KR100708827B1

KR100708827B1 - 전자 구동 기구의 동작 제어 방법

Info

Publication number: KR100708827B1
Application number: KR1020020075276A
Authority: KR
Inventors: 아오시마히로아키; 스기야마히로히코; 스가누마나오히코
Original assignee: 가부시키가이샤 도쿄 웰드
Priority date: 2002-10-02
Filing date: 2002-11-29
Publication date: 2007-04-18
Also published as: TW200405937A; CN1487660A; JP2004129376A; CN100375381C; KR20040029933A; TWI221526B

Abstract

반복 동작을 고속으로 할 수 있는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법이 제공된다. 전자 구동 기구(1)의 동작 제어 방법은 솔레노이드(4)에 흡인 전압을 인가해 솔레노이드(4)에 의해 레버(3)를 흡인하는 공정과, 솔레노이드(4)에 유지 전압을 인가해 솔레노이드(4)에 의해 레버(3)를 유지하는 공정과, 솔레노이드(4)로의 전압 인가를 차단해 스프링(5a)에 의해 레버(3)를 복귀시키는 공정을 구비하고 있다. 흡인 공정의 전에 솔레노이드(4)에 예려(豫勵) 전압을 인가하거나, 또는 흡인 공정에서 솔레노이드(4)에 흡인 전압을 인가한 후 차단한다. 이것에 의해 전자 구동 기구(1)의 반응성의 향상과, 흡인 공정 종료시에서의 진동이 억제된다.

전자구동기구, 동작제어, 솔레노이드, 흡인, 복귀, 예려 전압, 전압 차단, 반응성

Description

전자 구동 기구의 동작 제어 방법{METHOD FOR CONTROLLING BEHAVIOR OF ELECTROMAGNETIC DRIVER MECHANISM}

도 1은 본 발명에 의한 전자 구동 기구의 동작 제어 방법의 일 실시예를 나타내는 도면.

도 2는 전자 구동 기구를 나타내는 개략도.

도 3은 전자 구동 기구를 나타내는 모식도.

도 4는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법의 비교예를 나타내는 도면.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ※

1: 전자 구동 기구

2: 프레임

3: 레버

4: 솔레노이드

4a: 스풀

5: 스토퍼축

5a: 스프링

6: 스토퍼

7: 센서

8: 프로브 홀더

9: 프로브

15: 가동부

20: 제어부

V0: 예려 전압

V1: 흡인 전압

V2: 차단

V3: 흡인 제진 전압

V4: 유지 전압

V5: 유지 펄스

V6: 차단

V7: 복귀 제진 전압

본 발명은 전자(電滋) 구동부를 갖는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법에 관한 것으로, 특히 반복 동작을 신속하게 할 수 있는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법에 관한 것이다.

종래로부터 전자 구동 기구로서, 프레임과, 프레임에 요동 가능하게 설치된 레버와, 프레임에 설치된 솔레노이드와, 프레임과 레버와의 사이에 개재된 스프링 을 갖는 것이 알려져 있다.

이와 같은 전자 구동 기구에서, 솔레노이드에 전압을 인가한 후 차단하는 ON-OFF 제동을 하여 전자 구동 기구의 동작 제어를 하고 있다.

즉, 솔레노이드에 전압을 인가해 레버를 솔레노이드에 의해 흡인하고, 그 상태를 유지한 후, 솔레노이드로의 전압을 차단하여 레버를 스프링에 의해 복귀하고 있다.

종래의 전자 구동 기구에서는, 상술한 바와 같이 솔레노이드에 전압을 인가하거나 차단하는 ON-OFF 제어를 하고 있다. 그러나 솔레노이드에 의한 레버의 흡인 공정 혹은 스프링에 의한 레버의 복귀 공정에서, 레버가 크게 진동하는 일이 있다. 이 경우는 레버가 그 후 안정하기까지 시간이 걸리기 때문에, 전자 구동 기구를 고속으로 또 반복 동작시키는 것이 어렵다.

본 발명은 이와 같은 점을 고려하여 이루어진 것으로, 반복 동작을 고속으로 할 수 있는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 프레임과, 프레임에 요동 가능하게 설치된 레버와, 프레임에 설치된 전자(電磁) 구동부를 갖는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법에 있어서, 전자 구동부에 흡인 전압을 인가하여 전자 구동부로 레버를 흡인하는 공정과, 전자 구동부에 유지 전압을 인가하여 레버를 전자 구동부에 의해 유지하는 공정과, 레버를 복귀시키는 공정을 구비하고, 흡인 공정 전에, 전자 구동부에 예려(豫勵) 전압을 인 가하는 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법이다.

본 발명은 예려 전압을 흡인 공정에 필요한 최저 전압 미만의 전압으로 하는 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법이다.

본 발명은 프레임과, 프레임에 요동 가능하게 설치된 레버와, 프레임에 설치된 전자 구동부를 갖는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법에 있어서, 전자 구동부에 흡인 전압을 인가하여 전자 구동부로 레버를 흡인하는 공정과, 전자 구동부에 유지 전압을 인가하여 레버를 전자 구동부에 의해 유지하는 공정과, 레버를 복귀시키는 공정을 구비하고, 흡인 공정에서, 전자 구동부에 대해 흡인 전압을 인가함과 동시에, 그 후 흡인 전압을 차단하거나 또는 전압을 유지 공정중의 유지 전압 미만까지 감압하는 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법이다.

본 발명은 흡인 전압이 유지 전압을 초과하는 전압인 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법이다.

본 발명은 흡인 공정의 종료 근방에, 전자 구동부에 대해 유지 전압을 초과하는 전압을 단시간 인가하고, 그 후 유지 공정에서 전자 구동부에 대해 유지 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법이다.

본 발명은 프레임과, 프레임에 요동 가능하게 설치된 레버와, 프레임에 설치된 전자 구동부를 갖는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법에 있어서, 전자 구동부에 흡인 전압을 인가하여 전자 구동부로 레버를 흡인하는 공정과, 전자 구동부에 유지 전압을 인가하여 레버를 전자 구동부에 의해 유지하는 공정과, 레버를 복귀시키는 공정을 구비하고, 유지 공정의 종료 직전에, 전자 구동부에 대해 펄스 전압을 인가 하는 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법이다.

본 발명은 펄스 전압을 인가한 후, 펄스 전압을 차단하거나 또는 펄스 전압을 유지 전압 미만으로 감압하여 레버의 복귀 공정에 도달하는 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법이다.

본 발명은 펄스 전압이 유지 전압 이하인 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법이다.

본 발명은 프레임과, 프레임에 요동 가능하게 설치된 레버와, 프레임에 설치된 전자 구동부를 갖는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법에 있어서, 전자 구동부에 흡인 전압을 인가하여 전자 구동부로 레버를 흡인하는 공정과, 전자 구동부에 유지 전압을 인가하여 레버를 전자 구동부에 의해 유지하는 공정과, 레버를 복귀시키는 공정을 구비하고, 복귀 공정의 종료 직전에, 전자 구동부에 대해 흡인 전압과 대략 동일한 전압을 단시간 인가하는 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법이다.

본 발명은 복귀 공정에서, 레버를 스프링에 의해 복귀시키는 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법이다.

본 발명에 의하면, 전자 구동부가 흡인 공정을 개시하는데 필요한 인가 전압보다 낮은 전압을 미리 전자 구동부에 인가하여 둠으로써, 흡인 전압이 인가되었을 때, 신속하게 흡인 공정을 행할 수 있다. 또, 유지 공정 종료 직전에, 유지 전압을 펄스화함으로써, 복귀 공정시에 과도 현상이나 히스테리시스에 의한 응답 지연을 완화해 응답을 빠르게 할 수 있다.

또한, 전자 구동부에 의한 흡인 공정이 가속될 즈음, 인가된 전압을 차단해 관성만에 의해 기립 동작이 속행되도록 한다. 이에 의해 흡인 공정 종료 직전 레버는 감속하고, 흡인 공정 종료시에의 충돌에 의한 충격을 완화할 수 있다.

또, 흡인 공정 종료시에 도달하면 레버가 스토퍼 등에 충돌해 튕겨나가는 것도 생각된다. 이 경우, 흡인 공정 종료시에 도달하는 근방에서, 다시 전압을 전자 구동부에 단시간 인가해 레버를 압압함으로써, 이와 같은 반발을 규제할 수 있다.

또, 복귀 공정의 개시 시에 전자 구동부로의 인가 전압이 차단되면, 레버의 복귀 공정이 가속되어 가지만, 복귀 공정 종료의 직전에 전압을 인가함으로써, 반대의 힘인 흡인력을 가할 수 있어, 복귀 공정을 감속시킬 수 있다. 이에 따라, 레버의 충돌을 완화할 수 있고, 결과적으로 반발을 억제할 수 있다.

이하, 도면을 참조해 본 발명의 실시예에 대해서 설명한다.

이 중 도 1~ 도 3은 본 발명에 의한 전자 구동 기구의 일 실시예를 나타내는 도면이고, 도 4에 비교예를 나타내는 도면이다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 전자 구동 기구(검측(檢測) 장치)(1)는 워크에 대해 전기적 측정을 하는 것이고, 역(逆)L자형의 프레임(2)과, 프레임(2)에 지축(支軸)(10)을 지점으로서 요동 가능하게 설치된 레버(3)를 구비하고 있다.

이 중 프레임(2)은 수평 프레임(2a)과 수직 프레임(2b)으로 이루어지고, 수평 프레임(2a)에는 솔레노이드(전자(電磁) 구동부)(4)가 설치되어 있다. 또 레버(3)에는 솔레노이드(4)의 가동변인 스풀(4a)이 설치되고, 솔레노이드(4)로의 전압의 ON-OFF에 의해 레버(3)가 요동하게 되어 있다.

수평 프레임(2a)과 레버(3) 사이에는 스토퍼축(軸)(5)이 설치되고, 이 스토퍼축(5)의 주위에는 레버(3)를 수평 프레임(2a)으로부터 끌어내도록 압압하는 스프링(5a)이 설치되어 있다. 또한 스토퍼축(5)의 하단에는 레버(3)를 정지하는 스토퍼(6)가 설치되어 있다.

또한 레버(3)의 지축(10)과 반대측 단부에는 프로브 홀더(8)가 설치되고, 이 프로브 홀더(8)에는 수직 프레임(2b)에 평행하여 프로브(9)가 설치되어 있다. 레버(3)가 요동하면 프로브(9)가 상하 방향으로 이동하고, 이 프로브(9)에 의해 프로브(9) 상에 재치된 워크(도시하지 않음)의 전기적 특성이 측정된다.

또 프로브(9)는 그 선단의 이동 스트로크(S)가 도 3에 나타내는 바와 같이 스풀(4a)의 신축량에 비례하고, 솔레노이드(4)가 통전에 의해 여자되면, 스풀(4a)이 솔레노이드(4) 내에 인입하여 프로브(9) 선단을 돌출시킨다. 프로브(9)는 도시하지 않은 워크의 특성 측정을 한 후, 통전의 정지에 의해 스프링(5a)에 압압되어 초기의 위치로 복귀되게 되어 있다.

또한, 수평 프레임(2a)에는 레버(3)의 위치 검출용의 센서(7)가 설치되어 있다.

본 실시예에서, 스풀(4a)의 스트로크의 한계는 솔레노이드(4)와 스풀(4a)(또는 레버(3))이 맞닿을 때가 되지만, 그것과는 다른 위치로 하고 싶은 경우, 도시하지 않은 스토퍼를, 예컨대 센서(7) 근방 혹은 프로브 홀더(9)의 외측으로 설치해 레버(3)의 흡인시의 스트로크를 바꾸어도 좋다.

다음에 본 발명에 의한 전자 구동 기구의 동작 제어 방법에 대해서 도 1에 의해 설명한다.

먼저 제어부(20)는 동작 지령을 ON으로 하여 레버(3)의 흡인을 개시하기 전에, 솔레노이드(4)가 흡인 동작을 개시하는데 필수인 인가 전압(V1)보다 낮은 예려 전압(VO)을 솔레노이드(4)에 미리 인가해 둔다. 다음에 제어부(20)는 레버(3)의 흡인의 동작 지령에 의거하여, 탄성체인 스프링(5a)에 저항하여, 적어도 레버(3)가 솔레노이드(4)에 흡인되기 위한 흡인 전압(V1)을 솔레노이드(4)에 인가한다. 이 때, 스풀(4a)이 솔레노이드(4) 내에 인입하고, 레버(3)와, 프로브 홀더(8)와, 프로브(9)로 이루어지는 가동부(15)가 수평 프레임(2a)의 단부를 향해 구동되어 가속된다. 가동부(15)가 가속되어 솔레노이드(4)측에 흡인되면, 흡인 전압(V1)이 차단(V2)되고, 가동부(15)는 감속하면서 관성에 의해 이동이 속행된다. 또한, 흡인 전압(V1)은 후술하는 유지 전압(V4)의 값을 초과하는 전압이 되어 있다.

이 사이 센서(7)에 의해 레버(3)의 변위량이 감시되고, 레버(3)의 흡인 동작의 종료 근방에서 센서(7)의 위치 검출 출력이 ON이 된다. 센서(7)로부터의 위치 검출 출력이 ON이 되면, 제어부(20)에 의해 솔레노이드(4)에 흡인 제어 전압(V3)이 인가되고, 레버(3)의 확실한 가압력이 부가된다. 이 때, 도시하지 않은 스토퍼 등에 가동부(15)의 레버(3)가 저속으로 접촉하므로, 가동부(15)의 선단 변위를 나타내는 타임 차트 상에서는, 흡인 동작 종료시에서의 진동(A)의 발생이 억제되는 것을 알 수 있다.

레버(3)의 흡인 동작이 종료하면, 솔레노이드(4)에 인가되는 흡인 제진 전압(V3)이 현위치를 유지하기 위한 유지 전압(V4)으로 교체되고, 현위치에 있는 레 버(3)가 안정되게 유지된다.

이 사이 프로브(9)에 의해 도시하지 않은 워크의 전기적 특성 측정 등의 소정 작업이 행하여져 완료한다. 유지동작의 종료전으로서 복귀 동작이 개시되기 직전에, 유지 전압(V4)은 가동부(15)의 레버(3)를 유지하는데 필요한 최소한의 유지 펄스(V5)로 전환된다. 그 후, 동작 지령이 OFF가 됨과 동시에, 제어부(20)는 솔레노이드(4)에 여자하고 있는 유지 펄스(V5)를 차단(V6)한다. 이 경우, 스프링(5a)에 의해서, 가동부(15)가 히스테리시스의 영향을 받는 일이 없이 즉시 복귀 동작을 개시하고, 가속해 원래 위치까지 복귀한다.

다음에 제어부(20)는 가동부(15)가 복귀 동작 종료 위치에 도달하기 직전에 솔레노이드(4)에 펄스형상의 복귀 제진(制振) 전압(V7)을 인가한다. 이 경우, 가속하고 있던 가동부(15)의 복귀 동작이 감속하고, 레버(3)는 복귀 동작 종료 위치에 있는 스토퍼(6)에 충돌해 튕겨나가는 일이 없이 온화하게 당접한다. 그 후, 복귀 제진 전압(V7)을 차단함으로써, 가동부(15)는 스프링(5a)에 의해 스토퍼(6)측에 압압되고, 복귀 동작 종료시에서의 진동(B)이 억제된다.

이와 같이 제어부(20)는 흡인 동작 지령으로부터 다음의 흡인 동작 지령까지를 1사이클로 해서, 각 순간에서 솔레노이드(4)로의 인가 전압을 패턴화해 인가한다. 이 제진시간의 단축으로부터, 다음 동작까지의 시간을 짧게 할 수 있기 때문에, 전자 구동 기구(L)의 고속 동작이 가능해진다.

또한, 본 실시예에서, 전자 구동 기구(1)로서, 프로브(9)를 갖는 검측 장치의 예를 나타냈지만, 솔레노이드를 이용한 전자 구동 기구이면, 다른 장치로 하여도 좋다.

또, 본 실시예에서는, 유지 펄스(V5)를 정전압으로 하고 있지만, 교류 전압과 같이 정부(正負)로 변화하는 펄스를 이용함으로써, 히스테리시스의 영향을 없앨 수도 있다. 또한 본 실시예에서, 흡인 동작을 솔레노이드(4)에 의해 행하고, 복귀 동작을 스프링(5a)에 의해 행하고 있지만, 흡인 동작 및 복귀 동작을 솔레노이드(4)를 이용해도 좋다.

또한, 본 발명을 실시하는 데 있어서 어려운 문제는, 예컨대 예려 전압(VO)과 같이 동작 지령 전에 부가하는 방법이다. 이러한 종류의 장치에서는 반복 동작을 시킬 경우가 많고, 따라서 1사이클의 각 주요부의 시간을 측정해 두고, 상기 주요부의 동작 종료후, "소정 시간후에 부가하는" 것으로 실현할 수 있다.

다음에 본 발명의 비교예에 대해서 도 4에 의해 설명한다. 도 4는 단순하게 솔레노이드(4)에 전압(V11)을 인가한 후, 유지 전압(V12)으로 내리고, 그 후 전압을 OFF로 하는 비교예를 나타내고 있다. 도 4에서, 이와 같은 ON-OFF 제어에서는, 솔레노이드(4)의 인덕턴스에 의한 과도 현상의 영향 및 관성의 영향으로부터, 솔레노이드(4)에 전압이 인가되어도 즉시 가동부(15)의 스풀(4a)이 움직이기 시작하지 않고, 전압 인가후 약간 지연되어 작동을 개시한다. 이 때문에, 프로브(9)가 소정의 스트로크(S)만큼 이동한 후, 가동부(15)의 레버(3)가 도시하지 않은 스토퍼 혹은 솔레노이드(4)의 단부면 등에 충돌해 튀겨나간다. 이 때문에 가동부(15)는 흡인 동작 종료시에 A1로 나타내는 바와 같이 진동하면서 수렴해 안정된다.

솔레노이드(4)를 해방하는 경우도 마찬가지로, 인가 전압을 0V으로 해도 과 도 현상이나 관성의 영향에 추가해 히스테리시스에 의한 지연 때문에, 가동부(15)는 약간 늦어져 복귀 동작을 개시한다. 이 경우, 스프링(5a)에 의해 가동부(15)는 소정의 스트로크(S)만 이동해 복귀하고, 레버(3)가 스토퍼(6)에 맞닿으면, 스토퍼(6)의 반발력에 의해 반발진동(B1)으로 나타내는 바와 같이 진동하면서 수렴해 안정된다.

이와 같이 비교예에서는, 흡인 동작 및 복귀 동작시의 응답의 지연에 부가하여, 진동 A₁, B₁이 발생하기 때문에, 가동부(15)가 안정 영역에 도달하기까지의 시간이 걸린다. 이 때문에 비교예에서는, 가동부(15)가 안정 영역에 도달하기까지의 시간을 고려한 저속 동작으로서만 사용하는 것이 가능해지고, 고속화에의 응답이 곤란하다.

이에 대해 본 발명에 의하면, 전자 구동 기구의 반복 동작을 신속하게 할 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 의하면 흡인 공정 및 복귀 공정의 응답을 빠르게 할 수 있고, 또 각 공정 중에서의 진동의 발생을 억제할 수 있어, 안정된 기능의 실행을 할 수 있다. 또한 동작 지령에 대한 응답성의 향상과 각 공정 종료시에서의 진동을 억제할 수 있고, 사이클 타임을 단축하는 것이 가능해져서, 고속화에 대응할 수 있다.

Claims

프레임과, 상기 프레임의 일단부(一端部)에 지축(支軸)을 중심으로 요동(搖動) 가능하게 설치된 레버와, 상기 프레임에 설치되어 흡인 전압에 의해 상기 레버의 흡인을 개시하고 상기 흡인 전압보다 작은 유지 전압에 의해 상기 레버의 흡인 상태를 유지하도록 구동하는 전자(電磁) 구동부와, 상기 프레임에 설치되어 레버를 복귀시키도록 구동하는 복귀 구동부와, 상기 흡인 전압 및 상기 유지 전압을 포함한 임의의 전압을 상기 전자 구동부에 인가하게 하여 상기 전자 구동부를 구동시키는 제어부를 구비하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법으로서,

상기 제어부에 의해 상기 흡인 전압을 상기 전자 구동부에 인가하여 상기 레버를 상기 전자 구동부로 흡인하는 흡인 공정과,

상기 흡인 공정 후에, 상기 제어부에 의해 상기 유지 전압을 상기 전자 구동부에 인가하여 상기 레버의 흡인 상태를 유지하는 유지 공정과,

상기 복귀 구동부에 의해 상기 레버를 상기 흡인 상태 이전의 본래 상태로 복귀시키는 복귀 공정을 구비하고,

상기 흡인 공정 전에, 상기 제어부에 의해 상기 흡인 전압(V1)보다 작고 차단 전압(V2)보다는 큰 예려(豫勵) 전압(V0)을 상기 전자 구동부에 인가해 두는 공정을 마련하는 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법.
삭제
제 1 항에 있어서,

상기 흡인 공정에서, 상기 제어부에 의해 상기 흡인 전압을 상기 전자 구동부에 인가하고 소정 시간 경과 후 차단하거나 또는 유지 전압 미만으로 하는 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법.
삭제
제 3 항에 있어서,

상기 흡인 공정 종료시 상기 제어부에 의해 다시 상기 흡인 전압을 상기 전자 구동부에 인가한 후,

상기 유지 공정에서, 상기 유지 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법.
프레임과, 상기 프레임의 일단부에 지축(支軸)을 중심으로 요동(搖動) 가능하게 설치된 레버와, 상기 프레임에 설치되어 흡인 전압에 의해 상기 레버의 흡인을 개시하고 상기 흡인 전압보다 작은 유지 전압에 의해 상기 레버의 흡인 상태를 유지하도록 구동하는 전자(電磁) 구동부와, 상기 프레임에 설치되어 레버를 복귀시키도록 구동하는 복귀 구동부와, 상기 흡인 전압 및 상기 유지 전압을 포함한 임의의 전압을 상기 전자 구동부에 인가하게 하여 상기 전자 구동부를 구동시키는 제어부를 구비하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법으로서,

상기 제어부에 의해 상기 흡인 전압을 상기 전자 구동부에 인가하여 상기 레버를 상기 전자 구동부로 흡인하는 흡인 공정과,

상기 흡인 공정 후에, 상기 제어부에 의해 상기 유지 전압을 상기 전자 구동부에 인가하여 상기 레버의 흡인 상태를 유지하는 유지 공정과,

상기 복귀 구동부에 의해 상기 레버를 상기 흡인 상태 이전의 본래 상태로 복귀시키는 복귀 공정을 구비하고,

상기 유지 공정의 종료 직전에, 상기 제어부에 의해 펄스 전압을 상기 전자 구동부에 인가하는 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법.
제 6 항에 있어서,

상기 복귀 공정은 상기 펄스 전압이 차단됨으로써 상기 복귀 구동부에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법.
제 7 항에 있어서,

상기 펄스 전압은 상기 유지 전압 이하인 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법.
제 6 항에 있어서,

상기 복귀 공정의 종료 직전에, 상기 제어부에 의해 상기 흡인 전압과 동일한 전압을 상기 전자 구동부에 인가하는 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법.
제 1 항, 제 3 항, 제 5 항 내지 제 7 항 및 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 복귀 구동부는 스프링인 것을 특징으로 하는 전자 구동 기구의 동작 제어 방법.