JP2008545996A - ハイブリッドマイクロレンズ製造方法 - Google Patents
ハイブリッドマイクロレンズ製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008545996A JP2008545996A JP2008506362A JP2008506362A JP2008545996A JP 2008545996 A JP2008545996 A JP 2008545996A JP 2008506362 A JP2008506362 A JP 2008506362A JP 2008506362 A JP2008506362 A JP 2008506362A JP 2008545996 A JP2008545996 A JP 2008545996A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hybrid
- microlens
- guide plate
- light guide
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 72
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 56
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims abstract description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 18
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 7
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 3
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 claims 2
- 238000009501 film coating Methods 0.000 claims 2
- 241000416536 Euproctis pseudoconspersa Species 0.000 claims 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B3/00—Apparatus for testing the eyes; Instruments for examining the eyes
- A61B3/10—Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions
- A61B3/12—Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions for looking at the eye fundus, e.g. ophthalmoscopes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/0006—Arrays
- G02B3/0012—Arrays characterised by the manufacturing method
- G02B3/0018—Reflow, i.e. characterized by the step of melting microstructures to form curved surfaces, e.g. manufacturing of moulds and surfaces for transfer etching
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/0006—Arrays
- G02B3/0037—Arrays characterized by the distribution or form of lenses
- G02B3/0043—Inhomogeneous or irregular arrays, e.g. varying shape, size, height
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/0006—Arrays
- G02B3/0037—Arrays characterized by the distribution or form of lenses
- G02B3/005—Arrays characterized by the distribution or form of lenses arranged along a single direction only, e.g. lenticular sheets
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
- G02B6/0011—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
- G02B6/0033—Means for improving the coupling-out of light from the light guide
- G02B6/0035—Means for improving the coupling-out of light from the light guide provided on the surface of the light guide or in the bulk of it
- G02B6/0036—2-D arrangement of prisms, protrusions, indentations or roughened surfaces
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
- G02B6/0011—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
- G02B6/0033—Means for improving the coupling-out of light from the light guide
- G02B6/0058—Means for improving the coupling-out of light from the light guide varying in density, size, shape or depth along the light guide
- G02B6/0061—Means for improving the coupling-out of light from the light guide varying in density, size, shape or depth along the light guide to provide homogeneous light output intensity
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
- G02B6/0011—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
- G02B6/0065—Manufacturing aspects; Material aspects
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B2560/00—Constructional details of operational features of apparatus; Accessories for medical measuring apparatus
- A61B2560/04—Constructional details of apparatus
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/0006—Arrays
- G02B3/0012—Arrays characterised by the manufacturing method
- G02B3/0031—Replication or moulding, e.g. hot embossing, UV-casting, injection moulding
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
- G02B6/0011—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
- G02B6/0033—Means for improving the coupling-out of light from the light guide
- G02B6/005—Means for improving the coupling-out of light from the light guide provided by one optical element, or plurality thereof, placed on the light output side of the light guide
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Ophthalmology & Optometry (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Surgery (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
本発明は、導光板のマイクロレンズ製造方法において、
光が通過する第１の領域と光が通過しない複数の第２の領域とを形成するが、
第２の領域が異なる大きさ及び形状を有するハイブリッドアレイを形成するようになっているマスクをフォトレジストのコーティングされた基板上に位置合わせるステップと、
第２の領域の上側から下側に照射される光が、１方向以上で非対称な傾斜角を有するように、１回以上の傾斜露光や垂直露光を行うステップと、
露光された基板を現像してそれぞれは、非対称な傾斜柱状を有し、様々な大きさ及び形状からなるハイブリッドフォトレジスト柱を得るステップと、
前記柱をリフロー工程により湾曲させてハイブリッドマイクロレンズパターンを得るステップと、
前記パターンが陰刻する陰刻スタンパーを製作するステップと、
前記スタンパーを金型にして前記パターンが陽刻された導光板を成形するステップと
を含むことを特徴とする。
光が通過する第１の領域と光が通過しない複数の第２の領域とを形成するが、
第２の領域が異なる大きさ及び形状を有するハイブリッドアレイを形成するようになっているマスクをフォトレジストのコーティングされた基板上に位置合わせるステップと、
第２の領域の上側から下側に照射される光が、１方向以上で非対称な傾斜角を有するように、１回以上の傾斜露光や垂直露光を行うステップと、
露光された基板を現像してそれぞれは、非対称な傾斜柱状を有し、様々な大きさ及び形状からなるハイブリッドフォトレジスト柱を得るステップと、
前記柱をリフロー工程により湾曲させてハイブリッドマイクロレンズパターンを得るステップと、
前記パターンが陰刻する陰刻スタンパーを製作するステップと、
前記スタンパーを金型にして前記パターンが陽刻された導光板を成形するステップと
を含むことを特徴とする。
Description
本発明は、超微細パターン形状加工技術及び微細成形技術に関し、特に、マイクロレンズアレイまたは導光板（Ｌｉｇｈｔ Ｇｕｉｄｉｎｇ Ｐｌａｔｅ：ＬＧＰ）などに使用される光拡散及び光散乱、視野角の調節のためのハイブリッドマイクロレンズを製造する方法及びこの方法により製造された導光板に関する。
一般に、液晶表示装置（ＬＣＤ）のバックライトユニットは、液晶表示装置のパネル全体に光を均一に伝える照光装置として使用しており、前記液晶表示装置パネルでは、透過する光の量を一定に調節して画像を表示する。
ＣＲＴ、ＰＤＰ、ＦＥＤとは異なり、液晶表示装置による表示は、そのものが非発光性であり、光のないところでは使用することができない。
ＣＲＴ、ＰＤＰ、ＦＥＤとは異なり、液晶表示装置による表示は、そのものが非発光性であり、光のないところでは使用することができない。
このような欠点を補い、暗い所でも液晶表示装置（ＬＣＤ）の使用を可能とするために、前記液晶表示装置のパネル全体に均一に光を伝える照光装置としてバックライトユニットが使用されている。
前記バックライトユニットは、背景光源と、光を反射させる反射板と、導光板と、拡散板などから構成される。
前記導光板は、両側面に、光源として使用される背景光源から放出される光を液晶表示装置の全体面に均一に照射させている。
前記バックライトユニットは、背景光源と、光を反射させる反射板と、導光板と、拡散板などから構成される。
前記導光板は、両側面に、光源として使用される背景光源から放出される光を液晶表示装置の全体面に均一に照射させている。
従来に携帯電話に使用されていた導光板を例にして説明すると、導光板は、背面に一定の方向に配列されたマイクロレンズを、エッチングによるドットや、所定の大きさの拡散インクドット方式により作製され使用されている。
しかし、上記のようなエッチングによるドット方式は、ウェットエッチング過程での問題で、所定の大きさや距離を有するパターンの製造が難しく、エッチング面が清潔でなくて光学的にも光の制御が難しく、製造期間が長く高価であるという問題があった。
また、拡散インクドット形式を使用するといっても、拡散インクのそのものの吸収率や散乱により光効率が非常に低下するという問題があった。
また、拡散インクドット形式を使用するといっても、拡散インクのそのものの吸収率や散乱により光効率が非常に低下するという問題があった。
さらに、光学的の液晶表示装置は、装置面と約９０°をなす高い出射角の光が必要である反面、従来技術の導光板を通して出射される光は、出射角が導光板面と約３０°で非常に低いことから、低い出射角を高くするためには、高価のプリズムフィルムや拡散フィルムを使用しなければならないという問題があった。
前記使用される各フィルムを減らすために、様々なパターンを用いているが、これもまた、機械加工やエッチングを使用するために、均一な形状の製造が難しいという問題があった。
特開平１１−５２３７０号公報
前記使用される各フィルムを減らすために、様々なパターンを用いているが、これもまた、機械加工やエッチングを使用するために、均一な形状の製造が難しいという問題があった。
本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、従来の導光板に使用される拡散インクドットパターンやエッチングによるドットパターンに代わるために、複数のマイクロ単位の台形マイクロレンズにより光を反射または屈折させて入光部の光を拡散させる光拡散部と、半球状のマイクロレンズにより光を乱反射させて均一な輝度を示させる光誘導部とから構成されたハイブリッドマイクロレンズを製造する工程を容易かつ簡単にし、使用者の意図によって前記のハイブリッドマイクロレンズの大きさまたは導光板での位置を容易にするリフロー工程を用いた導光板のハイブリッドマイクロレンズ製造方法及びこの方法により製造された導光板を提供することを目的とする。
また、前記ハイブリッドマイクロレンズは、光拡散部で四角形の下部と非対称な四角柱状の上部とを備えるように製造され、光誘導部では円状の下部と半球状の上部とを備えるように製造されるリフロー工程を用いた導光板のハイブリッドマイクロレンズ製造方法及びこの方法により製造された導光板を提供することを他の目的とする。
上記の目的を達成するため、本発明によるハイブリッドマイクロレンズ製造方法は、導光板のマイクロレンズ製造方法において、光が通過する第１の領域と光が通過しない複数の第２の領域とを形成するが、前記第２の領域がそれぞれ異なる大きさ及び形状を有するハイブリッドアレイを形成するようになっているマスクをフォトレジストのコーティングされた基板上に位置合わせする第１のステップと、前記ハイブリッドアレイを形成する第２の領域の上側から下側に照射される光が、少なくとも１方向以上で非対称な傾斜角を有するように、少なくとも１回以上の傾斜露光や垂直露光を行う第２のステップと、前記傾斜露光された基板を現像してそれぞれは非対称な傾斜柱状を有し、様々な大きさ及び形状からなるハイブリッドフォトレジスト柱を得る第３のステップと、前記ハイブリッドフォトレジスト柱をリフロー工程によりそれぞれ湾曲させてハイブリッドマイクロレンズパターンを得る第４のステップと、前記ハイブリッドマイクロレンズパターンが陰刻されるように陰刻スタンパーを製造する第５のステップと、前記陰刻スタンパーを金型として前記ハイブリッドマイクロレンズパターンが陽刻された導光板を成形する第６のステップとを含むことを特徴とする。
本発明によると、リフロー工程を行って垂直露光や傾斜露光により製造されたフォトレジストによるハイブリッドマイクロレンズを製造することにより、簡単な製造工程により微細なハイブリッドマイクロレンズアレイパターンを製造することができるし、それにより、費用を減らし、製造時間を短縮するという効果がある。
また、本発明は、露光工程やリフロー工程によりフォトレジストの大きさや傾斜を調節することにより、ハイブリッドマイクロレンズを製作者任意に製造することができ、所望の光学的性質を有するハイブリッドマイクロレンズを導光板に任意に製造できるという効果がある。
また、本発明は、露光工程やリフロー工程によりフォトレジストの大きさや傾斜を調節することにより、ハイブリッドマイクロレンズを製作者任意に製造することができ、所望の光学的性質を有するハイブリッドマイクロレンズを導光板に任意に製造できるという効果がある。
以下、本発明の好ましい実施の形態を、添付図面に基づいて詳しく説明する。
ここで、本発明を説明するに当たり、関連した公知の機能または構成に対する具体的な記述は、本発明の要旨を不明確にするおそれがある場合には、その詳細な説明を省略する。
そして、後述の用語は、本発明での機能を考慮し定義された用語であり、これは、使用者、運用者の意図または慣例などによって異なることもある。よって、その定義は、本明細書全般にわたる内容に基づいて行われるべきである。
ここで、本発明を説明するに当たり、関連した公知の機能または構成に対する具体的な記述は、本発明の要旨を不明確にするおそれがある場合には、その詳細な説明を省略する。
そして、後述の用語は、本発明での機能を考慮し定義された用語であり、これは、使用者、運用者の意図または慣例などによって異なることもある。よって、その定義は、本明細書全般にわたる内容に基づいて行われるべきである。
本発明のためには、先に露光工程に使用される図１に示すようなマスク２１を製造する。ここで、マスクは、パターンの精度によりフィルムマスクやクロムマスクなどが決定される。クロムマスクを使用すると、１μｍ程度の精度で製作することが可能である。
図１は、本発明に使用されるマスクの斜視図であり、同図に示すように、マスク２１は、光が通過する第１の領域２２と、光が通過しない複数の第２の領域２３ａ、２３ｂ及び２３ｃとを形成するが、前記第２の領域２３ａ、２３ｂ及び２３ｃが異なる大きさ及び形状を有するハイブリッドアレイ２３を形成する構成からなる。
このとき、それぞれの第２の領域２３ａ、２３ｂ及び２３ｃは、四角状に作製されることが好ましいが、もちろん、前記第２の領域２３を四角でない他の形状、すなわち、円、楕円、五角、六角などの形状に作製してもよい。
そして、本発明のマスクは、複数の第２の領域２３を同じ形状かつ同じ間隔で作製することができ、図１に示すように、複数の第２の領域２３が同じ四角状に作製されるが、隣り合うそれぞれの大きさや間隔を異にして作製することができる。
そして、本発明のマスクは、複数の第２の領域２３を同じ形状かつ同じ間隔で作製することができ、図１に示すように、複数の第２の領域２３が同じ四角状に作製されるが、隣り合うそれぞれの大きさや間隔を異にして作製することができる。
図２乃至図４は、本発明の実施例による非対称な四角柱状のフォトレジストを製造する露光工程を示す工程図である。
先ず、図２に示すように、スピンコータ（Ｓｐｉｎ Ｃｏａｔｅｒ）装備を利用してガラスまたはシリコンウェーハ基板３１の上に感光剤であるＰＲ（Ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ）３２をコーティングする。このとき、使用されるＰＲ３２の種類は、厚さによって多様に決められる。
先ず、図２に示すように、スピンコータ（Ｓｐｉｎ Ｃｏａｔｅｒ）装備を利用してガラスまたはシリコンウェーハ基板３１の上に感光剤であるＰＲ（Ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ）３２をコーティングする。このとき、使用されるＰＲ３２の種類は、厚さによって多様に決められる。
前記コーティング工程が終了すると、オーブンに入れ、コーティングされた基板３１をソフトベーキングを行う。このとき、ベーキング条件は、温度７０〜１２０℃で約２〜３０分の間で行うことが好ましい。
前記ソフトベーキングが終了すると、図３に示すように、マスク２１をＰＲコーティングされた基板３１の上に位置合わせキーに合わせて位置合わせを行い、図４に示すように、非対称な四角柱状に製造するために、決められた時間で垂直露光や傾斜露光の工程を行う。
このとき、露光工程に使用されるマスク２１は、大きさや方向が異なる四角形の複数の第２の領域２３を有するマスクである。そして、前記図３において、Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒａ３は、第２の領域２３ａ、２３ｂ及び２３ｃの垂直方向の幅を示し、Ｒｂ１、Ｒｂ２、Ｒｂ３は、第２の領域２３の水平方向の幅を示す。また、Ｌａ１、Ｌａ２は、第２の領域２３の垂直方向間の間隔を示し、Ｌｂ１、Ｌｂ２は、第２の領域２３の水平方向間の間隔を示す。
同図に示すように、前記Ｒａ１、Ｒａ２、Ｒａ３の幅とＲｂ１、Ｒｂ２、Ｒｂ３の幅は、それぞれ異なる幅で作製され、Ｌａ１、Ｌａ２の間隔とＬｂ１、Ｌｂ２の間隔も異なる幅で作製することができる。
そして、前記露光工程が終了すると、現像作業を行うが、現像条件として、現像液の温度は、常温でディッピングする方式を用いる。
前記現像結果を、図４を参照して、同図に示すように傾斜露光により光を通過した第１の領域２２のＰＲ３２領域は、溶けて無くなり、光を受けていない第２の領域２３ａ、２３ｂ及び２３ｃのＰＲ３２領域は残ることになる。
結局、基板３１に残ることは、光を受けていない第２の領域２３のＰＲ３４部分である。このとき、前記ＰＲ３４の形状は、第２の領域２３の形状と同じ四角状を取り、傾斜露光の結果として、下側に広がる傾斜面を有する四角柱状に作製される。
前記現像結果を、図４を参照して、同図に示すように傾斜露光により光を通過した第１の領域２２のＰＲ３２領域は、溶けて無くなり、光を受けていない第２の領域２３ａ、２３ｂ及び２３ｃのＰＲ３２領域は残ることになる。
結局、基板３１に残ることは、光を受けていない第２の領域２３のＰＲ３４部分である。このとき、前記ＰＲ３４の形状は、第２の領域２３の形状と同じ四角状を取り、傾斜露光の結果として、下側に広がる傾斜面を有する四角柱状に作製される。
このとき、前記ＰＲ３４は、傾斜露光の際の照射角度及び照射方向が変わるに従い、非対称形状を有する四角柱状に作製することができる。
前記露光工程により形成された非対称な四角柱状のＰＲ３４は、マスク２１の第２の領域２３ａ、２３ｂ及び２３ｃのパターンによることから、大きさも異なり、間隔も異なる四角柱状のＰＲ３４ａ、３４ｂ、３４ｃを形成することになる。
前記露光工程により形成された非対称な四角柱状のＰＲ３４は、マスク２１の第２の領域２３ａ、２３ｂ及び２３ｃのパターンによることから、大きさも異なり、間隔も異なる四角柱状のＰＲ３４ａ、３４ｂ、３４ｃを形成することになる。
図５は、露光された基板を非対称な四角柱状のＰＲ３４ａ、３４ｂ、３４ｃの長さが長い部分で切断した断面図であり、図６は、露光された基板を非対称な四角柱状のＰＲ３４ａ、３４ｂ、３４ｃの長さが短い部分で切断した断面図である。
同図に示すように、非対称な四角柱状の各ＰＲ３４ａ、３４ｂ、３４ｃは、同じ高さを有するが、大きさは異にして作製することができるし、各非対称な四角柱状の各ＰＲ３４ａ、３４ｂ、３４ｃ間の間隔（Ｌａ、Ｌｂ）を方向によって異に形成することができる。
同図に示すように、非対称な四角柱状の各ＰＲ３４ａ、３４ｂ、３４ｃは、同じ高さを有するが、大きさは異にして作製することができるし、各非対称な四角柱状の各ＰＲ３４ａ、３４ｂ、３４ｃ間の間隔（Ｌａ、Ｌｂ）を方向によって異に形成することができる。
上述の現像作業を終了すると、ホットプレート装備を用いてリフロー（Ｒｅｆｌｏｗ）工程を行い、前記非対称な四角柱状の各ＰＲ３４ａ、３４ｂ、３４ｃを湾曲させる。
ここで、前記リフロー工程は、ＰＲ３４ａ、３４ｂ、３４ｃを加熱して前記感光剤（すなわち、ＰＲ）が熱で溶け落ちる工程をいう。このとき、リフロー条件は、製造形状により異なるが、温度１００〜２００℃で数分の間で行うことが好ましい。
ここで、前記リフロー工程は、ＰＲ３４ａ、３４ｂ、３４ｃを加熱して前記感光剤（すなわち、ＰＲ）が熱で溶け落ちる工程をいう。このとき、リフロー条件は、製造形状により異なるが、温度１００〜２００℃で数分の間で行うことが好ましい。
図７は、本発明によるリフロー工程後の直線に配列されたＰＲの状態を示す平面図であり、図８は、本発明によるリフロー工程後の角度が変わって配列されたＰＲの状態を示す平面図であり、図９は、本発明によるリフロー工程後のＰＲの状態を示す断面図である。図１０は、入光部付近の台形状のマイクロレンズからなる光拡散部Ｂと、入光部から所定の距離だけ離れた半球状のマイクロレンズからなる光誘導部Ａとを示す平面図である。
同図に示すように、非対称な四角柱状のＰＲ３４ａ、３４ｂ、３４ｃをリフロー工程により台形状と半球状のマイクロレンズから構成されたハイブリッドマイクロレンズパターン３６を製作する。
同図に示すように、非対称な四角柱状のＰＲ３４ａ、３４ｂ、３４ｃをリフロー工程により台形状と半球状のマイクロレンズから構成されたハイブリッドマイクロレンズパターン３６を製作する。
上記したように製作されるハイブリッドマイクロレンズパターン３６は、マスク２１の大きさ、傾斜露光角度、及びリフロー時間により決定され、リフロー工程により様々な形態のハイブリッドマイクロレンズパターン３６を製作することができる。
また、前記図７乃至図８を参照して、本発明によるマイクロレンズの配列を様々な形態で実施することができる。
また、前記図７乃至図８を参照して、本発明によるマイクロレンズの配列を様々な形態で実施することができる。
上述のような本発明によると、マスク２１の第２の領域２３ａ、２３ｂ及び２３ｃの形状と大きさ及び配列を調整する過程と、傾斜露光の角度及び方向を調整する過程と、リフロー工程での温度及び時間を調節する過程とにより所望の形態のハイブリッドマイクロレンズパターン３６を形成できるだけでなく、さらに、所望の形態の光学設計を自由に行うことができるという利点がある。
図１１及び図１２は、本発明の実施例による陰刻スタンパー製造過程を示す工程図である。
同図に示すように、複数のハイブリッドマイクロレンズパターン３６（３６ａ、３６ｂ、３６ｃ）が形成された基板３１の上に金属薄膜４１をコーティングする。
このとき、前記金属薄膜４１のコーティングは、主としてクロム（Ｃｒ）コーティングを行っており、金（Ａｕ）をさらにコーティングすることができる。
同図に示すように、複数のハイブリッドマイクロレンズパターン３６（３６ａ、３６ｂ、３６ｃ）が形成された基板３１の上に金属薄膜４１をコーティングする。
このとき、前記金属薄膜４１のコーティングは、主としてクロム（Ｃｒ）コーティングを行っており、金（Ａｕ）をさらにコーティングすることができる。
そして、前記金属薄膜４１のコーティングが終了すると、基板３１をめっき装備に取り付け、図１２に示すように、ニッケル電気めっきを施す。このとき、供給される電流は、各ステップにより数アンペアを流し、これによるめっき厚さは、４００〜４５０μｍとなり（４インチウェーハ基準）、ニッケルめっきされた領域がスタンパー４２となる。
前記ニッケル電気めっきを施してスタンパー４２を形成した後、基板３１とスタンパー４２とを分離させる。このとき、分離されたスタンパー４２は、ハイブリッドマイクロレンズパターン３６が陰刻で転写された形態を有する。
前記ニッケル電気めっきを施してスタンパー４２を形成した後、基板３１とスタンパー４２とを分離させる。このとき、分離されたスタンパー４２は、ハイブリッドマイクロレンズパターン３６が陰刻で転写された形態を有する。
すなわち、前記スタンパー（以下、陰刻スタンパーという）４２には、ハイブリッドマイクロレンズパターン３６が陰刻で刻まれている。
上述の陰刻のハイブリッドマイクロレンズパターン３６を有する陰刻スタンパー４２を製作すると、前記陰刻スタンパー４２を金型として陽刻のハイブリッドマイクロレンズアレイパターンを有する導光板またはマイクロレンズアレイを成形することが可能となる。
そして、上記陰刻スタンパー４２を用いると、陰刻のハイブリッドマイクロレンズアレイパターンを有する導光板を製造するためのさらに他の陽刻スタンパーを製造することができる。
上述の陰刻のハイブリッドマイクロレンズパターン３６を有する陰刻スタンパー４２を製作すると、前記陰刻スタンパー４２を金型として陽刻のハイブリッドマイクロレンズアレイパターンを有する導光板またはマイクロレンズアレイを成形することが可能となる。
そして、上記陰刻スタンパー４２を用いると、陰刻のハイブリッドマイクロレンズアレイパターンを有する導光板を製造するためのさらに他の陽刻スタンパーを製造することができる。
図１３は、本発明の実施例による陽刻スタンパー製造工程を示す概略図であり、同図に示すように、陰刻スタンパー４２の非対称な曲率のマイクロレンズアレイパターンの上に新しいニッケルめっき工程を施す。
前記めっき工程により新しいニッケルめっき領域４４が形成され、前記ニッケルめっき領域４４は、陰刻スタンパー４２から分離させることができる。
このように、陰刻スタンパー４２から分離された新しいニッケルめっき領域４４は、前記陰刻スタンパー４２が転写された形態を有する新しい陽刻スタンパー４４を形成することになる。
前記めっき工程により新しいニッケルめっき領域４４が形成され、前記ニッケルめっき領域４４は、陰刻スタンパー４２から分離させることができる。
このように、陰刻スタンパー４２から分離された新しいニッケルめっき領域４４は、前記陰刻スタンパー４２が転写された形態を有する新しい陽刻スタンパー４４を形成することになる。
すなわち、新しい陽刻スタンパー４４は、ハイブリッドマイクロレンズアレイパターンが陽刻であるに対し、ハイブリッドマイクロレンズ間によるグルーブが陰刻で刻まれることになる。
よって、前記陽刻スタンパー４４を金型にすると、陰刻のハイブリッドマイクロレンズアレイパターンを有する導光板（図示せず）を成形することが可能となる。
上述のような本発明は、３次元的なハイブリッドマイクロレンズを形成するための方法であり、機械加工でない半導体リフロー工程を行って製作する。
上述のような本発明は、３次元的なハイブリッドマイクロレンズを形成するための方法であり、機械加工でない半導体リフロー工程を行って製作する。
前記本発明は、このために、１次の垂直露光と１次の傾斜露光とを行ってフォトレジスト材料を非対称な四角柱状にし、フォトレジストのリフロー特性を利用して熱処理を行うことにより、それぞれの非対称な四角柱が光を反射または屈折させる台形マイクロレンズと、散乱や拡散効果を有する半球状のマイクロレンズとからなるハイブリッドマイクロレンズパターンを製作することが可能となり、これを用いてハイブリッドマイクロレンズを有する導光板を製作することが可能となる。
以上のように、上記実施の形態を参照して詳細に説明され図示されたが、本発明は、これに限定されるものでなく、このような本発明の基本的な技術的思想を逸脱しない範囲内で、当業界の通常の知識を有する者にとっては、他の多くの変更が可能であろう。また、本発明は、添付の特許請求の範囲により解釈されるべきであることは言うまでもない。
本発明によると、リフロー工程を行って垂直露光や傾斜露光により製造されたフォトレジストによるハイブリッドマイクロレンズを製造することにより、簡単な製造工程により微細なハイブリッドマイクロレンズアレイパターンを製造することができるし、それにより、費用を減らし、製造時間を短縮するという効果がある。
また、本発明は、露光工程やリフロー工程によりフォトレジストの大きさや傾斜を調節することにより、ハイブリッドマイクロレンズを製作者任意に製造することができ、所望の光学的性質を有するハイブリッドマイクロレンズを導光板に任意に製造できるという効果がある。
また、本発明は、露光工程やリフロー工程によりフォトレジストの大きさや傾斜を調節することにより、ハイブリッドマイクロレンズを製作者任意に製造することができ、所望の光学的性質を有するハイブリッドマイクロレンズを導光板に任意に製造できるという効果がある。
３１ シリコンウェーハ基板
３６ ハイブリッドマイクロレンズパターン
３６ ハイブリッドマイクロレンズパターン
Claims (13)
- 導光板のマイクロレンズ製造方法において、
光が通過する第１の領域と光が通過しない複数の第２の領域とを形成するが、前記第２の領域がそれぞれ異なる大きさ及び形状を有するハイブリッドアレイを形成するようになっているマスクをフォトレジストのコーティングされた基板上に位置合わせする第１のステップと、
前記ハイブリッドアレイを形成する第２の領域の上側から下側に照射される光が、少なくとも１方向以上で非対称な傾斜角を有するように、少なくとも１回以上の傾斜露光や垂直露光を行う第２のステップと、
前記傾斜露光された基板を現像してそれぞれは非対称な傾斜柱状を有し、様々な大きさ及び形状からなるハイブリッドフォトレジスト柱を得る第３のステップと、
前記ハイブリッドフォトレジスト柱をリフロー工程によりそれぞれ湾曲させてハイブリッドマイクロレンズパターンを得る第４のステップと、
前記ハイブリッドマイクロレンズパターンが陰刻されるように陰刻スタンパーを製造する第５のステップと、
前記陰刻スタンパーを金型として前記ハイブリッドマイクロレンズパターンが陽刻された導光板を成形する第６のステップとを含むことを特徴とする半導体リフロー工程を用いた導光板のハイブリッドマイクロレンズ製造方法。 - 前記マスクは、フィルムマスクまたはクロムマスクであることを特徴とする請求項１に記載の半導体リフロー工程を用いた導光板のハイブリッドマイクロレンズ製造方法。
- 前記マスクの第２の領域は、一方向の延長線上に配列されるが、それぞれの第２の領域は、異なる大きさ及び形状を有するハイブリッドアレイを形成し、前記ハイブリッドアレイは、隣り合うさらに他のハイブリッドアレイから適当な距離だけ離れて形成され、前記ハイブリッドアレイを形成するそれぞれの第２の領域は、その間隔を異にして配列されることを特徴とする請求項１に記載の半導体リフロー工程を用いた導光板のハイブリッドマイクロレンズ製造方法。
- 前記マスクの各第２の領域は、四角状に作製されることを特徴とする請求項１に記載の半導体リフロー工程を用いた導光板のハイブリッドマイクロレンズ製造方法。
- 前記第４のステップは、非対称な傾斜柱状を有するハイブリッドフォトレジスト柱が非対称な四角柱状の上部とを有するハイブリッドマイクロレンズパターンまたは半球状の上部とを有するハイブリッドマイクロレンズパターンを形成するまでにリフロー工程を行うことを特徴とする請求項１に記載の半導体リフロー工程を用いた導光板のハイブリッドマイクロレンズ製造方法。
- 前記第５のステップは、ハイブリッドマイクロレンズパターンの形成された基板上に金属薄膜をコーティングするステップと、前記金属薄膜上にニッケル電気めっきを行い、前記ニッケル電気めっきした領域のみを分離させてスタンパーを形成するステップとを含むことを特徴とする請求項１に記載の半導体リフロー工程を用いた導光板のハイブリッドマイクロレンズ製造方法。
- 前記金属薄膜コーティングは、クロムコーティングであることを特徴とする請求項６に記載の半導体リフロー工程を用いた導光板のハイブリッドマイクロレンズ製造方法。
- 前記金属薄膜コーティングは、前記クロムをコーティングした後、金をさらにコーティングすることを特徴とする請求項７に記載の半導体リフロー工程を用いた導光板のハイブリッドマイクロレンズ製造方法。
- 前記陰刻スタンパーをマスクとして、前記陰刻スタンパーのハイブリッドマイクロレンズパターンが陽刻されるようにした陽刻スタンパーを製作するステップと、前記陽刻スタンパーを金型としてハイブリッドマイクロレンズパターンが陰刻された導光板を成形するステップとをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の半導体リフロー工程を用いた導光板のハイブリッドマイクロレンズ製造方法。
- 前記陽刻スタンパーは、陰刻スタンパーのハイブリッドマイクロレンズアレイパターン上にニッケルめっきを施した後、これを分離させて製作することを特徴とする請求項９に記載の半導体露光工程を用いた導光板のハイブリッドマイクロレンズ製造方法。
- 複数のマイクロレンズが形成される導光板において、
前記導光板上の一方向の延長線上に大きさ及び形状を異にする複数のマイクロレンズが位置合わせされるが、前記それぞれのマイクロレンズは、大きさ及び形状を異にするハイブリッドマイクロレンズアレイを構成し、前記のようなハイブリッドマイクロレンズアレイが複数配列され、前記アレイを構成するそれぞれのマイクロレンズは、その間隔を異にして形成することを特徴とするハイブリッドマイクロレンズを有する導光板。 - 前記導光板に形成される複数のハイブリッドマイクロレンズのうちのいずれか一部は、大きさを異にしたり、配列方向を異にしたりして配列されることを特徴とする請求項１１に記載のハイブリッドマイクロレンズを有する導光板。
- 前記導光板は、マイクロレンズにより入光部の光を拡散させるようになっている光拡散部と、マイクロレンズに光を乱反射させて均一な輝度を示すようにする光誘導部とから構成されることを特徴とする請求項１１に記載のハイブリッドマイクロレンズを有する導光板。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020050031604A KR100658162B1 (ko) | 2005-04-15 | 2005-04-15 | 하이브리드 마이크로렌즈 제조 방법 및 이의 방법에 의해 제조된 도광판 |
| PCT/KR2006/000758 WO2006109924A1 (en) | 2005-04-15 | 2006-03-06 | Method for manufacturing a hybrid microlens |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008545996A true JP2008545996A (ja) | 2008-12-18 |
Family
ID=37087179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008506362A Pending JP2008545996A (ja) | 2005-04-15 | 2006-03-06 | ハイブリッドマイクロレンズ製造方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20080316601A1 (ja) |
| EP (1) | EP1875304A4 (ja) |
| JP (1) | JP2008545996A (ja) |
| KR (1) | KR100658162B1 (ja) |
| CN (1) | CN101176030B (ja) |
| WO (1) | WO2006109924A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011039864A1 (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-07 | 興和株式会社 | 導光板の製造方法および導光板 |
| JP2015510656A (ja) * | 2012-01-09 | 2015-04-09 | 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司 | 導光板のドット、導光板の製造方法、バックライトモジュール、及び表示装置 |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100793927B1 (ko) * | 2006-12-01 | 2008-01-16 | 한국생산기술연구원 | 액정표시장치(ｌｃｄ)의 고휘도를 위한 광휘도 향상 필름제조방법과 그 광휘도 향상 필름 |
| KR100952144B1 (ko) * | 2006-12-26 | 2010-04-09 | 한국생산기술연구원 | 경사 곡면이 형성된 마이크로 렌즈 및 그 제조방법, 그리고이를 이용한 도광판, 백라이트유닛 및 표시장치 |
| WO2008078963A1 (en) * | 2006-12-26 | 2008-07-03 | Korea Institute Of Industrial Technology | Microlens assembly formed with curved incline and method for manufacturing the same, and light guiding plate, back light unit and display using the same |
| KR100906139B1 (ko) * | 2007-06-22 | 2009-07-07 | 순천향대학교 산학협력단 | 도광판 및 그 제조방법 |
| JP5543341B2 (ja) * | 2007-07-11 | 2014-07-09 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 浮かび上がる合成画像を有するシート |
| KR100915758B1 (ko) * | 2007-11-19 | 2009-09-04 | 주식회사 동부하이텍 | 이미지센서의 제조방법 |
| JP2010140721A (ja) * | 2008-12-10 | 2010-06-24 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 調光パターンの生成方法、光拡散板の製造方法、光拡散板、調光フィルム、面光源装置、及び、透過型画像表示装置 |
| KR101302402B1 (ko) * | 2011-02-01 | 2013-09-02 | 레이젠 주식회사 | 도광판 제조용 스탬퍼 및 이의 제조 방법 |
| CN102410495B (zh) * | 2011-12-07 | 2014-10-15 | 丹阳博昱科技有限公司 | 具有不同取向微结构区域的光学片及其制作方法 |
| DE102012023478A1 (de) * | 2012-11-28 | 2014-05-28 | Technische Universität Ilmenau | Vorrichtung zum Manipulieren einer Bildinformation und deren Verwendung |
| KR102194530B1 (ko) * | 2013-11-29 | 2020-12-23 | 엘지디스플레이 주식회사 | 부분 웨지 도광판 및 이를 구비한 액정표시소자 |
| KR101478052B1 (ko) * | 2013-12-03 | 2014-12-31 | 에이테크솔루션(주) | 엘이디 렌즈들이 일체화된 하이브리드 도광판을 사출성형하기 위한 스탬퍼 |
| CN104266110A (zh) * | 2014-09-17 | 2015-01-07 | 广东长虹电子有限公司 | 一种透镜混合应用的新型背光模组 |
| CN104216035B (zh) * | 2014-09-26 | 2016-03-23 | 厦门大学 | 位于成像光纤顶端的曲面变焦距复眼微透镜的制作方法 |
| KR102652314B1 (ko) * | 2016-12-26 | 2024-03-29 | 엘지디스플레이 주식회사 | 백라이트 유닛 및 이를 포함하는 표시장치 |
| TWI612251B (zh) | 2017-01-03 | 2018-01-21 | 聯嘉光電股份有限公司 | 發光裝置 |
| CN107367881B (zh) * | 2017-08-31 | 2020-05-29 | 宁波视睿迪光电有限公司 | 液晶透镜阵列的制作方法及系统 |
| KR102214328B1 (ko) * | 2019-07-01 | 2021-02-15 | 주식회사 멤스룩스 | 비대칭형 출광 패턴을 갖는 디퓨져 및 이의 제조 방법 |
| CN114609705B (zh) * | 2022-03-08 | 2023-07-18 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 一种高占空比微透镜阵列的制作方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1148354A (ja) * | 1997-07-31 | 1999-02-23 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | マイクロレンズの加工方法 |
| JP2004314539A (ja) * | 2003-04-18 | 2004-11-11 | Towa Corp | 導光板成形用金型の加工方法及び金型と導光板 |
| JP2004333853A (ja) * | 2003-05-07 | 2004-11-25 | Olympus Corp | 焦点板及び焦点板の製造方法 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09269489A (ja) * | 1996-02-02 | 1997-10-14 | Hitachi Ltd | 液晶表示装置及び背面照明部用導光板の製造方法 |
| JPH11311778A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-11-09 | Hitachi Ltd | 液晶表示装置 |
| JP3257457B2 (ja) * | 1997-07-31 | 2002-02-18 | 株式会社日立製作所 | 液晶表示装置 |
| JP2000131690A (ja) * | 1998-10-28 | 2000-05-12 | Hitachi Ltd | 導光板及びこれを用いた液晶表示装置 |
| JP2000171641A (ja) * | 1998-12-10 | 2000-06-23 | Hitachi Ltd | バックライト装置および液晶表示装置並びに導光板の製造方法 |
| US20050024849A1 (en) * | 1999-02-23 | 2005-02-03 | Parker Jeffery R. | Methods of cutting or forming cavities in a substrate for use in making optical films, components or wave guides |
| KR100295505B1 (ko) * | 1999-06-25 | 2001-07-12 | 김우연 | 평판형 표시장치의 도광판 및 그 제조방법 |
| JP3742570B2 (ja) * | 2000-08-11 | 2006-02-08 | 株式会社エンプラス | 導光板、面光源装置及び表示装置 |
| JP3828402B2 (ja) * | 2001-11-08 | 2006-10-04 | 株式会社日立製作所 | 背面照明装置およびこれを用いた液晶表示装置並びに液晶表示装置の照明方法 |
| JP2004087234A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-03-18 | Daicel Chem Ind Ltd | 面光源ユニット及びそれを用いた透過型表示装置 |
| JP4436105B2 (ja) * | 2002-11-29 | 2010-03-24 | 富士通株式会社 | リフレクタ及び照明装置及び導光板及び表示装置 |
| KR100537505B1 (ko) * | 2003-01-27 | 2005-12-19 | 삼성전자주식회사 | 마이크로 렌즈 어레이의 제조방법 |
| KR20050005357A (ko) * | 2003-07-01 | 2005-01-13 | 삼성전자주식회사 | 마이크로렌즈 제작방법 및 이를 이용한 광모듈 제작방법 |
| US6994951B1 (en) * | 2004-10-04 | 2006-02-07 | U-Tech Media Corp. | Method of fabricating a stamper by half-tone technology |
-
2005
- 2005-04-15 KR KR1020050031604A patent/KR100658162B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-03-06 JP JP2008506362A patent/JP2008545996A/ja active Pending
- 2006-03-06 WO PCT/KR2006/000758 patent/WO2006109924A1/en active Application Filing
- 2006-03-06 CN CN2006800167427A patent/CN101176030B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-03-06 US US11/911,392 patent/US20080316601A1/en not_active Abandoned
- 2006-03-06 EP EP06716208A patent/EP1875304A4/en not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1148354A (ja) * | 1997-07-31 | 1999-02-23 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | マイクロレンズの加工方法 |
| JP2004314539A (ja) * | 2003-04-18 | 2004-11-11 | Towa Corp | 導光板成形用金型の加工方法及び金型と導光板 |
| JP2004333853A (ja) * | 2003-05-07 | 2004-11-25 | Olympus Corp | 焦点板及び焦点板の製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011039864A1 (ja) * | 2009-09-30 | 2011-04-07 | 興和株式会社 | 導光板の製造方法および導光板 |
| JP2015510656A (ja) * | 2012-01-09 | 2015-04-09 | 京東方科技集團股▲ふん▼有限公司 | 導光板のドット、導光板の製造方法、バックライトモジュール、及び表示装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101176030A (zh) | 2008-05-07 |
| WO2006109924A1 (en) | 2006-10-19 |
| CN101176030B (zh) | 2010-05-19 |
| EP1875304A4 (en) | 2009-03-04 |
| US20080316601A1 (en) | 2008-12-25 |
| KR100658162B1 (ko) | 2006-12-15 |
| EP1875304A1 (en) | 2008-01-09 |
| KR20060109372A (ko) | 2006-10-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2008545996A (ja) | ハイブリッドマイクロレンズ製造方法 | |
| KR100658164B1 (ko) | 비대칭 피라미드 마이크로렌즈 제조 방법 및 이의 방법에 의해 제조된 도광판 | |
| CN1993582B (zh) | 导光板及其制造方法、以及具有导光板的面光源装置 | |
| JP3828402B2 (ja) | 背面照明装置およびこれを用いた液晶表示装置並びに液晶表示装置の照明方法 | |
| KR20090047495A (ko) | 백라이트 장치에 사용되는 마이크로렌즈 어레이 시트 및 마이크로렌즈 어레이 시트를 제조하기 위한 롤판 | |
| JP4316559B2 (ja) | 導光板及びその製造方法 | |
| JP4802093B2 (ja) | 微細構造体の製造方法、該微細構造体を用いたスタンパの製造方法、及び該スタンパを用いた樹脂製の微細構造体の製造方法 | |
| KR100658163B1 (ko) | 반도체 리플로우 공정를 이용한 도광판의 연속마이크로렌즈제조 방법 및 이의 방법에 의해 제조된 도광판 | |
| US20060002138A1 (en) | Light guide plate and method for munufacturing the same | |
| KR100698636B1 (ko) | 비대칭 다-곡률 마이크로렌즈 제조 방법 및 이의 방법에 의해 제조된 도광판 | |
| KR100857723B1 (ko) | 마이크로 렌즈 패턴 형성방법, 도광판용 코어금형의제조방법 및 코어금형을 이용한 도광판 제조방법 | |
| KR20070056376A (ko) | 점광원을 이용한 도광판 및 그 제조방법 | |
| CN1979290A (zh) | 导光板及导光板制造方法 | |
| JP2007101567A (ja) | 導光板製作用スタンパの製造方法及び導光板の製作方法 | |
| JP2005324538A (ja) | 導光板構造及びその製造方法 | |
| KR100581029B1 (ko) | 반도체 리플로우 공정를 이용한 다수의 다곡률렌즈 제조방법 및 이의 방법에 의해 제조된 도광판 | |
| KR101302402B1 (ko) | 도광판 제조용 스탬퍼 및 이의 제조 방법 | |
| KR100859293B1 (ko) | 조사 효율을 향상시키기 위한 프리즘 패턴형상을 적용한키패드 백라이트용 도광필름 및 그 제조 방법 | |
| KR100952144B1 (ko) | 경사 곡면이 형성된 마이크로 렌즈 및 그 제조방법, 그리고이를 이용한 도광판, 백라이트유닛 및 표시장치 | |
| KR100430427B1 (ko) | 도광판의 패턴 형성 방법, 및 그에 의하여 형성된 패턴을구비한 도광판 | |
| KR101040526B1 (ko) | 도광판 제조를 위한 홀로그램 패턴의 임프린트 공정을 통한금형 제작방법 | |
| TW442691B (en) | Surface light source device of integrated light guide plate and prism sheet | |
| KR20030083361A (ko) | 음성 자외선 감광재를 이용한 액정소자 후광장치용 금형제조 방법 | |
| KR20060093890A (ko) | 스탬퍼 제작 방법 | |
| JP2006021526A (ja) | 導光板金型及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100525 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101116 |