KR100710598B1 - 평판표시소자 제조장치 - Google Patents

평판표시소자 제조장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100710598B1
KR100710598B1 KR1020040102977A KR20040102977A KR100710598B1 KR 100710598 B1 KR100710598 B1 KR 100710598B1 KR 1020040102977 A KR1020040102977 A KR 1020040102977A KR 20040102977 A KR20040102977 A KR 20040102977A KR 100710598 B1 KR100710598 B1 KR 100710598B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
load lock
lock chamber
flat panel
panel display
Prior art date
Application number
KR1020040102977A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20060064231A (ko
Inventor
이영종
최준영
백현우
Original Assignee
주식회사 에이디피엔지니어링
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에이디피엔지니어링 filed Critical 주식회사 에이디피엔지니어링
Priority to KR1020040102977A priority Critical patent/KR100710598B1/ko
Publication of KR20060064231A publication Critical patent/KR20060064231A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100710598B1 publication Critical patent/KR100710598B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/46—Machines having sequentially arranged operating stations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은, 다수의 챔버로 이루어져 기판에 소정 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 외부와 연통되어 반입될 새 기판과 공정처리 완료된 기판을 반출시키는 로드락 챔버; 상기 로드락 챔버내 반입되는 기판의 상측에 마련되며, 기판을 횡방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 한 쌍의 횡방향 어라인 수단; 상기 횡방향 어라인 수단과 직교된 상태로 마련되며, 상기 기판을 종방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 한 쌍의 종방향 어라인 수단;을 포함하며,
상기 횡, 종방향 어라인 수단은, 대기 위치와 기판 어라인 위치의 높이가 변화되어 기판의 진입 높이에서 기판 어라인이 수행되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치를 제공한다.
평판표시소자, 로드락 챔버, 기판, 어라인 수단, 접촉블럭

Description

평판표시소자 제조장치{Apparatus for fabricating flat panel display}
도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버를 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1의 평단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버에 구비된 어라인 수단을 도시한 평단면도이다.
도 4a 및 도 4b는 상기 평판표시소자 제조장치의 로드락 챔버에서 기판이 정렬되는 상태를 도시한 개략도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
110 : 로드락 챔버 120 : 횡방향 어라인 수단
122 : 종축 124 : 제 1연결부재
126 : 제 1기판접촉블럭 128, 138 : 링크
129 : 제 1구동부 130 : 종방향 어라인 수단
132 : 횡축 134 : 제 2연결부재
136 : 제 2기판접촉블럭
본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반송 챔버내에 구비되어 기판을 어라인하는 어라인 수단의 구조를 변경하여 반입된 기판 위치에서 기판을 어라인할 수 있게 한 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
평판표시소자 제조장치는 내부에 평판표시소자 기판을 반입시키고, 플라즈마 등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하는데 사용된다. 이때 평판표시소자는 LCD, PDP, OLED 등을 말하며, 이러한 평판표시소자 제조장치 중 진공처리용 장치는 일반적으로 로드락(Loadlock) 챔버, 반송 챔버 및 공정 챔버의 3개의 진공 챔버로 구성된다.
여기서, 상술한 로드락 챔버는 대기압 상태와 진공 상태를 번갈아 가면서 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 상술한 반송 챔버는 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버에서 공정 챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정 챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 상술한 공정 챔버는 진공 중에서 플라즈마를 이용하거나 열 에너지를 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다. 이때, 상술한 로드락 챔버에는 기판이 놓여지는 버퍼와 상기 버퍼상에 위치된 기판의 위치를 조정할 수 있는 어라이너(aligner)가 설치된다. 따라서 상술한 로드락 챔버에서 위치가 정확하게 조정된 기판을 반송챔버에 설치되어 있는 로봇이 그대로 공정챔버내로 반입하는 것이다.
따라서, 상술한 어라이너가 구비된 로드락 챔버는 도 1에 도시된 바와 같이 기판(S)이 출입하는 출입구가 형성되되 그 출입구를 개폐하는 게이트 밸브가 각각 마련되며, 내부 바닥면에서 반입된 기판(S)이 안착되는 리프트 핀(12)이 다수개 마련되어 적정 높이만큼 승강하게 되며, 기판(S)의 각 변을 향해 이동하여 정렬시키는 구조이다.
더욱 상세히 설명하면 상술한 로드락 챔버는 도 2에 도시된 바와 같이 로드락 챔버(10) 내부에 위치된 기판(S)의 4 변을 제 1, 2구동부(26, 38)가 요동하여 정렬할 수 있게 횡방향 어라인 수단(20)과 종방향 어라인 수단(30)이 마련된다.
여기서, 상술한 횡방향 어라인 수단(20)은 기판(S)의 4 변중 횡 방향으로 요동하여 양측을 정렬시키며, 그 구성 요소는 길이 방향으로 연장된 판상으로 대향된 종 방향의 횡방향 어라이너(22)와, 상술한 횡방향 어라이너(22)의 어느 한 일측에서 그 횡방향 어라이너(22)를 좌우 방향으로 요동할 수 있도록 동력을 제공하는 제 1 구동부(26)로 이루어진다.
상술한 제 1 구동부(26)는 로드락 챔버(10)의 가장자리부에 대향된 상태로 관통하여 설치되며, 상술한 횡방향 어라이너(22)를 일측에서 지지하고 타측에서 제 1구동부(26)에 의해 상술한 횡방향 어라이너(22)를 요동시킨다.
여기서, 기판(S)에 접하여 정렬시키는 횡방향 어라이너(22)의 일측에 연성재의 접촉부재(24)가 다수개 마련되어 그 접촉부재(24)에 접하는 기판의 파손됨을 방지한다.
또한, 상술한 종방향 어라인 수단(30)은 기판(S)의 4 변중 종 방향으로 요동하여 양측을 정렬시키며, 그 구성 요소는 길이 방향으로 연장된 판상으로 대향된 횡 방향의 종방향 어라이너(32)와, 상술한 종방향 어라이너(32)의 후면 중심부를 챔버(10)의 외측벽에서 관통하게 마련되어 전후 방향으로 요동할 수 있도록 동력을 제공하는 제 2구동부(38)로 이루어진다.
그리고, 상술한 종방향 어라이너(32)의 양단에 각각 지지부(36)가 결합된다.즉, 상술한 종방향 어라이너(32)의 양단에 각각 하나의 지지부(36)가 결합되어 상술한 종방향 어라이너(32)를 지지하는 것이다. 이때, 상술한 지지부(36)는 상술한 로드락 챔버(10)의 벽면을 관통하여 설치되며, 상술한 종방향 어라이너(32)가 전후로 요동할 수 있는 구조로 구비된다.
여기서, 상술한 종방향 어라이너(32)가 기판(S)에 접하여 요동할 때 상술한 기판(S)의 손상됨을 방지하는 연성재의 접촉부재(34)가 기판(S)과 접하는 일측벽에 다수개 마련된다.
그러므로, 외부의 카세트(도면에 미도시)에 다수개 적재된 기판(S)을 이송 수단(도면에 미도시)에 의해 로드락 챔버(10)내로 진입시킬 때 상술한 횡, 종방향 어라인 수단(20, 30)은 기판(S)의 출입에 간섭을 주지 않기 위해 기판(S)을 반입하는 높이보다 높은 곳에 위치되며, 승강하는 리프트 핀(12)이 기판(S)을 들어 올려 상술한 횡, 종방향 어라인 수단(20, 30)의 위치까지 상승시킨 후 이 횡, 종방향 어라인 수단(20, 30)에 의해 기판(S)을 정렬시킨다.
그러나, 상술한 횡, 종방향 어라인 수단(20, 30)은 기판(S)이 반입되는 높이보다 높게 구비되어야 하고, 상술한 리트프 핀(12)에 의한 기판(S) 상승 단계가 필요함으로써, 로드락 챔버(10)의 체적이 증가하고, 상술한 로드락 챔버(10) 내부의 진공 상태를 만드는 소요 시간의 증가 및 공정 완료 시간이 증가하는 문제점이 있 었다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은 어라인부의 구동 구조를 변경하여 챔버 체적을 감소시킬 수 있으며, 그에 따라 진공 수행 시간 및 공정 완료 시간을 감소할 수 있게 한 평판표시소자 제조장치를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 다수의 챔버로 이루어져 기판에 소정 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 외부와 연통되어 반입될 새 기판과 공정처리 완료된 기판을 반출시키는 로드락 챔버; 상기 로드락 챔버내 반입되는 기판의 상측에 마련되며, 기판을 횡방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 한 쌍의 횡방향 어라인 수단; 상기 횡방향 어라인 수단과 직교된 상태로 마련되며, 상기 기판을 종방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 한 쌍의 종방향 어라인 수단;을 포함하며, 상기 횡, 종방향 어라인 수단은, 대기 위치와 기판 어라인 위치의 높이가 변화되어 기판의 진입 높이에서 기판 어라인이 수행됨으로써, 상술한 횡, 종방향 어라인 수단의 위치까지 상승시킬 필요없이 기판이 리프트 핀상에 반입된 위치에서 상측에 마련된 횡, 종방향 어라인 수단의 위치가 변경되어 기판을 어라인하므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 횡방향 어라인 수단은, 상기 로드락 챔버내 일측벽에서 타측벽으로 관통하여 돌출된 한 쌍의 종축; 상기 종축의 도중에 각각 고정되어 그 종축을 따라 회동하는 다수개의 제 1연결부재; 상기 제 1연결부재의 일측에 마련되며, 외측 방향에서 하측 방향으로 회동하여 기판을 횡방향으로 이동할 수 있게 구비되는 다수개의 제 1기판접촉블럭; 상기 제 1기판접촉블럭을 회전시킬 수 있게 로드락 챔버의 일측벽에 구비되어 직교된 종축을 회전시키는 제 1구동부; 상기 제 1구동부의 구동력을 각각의 제 1연결부재에 전달할 수 있도록 그 제 1구동부와 제 1연결부재를 연결하는 링크부;를 포함함으로써, 상술한 횡방향 어라인 수단에 의해 기판을 횡방향으로 정렬할 때, 제 1구동부에 구성된 피스톤 로드의 선단에서 힌지 회동되는 링크부를 제 1연결부재에 고정하고, 제 1기판접촉블럭이 구비된 제 1연결부재를 종축에 다수개 마련하여 상술한 제 1구동부를 작동시켜 피스톤 로드가 직진하면 최초로 경사지게 결합된 링크부가 피스톤 로드가 직진하는 과정에서 제 1연결부재를 회동시켜 제 1기판접촉블럭을 외측방향에서 하측 방향으로 회동하여 그 제 1기판접촉블럭에 의해 기판이 이동하여 정렬되므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 종방향 어라인 수단은, 상기 로드락 챔버내 마련된 종축과 직교된 상태로 구비되는 한 쌍의 횡축; 상기 횡축의 도중에 각각 고정되어 그 종축을 따라 회동하는 다수개의 제 2연결부재; 상기 제 2연결부재의 일측에 마련되며, 외측 방향에서 하측 방향으로 회동하여 기판을 종방향으로 이동할 수 있게 구비되는 다수개의 제 2기판접촉블럭; 상기 제 2기판접촉블럭을 회전시킬 수 있게 로드락 챔버의 타측벽에 구비되어 직교된 횡축을 회전시키는 제 2구동부; 상기 제 2구동부의 구동력을 각각의 제 2연결부재에 전달할 수 있도록 그 제 2구동부와 제 2 연결부재를 연결하는 링크부;를 포함함으로써, 상술한 종방향 어라인 수단에 의해 기판을 종방향으로 정렬할 때, 제 2구동부에 구성된 피스톤 로드의 선단에서 힌지 회동되는 링크부를 제 2연결부재에 고정하고, 제 2기판접촉블럭이 구비된 제 2연결부재를 종축에 다수개 마련하여 상술한 제 2구동부를 작동시켜 피스톤 로드가 직진하면 최초로 경사지게 결합된 링크부가 피스톤 로드가 직진하는 과정에서 제 2연결부재를 회동시켜 제 2기판접촉블럭을 외측방향에서 하측 방향으로 회동하여 그 제 2기판접촉블럭에 의해 기판이 이동됨에 따라 정렬되므로 바람직하다.
이하, 본 발명의 평판표시소자 제조장치를 첨부도면을 참조하여 일실시예를 들어 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 바람직한 일 실시예의 평판표시소자 제조장치는 로드락 챔버와 반송 챔버와 공정 챔버로 구성되며, 그중 상술한 로드락 챔버는 도 3에 도시된 바와 같이 그 로드락 챔버(110)내부에서 이송 수단(도면에 미도시)에 의해 반입된 기판(S)을 정렬시킬 수 있게 기판(S)의 가장자리 부근 좌우측에 마련된 횡방향 어라인 수단(120)과, 상술한 기판(S)의 가장자리 부근 전후 방향의 종방향 어라인 수단(130)으로 구성된다.
상술한 횡방향 어라인 수단(120)은 상술한 로드락 챔버(110)내 양측 가장자리부의 종방향으로 마련되며, 그 일측이 로드락 챔버(110)를 관통하여 외부로 돌출된 한 쌍의 종축(122)과, 상술한 종축(122)의 도중에 다수개 고정되어 그 종축 (122)을 따라 회동하는 핀 형상의 제 1연결부재(124)와, 상술한 제 1연결부재(124)의 외측방향으로 수평되게 구비되며, 수평인 외측 방향에서 하측 방향으로 회동하여 기판(S)을 횡방향으로 이동할 수 있게 구비되는 다수개의 제 1기판접촉블럭(126)과, 상술한 제 1기판접촉블럭(136)이 로드락 챔버(110)에 돌출된 종축(122)에 의해 회전될 수 있도록 상술한 로드락 챔버(110)의 외측벽에 마련되는 제 1구동부(129)와, 상술한 제 1구동부(129)의 구동력을 각각의 제 1연결부재(124)에 전달하여 그 구동력에 의해 제 1기판접촉블럭(126)을 하방으로 회전시켜 기판(S)을 정렬할 수 있도록 그 제 1구동부(129)와 제 1연결부재(124)를 연결하는 경사진 링크부(128)로 구성된다.
상술한 종축(122)은 한 쌍의 길이 방향으로 연장되며, 일측은 로드락 챔버(110)내 일측벽에 지지되고, 타측은 상술한 로드락 챔버(110)의 타측벽에 관통되어 외부로 돌출된다. 이때, 관통된 부분을 기밀을 유지하기 위해 실링한다.
상술한 제 1연결부재(124)는 상술한 종축(122)의 직경보다 큰 외경을 갖으며, 그 내경은 상술한 종축(122)에 삽입될 수 있도록 상응하고 그 종축(122)에 적어도 4개 이상 구비된다.
상술한 제 1기판접촉블럭(126)은 각각의 제 1연결부재(124)에 적어도 하나 이상 마련되며, 사각기둥 형상으로 기판(S)의 정렬전에는 수평된 외측 방향에 위치되었다가 기판(S)의 정렬이 요구되면 하측인 수직방향으로 회동하게 되며, 소정의 탄성이 갖으므로 기판(S)의 접촉시 이 기판(S)이 손상됨을 방지한다. 그리고, 그 재질은 절연체로 테프론(Teflon) 재질 또는 퀄츠(Quartz) 재질로 형성된다.
상술한 링크부(128)는 제 1연결부재(124)와 제 1구동부(129)의 사이에 경사진 상태로 양단이 고정되어 상술한 제 1구동부(129)의 구동력을 제 1연결부재(124)에 전달하는 기능을 한다.
상술한 제 1구동부(129)는 상술한 로드락 챔버(110)의 내부에서 외부 측벽에 관통하여 돌출되는 종축(122)의 돌출부위에 체결된 제 1연결부재(124)에 구동력을 전달하여 각각의 제 1연결부재(124)에 구비된 제 1기판접촉블럭(126)을 회동시킨다. 여기서, 상술한 제 1구동부(129)는 구동모터 또는 실린더이다. 실린더일 경우에는 기판(S)의 좌우에 각각 하나씩 마련되므로 2개가 필요하며, 더욱 견고하게 동작시키기 위해선 두개씩 마련하여 총 4개가 소요될 수 있다. 또한, 구동모터일 경우에는 종축(122)과 동심을 이룬 상태에서 연동시킬 수 있다. 여기서 구동모터는 컨트롤러에 의해 각도를 제어할 수 있어야 한다.
상술한 종방향 어라인 수단(130)은 상술한 로드락 챔버(110)내 전후방 가장자리부의 횡방향으로 마련되는 한 쌍의 횡축(132)과, 상술한 횡축(132)의 도중에 다수개 고정되어 그 횡축(132)을 따라 회동하는 핀 형상의 제 2연결부재(134)와, 상술한 제 1연결부재(134)의 외측방향으로 수평되게 구비되며, 수평인 외측 방향에서 하측 방향으로 회동하여 기판(S)을 종방향으로 이동할 수 있게 구비되는 다수개의 제 2기판접촉블럭(136)과, 상술한 제 2기판접촉블럭(136)을 회전시킬 수 있게 로드락 챔버(110)내부에 마련된 횡축(132)과 직교된 상태에서 이 횡축(132)을 회전시킬 수 있도록 상술한 로드락 챔버(110)의 외측벽 중앙부를 관통하여 피스톤 로드가 내부에서 이동할 수 있도록 마련되는 제 2구동부(139)와, 상술한 제 2구동부 (139)의 구동력으로 각각의 제 2연결부재(134)를 회동시켜 그 제 2연결부재(134)에 구비된 제 2기판접촉블럭(136)이 하방으로 회전하여 기판(S)을 정렬할 수 있도록 그 제 2구동부(139)와 제 2연결부재(134)를 연결하는 경사진 링크부(138)로 구성된다.
상술한 횡축(132)은 한 쌍의 길이 방향으로 연장되며, 상술한 로드락 챔버(110)내 종축(122)과 직교된 상태로 구비된다. 여기서, 상술한 횡축(132)은 종축(122)이 로드락 챔버(110)의 일측과 타측에 연결된 상태로 구비되므로 상술한 종축(122)의 길이보다 적으며, 그 양단은 근접한 로드락 챔버(110)의 내벽에 고정된다.
상술한 제 2연결부재(134)는 상술한 횡축(132)의 직경보다 큰 직경을 갖으며, 그 내부는 상술한 횡축(132)에 삽입되고 그 횡축(132)에 적어도 3개 이상 구비된다.
상술한 제 2기판접촉블럭(136)은 각각의 제 1연결부재(134)에 적어도 하나 이상 마련된 사각기둥 형상으로 기판(S)의 정렬전에는 수평된 외측 방향에 위치되었다가 기판(S)의 정렬이 요구되면 하측인 수직방향으로 회동하게 되며, 소정의 탄성이 부여되어 기판(S)의 접촉시 그 기판(S)이 손상되는 것을 방지한다. 그리고, 그 재질은 절연체로 테프론(Teflon) 재질 또는 퀄츠(Quartz) 재질로 형성된다.
상술한 링크부(138)는 제 2연결부재(134)와 제 2구동부(139)의 사이에 경사진 상태로 양단이 고정되어 상술한 제 2구동부(139)의 구동력을 제 2연결부재(134)에 전달하는 기능을 한다.
상술한 제 2구동부(139)는 상술한 로드락 챔버(110)내에 마련된 종축(122)을 기점으로 제 2연결부재(134)에 구동력을 전달하여 그 제 2연결부재(134)에 구비된 제 2기판접촉블럭(136)을 회동시킨다. 여기서 상술한 제 2구동부(139)는 구동모터 또는 실린더이다. 여기서, 실린더일 경우에는 기판(S)의 전후방에 각각 하나 씩 마련되므로 2개가 필요하거나 더욱 견고하게 동작시키기 위해선 두 개씩 총 4개가 마련될 수 있다.
그러므로, 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치중 로드락 챔버에 기판을 어라인시키는 과정중 횡방향으로 얼라인시키는 과정은 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이 우선, 외부의 이송수단에 의해 로드락 챔버(110)내부로 반입된 기판(S)은 이 로드락 챔버(110)의 하측에서 적정 높이로 상승하는 리프트 핀(112)상에 안착된다. 이때, 상술한 로드락 챔버(110)의 출입구를 봉쇄하고 연통되게 마련된 펌프(도면에 미도시)를 작동시켜 로드락 챔버(110)의 내부를 진공 상태로 만든다.
그후, 상술한 리프트 핀(112)상에 안착된 기판(S)을 정렬하기 위해서 그 기판(S)의 상측 좌우방향에 마련된 횡방향 어라인 수단(120)과 전후방향에 마련된 종방향 어라인 수단(130)을 일률적으로 구동시켜 어라인한다.
즉, 상술한 횡방향 어라인 수단(120)의 제 1구동부(129)를 구동시켜 그 제 1구동부(120)의 피스톤 로드가 직진하면 그와 연결된 링크부(128)가 제 1연결부재(124)를 적정 각도만큼 회동하게 되며, 이때 제 1연결부재(124)에 수평된 외측방향으로 결합된 제 1기판접촉부재(126)가 수직방향인 하방으로 회전하여 하측에 마련된 기판(S)의 좌우측면을 동시에 이동시키며, 상술한 종방향 어라인 수단(130)도 마찬가지로 그 종방향 어라인 수단(130)의 제 2구동부(139)를 구동시켜 그 제 2구 동부(139)의 피스톤 로드가 직진하면 그와 연결된 링크부(138)가 제 2연결부재(134)를 적정 각도만큼 회동하게 되며, 이때 제 2연결부재(138)의 외측방향으로 결합된 제 2기판접촉부재(136)가 수직방향인 하방으로 회전하여 하측에 마련된 기판(S)의 전후측면을 동시에 이동시켜 기판(S)의 전후좌우 방향에서 상술한 제 1, 2기판접촉부재(126, 136)가 동시에 외측 방향에서 하측 방향인 수직방향으로 회동하면서 하측에 마련된 기판(S)의 4 변을 동시에 이동시켜 정렬하게 된다.
그러므로, 상술한 로드락 챔버(110) 내부로 반입된 기판(S)이 리프트 핀(112)상에 안착되어 상술한 리프트 핀(112)의 기판(S)을 횡, 종방향 어라인 수단(120, 130)의 동일 높이까지 승강시키지 않고 반입된 위치에서 상술한 횡, 종방향 어라인 수단(120, 130)의 제 1, 2기판접촉부재(126, 136)에 의해 정렬되므로 리프트 핀(112)이 기판(S)의 정렬하기 위한 승강 공정이 필요하지 않으므로 체적이 감소하고, 그에 따라 진공 소요 시간 및 공정 시간이 감소된다.
이와 같은 본 발명의 평판표시소자 제조장치는 로드락 챔버내로 반입된 기판의 정렬시 반입된 기판 위치에서 횡, 종방향 어라인 수단의 제 1, 2기판접촉블럭이 각각 외측 방향에서 하측 방향인 수직 방향으로 제 1, 2구동부에 의해 회동하며, 그 제 1, 2기판접촉블럭이 하방으로 위치되었을 때의 높이가 진입된 기판의 높이와 상응하여 상술한 기판을 횡, 종방향 어라인 수단의 높이까지 상승시키는 상승 공정이 불필요함에 따라 로드락 챔버의 높이가 낮아지고 체적이 감소하여 진공 수행 시간 및 공정 완료 시간이 감소되는 효과가 있다.

Claims (8)

  1. 다수의 챔버로 이루어져 기판에 소정 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 있어서,
    외부와 연통되어 반입될 새 기판과 공정처리 완료된 기판을 반출시키는 로드락 챔버;
    상기 로드락 챔버내 반입되는 기판의 상측에 마련되며, 기판을 횡방향으로 움직일 수 있도록 구비되되 상기 로드락 챔버내 일측벽에서 타측벽으로 관통하여 돌출된 한 쌍의 종축과, 상기 종축의 도중에 각각 고정되어 그 종축을 따라 회동하는 다수개의 제 1연결부재와, 상기 제 1연결부재의 일측에 마련되며 외측 방향에서 하측 방향으로 회동하여 기판을 횡방향으로 이동할 수 있게 구비되는 다수개의 제 1기판접촉블럭과, 상기 제 1기판접촉블럭을 회전시킬 수 있게 로드락 챔버의 일측벽에 구비되어 직교된 종축을 회전시키는 제 1구동부 및 상기 제 1구동부의 구동력을 각각의 제 1연결부재에 전달할 수 있도록 그 제 1구동부와 제 1연결부재를 연결하는 링크부로 이루어진 한 쌍의 횡방향 어라인 수단; 및
    상기 횡방향 어라인 수단과 직교된 상태로 마련되며, 상기 기판을 종방향으로 움직일 수 있도록 구비되는 한 쌍의 종방향 어라인 수단;을 포함하며,
    상기 횡, 종방향 어라인 수단은, 대기 위치와 기판 어라인 위치의 높이가 변화되어 기판의 진입 높이에서 기판 어라인이 수행되는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서, 상기 제 1기판접촉블럭은,
    각각의 제 1연결부재에 적어도 하나가 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 종방향 어라인 수단은,
    상기 로드락 챔버내 마련된 종축과 직교된 상태로 구비되는 한 쌍의 횡축;
    상기 횡축의 도중에 각각 고정되어 그 종축을 따라 회동하는 다수개의 제 2연결부재;
    상기 제 2연결부재의 일측에 마련되며, 외측 방향에서 하측 방향으로 회동하여 기판을 종방향으로 이동할 수 있게 구비되는 다수개의 제 2기판접촉블럭;
    상기 제 2기판접촉블럭을 회전시킬 수 있게 로드락 챔버의 타측벽에 구비되어 직교된 횡축을 회전시키는 제 2구동부;
    상기 제 2구동부의 구동력을 각각의 제 2연결부재에 전달할 수 있도록 그 제 2구동부와 제 2연결부재를 연결하는 링크부;를 포함한 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 제 2기판접촉블럭은,
    각각의 제 2연결부재에 적어도 하나가 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  6. 제 4항에 있어서, 상기 제 1, 2기판접촉블럭은,
    절연체로 형성된 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 절연체는,
    테프론(Teflon) 재질 또는 퀄츠(Quartz) 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  8. 제 4항에 있어서, 상기 제 1, 2구동부는,
    실린더 또는 구동 모터인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
KR1020040102977A 2004-12-08 2004-12-08 평판표시소자 제조장치 KR100710598B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040102977A KR100710598B1 (ko) 2004-12-08 2004-12-08 평판표시소자 제조장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040102977A KR100710598B1 (ko) 2004-12-08 2004-12-08 평판표시소자 제조장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060064231A KR20060064231A (ko) 2006-06-13
KR100710598B1 true KR100710598B1 (ko) 2007-04-24

Family

ID=37159837

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040102977A KR100710598B1 (ko) 2004-12-08 2004-12-08 평판표시소자 제조장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100710598B1 (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040079446A (ko) * 2002-02-22 2004-09-14 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 기판 지지체

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040079446A (ko) * 2002-02-22 2004-09-14 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 기판 지지체

Also Published As

Publication number Publication date
KR20060064231A (ko) 2006-06-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100667598B1 (ko) 반도체 처리 장치
JP4249155B2 (ja) 基板移送装置
JP5152469B2 (ja) 基板搬送装置
KR101335302B1 (ko) 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치
KR102163605B1 (ko) 기판 처리 장치
KR101502130B1 (ko) 반송장치, 그가 설치된 반송챔버 및 이를 포함하는진공처리시스템
JP4992910B2 (ja) 基板検査装置
KR100710598B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
KR100959678B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
KR101991889B1 (ko) 기판수평회전모듈 및 기판이송방법
KR100965512B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
KR102141200B1 (ko) 이송 로봇 및 이를 포함하는 이송 장치
CN107919276B (zh) 基板处理装置
KR100934761B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
CN107919262B (zh) 基板处理装置
KR20120060588A (ko) 기판 처리 장치
KR101362455B1 (ko) 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치
KR20100065945A (ko) 얼라이너
KR101362458B1 (ko) 리프트 핀 모듈 및 이것을 포함하는 평판표시소자 제조장치
KR100656702B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
KR101131417B1 (ko) 로드락 장치 및 이를 설치한 로드락 챔버
KR100484017B1 (ko) 이중 버퍼 및 어라이너가 구비된 로드락 챔버
KR100934762B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
KR100944378B1 (ko) 리프트 핀 어셈블리
KR20080088932A (ko) 기판 이송 장치 및 이를 이용한 기판 정렬 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130418

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140417

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150417

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee