth conductive layers may include forming a first conductive layer on the substrate; Sequentially forming second and third conductive layers on the first conductive layer; And forming a fourth conductive layer partially exposing the third conductive layer.
The cathode may be partially overlapped with the third conductive layer.
The third conductive layer in contact with the cathode has a lower resistance than the first, second and fourth conductive layers.
The cathode electrode and the conductive layer in contact with the cathode electrode is characterized in that it comprises aluminum (Al).
Other objects and features of the present invention in addition to the above object will become apparent from the description of the accompanying examples.
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이하, 도 5 내지 도 7h를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설 명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 7H.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 유기 EL 표시소자의 일부분을 나타내는 단면도이다. 5 is a cross-sectional view showing a part of an organic EL display element according to an embodiment of the present invention.
도 5는 종래의 도 3과 대응되는 도면으로써 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'선 및 Ⅱ-Ⅱ'을 절단하여 도시하였다. FIG. 5 is a view corresponding to the related art of FIG. 3, and is taken along line II ′ and II-II ′ of FIG. 2.
본 발명에서는 캐소드 라인(112)과 제2 신호라인(152) 중 자신과 동일물질로 형성된 도전층과 접촉되는 것을 제외하고는 동일한 구조를 가진다. The present invention has the same structure except that the
이하, 도 1, 도 2 및 도 5를 참조하여, 본 발명의 실시예에 대해 구체적으로 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1, 2, and 5.
본 발명의 표시영역(P1)에는 애노드전극(104)과, 애노드 전극(104)과 교차하는 방향으로 형성된 캐소드 전극(112)이 형성된다. In the display area P1 of the present invention, an
애노드 전극(104)은 기판(102) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 애노드 전극(104)이 형성된 기판(102) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는(애노드 전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의함) 절연막(106)이 형성된다. 절연막(106) 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(110) 및 캐소드전극(112)의 분리를 위한 격벽(108)이 위치한다. 격벽(108)은 애노드 전극(104)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 오버행(Overhang) 구조를 갖게 된다. 격벽(108)이 형성된 절연막(106) 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(110)과 캐소드전극(112)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기발광층(110)은 절연막(106) 상에 정공 주입층(110e), 정공 수송층(110e), 발광층 (110c), 전자 수송층(110b) 및 전자 주입층(110a)이 적층되어 형성된다. A plurality of
비표시영역(P2)에는 표시영역(P1)의 애노드 전극(104)에서 신장된 제1 신호 라인(154)과, 제1 신호 라인(154)을 통해 애노드 전극(104)에 데이터 전압을 공급하는 데이터 패드들이 형성되고, 캐소드 전극(112)과 접속된 제2 신호 라인(152)과, 제2 신호 라인(152)을 통해 스캔전압을 공급하는 스캔패드가 마련된다. In the non-display area P2, a first signal line 154 extended from the
제2 신호 라인(152)은 제1 내지 제4 도전층(152a,152b,152c,152d)으로 구성되며, 제2 내지 제4 도전층(152b,152c,152d)은 제1 도전층(152a)의 도전성을 향상시키는 역할을 한다. 여기서, 제1 도전층(152a)은 투명도전성물질로 형성되며, 제2 및 제4 도전층(152b,152d)은 불투명물질로써 몰리브덴(Mo) 등으로 형성되며, 제3 도전층(152c)은 알루미늄(Al) 등으로 형성된다. The
여기서, 제3 도전층(152c)은 제1, 제2 및 제4 도전층(152a,152b,152d)들 보다 작은 저항을 가지며, 제1, 제2 및 제4 도전층(152a,152b,152d)들 보다 캐소드 라인(112) 방향으로 더 신장되게 형성된다. 이때, 캐소드 전극(112)은 제3 도전층(152c)과 측면으로 접촉되거나 도 5에 도시된 바와 같이 부분적으로 중첩되게 형성되게 된다. 이에 따라, 제2 신호라인(152)의 제3 도전층(152c)과 캐소드 라인(112)이 직접 접촉될 수 있게됨으로써 라인 저항이 감소되어 소비전력이 절감된다. Here, the third
이를 도 6에 도시된 도면을 참조하여 설명하면, 제2 신호라인(152)의 제3 도전층(152c)과 캐소드 전극(112)은 저항성이 낮은 알루미늄(Al)을 포함하게 된다. 이러한, 저항성이 낮은 물질 끼리 직접 접촉시킴으로써 도 6에 도시된 바와 같이 캐소드 라인(112)과 제3 도전층(152c) 사이에 저항이 존재하지 않게 된다. 그 결 과, 라인저항이 상당히 감소되게 됨으로써 소자 구동을 위한 소비전력이 절감된다. Referring to FIG. 6, the third
이와 같이, 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자는 제2 신호라인(152)에서 저항성이 가장 낮으며 캐소드 전극(112)과 동일한 물질로 형성된 제3 도전층(152c)이 다른 도전층보다 신장되게 형성된다. 이에 따라, 캐소드 전극(112)과 제3 도전층(152c)이 서로 직접 접촉되게 됨으로써 라인저항을 줄일 수 있게 된다. 그 결과, 소자 구동을 위한 소비전력이 절감된다. As such, the organic electroluminescent display device according to the present invention has the lowest resistance in the
도 7a 내지 도 7h는 본 발명에 따른 유기 EL 표시소자의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다. 7A to 7H are views for explaining a method of manufacturing an organic EL display device according to the present invention.
먼저, 소다라임(Sodalime) 또는 경화유리를 이용하여 형성된 기판(102) 상에 투명도전성물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정과 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 7a에 도시된 바와 같이 표시영역(P1) 상에 애노드전극(104)이 형성되고, 비표시영역(P2)에 제1 도전층(152a) 및 도면상에 나타나지 않은 제1 신호라인이 형성된다. 여기서, 제1 도전층(152a)은 제2 신호라인(152)에 포함되고, 투명도전성물질로는 인듐-틴-옥사이드(Indium-Tin-Oxide) 또는 SnO2 등이 이용된다. First, a transparent conductive material is deposited on a
애노드전극(104) 및 제1 도전층(152a)이 형성된 기판(102) 상에 불투명도전물질 예를 몰리브덴(Mo) 등의 물질이 증착된 후 포토리쏘그래피 공정 및 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 7b에 도시된 바와 같이 제1 도전층(152a)과 중첩되는 제2 도전층(152b)이 형성된다.An opaque conductive material, such as molybdenum (Mo), is deposited on the
제2 도전층(152b)이 형성된 비표시영역(P2) 상에 알루미늄(Al)이 전면 증착된 후 포토리쏘그래피 공정 및 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 7c에 도시된 바 와 같이 제1 및 제2 도전층(152a)보다 신장됨과 아울러 기판(102)과 단차지게 접촉되는 제3 도전층(152c)가 형성된다.Aluminum (Al) is entirely deposited on the non-display area P2 on which the second
한편, 제2 및 제3 도전층(152b,152c)은 연속증착에 의한 한번의 패터닝공정에 의해 동시에 형성될 수 도 있다. 이경우, 제2 및 제3 도전층(152b,152c)은 제1 도전층(152a) 보다 신장되게 형성된다. Meanwhile, the second and third
제3 도전층(152c)이 형성된 비표시영역(P2) 상에 불투명도전물질 예를 들어, 몰리브덴(Mo) 등이 증착된 후 포토리쏘그래피 공정 및 식각공정에 의해 패터닝된다. 이에 따라, 도 7d에 도시된 바와 같이 제4 도전층(152d)이 형성된다. 여기서 제4 도전층(152d)은 제1 도전층(152a)와 동일한 선폭 및 길이를 가지며 중첩되게 형성된다. 이에 따라, 제3 도전층(152b)의 끝단이 외부로 노출되게 된다. An opaque conductive material, for example, molybdenum (Mo), is deposited on the non-display area P2 on which the third
제2 신호라인(152)이 형성된 기판(102) 상에 감광성절연물질이 스핀코팅(Spin-Coating)법에 의해 코팅된 후 포토리쏘그래피공정 등에 의해 패터닝됨으로써 도 7e에 도시된 바와 같이 표시영역(P1)의 발광영역을 노출시키는 절연막(106)이 형성된다. The photosensitive insulating material is coated on the
절연막(106) 상에 감광성유기물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정 및 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 7f에 도시된 바와 같이 표시영역(P1)에 격벽(108)이 형성된다. 격벽(108)은 화소를 구분해주기 위해 다수개의 애노드전극(4)과 교차되도록 비발광영역에 형성된다. After the photosensitive organic material is deposited on the insulating
격벽(108)이 형성된 기판(102) 상에 증착공정이 실시됨으로써 도 7g에 도시된 바와 같이 유기발광층(110)이 형성된다. As the deposition process is performed on the
유기발광층(110)이 형성된 기판(102) 상에 금속물질이 증착됨으로써 도 7h에 도시된 바와 같이 격벽(108)과 나란하게 형성됨과 아울러 제2 신호라인(152)의 제3 도전층(152c)과 직접 접촉되는 캐소드 전극(112)이 형성된다. 여기서, 캐소드 전극(112)는 제3 도전층(152c)과 일부 중첩되게 형성된다. As a metal material is deposited on the
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 EL 표시소자 및 그 제조방법은 제2 신호라인에서 저항성이 가장 낮으며 캐소드 전극과 동일한 물질로 형성된 제3 도전층이 다른 도전층보다 신장되게 형성된다. 이에 따라, 캐소드 전극과 제3 도전층이 서로 직접 접촉되게 됨으로써 라인저항을 줄일 수 있게 된다. 그 결과, 소자 구동을 위한 소비전력이 절감된다. As described above, the organic EL display device and the method of manufacturing the same according to the present invention have the lowest resistance in the second signal line, and the third conductive layer formed of the same material as the cathode electrode is formed to extend than other conductive layers. Accordingly, the cathode and the third conductive layer are in direct contact with each other, thereby reducing the line resistance. As a result, power consumption for driving the device is reduced.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다. Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.
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