KR100691496B1 - 세정조 및 이를 구비하는 세정 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 기판을 세정하기 위한 세정조로서,기판이 안착되는 내부 세정조와,상기 내부 세정조 외부를 둘러싸고 있는 외부 세정조와,상기 내부 세정조와 외부 세정조 사이의 공간을 상부 및 하나 이상의 하부 공간으로 분리시키기 위한 격벽과,세정액이 상기 하부 공간을 통하여 상기 내부 세정조 내에 세정액을 분사하도록 상기 내부 세정조의 벽에 형성된 다수의 분사공을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정조.
- 청구항 1에 있어서, 상기 분사공은 내부 세정조의 측벽 및 하부에 형성된 것을 특징으로 하는 세정조.
- 청구항 2에 있어서, 상기 상부 공간은 상기 내부 세정조에서 오버 플로우 된 세정액을 일시 저장하며, 이를 배출하는 배출구가 구비된 것을 특징으로 하는 세정조.
- (삭 제)
- (삭 제)
- 기판을 습식 세정하기 위한 세정 장치에 있어서,기판을 로딩 및 언로딩하기 위한 로딩부 및 언로딩부와,청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항의 따른 세정조를 포함하는 처리실과,상기 로딩부, 처리실 및 언로딩부를 따라 기판을 이송하는 기판 이송부와,상기 세정조에 세정액을 공급하는 세정 공급원을 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 장치.
- (삭 제)
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2005
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