KR100661273B1 - 고단차 산화막의 평탄화를 위한 화학기계적 연마조성물 - Google Patents
고단차 산화막의 평탄화를 위한 화학기계적 연마조성물 Download PDFInfo
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- 제 1항에 있어서,화학식 1 화합물은 트리에탄올아민, 2-디메틸아미노-2-메틸-1-프로판올, 1-아미노-2-프로판올, 1-디메틸아미노-2-프로판올, 3-디메틸아미노-1-프로판올, 2-아미노-1-프로판올, 2-디메틸아미노-1-프로판올, 2-디에틸아미노-1-프로판올, 2-디에틸아미노-1-에탄올, 2-에틸아미노-1-에탄올, 1-(디메틸아미노)2-프로판올, 디에탄올아민, N-메틸디에탄올아민, N-프로필디에탄올아민, N-이소프로필디에탄올아민, N-(2-메틸프로필)디에탄올아민, N-n-부틸디에탄올아민, N-t-부틸에탄올아민, 2-(디메틸아미노)에탄올, 2-디에틸아미노에탄올, 2-디프로필아미노에탄올, 2-부틸아미노에탄올, 2-t-부틸아미노에탄올, 2-아미노2-펜타놀, 2-[비스(2-하이드록시에틸)아미노]-2-메틸-1-프로판올, 2-[비스(2-하이드록시에틸)아미노]-2-프로판올, N,N-비스(2-하이드록시프로필)에탄올아민, 2-아미노-2-메틸-1-프로판올, 트리아이소프로판올아민에서 선택되는 어느 하나 또는 그 혼합물인 것을 특징으로 하는 자동 연마정지 기능을 가지는 화학 기계적 연마 조성물.
- 제 5항에 있어서,화학식 1 화합물은 트리에탄올아민 또는 2-디메틸아미노-2-메틸-1-프로판올, 또는 트리아이소프로판올아민, 또는 그 혼합물인 것을 특징으로 하는 자동 연마정지 기능을 가지는 화학 기계적 연마 조성물.
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- 제 5항에 있어서,pH 조절제, 4급암모늄염, 고분자유기산, 계면활성제 및 윤활제로부터 선택되는 하나 이상을 더 함유하는 것을 특징으로 하는 자동 연마정지 기능을 가지는 화학 기계적 연마 조성물.
- 제 9항에 있어서,pH 조절제로는 무기산 또는 유기산인 것을 특징으로 하는 자동 연마정지 기능을 가지는 화학 기계적 연마 조성물.
- 제 9항에 있어서,4급암모늄염은 암모늄하이드록사이드, 테트라메틸암모늄 하이드록사이드, 테트라에틸암모늄 하이드록사이드, 테트라프로필암모늄 하이드록사이드 또는 테트라부틸암모늄하이드록사이드로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 자동 연마정지 기능 을 가지는 화학 기계적 연마 조성물.
- 제 9항에 있어서,고분자유기산은 폴리 아크릴산 또는 폴리 아크릴산 공중합체인 것을 특징으로 하는 자동 연마정지 기능을 가지는 화학 기계적 연마 조성물.
- 제 9항에 있어서,전체 조성물에 대하여 산화세륨 1 내지 3 중량%, 트리에탄올아민 2 내지 6 중량%, 폴리 아크릴산 0.1 내지 5 중량% 인 것을 특징으로 하는 자동 연마정지 기능을 가지는 화학 기계적 연마 조성물.
- 삭제
- 제 1항, 제 5항, 제 6항 또는 제 9항 내지 제 13항에서 선택되는 어느 한 항에 따른 자동 연마정지 기능을 가지는 화학 기계적 연마 조성물을 이용하여 기판을 연마하는 방법.
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