KR100676683B1 - 러빙장치에서의 테이블 업다운을 위한 장치 - Google Patents
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Abstract
업다운 테이블의 저면 중앙에 위치한 업다운 유닛으로 중량의 업다운 테이블이 업다운 되도록 하던 종래기술과는 달리 본 발명은 업다운 테이블 저면에 여러 개의 업다운 유닛을 설치하여 업다운 테이블을 업다운 시킴으로써 러빙작업을 위한 글라스 기판을 이송하는 중량의 업다운 테이블의 휨 현상을 줄이고 안정적이기도 정밀하게 업다운 시켜 러빙롤러와 업다운 테이블에 안착된 글라스 기판이 수평상태를 유지할 수 있는 것이다.
러빙장치, 업다운 테이블, 세라믹 테이블, 진공 테이블, 상부 플레이트.
Description
도1은 러빙롤러와 수평상태를 유지해야 하는 업다운 테이블과 이를 업다운 시키는 업다운 유닛의 설치상태를 보인 평면도이다.
도2 및 도4는 러빙롤러와 수평상태를 유지해야 하는 업다운 테이블과 이를 업다운 시키는 업다운 유닛의 설치상태를 보인 측면도이다.
도3과 도5 및 도6은 도2 및 도4의 주요부분을 보인 확대도면이다.
도7 내지 도11은 업다운 테이블을 업다운 시키는 업다운 유닛의 동작상태를 보인 도면이다.
도12는 본 발명에 의한 러빙장치를 보인 개략도이다.
도13은 러빙롤러와 수평상태를 유지해야 하는 업다운 테이블과 이를 업다운 시키기 위한 본 발명에 의한 업다운 유닛의 설치상태를 보인 평면도이다.
도14 및 도15는 러빙롤러와 수평상태를 유지해야 하는 업다운 테이블과 이를 업다운 시키기 위한 본 발명에 의한 업다운 유닛의 설치상태를 보인 측면도이다.
도16 및 도17은 본 발명에 의한 업다운 유닛의 평면 및 측면도이다.
도18 및 도19는 업다운 테이블을 업다운 시키기 위한 본 발명에 의한 업다운 유닛의 동작상태를 보인 측면도이다.
- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 메인 프레임 2 : 업다운 테이블
3 : 헤드 프레임 4 : 헤드 로테이터
4a : 롤 헤드 5 : 서보 모터
6 : 실린더 7 : 스핀들
8 : 롤 플랜지 9 : 러빙롤러
10 : 벨트 11 : 롤 프레임
12a, 12b : 스핀들 지지장치 13 : 업다운 유닛
14 : 세라믹 테이블 15 : 진공 테이블
16 : 상부 플레이트 17 : 업다운 베이스
18 : 이송 테이블 19 : 하판
20 : 리브 21 : 공간
22 : 상판 23 : 서보 모터
24 : 감속기 25 : 볼 스크루
26 : 볼 스크루 너트 27 : 상부 지지대
28 : 하부 지지대 29, 31 : LM 레일 가이드
30, 32 : LM 레일
본 발명은 러빙장치에서의 테이블 업다운을 위한 장치에 관한 것이다. 특히 본 발명은 러빙작업을 위한 글라스 기판을 이송하는 중량의 업다운 테이블의 휨 현상을 줄이고 안정적이기도 정밀하게 업다운 시켜 러빙롤러와 업다운 테이블에 안착된 글라스 기판이 수평상태를 유지할 수 있도록 하는 러빙장치에서의 테이블 업다운을 위한 장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시소자는 2장의 글라스 기판 사이에 액정층을 형성하고, 2장의 글라스 기판의 내면에는 상기 액정층에 전계를 걸기 위한 투명전극, 상기 전계를 온/오프하기 위한 스위칭 소자, 컬러 표시를 하기 위한 컬러 필터 및 액정분자를 배향하기 위한 배향막 등이 각각 형성되어 있다. 2장의 글라스 기판 사이에 액정재료를 봉입하여 액정표시소자를 제작한다. 배향막은 기판 위에 도포된 폴리이미드 수지(PI) 등의 수지층으로 이루어지며, 배향막을 경화시킨 후 러빙장치에 의해 러빙 처리함으로써 액정을 소정 방향으로 배향하게 된다.
통상의 러빙장치는 글라스 기판이 고정 배치되고 수평방향으로 이동되는 업다운 테이블의 위쪽으로 회전 가능하게 양끝이 지지된 러빙롤러를 구비하고 있으며, 러빙롤러의 표면에는 양면 테이프 등에 의해 기모포(起毛布 : 러빙포)가 감겨 있다. 업다운 테이블의 이동과 러빙롤러의 회전에 따라 기모포가 글라스 기판의 배향층 표면에 순차적으로 접촉되면서 글라스 기판의 표면을 일정한 방향으로 문지름으로써 필름의 일축 연신방향과 마찬가지의 효과를 부여하고, 그 방향으로 액정재료를 배향시키게 된다.
액정표시소자의 휘도나 응답성을 균일하게 유지하기 위해서는 러빙처리에 있 어서 배향층의 표면을 균일하게 문지름으로써 배향층의 표면에 방향성을 주어 액정이 균일하게 배향되도록 하는 것이 중요하다. 그 때문에 러빙롤러와 업다운 테이블에 고정 배치된 글라스 기판의 위치 결정, 특히 러빙롤러와 글라스 기판 위의 배향막 사이의 이격거리를 균일하게 유지할 필요가 있다.
근래 들어 액정표시소자의 분야에서는 PC 화면을 대표로 하는 액정 모니터나 디지털 방송의 개시로 액정 TV의 보급이 개시되고 있으며, 액정 모니터에서는 대각 20인치 등급(class), 액정 TV에서는 30~40인치 등급이 제품화되고 있다. 또한 패널 비용의 저감으로 인해 마더 글라스 기판의 대형화가 진행되어 1m 대각 이상 등급의 글라스 기판 한 장으로 여러 장의 패널을 제작해야 할 필요가 생겼다. 그 때문에 글라스 기판을 러빙하기 위한 러빙롤러의 길이나 업다운 테이블의 면적 또한 글라스 기판의 길이에 비례해서 늘어나게 된다.
도1은 러빙롤러(101)와 수평상태를 유지해야 하는 업다운 테이블(102)과 이를 업다운 시키는 업다운 유닛(103)의 설치상태를 보인 평면도로서 업다운 테이블(102)의 높이를 조절하기 위한 하나의 업다운 유닛(103)이 업다운 테이블(102)의 저면 중앙에 설치되어 있다. 즉, 도1 내지 도3에서와 같이 업다운 유닛(103)의 상부는 업다운 테이블(102)의 저면에 결합되고, 업다운 유닛(103)의 하부는 LM 레일 가이드(104)에 결합되어 있으므로 업다운 유닛(103)의 LM 레일 가이드(104)가 서보 모터(105)의 동력을 받아 도시되지 않은 LM 레일(106)을 따라 이동하면서 업다운 테이블(102)을 업다운 시킬 수 있다.
특히, 업다운 테이블(102)과 이를 업다운 시키는 업다운 유닛(103)을 수평방 향으로 이송하는 이송 테이블(111)의 상부에는 도4 내지 도6에서 보이는 바와 같이 LM 레일(106)이 설치되어 있고, 이 LM 레일(106)에는 LM 레일(106)을 따라 수평방향으로 이동할 수 있는 LM 레일 가이드(104)가 결합되어 있으며, 이 LM 레일 가이드(104)의 상부에는 상부에 LM 레일(107)을 가지는 이송 베이스(110)가 고정 설치되어 있고, 업다운 테이블(102)의 하부에 위치한 업다운 베이스(109)의 하부에는 LM 레일(107)과 한 쌍을 이루는 LM 레일 가이드(108)가 결합되어 있다.
이때 이송 베이스(110)의 상부에 위치한 LM 레일(107)과 이에 결합된 업다운 베이스(109)의 LM 레일 가이드(108)가 20도 정도의 경사각을 가지므로 이송 베이스(110)와 LM 레일(107)의 수평운동이 업다운 베이스(109)와 LM 레일 가이드(108)의 상하운동으로 전환된다.
상기 이송 테이블(111)의 상부에 업다운 테이블(102)을 업다운 시키기 위한 동력원으로 사용되는 서보 모터(105)와 이 서보 모터(105)의 회전속도를 감속하기 위한 감속기(112)가 설치되어 있고, 이 감속기(112)에 연동되는 봉 형상의 볼 스크루(113)가 이송 베이스(109)에 고정된 볼 스크루 너트(114)에 나사 결합되어 있으므로 서보 모터(105)의 회전력이 감속기(112)와 볼 스크루(113)를 거쳐 볼 스크루 너트(114)에 전달되면서 볼 스크루(114)와 이에 결합된 이송 베이스(110)가 수평방향으로의 직선운동을 한다.
따라서 도7 내지 도11에서와 같이 이송 베이스(110) 상부에 위치한 LM 레일(107)이 수평방향으로의 직선운동을 하면서 업다운 베이스(109)의 LM 레일 가이드(108)를 밀어올리거나 끌어내리므로 관리자는 업다운 테이블(102)의 높이를 높이 거나 낮출 수 있다.
그러나 업다운 유닛 즉, 업다운 베이스가 지지하는 업다운 테이블의 면적이 좁고 중앙에 위치하기 때문에 업다운 유닛이 상하로 이동하면서 업다운 테이블의 높이를 조절할 때 업다운 테이블의 휨 현상이 발생한다. 즉, 업다운 유닛의 힘이 직접적으로 가해지는 업다운 테이블의 중앙부분과 글라스 기판 등과 같은 무거운 하중이 가해지는 외곽부분이 서로 다른 높이로 오르내리므로 업다운 테이블에 안착된 글라스 기판까지도 휨 현상이 발생된다. 특히, 리브와 같은 별도의 보강수단 없이 업다운 베이스가 업다운 테이블의 중앙부분만을 지지하고 있으므로 힘이 한 곳에 집중되어 업다운 테이블의 휨 현상이 일어나기 쉽다.
또한, 미끄러짐 현상을 이용하여 이송 베이스의 수평방향으로의 직선운동을 업다운 베이스와 이에 결합된 업다운 테이블의 수직방향으로의 직선운동으로 변환하는 LM 레일과 LM 레일 가이드가 20도라는 큰 경사각을 가지고 있으므로 업다운 테이블의 높이변화가 심하게 일어나 업다운 테이블의 높이를 정밀하게 조절하기 어려울 뿐더러 이송 베이스를 수평방향으로 이동시키기 위한 서보 모터에 과부하가 걸리거나 업다운 테이블이 전체적으로 기울어지는 문제점이 있다.
상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 업다운 테이블 저면에 여러 개의 업다운 유닛을 설치하여 업다운 테이블을 업다운 시킴으로써 러빙작업을 위한 글라스 기판을 이송하는 중량의 업다운 테이블의 휨 현상을 줄이고 안정적이기도 정밀하게 업다운 시켜 러빙롤러와 업다운 테이블에 안착된 글 라스 기판이 수평상태를 유지할 수 있도록 하는 러빙장치를 제공하고자 한다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 러빙장치에서의 테이블 업다운을 위한 장치는, 메인 프레임의 상부에 위치한 헤드 프레임의 중앙에는 헤드 로테이터가 회전 가능하도록 결합되고, 상기 헤드 로테이터의 하부에는 롤 헤드에 의해 러빙롤러를 지지하기 위한 롤 프레임이 결합되며, 상기 롤 프레임의 양측 하단부에 위치한 스핀들 지지장치에 회전가능하도록 결합된 스핀들이 러빙롤러 양단의 롤 플랜지와 결합되어 서보 모터로부터 동력을 전달받아 러빙롤러가 회전가능하도로 결합되며, 상기 러빙롤러의 하부로 러빙하고자 하는 글라스 기판을 이송하는 업다운 테이블의 하부에는 업다운 테이블의 중심으로 일정거리 떨어진 업다운 테이블 저면의 대각선상을 지지하면서 업다운 테이블을 업다운 시킬 수 있는 다수의 업다운 유닛이 고정 배치된 것으로서, 상기 업다운 유닛은 이송 테이블 위에 깔린 LM 레일 위에 LM 레일을 타고 이동되는 LM 레일 가이드가 결합되고, 상기 LM 레일 가이드 상부에 판 형상의 하부 지지대가 수직 결합되며, 상기 하부 지지대 상부에 경사지게 위치한 LM 레일과 상기 업다운 테이블을 지지하는 판 형상의 상부 지지대 하부의 LM 레일 가이드가 경사지게 결합되며, 상기 이송 테이블 위에 설치된 서보 모터의 회전력이 감속기와 볼 스크루를 통해 상기 하부 지지대에 고정된 볼 스크루 너트에 전달되어 상기 하부 지지대를 수평방향으로 직선운동시켜 경사지게 배치된 LM 레일과 LM 레일 가이드가 서로 반대방향으로 슬라이딩되면서 업다운 테이블을 업다운 시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 업다운 테이블은 업다운 베이스와 상부 플레이트, 진공 테이블 및 세라믹 테이블의 순차적으로 적층된 구조를 가지는 것으로서, 상기 업다운 베이스는 상판과 하판이 다수개의 판 형상의 리브들로 연결되고, 상기 리드들 사이에는 공간들이 형성된 구조를 가지는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 업다운 베이스의 상판과 하판 그리고 상기 상판과 하판을 연결해 주는 다수의 리브들이 일체형으로 성형되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 업다운 베이스의 상판은 하판보다 넓은 면적을 가지며, 상기 상판과 하판의 외곽은 아래로 내려갈수록 좁아지는 경사진 리브들에 의해 연결되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 업다운 테이블을 지지함과 동시에 업다운 시킬 수 있도록 상기 이송 테이블 위에 배치된 4개의 업다운 유닛은 상기 업다운 테이블의 중앙을 향하도록 배치되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 업다운 테이블을 업다운 시키기 위해 경사지게 설치된 상기 업다운 유닛의 LM 레일과 이와 한 쌍을 이루는 LM 레일 가이드는 일정간격을 두고 나란히 배치된 2개의 LM 레일과 LM 레일 가이드로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 있어서, 상기 서보 모터의 회전력을 전달받아 상기 업다운 테이블을 업다운 시키는 상기 한 쌍의 LM 레일과 LM 레일 가이드의 경사각이 8 내지12도인 것이 바람직하다.
이하, 본 발명을 상세히 설명한다.
도1은 본 발명에 의한 러빙장치를 보인 것으로서, 메인 프레임(1)의 상단 중앙부위에는 러빙하고자 하는 글라스 기판을 이송하기 위한 업다운 테이블(2)이 위치하고 있고, 이 업다운 테이블(2)의 하부에는 업다운 테이블(2)의 휨이나 기울어짐 없이 안정적이고 정밀하게 업다운 테이블(2)의 높이 조절을 위한 도시되지 않은 다수의 업다운 유닛이 고정 설치되어 있다. 이 업다운 테이블(2)은 도시되지 않은 동력원에 연동해서 글라스 기판을 고정한 상태로 일정한 속도로 이송시켜 러빙롤러(9)에 의한 러빙이 이루어질 수 있도록 하는 한편 업다운 테이블(2)과 러빙롤러(9) 즉, 업다운 테이블(2)에 고정된 글라스 기판과 러빙롤러(9)와의 간극에 따라 러빙롤러(9)가 상하로 이동 가능하도록 구성되어 있다. 물론, 도시되지 않은 다수의 업다운 유닛에 의해 업다운 테이블(2)의 상하 높이가 조절되기도 한다.
글라스 기판을 이송하기 위한 업다운 테이블(2)과 함께 메인 프레임(1)의 상부에는 헤드 프레임(3)이 위치하고 있는데, 이 헤드 프레임(3)은 글라스 기판을 러빙하기 위한 러빙롤러(9)를 포함하는 각종 구성요소를 지지하기 위한 것으로서 메인 프레임(2)의 양측에 서 있는 두 개의 프레임과 이 프레임 위에 수평지게 결합되어 글라스 기판을 러빙하기 위한 러빙롤러(9)를 포함하는 각종 구성요소를 지지하게 되는 프레임으로 이루어져 있다.
상기 헤드 프레임(3)의 중앙부분에는 러빙롤러(9)의 각도를 조절하거나 기울기를 조절하는 등과 같은 러빙 조건을 설정하기 위한 헤드 로테이터(4)와 롤 헤드(4a)가 설치되어 있다. 도면에서 보이는 바와 같이 헤드 로테이터(4)와 롤 헤드(4a) 등은 여러 가지 구성요소로 이루어져 있으나, 그 구체적인 설명은 생략한 다.
상기 롤 헤드(4a)의 하단부에는 롤 프레임(11)이 업다운 테이블(2)의 진행방향과 직각으로 설치되어 있다. 물론, 롤 프레임(11)의 각도는 위에서 설명한 바와 같이 헤드 로테이터(4)와 롤 헤드(4a)를 구동시켜 러빙롤러(9)의 각도와 함께 필요에 따라 언제든지 바꿀 수도 있다.
상기 롤 프레임(11)의 양측 하단부에는 스핀들(7)을 회전 가능하게 지지하기 위한 가동 및 고정 스핀들 지지장치(12a)(12b)가 설치되어 있고, 이 가동 및 고정 스핀들 지지장치(12a)(12b)에는 스핀들(7)이 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 있다. 또한 두 개의 스핀들(7)은 글라스 기판을 실질적으로 러빙하게 되는 러빙롤러(9) 양단의 플랜지(8)와 분리 결합되면서 러빙롤러(9)를 지지하는 역할을 한다.
상기 가동 스핀들 지지장치(12a)는 도면에서는 구체적으로 도시하지 않았으나, 롤 프레임(11)의 하단부에 러빙롤러(9)의 결합방향을 따라 이동 가능하도록 설치되어 있고, 이 가동 스핀들 지지장치(12a)가 설치된 롤 프레임(11) 상단부에는 가동 스핀들 지지장치(12a)를 러빙롤러(9)의 길이방향으로 필요에 따라 이동시키기 위한 실린더(6)가 설치되어 있다.
또한 고정 스핀들 지지장치(12b)는 단순히 스핀들(7)과 이에 연결된 축이 회전가능하도록 지지하는 가동 스핀들 지지장치(12a)와는 달리 러빙롤러(9)를 회전시키기 위한 동력을 전달하는 역할도 하는 것으로서 동력과의 연결을 위한 풀리는 갖는다. 이 풀리에는 롤 프레임(11)의 상부에 설치된 서보 모터(5)가 벨트(10)에 의 해 연결되어 있다.
위에서는 러빙롤러(9)를 장착하기 위해 하나의 가동 스핀들 지지장치(12a)만이 이동하는 것을 실시 예로 설명하였으나, 이는 러빙롤러(9)의 길이가 동일하거나 차이가 크지 않은 경우에는 적절하나, 러빙롤러(9)의 길이차이가 큰 경우에는 실린더(6)에 의해 이동시킬 수 있는 가동 스핀들 지지장치(12a)의 이동거리에 한계가 있으므로 위에서 설명한 바와 같이 가동 스핀들 지지장치(12a)를 이동시킴과 동시에 고정 스핀들 지지장치(12b) 역시 이동시켜 길이차이가 큰 다수의 러빙롤러도 손쉽게 교환해서 장착할 수 있다.
즉, 다른 실시예에서는 롤 프레임(11)의 하단부에 고정 스핀들 지지장치(12b)가 러빙롤러(9)의 결합방향을 따라 이동 가능하도록 고정 스핀들 지지장치(12b)를 설치하고, 이 고정 스핀들 지지장치(12b)가 설치된 다른 편의 롤 프레임(11) 상단부에는 고정 스핀들 지지장치(12b)를 러빙롤러(9)의 길이방향으로 필요에 따라 이동시킬 수 있는 실린더를 설치하므로 대형화되어 가는 추세에 있는 글라스 기판을 러빙(rubbing)하기 위한 길이차이가 큰 다양한 러빙롤러를 스핀들에 쉽게 장착할 수 있다.
여기서, 고정 스핀들 지지장치(12b)가 도시되지 않은 실린더나 기타 동력에 의해 러빙롤러(9)의 길이방향으로 이동되는 경우, 스핀들 지지장치(12b)에 동력을 전달하는 서보 모터(5) 역시 고정 스핀들 지지장치(12b)와 함께 도시되지 않은 실린더나 기타의 동력에 의해 러빙롤러(9)의 길이방향으로 이동될 수 있어야 함은 당연하다.
도13은 러빙하고자 하는 글라스 기판과 러빙롤러(9)가 일정한 간극을 유지할 수 있도록 업다운 테이블(2)을 업다운 시키기 위한 업다운 유닛(13)의 배치상태를 보인 것으로서 업다운 테이블(2)의 높이를 안정적이고도 정밀하게 조절하기 위한 4개의 업다운 유닛(13)이 업다운 테이블(2)의 여러 곳 즉, 업다운 테이블(2)의 대각선상을 지지할 수 있도록 업다운 테이블(2)의 중심으로부터 일정거리 떨어진 업다운 테이블(2)의 대각선상의 4곳에 각각 설치되어 있다.
다시 말해, 업다운 테이블(2)을 업다운 시키기 위한 4개의 업다운 유닛(13)이 도1에서와 같이 업다운 테이블(2)의 4곳을 지지하면서 업다운 테이블(2)의 업다운을 위한 힘을 업다운 테이블(2)의 저면 전체에 분산시킴으로써 업다운 테이블(2)이 휘거나 기울어지지 않을뿐더러 업다운 유닛(13)을 구성하는 서보 모터(23)에도 과부하가 걸리지 않는다.
도14 내지 도15는 업다운 테이블(2)과 이송 테이블(18) 위에 고정 배치되어 업다운 테이블(2)을 지지함과 동시에 업다운 시키는 4개의 업다운 유닛(13)의 결합상태를 보인 것으로서 업다운 테이블(2)은 가장 하부에 위치해서 업다운 유닛(13)과 직접적으로 결합되는 업다운 베이스(17)를 포함해서 상부 플레이트(16)와 진공 테이블(15) 및 세라믹 테이블(14) 등이 순차적으로 결합된 구조를 갖는다.
여기서, 가장 하부에 위치한 업다운 베이스(17)는 업다운 유닛(13)으로부터 가해지는 힘을 분산시킬 수 있도록 상판(22)과 하판(19)이 판 형상의 다수의 리브(20)들에 의해 일체형으로 연결되어 있고, 리브(20)들 사이에는 업다운 베이스(17)의 중량을 최소화하기 위해 많은 부분이 공간(21)으로 남겨져 있다. 특히, 상판(22)보다 하판(19)이 좁게 설계되고 상판(22)과 하판(19)의 외곽은 경사진 판 형상의 리브(20)들이 연결하고 있어 업다운 베이스(17)의 중량을 최소화하면서도 업다운 유닛(13)으로부터 전달되는 힘을 최대한으로 분산시켜 상부 플레이트(16)나 진공 테이블(14) 및 세라믹 테이블(14)에 전달할 수 있다.
뿐만 아니라, 업다운 베이스(17) 즉, 상판(22)과 하판(19) 그리고 상판(22)과 하판(19)을 연결해 주는 다수의 리브(20)들이 주물 등에 의해 일체형으로 가공되므로 상판(22)과 하판(19) 그리고 다수의 리브(20)들을 결합하는 과정이나 사용하는 중에 발생할 수 있는 오차를 최소한으로 줄일 수 있다.
상기 진공 테이블(15)은 세라믹 테이블(14)에 안착된 글라스 기판을 흡착해서 고정하는 테이블로서 도시되지 않은 진공발생수단과 연결되어 있다. 또한, 세라믹 테이블(14)은 글라스 기판의 손상을 방지하면서 업다운 테이블(2)과 글라스 기판 사이에 틈이 발생하지 않도록 하는 역할을 한다.
또한, 이송 테이블(18)과 업다운 테이블(2) 사이에 위치한 4개의 업다운 유닛(13)은 업다운 테이블(2)을 업다운 시키기 위해 8 내지 12도 경사도로 미끄러지는 LM 레일(30)과 이와 한 쌍을 이루는 LM 레일 가이드(29)를 포함하는 것으로서, 이송 테이블(18) 위에 LM 레일(32)이 깔려 있고, 이에 LM 레일(32)을 따라 이동되는 LM 레일 가이드(31)가 결합되어 있으며, 이 LM 레일 가이드(31)의 상부에는 하부 지지대(28)가 결합되어 있다.
상기 하부 지지대(28)의 상부에는 LM 레일(30)이 8 내지 12도 경사지게 결합되고 있고, 이에 LM 레일(30)을 따라 이동되는 LM 레일 가이드(29)가 결합되어 있 으며, 이 LM 레일 가이드(29)의 상부에는 업다운 테이블(2) 즉, 업다운 베이스(17)를 지지하는 상부 지지대(28)가 결합되어 있다.
여기서, LM 레일(32)(30)과 이와 한 쌍을 이루는 LM 레일 가이드(31)(29)가 간격간격을 두고 나란히 배치된 두 개의 LM 레일과 LM 레일 가이드로 이루어져 있기 때문에 업다운 테이블(2)을 업다운 시키기 위한 LM 레일(32)(30)과 LM 레일 가이드(31)(29)의 슬라이딩 동작이 부드럽게 이루어진다.
이송 테이블(18)의 상부에는 업다운 테이블(2)을 업다운 시키기 위한 동력원으로 사용되는 서보 모터(23)와 이 서보 모터(23)의 회전속도를 3/1정도로 감속시키기 위한 감속기(24)가 설치되어 있고, 이 감속기(24)에 연동되는 봉 형상의 볼 스크루(25)가 하부 지지대(28)에 고정된 볼 스크루 너트(26)와 별도의 지지축에 회전 가능하도록 나사 결합되어 있으므로 서보 모터(23)의 회전력이 감속기(24)와 볼 스크루(25)를 거쳐 볼 스크루 너트(26)에 전달되면서 볼 스크루 너트(26)와 이에 결합된 하부 지지대(28)가 수평방향으로의 직선운동을 한다.
따라서 도16 내지 도17에서와 같이 하부 지지대(28) 상부에 위치한 LM 레일(30)이 수평방향으로의 직선운동을 하면서 상부 지지대(27)의 LM 레일 가이드(29)를 밀어올리거나 끌어내리므로 관리자는 업다운 테이블(2)의 높이를 높이거나 낮출 수 있다.
먼저, 업다운 테이블(2)을 다운시킬 때의 업다운 유닛(13)의 동작을 보면, 서보 모터(23)의 회전력은 감속기(24)에 의해 회전속도가 1/3 정도로 감속된 후 볼 스크루(25)에 전달되어 볼 스크루(25)를 회전시키게 된다.
볼 스크루(25)의 회전으로 이에 결합된 볼 스크루 너트(26)가 후진 즉, 도18에서 도19로 되는 과정에서 LM 레일(30)과 LM 레일 가이드(29)가 슬라이딩되면서 상부 지지대(27)의 높이가 낮아지므로 상부 지지대(27)가 지지하고 있는 업다운 테이블(2)의 높이 역시 낮아지게 된다.
다음으로, 다운 테이블(2)을 업시킬 때의 업다운 유닛(13)의 동작을 보면, 서보 모터(23)의 회전력은 감속기(24)에 의해 회전속도가 1/3 정도로 감속된 후 볼 스크루(25)에 전달되어 볼 스크루(25)를 회전시키게 된다.
볼 스크루(25)의 회전으로 이에 결합된 볼 스크루 너트(26)가 전진 즉, 도19에서 도18로 되는 과정에서 LM 레일(30)과 LM 레일 가이드(29)가 슬라이딩되면서 상부 지지대(27)의 높이가 높아지므로 상부 지지대(27)가 지지하고 있는 업다운 테이블(2)의 높이 역시 높아지게 된다.
특히, 4개의 유닛(13)이 업다운 테이블(2) 저면의 4곳을 지지하고 있고 LM 레일(30)과 이를 타고 슬라이딩되는 LM 레일 가이드(29)가 10도 정도의 완만한 경사각을 가지므로 업다운 테이블(2)을 업다운 시키기 위한 서보 모터(23)의 동력이 업다운 테이블(2) 저면 전체에 고르게 분산되어 업다운 테이블(2)의 업다운에도 불구하고 업다운 테이블(2)이 휘거나 기울어지지 않을뿐더러 서보 모터(23)에 과부하가 걸리지 않는다.
따라서 본 발명에 의하면, 업다운 테이블의 저면 중앙에 위치한 업다운 유닛으로 중량의 업다운 테이블이 업다운 되도록 하던 종래기술과는 달리 본 발명은 업 다운 테이블 저면에 여러 개의 업다운 유닛을 설치하여 업다운 테이블을 업다운 시킴으로써 러빙작업을 위한 글라스 기판을 이송하는 중량의 업다운 테이블의 휨 현상을 줄이고 안정적이기도 정밀하게 업다운 시켜 러빙롤러와 업다운 테이블에 안착된 글라스 기판이 수평상태를 유지할 수 있는 효과가 있다.
Claims (7)
- 메인 프레임의 상부에 위치한 헤드 프레임의 중앙에는 헤드 로테이터가 회전 가능하도록 결합되고, 상기 헤드 로테이터의 하부에는 롤 헤드에 의해 러빙롤러를 지지하기 위한 롤 프레임이 결합되며, 상기 롤 프레임의 양측 하단부에 위치한 스핀들 지지장치에 회전가능하도록 결합된 스핀들이 러빙롤러 양단의 롤 플랜지와 결합되어 서보 모터로부터 동력을 전달받아 러빙롤러가 회전가능하도로 결합되며, 상기 러빙롤러의 하부로 러빙하고자 하는 글라스 기판을 이송하는 업다운 테이블의 하부에는 업다운 테이블의 중심으로 일정거리 떨어진 업다운 테이블 저면의 대각선상을 지지하면서 업다운 테이블을 업다운 시킬 수 있는 다수의 업다운 유닛이 고정 배치된 것으로서,상기 업다운 유닛은 이송 테이블 위에 깔린 LM 레일 위에 LM 레일을 타고 이동되는 LM 레일 가이드가 결합되고, 상기 LM 레일 가이드 상부에 판 형상의 하부 지지대가 수직 결합되며, 상기 하부 지지대 상부에 경사지게 위치한 LM 레일과 상기 업다운 테이블을 지지하는 판 형상의 상부 지지대 하부의 LM 레일 가이드가 경사지게 결합되며, 상기 이송 테이블 위에 설치된 서보 모터의 회전력이 감속기와 볼 스크루를 통해 상기 하부 지지대에 고정된 볼 스크루 너트에 전달되어 상기 하부 지지대를 수평방향으로 직선운동시켜 경사지게 배치된 LM 레일과 LM 레일 가이드가 서로 반대방향으로 슬라이딩되면서 업다운 테이블을 업다운 시킬 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 러빙장치에서의 테이블 업다운을 위한 장치.
- 제1항에 있어서,상기 업다운 테이블은 업다운 베이스와 상부 플레이트, 진공 테이블 및 세라믹 테이블의 순차적으로 적층된 구조를 가지는 것으로서, 상기 업다운 베이스는 상판과 하판이 다수개의 판 형상의 리브들로 연결되고, 상기 리드들 사이에는 공간들이 형성된 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 러빙장치에서의 테이블 업다운을 위한 장치.
- 제2항에 있어서,상기 업다운 베이스의 상판과 하판 그리고 상기 상판과 하판을 연결해 주는 다수의 리브들이 일체형으로 성형되는 것을 특징으로 하는 러빙장치에서의 테이블 업다운을 위한 장치.
- 제2항에 있어서,상기 업다운 베이스의 상판은 하판보다 넓은 면적을 가지며, 상기 상판과 하판의 외곽은 아래로 내려갈수록 좁아지는 경사진 리브들에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 러빙장치에서의 테이블 업다운을 위한 장치.
- 제1항에 있어서,상기 업다운 테이블을 지지함과 동시에 업다운 시킬 수 있도록 상기 이송 테 이블 위에 배치된 4개의 업다운 유닛은 상기 업다운 테이블의 중앙을 향하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 러빙장치에서의 테이블 업다운을 위한 장치.
- 제1항에 있어서,상기 업다운 테이블을 업다운 시키기 위해 경사지게 설치된 상기 업다운 유닛의 LM 레일과 이와 한 쌍을 이루는 LM 레일 가이드는 일정간격을 두고 나란히 배치된 2개의 LM 레일과 LM 레일 가이드로 이루어지는 것을 특징으로 하는 러빙장치에서의 테이블 업다운을 위한 장치.
- 제1항에 있어서,상기 서보 모터의 회전력을 전달받아 상기 업다운 테이블을 업다운 시키는 상기 한 쌍의 LM 레일과 LM 레일 가이드의 경사각이 8 내지 12도인 것을 특징으로 하는 러빙장치에서의 테이블 업다운을 위한 장치.
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101246851B1 (ko) | 2009-11-12 | 2013-03-25 | 주식회사 신성에프에이 | 스태커 로봇 |
KR101278295B1 (ko) | 2011-06-14 | 2013-06-24 | 하이텍 주식회사 | 승강장치 |
CN115026621A (zh) * | 2022-07-26 | 2022-09-09 | 北京慧摩森电子系统技术有限公司 | 一种加工机床、三自由度自动运载装置及其控制方法 |
KR102691295B1 (ko) * | 2022-09-15 | 2024-08-05 | 박은정 | 3d 조절 방식의 부품 마운터 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05252318A (ja) * | 1992-03-06 | 1993-09-28 | Smk Corp | 公衆電話機のidカードによる通話方法 |
KR20060017594A (ko) * | 2003-04-28 | 2006-02-24 | 톰슨 라이센싱 | 안전한 무선 랜 액세스 기술 |
-
2006
- 2006-09-26 KR KR1020060093203A patent/KR100676683B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05252318A (ja) * | 1992-03-06 | 1993-09-28 | Smk Corp | 公衆電話機のidカードによる通話方法 |
KR20060017594A (ko) * | 2003-04-28 | 2006-02-24 | 톰슨 라이센싱 | 안전한 무선 랜 액세스 기술 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
10-2006-17594 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101246851B1 (ko) | 2009-11-12 | 2013-03-25 | 주식회사 신성에프에이 | 스태커 로봇 |
KR101278295B1 (ko) | 2011-06-14 | 2013-06-24 | 하이텍 주식회사 | 승강장치 |
CN115026621A (zh) * | 2022-07-26 | 2022-09-09 | 北京慧摩森电子系统技术有限公司 | 一种加工机床、三自由度自动运载装置及其控制方法 |
KR102691295B1 (ko) * | 2022-09-15 | 2024-08-05 | 박은정 | 3d 조절 방식의 부품 마운터 |
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