KR100691497B1 - 발광 소자 및 이의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 삭제
- 기판 상에 N형 반도체층, 상기 N형 반도체층의 일부에 형성된 P형 반도체층을 포함하는 발광 셀을 다수개 포함하되,상기 발광 셀들의 N형 반도체층 및 P형 반도체층의 측면이 수평면으로부터 20 내지 80°의 기울기를 갖으며 상기 기판을 노출시켜 상기 다수의 발광 셀들이 서로 분리되며,상기 일 발광 셀의 N형 반도체층과 그에 인접한 다른 일 발광 셀의 P형 반도체층이 연결되는 것을 특징으로 하는 발광 소자.
- 청구항 2에 있어서,상기 일 발광 셀의 N형 반도체층과 그에 인접한 다른 일 발광 셀의 P형 반도체층을 연결하기 위한 배선을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 소자.
- 청구항 2 또는 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,상기 P형 반도체층 상에 투명 전극층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 소자.
- 청구항 2 또는 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,상기 P형 반도체층과 상기 N형 반도체층 상에 Cr 또는 Au를 포함한 P형 오믹금속층과 N형 오믹금속층을 각각 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 소자.
- 기판 상에 N형 반도체층, P형 반도체층을 순차적으로 형성하는 단계;상기 P형 반도체층 상에 측면이 수평면으로부터 수직이 아닌 소정의 기울기를 갖는 식각 마스크 패턴을 형성하는 단계; 및상기 식각 마스크를 제거하면서 상기 식각 마스크 패턴에 의해 노출된 P형 반도체층 및 N형 반도체층을 식각하여 상기 N형 반도체층 및 P형 반도체층의 측면이 수평면으로부터 20 내지 80°의 기울기를 갖으며 상기 기판을 노출시켜 서로 분리된 다수의 발광 셀을 형성하는 단계를 포함하는 발광 소자의 제조 방법.
- 청구항 6에 있어서,상기 식각 마스크 패턴을 형성하는 단계는,3 내지 50㎛ 두께의 감광막을 이용하는 것을 특징으로 하는 발광 소자의 제조 방법.
- 청구항 7에 있어서,상기 식각 마스크 패턴을 형성하는 단계는,상기 P형 반도체층 상에 상기 감광막을 도포하는 단계;소정의 마스크 패턴에 따라 상기 감광막을 노광하는 단계;상기 노광 후 베이킹 공정 없이 현상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 소자의 제조 방법.
- 청구항 7에 있어서,상기 식각 마스크 패턴을 형성하는 단계는,상기 P형 반도체층 상에 상기 감광막을 도포하는 단계;소정의 마스크 패턴에 따라 상기 감광막을 노광하는 단계;100℃ 내지 140℃의 온도에서 하드 베이킹을 하는 단계 및현상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 소자의 제조 방법.
- 청구항 6 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 있어서,상기 P형 반도체층의 제거로 인해 노출된 N형 반도체층의 일부를 제거하여 다수개의 발광 셀을 형성하는 단계; 및브리지 배선을 통해 일 발광 셀의 N형 반도체층과 그에 인접한 다른 일 발광 셀의 P형 반도체층을 연결하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 소자의 제조 방법.
- 청구항 10에 있어서,상기 브리지 배선은 브리지(Bridge) 공정 또는 스탭 커버(Step Cover) 공정을 통해 일 발광 셀의 N형 반도체층과 인접한 다른 일 발광 셀의 P형 반도체층을 연결하는 것을 특징으로 하는 발광 소자의 제조 방법.
- 청구항 6 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 있어서,상기 P형 반도체층과 상기 식각 마스크 패턴을 제거하는 단계 이후에,상기 기판의 배면을 소정 두께 제거하는 단계; 및상기 기판의 배면에 Al, Ti, Ag, W, Ta, Ni, Ru 또는 그 합금중 어느 하나를 증착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 소자의 제조 방법.
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