KR100667466B1 - 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템 - Google Patents
파이프의 광휘 비파괴 검사시스템 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체를 생산하기 위한 장비의 핵심적인 부품에 초순도의 가스공급을 하기 위한 파이프라인이나, 의약품, 식품 등의 운반파이프라인의 직관교정과, 또한 상기 직관교정을 거친 파이프가 비파괴검사에 의하여 합격품과 불량품의 분리와, 또한 파이프의 정해진 길이로의 절단과, 또한 파이프의 양쪽 끝단 내외면 끝단 면취와, 상기 면취가 완료된 파이프를 에어크리너로 클리링하여 포장대로 순차 추출하여 포장하는 일련의 과정이 자동으로 이루어지도록 한 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템에 관한 것으로, 파이프들에 수소가스가 공급되며, 소둔로를 거치면서 파이프내면에 공급되는 수소가스에 의하여 파이프의 내면이 거울과 같은 조도로 유지하도록 하는 반도체용 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템에 있어서, 직관 교정된 파이프(10)가 직관교정완료주행로울(110), 대기판(130), 대기로울(140)을 거쳐 검사진입로울(200)에 안내되어, 비파괴검사대(300)를 통과하도록 하고, 비파괴검사대(300)를 통과한 파이프(10)는 검사완료로울(310)에서 불량품이동레버(320) 및 합격품이동레버(340)에 의하여 분리되고, 상기 합격품의 파이프(10)는 정척, 면취대기판(450)에서 왕복동로울(440)의 왕복이동에 의하여 파이프(10) 끝단이 정척으로 절단과 끝단의 면취가 이루어지고, 상기 면취된 파이프(10)가 이동로울(500)에 안내되어 에어크리너(600)에서 파이프(10)가 클리닝되고, 에어클리닝대기순차판(610)을 통하여 포장대(700)로 순차 추출될 수 있도록 되어 있다.
Description
도 1 은 본 발명의 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템의 검사방법의 블록도,
도 2 는 본 발명의 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템의 블록도,
도 3a,b,c,d 는 본 발명의 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템의 직관교정완료주행로울과 검사진입로울사이의 측면도,
도 4a,b 는 본 발명의 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템의 검사완료로울에서 불량품의 분리예를 나타낸 측면도,
도 5a,b 는 본 발명의 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템의 검사완료로울에서 불량품의 분리예를 나타낸 측면도,
도 6a,b 는 본 발명의 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템의 면취대기판에서 면취되는 예의 측면도,
도 7 a,b,c,d 는 본 발명의 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템의 에어크리닝대기순차판에서 파이프가 포장대로 추출되는 예의 측면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 실린더 2 : 로드
3 : 링크 4 : 승강편
10 : 파이프 100 : 직관교정기
110 : 직관교정완료주행로울 120 : 이동레버
130 : 대기판 140 : 대기로울
150 : 이동레버 200 : 검사진입로울
300 : 비파괴검사대 310 : 검사완료로울
320 : 불량품이동레버 330 : 불량품수거함
340 : 합격품이동레버 400 : 정척절단 및 면취기
410 : 안내판 420 : 안내홈
430 : 승강장치 440 : 왕복동로울
500 : 이동로울 600 : 에어크리너
610 : 에어클리닝대기순차편 700 : 포장대
본 발명은 초순도 가스를 공급하기 위한 금속관 및 접속관들의 내면을 광휘소둔에 의하여 내면조도가 Rmax로 1.0μm이하로 제작된 파이프를 검사하기 위한 그 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체를 생산하기 위한 장비의 핵심적인 부품에 초순도의 가스공급을 하기 위한 파이프라인이나, 의약품, 식품 등의 운반파이프라인의 직관교정과, 또한 상기 직관교정을 거친 파이프가 비파괴검사에 의하여 합격품과 불량품의 분리와, 또한 파이프의 정해진 길이로의 절단과, 또한 파이프의 양쪽 끝단 내외면 끝단 면취와, 상기 면취가 완료된 파이프를 에어크리너로 클리링하여 포장대로 순차 추출하여 포장하는 일련의 과정이 자동으로 이루어지도록 한 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체, 의약품, 식품등을 생산하기 위해 장비의 핵심적인 부품에 초순수가스 또는 원료 등을 공급하기 위해서는 공급라인에 배치된 이송관의 내면이 거울과 같은 조도로 연마가 되어 있어야 하고, 내면의 평활도에 있어서도 극히 높은 평활도를 유지하여야 공급되는 초순도가스나 원료등에 불순물이 섞여 들어가지 않게 된다.
따라서, 가스 및 원료를 공급하는 직관이나 각종의 접속관 파이프내면의 표면처리를 매우 정밀하게 처리되어야 하고 또한 후렉시블한 파이프를 얻을 수 있는 소둔처리를 행하여야 한다.
또한 상기 소둔처리된 파이프는 직관처리를 행하여야 하고 또한 파이프의 내외면의 거칠기 등을 광휘를 검사하여야 하고, 또한 검사가 완료된 파이프는 정해진 길이로 절단하고 또한 파이프의 양쪽 끝단을 면취 처리를 행하는 공정을 거쳐야 한다.
그리고, 면취 처리된 파이프는 최종적으로 내면을 클리닝하여 일체의 불순물이 잔류되는 것을 허락하면 안된다.
위와 같이 소둔처리된 파이프는 직관처리, 검사, 정척절단, 파이프의 내외면면취 및 에어크린 등의 일련의 공정들을 일일이 수공에 의하여 각 라인을 거쳐 행 하여지도록 되어 있기 때문에, 육안에 의한 검사에 의하여 불량품의 발생률이 높고 또한 각 라인의 이동시스템이 별도로 구비되어야 하고, 또한 각 라인의 이동 컨베이어에 의하여 행하여지도록 하는 등으로 생산성이 떨어지는 문제가 있다.
본 발명은 상기의 문제를 해소하기 위한 것으로, 본 발명은 소둔처리된 파이프가 로울교정장치를 통과하여 직관처리되고, 또한 직관처리된 파이프가 정렬하여 비파괴검사대를 통과하도록 하는 자동처리가 행하여지도록 하여, 상기 비파괴검사에 의하여 합격품과 불량품을 가려 분리하고, 또한 상기 비파괴검사가 완료된 파이프는 정해진 길이로 절단처리되고, 절단된 부위를 면취처리까지 완료되도록 하며, 또한 상기 절단, 면취처리된 파이프는 에어 클리닝에 의하여 파이프의 분순물을 완전히 제거한 후, 포장대에서 포장될 수 있도록 함을 목적으로 한다. 또한 본 발명은 파이프라인의 직관교정과, 또한 상기 직관교정을 거친 파이프가 비파괴검사에 의하여 합격품과 불량품의 분리와, 또한 파이프의 정해진 길이로의 절단과, 또한 파이프의 양쪽 끝단 내외면 끝단 면취와, 상기 면취가 완료된 파이프를 에어크리너로 클리링하여 포장대로 공급하여 포장하여 출하하는 일련의 과정이 자동으로 이루어지도록 함을 목적으로 한다.
본 발명은 파이프들에 수소가스가 공급되며, 소둔로를 거치면서 파이프내면에 공급되는 수소가스에 의하여 파이프의 내면이 거울과 같은 조도로 유지하도록 하는 반도체용 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템에 있어서, 상기 직관교정된 파이프가 직관교정완료주행로울, 대기판, 대기로울을 거쳐 검사진입로울에 안내되어, 비파괴검사대를 통과하도록 하고, 비파괴검사대를 통과한 파이프는 검사완료로울에서 불량품이동레버 및 합격품이동레버에 의하여 분리되고, 상기 합격품의 파이프는 정척, 면취대기판에서 왕복동로울의 왕복이동에 의하여 파이프 끝단이 정척으로 절단과 끝단의 면취가 이루어지고, 상기 면취된 파이프가 이동로울에 안내되어 에어크리너에서 파이프가 클리닝되고, 에어클리닝대기순차판을 통하여 포장대로 순차 추출될 수 있도록 되어 있다.
삭제
본 발명의 구성 및 작용에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1 은 본 발명의 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템의 검사방법의 블록도이고, 또한 도 2 는 본 발명의 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템의 블록도이며, 또한 도 3a,b,c,d 는 본 발명의 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템의 직관교정완료주행로울과 검사진입로울사이의 측면도이고, 또한 도 4a,b 는 본 발명의 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템의 검사완료로울에서 불량품의 분리예를 나타낸 측면도이며, 또한 도 5a,b 는 본 발명의 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템의 검사완료로울에서 불량품의 분리예를 나타낸 측면도이고, 또한 도 6a,b 는 본 발명의 파이프의 광휘 비 파괴 검사시스템의 면취대기판에서 면취되는 예의 측면도이며, 또한 도 7 a,b,c,d 는 본 발명의 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템의 에어크리닝대기순차판에서 파이프가 포장대로 추출되는 예의 측면도이다.
1차 가공시스템에 의하여 파이프들에 수소가스가 공급되며, 소둔로를 거치면서 파이프내면에 공급되는 수소가스에 의하여 파이프의 내면이 거울과 같은 조도로 유지하도록 하는 반도체용 파이프가 소둔처리된다.
상기 소둔된 파이프는 검사 및 포장을 위하여 본 발명의 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템을 거치도록 한다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이 본 발명은 상기 파이프의 직관교정과, 상기 직관교정을 거친 파이프가 비파괴검사에 의하여 합격품과 불량품의 분리와, 파이프의 정해진 길이로의 절단과, 파이프의 양쪽 끝단 내외면 끝단 면취와, 상기 면취가 완료된 파이프를 에어크리너로 클리링하여 포장대로 순차 추출시키어 포장하여 출하하는 일련의 과정이 자동으로 이루어지도록 되어 있다.
특히, 본 발명은 소둔처리된 파이프(10)는 직관교정기(100)의 로울(도시생략)들을 거쳐 직관으로 교정된다.
상기 직관 교정된 파이프(10)는 도 3a와 같이 직관교정완료주행로울(110)에 안내되고, 상기 직관교정완료주행로울(110)에서 실린더(1), 로드(2) 및 링크(3)로 연결되는 이동레버(120)가 도 3b와 같이 작동함에 따라서 대기판(130)으로 이동한다.
대기판(130)에 얹혀져 있는 파이프(10)는 실린더(1)의 로드가 상승함에 따라 서 대기판(130)에서 대기로울(140)로 진입하게 되고, 또한 실린더(1), 로드(2) 및 링크(3)로 연결되는 이동레버(150)가 도 3d와 같이 작동함에 따라서 검사진입로울(200)에 얹혀지게 된다.
상기 검사진입로울(200)은 구동원(도시생략)에 의하여 구동되어, 파이프(10)를 도 2에서 비파괴검사대(300)를 통과하도록 하고, 비파괴검사대(300)를 통과한 파이프(10)는 검사완료로울(310)에서 불량품이동레버(320) 및 합격품이동레버(340)에 의하여 분리하게 된다.
상기 도 4a,b와 비파괴검사의 기준에 미치지 못하는 불량품의 파이프는 실린더(1), 로드(2) 및 링크(3)의 구동에 의하여 불량품수거함(330)에 수거되고, 또한 도 5a와 같이 상기 합격품의 파이프(10)는 실린더(1), 로드(2) 및 링크(3)의 구동에 의하여 정척,면취대기판(450)에 대기하게 되고, 또한 정척, 면취대기판(450)에서 파이프(10)는 실린더(1)의 로드의 상승에 의하여 안내판(410)의 안내홈(420)에 진입하게 된다.(도 5b참조)
상기 안내판(410)의 안내홈(420)에 진입된 파이프(10)는 승강장치(430)의 하강에 의해 도 6a와 같이 왕복동로울(440)이 구동원(도시생략)의 왕복이동에 의하여 파이프(10)를 왕복 주행하게 된다.
왕복동로울(440)에 의한 왕복주행은 도 2에서 양쪽의 정척절단 및 면취기(400)에 의하여 파이프(10)의 끝단이 정척(정해진 길이)으로 절단되고, 또한 절단된 파이프(10)의 끝단을 면취 처리하게 된다.
상기 파이프(10)끝단의 절단과 면취가 완료되면, 승강장치(430)가 왕복동로울(440)을 상승하고 이어서 도 6b와 같이 실린더(1)의 승강편(4)이 상승하여 파이프(10)가 이동로울(500)에 얹혀지게 한다. 상기 이동로울(500)은 구동원(도시생략)에 의하여 도 2에서 에어클리닝대기순차판(610)에 진입하여 에어크리너(600)에서 분출하는 에어에 의하여 파이프(10) 내경에 불순물을 최종적으로 제거한다.
상기 구동원들은 모터의 휠과 와이어 및 체인으로 연결되어 로울들을 구동시킨다. 이 로울들은 파이프를 안내할 수 있는 "V"자홈이 형성되어 있다.
위와 같이 에어크리너(600)에 의하여 클리닝된 파이프(10)는 에어클리닝대기순차판(610)에서 도 7a,b,c,d에 나타낸 바와 같이 구동원(도시생략)에 의하여 회전되는 캠(620)들과 캠구동편(630), 캠연결편(640)의 작동에 의하여 순차적으로 파이프(10)를 포장대(700)로 이동시키어 포장할 수 있게 한다.
상기 구동원은 모터와 링크축 등의 연결수단으로 연결되도록 하여 상기 캠(620)들이 구동될 수 있도록 한다.
이상과 같이, 본 발명은 반도체를 생산하기 위한 장비의 핵심적인 부품에 초순도의 가스공급을 하기 위한 파이프라인이나, 의약품, 식품 등의 운반파이프라인의 직관교정과, 또한 상기 직관교정을 거친 파이프가 비파괴검사에 의하여 합격품과 불량품의 분리와, 또한 파이프의 정해진 길이로의 절단과, 또한 파이프의 양쪽 끝단 내외면 끝단 면취와, 상기 면취가 완료된 파이프를 에어크리너로 클리링하여 포장대로 순차 추출하여 포장하는 일련의 과정이 자동으로 이루어지도록 한다.
Claims (2)
- 삭제
- 파이프들에 수소가스가 공급되며, 소둔로를 거치면서 파이프내면에 공급되는 수소가스에 의하여 파이프의 내면이 거울과 같은 조도로 유지하도록 하는 반도체용 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템에 있어서,직관 교정된 파이프(10)가 직관교정완료주행로울(110), 대기판(130), 대기로울(140)을 거쳐 검사진입로울(200)에 안내되어, 비파괴검사대(300)를 통과하도록 하고, 비파괴검사대(300)를 통과한 파이프(10)는 검사완료로울(310)에서 불량품이동레버(320) 및 합격품이동레버(340)에 의하여 분리되고, 상기 합격품의 파이프(10)는 정척, 면취대기판(450)에서 왕복동로울(440)의 왕복이동에 의하여 파이프(10) 끝단이 정척으로 절단과 끝단의 면취가 이루어지고, 상기 면취된 파이프(10)가 이동로울(500)에 안내되어 에어크리너(600)에서 파이프(10)가 클리닝되고, 에어클리닝대기순차판(610)을 통하여 포장대(700)로 순차 추출될 수 있도록 됨을 특징으로 하는 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템.
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|---|---|---|---|
| KR1020050073952A KR100667466B1 (ko) | 2005-08-11 | 2005-08-11 | 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1020050073952A KR100667466B1 (ko) | 2005-08-11 | 2005-08-11 | 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템 |
Publications (1)
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| KR100667466B1 true KR100667466B1 (ko) | 2007-01-10 |
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| KR1020050073952A KR100667466B1 (ko) | 2005-08-11 | 2005-08-11 | 파이프의 광휘 비파괴 검사시스템 |
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| KR (1) | KR100667466B1 (ko) |
Cited By (1)
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- 2005-08-11 KR KR1020050073952A patent/KR100667466B1/ko active IP Right Grant
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