KR100682959B1

KR100682959B1 - 멀티 프로브 저장 장치 및 신호 개선 방법

Info

Publication number: KR100682959B1
Application number: KR1020060004859A
Authority: KR
Inventors: 심종엽; 서용호; 홍승범; 민동기
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2006-01-17
Filing date: 2006-01-17
Publication date: 2007-02-15

Abstract

멀티 프로브 저장 장치 및 신호 개선 방법이 개시되어 있다.

개시된 멀티 프로브 저장 장치는, 기록 매체에 데이터를 기록하고 기록 매체로부터 데이터를 읽는데 사용하는 멀티 프로브 저장 장치에 있어서, 상기 기록 매체 표면의 전기 분극과의 상호 작용에 의해 기록 매체로부터 데이터를 읽는 프로브를 복수 개 가지는 멀티 프로브; 상기 멀티 프로브가 기록 매체 표면을 스캐닝하도록 멀티 프로브를 구동하고, 상기 멀티 프로브의 스캔 방향과 다른 방향으로 상기 프로브를 진동시키는 구동부; 상기 멀티 프로브의 위치 제어를 위한 서보;를 포함하고, 상기 프로브가 진동함에 따라 노이즈 신호가 감소되고 데이터 신호가 첨예화되는 것을 특징으로 한다.

상기와 같이 본 발명에 따른 멀티 프로브 저장 장치는 프로브를 고주파로 진동시키기 위한 진동 구동부를 구비하여 데이터 신호의 특성을 개선한다.

Description

멀티 프로브 저장 장치 및 신호 개선 방법{Multi-probe storage device and method for improving signal}

도 1은 종래의 프로브 저장 장치를 이용하여 기록 매체로부터 데이터를 재생하는 것을 보여준다.

도 2는 종래의 멀티 프로브 저장 장치의 구동 방식을 보여준다.

도 3은 종래의 멀티 프로브 저장 장치를 이용하여 기록 매체에 기록된 데이터를 재생할 때, 출력된 데이터 신호와 노이즈 신호를 나타낸 것이다.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 멀티 프로브 저장 장치의 개략적인 멀티 프로브 저장 장치를 나타낸 것이다.

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 신호 개선 방법에 따라 데이터를 재생하는 과정을 보여준 도면이다.

도 6a는 종래의 스캔 방식에 따라 데이터 비트를 재생할 때와 본 발명에 따라 진동하면서 스캐닝하여 데이터를 비트를 재생할 때, 재생된 데이터 신호를 비교하여 나타낸 것이다.

도 6b는 종래의 스캔 방식에 따라 노이즈 결함을 재생할 때와 본 발명에 따라 진동하면서 스캐닝하여 노이즈 결함을 재생할 때, 재생된 노이즈 신호를 비교하여 나타낸 것이다.

도 7은 종래의 스캔 방식에 따라 노이즈 결함을 재생할 때와 본 발명에 따라 진동하면서 스캐닝하여 노이즈 결함을 재생할 때, 재생된 데이터 신호와 노이즈 신호를 함께 비교하여 나타낸 것이다.

<도면 중 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100...멀티 프로브, 102...프로브

105...데이터 비트, 107...노이즈 결함

120...진동 영역, m...진동 변위

125...서보, 135...구동부

140...기록 매체

본 발명은 멀티 프로브 저장 장치 및 저장 장치의 신호 개선 방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는 멀티 프로브를 진동시키면서 스캐닝하여 노이즈 신호를 감소시키고 데이터 신호를 강화한 멀티 프로브 저장 장치 및 신호 개선 방법에 관한 것이다.

정보 기술의 발전과 더불어 휴대용 정보 기기와 메모리 장치의 사용이 증가하고 있다. 이와 함께 다양한 정보가 증가하고 있는 상황에서 정보에 대한 이용 효율을 극대화하기 위해서는 정보를 체계적으로 분류하고 저장할 필요가 있다. 이러한 필요성에 의해 고밀도 데이터 저장 매체에 대한 관심이 높아지면서 다양한 기록 매체와 각 기록 매체에 적합한 데이터 기록 및 재생 장치들이 소개되고 있다.

고밀도 기록매체의 재료 중 하나로 강자성체나 강유전체가 많이 사용된다. 강자성층과 강유전층은 각각 잔류 자기 분극과 잔류 전기 분극 특성을 가지고 있기 때문에 강자성층이나 강유전층이 사용된 기록매체에 기록된 데이터는 전원이 제거된 후에도 소실되지 않는다.

강유전체를 사용한 정보 저장매체는 강유전체 고유의 특성을 이용한 것이다. 유전체 물질에 전기장을 가하면 그 영향으로 일반적으로 쌍극자모멘트가 생겨서 전기 분극이 일어난다. 하지만, 어떤 특정한 물질은 전기장을 가하지 않아도 자발적으로 전기 분극이 일어나는 것이 있는데, 이와 같은 물질이 강유전체이다. 즉, 강유전체 물질은 특징적으로 자발 분극을 가지고 있으며, 자발 분극이 전기장에 의해 역전되는 현상이 나타나는 물성을 가지고 있다. 가장 대표적인 강유전성 물질로는 PZT가 있다.

강유전체가 사용된 기록매체로부터 데이터를 읽는 과정은 기록 매체 표면의 전하 분포를 읽는 과정으로, 이를 위한 장치로 프로브가 널리 사용되고 있다.

도 1을 참조하면 프로브(10)가 화살표 방향으로 스캔할 때, 강유전체 기록매체(12) 표면의 전하 분포에 따라 프로브(10)에서의 상호 작용에 의해 전하 분포가 변하고, 이 전하 분포의 변화는 전기 저항의 변화로 측정될 수 있다. 도면 부호 42는 기록 매체의 동작을 위한 전위를 인가하기 위한 전극층을 포함한다. 구체적으로, 전기 분극 방향이 프로브 쪽을 향해 있을 저항이 상대적으로 높고, 프로브로부터 멀어지는 방향을 향해 있을 때 저항이 상대적으로 낮다. 이러한 성질을 이용하 여 강유전체 기록매체에 데이터를 기록하고 기록매체로부터 데이터를 재생한다.

도 2는 종래의 멀티 프로브(30)를 나타낸 것으로, 프로브(32)가 격자 형태로 배열되어 있고, 멀티 프로브(30)가 강유전층을 포함하는 기록 매체(40) 상부를 스캔 방향을 따라 이동될 때 각 프로브(32)에 의해 데이터를 기록 및 재생한다. 기록 매체에 형성된 전기 분극에 대응되는 데이터 비트(35)를 앞서 설명한 바와 같은 원리로 프로브를 통해 읽는다. 멀티 프로브는 복수개의 프로브를 이용하여 동시에 데이터를 기록 및 재생하므로 데이터의 기록 및 재생 속도를 증대시킬 수 있는 이점이 있다. 멀티 프로브(30)는 이웃하는 프로브와 프로브 사이의 거리(d) 만큼만 스캐닝하면 기록 매체의 데이터를 모두 읽을 수 있다.

그런데, 기록 매체에는 기록 매체의 표면에 있는 흠이나 다른 결함 등으로 인해 노이즈가 발생된다. 도 3은 기록 매체에 기록된 데이터 비트(50)와 노이즈로 작동하는 노이즈 결함(53) 그리고, 프로브의 스캐닝을 통해 재생된 데이터 신호를 나타낸 것이다. 프로브(32)를 통해 읽을 수 있는 최소 크기의 데이터 비트 어레이 사이즈를 데이터 비트 분해능이라고 하며, 이 해상도에 따른 사이즈를 도면에서 55로 나타내었다. 데이터 비트(50)와 노이즈 결함(53)은 분해능에 대응되는 데이터 비트(55)의 사이즈보다 크다. 프로브(32)가 기록 매체의 표면을 스캐닝할 때 데이터 비트(50)의 데이터 신호(50s)와 노이즈 결함(53)의 노이즈 신호(53s)가 전기적 신호로 출력된다. 이러한 노이즈 신호(53s)는 기록 매체로부터의 데이터 재생에 악영향을 미쳐 데이터 재생 성능을 저하시킨다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로, 노이즈 신호를 감소시키고 데이터 신호를 강화시킨 멀티 프로브 저장 장치 및 신호 개선 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 프로브 저장 장치는, 기록 매체에 데이터를 기록하고 기록 매체로부터 데이터를 읽는데 사용하는 멀티 프로브 저장 장치에 있어서,

상기 기록 매체 표면의 전기 분극과의 상호 작용에 의해 기록 매체로부터 데이터를 읽는 프로브를 복수 개 가지는 멀티 프로브; 상기 멀티 프로브가 기록 매체 표면을 스캐닝하도록 멀티 프로브를 구동하고, 상기 멀티 프로브의 스캔 방향과 다른 방향으로 상기 프로브를 진동시키는 구동부; 상기 멀티 프로브의 위치 제어를 위한 서보;를 포함하고, 상기 프로브가 진동함에 따라 노이즈 신호가 감소되고 데이터 신호가 첨예화되는 것을 특징으로 한다.

상기 구동부는 멀티 프로브를 스캐닝 방향에 대해 직각 방향으로 진동시킨다.

상기 구동부는 압전 소자를 이용한 구동 방식, 정전기 구동 방식, 열 구동 방식 중 어느 하나를 채용하여 상기 프로브를 진동시킨다.

상기 프로브의 진동 변위는 프로브의 데이터 비트 분해능보다 크고, 데이터 비트 사이즈보다 작다.

상기 프로브의 진동 범위는 프로브의 데이터 비트 분해능보다 크고, 노이즈 를 일으키는 결함 사이즈보다 크다.

상기 프로브는 서보의 주파수 대역에 비해 상대적으로 고주파로 진동된다.

상기 프로브는 서보 주파수 대역의 5배 이상의 주파수로 진동된다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 방법은 복수 개의 프로브가 격자형으로 배열된 멀티 프로브를 이용하여 기록 매체 표면의 전기 분극과의 상호 작용에 의해 기록 매체로부터 재생되는 데이터의 신호 개선 방법에 있어서,

상기 기록 매체로부터 데이터를 재생하기 위해 상기 멀티 프로브를 기록 매체 표면을 따라 이동시켜 스캐닝하는 단계; 상기 스캐닝 방향과 다른 방향으로 프로브를 진동시키는 단계;를 포함하고, 상기 프로브가 진동함에 따라 노이즈 신호가 감소되고 데이터 신호가 첨예화되는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 프로브 저장 장치 및 신호 개선 방법에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

본 발명에 따른 멀티 프로브 저장 장치는 도 4를 참조하면 기록 매체(140)에 데이터를 기록하고 기록 매체(140)로부터 데이터를 읽는데 사용된다. 멀티 프로브 저장 장치는 상기 기록 매체(140)로부터 데이터를 읽는 프로브(102)를 복수 개 가지는 멀티 프로브(100)와, 상기 멀티 프로브(100)를 구동시키기 위한 구동부(135)를 포함한다.

상기 기록 매체(140)는 강유전층을 포함하고, 강유전층의 전기 분극에 의해 데이터를 저장한다. 그리고, 상기 멀티 프로브(100)는 복수 개의 프로브(102)가 격자 형태로 배열되어 형성된 것으로, 복수 개의 프로브를 동시에 작동시켜 기록 매 체(140)로부터 고속으로 데이터를 재생할 수 있다. 상기 멀티 프로브(100)가 기록 매체의 표면을 스캐닝함에 따라 상기 프로브(100)가 기록 매체 표면의 전기 분극과의 상호 작용에 의해 전하 분포의 변화를 일으키면 그 전하 분포의 변화를 전기적 신호로 검출함으로써 기록 매체(140)에 기록된 데이터를 재생한다.

상기 구동부(135)는 멀티 프로브(100)를 스캐닝 구동함과 아울러 프로브(102)를 진동시킬 수 있다. 또는, 상기 구동부(135)는 기록 매체(140) 표면을 스캐닝하도록 멀티 프로브를 구동하는 스캔 구동부와, 상기 멀티 프로브(100)의 스캔 방향과 다른 방향으로 상기 프로브(102)를 진동시키는 진동 구동부를 포함하여 구성될 수 있다. 스캔 구동부와 진동 구동부를 각각 구비하는 경우, 스캔 구동부를 이용하여 멀티 프로브(100) 전체를 이동시키고, 진동 구동부를 이용하여 멀티 프로브(100) 전체를 진동시키거나 프로브(102)를 진동시킬 수 있다.

상기 구동부(135)는 멀티 프로브(100)를 기록 매체 표면을 따라 이동시키며, 이웃하는 프로브와 프로브 사이의 간격을 d라고 할 때 멀티 프로브(100)는 d만큼의 거리를 스캐닝함으로써 기록 매체 전체의 데이터를 재생할 수 있다. 본 발명에서는 멀티 프로브를 스캔 구동하는 것뿐만 아니라 스캔 방향과 다른 방향으로 프로브(102)가 고주파로 진동하도록 한다. 프로브를 진동시키는 방법으로는 멀티 프로브 전체를 진동시키는 방법과 프로브(102) 각각을 진동시키는 방법이 있다. 각각의 경우 여러 가지 물리적 구동 방법을 사용할 수 있으나, 예를 들면 압전 소자를 이용한 구동 방식, 정전기 구동 방식(electrostatic actuator), 열구동 방식(thermal actuation) 등이 있을 수 있다.

멀티 프로브의 진동 방향은 스캔 방향과는 다른 방향을 가지며, 스캔 방향과 직각 방향 또는 직각 방향에 가까울수록 좋다. 또한, 멀티 프로브의 진동 주파수는 고주파인 것이 바람직하며, 멀티 프로브의 트랙킹 서보 주파수 대역보다 상대적으로 고주파인 것이 좋다. 한편, 멀티 프로브 저장 장치는 멀티 프로브의 위치 추적을 위한 서보(125)를 구비하며 예를 들어, 진동 주파수는 서보 주파수 대역의 5배 이상일 수 있다. 그럼으로써, 멀티 프로브의 진동이 상기 서보(125)의 작동에 영향을 미치지 않도록 한다.

도 5는 설명의 편의상 하나의 프로브(102)만을 도시하여 스캐닝하면서 데이터를 재생하는 과정을 도식적으로 나타낸 것이다. 프로브(102)가 스캔 방향으로 이동하면서 데이터 비트(105)와 상호 작용한다. 또한, 기록 매체에는 노이즈를 일으키는 결함(107)이 존재하며, 프로브(102)는 상기 노이즈 결함(107)과도 상호 작용하여 노이즈 신호를 유발한다. 프로브(102)가 재생할 수 있는 최소 크기의 데이터 비트 어레이 사이즈를 데이터 비트 분해능이라고 할 때, 도면 부호 110은 분해능에 대응되는 사이즈의 데이터 비트를 나타내는 것으로 한다. 데이터 비트나 노이즈 결함은 이 분해능 사이즈보다 클 때 프로브에 의해 읽혀진다. 프로브의 진동 변위(m)는 데이터 비트(105)의 사이즈보다 작고, 노이즈 결함 사이즈보다 크다.

상기 프로브(102)는 스캔 방향과 다른 방향으로 고주파로 진동하면서 데이터를 재생한다. 도 6a는 종래에 스캐닝에 의해서만 데이터 비트(105)를 재생할 때(스캔 방법이라고 함)와 본 발명에 따라 진동하면서 스캐닝하여 데이터를 비트(105)를 재생할 때(진동 방법이라고 함), 재생된 데이터 신호를 비교하여 나타낸 것이다. 스캔 방법에 따라 재생된 데이터 신호(A)에 비해 진동 방법에 따라 재생된 데이터 신호(B)가 첨예화되어 나타난다.

진동 방법에 따를 때 데이터 비트의 신호가 상대적으로 첨예화되는 원리에 대해 살펴보면 다음과 같다. 프로브(102)가 고주파로 진동하면서 스캐닝할 때 진동 주파수가 스캐닝 속도에 비해 상대적으로 고주파이기 때문에 프로브의 진동 변위(m)에 대응되는 크기를 가지는 프로브가 스캐닝하는 것과 같은 효과를 가진다. 이에 따라 진동 스캐닝 영역(120)이 형성될 수 있다. 프로브가 진동하면서 데이터 비트(105)와 상호 작용할 때, 데이터 비트의 초입 부분(α)에서는 프로브가 데이터 비트 내부에 위치하여 데이터 비트를 검출하거나 프로브가 비트 외부에 위치하여 데이터 비트를 검출하지 않거나 하는 과정을 반복함에 따라 평균적으로 데이터 비트의 신호 검출량이 감소된다. 데이터 비트의 중간 부분(β)에서는 프로브가 진동하여도 데이터 비트의 내부에 위치하게 되므로 데이터 비트를 검출하는데 영향을 미치지 않아 정상적으로 데이터 신호가 검출된다. 다음, 데이터 비트의 말단 부분(γ)에서는 앞서 설명한 데이터 비트의 초입 부분(α)에서와 같은 원리로 데이터 비트의 신호 검출량이 감소된다. 이러한 과정을 통해 데이터 비트의 신호가 첨예화되어 신호 특성이 개선된다.

도 6b는 종래에 스캐닝에 의해서만 노이즈 결함(107)을 재생할 때(스캔 방법이라고 함)와 본 발명에 따라 진동하면서 스캐닝하여 노이즈 결함(107)을 재생할 때(진동 방법이라고 함), 재생된 노이즈 신호를 비교하여 나타낸 것이다. 스캔 방법에 따라 재생된 노이즈 신호(C)에 비해 진동 방법에 따라 재생된 노이즈 신호(D) 가 작게 출력된다.

진동 방법에 따를 때 노이즈 신호가 상대적으로 작게 출력되는 원리에 대해 살펴보면 다음과 같다. 앞서 설명한 바와 같이 프로브가 진동함에 따라 진동 스캐닝 영역(120)이 형성되고, 노이즈 결함(107)이 진동 변위(m)보다 작은 크기를 가지므로 프로브(102)가 노이즈 결함(107)의 내부에 위치하여 데이터 비트를 검출하거나 프로브가 노이즈 결함 외부에 위치하여 데이터 비트를 검출하지 않거나 하는 과정을 반복함에 따라 평균적으로 검출 신호량이 감소된다.

도 7은 스캔 방법과 진동 방법에 따라 데이터를 재생할 때 출력되는 데이터 신호와 노이즈 신호를 함께 비교하여 나타낸 것으로, 본 발명에 따른 진동 방법에 기초하여 데이터를 재생할 때, 데이터 신호는 상대적으로 첨예하게 출력되고, 노이즈 신호는 작게 출력된다. 그럼으로써, 기록 매체의 재생 신호 특성이 개선된다.

다음, 본 발명에 따른 기록 매체로부터의 데이터 신호 개선 방법에 따르면, 도 4를 참조하면 기록 매체(140)로부터 데이터를 재생하기 위해 멀티 프로브(100)를 기록 매체 표면을 따라 이동시켜 스캐닝하고, 상기 스캐닝 방향과 다른 방향으로 프로브(102)를 진동시킨다. 프로브(102)를 스캔 속도에 비해 고주파로 진동시키며, 데이터 비트의 직경보다 작고 프로브의 분해능보다 큰 변위로 진동시켜 데이터 신호의 출력을 평균화한다. 그럼으로써, 상기 멀티 프로브를 이용하여 기록 매체 표면의 전기 분극과의 상호 작용에 의해 기록 매체로부터 재생되는 데이터 신호는 상대적으로 첨예화되고, 노이즈 신호는 감소된다.

상기 프로브의 진동 방향이 스캔 방향에 대해 직각에 가까워질수록 데이터 신호 특성의 개선은 더욱 증대된다.

상기한 실시예들은 예시적인 것에 불과한 것으로, 당해 기술분야의 통상을 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 하기의 특허청구범위에 기재된 발명의 기술적 사상에 의해 정해져야만 할 것이다.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 멀티 프로브 저장 장치는 강유전층을 가지는 기록 매체에 기록된 데이터를 프로브와 전기 분극과의 상호 작용에 의해 재생하는 것으로, 프로브를 고주파로 진동시키기 위한 구동부를 구비하여 데이터 신호의 특성을 개선한다. 뿐만 아니라, 본 발명은 프로브 어레이를 이용한 여러 저장 장치에 사용될 수 있다. 예를 들어, 기계적 구멍을 뚫는 방법, 자기 기록, 상변화 기록 등에도 사용될 수 있다.

본 발명에 따른 멀티 프로브에 의한 데이터 신호의 개선 방법은, 프로브를 스캔 방향과 다른 방향으로 고주파로 진동시킴으로써 데이터 신호를 상대적으로 첨예화시키고, 노이즈 신호를 작게 출력되도록 한다.

Claims

기록 매체에 데이터를 기록하고 기록 매체로부터 데이터를 읽는데 사용하는 멀티 프로브 저장 장치에 있어서,

상기 기록 매체 표면의 전기 분극과의 상호 작용에 의해 기록 매체로부터 데이터를 읽는 프로브를 복수 개 가지는 멀티 프로브;

상기 멀티 프로브가 기록 매체 표면을 스캐닝하도록 멀티 프로브를 구동하고, 상기 멀티 프로브의 스캔 방향과 다른 방향으로 상기 프로브를 진동시키는 구동부;

상기 멀티 프로브의 위치 제어를 위한 서보;를 포함하고,

상기 프로브가 진동함에 따라 노이즈 신호가 감소되고 데이터 신호가 첨예화되는 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 저장 장치.
제 1항에 있어서,

상기 구동부는 멀티 프로브를 스캐닝 방향에 대해 직각 방향으로 진동시키는 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 저장 장치.
제 1항에 있어서,

상기 구동부는 압전 소자를 이용한 구동 방식, 정전기 구동 방식, 열 구동 방식 중 어느 하나를 채용하여 상기 프로브를 진동시키는 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 저장 장치.
제 3항에 있어서,

상기 압전 소자는 프로브를 멀티 프로브의 스캔 방향에 대해 직각 방향으로 진동시키는 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 저장 장치.
제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 프로브의 진동 변위는 프로브의 데이터 비트 분해능보다 크고, 데이터 비트 사이즈보다 작은 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 저장 장치.
제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 프로브의 진동 범위는 프로브의 데이터 비트 분해능보다 크고, 노이즈를 일으키는 결함 사이즈보다 큰 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 저장 장치.
제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 프로브는 서보의 주파수 대역에 비해 상대적으로 고주파로 진동되는 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 저장 장치.
제 7항에 있어서,

상기 프로브는 서보 주파수 대역의 5배 이상의 주파수로 진동되는 것을 특징 으로 하는 멀티 프로브 저장 장치.
제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 구동부는 상기 멀티 프로브를 스캐닝 구동하기 위한 스캔 구동부와, 상기 프로브를 진동시키기 위한 진동 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 프로브 저장 장치.
복수 개의 프로브가 격자형으로 배열된 멀티 프로브를 이용하여 기록 매체 표면의 전기 분극과의 상호 작용에 의해 기록 매체로부터 재생되는 데이터의 신호 개선 방법에 있어서,

상기 기록 매체로부터 데이터를 재생하기 위해 상기 멀티 프로브를 기록 매체 표면을 따라 이동시켜 스캐닝하는 단계;

상기 스캐닝 방향과 다른 방향으로 프로브를 진동시키는 단계;를 포함하고,

상기 프로브가 진동함에 따라 노이즈 신호가 감소되고 데이터 신호가 첨예화되는 것을 특징으로 하는 데이터 신호 개선 방법.
제 10항에 있어서,

상기 멀티 프로브는 스캐닝 방향에 대해 직각 방향으로 진동하는 것을 특징으로 하는 데이터 신호 개선 방법.
제 10항에 있어서,

상기 구동부는 압전 소자를 이용한 구동 방식, 정전기 구동 방식, 열 구동 방식 중 어느 하나를 채용하여 상기 프로브를 진동시키는 것을 특징으로 하는 데이터 신호 개선 방법.
제 12항에 있어서,

상기 압전 소자는 프로브를 멀티 프로브의 스캔 방향에 대해 직각 방향으로 진동시키는 것을 특징으로 하는 데이터 신호 개선 방법.
제 10항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 프로브의 진동 변위는 프로브의 데이터 비트 분해능보다 크고, 데이터 비트 사이즈보다 작은 것을 특징으로 하는 데이터 신호 개선 방법.
제 10항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 프로브의 진동 범위는 프로브의 데이터 비트 분해능보다 크고, 노이즈를 일으키는 결함 사이즈보다 큰 것을 특징으로 하는 데이터 신호 개선 방법.
제 10항 내지 제 13항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 프로브는 프로브의 위치 제어를 위한 서보의 주파수 대역에 비해 상대적으로 고주파로 진동하는 것을 특징으로 하는 데이터 신호 개선 방법.
제 16항에 있어서,

상기 프로브는 서보 주파수 대역의 5배 이상의 주파수로 진동하는 것을 특징으로 하는 데이터 신호 개선 방법.