KR100681738B1 - 화학기상증착 챔버내로의 액체 전달을 위한 방법 및 장치 - Google Patents

화학기상증착 챔버내로의 액체 전달을 위한 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

화학기상증착 (CVD) 장치의 액체 전달을 위한 장치는 액체 프리커서 (24) 또는 용액상태의 프리커서의 액체 전달을 위한 입구부 (20) 를 가진 하나 이상의 인젝터 (18) 가 장치된 입구 헤드부를 포함한다. 벡터 가스 분사회로는 액체의 분사와 동시에 활성화되며, 벡터 가스는 공간 (124) 내에서 가열된후에 인젝터의 부근으로 향한다. 각각의 인젝터 (18) 는 물 또는 냉각제 유동에 의해 개별적으로 냉각된다. 증발 챔버 (16) 는 프리커서의 액상/기상 상태의 변화를 성취하도록 설계된 가열 저항체와, 프리커서의 액적과 증기에 의해 덮여지는 거리가 인젝터 (18) 의 노즐과 출구 튜브 사이의 직선상의 거리보다 크도록 배열된 편향 수단을 포함한다.
화학기상증착

Description

화학기상증착 챔버내로의 액체 전달을 위한 방법 및 장치 {PROCESS AND APPARATUS FOR LIQUID DELIVERY INTO A CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION CHAMBER}
도 1 은 3 개의 인젝터가 장치된 본 발명에 따른 증발기 장치의 길이방향 단면도;
도 2 는 단일 인젝터가 장치된 입구 헤드부의 확대 단면도;
도 3 은 도 1 의 분사 플랜지의 선 3-3 을 따른 상부 확대도;
도 4 는 도 1 의 분사 플랜지의 선 4-4 를 따른 저부 확대도;
도 5 는 도 1 의 선 5-5 를 따른 단면도;
도 6 은 변경적인 실시예의, 도 2 와 동일한 도면;
도 7 및 도 8 은 증발기 장치의 관형 가열로의 정면도 및 평면도;
도 9 는 노의 변경적인 실시예의 정면도;
도 10 은 단지 1 개의 인젝터만이 도시되고 있는, 4 개의 인젝터를 가진 증발기의 단면도;
도 11 과 도 12 는 도 10 의 증발기의 플랜지의 상부 평면도 및 저부 평면도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
12 : 입구 헤드부 14 : 출구 튜브
16 : 증발 챔버 18 : 인젝터
20 : 입구부 26 : 제어회로
30 : 노즐 36, 38, 40, 42, 44 : 채널
50 : 가열 수단 52 : 엔클로져
54, 56 : 열전대 60 : 스로트 (throat) 부
62 : 오리피스 78, 80, 82 : 시일
본 발명은 특히, 화학기상증착 (CVD) 장치내로 또는 화학기상반응 반응기내로의 액체 전달을 위한 장치에 관한 것으로서, 상기 장치는:
- 액체 프리커서 또는 용해상태의 프리커서의 전달을 위한 입구부를 가진 하나 이상의 인젝터 또는 스프레이 노즐을 장치한 입구 헤드부,
- 액체 프리커서 또는 연속 또는 맥동 연무 유동의 미리 설정된 체적의 액적을 증발 챔버내로 주기적으로 분사하기 위한 제어 회로,
- 벡터 가스를 상기 증발 챔버내로 분사하기 위한 분사 수단,
- 액체 프리커서의 또는, 용제와 프리커서 혼합물의 액상/기상 상태의 변화를 성취하도록 증발 챔버를 가열하도록 설계된 가열 수단 및,
- 기화되어 분사된 프리커서를 반응기로 보내도록 설계된 출구 튜브
를 포함한다.
CVD 반응기에는 통상적으로, 반응기로의 기상유동을 발생시키도록 펌핑 시스템 또는 벤트 (vent) 가 설치된다.
FR-A-2,707,671 호에는 프리커서를 화학기상증착 (CVD) 엔클로져내로 전달하는 방법 및 장치가 기술되어 있다. 이 증착 엔클로져는 다공성 재료에 의해 2 개의 부분으로 분리된다. 상부 부분은 증발기를 구성하며, 고온의 하부 부분은 증착챔버를 형성한다. 다공성 분리기는 스틸 울 (steel wool) 로 만들어지며, 이 스틸 울은 가스를 유동시키며, 증발기에 의해 기화되지 않은 어떠한 액적도 통과시킨다. 그러나, 분사된 액체 전체가 증착 챔버에 들어가기 전에 증발되는 것은 CVD 공정에 있어서 가장 중요하다.
WO 96 20897 호는 유리, 금속 또는 세라믹으로 만들어진 비드로 충전된 여러 채널을 갖춘 증발기를 기술하고 있다. 액체가 채널내를 유동할 때, 액체는 장애물을 형성하는 이들 비드와 접촉하게 된다.
본 발명의 목적은, 액체 프리커서 또는 용액 상태의 프리커서의 최적의 휘발화가 분사 단계 이후에 얻어지도록 하며 어떠한 내부 응축효과도 방지하는 향상된 증발 장치를 성취하는 것이다.
본 발명에 따른 장치는 입구 헤드부가:
- 인젝터 또는 스프레이 노즐의 삽입을 위한 중앙부내의 하나 이상의 오리피스,
- 액체의 분사와 동시에 활성화되며 인젝터 또는 노즐의 부근으로 향하는 벡터 가스의 분사 및 가열을 위한 회로 및,
- 인젝터 또는 노즐을, 특히 물 또는 냉각제 유동에 의해 또는 공기 유동에 의해 냉각시키는 냉각 수단
을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일특징에 따라서, 증발 챔버는, 프리커서의 액적 또는 증기에 의해 덮여지는 거리가 인젝터의 노즐과 출구 튜브 사이의 직선상의 거리보다 크도록 배열되는 편향 수단을 포함한다. 이 튜브는 증발 챔버내의 경로 및 가열 표면을 증가시키기 위한 복수의 기본 채널로 세분된다. 이 튜브는 금속 재료 특히, 스테인레스 강 또는, 유리 또는 석영으로 만들어질 수 있다.
바람직한 실시예에 따라서, 채널의 내측 벽은, 금속 벽과의 접촉상태에서 증기의 촉매 파손반응을 방지하기 위해, 화학적으로 불활성인 증착물, 예컨대 실리콘 카바이드 또는 텅스텐으로 덮인다, 가열 수단은 튜브의 횡방향 표면을 동축적으로 둘러싸며, 튜브의 간접 가열을 발생시키도록 증발기의 본체와 정확하게 동일한 형상을 따라서 2 개의 알루미늄 하프 셸 (shell) 부내에 배열된 기계가공된 홈내에 삽입된 저항체를 포함한다. 제 1 가열 구역은 상부 플랜지를 가열하며, 제 2 가열 구역은 튜브와 하부 플랜지를 가열하며, 각각의 가열 구역내의 온도는 열전대에 의해 조절된다.
본 발명의 일 특징에 따라서, 각각의 인젝터 또는 스프레이 노즐은 개별 냉각회로를 가지며, 이 냉각회로는 인젝터 또는 스프레이 노즐의 본체를 둘러싸는 냉 각제로 충전된 환형 공간에 의해 형성된다.
본 발명의 다른 특징에 따라서, 칼라 피스 (collar-piece) 는 역류와 응축이 용이한 표면을 최소화하도록 분사 구역내의 상부 플랜지의 바닥면까지 연장되며, 벡터 가스는 이 가스가 팽창하여 각각의 인젝터의 노즐 또는 스프레이 노즐 부근의 공간내로 재분사되기전에 가열되는 칼라 피스 주위에 배열된 환형 체적내로 분사된다.
다른 이점 및 특징은, 단지 비제한적인 예로서 주어지며 첨부된 도면에 나타내어진 본 발명의 일실시예의 다음 설명으로부터 보다 명백해질 것이다.
(실시예)
도 1 내지 도 5 를 참조하여, 화학기상증착 (CVD) 챔버내에 얇은 층의 액체 전달을 위한 증발기 장치 (10) 는 진공 또는 대기압에서 증발 챔버 (16) 를 통해 출구 튜브 (14) 에 연결되는 입구 헤드부 (12) 를 포함한다.
입구 헤드부 (12) 에는 액체 프리커서 (24) 또는 용액 상태의 프리커서로 충전된 외부 탱크 (22) 에 연결된 입구부 (20) 를 가지는 하나 이상의 인젝터 (18) 가 설치된다. 탱크 (22) 내의 압력은 증발 챔버 (16) 내의 현재의 압력보다 크며, 각각의 인젝터 (18) 는 액상/기상 상태 변화가 발생하는 증발 챔버 (16) 내로 소정량의 액체 (24) 를 주기적으로 보낸다. 인젝터 (18) 는 전자밸브의 커넥터 (28) 에 연결된 마이크로프로세서 기반 제어회로 (26) 에 의해 개폐가 제어되는 전자밸브에 의해 형성된다. 분사된 액체는 순수 액체 또는, 용제와 용매의 혼합물일 수 있다. 분사된 액체의 체적은 제어회로 (26) 에 의해 완벽하게 제어되며, 재현가능하다. 또한, 인젝터 (18) 는 연속 또는 맥동 연무 유동을 전달하는 스프레이 노즐에 의해 대체될 수 있다. 이 경우, 액체 조절 유량계는 탱크 (22) 와 노즐 사이에 끼워진다.
도 2 는 원통형 증발 챔버 (16) 상에서 길이방향으로 연장되는 단일 인젝터 (18) 를 가진 입구 헤드부 (12) 를 나타낸다. 인젝터 (18) 의 노즐 (30) 은 증발 챔버 (16) 내로 동축적으로 향해진 액체의 제트 (JL) 를 내보낸다.
도 1, 도 3 및 도 4 의 실시예에 있어서, 입구 헤드부 (12) 는 원통형 플랜지 (32) 의 중앙부내에 경사져 장착된 3 개의 인젝터 (18) 를 포함한다. 액체의 3 개의 제트 (JL) 는 증발 챔버 (16) 의 입구부에서 중앙부쪽으로 수렴한다.
길이방향 축선에 대한 인젝터 (18) 의 경사각도는 0°와 90°사이에서 형성될 수 있다.
출구 튜브 (14) 는 화학기상증착 (CVD) 반응기 (도시 생략) 에 가열된 선에 의해 연결되어, 기상 유동이 액체 전달 장치 (10) 로부터 반응기로 발생될 수 있도록 펌핑 시스템 또는 벤트가 설치된다. 증착물이 만들어지는 기판은 반응기내에 배치된다.
액체 전달 장치 (10) 의 배열은 분사된 액체의 전체 증발이 출구 튜브 (14) 를 통해 최종 출구 이전에 발생하는 것을 보장한다. 증발 챔버 (16) 에는 이러한 목적을 위해, 액적 또는 증기에 의해 덮여지는 거리가 인젝터 (18) 의 노즐 (30) 과 출구 튜브 (14) 사이의 직선상의 거리보다 크도록 편향 수단이 구비된다.
증발 챔버 (16) 는 예컨대, 스테인레스 강으로 만들어진 금속 튜브 (34) 에 의해 형성되며, 기계가공에 의해 튜브의 길이방향으로 연장되는 복수의 내부 채널 (36, 38, 40, 42, 44) 로 세분된다. 액체는 각각의 인젝터 (18) 로부터 중앙 채널 (36) 내로 분사되며, 액적과 증기는 제 1 가이드부 (46) 에 의해 2 개의 인접 채널 (38, 44) 로 편향되는 바닥부로 증발동안 내려간다 (화살표 (F1), 도 1 과 도 5). 이들이 상측부로 올라간 후 (화살표 (F2)), 이들은 제 2 가이드부 (48) 에 의해 다시 편향되어, 하향 방향 (화살표 (F3)) 으로 다른 2 개의 채널 (40, 42) 을 취하여 출구 튜브 (14) 로 향한다. 시케인 (chicane) 을 갖는 이러한 경로는 이동거리와 증발 챔버 (16) 내의 가열표면이 증가하도록 한다. 튜브 (34) 의 5 개의 채널 (36, 38, 40, 42, 44) 의 체적은 액체의 증발에 기인하여 증발 챔버 (16) 내의 압력증가의 효과가 CVD 반응기의 레벨로 감쇄되도록 한다.
증발 챔버 (16) 는 다른 재료 특히, 서로 용접된 유리 또는 석영으로 만들어질 수 있음이 명백하다.
또한, 액체의 증발 효과는 복수의 금속 그레이트 (grate) 또는 다공성 소결 유리판을 서로 평행하게 및 액체 및 증기의 유동에 수직한 방향으로 채널 (36, 38, 40, 42, 44) 내에 배열함으로써 증가될 수 있다. 액체의 유동 경로를 따른 이들 그레이트 또는 부가 판의 존재는 액적의 크기를 감소시키며, 증발 챔버 (16) 의 가열되는 표면을 증가시킨다.
증발기 장치 (10) 는 튜브 (34) 의 횡방향 표면을 동축적으로 둘러싸는 단열재료로 만들어진 관형 엔클로져 (52) 내에 수용된 가열수단 (50) 을 더 포함한다. 도 7 과 도 8 에 있어서, 엔클로져 (52) 는 반 원통형 단면의 2 개의 하프 셸부 (52a, 52b) 를 인접시킴으로써 형성되며, 각각의 셸은 증발기 장치 (10) 의 전체 높이에 걸쳐 연장되는 전기 저항체 (50a, 50b) 를 수용하는 내부면을 가진다. 가열 수단 (50) 의 2 개의 저항체 (50a, 50b) 는 요구되는 전력에 따라 직렬로 또는 병렬로 연결될 수 있다. 증발기 장치 (10) 는 챔버 (16) 의 2 위치에서 온도를 측정하도록 엔클로져 (52) 내에 수용된 한쌍의 열전대 (54, 56) 를 더 포함한다. 튜브내부에 배치된 열전대 (56) 는 증발기 장치 (10) 의 온도를 조절하기 위한 목적으로 사용된다. 다른 열전대 (54) 는 저항체 (50) 의 온도를 모니터링 가능하게 한다.
증발 챔버 (16) 주위로 노의 2 개의 하프 셸부 (52a, 52b) 의 동축 배열은 콤팩트한 조립체를 얻을 수 있게 하여, 특히, 증발 챔버 (16) 의 청소 작업이 수행될 때 용이하게 분해될 수 있다.
튜브 (34) 주위의 전체 가열 구역은 엔클로져 (52) 에 의해 외부 환경으로부터 단열되어 있어서, 시스템의 열효율을 증가시킨다. 따라서, 단일 가열 구역으로, 양의 온도 구배가 기상의 경로를 따라 얻어지며, 이 경로는 채널 (36) 내의 증발 챔버 (16) 의 코어로부터 외부 채널 (38, 40, 42, 44) 까지 형성된다.
액체의 가열은 액체가 증발 챔버 (16) 내로 분사된 때부터서만 발생하여야 한다. 각각의 인젝터 (18) 또는 스프레이 노즐의 냉각 수단은 물 또는 냉각제를 가진 냉각 회로 (58) 에 의해 또는 플랜지 (32) 쪽으로 공기를 불어내는 팬 (도시 생략) 의 작용에 의해 간단히 제공될 수 있다.
도 2 내지 도 4 에 있어서, 입구 헤드부 (12) 의 플랜지 (32) 에는 이러한 목적으로 인젝터 (18) 를 수용하는 오리피스 주위에 배열된 환형 스로트부 (throat) (60) 가 구비된다. 스로트부 (60) 는 인젝터 (18) 를 냉각하도록 파이프 (64) 에 의해 냉각 회로 (58) 에 연결된다. 오리피스 (62) 는 플랜지 (32) 의 전체 두께를 관통하며, 인젝터 (18) 는 이들 2 개의 요소 사이에 끼워진 시일 (66) 과 함께 오리피스 (62) 내에 삽입된다. 냉각제가 스로트부 (60) 내를 유동할 때, 인젝터 (18) 는 차갑게 된다.
증발 챔버 (16) 내부의 찬 구역상에서 증발된 생성물의 응축을 방지하게 위해, 벡터 가스는 액체의 분사와 동시에 챔버내에 분사된다. 가스 회로는 스로트부 (60) 와 오리피스 (62) 사이의 플랜지 (32) 내에 배열된 환형 홈 (68) 을 포함한다. 홈 (68) 의 바닥부는 벡터 가스 제트 (JG) 의 분사를 위한 링의 전체 주위에 걸쳐 균일하게 분포된 구멍부 (70) 를 통해 증발 챔버 (16) 와 연통한다. 홈 (68) 의 가스 공급은 가스로 충전된 탱크 (74) 에 연결된 덕트 (72) 에 의해 수행된다. 환형 가스 덮개는 도 2 의 인젝터 (18) 에 의해 또는 도 3 및 도 4 의 3 개의 인젝터 (18) 에 의해 분사된 액체 제트 (JL) 주위에 나타난다. 커버부 (76) 는 스로트부 (60), 홈 (68) 및 오리피스 (62) 사이에 배치된 3 개의 시일 (78, 80, 82) 과 함께 플랜지 (32) 상에 끼워진다.
액체 및 벡터 가스를 증발 챔버 (16) 내로 동시에 분사하는 것은, 프리커서 증기의 최적의 증발 및 반응기내의 증착 구역으로의 효율적인 운반을 가능하게 한다. 특정의 공정동안, 가스 라인은 덕트 (72) 로부터 라인 상부까지 가열될 수 있으며, 벡터 가스는 주위 온도 또는 더 높은 온도로 증발 챔버 (16) 로 들어간다.
도 6 의 변경적인 실시예에 따라서, 인젝터 (18) 는 가스와 액체를 혼합하지 않고 동시에 이 가스와 액체를 분사하는 목적으로 사용된다. 가스 회로의 홈 (68) 은 통로 (84) 에 의해, 인젝터 (18) 의 노즐 주위로 배열된 환형 공간 (86) 에 연결된다. 오리피스 (88) 는 가스가 인젝터 (18) 내부로 들어가게 하도록 인젝터 (18) 의 본체내에 구비된다. 다음으로, 인젝터 (18) 의 노즐 (30) 은 액체와 가스의 2 개의 혼합된 제트를 증발 챔버 (16) 내로 보낸다.
변경적인 실시예 (도시 생략) 에 따라서, 인젝터 또는 인젝터들 (18) 은 입구 헤드부 (12) 의 상부 부분이 아니라 측면상에 배치된다. 편향 판은 기화된 프리커서가 지그재그 경로를 취할 수 있도록 하기 위해 증발 챔버내에 구비된다.
도 9 내지 도 12 에 도시된 변경적인 실시예를 참조하여, 증발기내의 재응축은 방사상 방향 및 길이 방향으로 균일하게 증발기를 가열함으로써 방지될 수 있다. 4 개의 인젝터 (18) 각각은 분사전에 생성물의 파손을 방지하도록 차갑게 있어야 한다.
도 9 의 노는 입구 헤드부 (12) 의 상부 플랜지 (100), 출구 튜브를 둘러싸는 하부 플랜지 (102) 및, 튜브 (34) 에 대한 열 에너지 입력을 독립적으로 제어하도록 설계된 여러 가열 구역을 나타낸다. 제 1 구역 (1) 은 상부 플랜지 (100) 를 가열하며 제 2 구역 (2) 은 튜브 (34) 와 하부 플랜지 (102) 를 가열한다. 각각의 가열 구역 (1, 2) 내의 온도는 열전대 (104, 106) 에 의해 제어된다.
증발기의 본체상의 열전달을 향상시키기 위해, 저항체 (108) 는 증발기의 본체와 정확하게 동일한 관형상을 따라서 2 개의 알루미늄 하프 셸부 (110) 내에 배 열된 기계가공된 홈내에 삽입된다. 증발기의 스테인레스 강 튜브를 알루미늄을 통해 간접적으로 가열하는 것은, 알루미늄의 열전도성이 스테인레스 강의 열전도성보다 크다는 점에 기인하여, 증발기의 균일한 온도가 얻어질 수 있게 한다.
도 10 내지 도 12 에 있어서, 인젝터 (18) 의 냉각 회로가 입구 헤드부 (12) 의 플랜지 (100) 내에 구비되는 대신에, 각각의 인젝터 (18) 는 오리피스 (114) 를 통해 삽입된 냉각제가 충전된 환형 공간 (112) 에 의해 형성되는 개별 냉각 회로를 가진다. 공간 (112) 은 각각의 인젝터 (18) 의 본체에 개재된 2 개의 시일 (116, 118) 을 끼움으로써 기밀로 된다. 스테인레스 강 스터드 (120) 는 인젝터 (18) 와 그 냉각 회로가 플랜지 (100) 상에 끼워지도록 한다. 따라서, 플랜지 (100) 는 응축을 방지하도록 더 효율적으로 가열될 수 있다. 전기 저항체 (121) 는 이러한 목적을 위해, 노의 제 1 구역 (1) 의 가열에 부가하여 보조 가열을 발생시키도록 상부 플랜지 (100) 내에 일체로 될 수 있다.
환형 칼라 피스 (122) 는 역류 및 응축이 용이한 표면을 최소화하도록 플랜지 (100) 의 바닥면까지 연장된다. 인젝터 (18) 에 의해 분사되는 액체의 증발은 가능한 뜨거운 벡터 가스를 만듦으로써, 그리고 인젝터 (18) 의 노즐의 레벨로 이 가스가 들어가도록 함으로써 최적화된다. 가스는 오리피스 (126) 를 통해 환형 체적 (124) (화살표 (JG)) 내로 분사되며, 이 환형 체적에서 가스는 팽창되며, 각각의 인젝터 (18) 의 노즐 부근에서 공간 (128) 내로 재분사되기 전에 가열된다.
인젝터 (18) 는 맥동식으로 (자동차 인젝터의 경우) 또는, 연속식으로 (연속 연무유동을 발생시키는 초음파 스프레이 노즐의 경우) 작동할 수 있다.
증발 챔버 (16) 의 내부 벽은 화학적으로 불활성인 증착물, 예컨대 실리콘 카바이드 또는 텅스텐으로 덮여 있어서, 금속 벽과의 접촉상태에서 증기의 붕괴 반응이 방지된다. 이 반응은 강 또는 알루미늄의 표면에서 산소의 얇은 층의 포텐셜 존재에 의해 촉매 작용을 받게 된다. 불활성 증착물은 이들 산소가 차폐되게 한다.
증발기는 또한 기질의 개재없이 화학 기상 반응의 시약이 되는 증기를 발생시키도록 유기 화학에서 사용될 수 있다.
본 발명에 따르면, 액체 프리커서 또는 용액 상태의 프리커서의 최적의 휘발화가 분사 단계 이후에 얻어지도록 하며 어떠한 내부 응축효과도 방지하는 향상된 증발 장치를 성취할 수 있다.

Claims (15)

  1. 화학기상증착 (CVD) 장치 내에 또는 화학기상반응 반응기내로의 액체 전달을 위한 장치로서,
    - 액체 프리커서 (24) 또는 용액상태의 프리커서의 전달을 위한 입구부 (20) 를 가진 하나 이상의 인젝터 (18) 또는 스프레이 노즐이 장치된 입구 헤드부 (12),
    - 액체 프리커서 (24) 또는 연속 또는 맥동 연무 유동의 소정된 체적의 액적을 증발 챔버 (16) 내로 주기적으로 분사시키기 위한 제어 회로 (26),
    - 벡터 가스를 상기 증발 챔버 (16) 내로 분사시키기 위한 분사 수단 (74, 72, 68),
    - 액체 프리커서 (24) 의 또는, 용제 및 프리커서 용액의 액상/기상 상태의 변화를 성취하도록 증발 챔버 (16) 를 가열하도록 설계된 가열 수단 (50) 및,
    - 화학기상증착 (CVD) 장치의 반응기에 기화되어 분사된 프리커서를 보내도록 설계된 출구 튜브 (14) 를 포함하는 액체 전달을 위한 장치에 있어서,
    상기 입구 헤드부 (12) 는
    - 인젝터 (18) 의 삽입을 위한 중앙부내의 하나 이상의 오리피스 (62),
    - 액체의 분사와 동시에 활성화되며 인젝터 (18) 부근으로 향하는 벡터 가스의 분사 및 가열을 위한 회로 및,
    - 인젝터 (18) 를 특히, 물 또는 냉각제 유동에 의해 또는 공기 유동에 의해 냉각시키는 냉각 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 전달을 위한 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 증발 챔버 (16) 는, 프리커서의 액적과 증기에 의해 덮여지는 거리가 인젝터 (18) 의 노즐 (30) 과 출구 튜브 (14) 사이의 직선상의 거리보다 크도록 배열된 편향 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 전달을 위한 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 액체 프리커서 (24) 의 편향 수단은 증발 챔버 (16) 내의 경로 및 가열 표면을 증가시키도록 복수의 기본 채널 (36, 38, 40, 42, 44) 로 세분되는 튜브 (34) 내부에서 시케인에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 액체 전달을 위한 장치.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 튜브 (34) 는 금속 재료 특히, 스테인레스 강 또는 알루미늄으로 만들어지는 것을 특징으로 하는 액체 전달을 위한 장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 튜브 (34) 는 유리 또는 석영으로 만들어지는 것을 특징으로 하는 액체 전달을 위한 장치.
  6. 제 3 항에 있어서, 상기 채널 (36, 38, 40, 42, 44) 의 내측 벽은 화학적으로 불활성인 증착물 예컨대, 실리콘 카바이드 또는 텅스텐으로 덮여져서, 금속 벽과 접촉상태에서 증기의 촉매붕괴반응을 방지하는 것을 특징으로 하는 액체 전달을 위한 장치.
  7. 제 3 항에 있어서, 가열 수단 (50) 은 단열재료로 만들어진 관형 엔클로져 (52) 에 의해 외부로부터 단열되는 하나 이상의 가열 구역을 동축적으로 한정하도록 튜브 (34) 의 횡방향 표면을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 액체 전달을 위한 장치.
  8. 제 7 항에 있어서, 상기 가열 수단 (50) 은 튜브 (34) 의 간접 가열을 발생시키도록 증발기의 본체와 정확하게 동일한 형상을 따라서 2 개의 알루미늄 하프 셸부 (110) 내에 배열된 기계가공된 홈내에 삽입되는 저항체 (108) 를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 전달을 위한 장치.
  9. 제 7 항에 있어서, 상부 플랜지 (100) 를 가열하는 제 1 가열 구역 (1) 과 튜브 (34) 와 하부 플랜지 (102) 를 가열하는 제 2 가열 구역 (2) 을 포함하며, 상기 각각의 가열 구역 (1, 2) 내의 온도는 열전대 (104, 106) 에 의해 제어되는 것을 특징으로 하는 액체 전달을 위한 장치.
  10. 제 7 항에 있어서, 단열 재료로 만들어진 엔클로져 (52) 는, 각각이 튜브 (34) 의 전체 높이에 걸쳐 연장되는 전기 저항체 (50a, 50b) 를 수용하는 내부면을 가지는 2 개의 반원통형 하프 셸부 (52a, 52b) 가 인접함으로써 형성되는 것을 특 징으로 하는 액체 전달을 위한 장치.
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 각각의 인젝터 (18) 는 냉각제로 충전되는 환형 공간 (112) 에 의해 형성되는 개별 냉각 회로를 가지는 것을 특징으로 하는 액체 전달을 위한 장치.
  12. 제 9 항에 있어서, 상기 하나 이상의 전기 저항체 (121) 는 상부 플랜지 (100) 또는 하부 플랜지 (102) 내에 일체로 되어, 노의 제 1 또는 제 2 구역 (1, 2) 의 가열에 부가하여 보조 가열을 발생시키는 것을 특징으로 하는 액체 전달을 위한 장치.
  13. 제 9 항에 있어서, 환형 칼라 피스 (122) 는 분사 구역내의 플랜지 (100) 의 바닥면까지 연장되어 역류와 응축이 용이한 표면을 최소화하며, 벡터 가스는 이 가스가 팽창하여 각각의 인젝터 (18) 의 노즐 부근의 공간 (128) 내로 재분사되기 전에 가열되는 칼라 피스 (122) 주위에 배열된 환형 체적 (124) 내에 오리피스 (126) 를 통해 분사되는 것을 특징으로 하는 액체 전달을 위한 장치.
  14. 제 1 항에 있어서, 홈 (68) 에는 탱크 (74) 에 의해 벡터 가스가 공급되고, 입구 헤드부 (12) 를 관통하며 전체 주위에 걸쳐 균일하게 분포되어 인젝터 (18) 에 의해 분사되는 액체 제트 주위로 환형의 벡터 가스 덮개를 형성하는 바닥부내의 구멍 (70) 들을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 전달을 위한 장치.
  15. 제 8 항에 있어서, 상기 홈 (68) 은 통로 (84) 를 통해 인젝터 (18) 의 노즐 주위로 배열된 환형 공간 (86) 과 연통하며, 구멍 (88) 들은 인젝터 (18) 에 의해서 가스가 분사될 수 있도록, 액체의 분사와 무관한 회로내를 제외하고, 인젝터 (18) 의 본체내에 구비되는 것을 특징으로 하는 액체 전달을 위한 장치.
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