KR100692051B1 - Organic Electro Luminescence Display and Fabricating Method Thereof - Google Patents
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Abstract
본 발명은 애노드전극의 저항을 감소시키면서 유기 전계발광표시소자의 개구율을 확보할 수 있는 유기 전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to an organic electroluminescent display device and a method of manufacturing the same, which can secure the aperture ratio of an organic electroluminescent display device while reducing the resistance of the anode electrode.
본 발명의 실시 예에 따른 유기 전계발광표시장치는 기판 상에 나란하게 형성된 투명전극과; 상기 투명전극에 접속된 금속전극과; 상기 금속전극을 덮는 절연막을 구비하며; 상기 금속전극 전체가 상기 절연막에 의해 덮여지는 것을 특징으로 한다. An organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention includes a transparent electrode formed side by side on the substrate; A metal electrode connected to the transparent electrode; An insulating film covering the metal electrode; The entire metal electrode is covered by the insulating film.
Description
도 1은 종래의 유기 전계발광표시소자를 나타내는 사시도이다. 1 is a perspective view illustrating a conventional organic electroluminescent display device.
도 2는 유기 전계발광표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 다이어그램이다. 2 is a diagram for explaining a light emission principle of an organic light emitting display device.
도 3은 종래의 다른 유기 전계발광표시소자의 일부분을 나타내는 평면도이다. 3 is a plan view illustrating a part of another conventional organic electroluminescent display device.
도 4는 도 3에 도시된 유기 전계발광표시소자를 각각 선 "Ⅰ- Ⅰ'", "Ⅱ-Ⅱ'" 을 따라 절취한 단면도이다. FIG. 4 is a cross-sectional view of the organic electroluminescent display shown in FIG. 3 taken along lines "I-I '" and "II-II'", respectively.
도 5는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 전계발광표시소자의 일부분을 나타내는 평면도이다. 5 is a plan view illustrating a portion of an organic light emitting display device according to a first embodiment of the present invention.
도 6은 도 5에 도시된 유기 전계발광표시소자를 선 "Ⅲ-Ⅲ'"을 따라 절취한 단면도이다. FIG. 6 is a cross-sectional view of the organic electroluminescent display shown in FIG. 5 taken along the line "III-III '".
도 7a 내지 도 7d는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조방법을 단계적으로 나타낸 도면이다. 7A through 7D are steps of a method of manufacturing an organic light emitting display device according to a first embodiment of the present invention.
도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 전계발광표시소자의 일부분을 나타내는 평면도이다. 8 is a plan view illustrating a part of an organic light emitting display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.
도 9는 도 8에 도시된 유기 전계발광표시소자를 선 "Ⅳ-Ⅳ'" 을 따라 절취한 단면도이다. FIG. 9 is a cross-sectional view of the organic electroluminescent display shown in FIG. 8 taken along the line "IV-IV '".
도 10a 내지 도 10d는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 전계발광표시소자의 제조방법을 단계적으로 나타낸 도면이다. 10A through 10D are steps of a method of manufacturing an organic light emitting display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
4, 24 : 애노드전극 12, 32 : 캐소드전극4, 24
5, 25, 45 : 버스전극 6, 26 : 절연막5, 25, 45:
36 : 제1 절연막 46 : 제2 절연막36: first insulating film 46: second insulating film
본 발명은 유기 전계발광표시소자에 관한 것으로, 특히 애노드전극의 저항을 감소시키면서 유기 전계발광표시소자의 개구율을 확보할 수 있는 유기 전계발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE
최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : LCD), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 전계발광(Electro Luminescence : 이하 "EL" 이라 함)표시장치 등이 있다. Recently, various flat panel displays have been developed to reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes. Such a flat panel display includes a liquid crystal display (LCD), a field emission display (FED), a plasma display panel (PDP), and an electroluminescence (“EL”). Display device).
PDP는 구조와 제조 공정이 비교적 단순하기 때문에 대화면화에 가장 유리하지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있다. LCD는 노트북 컴퓨터의 표시장치로 주로 이용되면서 수요가 늘고 있지만, 대화면화에 어렵고 백라잇 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점이 있다. 또한, LCD는 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학표시장치들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 단점이 있다. 이에 비하여, EL 표시장치는 무기 EL과 유기 EL로 대별되며, 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 또한 유기 EL 표시장치는 대략 10[V] 정도의 전압으로 수만[cd/㎡]의 높은 휘도로 화상을 표시할 수 있다. PDP is most advantageous for large screen because of its relatively simple structure and manufacturing process, but it has the disadvantages of low luminous efficiency, low luminance and high power consumption. LCD is mainly used as a display device of notebook computers, but the demand is increasing, but it is difficult for large screens and has a large power consumption due to the backlight unit. In addition, LCDs have disadvantages of high light loss and a narrow viewing angle due to optical display devices such as polarizing filters, prism sheets, and diffusion plates. In contrast, the EL display device is roughly classified into an inorganic EL and an organic EL, and has advantages of fast response speed and high luminous efficiency, luminance, and viewing angle. In addition, the organic EL display can display an image with high luminance of tens of thousands [cd / m 2] at a voltage of about 10 [V].
도 1은 종래의 유기 EL 표시소자를 나타내는 사시도이고, 도 2는 유기 EL 표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 다이어그램이다. 1 is a perspective view showing a conventional organic EL display element, and FIG. 2 is a diagram for explaining the light emission principle of the organic EL display element.
도 1에 도시된 유기 EL 표시소자는 기판(2) 상에 애노드전극(4)과 캐소드전극(12)이 서로 교차하는 방향으로 형성된다. The organic EL display element shown in Fig. 1 is formed on the
애노드전극(4)은 기판(2) 상에 소정간격으로 이격되어 다수 개 형성된다. 이러한 애노드전극(4)이 형성된 기판(2) 상에는 EL 셀(A) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(미도시)이 형성된다. 절연막 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(10) 및 캐소드전극(12)의 분리를 위한 격벽(8)이 위치한다. 격벽(8)은 애노드전극(4)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(8)이 형성된 절연막 상에는 유기발광물질이 마스크를 이용하여 증착 유기발광층(10)이 형성되며, 연이어, 캐소드전극(12)이 전극물질의 전면 증착을 통하여 형성된다. A plurality of
유기발광층(10)은 도 2에 도시된 바와 같이 정공주입층(10e), 정공수송층(10d), 발광층(10c), 전자수송층(10b) 및 전자주입층(10a)이 적층되어 형성된다. 이러한 유기 EL 표시소자는 애노드전극(4)과 캐소드전극(12)에 구동신호가 인가되면 전자와 정공이 방출되고, 애노드전극(4) 및 캐소드전극(12)에서 방출된 전자와 정공은 발광층(10c)내에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. 이 때, 발생된 가시광은 애노드전극(4)을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 화상 또는 영상을 표시하게 된다. As shown in FIG. 2, the organic
이러한 유기 EL 표시소자에는 캐소드전극(12)과 애노드전극(4)에 의한 저항이 존재한다. 이러한 유기 EL 표시소자의 저항 성분은 유기 EL 표시소자의 전류 편차를 유발하여 화질을 저하시킨다. In such an organic EL display element, there is a resistance by the
특히, 애노드전극(4)은 알루미늄(Al)과 같은 저항이 낮은 금속을 이용한 캐소드전극(12)과 달리 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide) 등의 투명전도성물질로 형성됨으로 높은 저항 성분을 갖게 된다. 이로 인하여, 애노드전극(4)의 길이가 길어질수록 전압강하에 의한 전류편차가 발생됨으로써 화질이 저하된다. In particular, the
이를 해결하기 위하여, 도 3과 같이, 애노드전극(4) 상에 금속 버스전극(5)을 형성함으로써 높은 저항 성분을 보상하게 된다. In order to solve this problem, as shown in FIG. 3, the
도 3은 종래의 다른 유기 EL 표시소자의 일부분을 나타내는 평면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 유기 EL 표시소자를 각각 선 "Ⅰ- Ⅰ'", "Ⅱ-Ⅱ'" 를 따라 절취한 단면도이다. FIG. 3 is a plan view showing a part of another conventional organic EL display element, and FIG. 4 is a cross-sectional view of the organic EL display element shown in FIG. 3 taken along lines "I-I '" and "II-II'", respectively. to be.
도 3 및 도 4를 참조하면, 유기 EL 표시소자는 서로 교차되게 형성되는 애노드전극(4)과 캐소드전극(12)과, 애노드전극(4)과 캐소드전극(12)의 교차부마다 형성된 EL 셀(미도시)들을 구비한다. 또한, 애노드전극(4)을 가로지르며, 캐소드전극(12)과 나란한 방향으로 형성된 격벽(8)을 구비한다. 3 and 4, an organic EL display element includes an EL cell formed at each intersection of an
애노드전극(4)은 90%이상의 광투과율이 좋은 ITO, IZO, ITZO 등의 투명전도성물질로 형성되며, 애노드전극(4)의 높은 저항성을 보상하기 위해 애노드전극(4) 상에는 버스전극(5)이 형성된다. 이어, 버스전극(5)이 형성된 기판(20) 상에는 EL 셀(미도시) 영역마다 개구부를 가지는 절연막(6)이 형성된다. 절연막(6) 상에는 유기발광층(10) 및 캐소드전극(12)의 분리를 위한 격벽(8)이 형성된다. 격벽(8)이 형성된 절연막(6) 상에는 유기발광물질이 마스크를 이용하여 증착되어 유기발광층(10)이 형성되며, 연이어, 캐소드전극(12)이 전극물질의 전면 증착을 통하여 형성된다. The
애노드전극(4)의 높은 저항성을 보상하기 위해 사용되는 버스전극(5)은 계면특성이 우수하고 저항이 낮은 도전성물질인 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo) 또는 알루미늄(Al) 등으로 형성되며 애노드전극(4) 상에 형성된 버스전극(5)은 유기발광층(10)과 버스전극(5)의 전체 선 폭 대비 1/2 이상 중첩되어 형성된다. 그러나 이러한 유기 EL 표시소자의 버스전극(5)은 빛을 차단하므로 유기발광층(10)과 중첩되는 선 폭이 넓어지게 되면 유기 EL 표시소자의 개구율을 감소시키게 됨에 따라, 최소의 선 폭으로 형성되어야 한다. 그러나 최소의 선 폭으로 버스전극(5)을 형성하게 되면 유기 EL 표시소자의 개구율 향상의 효과는 커지는 반면, 버스전극(5)의 형성을 통한 애노드전극(4)의 높은 저항을 보상함에는 미흡한 결과를 초래하게 된다. The
따라서, 본 발명의 목적은 애노드전극의 저항을 감소시키면서 유기 전계발광표시소자의 개구율을 확보할 수 있는 유기 EL 표시장치 및 그 제조방법을 제공함에 있다. Accordingly, an object of the present invention is to provide an organic EL display device and a method for manufacturing the same, which can secure the aperture ratio of an organic electroluminescent display device while reducing the resistance of the anode electrode.
본 발명의 실시 예에 따른 유기 전계발광표시장치는 기판 상에 나란하게 형성된 투명전극과; 상기 투명전극에 접속된 금속전극과; 상기 금속전극을 덮는 절연막을 구비하며; 상기 금속전극 전체가 상기 절연막에 의해 덮여지는 것을 특징으로 한다. An organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention includes a transparent electrode formed side by side on the substrate; A metal electrode connected to the transparent electrode; An insulating film covering the metal electrode; The entire metal electrode is covered by the insulating film.
상기 금속전극은 그 일부가 상기 투명전극 상에 형성됨과 아울러 나머지 부분이 상기 기판 상에 형성되어 단차진 단면을 가지는 것을 특징으로 하는 한다. Part of the metal electrode is formed on the transparent electrode and the remaining part is formed on the substrate, characterized in that it has a stepped cross-section.
상기 절연막은, 상기 투명전극과 상기 기판 상에 걸쳐 형성되는 제1 절연막과; 상기 금속전극과 상기 제1 절연막을 덮는 제2 절연막을 구비하며; 상기 금속전극은 상기 투명전극과의 접촉부로부터 연장되어 상기 제1 절연막 상에 형성되는 것을 특징으로 한다. The insulating film includes a first insulating film formed on the transparent electrode and the substrate; A second insulating film covering the metal electrode and the first insulating film; The metal electrode extends from the contact portion with the transparent electrode and is formed on the first insulating film.
상기 제2 절연막의 폭은 제1 절연막의 폭보다 큰 것을 특징으로 한다. The width of the second insulating film is greater than the width of the first insulating film.
상기 투명전극과 상기 절연막의 일부에 걸쳐 형성되는 유기전계발광층을 더 구비하며; 상기 금속전극과 상기 유기전계발광층은 적어도 일부가 중첩되며 그 중첩 폭은 상기 금속전극의 폭 대비 1/2 이하인 것을 특징으로 한다.An organic electroluminescent layer formed over the transparent electrode and a part of the insulating film; At least a portion of the metal electrode and the organic light emitting layer overlap each other, and an overlap width thereof is 1/2 or less than a width of the metal electrode.
본 발명의 실시 예에 따른 유기 전계발광표시장치는 기판 상에 나란하게 형성된 투명전극과; 상기 투명전극에 접속된 금속전극과; 상기 금속전극을 덮는 절연막을 구비하며; 상기 금속전극은 단차진 단면을 가지는 것을 특징으로 한다. An organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention includes a transparent electrode formed side by side on the substrate; A metal electrode connected to the transparent electrode; An insulating film covering the metal electrode; The metal electrode has a stepped cross section.
상기 투명전극과 상기 절연막의 일부에 걸쳐 형성되는 유기전계발광층을 더 구비하며; 상기 금속전극과 상기 유기전계발광층은 적어도 일부가 중첩되며 그 중첩 폭은 상기 금속전극의 폭 대비 1/2 이하인 것을 특징으로 한다. An organic electroluminescent layer formed over the transparent electrode and a part of the insulating film; At least a portion of the metal electrode and the organic light emitting layer overlap each other, and an overlap width thereof is 1/2 or less than a width of the metal electrode.
본 발명의 실시 예에 따른 유기 전계발광표시장치는 기판 상에 나란하게 형성된 투명전극과; 상기 투명전극에 접속된 금속전극과; 상기 금속전극을 덮는 소정의 폭을 가지는 절연막과; 상기 투명전극과 상기 절연막의 일부에 걸쳐 형성되는 유기전계발광층을 구비하며; 상기 금속전극과 상기 유기전계발광층은 적어도 일부가 중첩되며 그 중첩 폭은 상기 금속전극의 폭 대비 1/2 이하인 것을 특징으로 한다. An organic electroluminescent display device according to an embodiment of the present invention includes a transparent electrode formed side by side on the substrate; A metal electrode connected to the transparent electrode; An insulating film having a predetermined width covering the metal electrode; An organic light emitting layer formed over the transparent electrode and a part of the insulating film; At least a portion of the metal electrode and the organic light emitting layer overlap each other, and an overlap width thereof is 1/2 or less than a width of the metal electrode.
본 발명의 실시 예에 따른 유기 전계발광표시장치의 제조방법은 기판 상에 투명전극 패턴을 형성하는 단계와; 상기 투명전극에 접속되는 금속전극 패턴을 형성하는 단계와; 상기 금속전극을 덮도록 상기 기판 상에 절연막 패턴을 형성하는 단계를 포함하며; 상기 절연막은 금속전극 전체를 덮는 것을 특징으로 한다. A method of manufacturing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention includes forming a transparent electrode pattern on a substrate; Forming a metal electrode pattern connected to the transparent electrode; Forming an insulating film pattern on the substrate to cover the metal electrode; The insulating film may cover the entire metal electrode.
상기 절연막을 형성하는 단계는, 상기 투명전극과 상기 기판 상에 걸쳐 상기 기판 상에 제1 절연막 패턴을 형성하는 단계와; 상기 금속전극과 상기 제1 절연막 을 덮는 제2 절연막을 형성하는 단계를 포함하며; 상기 금속전극은 상기 투명전극과의 접촉부로부터 연장되어 상기 제1 절연막 상에 위치하는 것을 특징으로 한다. The forming of the insulating film may include forming a first insulating film pattern on the substrate over the transparent electrode and the substrate; Forming a second insulating film covering the metal electrode and the first insulating film; The metal electrode extends from the contact portion with the transparent electrode and is positioned on the first insulating film.
이하 도 5 내지 도 10d를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 to 10D.
도 5는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 일부분을 나타내는 평면도이고, 도 6은 도 5에 도시된 유기 EL 표시소자를 선 "Ⅲ-Ⅲ'"를 따라 절취한 단면도이다. FIG. 5 is a plan view showing a part of the organic EL display device according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the organic EL display device shown in FIG. 5 taken along the line "III-III '".
도 5 및 도 6을 참조하면, 유기 EL 표시소자는 서로 교차되게 형성되는 애노드전극(24)과 캐소드전극(32)과, 애노드전극(24)과 캐소드전극(32)의 교차부마다 형성된 EL 셀(미도시)들을 구비한다. 5 and 6, an organic EL display element includes an EL cell formed at each intersection of an
기판(22) 상에 애노드전극(24)은 일정간격으로 이격되어 다수 개 형성되며, 90%이상의 광투과율이 좋은 ITO, IZO, ITZO 등의 투명전도성물질로 형성된다. A plurality of
애노드전극(24)이 형성된 기판(22) 상에는 애노드전극(24)의 일 측과 애노드전극(24)들 사이의 비발광영역(B)에 걸쳐 애노드전극(24)의 저항성분을 보상하기 위한 버스전극(25)이 형성된다. 구체적으로, 버스전극(25)은 애노드전극(24) 상에 형성되는 버스전극(25) 전체가 후속 공정으로 형성될 절연막(26)과 애노드전극(24)이 중첩되어질 영역 내에 형성되며, 유기발광층(30)과 버스전극(25)은 버스전극(25)의 전체 선 폭 대비 1/2 이하 중첩되어 형성된다. 또한, 버스전극(25)은 애노드전극(24)들 사이의 비발광영역(B)에까지 연장되어 위치하도록 형성된다. 이에 따라, 버스전극(25)은 애노드전극(24)의 일측과 절연막(26)이 형성될 기판(22)상의 비발광영역(B)에 걸쳐 형성되고 이에 따라, 단차진 단면을 가지게 형성됨으로써 더 넓은 선 폭을 확보하여 애노드전극(24)의 저항을 더욱 감소시킬 수 있다. 버스전극(25)은 계면특성이 우수하고 저항이 낮은 도전성물질인 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo) 또는 알루미늄(Al) 등으로 형성된다.On the
이어, 버스전극(25)이 형성된 기판(22) 상에 EL 셀 영역마다 개구부를 가지며 버스전극(25)을 덮는 절연막(26)이 형성된다. 절연막(26) 상에는 유기발광층(30) 및 캐소드전극(32)의 분리를 위한 격벽(28)이 형성된다. 격벽(28)은 애노드전극(24)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 격벽(28)이 형성된 절연막(26) 상에는 유기발광물질이 마스크를 이용하여 증착 유기발광층(30)이 형성되며, 연이어, 캐소드전극(32)이 전극물질의 전면 증착을 통하여 형성된다. Then, an insulating
따라서, 애노드전극(24) 상에 형성되는 버스전극(25)을 애노드전극(24)과 절연막(26)이 중첩되는 영역 내에 위치시킴으로써 유기 EL 표시소자의 개구율은 향상되게 되며, 또한, 버스전극(25)이 애노드전극(24)과 애노드전극(24)들 사이의 비발광영역(B)에 단차진 단면을 가지며 형성됨과 아울러 비발광영역(B)까지 버스전극(25)을 연장시킴으로써 버스전극(25)의 선 폭은 더 커지게 되며, 이에 따라 애노드전극(24)의 저항을 더욱 감소시킬 수 있다. Therefore, by placing the
도 7a 내지 도 7d는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 제조방법을 단계적으로 나타낸 도면이다. 7A to 7D are steps of a method of manufacturing an organic EL display device according to a first embodiment of the present invention.
도 7a를 참조하면, 애노드전극(24)은 기판(22) 상에 투명전도성물질이 약 1500Å의 두께로 증착된 후 패터닝됨으로써 다수 개 형성된다. 이 때, 애노드전극 (24)은 일정간격으로 이격되도록 형성된다. 애노드전극(24)은 ITO, IZO, ITZO 등의 투명전도성물질로 형성된다. Referring to FIG. 7A, a plurality of
애노드전극(24)이 형성된 기판(22) 상에 도 7b와 같이, 금속물질이 증착된 후 패터닝됨으로써 애노드전극(24)의 일 측과 애노드전극(24)들 사이의 비발광영역(B)에 걸쳐 버스전극(25)이 형성된다. 구체적으로, 버스전극(25)은 애노드전극(24) 상에 형성되는 버스전극(25) 전체가 후속 공정으로 형성될 절연막(26)과 애노드전극(24)이 중첩되어질 영역 내에 형성되고, 유기발광층(30)과 버스전극(25)은 버스전극(25)의 전체 선 폭 대비 1/2 이하 중첩되어 형성된다. 또한, 버스전극(25)은 애노드전극(24)들 또한 애노드전극(24)들 사이의 비발광영역(B)에까지 걸쳐 형성되고 이에 따라, 단차진 단면을 가지도록 형성된다. 버스전극(15)은 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo) 또는 알루미늄(Al) 등의 금속물질로 형성된다. As shown in FIG. 7B, the metal material is deposited and patterned on the
애노드전극(24)과 버스전극(25)이 형성된 기판(22) 상에 절연물질이 증착된 후 패터닝됨으로써 도 7c와 같이, 애노드전극(24) 상의 EL 셀 영역마다 개구부를 가지며 버스전극(25)를 감싸는 절연막(26)이 형성된다. As the insulating material is deposited on the
절연막(26) 상에는 유기발광층(30) 및 캐소드전극(32)의 분리를 위한 격벽(미도시)이 형성되며, 격벽이 형성된 기판(22) 상에 도 7d와 같이, 유기화합물질이 마스크를 이용하여 증착 유기발광층(30)이 형성되며, 연이어, 전극물질의 전면 증착을 통하여 캐소드전극(32)이 형성된다. A partition wall (not shown) is formed on the insulating
도 8은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자를 나타내는 평면도이고, 도 9는 도 8에 도시된 유기 EL 표시소자를 선 "Ⅳ-Ⅳ'" 를 따라 절취한 단면도이다. 8 is a plan view illustrating an organic EL display device according to a second exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a cross-sectional view of the organic EL display device illustrated in FIG. 8 taken along the line “IV-IV ′”.
도 8 및 도 9를 참조하면, 유기 EL 표시소자는 서로 교차되게 형성되는 애노드전극(24)과 캐소드전극(32)과, 애노드전극(24)과 캐소드전극(32)의 교차부마다 형성된 EL 셀(미도시)들을 구비한다. 8 and 9, an organic EL display element includes an EL cell formed at each intersection of an
기판(22) 상에 애노드전극(24)은 일정간격으로 이격되어 다수 개 형성되며, 90%이상의 광투과율이 좋은 ITO, IZO, ITZO 등의 투명전도성물질로 형성된다. 이어, 애노드전극(24)이 형성된 기판(22) 상에 애노드전극(24) 상의 EL 셀 영역마다 개구부를 가지는 제1 절연막(36)이 형성된다. A plurality of
제1 절연막(36)이 형성된 영역 상에는 애노드전극(24)의 높은 저항성분을 보상하기 위한 애노드전극(24)의 일측과 접속된 버스전극(45)이 형성된다. 구체적으로, 버스전극(45)은 애노드전극(24) 상에 형성되는 버스전극(45) 전체가 후속 공정으로 형성될 제2 절연막(46)과 애노드전극(24)이 중첩되어질 영역 내에 형성되고, 유기발광층(40)과 버스전극(45)은 버스전극(45)의 전체 선 폭 대비 1/2 이하 중첩되어 형성된다. 또한, 버스전극(45)은 애노드전극(24)들 또한 애노드전극(24)의 일 측과 접속되면서 제1 절연막(36)이 형성된 영역에까지 연장하여 위치하도록 형성된다. 이에 따라, 버스전극(45)은 제1 절연막(36)에 의해 인접한 애노드전극(24)과 절연되므로 인하여 제1 절연막(36) 상에 버스전극(45)을 연장하여 더욱 넓게 형성할 수 있게 되고, 또한, 단차진 단면을 가지며 형성됨으로써 더욱 넓은 선 폭을 확보하여 애노드전극(24)의 저항을 더욱 감소시킬 수 있다. On the region where the first insulating
이어, 버스전극(45)이 형성된 기판 상에 EL 셀(미도시) 영역마다 개구부를 가지며 버스전극(45)을 덮는 제2 절연막(46)이 형성된다. 제2 절연막(46) 상에는 유기발광층(30) 및 캐소드전극(32)의 분리를 위한 격벽(28)이 위치한다. 격벽(28)은 애노드전극(24)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 격벽(28)이 형성된 제2 절연막(46) 상에는 유기화합물질이 마스크를 이용하여 증착 유기발광층(30)이 형성되며, 연이어, 전극물질의 전면 증착을 통하여 캐소드전극(32)이 형성된다. Subsequently, a second insulating
따라서, 버스전극(45) 상에 형성되는 버스전극(45)을 애노드전극(24)과 제2 절연막(46)이 중첩되는 영역에 위치시킴으로써 유기 EL 표시소자의 개구율은 향상되게 되며, 또한, 버스전극(45)이 애노드전극(24)과 제1 절연막(36) 상에 단차진 단면을 가지며 형성됨과 아울러, 제1 절연막(36)에 의해 버스전극(45)이 인접한 애노드전극(24)과 절연되므로 인하여 제1 절연막(36)상에 버스전극(45)을 더 넓게 형성할 수 있게됨으로써 버스전극(45)의 선 폭은 더욱 커지게 되고 이에 따라, 애노드전극(24)의 저항을 더욱 감소시킬 수 있다. Therefore, by positioning the
도 10a 내지 도 10d는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 EL 표시소자의 제조방법을 단계적으로 나타낸 도면이다. 10A through 10D are steps of a method of manufacturing an organic EL display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.
도 10a를 참조하면, 애노드전극(24)은 기판(22) 상에 투명전도성물질이 약 1500Å의 두께로 증착된 후 패터닝됨으로써, 다수 개 형성된다. 이 때, 애노드전극(24)은 일정간격으로 이격되도록 형성된다. 애노드전극(24)은 ITO, IZO, ITZO 등의 투명전도성물질로 형성된다. 이어, 애노드전극(24)이 형성된 기판(22) 상에 절연물질이 증착된 후 패터닝됨으로써 애노드전극(24) 상의 EL 셀 영역마다 개구부를 가지는 제1 절연막(36)이 형성된다. Referring to FIG. 10A, a plurality of
애노드전극(24)과 제1 절연막(36)이 형성된 기판(22) 상에 도 10b와 같이, 금속물질이 증착된 후 패터닝됨으로써 애노드전극(24)의 일 측과 제1 절연막(36)이 형성된 영역 상에 버스전극(45)이 형성된다. 구체적으로, 버스전극(45)은 애노드전극(24) 상에 형성되는 버스전극(45) 전체가 후속 공정으로 형성될 제2 절연막(46)과 애노드전극(24)이 중첩되어질 영역에 형성되고, 유기발광층(30)과 버스전극(45)은 버스전극(45)의 전체 선 폭 대비 1/2 이하 중첩되어 형성된다. 또한, 버스전극(45)은 애노드전극(24)의 일 측과 접속되면서 제1 절연막(36)이 형성된 영역에까지 연장되어 형성된다. 버스전극(25)은 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo) 또는 알루미늄(Al) 등의 금속물질이 이용된다. As shown in FIG. 10B, a metal material is deposited and patterned on the
애노드전극(4)과 버스전극(25)이 형성된 기판(2) 상에 절연물질이 증착된 후 패터닝됨으로써 도 10c와 같이, 애노드전극(24) 상의 EL 셀(미도시) 영역마다 개구부를 가지며 버스전극(25)를 감싸는 제2 절연막(46)이 형성된다. As the insulating material is deposited on the
제2 절연막(26) 상에는 유기발광층(30) 및 캐소드전극(22)의 분리를 위한 격벽(미도시)이 형성되며, 격벽이 형성된 애노드전극(24) 상에 도 10d와 같이, 유기화합물질이 마스크를 이용하여 증착 유기발광층(30)이 형성되며, 연이어, 전극물질이 전면 증착을 통하여 캐소드전극(32)이 형성된다. A partition wall (not shown) is formed on the second insulating
상술한 바와 같이, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 유기 EL 표시장치 및 그 제조방법은 애노드전극 상에 형성되는 버스전극 전체가 애노드전극과 절연막이 중첩되는 영역에 형성됨으로써 유기 EL 표시소자의 개구율을 향상시킬 수 있게 된다. 또한, 버스전극은 단차진 단면을 가지며 형성됨과 아울러 버스전극을 비발광영역까지 연장하여 형성시킴으로 더 넓은 선 폭을 확보하여 애노드전극의 저항을 더욱 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 애노드전극의 저항을 감소시킴으로써 전류편차로 인한 화질저하를 방지할 수 있게 된다. As described above, the organic EL display device and the method of manufacturing the same according to the first embodiment of the present invention have the aperture ratio of the organic EL display device by forming the entire bus electrode formed on the anode electrode in the region where the anode electrode and the insulating film overlap. It will be possible to improve. In addition, the bus electrode may be formed to have a stepped cross section, and the bus electrode may be formed to extend to the non-light-emitting region to further secure a wider line width, thereby further reducing the resistance of the anode electrode. Accordingly, it is possible to prevent the deterioration of the image quality due to the current deviation by reducing the resistance of the anode electrode.
또한, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 유기 EL 표시장치 및 그 제조방법은 애노드전극 상에 형성되는 버스전극 전체가 애노드전극과 제2 절연막이 중첩되는 영역에 형성됨으로써 유기 EL 표시소자의 개구율을 향상시킬 수 있게 된다. 또한, 버스전극은 단차진 단면을 가지며 형성됨과 아울러 제1 절연막에 의해 버스전극이 인접한 애노드전극과 절연되므로 버스전극을 애노드전극의 일 측과 제1 절연막 상에 더 넓게 연장하여 형성시킴으로 더 넓은 선 폭을 확보하여 애노드전극의 저항을 더욱 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 애노드전극의 저항을 더욱 감소시킴으로써 전류편차로 인한 화질저하를 방지할 수 있게 된다. In addition, the organic EL display device and the method of manufacturing the same according to the second embodiment of the present invention are formed in the entire region of the bus electrode formed on the anode electrode in the region where the anode electrode and the second insulating film overlap, thereby reducing the aperture ratio of the organic EL display element. It can be improved. In addition, since the bus electrode has a stepped cross section and the bus electrode is insulated from the adjacent anode electrode by the first insulating film, the bus electrode is formed to extend wider on one side of the anode electrode and on the first insulating film. By securing the width, the resistance of the anode can be further reduced. Accordingly, by further reducing the resistance of the anode electrode, it is possible to prevent the image quality deterioration due to the current deviation.
이상에서 설명한 내용을 통해 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라, 특허청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다. It will be understood that various changes and modifications can be made by those skilled in the art through the above description without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.
Claims (11)
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KR100982412B1 (en) | 2008-05-29 | 2010-09-15 | (주)에이디에스 | Electro-optic device and mthod for manufacturing the same |
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2004
- 2004-08-11 KR KR1020040063037A patent/KR100692051B1/en not_active IP Right Cessation
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KR100982412B1 (en) | 2008-05-29 | 2010-09-15 | (주)에이디에스 | Electro-optic device and mthod for manufacturing the same |
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