KR100701726B1 - 초음파 또는 음파 진동을 이용하여 광섬유의 편광모드분산을 개선하는 광섬유 제조장치 - Google Patents

초음파 또는 음파 진동을 이용하여 광섬유의 편광모드분산을 개선하는 광섬유 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 광섬유의 제조에 관한 것으로서, 특히, 광섬유의 편광모드분산(PMD; Polarization Mode Dispersion)을 줄이기 위한 장치에 관한 것이다. 본 발명은 인선되는 광섬유에, 광섬유 모재 또는 가이드 롤러를 통해, 초음파 또는 음파의 진동을 부여하여 광섬유의 내부 조직에 불규칙적인 변화를 발생시킴으로써, 광섬유를 직접 꼬지 않고도 광섬유에 스핀을 인가하는 것과 마찬가지의 효과를 얻어 광섬유의 PMD를 저감한다.
광섬유, 편광모드분산, PMD, 복굴절, 진동, 초음파, 음파, 진동자 집합체

Description

초음파 또는 음파 진동을 이용하여 광섬유의 편광모드분산을 개선하는 광섬유 제조장치{Optical Fiber Manufacturing Apparatus for Decreasing PMD of an Optical Fiber Using Ultrasonic or Sonic Vibration}
본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 광섬유 제조장치(인선장치)의 구성을 도시한 개략도이다.
도 2은 도 1에 도시된 장치에 의해 광섬유 모재 및 광섬유에 진동이 전파되는 모양을 모식적으로 도시한 도면이다.
도 3은 도 1에 도시된 실시예에 다른 예의 초음파 또는 음파 진동자를 적용한 구성을 도시한 일부 사시도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광섬유 제조장치(인선장치)의 구성을 도시한 개략도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
10: 광섬유 모재 11: 모재 핸들부
12: 나(裸)광섬유 13: 피복 광섬유
20: 인선로 25: 외경 측정기
30: 냉각 장치 35: 코팅 장치
40: 경화 장치 45: 가이드 롤러
50: 드라이버(캡스턴) 55: 권취 보빈(권취 장치)
60: 진공 어댑터 100, 110: 진동자
120: 진동자 냉각수단 150: 제어 수단
본 발명은 광섬유의 제조에 관한 것으로서, 특히, 광섬유의 편광모드분산(PMD; Polarization Mode Dispersion)을 줄이기 위한 장치에 관한 것이다.
이론적으로 원형 대칭구조인 단일모드 광섬유는 2개의 독립적이고, 서로 상쇄되는 직교 편광모드를 갖는다. 일반적으로 광섬유를 통해 전파해 나가는 빛의 전기장은 이러한 2개의 편광 고유모드의 선형적인 중첩으로 볼 수 있다. 실제 단일모드 광섬유는 대칭적 횡방향 응력 또는 원형 코어의 편심 등의 불완전 요소에 의해 이 두 편광 모드의 상쇄가 발생된다. 이 두 모드는 서로 다른 위상 속도를 가지고 전파되며, 이로 인해 두 편광 모드는 상이한 전파상수(β1 및 β2)로 전파된다. 이 러한 전파상수들의 차이를 복굴절(△β)이라 하고, 복굴절의 증가는 두 편광 모드의 속도 차이의 증가를 의미한다. 두 편광 모드 사이의 차동 시간지연을 편광모드분산(이하에서, "PMD"로 약칭함)이라고 하는데, 이의 존재는 고속 전송이나 아날로그 데이터의 전송을 어렵게 하는 요인이 된다.
이에 대해서 PMD를 저감시키는 몇 가지 방법이 제안되어 있다.
첫째는, WO83/00232호 공보, 일본 특개평8-59278호 공보, 일본 특개평7-69665호 공보, 미국특허 제5,943,466호, 미국특허 제6,240,748호, 미국특허 제5,298,047호 및 미국특허 제6,076,376호 등에 개시된 방법으로서, 광섬유 모재로부터 광섬유를 인선할 때 광섬유를 소정 피치로 꼬이게 하여 편광 모드 사이의 상대적인 지연으로 인해 점진적인 보상이 이루어지게 함으로써 PMD를 저감시키는 방법이다. 그러나, 이 방법은 인선되는 광섬유 또는 광섬유 표면에 코팅된 코팅재와 함께 광섬유를 비틀기 때문에 완성된 광섬유에 탄성 비틀림 응력이 존재하게 되고, 이는 광섬유의 또 다른 중요한 특성인 광손실 특성을 나쁘게 한다. 특히, 한 방향으로 연속적인 스핀을 부여하는 경우에는 비틀림을 해소하기 위하여 별도의 리스풀링(re-spooling) 장치를 필요로 한다. 또한, 광섬유에 스핀을 인가하기 위해서 물리적 접촉을 이용하기 때문에 광섬유의 피복 특성을 약화시켜 광섬유의 단선을 유발할 가능성이 높고, 광섬유 표면에 기계적 결함을 일으켜 광섬유의 강도를 약화시킨다. 나아가, 점차 고속화되는 인선속도에 대응하기 위해서는 모재 또는 광섬유의 회전속도를 비약적으로 증가시켜야 하기 때문에 상업적으로도 비실용적이다.
둘째는, 공개특허 제2002-63409호에 개시된 방법으로서, 인선을 위한 용융로 의 내부에 광섬유의 원주방향으로 가스유로를 마련하고 순차적, 주기적으로 가스를 분출시켜 광섬유에 미세한 변형을 주기적으로 유발시킴으로써 PMD를 제어하는 방법이다. 그러나, 이론적으로 광섬유의 PMD가 가장 좋은 조건은 모재가 이상적으로 제조되었을 때 즉, 코어 및 클래드층이 완벽하게 원형을 이루고 특히 모재가 정확히 중심을 잡은 상태에서 인선될 때인데, 이 방법은 오히려 광섬유를 흔들어줌으로써 이러한 조건을 나쁘게 만드는 것이 되므로, 실제 PMD가 개선될지는 매우 의심스럽다.
셋째는, 미국특허 제5,992,181호에 개시된 방법으로, 특정 파장대 특히 단파장대의 레이저광을 주기적 또는 비주기적으로 광섬유 모재에 조사하여 광섬유 모재의 특성을 변화시켜 PMD를 조절하는 방법이다. 그러나, 이 방법의 단점은 광섬유의 모재 특성을 변화시킬 정도로 레이저광을 조사하기 위해서는 수백 와트 이상의 고출력 레이저를 사용하여야 하는데, 이러한 고출력 레이저는 고가이며 장치의 크기가 지나치게 커서 실제 광섬유 인선장치에 장착하기 어렵다. 더욱이 PMD의 조절을 위해서는 이러한 레이저광을 광섬유 주위로 회전시키는 것이 유리한데, 이러한 장치는 그 구현이 현실적으로 매우 곤란하고 PMD 개선효과는 스핀을 인가하는 방법에 비해 미미하다.
넷째는, 특허 제417000호에 개시된 방법으로서, 인선되는 광섬유의 일측에 고정된 보조 열원을 사용하여 국부적, 주기적으로 열처리를 가함으로써 광섬유에 잔류하는 잔여 응력을 제거함으로써 PMD를 저감하는 방법이다. 그러나, 이 방법은 반응속도가 느려 인선속도의 고속화에 대응하지 못하며, PMD 저감에 유리한 광섬유 의 원주방향에서의 스핀을 인가하는 것과 같은 효과를 부여하지 못한다는 단점이 있다.
이와 같이, 종래 PMD 저감을 위해 여러 가지 방법이 제안되었지만, 여전히 효과적이고 실용적이며 광섬유의 고속, 대량 생산에 적합한 PMD 저감방법이 요구된다.
본 발명은 효과적이고 실용적으로 PMD를 저감할 수 있는 방법과 이를 이용한 광섬유 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명자들은 인선 중의 광섬유에 초음파 또는 음파의 진동을 부여함으로써 광섬유의 내부 조직에 불규칙한 변화를 발생시켜 PMD를 저감할 수 있다는 사실을 알아내고 본 발명을 완성하기에 이르렀다. 즉, 본 발명의 일태양에 따른 광섬유의 PMD 개선방법은, 인선로에 의해 용융되어 인선되는 과정 중의 광섬유의 축방향으로 초음파 또는 음파의 진동을 부여하여 상기 광섬유의 내부 조직에 불규칙적인 변화를 발생시킴으로써, 완성된 광섬유의 PMD를 개선한다.
또한, 본 발명의 다른 태양에 따른 광섬유 제조장치는, 광섬유 모재를 인선해서 광섬유를 형성하는 수단; 상기 광섬유를 냉각하는 수단; 상기 냉각된 광섬유 주위에 적어도 하나 이상의 피복층을 코팅하기 위한 수단; 상기 피복층이 코팅된 광섬유를 권취 보빈에 안내하는 가이드 롤러; 상기 가이드 롤러를 통과한 광섬유를 상기 권취 보빈에 감기 위한 권취 수단; 및 상기 인선 중인 광섬유의 축방향으로 초음파 또는 음파의 진동을 부여하는 진동 수단을 포함한다.
여기서, 인선 중의 광섬유에 초음파 또는 음파의 진동을 부여하는 것은, 인선될 광섬유 모재의 일단부에 초음파 또는 음파 진동자를 통해 초음파 또는 음파의 진동을 부여함으로써 이루어지거나, 인선된 광섬유를 권취 장치로 안내하는 가이드 롤러에 초음파 또는 음파 진동자를 통해 초음파 또는 음파의 진동을 부여함으로써 이루어진다.
이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광섬유 제조장치의 개략적인 구성을 도시하고 있다.
도 1을 참조하면, 본 실시예의 광섬유 제조장치(인선장치)는, 통상의 인선장치와 마찬가지로, 인선로(furnace)(20), 외경 측정기(25), 냉각 장치(30), 코팅 장치(35), 경화 장치(40), 가이드 롤러(45), 드라이버(캡스턴)(50), 및 권취 장치(권 취 보빈)(55)를 포함하고, PMD 저감수단으로서, 광섬유 모재(10)의 상단에 광섬유 모재를 취급하기 위해 형성된 모재 핸들부(11)의 상부에 진공 어댑터(60)를 개재하여 장착된 초음파 또는 음파 진동자(이하, 간단히 진동자라 한다)(100), 진동자의 작동모드를 제어하는 제어 수단(150), 사용자 인터페이스(150) 및 표시장치(152)를 더 포함한다.
도 1에 도시된 장치에서, 광섬유 모재(10)는 인선로(20)에서 고온으로 가열되어, 연화된 모재의 넥다운(neck-down) 지점으로부터 나(裸)광섬유(12)로 인선된다. 인선된 나광섬유(12)는 외경 측정기(25)를 거쳐, 냉각장치(30)에서 냉각되면서 고정된다. 이어서, 냉각된 나광섬유는 코팅장치(35)에서 자외선 경화수지로 적어도 한 번 이상 피복되고, 코팅장치에서 코팅된 피복 광섬유는 경화장치(40)에서 경화된 후, 가이드 롤러(45)와 캡스턴(50)을 거쳐 귄취 보빈(55)으로 이송되어 귄취된다.
이상의 광섬유 제조장치는 광섬유 모재(10)의 상단에 제공되는 진동자(100) 및 제어수단(150) 등을 제외하고는 일반적인 타워형 광섬유 인선 장치와 그 구성이 실질적으로 동일하므로, 이하에서는 진동자(100)를 중심으로 그 구체적인 구성과 동작을 설명함으로써 본 발명을 상세히 설명하고, 나머지 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
본 실시예의 진동자(100)로서는 널리 알려진 초음파 진동자 또는 음파 진동자를 사용할 수 있다. 진동자의 진동수는 수백Hz에서 수kHz에 걸치는 다양한 주파수를 사용할 수 있고, 그 파워도 100W에서 수kW까지 다양한 영역의 파워를 채택할 수 있다. 바람직하게는, 초음파의 경우 5kHz~30kHz의 주파수의 것을 사용하고, 음파의 경우 300Hz~600Hz의 주파수의 것을 사용한다. 또한, 파워는 300W~1200W의 것을 사용하는 것이 본 발명의 방법에 따라 광섬유의 PMD를 저감하는 데에 유용하다.
도 2는 도 1에 도시된 장치의 상단부 구성과 그에 따라 진동자(100)에 의한 진동이 광섬유(12)에 전달되는 과정을 모식적으로 도시한 사시도이다. 도 2를 참조하여 본 실시예의 구성과 본 발명의 원리를 상세히 설명하면 다음과 같다.
진동자(100)는 광섬유 모재(10)의 상단에 형성된 모재 핸들부(11)의 상단에 진공 어댑터(60)를 개재하여 장착된다. 여기서, 진공 어댑터(60)는 모재 핸들부(11)의 내부를 적정한 진공도로 유지하여 광섬유 모재(10)가 인선로(20) 내부에서 용융 연화되어 광섬유(12)로 인선될 때 아래쪽으로 빨려내려가는 속도를 조절하는 역할을 한다.
이렇게 광섬유 모재(10)의 상단에 장착된 진동자(100)가 소정의 주파수에 따른 진동을 발생시키면, 이 진동은 나선형의 종파(200) 형태로 광섬유 모재(10) 내부를 축방향으로 전파하여 인선되는 나광섬유(12)에 전달된다. 그러면, 아직 용융상태인 나광섬유(12)의 내부 매질에 불규칙적인 변화를 발생시키고, 이러한 내부 조직의 변화는 차례로 냉각, 피복, 경화되는 광섬유에 그대로 남게 된다. 이렇게 형성된 광섬유의 내부 조직 변화는 결과적으로, 완성된 광섬유의 PMD를 효과적으로 저감시킨다.
본 발명에서는 이렇게 진동이라는 물리적인 수단을 이용하여 광섬유의 내부 조직에 변화를 주지만, 광섬유 자체를 직접 꼬지 않기 때문에 외부에 비틀림 응력 이 잔류하지 않는다. 또한, 광섬유의 축방향을 통하여 종파 형태의 진동을 부여하기 때문에, 광섬유의 측방향에서 물리적 충격을 주는 경우와 달리, 광섬유 모재와 인선되는 광섬유의 중심을 흐트러뜨리는 등의 부작용이 없다.
한편, 진동자(100)의 작동 모드는 다양하게 할 수 있다. 즉, 진동자를 연속적으로 작동시키면 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이, 광섬유(12) 내부 조직의 불규칙적인 변화가 연속적으로 발생하고(210 참조), 또 진동자를 단속적으로 작동시키면 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이, 광섬유(12) 내부 조직의 불규칙적인 변화가 불연속적으로 발생한다(220 참조). 또한, 진동자(100)는 주파수가 고정된 것을 사용할 수도 있지만, 주기적 또는 비주기적으로 주파수를 변경시킬 수도 있다.
이러한 진동자(100)의 다양한 작동 모드는 제어 수단(150)을 통해 용이하게 제어될 수 있다. 즉, 제어 수단(150)은 진동자(100)에 온/오프 신호, 주파수 제어신호를 인가함으로써 진동자의 작동 모드를 제어하고, 사용자는 사용자 인터페이스(151)를 이용하여 원하는 작동 모드를 선택 또는 설정할 수 있으며, 표시장치(152)는 사용자의 입력 사항 및 진동자(100)의 현재 작동 모드 등을 표시한다. 한편, 진동자(100)가 단순한 구조로 되어 있고 다양한 작동 모드를 필요로 하지 않는 경우에는, 상술한 제어 수단(150), 사용자 인터페이스(151) 및/또는 표시장치(152)가 생략될 수도 있다.
또한, 진동자(100)는 한 개를 사용하여도 되지만 여러 개를 사용할 수도 있다. 즉, 도 3에 복수 개의 진동자를 집합시켜 사용한 예가 도시되어 있다. 도 3을참조하면, 진동자 집합체(110)는, 복수 개의 진동자를 링 형상으로 집합시켜 모재 핸들부(11)의 외주에 장착하여 사용한다. 이때 진동자 집합체(110)를 이루는 각각의 진동자는 진동 주파수가 동일한 것을 사용할 수도 있고 각각 다른 것을 사용할 수도 있다. 또한, 각각의 진동자는 각각의 전극(112)을 통해 진동의 주기와 순서를 제어할 수 있다. 따라서, 도 3에 도시된 바와 같이 링 형상의 진동자 집합체(110)를 이루는 각 진동자를 반시계방향으로 순차적으로 작동시킬 수도 있고, 주기적 또는 비주기적으로 작동방향을 변경시킬 수도 있으며, 나아가 비순차적으로 작동시킬 수도 있다. 아울러, 도 3에 도시된 진동자 집합체에서도, 도 2의 진동자(100)와 마찬가지로, 작동모드를 연속적/단속적, 주파수 고정/변경 등 다양하게 제어할 수 있다.
한편, 도 3에는 도시하지 않았지만, 도 3의 진동자 집합체(110)에도 도 1과 마찬가지의 제어 수단(150), 사용자 인터페이스(151) 및 표시장치(152)가 제공된다.
도 3에서 참조부호 120으로 표시된 부재는, 특히 초음파 진동자를 사용하는 경우에 유용한 진동자 냉각수단이다. 이 진동자 냉각수단(120)은 공랭식 또는 수냉식의 냉각수단을 적절히 사용하면 된다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광섬유 제조장치(인선장치)의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4를 참조하여, 본 실시예에 따른 광섬유 제조장치에 대하여 전술한 실시예와 다른 점을 중심으로 설명하면 다음과 같다.
전술한 실시예에서는 진동자(100 또는 110)가 광섬유 모재(10)의 상단에 장 착되었지만, 본 실시예에서는 진동자(100)가 인선장치의 하단 가이드 롤러(45)에 장착된다. 구체적으로, 본 실시예의 진동자(100)는 가이드 롤러(45)의 좌대(47)에 장착되어 초음파 또는 음파의 진동을 가이드 롤러에 인가한다. 가이드 롤러(45)에 인가된 진동은 가이드 롤러(45)에 의해 가이드되는 피복 광섬유(13)를 따라 인선되어 아직 냉각되지 않은 나광섬유(12)에까지 전달된다.
따라서, 본 실시예에서도 전술한 실시예와 마찬가지로, 나광섬유(12)의 내부 매질에 불규칙적인 변화를 발생시키고, 이러한 내부 조직의 변화는 차례로 냉각, 피복, 경화되는 광섬유에 그대로 남아 결과적으로 완성된 광섬유의 PMD를 효과적으로 저감시킨다. 특히, 본 실시예에 따르면, 전술한 실시예에서는 인선 공정에 투입되는 광섬유 모재 마다 진동자(100)를 탈착하는 번거로움이 없이 한 번 장착해 놓으면 지속적으로 이용할 수 있다.
한편, 본 실시예에도 도 3을 참조하여 설명한 바와 같은 진동자 집합체(110)나 냉각수단(120)을 적용할 수 있고, 도 1에 도시된 바와 같은 제어 수단(150), 사용자 인터페이스(151) 및 표시장치(152)가 제공될 수 있다. 또한, 전술한 실시예와 마찬가지로 다양한 작동 모드로 진동자(100) 또는 진동자 집합체(110)를 작동시킬 수 있음은 물론이다.
이상과 같이, 본 발명에 따르면, 비교적 크기가 작고 다양한 제어가 가능한 초음파 또는 음파 진동자를 이용함으로써 광섬유 자체를 직접 꼬지 않고도 광섬유에 스핀을 인가하는 것과 동일한 효과를 간단한 구성으로 얻을 수 있다. 이하에서는, 본 발명의 장치와 방법을 이용하여 제조된 광섬유에 대하여 PMD 값을 측정한 실험예를 기재함으로써, 본 발명의 장치와 방법이 충분히 실용적이고 효과가 있음을 설명한다.
<실험예>
도 1에 도시된 바와 같이, 진동 주파수 약 20kHz, 파워 200W의 초음파 진동자(100)를 광섬유 모재(10) 상단에 장착하고, 선속 25m/s로 인선하여 광섬유를 제조한 후, PMD 값을 측정하였다.
얻어진 광섬유의 PMD 값을 측정한 결과, 본 실험예에 따른 광섬유의 PMD 값은 0.03ps~0.05ps를 나타내었다. 이는 스핀을 가하지 않은 일반 광섬유의 PMD 값인 0.1ps~0.2ps 보다 월등히 낮은 값이며, 2~20spin/m로 주기적인 스핀을 가한 광섬유의 PMD인 0.03ps~0.05ps에 필적하는 것이다.
이상에서 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
본 발명에 따르면, 광섬유를 직접 꼬지 않고서도 스핀을 인가한 것과 마찬가지로 PMD를 효율적으로 저감하는 효과를 얻을 수 있으며, 특히 광섬유 외부에 비틀림 응력을 가하지 않기 때문에, 이를 해소하기 위한 리스풀링 장치 등의 부가적인 장치가 필요없다.
또한, 다양한 작동 모드를 용이하게 선택, 제어할 수 있는 PMD 저감장치를 보다 저렴하고, 간단하게 구현하는 것이 가능해진다.

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  8. 광섬유 모재를 인선해서 광섬유를 형성하는 수단;
    상기 광섬유를 냉각하는 수단;
    상기 냉각된 광섬유 주위에 적어도 하나 이상의 피복층을 코팅하기 위한 수단;
    상기 피복층이 코팅된 광섬유를 권취 보빈에 안내하는 가이드 롤러;
    상기 가이드 롤러를 통과한 광섬유를 상기 권취 보빈에 감기 위한 권취 수단; 및
    상기 인선 중인 광섬유의 축방향으로 초음파 또는 음파의 진동을 부여하는 진동 수단을 포함하되,
    상기 진동 수단은, 복수 개의 초음파 또는 음파 진동자가 링 형상으로 집합되어 장착된 진동자 집합체인 것을 특징으로 하는 광섬유 제조장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 진동자 집합체는 상기 광섬유 모재의 일단에 장착되어 상기 인선 중인 광섬유에 상기 초음파 또는 음파의 진동을 전달하는 초음파 또는 음파 진동자인 것을 특징으로 하는 광섬유 제조장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 진동자 집합체는 상기 가이드 롤러에 장착되어 상기 인선 중인 광섬유에 상기 초음파 또는 음파의 진동을 전달하는 초음파 또는 음파 진동자인 것을 특징으로 하는 광섬유 제조장치.
  11. 삭제
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 진동자 집합체를 이루는 각각의 진동자의 진동 주파수는 각각 다른 것을 특징으로 하는 광섬유 제조장치.
  13. 제 8 항에 있어서,
    상기 진동자 집합체를 이루는 진동자들은 일방향을 따라 순차적으로 또는 비순차적으로 작동되는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조장치.
  14. 제 8 항에 있어서,
    상기 진동자 집합체를 이루는 진동자들은 순차적으로 작동하고, 그 작동방향이 주기적 또는 비주기적으로 변경되는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조장치.
  15. 제 8 항에 있어서,
    상기 진동 수단의 주위에 배치되어 상기 진동 수단을 냉각시키는 냉각수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조장치.
  16. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
    상기 진동자의 진동 주파수가 5~30kHz인 것을 특징으로 하는 광섬유 제조장치.
  17. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
    상기 진동자의 진동 주파수가 300~600Hz인 것을 특징으로 하는 광섬유 제조 장치.
  18. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
    상기 진동자의 진동 주파수는 주기적 또는 비주기적으로 변경되는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조장치.
  19. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
    상기 진동자는 연속적 또는 단속적으로 작동되는 것을 특징으로 하는 광섬유 제조장치.
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