KR100661652B1 - 기판검사장치 및 그의 제어방법 - Google Patents

기판검사장치 및 그의 제어방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100661652B1
KR100661652B1 KR1020050072222A KR20050072222A KR100661652B1 KR 100661652 B1 KR100661652 B1 KR 100661652B1 KR 1020050072222 A KR1020050072222 A KR 1020050072222A KR 20050072222 A KR20050072222 A KR 20050072222A KR 100661652 B1 KR100661652 B1 KR 100661652B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
inspection
substrate
unit
stage
supply
Prior art date
Application number
KR1020050072222A
Other languages
English (en)
Inventor
이수호
신정근
신영식
박선미
정화준
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020050072222A priority Critical patent/KR100661652B1/ko
Priority to CNB200610007917XA priority patent/CN100520423C/zh
Application granted granted Critical
Publication of KR100661652B1 publication Critical patent/KR100661652B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2601—Apparatus or methods therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명은, 기판검사장치 및 그의 제어방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판검사장치는, 상기 기판을 검사하는 검사부와, 상기 기판을 지지하는 검사스테이지와, 상기 검사스테이지를 이동시키는 스테이지구동부를 갖는 검사유닛과; 상기 검사유닛의 입구영역에 마련되며, 상기 검사유닛으로 상기 기판을 순차적으로 공급하도록 적어도 하나의 상기 기판을 지지하는 복수의 공급스테이지를 갖는 공급유닛과; 상기 검사유닛의 출구영역에 마련되며, 상기 검사유닛에서 순차적으로 배출되는 적어도 하나의 상기 기판을 지지하는 복수의 배출스테이지를 갖는 배출유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 비교적 신속하고 간단하며 안정적으로 기판을 검사할 수 있는 기판검사장치 및 그의 제어방법이 제공된다.

Description

기판검사장치 및 그의 제어방법{APPARATUS FOR INSPECTING SUBSTRATE AND CONTROL METHOD FOR THE SAME}
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 측단면도,
도 2a 내지 2d는 제1실시예에 따른 기판검사과정을 나타낸 측단면도,
도 3는 본 발명의 제2실시예에 따른 측단면도,
도 4a 내지 4d는 제2실시예에 따른 기판검사과정을 나타낸 측단면도,
도 5는 기판검사장치의 제어과정을 나타낸 흐름도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 기판검사장치 13 : 기판
20 : 검사유닛 21 : 검사부
23 : 검사스테이지 25 : 스테이지구동부
27 : 검사구동부
30 : 공급유닛 31 : 공급스테이지
35 : 공급유닛본체 37 : 공급챔버
39 : 공급유닛격벽 41 : 공급챔버도어
50 : 배출유닛 51 : 배출스테이지
55 : 배출유닛본체 57 : 배출챔버
59 : 배출유닛격벽 61 : 배출챔버도어
70 : 진공구동부 75 : 양방향스테이지
80 : 양방향지지유닛 81 : 양방향본체
83 : 양방향챔버 85 : 양방향격벽
87 : 양방향도어
S110 : 기판인입단계 S115 : 챔버진공형성단계
S120 : 기판공급단계 S125 : 기판검사단계
S130 : 기판배출단계 S135 : 검사스테이지하강단계
S140 : 검사부하강단계 S143 : 챔버완료확인단계
S145 : 챔버진공해제단계 S150 : 기판외부배출단계
본 발명은, 기판검사장치 및 그의 제어방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 비교적 신속하고 간단하며 안정적으로 기판을 검사할 수 있는 기판검사장치 및 그의 제어방법에 관한 것이다.
기판(Substrate)은 평판디스플레이(FDP : flat display panel), LCD 등에 사용된다. 기판은 소정의 기판본체에 신호선을 형성하여 집적회로, 저항기 및 스위치 등의 전자부품 또는 신호선 사이를 결합하여 상호 전기적으로 연결되게 하거나 신호가 전달되도록 한다. 이러한 기판은 식각공정, 증착공정 등의 반응공정을 거친다. 이러한 각종 공정을 거친 기판은 전기적결함(Electric defects) 여부를 검사하는 기판검사장치로 이송된다.
기판을 검사하기 위한 기판검사장치는 기판 검사의 정확도를 높이기 위해 소정의 진공압, 온도 등을 유지하며 기판을 검사하는 검사유닛과, 검사유닛의 유입구 및 유출구에 마련되어 검사유닛에 기판을 공급 및 배출하며 검사유닛과 같은 소정의 진공압 등의 공정분위기를 유지하는 공급유닛 및 배출유닛을 갖는다.
대한민국 공개특허공보 제10-2004-47062호(2004.06.05)에는 스테이지 방식을 갖는 다목적 광학검사용 디스플레이패널 이송장치가 개시되어 있다. 이러한 종래기술은 디스플레이 패널을 안내하는 가이드부와, 가이드부에 이송가능하게 장착되어 디스플레이 패널을 진공 흡착하는 그립핑부를 갖는다. 이러한 구성을 갖는 종래기술은 인라인 검사장비의 상부면 상에 이송장치의 간섭을 피하여 하면카메라 및 투과조명을 용이하게 설치할 수 있어 검사결과의 정확도를 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.
그런데, 이러한 종래기술에서는 패널과 같은 기판이 검사장치에 하나씩 이송되고 있고 최근의 기판들이 대형화되는 추세 및 기판의 검사가 소정의 진공 하에서 진행되어 이에 따른 진공의 형성과 해제시간 등을 고려하면, 기판이 검사장치로 이송되는 시간이 비교적 많이 소요되어 전체적으로 공정시간이 길어져 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은, 비교적 신속하고 간단하며 안정적으로 기판을 검 사할 수 있는 기판검사장치 및 그의 제어방법을 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판을 검사하기 위한 기판검사장치에 있어서,상기 기판을 검사하는 검사부와, 상기 기판을 지지하는 검사스테이지와, 상기 검사스테이지를 이동시키는 스테이지구동부를 갖는 검사유닛과; 상기 검사유닛의 입구영역에 마련되며, 상기 검사유닛으로 상기 기판을 순차적으로 공급하도록 적어도 하나의 상기 기판을 지지하는 복수의 공급스테이지를 갖는 공급유닛과; 상기 검사유닛의 출구영역에 마련되며, 상기 검사유닛에서 순차적으로 배출되는 적어도 하나의 상기 기판을 지지하는 복수의 배출스테이지를 갖는 배출유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치에 의하여 달성된다.
여기서, 상기 검사구동부는 상기 공급유닛의 공급스테이지의 출구측 및 상기 배출유닛의 배출스테이지의 입구측에 대응하여 승강되도록 마련될 수 있다.
또한, 상기 기판이 직선방향으로 지지되어 이송되도록 상기 공급유닛과 상기 검사유닛 및 상기 배출유닛의 입구측 및 출구측이 직선을 이루도록 배치할 수 있다.
또한, 상기 공급유닛 및 상기 배출유닛은, 적어도 하나 이상의 상기 기판을 지지하는 복수의 상기 공급스테이지 및 상기 배출스테이지를 수용하는 본체와; 복수의 상기 공급스테이지 및 상기 배출스테이지가 이격 수용되도록 상기 본체를 상하 층상으로 분리시키는 격벽에 의해 형성된 챔버와; 상기 챔버에 개폐가능하게 마련된 도어를 가질 수 있다.
또한, 상기 도어가 폐쇄되어 상기 챔버에 소정의 진공압이 유지되도록 마련된 진공구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 검사유닛은 상기 검사스테이지가 복수의 상기 공급스테이지의 출구측 및 상기 배출스테이지의 입구측 중 어느 하나에 대응하여 상기 기판을 순차적으로 공급 및 배출하도록 상기 검사구동부를 제어하는 제어부를 가질 수 있다.
또한, 상기 검사부는 상기 검사스테이지에 대응하여 승강되도록 마련된 검사구동부를 가질 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 목적은, 기판을 검사하기 위한 기판검사장치에 있어서, 상기 기판을 검사하는 검사부와, 상기 기판을 지지하는 검사스테이지와, 상기 검사부 및 상기 검사스테이지를 이동시키는 구동부를 갖는 검사유닛과; 상기 검사유닛의 입구영역에 마련되며, 상기 검사유닛에 상기 기판을 순차적으로 공급 및 배출하도록 적어도 하나의 상기 기판을 지지하는 복수의 양방향스테이지를 갖는 양방향지지유닛을 갖는 것을 특징을 하는 기판검사장치에 의하여 달성될 수 있다.
여기서, 상기 양방향지지유닛은 복수의 상기 양방향스테이지를 수용하는 본체와, 복수의 상기 양방향스테이지가 이격 수용되도록 상기 본체를 상하 층상으로 분리시키는 격벽에 의해 형성된 챔버를 가질 수 있다.
또한, 상기 구동부는 상기 양방향지지유닛의 출구측에 대응하여 승강하도록 마련된 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
한편, 본 발명의 목적은, 기판을 검사하기 위한 기판검사장치의 제어방법에 있어서, 상기 기판을 검사하는 검사부와, 검사하는 상기 기판을 지지하는 검사스테 이지와, 상기 검사스테이지를 이동시키는 검사구동부를 갖는 검사유닛을 마련하는 단계와; 상기 검사유닛의 입구영역에 적어도 하나의 상기 기판을 지지하는 복수의 공급스테이지를 마련하는 단계와; 상기 검사유닛의 출구영역에 상기 검사유닛에서 배출되는 상기 기판을 지지하는 복수의 공급스테이지를 마련하는 단계와; 복수의 상기 공급스테이지 중 상기 검사유닛의 입구측에 마련된 어느 하나가 상기 검사유닛으로 상기 기판을 공급하는 단계와; 상기 검사부에서 상기 기판을 검사하는 단계와; 복수의 상기 배출스테이지 중 상기 검사유닛의 출구측에 마련된 어느 하나로 상기 기판을 배출하는 단계와; 상기 기판이 상기 검사유닛으로부터 배출된 후 복수의 상기 공급스테이지 중 다른 하나에 대응하도록 상기 검사스테이지를 하강시키는 단계와; 복수의 상기 공급스테이지 중 상기 검사유닛의 입구측에 마련된 다른 하나가 상기 검사유닛으로 상기 기판을 공급하는 단계와; 상기 검사부에서 상기 기판을 검사하는 단계와; 복수의 상기 배출스테이지 중 상기 검사유닛의 출구측에 마련된 다른 하나로 상기 기판을 배출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치의 제어방법에 의하여 달성될 수 있다.
여기서, 적어도 하나 이상의 상기 기판을 지지하는 복수의 상기 공급스테이지 및 상기 배출스테이지를 상하 층상으로 수용하는 본체를 마련하는 단계와; 복수의 상기 공급스테이지 및 상기 배출스테이지가 이격 수용되도록 상기 본체를 상하 층상으로 분리하는 격벽에 의해 형성된 챔버를 마련하는 단계와; 상기 검사유닛 및 상기 챔버 중 적어도 하나에 소정의 진공압을 형성하여 유지하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 복수의 상기 챔버에 개폐가능한 도어를 마련하는 단계와; 복수의 상기 챔버 중 소정의 진공압이 해제된 상기 챔버의 도어를 개방하는 단계와; 상기 챔버 내부의 상기 공급스테이지로 상기 기판을 순차적으로 공급하는 단계와; 상기 챔버 내부의 상기 배출스테이지로부터 상기 기판을 순차적으로 배출하는 단계를 포함할 수 있다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예인 기판검사장치 및 그의 제어방법에 대하여 설명한다.
여러 실시예에 있어서 동일한 구성요소에 대하여는 동일한 참조번호를 부여하였으며, 동일한 구성요소에 대하여는 제1실시예에서 대표적으로 설명하고 다른 실시예에서는 생략될 수 있다.
본 발명은 기판검사장치(10) 및 그의 제어방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판검사장치(10)는, 도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(13)을 검사하는 검사부(21)와, 기판(13)을 지지하는 검사스테이지(23)와, 검사스테이지(23)를 이동시키는 스테이지구동부(25)를 갖는 검사유닛(20)과; 검사유닛(20)의 입구영역에 마련되며, 검사유닛(20)으로 기판(13)을 순차적으로 공급하도록 적어도 하나의 기판(13)을 지지하는 복수의 공급스테이지(31)를 갖는 공급유닛(30)과; 검사유닛(20)의 출구영역에 마련되며, 검사유닛(20)에서 순차적으로 배출되는 적어도 하나의 기판(13)을 지지하는 복수의 배출스테이지(51)를 갖는 배출유닛(50)을 포함한다. 또한, 기판검사장치(10)는 도어(41,61)가 폐쇄되어 챔버(37,57)에 소정의 진공압이 유지되도록 하는 진공구동부(70)를 갖는다.
기판검사장치(10)에서는 기판(13)이 이송 및 정지된 상태에서 전자빔으로 스캐닝하는 방식 등을 이용하여 기판(13) 상에 형성된 패턴 등의 불량여부가 검사된다. 또한, 기판검사장치(10)는 검사의 정확도를 향상시키기 위하여 공정분위기를 형성하여 소정의 진공압을 유지할 수 있다.
기판(13)은 평판디스플레이(FDP : flat display panel), LCD 등에 사용되며 식각공정, 증착공정 등의 반응공정을 거친다. 각종 공정을 거친 다양한 크기의 기판(13)은 불량여부를 검사하는 기판검사장치(10)로 이송된다.
검사유닛(20)은, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(13)을 검사하는 검사부(21)와, 기판(13)을 검사하도록 기판(13)을 지지하며 이송하는 검사스테이지(23)를 갖는다. 또한, 검사유닛(20)은 검사부(21) 및 검사스테이지(25)를 이동시키는 구동부(25,27)를 갖는다. 또한, 검사유닛(20)은 정확한 검사를 위하여 소정의 진공압을 형성하는 진공구동부(70)와 연결되어 진공을 유지할 수 있다. 또한, 검사유닛(20)은 기판(13)의 입구측 및 출구측에 각각 검사도어(미도시)를 가질 수 있다.
검사부(21)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(13)의 불량여부를 검사하며 전자빔으로 스캐닝하는 방식 등의 공지된 다양한 방식을 선택적으로 채용할 수 있다.
검사스테이지(23)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 검사유닛(20) 내에서 검사되는 기판(13)을 지지하여 이송한다. 또한, 검사스테이지(23)의 높이는 공급스테이지(31)의 출구측 및 배출스테이지(51)의 입구측에 대응하여 구동부(25,27)에 의해 조절된다. 또한, 검사스테이지(23)는 기판을 공급스테이지(31)에서 공급받아 배출스테이지(51)로 배출한다. 또한, 검사스테이지(23)는 후술할 공급스테이지(31)와 같은 롤러, 모터 등을 가질 수 있음은 물론이다.
구동부(25,27)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 공급스테이지(31)의 출구측 및 배출스테이지(51)의 입구측에 대응하여 검사스테이지(21)를 승강시킬 수 있다. 또한, 구동부(25,27)는 스테이지구동부(25) 및 검사구동부(27)를 가진다. 또한, 구동부(25,27)는 모터 등을 이용하여 검사스테이지(23)를 승강을 수 있으며, 검사스테이지(23)를 승강가능하게 하는 공지된 유압실린더 등을 선택적으로 채용할 수 있음은 물론이다. 또한 구동부(25,27)는 검사유닛(20)의 하부 및 상부와 결합되어 있다.
이에, 구동부(25,27)가 챔버(37,57)를 이송시키는 것보다 검사스테이지(23)를 승강시키는 것이 기판(13)을 순차적으로 간편하고 신속하며, 보다 안정적으로 이송할 수 있다.
이하에서는 공급유닛(30)과 배출유닛(50)에서는 상호 위치가 검사유닛(20)의 입구측 및 출구측으로 차이가 있으나, 상호 구성이 동일하므로 공급유닛(30)에 대해서 상세한 설명을 하고 배출유닛(50)에 대하여는 상세한 설명을 생략한다.
공급유닛(30)은, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 검사유닛(20)의 입구영역에 마련되어 검사유닛(20)으로 기판(13)을 순차적으로 공급하는 복수의 공급스테이지(31)를 가진다. 또한, 공급유닛(30)은 적어도 하나의 기판(13)을 지지하는 복수의 공급스테이지(31)를 상하 층상으로 수용하는 본체(35,55)를 가질 수 있다.
공급스테이지(31)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 공급유닛본체(35)에 기판(13)을 지지하며, 검사유닛(20)으로 기판(13)을 공급한다. 또한, 공급스테이지(31)는 복수 개로 마련되며, 상하로 분리된 상부 및 하부공급챔버(37a,37b)에 각각 복수 개로 마련되어 기판(13)의 공급을 원활하게 할 수 있다. 또한, 공급스테이지(31)는 구동부(25,27)에 의해 검사유닛(20)의 입구측의 검사스테이지(23)와 동일할 높이로 조절되어 순차적으로 기판(13)을 검사스테이지(23)로 원활하게 공급할 수 있다. 또한, 공급스테이지(31)는 실시예에서와 같이 각 공급챔버(37a,37b)에 이단으로 형성된 것뿐만 아니라 필요에 따라 삼단, 사단 등으로 형성될 수 있음은 물론이다. 또한, 공급스테이지(31)는 기판(13)을 지지하여 이송할 수 있도록 롤러(미도시)와, 롤러에 회전력을 주는 구동모터(미도시)와, 롤러와 구동모터를 연결시켜 주는 벨트나 체인과 같은 연결수단을 가질 수 있다.
본체(35,55)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 공급스테이지(31) 및 배출스테이지(51)를 수용할 수 있도록 마련되며, 공급유닛본체(35)와 배출유닛본체(55)를 갖는다. 또한, 본체(35,55)는 복수의 공급스테이지(31a,31b) 및 배출스테이지(51a,51b)가 이격 수용되도록 상하 층상으로 분리되는 격벽(39,59)으로 형성된 챔버(37a,37b,57a,57b)를 갖는다.
공급유닛본체(35)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 기판(13)을 지지하는 복수의 공급스테이지(31a,31b)를 수용한다. 또한, 공급유닛본체(35)는 복수의 공급스테이지(31a,31b)가 이격 수용되도록 상하 층상으로 분리되는 격벽(39,59)으로 형성된 상부챔버(37a,57a) 및 하부챔버(37b,57b)를 갖는다. 공급 유닛본체(35)의 하부에는 공급구동부(33)가 결합될 수 있다.
챔버(37,57)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 공급스테이지(31) 및 배출스테이지(51)를 이격 수용할 수 있도록 본체(35,55)를 상하 층상으로 분리하는 격벽(39,59)에 의해 형성된다.
공급챔버(37)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 공급스테이지(31a,31b)를 이격 수용할 수 있도록 공급유닛본체(35)를 상하 층상으로 분리하는 격벽(39)에 의해 상부공급챔버(37a) 및 하부공급챔버(37b)를 갖는다. 또한, 공급챔버(37)에는 기판(13)이 출입가능하며 개폐가능한 공급도어(41)가 마련되어 있다. 또한, 상부공급챔버(37a) 및 하부공급챔버(37b)는 검사유닛(20)의 소정의 진공압과 동일한 진동압을 유지할 수 있도록 진공구동부(70)와 연결되어 진공을 형성할 수 있다. 또한, 공급챔버(37)는 실시예와 같이 상하의 이층으로 형성된 것뿐만이 아니라 필요에 따라 삼층, 사층 등의 다양한 형태로 마련될 수 있음은 물론이다.
격벽(39,59)은, 도 1 및 도2에 도시된 바와 같이, 본체(35,55)를 상하로 분리하여 상부 및 하부챔버(37a 및 57a,37a 및 57b)를 갖는다.
이에, 격벽(39,59)으로 분리된 공급유닛본체(35,55)는 각각 별도의 작업을 진행할 수 있다. 즉, 상부공급챔버(37a)에서는 진공이 형성되어 기판(13)의 검사가 진행되며, 하부공급챔버(37b)에서는 기판(13)이 공급스테이지(31)로 공급될 수 있다.
도어(41,61)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 챔버(37,57)에 기판(13)을 출입시킬 수 있으며 개폐가능하다.
공급도어(41)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 공급챔버(37)에 기판(13)을 출입시킬 수 있으며 개폐가능하다. 또한, 공급도어(41)에는 챔버(37) 내에 소정의 진공압이 형성되거나 기판(13)이 출입 시 개폐될 수 있도록 제어하는 제어부(미도시)가 포함될 수 있다. 또한, 공급도어(41)는 개폐할 수 있는 유압실린더, 공압실린더 등을 선택적으로 채용할 수 있음은 물론이다. 또한, 공급도어(41)는 소정의 진공압이 형성될 수 있도록 챔버(37) 사이에 실링부재(미도시)를 포함할 수 있다.
배출스테이지(51)는 검사유닛(20)의 검사스테이지(23)에서 배출되는 기판(13)을 지지하며 배출유닛(51)의 외부로 기판(13)을 배출시킨다.
그리고, 공급스테이지(31)와 배출스테이지(51)는 기판(13)을 직선방향으로 지지하여 이송할 수 있도록 공급유닛(30)과 검사유닛(20) 및 배출유닛(50)의 입구측 및 출구측이 직선을 이루도록 배치한다.
이에, 공급스테이지(31) 및 배출스테이지는 검사유닛(20)의 검사스테이지(23)에 상호 대향되게 배치되어 기판(13)을 직선으로 이송할 수 있으므로 이송에 따른 시간을 줄이며, 방향전환에 따른 복잡한 구조를 없애 간단하며 신속한 이송을 할 수 있어 경제적인 비용도 줄일 수 있다.
진공구동부(70)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 챔버(37,57)의 도어(41,61)가 폐쇄된 상태에서 검사유닛(20) 및 공급챔버(37) 및 배출챔버(37)가 소정의 진공압을 동일하게 형성할 수 있도록 마련되어 있다. 또한, 진공구동부(70)에는 기판(13)이 소정의 공정을 완료하면 챔버(37,57)가 진공해제되도록 진공구동부(70) 를 제어하는 제어부가 마련될 수 있다. 또한, 필요에 따라 소정의 진공을 형성하기 위하여 공급챔버(37), 배출챔버(57) 및 검사유닛(20)에 각각 진공구동부(70)를 마련할 수 있다. 또한, 진공구동부(70)는 각각 챔버(37,57) 및 검사유닛(20)과 연결되는 배관, 관련밸브 등을 포함함은 물론이다.
제어부(미도시)는 복수의 공급스테이지(31) 및 배출스테이지(51) 중 어느 하나가 검사유닛(20)의 입구측 및 출구측에 대응하여 기판(13)을 순차적으로 공급 및 배출할 수 있도록 공급구동부(33) 및 배출구동부(53)를 제어할 수 있다. 또한, 제어부는 챔버(37,57) 내에 소정의 진공압이 형성되거나 기판(13)의 출입 시 개폐될 수 있도록 도어(41,61)를 제어할 수 있다.
이러한 구성에 의해, 본 발명에 따른 기판검사장치(10)의 작동과정을 도 2 및 도 5를 참조하여 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 검사유닛마련단계(미도시)에서는, 기판을 검사하며 지지하여 이송하기 위하여 기판(13)을 검사하는 검사부(21)와, 공급되는 기판(13)을 지지하는 검사스테이지(23)가 마련된다. 공급유닛 및 배출유닛마련단계(미도시)에서는, 순차적으로 기판(13)을 공급 및 배출하기 위하여 검사유닛(20)의 입구영역 및 출구영역에 적어도 하나의 기판(13)을 지지하는 복수의 스테이지(31,51)와, 복수의 스테이지(31,51)를 수용하는 본체(35,55)와, 본체(35,55)에 복수의 스테이지(31,51)가 이격 수용되도록 마련된 챔버(37,57)를 형성하는 격벽(39,59)이 마련된다.
우선 상부챔버(37a,57a)에서의 기판검사과정을 살펴본다.
기판인입단계(S110,S110')에서는, 복수의 공급스테이지(31)로 순차적으로 외 부에서 기판(13)을 인입시킨다. 이 때, 제어부는 공급챔버(37)에 마련된 공급챔버도어(41)를 개방되도록 제어한다.
이하에서 기호 S000은 상부챔버(37a,57a)의 검사과정를 표시하며, 기호 S000'는 하부챔버(37b,57b)의 검사과정을 나타낸다. 즉, S110은 상부챔버(37a)의 기판인입단계이며, S110'는 하부챔버(37b)의 기판인입단계이다.
진공형성단계(S115,S115')에서는 복수의 공급스테이지(31a)에 기판(13)이 인입된 후 챔버(37,57)의 도어(41,61)가 닫히면, 제어부(미도시)는 공급챔버(30) 및 배출챔버(50)에 검사유닛(20)과 같은 소정의 진공이 형성되도록 진공구동부(70)를 작동시킨다. 즉, 제어부에서는 상부챔버(37a,57a)의 도어(41a,41b,61a,61b)가 닫히면, 진공구동부(70)를 작동시켜 상부챔버(37a,57a) 각각에 소정의 진공압이 형성되도록 한다. 물론 이러한 진공형성단계(S115)에서는 하나의 진공구동부(70)를 이용하여 검사유닛(20)에도 소정의 진공이 형성되도록 할 수 있음은 물론이다.
기판공급단계(S120,S120S)에서는 복수의 공급스테이지(31) 중 검사유닛(20)의 입구측에 마련된 하나가 검사유닛(20)의 검사스테이지(23)로 기판(13)을 공급한다.
기판검사단계(S125,S125')에서는 공급스테이지(31,51)로부터 공급된 기판(13)을 검사스테이지(23)가 지지하여 검사부(21)가 기판(13)을 검사한다.
기판배출단계(S130,S130')에서는 배출스테이지(51) 중 검사유닛(20)의 출구측에 마련된 어느 하나로 검사된 기판(13)을 배출하며 배출된 기판(13)을 배출스테이지(51)가 지지한다.
공급스테이지 상승단계(S135,S135')에서는 검사유닛(20)에 기판(13)을 공급한 후 복수의 공급스테이지(31,51) 중 다른 하나가 검사유닛(20)의 입구측에 대응하도록 공급구동부(33)가 복수의 공급스테이지(31)를 상승시킨다.
배출스테이지 상승단계(S135,S135')에서는 검사유닛(20)으로부터 배출된 기판(13)이 복수의 배출스테이지(51) 중 어느 하나에 지지된 후 복수의 배출스테이지(51) 중 다른 하나가 검사유닛(20)의 출구측에 대응하도록 배출구동부(53)가 복수의 배출스테이지(51)를 상승시킨다.
챔버완료확인단계(S143,S143')에서는 상부챔버(37a,57a)의 공급스테이지(31)에 지지된 기판(13)이 모두 검사유닛(20)으로 공급되어 검사 및 배출이 완료되었는지 여부를 확인한다. 이에, 검사 및 배출이 완료되지 않은 경우에는 기판공급단계(S120)부터 상기 과정을 반복한다. 검사 및 배출이 완료된 경우에는 기판(13)을 공급완료한 상부챔버(37a,57b)와 기판(13)을 공급완료하지 않는 하부챔버(37b,57b)는 다른 과정을 거친다. 즉, 하부챔버(37b,57b)는 상기와 같은 과정을 반복하나, 상부챔버(37a,57a)는 다른 과정을 수행하므로, 이하에서는 상부챔버(37a,57a)의 작동과정만 설명하도록 한다.
챔버진공해제단계(S145,S145')에서는 제어부는 진공구동부(70)의 작동을 정지시키며, 상부챔버(37a,57a)의 도어(41a,61b)가 개방되도록 제어한다. 이에, 상부챔버(37a,57a)는 진공이 해제된다.
기판인입단계(S110')에서는 복수의 상부공급스테이지(31a)로 순차적으로 외부에서 기판(13)이 인입된다.
기판외부배출단계(S150)에서는 상부배출스테이지(51a)에서 기판(13)이 외부로 순차적으로 배출된다.
그리고, 하부챔버(37b,57b)에서 기판의 검사 및 배출이 완료된 경우에 제어부에서는 구동부(33,53)를 작동시켜 복수의 스테이지(31,51)가 출발위치로 하강되도록 하여 전술한 단계가 반복되도록 제어한다.
또한, 본 발명의 제2실시예에 따른 기판검사장치(10)는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 기판(13)을 검사하는 검사부(21)와, 기판(13)을 지지하는 검사스테이지(23)와, 검사부(21) 및 검사스테이지(23)를 이동시키는 구동부(25,27)를 갖는 검사유닛(20)과; 검사유닛(20)의 입구영역에 마련되며, 검사유닛(20)에 기판(13)을 순차적으로 공급 및 배출하도록 적어도 하나의 기판(13)을 지지하는 복수의 양방향스테이지(75)를 갖는 양방향지지유닛(80)을 갖는다.
제2실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대하여만 설명한다. 동일한 구성에 대하여는 동일한 참조번호를 부여하였다. 제2실시예에서는 명칭만 다를 뿐 구성은 동일하므로 설명를 생략하고 상이한 구성에 대하여만 상세하게 설명한다.
양방향스테이지(75)는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 검사유닛(20)의 입구영역에 마련되어 검사유닛(20)에 기판(13)을 순차적으로 공급 및 배출하도록 적어도 하나의 기판(13)을 지지하며 복수로 마련될 수 있다. 또한, 양방향스테이지(75)에서는 제1실시예와 달리 정역으로 회전되어 기판(13)이 공급 및 배출되며, 기판(13)의 검사가 완료된 후 외부로 기판(13)이 배출되고 외부로부터 기판(13)이 인입된다. 또한, 양방향스테이지(75)는 제1실시예의 공급스테이지(31)와 같이, 롤러, 구동모터 등을 포함함은 물론이다.
이러한 구성에 의해, 본 발명에 따른 기판검사장치(10)의 작동과정을 도 4를 참조하여 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 복수의 양방향스테이지(75)로 순차적으로 외부에서 기판(13)을 인입시킨다. 이 때, 제어부는 양방향챔버(83)에 마련된 양방향도어(87)를 개방되도록 제어한다. 그런 후, 복수의 양방향스테이지(75)에 기판(13)이 인입된 후 양방향도어(87)가 닫히면, 제어부(미도시)는 상부양방향챔버(83a)에 검사유닛(20)과 같은 소정의 진공이 형성되도록 진공구동부(70)를 작동시킨다. 즉, 제어부에서는 상부양방향챔버(83a)의 양방향도어(87a)가 닫히면, 진공구동부(70)를 작동시켜 상부양방향챔버(83a)에 소정의 진공압이 형성되도록 한다. 물론 이러한 진공형성은 하나의 진공구동부(70)를 이용하여 검사유닛(20)에도 소정의 진공이 형성되도록 할 수 있음은 물론이다. 그런 후, 복수의 양방향스테이지(75) 중 검사유닛(20)의 입구측에 마련된 하나가 검사유닛(20)의 검사스테이지(23)로 기판(13)을 공급한다. 그런 후, 양방향스테이지(75)로부터 공급된 기판(13)을 검사스테이지(23)가 지지하여 검사부(21)가 기판(13)을 검사한다. 그런 후, 양방향스테이지(75) 중 검사유닛(20)으로 기판(13)을 공급한 어느 하나로 검사된 기판(13)을 배출하며 배출된 기판(13)을 양방향스테이지(75)가 지지한다. 그런 후, 제어부에서는 복수의 양방향스테이지(75) 중 다른 하나에 대응하여 검사스테이지(23)가 하강되도록 스테이지구동부(25)를 제어한다. 그런 후, 제어부는 검사스테이지(23)와 소정의 거리를 유지하여 기판(13)을 검사할 수 있도록 검사부(21)가 하강되도록 검사구동부(27)를 제어한다. 그런 후, 상부양방향챔버(83a)의 양방향스테이지(75)에 지지된 기판(13)이 모두 검사유닛(20)으로 공급되어 검사 및 배출이 완료되었는지 여부를 확인한다. 이에, 검사 및 배출이 완료되지 않은 경우에는 기판공급, 검사 및 배출의 상기 과정을 반복한다. 검사 및 배출이 완료된 경우에는 기판(13)을 공급완료한 상부양방향챔버(83a)와 기판(13)을 공급완료하지 않는 하부양방향챔버(83b)는 다른 과정을 거친다. 즉, 하부양방향챔버(83b)는 상기와 같은 과정을 반복하나, 상부양방향챔버(83a)는 다른 과정을 수행하므로, 이하에서는 상부양방향챔버(83a)의 작동과정만 설명하도록 한다.
제어부는 진공구동부(70)의 작동을 정지시키며, 상부양방향챔버(83a)의 양방향도어(87a)가 개방되도록 제어한다. 이에, 상부양방향챔버(83a)에는 진공이 해제된다. 그런 후, 복수의 상부양방향스테이지(31a)에서 외부로 기판(13)이 순차적으로 배출된다. 그런 후, 상부양방향스테이지(51a)로 외부에서 기판(13)이 인입된다.
그리고, 하부양방향챔버(83b)에서 기판의 검사 및 배출이 완료된 경우에 제어부에서는 구동부(25,27)를 작동시켜 복수의 양방향스테이지(75) 및 검사부(21)가 출발위치로 상승되도록 하여 전술한 단계가 반복되도록 제어한다.
이에, 본 발명에 따르면, 복수의 공급스테이지 및 배출스테이지를 수용하는 복수의 챔버가 마련되어 각 챔버가 독립적인 공정을 수행할 수 있으며, 검사유닛이 공급 및 배출스테이지에 대응하여 승강되도록 마련되어 기판을 신속하고 간단하며 안정적으로 이송할 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 검사유닛이 승강되도록 마련되어 기판검사장치의 구조가 복잡하지 않으며 경제적 비용을 감소시킬 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 비교적 신속하고 간단하며 안정적으로 기판을 검사할 수 있는 기판검사장치 및 그의 제어방법이 제공된다.

Claims (13)

  1. 기판을 검사하기 위한 기판검사장치에 있어서,
    상기 기판을 검사하는 검사부와, 상기 기판을 지지하는 검사스테이지와, 상기 검사부와 상기 검사스테이지를 이동시키는 구동부를 갖는 검사유닛과;
    상기 검사유닛의 입구영역에 마련되며, 상기 검사유닛으로 상기 기판을 순차적으로 공급하도록 적어도 하나의 상기 기판을 지지하는 복수의 공급스테이지를 갖는 공급유닛과;
    상기 검사유닛의 출구영역에 마련되며, 상기 검사유닛에서 순차적으로 배출되는 적어도 하나의 상기 기판을 지지하는 복수의 배출스테이지를 갖는 배출유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 공급유닛의 공급스테이지의 출구측 및 상기 배출유닛의 배출스테이지의 입구측에 대응하여 상기 검사스테이지를 승강 가능하게 마련된 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기판이 직선방향으로 지지되어 이송되도록 상기 공급유닛과 상기 검사유닛 및 상기 배출유닛의 입구측 및 출구측이 직선을 이루도록 배치하는 것을 특징 으로 하는 기판검사장치.
  4. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    상기 공급유닛 및 상기 배출유닛은,
    적어도 하나 이상의 상기 기판을 지지하는 복수의 상기 공급스테이지 및 상기 배출스테이지를 수용하는 본체와;
    복수의 상기 공급스테이지 및 상기 배출스테이지가 이격 수용되도록 상기 본체를 상하 층상으로 분리시키는 격벽에 의해 형성된 챔버와;
    상기 챔버에 개폐가능하게 마련된 도어를 갖는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 도어가 폐쇄되어 상기 챔버에 소정의 진공압이 유지되도록 마련된 진공구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 검사유닛은 상기 검사스테이지가 복수의 상기 공급스테이지의 출구측 및 상기 배출스테이지의 입구측 중 어느 하나에 대응하여 상기 기판을 순차적으로 공급 및 배출하도록 상기 구동부를 제어하는 제어부를 갖는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 검사스테이지를 승강시키는 스테이지구동부와, 상기 검사스테이지에 대응하여 상기 검사부를 승강 가능하게 마련된 검사구동부를 갖는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  8. 기판을 검사하기 위한 기판검사장치에 있어서,
    상기 기판을 검사하는 검사부와, 상기 기판을 지지하는 검사스테이지와, 상기 검사부 및 상기 검사스테이지를 이동시키는 구동부를 갖는 검사유닛과;
    상기 검사유닛의 입구영역에 마련되며, 상기 검사유닛에 상기 기판을 순차적으로 공급 및 배출하도록 적어도 하나의 상기 기판을 지지하는 복수의 양방향스테이지를 갖는 양방향지지유닛을 갖는 것을 특징을 하는 기판검사장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 양방향지지유닛은 복수의 상기 양방향스테이지를 수용하는 본체와, 복수의 상기 양방향스테이지가 이격 수용되도록 상기 본체를 상하 층상으로 분리시키는 격벽에 의해 형성된 챔버를 갖는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 양방향지지유닛의 출구측에 대응하여 승강하도록 마련된 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
  11. 기판을 검사하기 위한 기판검사장치의 제어방법에 있어서,
    상기 기판을 검사하는 검사부와, 검사하는 상기 기판을 지지하는 검사스테이지와, 상기 검사스테이지를 이동시키는 검사구동부를 갖는 검사유닛을 마련하는 단계와;
    상기 검사유닛의 입구영역에 적어도 하나의 상기 기판을 지지하는 복수의 공급스테이지를 마련하는 단계와;
    상기 검사유닛의 출구영역에 상기 검사유닛에서 배출되는 상기 기판을 지지하는 복수의 공급스테이지를 마련하는 단계와;
    복수의 상기 공급스테이지 중 상기 검사유닛의 입구측에 마련된 어느 하나가 상기 검사유닛으로 상기 기판을 공급하는 단계와;
    상기 검사부에서 상기 기판을 검사하는 단계와;
    복수의 상기 배출스테이지 중 상기 검사유닛의 출구측에 마련된 어느 하나로 상기 기판을 배출하는 단계와;
    상기 기판이 상기 검사유닛으로부터 배출된 후 복수의 상기 공급스테이지 중 다른 하나에 대응하도록 상기 검사스테이지를 하강시키는 단계와;
    복수의 상기 공급스테이지 중 상기 검사유닛의 입구측에 마련된 다른 하나가 상기 검사유닛으로 상기 기판을 공급하는 단계와;
    상기 검사부에서 상기 기판을 검사하는 단계와;
    복수의 상기 배출스테이지 중 상기 검사유닛의 출구측에 마련된 다른 하나로 상기 기판을 배출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치의 제어방법.
  12. 제11항에 있어서,
    적어도 하나 이상의 상기 기판을 지지하는 복수의 상기 공급스테이지 및 상기 배출스테이지를 상하 층상으로 수용하는 본체를 마련하는 단계와;
    복수의 상기 공급스테이지 및 상기 배출스테이지가 이격 수용되도록 상기 본체를 상하 층상으로 분리하는 격벽에 의해 형성된 챔버를 마련하는 단계와;
    상기 검사유닛 및 상기 챔버 중 적어도 하나에 소정의 진공압을 형성하여 유지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치의 제어방법.
  13. 제12항에 있어서,
    복수의 상기 챔버에 개폐가능한 도어를 마련하는 단계와;
    복수의 상기 챔버 중 소정의 진공압이 해제된 상기 챔버의 도어를 개방하는 단계와;
    상기 챔버 내부의 상기 공급스테이지로 상기 기판을 순차적으로 공급하는 단계와;
    상기 챔버 내부의 상기 배출스테이지로부터 상기 기판을 순차적으로 배출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치의 제어방법.
KR1020050072222A 2005-08-08 2005-08-08 기판검사장치 및 그의 제어방법 KR100661652B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050072222A KR100661652B1 (ko) 2005-08-08 2005-08-08 기판검사장치 및 그의 제어방법
CNB200610007917XA CN100520423C (zh) 2005-08-08 2006-02-21 基板检测装置及其控制方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050072222A KR100661652B1 (ko) 2005-08-08 2005-08-08 기판검사장치 및 그의 제어방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100661652B1 true KR100661652B1 (ko) 2006-12-26

Family

ID=37721629

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050072222A KR100661652B1 (ko) 2005-08-08 2005-08-08 기판검사장치 및 그의 제어방법

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR100661652B1 (ko)
CN (1) CN100520423C (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102062821B (zh) * 2009-11-18 2012-11-07 上海华虹Nec电子有限公司 确认cos下载内容是否正确的方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030039400A (ko) * 2001-11-13 2003-05-22 주식회사 선비테크 피씨비 기판의 공급, 반출 및 검사장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030039400A (ko) * 2001-11-13 2003-05-22 주식회사 선비테크 피씨비 기판의 공급, 반출 및 검사장치

Also Published As

Publication number Publication date
CN1912640A (zh) 2007-02-14
CN100520423C (zh) 2009-07-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100853573B1 (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템
KR100830730B1 (ko) 기판 처리 장치, 로드록실 유닛, 및 반송 장치의 반출 방법
US20070137570A1 (en) Semiconductor manufacturing apparatus and semiconductor manufacturing method using the same
CN105118801B (zh) 半导体芯片的表面处理系统
US8499430B2 (en) Assembly method of transfer mechanism and transfer chamber
KR100666349B1 (ko) 증착 장치 및 상기 장치에서 마스크를 회수하는 방법.
JP5926694B2 (ja) 基板中継装置，基板中継方法，基板処理装置
KR100661652B1 (ko) 기판검사장치 및 그의 제어방법
KR100688985B1 (ko) 기판검사장치 및 그의 제어방법
JP4992910B2 (ja) 基板検査装置
KR100959678B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
KR101099603B1 (ko) 챔버 및 이를 이용한 기판 처리 방법
KR100422467B1 (ko) 반도체장치 제조설비
KR100934761B1 (ko) 평판표시소자 제조장치
KR20070109298A (ko) 반도체 제조 장치 및 이를 이용한 반도체 기판의 이송 방법
KR100763260B1 (ko) 웨이퍼 이송장치
KR20070019423A (ko) 평판표시소자 제조장치
KR101362455B1 (ko) 리프트 핀 구동장치 및 이를 구비한 평판표시소자 제조장치
KR20050081426A (ko) 평판표시소자 제조장치
KR101468388B1 (ko) 게이트 밸브 및 이것을 포함하는 평판표시소자 제조장비
KR100654772B1 (ko) 패널이송장치
KR101329481B1 (ko) 글래스 기판 로딩/언로딩 장치
KR101294969B1 (ko) 글래스 기판 로딩/언로딩 장치
KR20130094886A (ko) 다중 기판 처리장치 및 이를 이용한 다중 기판 처리방법
KR20090088733A (ko) 공정 챔버 및 이것을 포함하는 평판표시소자 제조장비

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121130

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131129

Year of fee payment: 8