KR20100064868A - Organic electroluminescence device and method for fabricating the same - Google Patents

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KR20100064868A
KR20100064868A KR1020080123515A KR20080123515A KR20100064868A KR 20100064868 A KR20100064868 A KR 20100064868A KR 1020080123515 A KR1020080123515 A KR 1020080123515A KR 20080123515 A KR20080123515 A KR 20080123515A KR 20100064868 A KR20100064868 A KR 20100064868A
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윤종근
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

PURPOSE: An organic electroluminescent device and a manufacturing method thereof are provided to reduce total resistance by connecting an anode electrode or a cathode electrode with high resistance to an auxiliary electrode with low resistance. CONSTITUTION: An overcoat layer(103) is formed on the upper side of a substrate(101). A plurality of auxiliary electrodes(105) is formed on the upper side of the overcoat layer with regular intervals. A barrier layer(107) is formed on the upper side of the substrate including the auxiliary electrodes. A plurality of anode electrodes(109) is formed on the upper side of the barrier layer with regular intervals. An insulation layer pattern(113) is formed on the barrier layer between the anode electrodes. The insulation layer pattern comprises a contact hole which exposes a part of the auxiliary electrode. An organic light emitting layer(111) is formed on the upper side of the anode electrode. A cathode electrode(117) is formed to cross the anode electrode on the organic light emitting layer. The cathode electrode is electrically connected in parallel with the auxiliary electrode through the contact hole. A partition(119) is formed to cross the anode electrode. The partition electrically separates each cathode electrode.

Description

유기전계 발광소자 및 그 제조방법{ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}Organic electroluminescent device and its manufacturing method {ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}

본 발명은 유기전계 발광소자에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유기전계 발광소자에서 전극 저항을 감소시켜 저항의 불균일에 의한 화질의 불균일해지는 것을 제거할 수 있는 유기전계 발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly, to an organic electroluminescent device and a method of manufacturing the organic electroluminescent device which can eliminate the unevenness of image quality due to the nonuniformity of the resistance by reducing the electrode resistance. .

최근에, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 액정표시장치 (Liquid Crystal Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이패널(Plasma Display Panel) 및 전계발광소자(Electro Luminescence Device: 이하 "EL"이라 함)표시소자 등이 있다. 특히, 전계 발광소자는 기본적으로 정공수송층, 발광층, 전자수송층으로 이루어진 유기발광층의 양면에 전극을 붙인 형태의 것으로서, 넓은 시야각, 고개구율, 고색도 등의 특징때문에 차세대 평판표시장치로서 주목받고 있다.Recently, various flat panel displays have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. Such a flat panel display includes a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, and an electroluminescent device (hereinafter referred to as "EL"). Element; In particular, the electroluminescent device is basically formed by attaching electrodes to both sides of an organic light emitting layer including a hole transporting layer, a light emitting layer, and an electron transporting layer, and is attracting attention as a next-generation flat panel display due to features such as wide viewing angle, high opening ratio, and high color.

이러한 전계 발광소자는 사용하는 재료에 따라 크게 무기전계 발광소자와 유기전계 발광소자로 나뉘어진다. 이중 유기전계 발광소자는 정공 주입전극과 전자 주입전극사이에 형성된 유기EL층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬후 소멸하면서 빛을 내기 때문에 무기전계 발광소자에 비해 낮은 전압으로 구동 가능하다는 장점이 있다.The EL device is largely divided into an inorganic EL device and an organic EL device according to a material used. Dual organic light emitting device emits light when electrons and holes are paired and extinguished when electrons are injected into the organic EL layer formed between the hole injection electrode and the electron injection electrode. There is an advantage.

또한, 상기 유기전계 발광소자는 플라스틱과 같은 휠 수 있는(flexible) 투명기판위에도 소자를 형성할 수 있을 뿐 아니라, PDP나 무기전계 발광소자에 비해 10V 이하의 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 전력 소모가 비교적 작으며, 색감이 뛰어나다.In addition, the organic light emitting device can be formed on a flexible transparent substrate, such as plastic, and can be driven at a voltage lower than 10V or lower than that of a PDP or an inorganic light emitting device, and consumes power. Is relatively small, and the color is excellent.

이러한 특성을 갖고 있는 종래기술에 따른 유기전계 발광소자에 대해 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to FIG. 1, the organic light emitting diode according to the related art having such a characteristic is as follows.

도 1은 종래기술에 따른 유기전계 발광소자를 개략적으로 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing an organic light emitting device according to the prior art.

도 1을 참조하면, 종래기술에 따른 유기전계 발광소자는 기판(11)상에 오버코트층(overcoat layer)(13) 및 배리어층(barrier layer)(15)가 적층되어 있다.Referring to FIG. 1, in the organic light emitting diode according to the related art, an overcoat layer 13 and a barrier layer 15 are stacked on a substrate 11.

또한, 상기 배리어층(15)상에는 애노드전극(17)과 캐소드전극(23)이 서로 교차하는 방향으로 형성되어 있다. 여기서, 상기 애노드전극(17)은 기판(11)상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다.In addition, the anode electrode 17 and the cathode electrode 23 are formed on the barrier layer 15 in a direction crossing each other. Here, a plurality of anode electrodes 17 are spaced apart at predetermined intervals on the substrate 11.

이러한 애노드전극(17)이 형성된 기판(11)상에는 유기전계셀(EL)영역마다 개구부(미도시)를 갖는 절연막(21)이 형성된다.An insulating film 21 having an opening (not shown) is formed in each organic field cell EL region on the substrate 11 on which the anode electrode 17 is formed.

그리고, 상기 절연막(21)상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(19) 및 캐소드전극(23)의 분리를 위한 격벽(25)이 위치한다. 여기서, 상기 격벽(25)은 상기 애 노드전극(17)을 가로 지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역테이퍼(taper) 구조를 갖게 된다.In addition, a partition wall 25 for separating the organic light emitting layer 19 and the cathode electrode 23 to be formed thereon is disposed on the insulating layer 21. Here, the partition wall 25 is formed in a direction crossing the anode electrode 17 and has an inverted taper structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion.

상기 격벽(25)이 형성된 절연막(21)사이에 위치하는 애노드전극(17)상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(19)과 캐소드전극(23)이 순차적으로 전면 증착된다.The organic light emitting layer 19 and the cathode electrode 23, which are made of an organic compound, are sequentially deposited on the anode 17 positioned between the insulating layers 21 on which the barrier ribs 25 are formed.

상기 유기발광층(19)은, 도면에는 도시하지 않았지만, 애노드전극(17)상에 정공주입층(미도시), 정공수송층(미도시), 발광층(미도시) 및 전자수송층(미도시), 전자주입층(미도시)이 적층되어 형성된다.Although not shown in the drawing, the organic light emitting layer 19 has a hole injection layer (not shown), a hole transport layer (not shown), a light emitting layer (not shown), an electron transport layer (not shown), and electrons on the anode electrode 17. Injection layers (not shown) are stacked and formed.

이러한 수동형 전계 발광소자는 애노드전극(17)과 캐소드전극(23)에 구동신호가 인가되면 전자와 정공이 방출되고, 애노드전극(17) 및 캐소드전극(23)에서 방출된 전자와 정공은 유기발광층(19)내에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. 이때, 발생된 가시광은 애노드전극(17)을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 화상 또는 영상을 표시하게 된다.In the passive type EL device, electrons and holes are emitted when a driving signal is applied to the anode electrode 17 and the cathode electrode 23, and the electrons and holes emitted from the anode electrode 17 and the cathode electrode 23 are organic light emitting layers. Recombination within (19) generates visible light. At this time, the generated visible light comes out through the anode electrode 17 to display a predetermined image or image.

그러나, 종래기술에 따른 유기전계 발광소자의 경우, 구조상 빛이 캐소드전극을 통과하게 되기 때문에 캐소드전극의 금속 두께를 매우 얇게 해야 하므로 저항이 커지고, 패널의 위치별로 휘도의 편차가 커지는 단점이 발생한다.However, in the organic light emitting device according to the related art, since light passes through the cathode electrode, the metal thickness of the cathode electrode must be made very thin, resulting in a large resistance and a deviation of luminance by the panel positions. .

한편, 전술하지는 않았지만, 인버티드(Inverted) 타입의 유기전계 발광소자의 경우, 유기발광층상에 투명한 애노드전극을 형성하는데, 이때 일반적으로 ITO를 사용하여 애노드전극을 형성하게 된다. 이때 ITO 저항 역시 매우 크기 때문에 전술한 전술한 유기전계 발광소자 구조에서와 동일한 문제들이 발생한다.On the other hand, although not described above, in the case of an inverted organic light emitting device, a transparent anode electrode is formed on the organic light emitting layer. In this case, an anode electrode is generally formed using ITO. At this time, since the ITO resistance is also very large, the same problems as in the aforementioned organic light emitting device structure occur.

이에 본 발명은 상기 종래기술에 따른 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 유기전계 발광소자에서 저항이 큰 전극을 저항이 낮은 금속층과 병렬로 연결되도록 하여 전체 저항을 낮추므로써 화질을 개선시킬 수 있는 유기전계 발광소자 및 그 제조방법을 제공함에 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems according to the prior art, an object of the present invention is to reduce the overall resistance by lowering the overall resistance by connecting a large resistance electrode in parallel with a metal layer of low resistance in an organic light emitting device It is to provide an organic light emitting device and a method for manufacturing the same that can improve the.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계 발광소자는 기판상에 형성된 오버코트층; 상기 오버코트층상에 형성된 일정 간격으로 이격된 다수개의 보조전극; 상기 다수개의 보조전극을 포함한 기판상에 형성된 배리어층; 상기 배리어층상에 형성되고 상기 일정 간격으로 이격된 다수개의 애노드전극; 상기 다수개의 애노드전극사이의 배리어층상에 형성되고, 상기 보조전극 일부를 노출시키는 콘택홀이 구비된 절연막패턴; 상기 애노드전극상에 형성된 유기발광층; 상기 유기발광층상에 상기 애노드전극과 서로 교차되게 형성되고, 상기 콘택홀을 통해 상기 보조전극과 전기적으로 병렬접속되는 캐소드전극; 및 상기 애노드전극과 교차되게 형성되고, 상기 각각의 캐소드전극을 전기적으로 분리시키는 격벽;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The organic light emitting device according to the present invention for achieving the above object is an overcoat layer formed on a substrate; A plurality of auxiliary electrodes spaced at regular intervals formed on the overcoat layer; A barrier layer formed on the substrate including the plurality of auxiliary electrodes; A plurality of anode electrodes formed on the barrier layer and spaced apart at regular intervals; An insulating layer pattern formed on the barrier layer between the plurality of anode electrodes and having a contact hole exposing a part of the auxiliary electrode; An organic light emitting layer formed on the anode electrode; A cathode electrode formed on the organic light emitting layer to cross the anode electrode and electrically connected in parallel with the auxiliary electrode through the contact hole; And a partition wall formed to intersect the anode electrode and electrically separating the cathode electrodes, respectively.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조방법은 기판상에 오버코트층을 형성하는 단계; 상기 오버코트층상에 일정 간격으로 이격된 다수개의 보조전극을 형성하는 단계; 상기 다수개의 보조전극을 포함한 기판상에 배리어층을 형성하는 단계; 상기 배리어층상에 상기 일정 간격으로 이격된 다수개의 애노드전극을 형성하는 단계; 상기 다수개의 애노드전극을 제외한 이들사이의 배리어층상에 상기 보조전극 일부를 노출시키는 콘택홀이 구비된 절연막패턴을 형성하는 단계; 상기 애노드전극상에 유기발광층을 형성하는 단계; 상기 절연막패턴상에 격벽을 형성하는 단계; 및 상기 격벽을 마스크로 상기 유기발광층상에 상기 콘택홀을 통해 상기 보조전극과 전기적으로 병렬연결되는 다수개의 캐소드전극을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The organic light emitting device manufacturing method according to the present invention for achieving the above object comprises the steps of forming an overcoat layer on a substrate; Forming a plurality of auxiliary electrodes spaced at regular intervals on the overcoat layer; Forming a barrier layer on the substrate including the plurality of auxiliary electrodes; Forming a plurality of anode electrodes spaced apart at regular intervals on the barrier layer; Forming an insulating layer pattern including a contact hole exposing a part of the auxiliary electrode on a barrier layer therebetween except for the plurality of anode electrodes; Forming an organic light emitting layer on the anode; Forming a partition on the insulating film pattern; And forming a plurality of cathode electrodes electrically connected in parallel with the auxiliary electrode through the contact hole on the organic light emitting layer by using the barrier as a mask.

본 발명에 따른 유기전계 발광소자 및 그 제조방법에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.According to the organic light emitting device and the method of manufacturing the same according to the present invention has the following effects.

본 발명에 따른 유기전계 발광소자 및 그 제조방법은 저항이 높은 캐소드전극또는 애노드전극을 저항이 낮은 보조전극과 연결되도록 하여 전체 저항을 낮추므로써 화질을 개선시킬 수 있다.The organic light emitting diode and the method of manufacturing the same according to the present invention can improve the image quality by lowering the overall resistance by connecting the cathode or anode electrode with high resistance to the auxiliary electrode with low resistance.

또한, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 및 그 제조방법은 SUS를 이용하는 조명용 플렉서블(flexible) 유기전계 발광소자에서 오버코트층위에 저항이 낮은 금속으로 보조전극을 형성하고 이를 최종 캐소드전극 또는 애노드전극과 연결하므로써 캐소드전극 또는 애노드전극의 저항을 크게 낮출 수 있으므로 소비 전력을 감소시킬 수 있다.In addition, the organic light emitting device according to the present invention and a method of manufacturing the same in the flexible flexible organic light emitting device using SUS to form an auxiliary electrode of a low resistance metal on the overcoat layer and connect it to the final cathode electrode or anode electrode As a result, the resistance of the cathode or anode can be significantly lowered, thereby reducing power consumption.

이하, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상 세히 설명한다.Hereinafter, an organic light emitting diode according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 유기 EL표시소자를 개략적으로 나타낸 단면도이다.2 is a sectional view schematically showing an organic EL display element according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자의 개략적인 단면도로서, 캐소드전극과 보조전극의 연결 구조를 나타낸 단면도이다.3 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting device according to the present invention, which is a cross-sectional view showing a connection structure of a cathode electrode and an auxiliary electrode.

도 2 및 3을 참조하면, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자는 플라스틱이나 SUS와 같은 휠 수 있는(flexible) 기판(101)상에 오버코트층(overcoat layer)(103) 이 형성된다. 여기서, 상기 기판(101)은 PEN, PET, PES 등의 투명재질의 기판이거나, 또는 SUS, Al 등의 불투명재질의 기판을 사용할 수 있다.2 and 3, in the organic light emitting device according to the present invention, an overcoat layer 103 is formed on a flexible substrate 101 such as plastic or SUS. Here, the substrate 101 may be a transparent substrate such as PEN, PET, PES, or an opaque substrate such as SUS or Al.

또한, 상기 오버코트층(103)상에는 보조전극(105)이 소정 간격으로 이격되어 다수개가 형성되어 있다. 여기서, 상기 보조전극(105)으로 사용되는 금속으로는 저저항 금속으로서 Al, Mo, Cu, 또는 Cr 등의 금속이 이용된다.In addition, a plurality of auxiliary electrodes 105 are spaced at predetermined intervals on the overcoat layer 103. Here, as the metal used as the auxiliary electrode 105, a metal such as Al, Mo, Cu, or Cr is used as the low resistance metal.

그리고, 상기 상기 다수개의 보조전극(105)을 포함한 오버코트층(103)상에 배리어층(barrier layer)(107)이 형성된다.In addition, a barrier layer 107 is formed on the overcoat layer 103 including the plurality of auxiliary electrodes 105.

또한, 상기 배리어층(107)상에는 애노드전극(109)이 소정 간격으로 이격되어 다수개 형성되어 있다. 여기서, 상기 애노드전극(109)은 ITO (Indium Tin Oxide), IZO 또는 SnO2 등이 사용된다.In addition, a plurality of anode electrodes 109 are spaced apart at predetermined intervals on the barrier layer 107. The anode electrode 109 may be formed of indium tin oxide (ITO), IZO, SnO 2 , or the like.

상기 애노드전극(109)이 형성된 배리어층(107)상에는 유기전계셀(EL)영역마다 개구부(미도시)를 갖는 절연막(113)이 형성된다.On the barrier layer 107 where the anode electrode 109 is formed, an insulating layer 113 having an opening (not shown) is formed in each organic field cell EL region.

그리고, 상기 절연막(113)상에는 상기 애노드전극(109)위에 형성되어질 유기 발광층(111) 및 캐소드전극(117)의 분리를 위한 격벽(119)이 형성된다. 여기서, 상기 격벽(119)은 상기 애노드전극(109)을 가로 지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역테이퍼(taper) 구조를 갖게 된다. The barrier rib 119 is formed on the insulating layer 113 to separate the organic light emitting layer 111 and the cathode electrode 117 to be formed on the anode electrode 109. Here, the partition wall 119 is formed in a direction crossing the anode electrode 109, and has a reverse taper structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion.

상기 격벽(119)이 형성된 절연막(113)사이에 위치하는 애노드전극(109)상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(111)과 캐소드전극(117)이 순차적으로 형성된다. 이때, 상기 캐소드전극(117)은 상기 애노드전극(109)과 서로 교차하는 방향으로 형성된다. 또한, 상기 캐소드전극(117)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 절연막(113)내에 형성된 콘택홀(미도시)을 통해 상기 보조전극(105)과 전기적으로 접속된다. 이때, 상기 캐소드전극(117)은 Al, Mg, Ca 등 금속재질로 형성되며, 그 두께는 빛이 투과될 정도의 범위, 즉 10 ∼ 500Å 정도로 형성되는 것이 바람직하다.The organic light emitting layer 111 and the cathode electrode 117 made of an organic compound are sequentially formed on the anode electrode 109 positioned between the insulating layer 113 on which the partition wall 119 is formed. In this case, the cathode electrode 117 is formed in a direction crossing with the anode electrode 109. In addition, as illustrated in FIG. 3, the cathode electrode 117 is electrically connected to the auxiliary electrode 105 through a contact hole (not shown) formed in the insulating layer 113. In this case, the cathode electrode 117 is formed of a metal material such as Al, Mg, Ca, the thickness is preferably formed in the range of the extent to which light is transmitted, that is, about 10 ~ 500Å.

상기 유기발광층(111)은, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 애노드전극 (109)상에 정공주입층(미도시), 정공수송층(미도시), 발광층(미도시) 및 전자수송층(미도시), 전자주입층(미도시)이 적층되어 형성된다.Although not shown in the drawing, the organic light emitting layer 111 has a hole injection layer (not shown), a hole transport layer (not shown), a light emitting layer (not shown), and an electron transport layer (not shown) on the anode electrode 109, An electron injection layer (not shown) is formed by stacking.

이러한 수동형 유기전계 발광소자는 애노드전극(109)과 캐소드전극(117)에 구동신호가 인가되면, 전자와 정공이 방출되고, 애노드전극(109) 및 캐소드전극 (117)에서 방출된 전자와 정공은 유기발광층(111)내에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. 이때, 발생된 가시광은 애노드전극(109)을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 화상 또는 영상을 표시하게 된다.In the passive organic light emitting device, when a driving signal is applied to the anode electrode 109 and the cathode electrode 117, electrons and holes are emitted, and electrons and holes emitted from the anode electrode 109 and the cathode electrode 117 Recombination in the organic light emitting layer 111 generates visible light. At this time, the generated visible light is emitted to the outside through the anode electrode 109 to display a predetermined image or image.

따라서, 본 발명에 따른 유기전계 발광소자는 플라스틱 또는 SUS를 이용하는 조명용 플렉서블(flexible) 유기전계 발광소자에서 오버코트층(103)위에 저항이 낮 은 금속으로 보조전극(105)을 형성하고, 이 보조전극(105)을 최종적으로 캐소드전극(117)과, 도 5에서와 같이, 전기적으로 병렬연결하므로써, 아래 식 1에서와 같이, 캐소드전극 (117)의 저항을 크게 낮출 수 있다.Therefore, in the organic light emitting device according to the present invention, the auxiliary electrode 105 is formed of a metal having low resistance on the overcoat layer 103 in the flexible organic light emitting device using plastic or SUS. By finally connecting 105 to the cathode electrode 117 and in parallel, as shown in FIG. 5, the resistance of the cathode electrode 117 can be significantly lowered as shown in Equation 1 below.

(식 1) ----- 1/R(전체)= 1/r1 + 1/r2(Equation 1) ----- 1 / R (total) = 1 / r1 + 1 / r2

= r1 + r2 / (r1*r2)                       = r1 + r2 / (r1 * r2)

= r1/(r1*r2) (단, r1 >> r2)                       = r1 / (r1 * r2) (r1 >> r2)

= 1/r2                       = 1 / r2

여기서, 상기 r1은 캐소드전극의 저항이고, r2는 보조전극의 저항이다.Here, r1 is the resistance of the cathode electrode, r2 is the resistance of the auxiliary electrode.

상기와 같은 구성으로 이루어지는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조방법에 대해 도 3 및 4를 참조하여 설명하면 다음과 같다.Referring to Figures 3 and 4 with respect to the organic EL device manufacturing method according to the present invention having the configuration as described above are as follows.

도 4a 내지 도 4f는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조방법을 설명하기 위한 개략적인 공정 단면도이다.4A to 4F are schematic cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자에 있어서, 캐소드전극과 보조전극간 병렬 연결 관계를 도시한 개략적인 회로 구성도이다.5 is a schematic circuit diagram illustrating a parallel connection relationship between a cathode electrode and an auxiliary electrode in an organic light emitting diode according to the present invention.

도 4a에 도시된 바와 같이, 플라스틱이나 SUS와 같은 휘기 쉬운(flexible) 기판(101)상에 오버코트층(103)을 전면 증착한다. 이때, 상기 기판(101)으로는 PEN, PET, PES 등의 투명재질의 기판이거나, 또는 SUS, Al 등의 불투명재질의 기판을 사용할 수 있다.As shown in FIG. 4A, the overcoat layer 103 is entirely deposited on a flexible substrate 101 such as plastic or SUS. In this case, the substrate 101 may be a transparent substrate such as PEN, PET, or PES, or an opaque substrate such as SUS or Al.

그다음, 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 오버코트층(103)상에 스퍼터링방법을 이용하여 금속물질막을 증착한다. 이때, 상기 금속물질막으로 이용하는 금속물 질로는 저저항 금속으로 Al, Mo, Cu, Cr 등의 금속물질을 이용한다.Next, as shown in FIG. 4B, a metal material film is deposited on the overcoat layer 103 using a sputtering method. In this case, as the metal material used as the metal material film, a metal material such as Al, Mo, Cu, Cr, etc. is used as the low resistance metal.

이어서, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 금속물질막상에 제1 감광막을 도포한후 이를 노광마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각공정에 의해 패터닝하여 제1 감광막패턴(미도시)을 형성한다.Subsequently, although not shown in the drawings, a first photoresist film is coated on the metal material layer and then patterned by a photolithography process and an etching process using an exposure mask to form a first photoresist pattern (not shown).

그다음, 상기 제1 감광막패턴(미도시)을 마스크로 상기 금속물질막을 선택적으로 제거하여 보조전극(105)을 형성한다.Next, the auxiliary material 105 is formed by selectively removing the metal material layer using the first photoresist pattern (not shown) as a mask.

이어서, 도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 제1 감광막패턴(미도시)을 제거하고 이어 상기 보조전극(105)을 포함한 오버코트층(103)상에 배리어층(107)을 전면 증착한다.Subsequently, as illustrated in FIG. 4C, the barrier layer 107 is entirely deposited on the overcoat layer 103 including the auxiliary electrode 105 after removing the first photoresist layer pattern (not shown).

그다음, 도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 오버코트층(103)상에 스퍼터링방법을 이용하여 금속물질막을 증착한다. 이때, 상기 금속물질막으로 이용하는 금속물질로는 ITO (Indium Tin Oxide) 또는 SnO2 등을 이용한다. Next, as shown in FIG. 4C, a metal material film is deposited on the overcoat layer 103 using a sputtering method. In this case, indium tin oxide (ITO) or SnO 2 may be used as the metal material used as the metal material film.

이어서, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 금속물질막상에 제2 감광막을 도포한후 이를 노광마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각공정에 의해 패터닝하여 제2 감광막패턴(미도시)을 형성한다.Subsequently, although not shown in the drawings, a second photoresist film is coated on the metal material film and then patterned by a photolithography process and an etching process using an exposure mask to form a second photoresist pattern (not shown).

그다음, 도 4d에 도시된 바와 같이, 상기 제2 감광막패턴(미도시)을 마스크로 상기 금속물질막을 선택적으로 제거하여 애노드전극(109)을 형성한다.Next, as illustrated in FIG. 4D, the metal material layer is selectively removed using the second photoresist pattern (not shown) as a mask to form an anode electrode 109.

이어서, 도 4e에 도시된 바와 같이, 상기 제2 감광막패턴(미도시)을 제거하고 이어 상기 애노드전극(109)을 포함한 배리어층(107)상에 감광성 유기물질을 증 착한후 이를 포토리쏘그래피 공정 및 식각공정에 의해 선택적으로 패터닝하므로써 유기발광층(111)이 형성될 발광영역을 정의하고, 상기 보조전극(105) 일부를 노출시키는 콘택홀(115)을 구비한 절연막패턴(113)을 형성한다. Subsequently, as shown in FIG. 4E, the second photoresist layer pattern (not shown) is removed, and then a photosensitive organic material is deposited on the barrier layer 107 including the anode electrode 109 and then subjected to a photolithography process. And an insulating pattern 113 including a contact hole 115 exposing a portion of the auxiliary electrode 105 to define a light emitting region in which the organic light emitting layer 111 is to be formed by selectively patterning by an etching process.

그다음, 상기 비발광영역인 상기 절연막패턴(113)지역을 제외한 발광 영역인 애노드전극(109) 영역을 전면 노출시키는 마스크(미도시)를 정렬한후 상기 애노드전극(109)상에 유기발광층(111)을 형성한다. 이때, 상기 유기발광층(111)은 정공주입층(미도시), 정공수송층(미도시), 발광층(미도시) 및 전자수송층(미도시), 전자주입층(미도시)이 순차적으로 적층하여 형성한다. 이때, 상기 정공주입층(미도시)과 정공수송층(미도시)은 공통마스크를 이용하여 형성하며, 상기 발광층(미도시)는 절연막패턴(113)에 의해 구획되는 발광영역, 즉 애노드전극(109)만을 노출시키는 섀도우(메탈) 마스크를 이용하여 형성한다. 또한, 상기 전자수송층(미도시)과 전자주입층(미도시)은 다시 상기 공통마스크를 이용하여 형성한다. Next, after aligning a mask (not shown) for exposing an entire area of the anode electrode 109 which is a light emitting area other than the region of the insulating layer pattern 113 that is the non-light emitting area, an organic light emitting layer 111 is disposed on the anode electrode 109. ). In this case, the organic light emitting layer 111 is formed by sequentially stacking a hole injection layer (not shown), a hole transport layer (not shown), a light emitting layer (not shown) and an electron transport layer (not shown), an electron injection layer (not shown) do. In this case, the hole injection layer (not shown) and the hole transport layer (not shown) are formed using a common mask, and the light emitting layer (not shown) is a light emitting area partitioned by the insulating film pattern 113, that is, the anode electrode 109 Is formed using a shadow (metal) mask that exposes only). In addition, the electron transport layer (not shown) and the electron injection layer (not shown) are formed again using the common mask.

이어서, 상기 유기발광층(111)을 형성한후 상기 절연막패턴(113)상에 네거티브성 감광성 유기물질을 도포한후 노광마스크를 이용한 포토리쏘그래피 공정 및 식각공정에 의해 패터닝하여, 도 2에서와 같이, 격벽(119)을 형성한다.Subsequently, after the organic light emitting layer 111 is formed, a negative photosensitive organic material is coated on the insulating layer pattern 113, and then patterned by a photolithography process and an etching process using an exposure mask, as shown in FIG. 2. The partition 119 is formed.

그다음, 도 4f에 도시된 바와 같이, 상기 격벽(119)을 마스크로 상기 유기발광층(111) 및 콘택홀(115)상에 투명금속물질, 예를들어 Al, Mg, Ca 등 금속재질을 스퍼터링방법에 의해 얇게 증착하여 캐소드전극(117)을 형성한다. 이때, 상기 캐소드전극(117)은 증착과 동시에 상기 격벽(119)에 의해 전기적으로 분리 형성된다. 또한, 상기 캐소드전극(117)은 상기 콘택홀(115)을 통해 상기 보조전극(105)과 전기적으로 접속된다. 또한, 상기 캐소드전극(117)의 두께는 빛이 투과될 정도의 범위, 즉 10 ∼ 500Å 정도로 형성하는 것이 바람직하다. Next, as shown in FIG. 4F, a transparent metal material such as Al, Mg, Ca, or the like is sputtered on the organic light emitting layer 111 and the contact hole 115 using the barrier rib 119 as a mask. The thin film is deposited by a thin film to form the cathode electrode 117. At this time, the cathode electrode 117 is electrically separated by the partition 119 at the same time as the deposition. In addition, the cathode electrode 117 is electrically connected to the auxiliary electrode 105 through the contact hole 115. In addition, it is preferable that the thickness of the cathode electrode 117 is formed to be in the range of the extent to which light is transmitted, that is, about 10 to 500 mW.

따라서, 플라스틱 또는 SUS를 이용하는 조명용 플렉서블(flexible) 유기전계 발광소자에서 오버코트층(103)위에 저항이 낮은 금속으로 보조전극(105)을 형성하고, 이를 최종적으로 캐소드전극(117)과 콘택홀(115)을 통해 도 5에서와 같이, 전기적으로 병렬접속시켜 주므로써 얇은 두께의 캐소드전극(117)의 저항을 크게 낮출 수 있으므로 소비 전력을 감소시킬 수 있다.Therefore, in the flexible organic light emitting device for lighting using plastic or SUS, the auxiliary electrode 105 is formed of a metal having low resistance on the overcoat layer 103, and finally, the cathode electrode 117 and the contact hole 115 are formed. As shown in FIG. 5, the resistance of the cathode electrode 117 having a thin thickness can be greatly reduced by electrically connecting in parallel, thereby reducing power consumption.

한편, 본 발명의 다른 실시예로써, 인버티드(inverted) 타입의 유기전계 발광소자, 즉 애노드전극과 캐소드전극 배치를 서로 변경하여 애노드전극과 보조전극을 전기적으로 병렬연결하는 경우에도, 전술한 실시예에서와 같이 애노드전극의 저항을 크게 낮출 수 있음을 밝혀 두기로 한다.On the other hand, as another embodiment of the present invention, the inverted (inverted) type of organic light emitting device, that is, even when the anode electrode and the cathode electrode is changed to each other to electrically connect the anode electrode and the auxiliary electrode in the above-described embodiment, As in the example, the resistance of the anode can be significantly reduced.

본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야에서 당업자는 본 발명의 기술사상의 범위내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.Although the technical spirit of the present invention has been described in detail according to the above-described preferred embodiment, it should be noted that the above-described embodiment is for the purpose of description and not of limitation. In addition, those skilled in the art will understand that various embodiments are possible within the scope of the technical idea of the present invention.

도 1은 종래기술에 따른 유기전계 발광소자를 개략적으로 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing an organic light emitting device according to the prior art.

도 2는 본 발명에 따른 유기 EL표시소자를 개략적으로 나타낸 단면도이다.2 is a sectional view schematically showing an organic EL display element according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자의 개략적인 단면도로서, 캐소드전극과 보조전극의 연결 구조를 나타낸 단면도이다.3 is a schematic cross-sectional view of an organic light emitting device according to the present invention, which is a cross-sectional view showing a connection structure of a cathode electrode and an auxiliary electrode.

도 4a 내지 도 4f는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조방법을 설명하기 위한 개략적인 공정 단면도이다.4A to 4F are schematic cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자에 있어서, 캐소드전극과 보조전극간 병렬 연결 관계를 도시한 개략적인 회로 구성도이다.5 is a schematic circuit diagram illustrating a parallel connection relationship between a cathode electrode and an auxiliary electrode in an organic light emitting diode according to the present invention.

*** 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 ****** Explanation of symbols on the main parts of the drawing ***

101 : 기판 103 : 오버코트층101 substrate 103 overcoat layer

105 : 보조전극 107 : 배리어층105: auxiliary electrode 107: barrier layer

109 : 애노드전극 111 : 유기발광층109: anode electrode 111: organic light emitting layer

113 : 절연막패턴 115 : 콘택홀113: insulating film pattern 115: contact hole

117 : 캐소드전극 119 : 격벽117: cathode electrode 119: partition wall

Claims (9)

기판상에 형성된 오버코트층;An overcoat layer formed on the substrate; 상기 오버코트층상에 형성된 일정 간격으로 이격된 다수개의 보조전극;A plurality of auxiliary electrodes spaced at regular intervals formed on the overcoat layer; 상기 다수개의 보조전극을 포함한 기판상에 형성된 배리어층;A barrier layer formed on the substrate including the plurality of auxiliary electrodes; 상기 배리어층상에 형성되고 상기 일정 간격으로 이격된 다수개의 애노드전극;A plurality of anode electrodes formed on the barrier layer and spaced apart at regular intervals; 상기 다수개의 애노드전극사이의 배리어층상에 형성되고, 상기 보조전극 일부를 노출시키는 콘택홀이 구비된 절연막패턴;An insulating layer pattern formed on the barrier layer between the plurality of anode electrodes and having a contact hole exposing a part of the auxiliary electrode; 상기 애노드전극상에 형성된 유기발광층;An organic light emitting layer formed on the anode electrode; 상기 유기발광층상에 상기 애노드전극과 서로 교차되게 형성되고, 상기 콘택홀을 통해 상기 보조전극과 전기적으로 병렬접속되는 캐소드전극; 및A cathode electrode formed on the organic light emitting layer to cross the anode electrode and electrically connected in parallel with the auxiliary electrode through the contact hole; And 상기 애노드전극과 교차되게 형성되고, 상기 각각의 캐소드전극을 전기적으로 분리시키는 격벽;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자.And a partition wall formed to intersect the anode electrode and electrically separating the cathode electrodes. 제1항에 있어서, 상기 보조전극은 저저항 금속인 Al, Mo, Cu, 또는 Cr 으로 형성된 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자.The organic light emitting device of claim 1, wherein the auxiliary electrode is formed of Al, Mo, Cu, or Cr, which is a low resistance metal. 제1항에 있어서, 상기 기판은 PEN, PET, PES와 같은 투명재질, 또는 SUS, Al와 같은 불투명재질의 기판인 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자.The organic light emitting device of claim 1, wherein the substrate is a transparent material such as PEN, PET, or PES, or an opaque material such as SUS or Al. 제1항에 있어서, 상기 캐소드전극은 Al, Mg, Ca 로 형성되며, 그 두께는 빛이 투과될 정도의 범위인 10 ∼ 500Å 정도로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자.The organic light emitting device of claim 1, wherein the cathode is formed of Al, Mg, and Ca, and has a thickness of about 10 to 500 kPa, in a range of light transmission. 기판상에 오버코트층을 형성하는 단계;Forming an overcoat layer on the substrate; 상기 오버코트층상에 일정 간격으로 이격된 다수개의 보조전극을 형성하는 단계;Forming a plurality of auxiliary electrodes spaced at regular intervals on the overcoat layer; 상기 다수개의 보조전극을 포함한 기판상에 배리어층을 형성하는 단계;Forming a barrier layer on the substrate including the plurality of auxiliary electrodes; 상기 배리어층상에 상기 일정 간격으로 이격된 다수개의 애노드전극을 형성하는 단계;Forming a plurality of anode electrodes spaced apart at regular intervals on the barrier layer; 상기 다수개의 애노드전극을 제외한 이들사이의 배리어층상에 상기 보조전극 일부를 노출시키는 콘택홀이 구비된 절연막패턴을 형성하는 단계;Forming an insulating layer pattern including a contact hole exposing a part of the auxiliary electrode on a barrier layer therebetween except for the plurality of anode electrodes; 상기 애노드전극상에 유기발광층을 형성하는 단계;Forming an organic light emitting layer on the anode; 상기 절연막패턴상에 격벽을 형성하는 단계; 및Forming a partition on the insulating film pattern; And 상기 격벽을 마스크로 상기 유기발광층상에 상기 콘택홀을 통해 상기 보조전극과 전기적으로 병렬연결되는 다수개의 캐소드전극을 형성하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 제조방법.Forming a plurality of cathode electrodes electrically connected in parallel with the auxiliary electrode through the contact hole on the organic light emitting layer by using the barrier as a mask. 제5항에 있어서, 상기 보조전극은 저저항 금속인 Al, Mo, Cu, 또는 Cr 으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 제조방법.The method of claim 5, wherein the auxiliary electrode is formed of Al, Mo, Cu, or Cr, which is a low resistance metal. 제5항에 있어서, 상기 기판은 PEN, PET, PES와 같은 투명재질, 또는 SUS, Al와 같은 불투명재질의 기판인 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 제조방법.The method of claim 5, wherein the substrate is a transparent material such as PEN, PET, or PES, or an opaque material such as SUS or Al. 제5항에 있어서, 상기 캐소드전극은 Al, Mg, Ca 로 형성되며, 그 두께는 빛이 투과될 정도의 범위인 10 ∼ 500Å 정도로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 제조방법.The method of claim 5, wherein the cathode electrode is formed of Al, Mg, Ca, the thickness of the organic light emitting device manufacturing method, characterized in that formed in the range of about 10 ~ 500Å range of light transmission. 제5항에 있어서, 상기 캐소드전극 각각은 격벽에 의해 전기적으로 분리되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 제조방법.The method of claim 5, wherein each of the cathode electrodes is electrically separated by a partition wall.
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