KR100658162B1

KR100658162B1 - 하이브리드 마이크로렌즈 제조 방법 및 이의 방법에 의해 제조된 도광판

Info

Publication number: KR100658162B1
Application number: KR1020050031604A
Authority: KR
Inventors: 황철진; 김종선; 고영배; 허영무
Original assignee: 한국생산기술연구원
Priority date: 2005-04-15
Filing date: 2005-04-15
Publication date: 2006-12-15
Also published as: CN101176030A; KR20060109372A; JP2008545996A; EP1875304A4; US20080316601A1; CN101176030B; WO2006109924A1; EP1875304A1

Abstract

본 발명은 도광판의 마이크로렌즈 제조방법에 있어서, 빛이 통과되는 제1 영역과 빛이 통과되지 않는 복수 개의 제2 영역을 형성하되, 상기 제2 영역 들이 서로 다른 크기 및 형상을 갖는 하이브리드 어레이를 형성하도록 된 마스크를 포토레지스트가 코팅된 기판 상에 정렬시키는 제1 단계; 상기 하이브리드 어레이를 형성하는 제2 영역 상측에서 하측으로 조사되는 빛이 1~4방향의 비대칭 경사각을 갖도록 하기위해서 1~4회의 경사 노광과 수직 노광을 실시하는 제2 단계; 상기 경사 노광된 기판을 현상하여 각각은 비대칭 경사기둥 형태를 갖고, 다양한 크기 및 형상으로 이루어지는 하이브리드 포토레지스트 기둥을 얻는 제3 단계; 상기 하이브리드 포토레지스트 기둥들을 리플로우 공정을 통해 만곡시켜 하이브리드 마이크로렌즈 패턴을 얻는 제4 단계; 상기 하이브리드 마이크로렌즈 패턴이 음각되도록 하는 음각 스탬퍼를 제작하는 제5 단계; 및 상기 음각 스탬퍼를 금형으로 하여 상기 하이브리드 마이크로렌즈 패턴이 양각된 도광판을 성형하는 제6 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

리플로우, 하이브리드 렌즈, 도광판, 마이크로 렌즈

Description

하이브리드 마이크로렌즈 제조 방법 및 이의 방법에 의해 제조된 도광판{Manufacturing method of hybrid microlens and it's application to Light Guide Plate}

도 1은 본 발명에 사용되는 마스크의 사시도.

도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 실시 예에 따른 비대칭 사각 기둥 형상의 포토레지스트를 제조하는 노광 공정을 보인 공정도.

도 3a와 도 3b는 본 발명의 실시 예에 따라 제조된 비대칭 사각 기둥 형상의 포토레지스트들의 크기 및 모양의 특징을 보인 단면도.

도 4a와 도 4b와 도 4c와 도 4d는 본 발명의 실시 예에 따른 리플로우 공정 후에 하이브리드 마이크로렌즈로 변화된 포토레지스트의 형상을 보인 사시도.

도 5a와 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 스탬퍼 제조 과정을 보인 공정도.

도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 양각 스탬퍼 제조 공정을 보인 개략도.

* 도면의 중요부분에 대한 부호의 설명*

21: 마스크 22: 제1 영역

23: 제2 영역 하이브리드 어레이 31: 기판

32: PR(포토레지스트) 34: 하이브리드 PR기둥

36: 하이브리드 마이크로렌즈 패턴 41: 금속박막

42: 음각 스탬퍼 44: 양각 스탬퍼

본 발명은 초미세패턴 형상가공 기술 및 미세성형기술에 관한 것으로, 특히, 마이크로 렌즈(micro-lens) 어레이(array) 또는 도광판(Light Guiding Plate: LGP) 등에 사용되는 광 확산 및 산란, 시야각 조절을 위한 하이브리드 마이크로 렌즈를 제조하는 방법 및 이 방법에 의해 제조된 도광판에 관한 것이다.

일반적으로, 액정표시장치(LCD)의 백라이트 유닛은 액정표시장치의 패널 전체에 고르게 빛을 전달하는 조광장치로 사용되며, 상기 액정표시장치 패널에서는 투과되는 빛의 양을 일정하게 조절하여 화상을 표시한다.

CRT, PDP, FED와는 달리 액정표시장치에 의한 표시는 그 자체가 비발광성이기 때문에 빛이 없는 곳에서는 사용이 불가능하다.

이러한 단점을 보완하고, 어두운 곳에서도 액정표시장치(LCD)의 사용이 가능하도록 하기 위해, 상기 액정표시장치의 패널 전체에 고르게 빛을 전달하는 조광장치로서 백라이트 유닛이 사용된다.

상기 백라이트 유닛은 배경광원과, 빛을 반사시켜주는 반사판, 도광판, 확산판 등으로 구성된다.

상기 도광판은 양측면에 광원으로 사용되는 배경광원에서 방출되는 빛을 액 정표시장치의 전체면에 균일하게 조사시키는 역할을 한다.

종래에 휴대폰에 사용되는 도광판을 예로 설명하면, 도광판은 배면에 일정방향으로 배열된 마이크로렌즈를 식각에 의한 도트나, 일정한 크기의 확산 잉크 도트(dot) 방식에 의해 제작 사용한다.

그러나, 상기와 같은 식각에 의한 도트 방식은 습식 에칭 과정에서의 문제로 일정한 크기나 거리를 가지는 패턴의 제조가 어려우며, 에칭면이 깨끗하지 못해 광학적으로도 광의 제어가 어렵고, 제조 기간이 길고 비용이 비싼 문제가 있다.

또한, 확산 잉크 도트 형식을 사용한다하더라도 확산 잉크 자체의 흡수율과 산란으로 인해 광효율이 매우 떨어지는 문제가 있다.

또한, 광학적 차원에서 액정표시장치는 장치면과 약 90도를 이루는 높은 출사각의 광이 필요한 반면, 종래 기술의 도광판을 통해서 출사되는 광은 출사각이 도광판 면과 약 30도로 매우 낮기 때문에, 낮은 출사각을 높이기 위하여 높은 가격의 프리즘 필름이나 확산 필름이 사용해야하는 문제가 있다.

상기 사용되는 필름들을 줄이기 위하여 여러 가지 패턴들을 이용하기도 하는데, 이 또한, 기계가공이나 식각을 사용하기 때문에 균일한 형상의 제조가 어려운 문제가 있다.

상기 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 종래의 도광판에 사용되는 확산 잉크 도트 패턴이나 식각에 의한 도트 패턴을 대체하기 위하여 다수의 마이크 로 단위의 사다리꼴 마이크로렌즈에 의해 광을 반사와 굴절을 시켜 입광부의 광을 확산 시키는 광 확산부와, 반구 모양의 마이크로렌즈에 의해 광을 난반사시켜 균일한 휘도를 나타내도록 하는 광 가이드부로 구성된 하이브리드 마이크로렌즈를 제작하는 공정을 쉽고 간단하게 하여, 사용자의 의도에 따라 상기의 하이브리드 마이크로렌즈의 크기 또는 도광판에서의 위치를 용이하게 할 수 있게 하는 리플로우 공정을 이용한 도광판의 하이브리드 마이크로렌즈 제조방법 및 이 방법에 의해 제작된 도광판을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 상기 하이브리드 마이크로렌즈는 광 확산부에서 사각형의 하부모양과 비대칭 사각 기둥의 상부형상을 갖도록 제조되고, 광 가이드부에서는 원형의 하부모양과 반구의 상부형상을 갖도록 제조되는 리플로우 공정을 이용한 도광판의 하이브리드 마이크로렌즈 제조방법 및 이 방법에 의해 제작된 도광판을 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 도광판의 마이크로렌즈 제조방법에 있어서, 빛이 통과되는 제1 영역과 빛이 통과되지 않는 복수 개의 제2 영역을 형성하되, 상기 제2 영역 들이 서로 다른 크기 및 형상을 갖는 하이브리드 어레이를 형성하도록 된 마스크를 포토레지스트가 코팅된 기판 상에 정렬시키는 제1 단계; 상기 하이브리드 어레이를 형성하는 제2 영역 상측에서 하측으로 조사되는 빛이 1~4방향의 비대칭 경사각을 갖도록 하기위해서 1~4회의 경사 노광과 수직 노광을 실시하는 제2 단계; 상기 경사 노광된 기판을 현상하여 각각은 비대칭 경사기둥 형태를 갖고, 다양한 크기 및 형상으로 이루어지는 하이브리드 포토레지스트 기둥을 얻는 제3 단계; 상기 하이브리드 포토레지스트 기둥들을 리플로우 공정을 통해 만곡시켜 하이브리드 마이크로렌즈 패턴을 얻는 제4 단계; 상기 하이브리드 마이크로렌즈 패턴이 음각되도록 하는 음각 스탬퍼를 제작하는 제5 단계; 및 상기 음각 스탬퍼를 금형으로 하여 상기 하이브리드 마이크로렌즈 패턴이 양각된 도광판을 성형하는 제6 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조로 하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 설명한다.

하기에서 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 기술은 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.

그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

본 발명을 위해서는 우선적으로 노광 공정에 사용될 도 1에 도시된 바와 같은 마스크(21)를 제조를 한다. 여기서 마스크는 패턴의 정밀도에 따라 필름 마스크나 크롬 마스크 등이 결정된다. 크롬 마스크를 사용하면 1 ㎛ 정도의 정밀도로 제작이 가능하다.

도 1은 본 발명에 사용되는 마스크의 사시도로서, 동 도면에서 보여지는 바와 같은 마스크(21)는 빛이 통과되는 제1 영역(22)과 빛이 통과되지 않는 복수 개의 제2 영역(23a,23b,23c)을 형성하되, 상기 제2 영역(23a,23b,23c) 들이 서로 다른 크기 및 형상을 갖는 하이브리드 어레이(23)를 형성하는 구성으로 이루어진다.

이때, 각각의 제2 영역(23a,23b,23c)들은 사각 형상으로 제작되는 것이 바람직한데, 물론 상기 제2 영역(23)을 사각이 아닌 다른 형상 즉, 원형, 타원, 오각, 육각 등의 형상으로 제작할 수도 있다.

그리고, 본 발명의 마스크는 다수의 제2 영역(23)을 동일한 형상 동일한 간격으로 제작할 수 있으며, 도 1에 도시된 바와 같이 다수의 제2 영역(23)이 동일한 사각 형상으로 제작되는데, 이웃하는 각각의 크기와 간격을 다르게 제작할 수 있다.

도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 실시 예에 따른 비대칭 사각 기둥 형상의 포토레지스트를 제조하는 노광 공정을 보인 공정도 이다.

우선, 도 2a와 같이 스핀 코터(Spin Coater) 장비를 이용하여 유리 또는 실리콘 웨이퍼 기판(31) 상에 감광제인 PR(Photoresist; 32)를 코팅한다. 이때 사용되는 PR(32)의 종류는 두께에 따라 다양하게 정할 수 있다.

상기 코팅공정이 끝나면 오븐기에 넣고 코팅된 기판(31)을 소프트 베이킹(Soft baking)을 한다. 이때 베이킹 조건은 온도 70~120℃에서 시간은 2~30분 정도인 것이 양호하다.

상기 소프트 베이킹이 끝나면, 도 2b에 도시된 바와 같이 마스크(21)를 PR 코팅된 기판(31) 상에 얼라인(align) 키(key)에 맞춰서 얼라인시키고, 도 2c와 같이 비대칭 사각 기둥 모양을 만들기 위하여 정해진 시간으로 수직 노광과 경사 노광 공정을 실시한다.

이때, 노광 공정에 사용되는 마스크(21)는 크기가 방향이 다른 사각형의 제2 영역(23)들을 가진 마스크이다. 그리고, 상기 도 2b에서, Ra1, Ra2, Ra3는 제2 영역(23a,23b,23c)의 수직방향 폭을 나타내고, Rb1, Rb2, Rb3는 제2 영역(23)의 수평방향 폭을 나타낸다. 그리고 La1, La2 는 제2 영역(23)의 수직방향 간 간격을 나타내고, Lb1, Lb2 는 제2 영역(23)의 수평방향 간의 간격을 나타낸다.

동 도면에서 보는 바와 같이 상기 Ra1, Ra2, Ra3의 폭과 Rb1, Rb2, Rb3의 폭은 각기 다르게 제작되고, La1, La2의 간격과 Lb1, Lb2의 간격 또한 다르게 제작될 수 있다.

그리고, 상기 노광공정이 끝나면 현상 작업을 수행하도록 하는데, 현상 조건은 현상액 온도는 상온에서 디핑(Dipping)하는 방식을 취한다.

상기 현상결과를 도 2c를 통해 살펴보면, 동 도면에 도시된 바와 같이 경사 노광에 의해 빛을 통과한 제1 영역(22)의 PR(32)영역은 녹아서 없어지게 되고, 빛을 받지 않은 제2 영역(23a,23b,23c)의 PR(32)영역은 남게 된다.

결국, 기판(31)에 남는 것은 빛을 받지 않은 제2 영역(23)의 PR(34)이다. 이때, 상기 PR(34)의 형상은 제2 영역(23)의 형상과 동일한 사각형태를 따르게 되고, 경사노광의 결과로서, 하측으로 넓어지는 경사면을 갖는 사각기둥형상으로 제작된다.

이때, 상기 PR(34)는 경사노광시의 조사각도 및 조사방향이 달라짐에 따라 비대칭형상을 갖는 사각기둥 형상으로 제작될 수 있다.

상기와 같은 노광공정에 의해 형성된 비대칭 사각 기둥 형상의 PR(34)은 마스크(21)의 제2 영역(23a,23b,23c)들의 패턴에 따르므로, 크기도 서로 다르고 간격 또한 서로 다른 사각기둥 형상의 PR(34a,34b,34c)을 형성하게 된다.

도 3a는 노광된 기판을 비대칭 사각 기둥 형상의 PR(34a,34b,34c) 길이가 긴 부분으로 절단한 단면도이고, 도 3b는 노광된 기판을 비대칭 사각 기둥 형상의 PR(34a,34b,34c) 길이가 짧은 부분으로 절단한 단면도이다.

동 도면에서 보여 지는 바와 같은 비대칭 사각기둥 형상의 PR(34a,34b,34c)들은 동일한 높이를 가지되, 크기는 다르게 제작할 수 있고, 각 비대칭 사각기둥 형상의 PR(34a,34b,34c)들 간의 간격 (La, Lb)을 방향에 따라 다르게 형성할 수 있다.

상술한 현상 작업을 마치면, 핫(Hot) 플레이트(Plate) 장비를 이용해 리플로우(Reflow) 공정을 수행하여 상기 비대칭 사각기둥 형상의 PR(34a,34b,34c)들을 만곡시키도록 한다.

여기서, 상기 리플로우 공정은 PR(34a,34b,34c)에 열을 가하여 상기 감광제(즉, PR)가 열을 받아서 녹아내리게 하는 공정을 말한다. 이때 리플로우 조건은 제 조 형상에 따라 달라지는데, 온도 100~200℃ 사이에 수분 동안 실시하는 것이 바람직하다.

도 4a는 본 발명에 따른 리플로우 공정 후의 직선으로 배열된 PR의 상태를 보인 평면도이고, 도 4b는 본 발명에 따른 리플로우 공정 후의 각도가 변화되면서 배열된 PR의 상태를 보인 평면도이며, 도 4c는 본 발명에 따른 리플로우 공정 후의 PR의 상태를 보인 단면도이다. 도 4d는 입광부 근처의 사다리꼴 모양의 마이크로렌즈로 이루어진 광 확산부(B)와 입광부에서 일정한 거리가 떨어진 반구 모양의 마이크로렌즈로 이루어진 광가이드부(A)를 나타낸 평면도이다.

동 도면에서 보는 바와 같이 비대칭 사각 기둥 형상의 PR(34a,34b,34c)을 리플로우 공정에 의해 사다리꼴 모양과 반구 모양의 마이크로렌즈로 구성된 하이브리드 마이크로렌즈 패턴(36)를 제작한다.

상기와 같이 제작되는 하이브리드 마이크로렌즈 패턴(36)은 마스크(21)의 크기, 경사 노광 각도, 리플로우 시간에 의해서 결정되며, 리플로우 공정에 의해서 다양한 형태의 하이브리드 마이크로렌즈 패턴(36)을 제작할 수 있다.

또한, 상기 도 4a 내지 4b를 통해 본 발명에 따른 마이크로렌즈의 배열을 다양한 형태로 실시할 수 있음을 볼 수 있다.

상기와 같은 본 발명에 따르게 되면, 마스크(21)의 제2 영역(23a,23b,23c)의 형상과 크기 및 배열을 조절하는 과정과 경사노광의 각도 및 방향을 조절하는 과정과, 리플로우 공정에서의 온도 및 시간을 조절하는 과정을 통해 원하는 형태의 하이브리드 마이크로렌즈 패턴(36)을 만들 수 있을 뿐만 아니라, 나아가 원하는 형태의 광학 설계를 자유롭게 할 수 있는 이점을 갖게 된다.
이때, 도 4b에서 보는 바와 같이 상기 마이크로렌즈의 배열은 일부의 마이크로렌즈 패턴(36)의 방향이 불규칙하게 배열되도록 할 수 있다.

도 5a와 도 5b는 본 발명의 실시 예에 따른 음각 스탬퍼 제조 과정을 보인 공정도 이다.

동 도면에서 보는 바와 같이 다수의 하이브리드 마이크로렌즈 패턴(36)이 형성된 기판(31) 상에 금속 박막(41)을 코팅한다.

이때, 상기 금속 박막(41) 코팅은 보통 크롬(Cr) 코팅을 많이 하며, 금(Au)을 추가로 코팅할 수 있다.

그리고, 상기 금속 박막(41) 코팅이 끝나면, 기판(31)을 도금장비에 장착하고 도 5b에 도시된 바와 같이 니켈 전기 도금을 실시한다. 이때 공급되는 전류는 각 스텝에 따라 수 암페어를 흘리며 이에 따른 도금두께는 400~450㎛가 되고(4인치 웨이퍼 기준),니켈 도금된 영역이 스탬퍼(stamper; 42)가 된다.

상기 니켈 전기 도금을 통해 스탬퍼(42)를 만들면, 기판(31)과 스탬퍼(42)를 분리시킨다. 이때 분리된 스탬퍼(42)는 하이브리드 마이크로렌즈 패턴(36)이 음각으로 전사된 형태를 가진다.

즉, 상기 스탬퍼(42; 이하 음각 스탬퍼라 함)에는 하이브리드 마이크로렌즈 패턴(36)이 음각으로 새겨져 있고, 구면 렌즈 형태 간에 의한 하이브리드 마이크로렌즈 패턴(36)이 양각으로 새겨져 있다.

상기와 같이 음각의 하이브리드 마이크로렌즈 패턴(36)을 가진 음각 스탬퍼 (42)를 제작하면, 상기 음각 스탬퍼(42)를 금형으로 하여 양각의 하이브리드 마이크로렌즈 어레이 패턴을 가진 도광판 또는 마이크로 렌즈 어레이를 성형할 수 있게 된다.

그리고, 상기와 같은 음각 스탬퍼(42)를 이용하면, 음각의 하이브리드 마이크로렌즈 어레이 패턴을 가진 도광판을 제조하기 위한 또 다른 양각 스탬퍼를 제작할 수 있다.

도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 양각 스탬퍼 제조 공정을 보인 개략도로서, 동 도면에서 보는 바와 같은 음각 스탬퍼(42)의 비대칭 곡률 마이크로렌즈 어레이 패턴 위에 새로운 니켈 도금공정을 실시한다.

상기 도금공정을 통해서 새로운 니켈도금 영역(44)이 형성되고, 상기 니켈 도금 영역(44)은 음각 스탬퍼(42)로부터 분리시킬 수 있다.

이렇게, 음각 스탬퍼(42)와 분리된 새로운 니켈도금 영역(44)은 상기 음각 스탬퍼(42)가 전사된 형태를 가지는 새로운 양각 스탬퍼(44)를 형성하게 된다.

즉, 새로운 양각 스탬퍼(44)는 하이브리드 마이크로렌즈 어레이 패턴이 양각인데 반해, 하이브리드 마이크로렌즈 간에 의한 그루부가 음각으로 새겨지게 되는 것이다.

따라서, 상기 양각 스탬퍼(44)를 금형으로 하면 음각의 하이브리드 마이크로렌즈 어레이 패턴을 가진 도광판(미도시)을 성형할 수 있게 된다.

상기와 같은 본 발명은 3 차원적인 하이브리드 마이크로렌즈를 형성하기 위 한 방법으로서 기계 가공이 아닌 반도체 리플로우 공정을 통하여 제작한다.

상기 본 발명은 이를 위해 1차례의 수직 노광과 1차의 경사노광을 통해 포토레지스트 재료를 비대칭 사각 기둥형태로 만들고 포토레지스트의 리플로우 특성을 이용하여 열처리를 통해 각각의 비대칭 사각 기둥들이 광을 반사와 굴절 시키는 사다리꼴 마이크로렌즈와 산란과 확산 효과를 나타내는 반구 모양의 마이크로 렌즈로 이루어진 하이브리드 마이크로렌즈 패턴을 제작할 수 있게 되고, 이를 이용해서 하이브리드 마이크로렌즈를 갖는 도광판을 제작할 수 있게 된다.

이상에서 본 발명에 대한 기술사상을 첨부도면과 함께 서술하였지만 이는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 이 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 기술사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.

상술한 설명에 따르면 본 발명은 리플로우 공정을 통해 수직 노광과 경사 노광에 의해 만들어진 포토레지스터에 의한 하이브리드 마이크로렌즈를 제작시킴으로써 간단한 제조 공정으로 미세한 하이브리드 마이크로렌즈 어레이 패턴을 제조할 수 있으며, 그에 따라 비용을 줄이고 제조 시간을 단축시키는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 노광공정과 리플로우공정을 통해 포토레지스터의 크기와 경사를 조절함으로써, 하이브리드 마이크로렌즈를 제작자 임의대로 제조할 수 있어서 원하는 광학적 성질을 가지는 하이브리드 마이크로렌즈를 도광판에 임의대로 제조할 수 있는 효과가 있다.

Claims

도광판의 마이크로렌즈 제조방법에 있어서,

빛이 통과되는 제1 영역과 빛이 통과되지 않는 복수 개의 제2 영역을 형성하되, 상기 제2 영역 들이 서로 다른 크기 및 형상을 갖는 하이브리드 어레이를 형성하도록 된 마스크를 포토레지스트가 코팅된 기판 상에 정렬시키는 제1 단계;

상기 하이브리드 어레이를 형성하는 제2 영역 상측에서 하측으로 조사되는 빛이 1~4방향의 비대칭 경사각을 갖도록 하기위해서 1~4회의 경사 노광과 수직 노광을 실시하는 제2 단계;

상기 경사 노광된 기판을 현상하여 각각은 비대칭 경사기둥 형태를 갖고, 다양한 크기 및 형상으로 이루어지는 하이브리드 포토레지스트 기둥을 얻는 제3 단계;

상기 하이브리드 포토레지스트 기둥들을 리플로우 공정을 통해 만곡시켜 하이브리드 마이크로렌즈 패턴을 얻는 제4 단계;

상기 하이브리드 마이크로렌즈 패턴이 음각되도록 하는 음각 스탬퍼를 제작하는 제5 단계; 및

상기 음각 스탬퍼를 금형으로 하여 상기 하이브리드 마이크로렌즈 패턴이 양각된 도광판을 성형하는 제6 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 리플로우 공정를 이용한 도광판의 하이브리드 마이크로렌즈 제조 방법.
제1항에 있어서,

상기 마스크는 필름 마스크 또는 크롬 마스크인 것을 특징으로 하는 반도체 리플로우 공정를 이용한 도광판의 하이브리드 마이크로렌즈 제조 방법.
제1항에 있어서,

상기 마스크 상의 일방향 연장선상으로 크기와 형상을 달리하는 복수 개의 제2 영역들이 배열되되, 상기 각각의 제2 영역들은 크기와 형상을 달리하는 하이브리드 어레이를 형성하고, 상기 하이브리드 어레이가 복수 개로 배열되는 것을 특징으로 하는 반도체 리플로우 공정를 이용한 도광판의 하이브리드 마이크로렌즈 제조 방법.
제1항에 있어서,

상기 마스크의 각 차단영역은 사각형으로 제작되는 것을 특징으로 하는 반도체 리플로우 공정를 이용한 도광판의 하이브리드 마이크로렌즈 제조 방법.
제1항에 있어서,

상기 4단계는 비대칭 경사기둥 형태를 갖는 하이브리드 포토레지스트 기둥들이 사각형의 하부모양과 비대칭 사각기둥의 상부형상을 갖는 하이브리드 마이크로렌즈 패턴 또는 원형의 하부모양과 반구의 상부형상을 갖는 하이브리드 마이크로렌 즈 패턴을 이룰 때까지 리플로우 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 리플로우 공정을 이용한 도광판의 하이브리드 마이크로렌즈 제조방법.
제1항에 있어서,

상기 제5 단계는 하이브리드 마이크로렌즈 패턴이 형성된 기판 상에 금속 박막을 코팅하는 단계와, 상기 금속 박막 상에 니켈 전기 도금을 수행하고 상기 니켈 전기 도금한 영역만을 분리시켜 스탬퍼를 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 리플로우 공정를 이용한 도광판의 하이브리드 마이크로렌즈 제조 방법.
제6항에 있어서,

상기 금속 박막 코팅은 크롬 코팅인것을 특징으로 하는 반도체 리플로우 공정를 이용한 도광판의 하이브리드 마이크로렌즈 제조 방법.
제7항에 있어서,

상기 금속 박막 코팅은 상기 크롬을 코팅한 후 금을 추가로 코팅하는 것을 특징으로 하는 반도체 리플로우 공정를 이용한 도광판의 하이브리드 마이크로렌즈 제조 방법.
제1항에 있어서,

상기 음각 스탬퍼를 마스터로 하여, 상기 음각 스탬퍼의 하이브리드 마이크로렌즈 패턴이 양각되도록 한 양각 스탬퍼를 제작하는 단계 및 상기 양각 스탬퍼를 금형으로 하여 하이브리드 마이크로렌즈 패턴이 음각된 도광판을 성형하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 리플로우 공정를 이용한 도광판의 하이브리드 마이크로렌즈 제조 방법.
제9항에 있어서,

상기 양각 스탬퍼는 음각 스탬퍼의 하이브리드 마이크로렌즈 어레이 패턴 위에 니켈 도금을 실시한 후, 이를 분리시켜 제작하는 것을 특징으로 하는 반도체 노광 공정을 이용한 도광판의 하이브리드 마이크로렌즈 제조 방법.
복수개의 마이크로렌즈가 형성되는 도광판에 있어서,

상기 도광판 상의 일 방향 연장선상으로 크기와 형상을 달리하는 복수 개의 마이크로렌즈가 정렬되되, 상기 각각의 마이크로렌즈들은 크기와 형상을 달리 하는 하이브리드 마이크로렌즈 어레이를 구성하고, 상기와 같은 하이브리드 마이크로렌즈 어레이가 복수 개로 배열되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 마이크로렌즈를 갖는 도광판.
제 11항에 있어서,

상기 도광판 상에 정렬되는 마이크로렌즈들 중 일부의 마이크로렌즈의 방향이 불규칙하게 배열되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 마이크로렌즈를 갖는 도광판.
제11항에 있어서,

상기 도광판은 마이크로렌즈에 의해 입광부의 광을 확산시키도록 된 광 확산부와, 마이크로렌즈에 광을 난반사시켜 균일한 휘도를 나타내도록 하는 광 가이드부로 구성되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 마이크로렌즈를 갖는 도광판.