KR100702756B1 - Heater unit for semiconductor processing - Google Patents

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KR100702756B1
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미야지신야
이시와타히데노리
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닛폰 하츠죠 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 가열시에 조기에 승온하고, 또한 전면에 걸쳐 열을 균일화할 수 있고, 덧붙여 금속 베이스 및 히터의 재료의 선택의 폭이 넓어, 그 재료에 따라서는 고온 영역에서의 사용도 가능하고, 또한 열전도성이 좋으며, 내구성이 높은 히터 유닛 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.The present invention can raise the temperature at the time of heating early, and can uniformize the heat over the entire surface, and in addition, the choice of the material of the metal base and the heater is wide, and depending on the material, it can also be used in a high temperature region. In addition, the present invention provides a heater unit having high thermal conductivity and high durability and a method of manufacturing the same.

또한, 본 발명은 금속으로 이루어지는 하측 베이스와 상측 베이스 사이에 획정한 통로에 선형상의 히터를 내장하는 히터 유닛의 하측 베이스와 상측 베이스와 히터를 각 베이스의 한쪽 또는 양쪽을 소성 변형시킨 상태로 그 전면에 걸쳐 브레이징(brazing), 납땜(soldering) 및 확산 접합 중 어느 것에 의해 접합하여 일체화함으로써, 양 베이스 사이의 열전도성이 좋게 되어, 국부적인 승온에 의한 국부 변형 및 잔류 응력이 발생하지 않아, 변형, 히터의 손상도 방지할 수 있다. 또한, 금속 베이스의 재료의 선택의 폭이 넓게 되고, 예컨대 스테인레스동, 티타늄계 재료를 사용하면 고온 영역에서의 사용도 가능해진다.In addition, the present invention is the front surface of the lower base, the upper base and the heater of the heater unit in which the linear heater is incorporated in the path defined between the lower base and the upper base made of metal in one or both of the bases in a plastic deformation state. By joining and integrating by any one of brazing, soldering, and diffusion bonding over, the thermal conductivity between both bases becomes good, so that local deformation and residual stress due to local temperature rise do not occur, Damage to the heater can also be prevented. In addition, a wider selection of metal-based materials can be used, and for example, stainless steel and titanium-based materials can be used in high temperature regions.

Description

히터 유닛 및 그 제조 방법{HEATER UNIT FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING} Heater unit and its manufacturing method {HEATER UNIT FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING}             

도 1은 본 발명이 적용된 접합형 히터 유닛의 개략 구조를 나타내는 단면도,1 is a cross-sectional view showing a schematic structure of a junction heater unit to which the present invention is applied;

도 2는 도 1의 히터를 확대하여 도시한 도면,2 is an enlarged view of the heater of FIG. 1;

도 3은 접합 전의 히터와 각 베이스와의 형상, 크기의 관계 및 제조 순서를 도시한 도면,3 is a view showing the relationship between the shape, size, and manufacturing procedure of the heater and each base before bonding;

도 4는 본 발명에 의한 히터 유닛의 변형예를 나타내는 도 3과 동일한 도면,4 is a view similar to FIG. 3 showing a modification of the heater unit according to the present invention;

도 5는 종래의 주입형 히터 유닛의 개략 구조를 나타내는 단면도,5 is a sectional view showing a schematic structure of a conventional injection type heater unit;

도 6은 종래의 볼트 체결형 히터 유닛의 개략 구조를 나타내는 단면도,6 is a cross-sectional view showing a schematic structure of a conventional bolted heater unit;

도 7은 종래의 용접형 히터 유닛의 개략 구조를 나타내는 단면도.
7 is a sectional view showing a schematic structure of a conventional welded heater unit.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings

l : 접합형 히터 유닛 2, 14, 17 : 하측 베이스l: Bonded heater unit 2, 14, 17: Lower base

2a, 14a, 17a : 홈 3, 15, 18 : 상측 베이스2a, 14a, 17a: groove 3, 15, 18: upper base

4 : 시스 히터 5 : 니크롬선4: sheath heater 5: nichrome wire

6 : 보호 파이프 7 : 산화마그네슘 분말6: protective pipe 7: magnesium oxide powder

8 : 접합부 11 : 주입형 히터 유닛 8: junction 11: injection heater unit                 

l2 : 스테인레스 시스 히터 13 : 볼트 체결형 히터 유닛l2: stainless sheath heater 13: bolted heater unit

16 : 용접형 히터 유닛 19 : 주변부
16: welded heater unit 19: peripheral portion

본 발명은 반도체 처리 장치 등에 사용하도록 금속으로 이루어지는 베이스에 히터를 내장하는 히터 유닛 및 그 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heater unit incorporating a heater in a base made of metal for use in a semiconductor processing apparatus and the like, and a manufacturing method thereof.

종래부터, 예컨대 반도체 처리 장치 등의 서셉터, 정전척 등, 여러 가지 분야에서 금속 베이스에 히터를 내장한 히터 유닛이 사용되고 있다. 이러한 히터 유닛의 히터에서는 일반적으로 스테인리스강제의 시스(sheath) 히터가 이용된다. 이 스테인레스 시스 히터를 알루미늄에 주입하거나(주입형), 스테인레스 시스 히터를 알루미늄 또는 스테인리스강판으로 끼워 볼트로 체결(締結)하거나(볼트 체결형), 끼운 판의 외주부를 용접하여(용접형) 히터 유닛을 구성한다.Background Art Conventionally, heater units incorporating a heater in a metal base have been used in various fields such as susceptors such as semiconductor processing apparatuses and electrostatic chucks. In the heater of such a heater unit, a sheath heater made of stainless steel is generally used. The stainless sheath heater is injected into aluminum (injection type), the stainless sheath heater is inserted into an aluminum or stainless steel plate, and bolted (bolted) or the outer circumference of the inserted plate is welded (welded). Configure

도 5에 스테인레스 시스 히터(12)를 내장하는 종래의 주입형 히터 유닛(11)의 개략 구조를 나타낸다. 스테인레스 시스 히터(12)는 발열체를 스테인리스강제 보호 파이프 내에 통과시켜 절연재로써 양자 사이를 전기적으로 절연한 것이다. 이 파이프 형상의 스테인레스 시스 히터(l2)를 소정의 패턴으로 굽힘 가공하여, 알루미늄 베이스에 주입하고, 절삭, 표면 연마 등의 가공을 행함으로써 히터 유닛(11)이 제작된다. The schematic structure of the conventional injection type heater unit 11 which incorporates the stainless sheath heater 12 in FIG. 5 is shown. The stainless sheath heater 12 passes the heating element in a stainless steel protective pipe to electrically insulate the two with an insulating material. The heater unit 11 is manufactured by bending this pipe-shaped stainless sheath heater 12 in a predetermined pattern, injecting it into an aluminum base, and processing such as cutting and surface polishing.                         

또한, 도 6에 종래의 볼트 체결형 히터 유닛(13)의 개략 구조를 나타낸다. 이 구조에서는 금속 베이스가 상하로 2분할되어 있고, 알루미늄, 스테인리스강 등으로 이루어지는 하측 베이스(14)에 형성된 홈(14a)에 상기 동일한 시스 히터(12)를 설치하여, 상측 베이스(15)를 밀착시키고, 양자를 적소에 볼트로 체결함으로써 일체화하고 있다.6, the schematic structure of the conventional bolted type heater unit 13 is shown. In this structure, the metal sheath is divided into two vertically, the same sheath heater 12 is provided in the groove 14a formed in the lower base 14 made of aluminum, stainless steel, or the like, and the upper base 15 is closely attached. The bolts are integrated by bolts in place.

또한, 도 7에 종래의 용접형 히터 유닛(16)의 개략 구조를 나타낸다. 이 구조에서도 금속 베이스가 상하로 2분할되어 있고, 알루미늄, 스테인리스강 등으로 이루어지는 하측 베이스(17)에 형성된 홈(17a)에 상기 동일한 스테인레스 시스 히터(12)를 설치하여, 상측 베이스(18)를 밀착시키고, 양자를 그 가장자리부(19)에서만 용접함으로써 일체화하고 있다.7, the schematic structure of the conventional welded heater unit 16 is shown. Also in this structure, the metal base is divided into two vertically, the same stainless sheath heater 12 is provided in the groove 17a formed in the lower base 17 made of aluminum, stainless steel, or the like, and the upper base 18 is attached. The film is brought into close contact with each other to be integrated by welding only at the edge portion 19.

상기 구조 중, 주입형 히터 유닛은 히터 유닛이 알루미늄 주물과 밀착하고 있기 때문에, 히터의 열전도성은 양호하지만, 금속 베이스로서 알루미늄을 사용하기 때문에, 그 융점이 낮아(일반적으로는 540℃정도), 500℃ 이상의 환경하에서의 사용은 곤란하다는 문제가 있다. 또한, 알루미늄의 주입 온도가 700℃ 이상이기 때문에, 시스 히터의 보호 파이프로 이용할 수 있는 금속이 융점이 높은 스테인리스강, 인코넬재 등에 한정된다. 또한, 이 보호 파이프에 이용되는 금속과, 금속 베이스로서의 알루미늄과의 열팽창 계수가 상이하기 때문에 고온시에 그 열응력에 의해 히터가 변형하여 반복 사용에 의해 단선하거나, 경우에 따라서는 히터 유닛 전체가 변형한다고 하는 문제가 있다.In the above structure, the injection type heater unit has good thermal conductivity of the heater because the heater unit is in close contact with the aluminum casting. However, since the aluminum is used as the metal base, its melting point is low (generally about 540 ° C.), 500 There is a problem that it is difficult to use in an environment of not lower than ℃. Moreover, since the injection temperature of aluminum is 700 degreeC or more, the metal which can be used for the protection pipe of a sheath heater is limited to stainless steel, Inconel material, etc. with high melting point. In addition, since the coefficient of thermal expansion between the metal used for this protective pipe and aluminum as a metal base is different, the heater deforms due to the thermal stress at high temperatures, and the wire is disconnected due to repeated use. There is a problem of deformation.

한편, 알루미늄 베이스의 볼트 체결형 히터 유닛은 사용 온도가 주입형 히터 유닛과 같은 정도이며, 베이스에 의한 시스 히터의 구속이 물리적인 것이기 때문에, 실온과 사용시의 온도차에 의해 발생하는 열팽창 차의 영향이 작아져, 반복 사용시에 단선이 발생하기 어렵다고 하는 이점이 있다.On the other hand, the bolt-mounted heater unit of aluminum base has the same use temperature as the injection type heater unit, and since the restraint of the sheath heater by the base is physical, the influence of the thermal expansion difference caused by the temperature difference at the time of use and the use is It becomes small and there exists an advantage that disconnection is hard to produce at the time of repeated use.

그러나, 홈에 극간이 있어, 이 극간이 단열층으로 되어 버림과 동시에 각 부가 물리적으로 접하고 있을 뿐이므로, 상하 베이스와 시스 히터 또는 베이스간의 밀착성이 낮아 열전도성이 나쁘고, 경우에 따라서는 국부적으로 승온하여 히터를 손상시킨다고 하는 문제점이 있다. 이것은 용접형 히터 유닛에서도 마찬가지이다. 또한, 용접형의 히터 유닛은 용접에 의한 왜곡도 크고, 형상 유지의 점에서도 문제가 있다.However, since there is a gap in the groove, and the gap is a heat insulating layer and each part is in physical contact with each other, the adhesion between the upper and lower bases and the sheath heater or the base is low, so that the thermal conductivity is poor, and in some cases, the temperature is locally raised. There is a problem of damaging the heater. The same applies to the welded heater unit. In addition, the welded heater unit also has a large distortion due to welding, and has a problem in terms of shape retention.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점에 비추어 행해진 것으로서, 가열시에 조기에 승온하고, 또한 전면에 걸쳐 열을 균일화할 수 있고, 부가하여, 금속 베이스 및 히터의 재료의 선택 자유도가 높아, 그 재료에 따라서는 고온 영역에서의 사용도 가능하고, 또한 열전도성이 좋으며, 내구성이 높은 히터 유닛 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and it is possible to raise the temperature early at the time of heating and to equalize the heat over the entire surface. In addition, the degree of freedom of selection of the material of the metal base and the heater is high. Accordingly, an object of the present invention is to provide a heater unit capable of being used in a high temperature region, having good thermal conductivity, and having high durability and a method of manufacturing the same.

상기한 목적은, 금속으로 이루어지는 하측 베이스와 동일하게 금속으로 이루어지는 상측 베이스 사이에 획정한 통로에 선형상의 히터를 내장하는 히터 유닛에 있어서, 상기 하측 베이스와 상기 상측 베이스 사이 및 상기 히터와 상기 각 베이스 사이가 그 대향면 전면에 걸쳐 브레이징(brazing), 납땜(soldering) 및 확산 접합 중 어느 것에 의해 접합되어 있는 것을 특징으로 한 히터 유닛, 및 상기 각 베이스 사이 및 상기 히터와 상기 각 베이스 사이를 진공 중 또는 소정의 가스 분위기 하에서 가압함으로써 서로 접하는 부분의 한쪽 또는 양쪽을 소성 변형시킨 상태로 그 대향면 전면에 걸쳐 브레이징, 납땜 및 확산 접합 중 어느 것에 의해 접합하는 것을 특징으로 하는 히터 유닛의 제조 방법을 제공함으로써 달성된다. 특히, 상기 히터가 금속제 파이프 내에 발열체를 수용함과 동시에 내부에 절연체가 충전된 것으로 이루어지면 좋고, 상기 각 베이스 중 한쪽 또는 양쪽에 획정된 통로가 상기 히터보다 작아져 있고, 상기 각 베이스 사이 및 상기 히터와 상기 각 베이스 사이가 가압에 의해 서로 접하는 부분의 한쪽 또는 양쪽이 소성 변형한 상태로 접합되어 있으면 더욱 좋다.The above object is a heater unit in which a linear heater is embedded in a path defined between an upper base made of metal in the same manner as the lower base made of metal, and between the lower base and the upper base and between the heater and the respective bases. A heater unit, and between the respective bases and between the heaters and each of the bases in a vacuum, the spaces being joined by any one of brazing, soldering, and diffusion bonding over the entire surface of the opposite surface. Or by one of brazing, soldering, and diffusion bonding over the entire surface of the opposing face in a state of plastic deformation of one or both of the parts in contact with each other by pressurizing under a predetermined gas atmosphere. Is achieved. In particular, the heater may be formed by accommodating a heating element in a metal pipe and at the same time having an insulator filled therein, and a passage defined in one or both of the bases is smaller than that of the heater, and between and between the bases. One or both of the parts in contact with each other due to the pressurization between the heater and the respective bases may be joined in a plastically deformed state.

본 발명의 상기 및 그 밖의 목적, 특징, 국면 및 이익 등은 첨부 도면을 참조로 하여 설명하는 이하의 상세한 실시예로부터 더욱 명백해질 것이다.
The above and other objects, features, aspects, advantages, and the like of the present invention will become more apparent from the following detailed embodiments described with reference to the accompanying drawings.

이하에, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명이 적용된 접합형 히터 유닛(1)의 개략 구조를 나타낸다. 이 구조에서는 금속 베이스가 상하로 2분할되어 있고, 알루미늄, 알루미늄 합금, 구리, 구리 합금, 스테인리스강, 니켈기 합금, 티타늄 및 티타늄 합금 중 어느 하나로 이루어지는 하측 베이스(2)에 형성된 홈(2a)에 후술하는 시스 히터(4)를 설치하고, 하측 베이스(2)와 동종 또는 이종 재료로 이루어지는 상측 베이스(3) 사이 및 시스 히터(4)와 각 베이스(2, 3) 사이가 그 전면에 걸쳐(굵은 선으로 나타내는 접합부(8)) 브레이징, 납땜 또는 확장 접합에 의해 접합되어 일체화되어 있다.1 shows a schematic structure of a bonded heater unit 1 to which the present invention is applied. In this structure, the metal base is divided into two parts in the vertical direction, and the grooves 2a formed in the lower base 2 made of any one of aluminum, aluminum alloy, copper, copper alloy, stainless steel, nickel-based alloy, titanium, and titanium alloy are formed. The sheath heater 4 mentioned later is provided, and between the lower base 2 and the upper base 3 which consists of a homogeneous or different material, and between the sheath heater 4 and each base 2 and 3 over the whole surface ( Joining part 8 shown by a thick line is joined by brazing, soldering, or expansion joining, and is integrated.

도 2는 하측 베이스(2)와 상측 베이스 사이에 개재되는 시스 히터(4)의 확대 개략 단면도를 나타낸다. 발열체로 되는 니크롬선(5)을 알루미늄, 알루미늄 합금, 구리, 구리 합금, 스테인리스강, 인코넬, 티타늄 및 티타늄 합금에서 선택되는 재료로 이루어지는 보호 파이프(6) 내에 통과시켜, 니크롬선(5)과 보호 파이프(6) 사이에, 양자 사이를 전기적으로 절연하기 위해 마그네시아 분말(7)이 충전되어 있다. 또한, 시스 히터(4)의 보호 파이프(6)를 각 베이스(2, 3)와 동종재를 조합한다라고 하면, 가열ㆍ냉각시에 있어서의 양자의 열팽창 차에 의한 왜곡이 없다.2 shows an enlarged schematic sectional view of the sheath heater 4 interposed between the lower base 2 and the upper base. The nichrome wire 5 serving as a heating element is passed through a protective pipe 6 made of a material selected from aluminum, aluminum alloy, copper, copper alloy, stainless steel, inconel, titanium, and titanium alloy to protect the nichrome wire 5 and the nichrome wire 5. Between the pipes 6, magnesia powder 7 is filled in order to electrically insulate between them. If the protective pipe 6 of the sheath heater 4 is combined with the bases 2 and 3 and the same material, there is no distortion due to the difference in thermal expansion between both during heating and cooling.

다음에, 접합형 히터 유닛(1)의 제조 순서에 대하여 설명한다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 하측 베이스(2)에 미리 형성되어 있는 대략 반원 형상의 홈(2a)은 시스 히터(4)를 압입하더라도 그 상단이 하측 베이스(2)의 상측 베이스(3)의 접합면에서 약간 돌출하는 정도의 크기로 되어 있고, 또한, 접합 이전에는 상측 베이스(3)에는 홈이 형성되어 있지 않다.Next, the manufacturing procedure of the junction type heater unit 1 is demonstrated. As shown in FIG. 3, even if the semi-circular groove 2a previously formed in the lower base 2 presses the sheath heater 4 in the upper end of the upper base 3 of the lower base 2, even if it presses in, It is about the size which protrudes slightly from the joining surface, and the groove | channel is not formed in the upper base 3 before joining.

우선, 브레이징, 납땜의 경우는 홈(2a)에 시스 히터(4)를 압입하기 전에, 땜납을 도포하고, 하측 베이스(2)의 홈(2a)에 시스 히터(4)를 압입하여, 진공 상태 또는 예컨대 질소 등의 분위기 하에서 상측 베이스(3)를 화살표로 나타내는 바와 같이 연장하여 가압해서, 상측 베이스(3)를 소성 변형시키면서 확산 접합시킨다(도 2). 이에 따라, 하측 베이스(2), 상측 베이스(3) 및 시스 히터(4)가 그 전면에서 서로 밀착하기 때문에, 양 베이스(2, 3) 사이가 단지 물리적으로 밀착하는 볼트 체결형, 외주부만이 용접되는 용접형에 비교하여 열전달 손실(loss)이 발생하기 어렵다. 따라서, 적은 히터 용량으로 고온까지 가열하는 것이 가능해진다. 또한, 히터의 전력 밀도를 저하시키는 수 있어, 히터의 국부적인 이상 발열을 피할 수 있고, 이것에 의한 단선을 방지할 수 있다.First, in the case of brazing and soldering, solder is applied before pressing the sheath heater 4 into the groove 2a, and the sheath heater 4 is pressed into the groove 2a of the lower base 2, and the vacuum state is applied. Alternatively, the upper base 3 is extended and pressurized in an atmosphere such as nitrogen, as indicated by an arrow, and the upper base 3 is diffusion bonded while plastically deforming (FIG. 2). Accordingly, since the lower base 2, the upper base 3, and the sheath heater 4 are in close contact with each other at the front thereof, only the bolt fastening type and the outer circumferential portion where the two bases 2 and 3 are in close physical contact with each other. Heat transfer losses are less likely to occur compared to welded welds. Therefore, it becomes possible to heat to high temperature with little heater capacity. Moreover, the power density of a heater can be reduced, local abnormal heat generation of a heater can be avoided, and disconnection by this can be prevented.

또한, 실제로는 시스 히터의 형상을, 예컨대 도 4에 나타내는 바와 같은 대략 삼각형 단면의 것으로 하는 등, 임의로 변경해도 무방하다. 또한, 히터의 압입과 접합의 가압을 동시에 행하여도 무방하다. 덧붙여 베이스의 형상도 원형, 사각 형 등으로 해도 무방하다. In addition, you may change arbitrarily, for example, making the shape of a sheath heater into a substantially triangular cross section as shown in FIG. In addition, pressurization of a heater and pressurization of a junction may be performed simultaneously. In addition, the shape of the base may be circular, square, or the like.

이상의 설명에 의해 명백하듯이, 본 발명에 의한 히터 유닛 및 그 제조 방법에 따르면, 금속으로 이루어지는 하측 베이스와 상측 베이스 사이에 획정한 통로에 선형상의 히터를 내장하는 히터 유닛의 하측 베이스와 상측 베이스와 히터를, 각 베이스의 한쪽 또는 양쪽을 소성 변형시킨 상태로 그 전면에 걸쳐 브레이징, 납땜 및 확산 접합 중 어느 것에 의해 접합하여 일체화함으로써, 양 베이스사이의 열전도성이 좋게 되어, 국부적인 승온에 의한 국부 변형 및 잔류 응력이 발생하지 않아, 변형, 히터의 손상도 방지할 수 있다. 또한, 금속 베이스의 재료의 선택 자유도가 높아져, 예컨대 스테인레스동, 티타늄계 재료를 이용하면 고온 영역에서의 사 용도 가능해진다.As apparent from the above description, according to the heater unit and the manufacturing method thereof according to the present invention, the lower base and the upper base of the heater unit in which a linear heater is embedded in a path defined between the lower base and the upper base made of metal; By joining and integrating the heater by any one of brazing, soldering, and diffusion bonding over its entire surface in the state of plastic deformation of one or both of the bases, the thermal conductivity between both bases is improved, and localized by local temperature rise. Since deformation and residual stress do not occur, deformation and damage to the heater can also be prevented. In addition, the degree of freedom of selection of the material of the metal base is increased, and for example, use of stainless copper or titanium-based materials enables use in a high temperature region.

이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것이 아니고, 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.As mentioned above, although the invention made by this inventor was demonstrated concretely according to the said Example, this invention is not limited to the said Example and can be variously changed in the range which does not deviate from the summary.

Claims (12)

평탄한 상면을 갖는 금속으로 이루어지는 하측 베이스와,A lower base made of a metal having a flat upper surface, 평탄한 하면을 갖고 동일하게 금속으로 이루어지는 상측 베이스와,An upper base having a flat lower surface and made of the same metal, 상기 양 베이스 사이에 획정된 홈 내에 배치된 전열 히터 요소An electrothermal heater element disposed in a groove defined between the bases 를 갖고, Has, 상기 하측 베이스, 상기 상측 베이스 및 상기 히터 요소의 대향면이, 금속 접합에 의해, 대략 전면에 걸쳐서 접합되어 있으며,Opposite surfaces of the lower base, the upper base, and the heater element are joined to each other almost over the entire surface by metal bonding. 상기 하측 베이스의 상기 상면 및 상기 상측 베이스의 상기 하면 중 적어도 한쪽이 소성 변형(plastic deformation)하여, 상기 전열 히터 요소의 외형 윤곽에 적응해 있는 것At least one of the upper surface of the lower base and the lower surface of the upper base is plastically deformed and adapted to the contour of the electrothermal heater element. 을 특징으로 하는 히터 유닛.Heater unit characterized in that. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 금속 접합은 브레이징(brazing), 납땜 및 확산 접합으로 구성되는 그룹 중에서 선택된 부재로 이루어지는 히터 유닛.And the metal joint comprises a member selected from the group consisting of brazing, soldering and diffusion bonding. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전열 히터 요소는 금속제 시스(sheath) 파이프, 상기 시스 파이프 내에 수용된 저항 히터 와이어 및 상기 시스 파이프 내에 충전되어 상기 저항 히터 와이어를 상기 시스 파이프로부터 전기적으로 절연시키는 절연 재료를 구비하는 시스 히터를 포함하는 히터 유닛.The electrothermal heater element comprises a sheath heater having a metallic sheath pipe, a resistance heater wire contained within the sheath pipe and an insulating material filled in the sheath pipe to electrically insulate the resistance heater wire from the sheath pipe. Heater unit. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 금속제 시스 파이프는 알루미늄, 알루미늄 합금, 구리, 구리 합금, 스테인레스강, 인코넬, 티타늄 및 티타늄 합금으로 구성되는 그룹 중에서 선택된 재료로 이루어지는 히터 유닛.The metal sheath pipe is a heater unit comprising a material selected from the group consisting of aluminum, aluminum alloy, copper, copper alloy, stainless steel, inconel, titanium and titanium alloy. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 상측 베이스 및 하측 베이스는 각각 알루미늄, 알루미늄 합금, 구리, 구리 합금, 스테인리스강, 니켈기 합금, 티타늄 및 티타늄 합금으로 구성되는 그룹 중에서 선택된 재료로 이루어지는 히터 유닛.And the upper base and the lower base are each made of a material selected from the group consisting of aluminum, aluminum alloy, copper, copper alloy, stainless steel, nickel-based alloy, titanium and titanium alloy. 히터 유닛의 제조 방법으로서,As a manufacturing method of a heater unit, 평탄한 상면을 갖는 금속의 하측 베이스를 준비하는 단계와,Preparing a lower base of a metal having a flat upper surface, 평탄한 하면을 갖는 금속의 상측 베이스를 준비하는 단계와,Preparing an upper base of a metal having a flat lower surface, 상기 하측 및 상측 베이스의 상기 상면과 하면 사이에 전열 히터 요소가 위치하도록 상기 하측 베이스 위에 상기 상측 베이스를 배치하는 단계를 구비하며, Disposing the upper base on the lower base such that an electrothermal heater element is positioned between the upper and lower surfaces of the lower and upper bases; 상기 하측 베이스의 상기 상면 및 상기 상측 베이스의 상기 하면 중 적어도 하나가 소성 변형하여 상기 히터 요소의 외형 윤곽에 적응되도록 하고, 상기 하측 및 상측 베이스의 대향면과 상기 전열 히터 요소가 금속 접합에 의해 실질적으로 전면에 걸쳐 서로 접합되도록 한 것을 특징으로 하는At least one of the upper surface of the lower base and the lower surface of the upper base is plastically deformed to adapt to the contour of the heater element, and the opposing surfaces of the lower and upper bases and the electrothermal heater element are substantially bonded by metal bonding. Characterized in that bonded to each other over the entire surface 히터 유닛의 제조 방법.Method of manufacturing the heater unit. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 금속 접합이 브레이징, 납땜 및 확산 접합으로 구성된 그룹 중에서 선택된 부재로 이루어지는 히터 유닛의 제조 방법.And the metal joint is made of a member selected from the group consisting of brazing, soldering and diffusion bonding. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 전열 히터 요소는 금속제 시스 파이프, 상기 시스 파이프 내에 수용된 저항 히터 와이어 및 상기 시스 파이프 내에 충전되어 상기 저항 히터 와이어를 상기 시스 파이프로부터 전기적으로 절연시키는 절연 재료를 구비하는 시스 히터를 포함하는 히터 유닛의 제조 방법.The electrothermal heater element includes a sheath heater comprising a sheath heater made of a metal sheath pipe, a resistance heater wire contained within the sheath pipe and an insulating material filled in the sheath pipe to electrically insulate the resistance heater wire from the sheath pipe. Manufacturing method. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 금속제 시스 파이프는 알루미늄, 알루미늄 합금, 구리, 구리 합금, 스테인레스강, 인코넬, 티타늄 및 티타늄 합금으로 구성된 그룹 중에서 선택된 재료로 이루어지는 히터 유닛의 제조 방법.And said metal sheath pipe is made of a material selected from the group consisting of aluminum, aluminum alloy, copper, copper alloy, stainless steel, inconel, titanium and titanium alloy. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 상측 베이스 및 하측 베이스는 각각 알루미늄, 알루미늄 합금, 구리, 구리 합금, 스테인레스강, 니켈기 합금, 티타늄 및 티타늄 합금으로 구성된 그룹 중에서 선택된 재료로 이루어지는 히터 유닛의 제조 방법.And the upper base and the lower base are each made of a material selected from the group consisting of aluminum, aluminum alloy, copper, copper alloy, stainless steel, nickel-based alloy, titanium and titanium alloy. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 하측 베이스의 상기 상면 및 상기 상측 베이스의 상기 하면 중 적어도 하나에는 상기 소성 변형 이전에 상기 전열 히터 요소를 실질적으로 밀접하게 수용하기 위한 홈이 마련되어 있는 히터 유닛의 제조 방법.At least one of the upper surface of the lower base and the lower surface of the upper base is provided with a groove for receiving the heat transfer heater element substantially closely before the plastic deformation. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 하측 베이스의 상기 상면 및 상기 상측 베이스의 상기 하면 중 단 하나에만 상기 소성 변형 이전에 상기 전열 히터 요소의 횡단면의 일부만을 실질적으로 밀접하게 수용하고 상기 전열 히터 요소의 나머지 횡단면 부분을 노출시키도록 한 홈이 마련되고, 다른 면은 소성 변형에 의해 상기 전열 히터 요소의 나머지 횡단면 부분에 적응하도록 함으로써 상기 하측 베이스 및 상기 상측 베이스의 상기 대향면 사이에 밀접한 접촉을 달성하는 히터 유닛의 제조 방법.At least one of the upper surface of the lower base and the lower surface of the upper base is adapted to receive only a portion of the cross section of the heat transfer heater element closely prior to the plastic deformation and to expose the remaining cross section portion of the heat transfer heater element. And a groove is provided, and the other side is adapted to the remaining cross-sectional portion of the electrothermal heater element by plastic deformation, thereby achieving intimate contact between the lower base and the opposing surface of the upper base.
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