KR100717332B1 - Organic Electro Luminescence Device And Fabricating Method Thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기발광층을 정위치에 균일하게 형성시킬 수 있는 유기 전계발광표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to an organic electroluminescent display device capable of uniformly forming an organic light emitting layer in place and a method of manufacturing the same.

본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자는 유기발광층을 사이에 두고 서로 교차되게 형성되는 애노드전극 및 캐소드전극과; 상기 애노드 전극과 교차되게 형성되어 상기 각각의 캐소드 전극을 전기적으로 분리시키는 격벽과; 상기 애노드 전극을 부분적으로 노출시켜 상기 유기발광층 형성영역을 정의하며 상기 격벽형성영역에서 부분적으로 제거된 절연패턴을 구비하는 것을 특징으로 한다.An organic electroluminescent display device according to the present invention comprises: an anode electrode and a cathode electrode formed to cross each other with an organic light emitting layer therebetween; Barrier ribs formed to intersect the anode electrode to electrically separate the cathode electrodes; The anode electrode is partially exposed to define the organic light emitting layer forming region, and the insulating pattern is partially removed from the barrier rib forming region.

Description

유기 전계발광표시소자 및 그 제조방법{Organic Electro Luminescence Device And Fabricating Method Thereof} Organic electroluminescent display device and its manufacturing method {Organic Electro Luminescence Device And Fabricating Method Thereof}

도 1은 종래의 유기 전계발광표시소자를 개략적으로 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing a conventional organic electroluminescent display device.

도 2는 종래의 유기발광층의 발광층이 불균일하게 형성됨으로 나타내는 도면이다.2 is a view showing that the light emitting layer of the conventional organic light emitting layer is formed non-uniformly.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 전계발광표시소자를 나타내는 평면도이다.3 is a plan view illustrating an organic light emitting display device according to a first exemplary embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 Ⅰ-Ⅰ' 선을 절취하여 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 3.

도 5는 유기발광층의 발광층이 정위치에 균일하게 형성됨을 나타내는 도면이다.5 is a view showing that the light emitting layer of the organic light emitting layer is uniformly formed in a fixed position.

도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조방법을 단계적을 나타내는 도면이다.6A through 6E are diagrams illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to a first embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 제1 실시예에서의 절연패턴을 구체적으로 나타내는 사시도이다.7 is a perspective view specifically showing an insulating pattern in the first embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 전계발광표시소자를 나타내는 단면도이다.8 is a cross-sectional view of an organic light emitting display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 9는 본 발명의 제2 실시예에서의 절연패턴을 구체적으로 나타내는 사시도이다.9 is a perspective view specifically showing an insulation pattern in a second embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>     <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

2,102 : 기판 4,104 : 애노드전극2,102: substrate 4,104: anode electrode

8,108 : 격벽 45,145 : 섀도우 마스크 8,108 bulkhead 45,145 shadow mask

10,110 : 유기전계발광층 12,112 : 캐소드 전극 10,110: organic light emitting layer 12,112: cathode electrode

6 : 절연막 106 : 절연패턴6 insulation film 106 insulation pattern

본 발명은 유기 전계발광표시소자에 관한 것으로, 특히, 유기발광층을 정위치에 균일하게 형성시킬 수 있는 유기 전계발광표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent display device, and more particularly, to an organic electroluminescent display device capable of uniformly forming an organic light emitting layer in place and a method of manufacturing the same.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel) 및 전계발광소자(Electro Luminescence Device : 이하 "EL"라 함)표시소자 등이 있다. 특히 EL표시소자는 기본적으로 정공수송층, 발광층, 전자수송층으로 이루어진 유기 발광층의 양면에 전극을 붙인 형태의 것으로서, 넓은 시야각, 고개구율, 고색도 등의 특징 때문에 차세대 평판표시장치로서 주목받고 있다. Recently, various flat panel displays have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. Such a flat panel display includes a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, and an electroluminescent device (hereinafter referred to as "EL"). Element; In particular, the EL display device is basically formed by attaching electrodes to both sides of an organic light emitting layer including a hole transporting layer, a light emitting layer, and an electron transporting layer, and has attracted attention as a next-generation flat panel display because of its wide viewing angle, high opening ratio, and high color.

이러한 EL표시소자는 사용하는 재료에 따라 크게 무기 EL표시소자와 유기 EL표시소자로 나뉘어진다. 이 중 유기 EL표시소자는 정공 주입 전극과 전자 주입 전극 사이에 형성된 유기 EL 층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내기 때문에 무기 EL표시소자에 비해 낮은 전압으로 구동 가능하다는 장점이 있다. 또한, 유기 EL표시소자는 플라스틱같이 휠 수 있는(Flexible) 투명기판 위에도 소자를 형성할 수 있을 뿐 아니라, PDP나 무기 EL표시소자에 비해 10V 이하의 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 전력 소모가 비교적 작으며, 색감이 뛰어나다. Such EL display elements are largely divided into inorganic EL display elements and organic EL display elements depending on the materials used. Among them, the organic EL display device can be driven at a lower voltage than the inorganic EL display device because when the charge is injected into the organic EL layer formed between the hole injection electrode and the electron injection electrode, electrons and holes are paired and extinguished to emit light. Has the advantage. In addition, the organic EL display device can be formed on a flexible transparent substrate, such as plastic, and can be driven at a voltage lower than 10V compared to a PDP or an inorganic EL display device, and the power consumption is relatively low. Small, excellent color

도 1은 종래의 유기 EL표시소자를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a conventional organic EL display element.

도 1에 도시된 유기 EL표시소자는 기판(2) 상에 애노드전극(4)과 캐소드전극(12)이 서로 교차하는 방향으로 형성된다. In the organic EL display device shown in Fig. 1, the anode electrode 4 and the cathode electrode 12 are formed on the substrate 2 in a direction crossing each other.

애노드전극(4)은 기판(2) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 애노드전극(4)이 형성된 기판(2) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부(발광영역(P1)를 갖는 절연막(6)이 형성된다. 절연막(6) 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(10) 및 캐소드전극(12)의 분리를 위한 격벽(8)이 위치한다. 격벽(8)은 애노드전극(4)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(8)이 형성된 절연막 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(10)과 캐소드전극(12)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기발광층(10)은 절연막(6) 상에 정공주입층(10e), 정공 수송층(10d), 발광층(10c) 및 전자 수송층(10b) 및 전자 주입층(10a)이 적층되어 형성된다. 이러한 수동형 EL표시소자는 애노드전극(4)과 캐소드전극(12)에 구동신호가 인가되면 전자와 정공이 방출되고, 애노드전극(4) 및 캐소드전극(12)에서 방출된 전자와 정공은 유기발광층(10) 내에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. 이때, 발생된 가시광은 애노드전극(4)을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 화상 또는 영상을 표시하게 된다. A plurality of anode electrodes 4 are spaced apart at predetermined intervals on the substrate 2. On the substrate 2 on which the anode electrode 4 is formed, an insulating film 6 having an opening (light emitting region P1) is formed in each EL cell EL region. On the insulating film 6, an organic light emitting layer 10 to be formed thereon is formed. And a partition wall 8 for separating the cathode electrode 12. The partition wall 8 is formed in a direction crossing the anode electrode 4, and an inverted taper having an upper end portion having a wider width than the lower end portion. The organic light emitting layer 10 made of an organic compound and the cathode electrode 12 are sequentially deposited on the insulating film on which the barrier rib 8 is formed, and the organic light emitting layer 10 is formed on the insulating film 6. The injection layer 10e, the hole transport layer 10d, the light emitting layer 10c, the electron transport layer 10b, and the electron injection layer 10a are formed by laminating the passive EL display device with the anode electrode 4 and the cathode electrode ( When the driving signal is applied to 12, electrons and holes are emitted, and the anode electrode 4 and the cathode electrode The electrons and holes emitted from 12 generate visible light while recombining in the organic light emitting layer 10. At this time, the generated visible light comes out through the anode electrode 4 to display a predetermined image or image. do.

한편, 종래의 유기발광층(10)의 정공 수송층(10d) 및 정공 주입층(10e)은 어레이 전체를 노출시키는 공통마스크를 이용하여 형성되고, 발광층(10c)은 절연막(6)에 의해 구획되는 발광영역(P1)만을 노출시키는 섀도우(메탈)마스크를 이용하여 형성되며, 전자주입층(10a), 전자 수송층(10b)은 상기 공통마스크를 다시 이용하여 형성된다. On the other hand, the hole transport layer 10d and the hole injection layer 10e of the conventional organic light emitting layer 10 are formed using a common mask that exposes the entire array, and the light emitting layer 10c is light emission partitioned by the insulating film 6. It is formed using a shadow (metal) mask exposing only the region P1, and the electron injection layer 10a and the electron transport layer 10b are formed again using the common mask.

도 2는 섀도우 마스크를 이용하여 발광층을 형성하는 경우를 나타낸 도면이다. 2 is a diagram illustrating a case in which a light emitting layer is formed using a shadow mask.

격벽(8)이 형성된 기판(2) 상부에 섀도우 마스크(45)가 정렬되고 섀도우 마스크(45)의 투과부(46)를 통해 노출된 영역에 특정 발광층 예를 들어, 적색(R)을 구현하는 발광층(10c)이 형성된다. A light emitting layer that aligns the shadow mask 45 on the substrate 2 on which the partition wall 8 is formed and implements a specific light emitting layer, for example, red (R), in an area exposed through the transmissive portion 46 of the shadow mask 45. 10c is formed.

여기서, 섀도우 마스크(45)의 두께(d1)는 약 40~50㎛ 정도의 두께를 갖게 되고 격벽(8)의 두께(d2)는 약 4~6㎛ 정도이다. 따라서, 섀도우 마스크(45)의 두께를 통과한 발광물질이 투과부(46)내에서 다수번 반사되면서 발광영역(P1)에 증착되게 된다. 그러나, 종래의 구조는 마스크와 발광영역 간의 격벽(8)이 존재하게 됨으로써 투과부(46)를 통과한 유기물질이 발광영역(P1)에 균일하게 증착되지 않는 문제가 발생된다. 즉, 투과부(46)를 통과하는 발광물질이 격벽(8)에서도 반사되어 발광영역(P1)의 양 끝단영역(A)에는 발광물질이 거의 증착되지 않게되는 문제가 발생된다. Here, the thickness d1 of the shadow mask 45 has a thickness of about 40-50 μm, and the thickness d2 of the partition 8 is about 4-6 μm. Therefore, the light emitting material having passed through the thickness of the shadow mask 45 is reflected in the transmissive part 46 a plurality of times and is deposited in the light emitting area P1. However, in the conventional structure, the partition 8 between the mask and the light emitting region is present, thereby causing a problem that organic materials passing through the transmission part 46 are not uniformly deposited in the light emitting region P1. That is, the light emitting material passing through the transmissive portion 46 is also reflected in the partition 8, so that the light emitting material is hardly deposited on both end regions A of the light emitting area P1.

따라서, 본 발명의 목적은 유기발광층을 정위치에 균일하게 형성시킬 수 있는 유기 전계발광표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. Accordingly, an object of the present invention relates to an organic electroluminescent display device capable of uniformly forming an organic light emitting layer in place and a method of manufacturing the same.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자는 유기발광층을 사이에 두고 서로 교차되게 형성되는 애노드전극 및 캐소드전극과; 상기 애노드 전극과 교차되게 형성되어 상기 각각의 캐소드 전극을 전기적으로 분리시키는 격벽과; 상기 애노드 전극을 부분적으로 노출시켜 상기 유기발광층 형성영역을 정의하며 상기 격벽형성영역에서 부분적으로 제거된 절연패턴을 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the organic electroluminescent display device according to the present invention includes an anode electrode and a cathode electrode formed to cross each other with an organic light emitting layer therebetween; Barrier ribs formed to intersect the anode electrode to electrically separate the cathode electrodes; The anode electrode is partially exposed to define the organic light emitting layer forming region, and the insulating pattern is partially removed from the barrier rib forming region.

상기 절연패턴과 상기 격벽은 서로 실질적으로 동일한 높이를 가지는 것을 특징으로 한다. The insulating pattern and the partition wall may have substantially the same height as each other.

상기 절연패턴 및 격벽의 높이는 1~3㎛ 정도인 것을 특징으로 한다.The height of the insulating pattern and the partition wall is characterized in that about 1 ~ 3㎛.

상기 절연패턴은 상기 격벽과 유기발광층 사이에 부분적으로 위치하는 것을 특징으로 한다.The insulating pattern may be partially positioned between the barrier rib and the organic light emitting layer.

상기 절연패턴은 상기 격벽과 유기발광층 사이에서 더 제거된 것을 특징으로 한다.The insulating pattern is further removed between the barrier rib and the organic light emitting layer.

본 발명에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조방법은 기판 상에 애노드 전극을 형성하는 단계와; 상기 애노드전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하고 상기 애노드 전극과 교차됨과 동시에 상기 발광영영과 비중첩되는 영역에서 부분적으로 제거되는 절연막을 형성하는 단계와; 상기 애노드 전극과 교차되며 상기 발광영역과 비중첩되는 영역에 격벽을 형성하는 단계와; 상기 발광영역에 유기발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기발광층을 사이에 두고 상기 애노드 전극과 교차되는 캐소드 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.A method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention includes the steps of forming an anode electrode on a substrate; Forming an insulating layer by partially exposing the anode electrode to define a light emitting region and partially removing the region from the region overlapping the anode electrode and not overlapping the light emitting region; Forming a barrier rib in an area intersecting the anode and not overlapping the emission area; Forming an organic light emitting layer in the light emitting region; And forming a cathode electrode intersecting the anode electrode with the organic light emitting layer interposed therebetween.

상기 격벽은 상기 절연패턴과 실질적으로 동일한 높이를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The partition wall is formed to have a height substantially the same as the insulating pattern.

상기 절연패턴 및 격벽은 1~3㎛ 정도의 높이를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 한다.The insulating pattern and the partition wall is characterized in that it is formed to have a height of about 1 ~ 3㎛.

상기 절연패턴을 형성하는 단계는 상기 절연패턴의 일부가 상기 격벽과 유기발광층 사이에 부분적으로 위치하도록 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. The forming of the insulating pattern may include forming a portion of the insulating pattern to be partially positioned between the barrier rib and the organic light emitting layer.

상기 절연패턴을 형성하는 단계는 상기 절연패턴이 상기 격벽과 유기발광층 사이에서 더 제거되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The forming of the insulating pattern may further include removing the insulating pattern between the barrier rib and the organic light emitting layer.

상기 유기발광층을 형성하는 단계는 상기 발광영역 및 발광영역을 제외하는 비발광영역을 전면 노출시키는 제1 마스크를 이용하여 정공주입층 및 정공수송층을 형성하는 단계와; 상기 격벽과 접촉되며 상기 발광영역을 선택적으로 노출시키는 제2 마스크를 이용하여 발광층을 형성하는 단계와; 상기 제1 마스크를 이용하여 전자수송층 및 전자주입층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. The forming of the organic light emitting layer may include forming a hole injection layer and a hole transport layer by using a first mask that exposes the light emitting area and the non-light emitting area except the light emitting area; Forming a light emitting layer by using a second mask in contact with the partition and selectively exposing the light emitting area; And forming an electron transport layer and an electron injection layer by using the first mask.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 3 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 9.

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 EL표시소자를 나타내는 평면도이고, 도 4는 도 3의 Ⅰ-Ⅰ' 선을 절취하여 나타내는 단면도이다. 3 is a plan view illustrating an organic EL display device according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line II ′ of FIG. 3.

도 3 및 도 4에 도시된 유기 EL표시소자는 기판(102) 상에 애노드전극(104)과 캐소드전극(112)이 서로 교차하는 방향으로 형성된다. The organic EL display elements shown in FIGS. 3 and 4 are formed on the substrate 102 in a direction in which the anode electrode 104 and the cathode electrode 112 cross each other.

애노드전극(104)은 기판(102) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 애노드전극(104)이 형성된 기판(102) 상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부(발광영역(P1))를 갖는 절연패턴(106)이 형성된다. A plurality of anode electrodes 104 are spaced apart at predetermined intervals on the substrate 102. On the substrate 102 on which the anode electrode 104 is formed, an insulating pattern 106 having an opening (light emitting region P1) is formed for each EL cell EL region.

이러한 절연패턴(106)은 종래와 달리 격벽(108)이 형성될 영역에서 부분적으로 제거되게 형성된다. 이에 따라, 본 발명에서의 격벽(108)은 절연패턴(106)과 비중첩되게 형성됨과 아울러 애노드 전극(104) 및 기판(102)과 직접 접촉되게 된다. 또한, 격벽(108)과 절연패턴(106)의 높이는 유사한 높이 즉, 실질적으로 동일하게 형성된다. 이에 따라, 종래와 비교하여 격벽(108)의 높이가 낮아지게 됨으로써 유기물질이 발광영역(P1)에 균일하게 증착되게 된다. Unlike the related art, the insulating pattern 106 is formed to be partially removed from the region where the partition 108 is to be formed. Accordingly, the partition wall 108 in the present invention is formed to be non-overlapping with the insulating pattern 106 and in direct contact with the anode electrode 104 and the substrate 102. In addition, the heights of the partition wall 108 and the insulating pattern 106 are formed at a similar height, that is, substantially the same. As a result, the height of the barrier ribs 108 is lowered as compared with the related art, so that organic materials are uniformly deposited in the light emitting region P1.

이를 좀더 구체적으로 설명하면 다음과 같다. This will be described in more detail as follows.

본 발명에서는 격벽(108)과 접촉되게 섀도우 마스크(145)가 정렬되고 섀도우 마스크(145)의 투과부(146)를 통해 노출된 영역에 특정 발광층 예를 들어, 적색(R)을 구현하는 발광층(110c)이 형성된다. In the present invention, the shadow mask 145 is aligned with the partition 108 and the light emitting layer 110c embodies a specific light emitting layer, for example, red (R), in an area exposed through the transmission part 146 of the shadow mask 145. ) Is formed.

이때, 도 5에 도시된 바와 같이 격벽(108)의 높이가 절연패턴(106)의 높이와 유사하게 형성되고, 격벽(108)이 기판(102) 및 애노드 전극(104)과 직접 접촉되게 됨으로써 섀도우 마스크(145)와 발광층(110c)이 형성될 발광영역(P1) 까지의 거리가 종래대비 상당히 가깝게 된다. 그 결과, 투과부(46)를 통과한 유기물질이 발광영역(P1)에 정확하고 균일하게 증착되게 된다. At this time, as shown in FIG. 5, the height of the barrier ribs 108 is formed to be similar to the height of the insulating pattern 106, and the barrier ribs 108 are brought into direct contact with the substrate 102 and the anode electrode 104. The distance between the mask 145 and the light emitting region P1 in which the light emitting layer 110c is to be formed is considerably closer than in the related art. As a result, the organic material having passed through the transmission part 46 is deposited in the light emitting region P1 accurately and uniformly.

이와 같이, 본 발명에 따른 유기 EL표시소자는 절연패턴(106)이 격벽(108) 형성영역에서 부분적으로 제거되며 그 제거된 영역에 격벽(108)이 형성된다. 이에 따라, 발광층(110c) 형성시 섀도우 마스크(145)와 발광영역(P1) 까지의 거리가 가까워지게 됨으로써 유기물질이 발광영역(P1)에 정확하고 균일하게 증착되게 된다. As described above, in the organic EL display device according to the present invention, the insulating pattern 106 is partially removed from the partition 108 forming region, and the partition 108 is formed in the removed region. As a result, the distance between the shadow mask 145 and the light emitting region P1 is closer when the light emitting layer 110c is formed, so that organic materials are accurately and uniformly deposited in the light emitting region P1.

이하, 도 6a 내지 도 7을 참조하여 본 발명에 따른 유기 EL표시소자의 제조방법에 관하여 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, a manufacturing method of an organic EL display device according to the present invention will be described with reference to FIGS. 6A to 7.

먼저, 소다라임(Sodalime) 또는 경화유리를 이용하여 형성된 기판(102) 상에 금속투명도전성물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정과 식각공정에 의해 패터닝됨 으로써 도 6a에 도시된 바와 같이 애노드전극(104)이 형성된다. First, a metal transparent conductive material is deposited on a substrate 102 formed by using soda lime or hardened glass, and then patterned by a photolithography process and an etching process. As shown in FIG. 104 is formed.

여기서, 금속물질로는 인듐-틴-옥사이드(Indium-Tin-Oxide) 또는 SnO2 등이 이용된다. Here, indium tin oxide or SnO 2 may be used as the metal material.

애노드전극(104)이 형성된 기판(102) 상에 감광성절연물질이 스핀코팅(Spin-Coating)법에 의해 코팅된 후 포토리쏘그래피공정 및 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 6b 및 도 7 도시된 바와 같이 유기발광층(110)이 형성될 발광영역(P1)을 정의함과 아울러 격벽(108)이 형성될 영역에서 부분적으로 제거된 절연패턴(106)이 형성된다. The photosensitive insulating material is coated on the substrate 102 on which the anode electrode 104 is formed by spin-coating and then patterned by a photolithography process and an etching process, as shown in FIGS. 6B and 7. In addition to defining a light emitting region P1 in which the organic light emitting layer 110 is to be formed, an insulating pattern 106 partially removed from the region in which the partition 108 is to be formed is formed.

이후, 감광성유기물질이 증착된 후 포토리쏘그래피공정 및 식각공정에 의해 패터닝됨으로써 도 6c에 도시된 바와 같이 절연패턴(106)이 제거된 영역에 격벽(108)이 형성된다. After that, the photosensitive organic material is deposited and then patterned by a photolithography process and an etching process to form a partition 108 in a region where the insulating pattern 106 is removed as shown in FIG. 6C.

이후, 발광영역(P1)에 다수의 유기물층이 증착됨으로써 도 6d에 도시된 바와 같이 유기발광층(110)이 형성된다.Thereafter, a plurality of organic layers are deposited in the emission region P1 to form the organic light emitting layer 110 as shown in FIG. 6D.

이하, 유기발광층(110)의 형성 공정을 좀더 구체적으로 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, the forming process of the organic light emitting layer 110 will be described in more detail.

먼저, 격벽(108)이 형성된 기판(102) 상에 발광영역(P1) 및 발광영역(P1)을 제외한 비발광영역(P2)을 전면 노출시키는 공통마스크가 정렬된 후 유기물층이 증착된다. 이에 따라, 정공 주입층 및 정공 수송층이 형성된다.First, a common mask for exposing the entire surface of the light emitting region P1 and the non-light emitting region P2 except for the light emitting region P1 is aligned on the substrate 102 on which the partition 108 is formed, and then the organic layer is deposited. As a result, a hole injection layer and a hole transport layer are formed.

이후, 도 5에 도시된 바와 같이, 발광영역(P1)을 선택적으로 노출시키는 섀도우 마스크(145)가 격벽(108)과 접촉되도록 정렬된다. 특정색, 예를 들어, 적색(Red)을 구현하는 발광물질이 증착됨으로써 적색발광층(110c)이 형성된다. Thereafter, as shown in FIG. 5, the shadow mask 145 that selectively exposes the emission region P1 is aligned to contact the partition 108. A red light emitting layer 110c is formed by depositing a light emitting material that realizes a specific color, for example, red.

이후, 정공 주입층 및 정공 수송층 형성시 이용된 공통마스크를 이용하여 전자 수송층 및 정공 수송층이 형성된다. 이로써, 유기발광층(110)이 형성된다. Thereafter, the electron transport layer and the hole transport layer are formed using the common mask used when forming the hole injection layer and the hole transport layer. As a result, the organic light emitting layer 110 is formed.

이후, 유기발광층(110)이 형성된 기판(102) 상에 알루미늄, 알루미늄계 금속 등이 금속물질이 증착됨으로써 도 6e에 도시된 바와 같이 캐소드 전극(112)이 형성된다. Subsequently, aluminum, an aluminum metal, or the like is deposited on the substrate 102 on which the organic light emitting layer 110 is formed, thereby forming the cathode electrode 112 as shown in FIG. 6E.

도 8은 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 EL표시소자를 나타내는 단면도이고, 도 9는 도 8의 절연패턴(106)이 형성된 형태를 구체적으로 나타내고 있다. 8 is a cross-sectional view illustrating an organic EL display device according to a second exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 9 specifically illustrates a form in which the insulating pattern 106 of FIG. 8 is formed.

도 8 및 도 9에 도시된 유기 EL표시소자는 절연패턴(106)이 격벽(108)의 형성영역에서 부분적으로 제거됨과 아울러 격벽(106)과 유기발광층(110) 사이에도 제거된다. 즉, 본 발명의 제2 실시예에서는 유기 발광층(110)과 격벽(108) 사이에 절연패턴(106)이 위치하지 않게 된다. 이 결과, 제1 실시예에 비해 격벽의 선폭이 더 넓게 형성될 수 있게 됨으로써 제1 실시예에 비해 캐소드 전극(112)의 분리를 더 확실하게 할 수 있게 된다.In the organic EL display elements shown in FIGS. 8 and 9, the insulating pattern 106 is partially removed in the formation region of the partition 108, and is also removed between the partition 106 and the organic light emitting layer 110. That is, in the second embodiment of the present invention, the insulating pattern 106 is not positioned between the organic light emitting layer 110 and the partition 108. As a result, the line width of the partition wall can be formed wider than that of the first embodiment, so that the cathode electrode 112 can be separated more reliably than in the first embodiment.

한편, 이와 같은 본 발명의 제1 및 제2 실시예에서 격벽(106)과 유기발광층(110) 사이(본 발명의 제2 실시예), 그리고 격벽(108)과 절연패턴(106) 사이에는 소정의 간격 이격되게 됨으로써 캐소드 전극(112)들 간의 전기적인 분리에는 전혀 문제가 되지 않는다. Meanwhile, in the first and second embodiments of the present invention, the partition 106 and the organic light emitting layer 110 (the second embodiment of the present invention), and the partition 108 and the insulating pattern 106 are predetermined. By being spaced apart from each other, there is no problem in electrical separation between the cathode electrodes 112.

본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 EL표시소자의 제조방법은 제1 실시예와 비교하여 절연패턴(106)이 유기발광층(110)과 격벽(108) 사이에 위치하지 않도록 형성하는 것을 제외하고는 동일한 방식에 의해 형성됨으로써 상세한 설명은 생략하기로 한다. The method of manufacturing the organic EL display device according to the second embodiment of the present invention is that the insulating pattern 106 is formed so as not to be located between the organic light emitting layer 110 and the partition 108 as compared with the first embodiment. Is formed by the same method, and thus detailed description thereof will be omitted.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 EL표시소자 및 그 제조방법은 절연패턴이 격벽 형성영역에서 부분적으로 제거되며 그 제거된 영역에 격벽이 형성된다. 이에 따라, 발광층 형성시 섀도우 마스크와 발광영역 까지의 거리가 가까워지게 됨으로써 유기물질이 발광영역에 정확하고 균일하게 증착되게 된다. As described above, in the organic EL display element and the method of manufacturing the same according to the present invention, the insulating pattern is partially removed from the partition formation region, and the partition is formed in the removed region. As a result, the distance between the shadow mask and the light emitting area becomes closer when forming the light emitting layer, so that organic materials are accurately and uniformly deposited in the light emitting area.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다. Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (11)

유기발광층을 사이에 두고 서로 교차되게 형성되는 애노드전극 및 캐소드전극과; An anode electrode and a cathode electrode formed to cross each other with an organic light emitting layer interposed therebetween; 상기 애노드 전극과 교차되게 형성되어 상기 각각의 캐소드 전극을 전기적으로 분리시키는 격벽과; Barrier ribs formed to intersect the anode electrode to electrically separate the cathode electrodes; 상기 애노드 전극을 부분적으로 노출시켜 상기 유기발광층 형성영역을 정의하며 상기 격벽형성영역에서 부분적으로 제거된 절연패턴을 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자. And partially insulating the anode electrode to define the organic light emitting layer forming region and having an insulating pattern partially removed from the barrier rib forming region. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 절연패턴과 상기 격벽은 서로 실질적으로 동일한 높이를 가지는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자. And the insulating pattern and the partition wall have substantially the same height. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 절연패턴 및 격벽의 높이는 1~3㎛ 정도인 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자. The height of the insulating pattern and the partition wall is about 1 to 3㎛ organic electroluminescent display device. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 절연패턴은 상기 격벽과 유기발광층 사이에 부분적으로 위치하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자. And the insulating pattern is partially disposed between the barrier rib and the organic light emitting layer. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 절연패턴은 The insulating pattern is 상기 격벽과 유기발광층 사이에서 더 제거된 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자. And an organic electroluminescent display device further removed between the barrier rib and the organic light emitting layer. 기판 상에 애노드 전극을 형성하는 단계와; Forming an anode electrode on the substrate; 상기 애노드전극을 부분적으로 노출시켜 발광영역을 정의하고 상기 애노드 전극과 교차됨과 동시에 상기 발광영영과 비중첩되는 영역에서 부분적으로 제거되는 절연막을 형성하는 단계와; Forming an insulating layer by partially exposing the anode electrode to define a light emitting region and partially removing the region from the region overlapping the anode electrode and not overlapping the light emitting region; 상기 애노드 전극과 교차되며 상기 발광영역과 비중첩되는 영역에 격벽을 형성하는 단계와; Forming a barrier rib in an area intersecting the anode and not overlapping the emission area; 상기 발광영역에 유기발광층을 형성하는 단계와;Forming an organic light emitting layer in the light emitting region; 상기 유기발광층을 사이에 두고 상기 애노드 전극과 교차되는 캐소드 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법. And forming a cathode electrode intersecting the anode electrode with the organic light emitting layer interposed therebetween. 제 6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 격벽은 상기 절연패턴과 실질적으로 동일한 높이를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법. The barrier rib is formed to have a height substantially the same as the insulating pattern. 제 7 항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 절연패턴 및 격벽은 1~3㎛ 정도의 높이를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법. The insulating pattern and the partition wall is a manufacturing method of an organic light emitting display device, characterized in that formed to have a height of about 1 ~ 3㎛. 제 6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 절연패턴을 형성하는 단계는 Forming the insulating pattern is 상기 절연패턴의 일부가 상기 격벽과 유기발광층 사이에 부분적으로 위치하도록 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법. And forming a portion of the insulating pattern partially between the barrier rib and the organic light emitting layer. 제 6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 절연패턴을 형성하는 단계는 Forming the insulating pattern is 상기 절연패턴이 상기 격벽과 유기발광층 사이에서 더 제거되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법. And removing the insulating pattern between the barrier rib and the organic light emitting layer. 제 6 항에 있어서, The method of claim 6, 상기 유기발광층을 형성하는 단계는 Forming the organic light emitting layer is 상기 발광영역 및 발광영역을 제외하는 비발광영역을 전면 노출시키는 제1 마스크를 이용하여 정공주입층 및 정공수송층을 형성하는 단계와; Forming a hole injection layer and a hole transport layer by using a first mask that exposes the light emitting area and the non-light emitting area except the light emitting area; 상기 격벽과 접촉되며 상기 발광영역을 선택적으로 노출시키는 제2 마스크를 이용하여 발광층을 형성하는 단계와; Forming a light emitting layer by using a second mask in contact with the partition and selectively exposing the light emitting area; 상기 제1 마스크를 이용하여 전자수송층 및 전자주입층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광표시소자의 제조방법.And forming an electron transport layer and an electron injection layer by using the first mask.
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