KR100639280B1 - 다공성의 강산성 중합체를 채용한 필터 - Google Patents

다공성의 강산성 중합체를 채용한 필터 Download PDF

Info

Publication number
KR100639280B1
KR100639280B1 KR1020017002184A KR20017002184A KR100639280B1 KR 100639280 B1 KR100639280 B1 KR 100639280B1 KR 1020017002184 A KR1020017002184 A KR 1020017002184A KR 20017002184 A KR20017002184 A KR 20017002184A KR 100639280 B1 KR100639280 B1 KR 100639280B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
filter
air
acidic
photolithography system
filter element
Prior art date
Application number
KR1020017002184A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20010072815A (ko
Inventor
올레그 키쉬코비치
로버트 더블유. 레주케
데번 킨케어드
Original Assignee
엔테그리스, 아이엔씨.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엔테그리스, 아이엔씨. filed Critical 엔테그리스, 아이엔씨.
Publication of KR20010072815A publication Critical patent/KR20010072815A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100639280B1 publication Critical patent/KR100639280B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D39/02—Loose filtering material, e.g. loose fibres
    • B01D39/04—Organic material, e.g. cellulose, cotton
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/28—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties
    • B01J20/28002—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties characterised by their physical properties
    • B01J20/28004—Sorbent size or size distribution, e.g. particle size
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/22—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising organic material
    • B01J20/26—Synthetic macromolecular compounds
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/28—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties
    • B01J20/28002—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties characterised by their physical properties
    • B01J20/28011—Other properties, e.g. density, crush strength
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/28—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties
    • B01J20/28014—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties characterised by their form
    • B01J20/28023—Fibres or filaments
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/28—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties
    • B01J20/28014—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties characterised by their form
    • B01J20/28026—Particles within, immobilised, dispersed, entrapped in or on a matrix, e.g. a resin
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/28—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties
    • B01J20/28014—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties characterised by their form
    • B01J20/28028—Particles immobilised within fibres or filaments
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/28—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties
    • B01J20/28014—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties characterised by their form
    • B01J20/2803—Sorbents comprising a binder, e.g. for forming aggregated, agglomerated or granulated products
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/28—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties
    • B01J20/28014—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties characterised by their form
    • B01J20/28033—Membrane, sheet, cloth, pad, lamellar or mat
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/28—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties
    • B01J20/28054—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties characterised by their surface properties or porosity
    • B01J20/28057—Surface area, e.g. B.E.T specific surface area
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/28—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties
    • B01J20/28054—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties characterised by their surface properties or porosity
    • B01J20/28078—Pore diameter
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/28—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties
    • B01J20/28054—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties characterised by their surface properties or porosity
    • B01J20/28078—Pore diameter
    • B01J20/2808—Pore diameter being less than 2 nm, i.e. micropores or nanopores
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/28—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties
    • B01J20/28054—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties characterised by their surface properties or porosity
    • B01J20/28078—Pore diameter
    • B01J20/28083—Pore diameter being in the range 2-50 nm, i.e. mesopores
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
    • B01J20/30—Processes for preparing, regenerating, or reactivating
    • B01J20/32—Impregnating or coating ; Solid sorbent compositions obtained from processes involving impregnating or coating
    • B01J20/3202—Impregnating or coating ; Solid sorbent compositions obtained from processes involving impregnating or coating characterised by the carrier, support or substrate used for impregnation or coating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/10—Inorganic adsorbents
    • B01D2253/102—Carbon
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/20—Organic adsorbents
    • B01D2253/202—Polymeric adsorbents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/25—Coated, impregnated or composite adsorbents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/30—Physical properties of adsorbents
    • B01D2253/302—Dimensions
    • B01D2253/306—Surface area, e.g. BET-specific surface
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/30—Physical properties of adsorbents
    • B01D2253/302—Dimensions
    • B01D2253/308—Pore size
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
    • B01D2253/30—Physical properties of adsorbents
    • B01D2253/34—Specific shapes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/40—Nitrogen compounds
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2257/00—Components to be removed
    • B01D2257/40—Nitrogen compounds
    • B01D2257/406—Ammonia
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/02—Other waste gases
    • B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2259/00—Type of treatment
    • B01D2259/40—Further details for adsorption processes and devices
    • B01D2259/414—Further details for adsorption processes and devices using different types of adsorbents
    • B01D2259/4141—Further details for adsorption processes and devices using different types of adsorbents within a single bed
    • B01D2259/4145—Further details for adsorption processes and devices using different types of adsorbents within a single bed arranged in series
    • B01D2259/4146—Contiguous multilayered adsorbents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2259/00—Type of treatment
    • B01D2259/40—Further details for adsorption processes and devices
    • B01D2259/414—Further details for adsorption processes and devices using different types of adsorbents
    • B01D2259/4141—Further details for adsorption processes and devices using different types of adsorbents within a single bed
    • B01D2259/4145—Further details for adsorption processes and devices using different types of adsorbents within a single bed arranged in series
    • B01D2259/4148—Multiple layers positioned apart from each other
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y80/00—Products made by additive manufacturing
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S55/00—Gas separation
    • Y10S55/05—Methods of making filter

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Filtering Materials (AREA)
  • Gas Separation By Absorption (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Abstract

본 발명은 다공성이며 산성 작용기를 포함하는 청정하고, 효율이 높으며 압력 강하가 낮고 흡착성이 큰 필터 물질을 제공한다. 상기 필터는 예를 들어 술폰산 사이드 작용기를 갖는 다공성의 술폰화된 디비닐 벤젠 스티렌 공중합체 비드를 갖는 부직 필터 복합체를 포함할 수 있다. 부직 필터는 반도체 제작 및 고순도의 청정한 기체 환경을 필요로 하는 그 밖의 공정에 이용되는 대기로부터 암모니아, 유기 아민, 이미드, 아미노알코올, 알코올아민을 포함하는 분자 수준의 염기를 제거하는데 이용된다.

Description

다공성의 강산성 중합체를 채용한 필터 {FILTERS EMPLOYING POROUS STRONGLY ACIDIC POLYMERS}
대기 오염이 증가하는 오늘날, 우리가 숨쉬는 대기로부터 화학물질을 제거하는 것이 모든 이의 관심이 되고 있다. 또한, 전자 재료 및 반도체와 같은 장치의 제작에 있어서, 고순도의 청정 공기를 필요로 한다.
기체상 여과는 통상 다양한 방법으로 제작된 활성탄을 사용하여 수행된다. 하나의 접근법으로는 탄소를 기판에 접착시키는 탄소/접착제 슬러리가 사용된다. 접착제는 표면상에 막을 형성함으로써 탄소 성능을 저하시킨다.
두 번째 접근법은 유기물을 기재로 하는 웹을 가열하여 탄화시킨 후, 이어서 탄소를 활성화하는 것과 관련된다. 이러한 물질은 고가이고, 비교적 낮은 흡착 능력을 갖는다.
세 번째 접근법은 웹 제지 공정과 유사한 공정으로 탄소 분말 및 섬유의 슬러리로 시트(sheet)를 형성하는 것과 관련된다. 이러한 물질은 중간 이상의 비용을 가지며, 바람직하지 않은 높은 압력 강하를 갖는다. 더욱이, 화학적으로 포화된 탄소 입자가 수용성 공정과 연계하여 능률적으로 사용될 수 없다. 왜냐하면 공정의 수용성 성질이 탄소를 포화시키는 화학물질을 세척하거나, 포화된 또는 활성된 화학 작용기와 바람직하지 않은 반응을 함으로써 그것을 비작용적으로 하기 때문이다. 그러나, 일반적으로, 화학적 활성기를 포함하지 않은 필터 물질은 화학적 활성기를 포함한 것에 비하여 덜 효과적으로 작용한다.
이러한 접근법의 어느 것도 청정하고, 비용 절감적이며, 고효율을 가지며, 낮은 압력 강하와 흡착성을 띠는 합성물을 제공하는 바람직한 특성을 충분히 달성하지는 않는다.
발명의 요약
본 발명은 청정하고, 비용 절감적이며, 고효율을 가지며, 낮은 압력 강하와, 흡착성을 띠며, 넓은 표면영역 및 화학적으로 고포화된 산성 흡착제를 포함하는 필터를 포함한다. 본 발명의 바람직한 구체예는, 공기중에 존재하는 가스상의 염기 성분(airbone base)와 결합하는 산성 작용기를 가진 부직(non-woven) 합성 물질을 사용한다. 본 발명은, 반도체 웨이퍼 공정 설비를 통해 순환하는 공기중에 존재하는 분자 수준의 염기와 같은 불순물에 민감한 재료를 사용하는 리소그래피 시스템에 이용될 수 있다. 암모니아, NMP, 트리에틸아민 피리딘 등을 포함하는 많은 염기가 본 발명에 따라 여과된 툴 클러스터(tool cluster) 내에서 2 ppb 미만의 농도로 유지될 수 있다. 또한, 본 발명은 예컨데, 활성 흡착제를 부직 담체에 건조 도포하고, 그 다음 가열하고, 커버 시트로 칼렌딩하는 것을 포함하는 필터 형성 방법을 포함한다.
본 발명의 바람직한 구체예에 있어서, 부직 담체는 폴리에스테르 부직물일 수 있고, 흡착제는 술폰화된 디비닐 벤젠 스티렌 공중합체일 수 있다. 또 다른 바람직한 구체예는 카르복실 작용기를 사용한다. 산성 작용기는 1 meq/g 이상의 산성도 바람직하게는, 4.0 meq/g 이상의 산성도를 갖는다. 사용되는 중합체는 다공성이고, 바람직하게는 50~400 Å의 세공 크기와 20 m2/g 또는 그 이상의 표면적을 갖는다.
부직성 폴리에스테르 배팅의 건조 처리는 폴리에스테르 배팅 깊이에 걸쳐 흡착제 입자를 고르게 분포시킨다. 이것은 매우 낮은 압력 강하에서 증가된 층 깊이를 제공하며, 이는 층 깊이가 2배로 증가하면 얇은 섬유 기재의 술폰성 층(thin fabric based sulfonic beds)을 사용하는 경우, 필터의 파괴시간(breakthrough time)을 4배로 늘릴 수 있기 때문에 바람직하다.
따라서, 본 발명은 청정하고, 비용 절감적이며, 고효율을 가지며, 압력 저하가 낮은 흡착성 부직 필터 복합체, 및 상기 복합체를 형성하는 방법을 제공한다. 이러한 신규의 필터 복합체는 기체 또는 증기 상태일 수 있는 공기 스트림중의 염기 오염물의 제거에 특히 유용하다. 필터의 세공 크기 보다 큰 경우에 미립물질이 제거된다. 필터는 동력 소비 및 시스템 작동에 대한 영향을 최소화하기 위한 압력 강하와 함께 12개월 이상의 사용기간을 갖는다. 예컨대, 높은 압력 강하 필터는 리소그래피 시스템이 필터 교체후 온도 및 습도를 평형화하는데 보다 장시간을 필요로 할 수 있다.
대안의 실시예에서, 필터는 술폰화된 디비닐 벤젠 스티렌 공중합체 및 활성탄 양자 모두를 흡착제로서 사용한다. 활성탄은 부기 필터 복합체(Non-Woven Filter Composite)로 제목 붙혀진 미국 특허 제 5,582,865호에서 보다 상세히 설명되어 있으며, 본 명세서에 참고로 합체되어 있다. 이 바람직한 실시예에서 필터는 2개(또는 그 이상)의 층, 즉 하나의 활성탄층 및 하나의 술폰화된 디비닐 벤젠 스티렌 공중합체 비드층을 가진다. 부가적으로, 본 발명의 필터 시스템을 제공하기 위해 2개 이상의 물질이 혼합될 수 있다.
다른 바람직한 실시예에서는, 그 전문이 본원에 참고문헌으로 삽입된 미국 특허 제 5,834,114호에서 논의된 바와 같은 합성 탄소 재료가 본 발명에 따른 다공성 산성 필터를 제공하기 위하여 본 발명에 따른 물질로 코팅될 수 있다.
필터 교체 시기를 공기중의 염기 오염물의 검출에 의해 측정하기 위한 검출 시스템 및 방법이 미국 특허 출원 제 09/232,119호[참조: "Detection of Base Contaminants in Gas Samples" filed on January 14, 1999 with Oleg Kishkovich et al.]에 기재되어 있다. 또한, 미국 특허 출원 제 08/795,949호[참조: "Detecting of Base Contaminants", filed February 28, 1997 with Oleg Kishkovich et al.] 및 미국 특허 출원 제 08/996,790호[참조: "Protection of Semiconductor Fabrication Similar Sensitive Process", filed December 23, 1997 with Oleg Kishkovich et al.]도 본 발명과 함께 이용될 수 있다. 이들 특허 출원은 공기중의 아민에 민감한 화학적으로 증폭된 포토레지스트를 사용한 DUV 리소그래피 공정의 보호 방법을 개시하고 있다. 이들 특허 출원은 그 전문이 본원에서 참고문헌으로 삽입된다.
큰 표면적 및 원하는 유동 특성을 갖는 필터 엘리먼트를 제작하는 방법의 한 바람직한 실시예는 한 층의 상면에 다른 한 층이 순차적으로 층으로 증착되는 분말화된 물질의 사용을 포함한다. 분말화된 물질로 각 층을 증착한 후에, 형성되는 3차원 필터 엘리먼트의 컴퓨터 모델에 따라 프린팅 기법을 사용하여 결합제 물질이 분말화된 물질의 각 층 위로 이송된다. 필요한 분말 층 및 결합제 물질 모두를 순차적으로 도포하여 본 부품을 형성한 후, 결합되지 않은 분말을 적절하게 제거하여, 목적하는 3차원 필터 엘리먼트를 형성시킨다. 이러한 기법을 고도의 해상력을 갖도록 형성되는 높은 표면적을 가진 복합 단위 또는 복합체 필터를 제조할 수 있다.
도면의 간단한 설명
본 발명의 상기 및 기타 목적, 특징 및 장점은 첨부 도면으로 예시되는 하기 본 발명의 바람직한 구현예의 보다 상세한 설명으로부터 명백해질 것이며, 도면중의 동일한 참조 부호는 상이한 도면에 걸쳐 동일한 부분을 지칭한다. 도면은 반드시 비례적인 것은 아니며, 본 발명의 원리를 예시하는데 중점을 두고 있다.
도1은 열처리 및 캘린더링 전의 본 발명의 장치의 투시도이다.
도2a는 가열 및 캘린더링(calendering) 후의 본 발명의 장치의 투시도이다.
도2b는 커버 시트(cover sheet)를 갖는, 가열 및 캘린더링 후의 본 발명의 장치의 투시도이다.
도3a는 플리트형(pleated) 구조의 주름을 나타내는 정사각형 또는 직사각형의 격납 구조의 본 발명의 장치의 투시도이다.
도3b는 플리트형 구조를 나타내는 본 발명의 장치의 상부도이다.
도4는 사각형 또는 직사각형 격납 구조에서의 높은 최초 통과 효능의 다중 플리트형 팩 패널 필터(multi-pleat pack panel filter)를 갖는 본 발명의 장치의 상부도이다.
도5a는 방사상으로 플리팅된 실린더형 격납 구조의 본 발명의 장치의 상부도이다.
도5b는 매질 래핑된(wrapped) 실린더형 필터의 본 발명의 장치의 상부도이다.
도6은 본 발명의 필터를 제조하는 방법의 투시도이다.
도7은 본 발명에 따라 제조된 플리팅된 필터이다.
도8은 염기성 물질 제거 효능을 갖는, 사전 입수가능한 필터 및 본 발명에 따라 제조된 필터를 포함하는 그래프 도식이다.
도9는 본 발명의 바람직한 구체예에 따른 필터를 제조하는 방법이다.
도10은 상기 방법에 따라 제조된 3차원 필터의 예를 도시한 것이다.
발명의 상세한 설명
도1에는, 복합체(16)의 일부가 도시되어 있다. 복합체(16)는 커버 시트(66)와 중간층(62)을 갖는다. 바람직한 실시예에서, 커버 시트(66)는 결합제 대 섬유의 비가 55/44이고 두께가 0.61mm(0.024인치)인 폴리에스테르 부직포이다. 중간층(62)은 두께가 6.4mm(0.25인치)이고 결합제 대 섬유의 비율이 35%/65%인 공기가 존재하는 폴리에스테르 부직포이다. 복합체는 필터를 유동하는 공기중의 분자 수준의 염기와 용이하게 결합하는 다공성의 산성 중합체 물질로 함침된다.
도2a의 구조는 이 형태 그대로 복합 필터 엘리먼트로서 직접 사용될 수 있다. 바람직한 구체예에서 복합체(16)는 도2b에 도시된 바와 같이 제1 커버 시트(66)에 마주하는 중간층(62)의 표면상에 제공된 제2 커버 시트(80)를 사용한다. 대안적으로, 제2 커버 시트는 이면층상에 제공될 수 있다. 커버 시트는 여과 또는 비여과 부직 폴리에스테르, 폴리아미드 또는 폴리프로필렌 물질 또는 그 밖의 유사 물질일 수 있다. 커버 시트가 여과 물질인 경우, 공기 스트림 중의 미립물질을 제거하기 위해 복합체 구조에 유입되는 공기를 어느 정도 여과시킨다. 또한, 커버 시트는 중간 층 또는 배팅(batting)(62)내 비드 형태로 존재할 수 있는 술폰화된 디비닐 벤젠 스티렌 공중합체와 같은 다공성의 산성 중합체 물질을 보유하는 역할을 할 수 있다. 또한, 커버 시트는 폴리프로필렌과 같이 화학적 불활성 물질일 수 있다
복합체(16)는 일반적으로 분리가능하거나 대체가능한 필터 엘리먼트 형태로, 여과 작동을 위해 의도된 위치에서 설비를 위한 적합한 용기 또는 프레임 워크내에 포함될 수 있다. 많은 목적을 위해, 공기 흐름에 노출되는 필터 물질의 표면 영역을 증가시키는 것이 바람직하고, 이러한 목적을 위해, 복합체는 증가된 표면적을 제공하기 위해 플리팅될 수 있다.
일 실시예가 도3a에 도시되어 있으며, 여기에서 복합 물질은 공기 필터(15 또는 17)를 형성한다. 필터 물질은 도3b에 도시된 바와 같이 아코디온형 구조(19)로 플리팅되고, 화살표(22)에 의해 도시된 공기 스트림에 개방된 전면(21) 및 이면(23)을 갖는 사각형 또는 직사각형 용기(18)내에 포함된다. 플리팅(20)은 사실상 공기 흐름에 수직이다. 도3a는 전면 또는 이면에서 본 구조를 도시한 것이다. 도3b는 필터 구조의 절단된 상부도이다.
또 다른 실시예가 도4에 도시되어 있으며, 복수개의 플리팅된 복합 엘리먼트(24)가 용기(18)내에 순차적으로 배치되어 공기가 통과할 수 있는 다중-스테이지(multi-stage) 필터를 제공한다. 상기 구체예에서와 같이, 엘리먼트(24)의 플리트(20)는 기류(22)의 방향에 대해 실질적으로 수직이다.
또 다른 구체예가 도5a에 도시되어 있으며, 여기서, 복합 구조물(16)은 실린더형 배열로 배치되어 있고, 실린더형 용기(28)내에 보유되어 있다. 플리트(20)는 상기 기술된 바와 같이 방사상으로 유도된 기류에 대해 실질적으로 수직이다. 또 다른 구체예는 도5b에 도시되어 있으며, 여기서, 복합 구조물은 나선형 배열(30)로 감겨있으며, 일반적으로 원통형 용기(28)내에 수용되어 있다.
바람직한 구체예에 있어서, 흡착제 입자는 부직포 또는 섬유 매트릭스 또는 폴리에스테르 배팅(batting) 전체에 걸쳐 고르게 분포되어 있다. 흡착제 입자의 예로는 술폰화된 디비닐 벤젠 스티렌 공중합체가 있지만 이에 제한되지 않는다.
바람직한 구체예에 있어서, 이온 교환용의 강산성 예비 촉매는 0.3 내지 1.2mm의 입자 크기, 약 0.30㎖/g의 다공도 및 250Å의 평균 포어 직경을 포함하는 중요한 특성을 지닌다. 촉매는 바람직하게는 300㎖/g 또는 그 이상의 높은 다공도를 지닌다. 또한, 바람직한 구체예는 산점(acid site)의 농도가 약 1.8 meq/㎖이고 표면적이 45㎡/g인 특성을 지닌다. 이러한 촉매는 롬 앤 하스(Rohm and Haas)에 의해 상표명 암버리스트(등록상표: AMBERLYST) 15DRY 또는 암버리스트 35DRY로 판매된다.
전반적으로, 유동층 술폰화된 디비닐 벤젠 스티렌 공중합체 증착 공정, 배팅 밀도의 고유의 층화 및 술폰화된 디비닐 벤젠 스티렌 공중합체 입자의 고른 분포 뿐만 아니라 술폰화된 디비닐 벤젠 스티렌 공중합체 입자 크기의 층화의 조합을 포함하는 섬유 매트릭스의 건식 처리는 매우 낮은 압력 강하에서 증가된 층 깊이를 갖는 직물성 구조(architecture)를 생성시킬 수 있으며, 이는 적은 작업 비용과 커플링된 높은 최초 통과율로 인해 매우 바람직하다.
본원에 사용된 용어 "효율"은 화학식 X-Y/X로 정의되며, 여기서, X는 오염물의 업스트림 농도이고, Y는 오염물의 다운스트림 농도이다.
필터가 활성탄과 상기 논의된 예비 촉매 물질의 혼합물을 지닐 수 있는 것으로 인식된다. 이러한 배합은 매질과 강염기의 용이한 영구적 제거와 공기매개성 염기 오염물로부터의 약염기의 충분한 보유를 제공하기에 충분한 다공도 및 강산성 기를 지닌다. 필터는 다공성 중합체 물질도 포함할 수 있다.
전술한 필터는 오염되지 않은 고급 공기가 요구되는 반도체 제작 시스템과 같은 환경에서 공기를 여과시키는 데에 사용된다.
도6을 참조하면, 공기가 존재하는 폴리에스테르 부직포인 중간층(62)이 커버 시트(66)에 합쳐진다. 흡착제 입자(60)가 유동층(64)으로부터 중간층(62)인 섬유 매트릭스 상으로 놓여진다. 술폰화된 디비닐 벤젠 스티렌 공중합체 입자(60)가 배팅(62)의 깊이 전체에 걸쳐 고르게 층화된다. 상기 논의된 바와 같이, 배팅 전체에 걸쳐 분포된 흡착제 입자의 증가된 층 깊이는 이것이 체류 시간을 증가시키고, 흡착제 입자 표면의 노출을 증가시키고, 낮은 압력 강하를 제공할 뿐만 아니라 필터의 수명을 실질적으로 증가시키므로 매우 바람직하다.
그 후, 중간층(62)인 매트릭스에 분포된 흡착제 입자(60)가 바람직하게는 상이한 파장에서 적외선 에너지의 두 구역(68, 70)을 이용하여 가열된다. 배팅(62)이 120℃ 내지 180℃(250℉ 내지 350℉)의 총괄 평균 온도로 가열된다.
적외선 에너지에 의해 흡착제 입자는 배팅과 접촉하는 지점에서 배팅에 부착된다. 이러한 과정은 배팅의 용융 및 붕괴를 유도시켜서 입자를 엔케이싱(encasing)시키고 이들의 화학적 활성을 파괴시킬 수 있는, 폴리에스테르 배팅의 융점 또는 융점에 근접하게 전체 배팅의 온도를 상승시킬 필요성을 방지시킨다.
그 후, 배팅(62)은 한 쌍의 캘린더 롤(76,78)을 사용하여 캘린더링된다. 이러한 롤 중 제1롤(76)은 온도 조절되어, 가열과 캘린더링 단계가 약 60℃(140℉)의 일정한 온도에서 수행될 수 있도록 하고, 과열 및 이에 의한 커버 시트의 용융을 방지하며, 직물의 과다 캘린더링을 방지한다. 제2 롤(78)은 흡착제 입자의 분쇄를 방지하는 듀로미터(durometer)가 구비된 고무 롤이다.
또한, 온도 조절식 롤러(76)가 사용되는 경우, 가해지는 배팅 압력은 26인치 거리당 900kg(2000파운드)이다. 더 높은 캘린더링 압력은 특히 입자가 탄소계인 경우에 입자를 압착시켜 먼지를 형성할 수 있는데, 이는 필터 복합체 내에 보유될 수 없고 결과적으로 가스 스트림으로 이동할 수 있다.
또한, 배팅에서 황화된 디비닐 벤젠 스티렌 공중합체를 유지하는 것을 돕는 합성 부직성 커버 시트(80)가 상술된 바와 같이 배팅(62)으로 캘린더링될 수 있다. 필터가 형성된 후, 거싯(gusset) 또는 스페이서가 필터 내에 놓여진다. 필터는 금속 박스로 밀봉된다.
임의로, 상기 물질은 추가로 처리하기 전에 물질을 용이하게 냉각시키기 위해 상부 롤러(84) 위로 유도될 수 있다. 활성탄 필터를 제조하는 방법은 문헌[U.S. Patent No. 5,582,865 titled "Non-Woven Filter Composite"]에 상세하게 기술되어 있으며, 본명세서에 참고로 합체되어 있다.
상기된 방법이 상기된 필터를 생성시키는 바람직한 방법이지만, 그 밖의 기술이 이용될 수 있다는 것이 인지된다. 이들 기술의 일부는 전체 내용이 본원에 참고문헌으로 인용된 미국특허 제5,605,746호에 기술된 바와 같은 획스트(Hoechst)에 의해 개발된 기술, 또는 KX 미디어(Media)를 포함한다. 모든 이들 방법의 공통적인 특징은 화학적 활성 흡착제를 다공성 매질 구조내로 혼입시키는 것이다.
본 발명의 다공성 산성 중합체를 사용하는 플리트형 필터 구조물(220)은 도 7에 도시되어 있다. 이러한 시스템은 길이(222), 너비(224), 및 적층식 필터 시스템에서 교체 필터로 사용될 수 있을 정도의 깊이를 갖는 직사각형 프레임(228)의 양 측면이 개방된 플리트형 시스템이다. 필터는 1000ppb에서 99% 를 초과하는 제거 효율을 갖는다.
도 8은 상이한 세가지 필터에 대한 제거 효율을 나타내는 그래프이다. 이 그래프는 제거 효율을 필터로부터 상향의 NH3 농도 20ppm에서 시간 함수로서 나타낸다. 필터 크기는 약 30cmx30cmx15cm(~12"x12"x6")이다. 공기 흐름은 약 2.8m3/분(~100cfm)이다. 단지 수명 데이터만을 고려한다면, 필터 #3이 최고의 성능을 나타내는 것으로 보인다. 그러나, 추가 데이터를 고려한다면, 결과는 그렇게 단순하지 않다. 필터 #1의 압력 강하는 0.2"WC였고, 필터 #2는 0.3"WC였으며, 필터 #3은 1.0" WC였다. 필터#1 및 #2는 툴 제작자의 명세 사항과 유사하지만 #3은 툴의 적당한 ECU 작용을 방해하는 과도한 압력 강하를 일으킨다. 과도한 압력 강하는 다양한 이유로 바람직하지 않다. 예를들면, 이것은 팬 로드 및 전력 소비를 증가시키고, 툴 및 엔클로저 내부의 양성 압력을 통과하는 공기 흐름을 감소시킨다. 이렇게 하여, 본 발명에 따라 제조된 필터 #1은 서비스 수명을 실질적으로 향상시키면서, 툴 작동에 적합한 압력 강하를 제공한다.
본 발명의 다른 바람직한 구체예는 본원에 참고문헌으로 인용된 미국 특허 제5,204,055호, 제5,340,656호 및 5,387,380호에 개시된 바와 같이 삼차원의 프린팅 기술을 사용하여 높은 표면적을 갖는 필터 엘리먼트의 제조와 관련된다.
필터 엘리먼트의 이러한 제조 방법은 도9와 관련하여 예시된다. 공정(200)은 삼차원 모델의 필터 엘리먼트를 형성시켜 삼차원 모델들을 규정하는 단계(202)를 포함한다. 필터를 형성하는데 사용되는 분말 물질의 제 1 층을 프린터 장치에 위치시킨다(204). 그 후, 결합제를 분말 물질상으로 전달하여(206), 이의 선택된 영역의 결합을 유도한다. 단계(204 및 206)를 높은 표면적 필터가 형성될 때까지 여러번 반복한다. 마지막으로 과량의 물질을 제거한다(210). 이 방법에 따라 구성된 높은 표면적 필터가 도10에 실례(240)로서 도시되어 있다. 결합제는 산성의 중합 가능한 액체 또는 산성의 가교 결합가능한 액체일 수 있다.
본 발명은 바람직한 구체예를 참조하여 구체적으로 도시되고 기술되었지만, 당업자라면 하기 청구의 범위에 정의된 바와 같은 본 발명의 기술사상 및 범위로부터 벗어나지 않으면서 형식 및 내용에 있어 다양한 변화가 이루어질 수 있다는 것을 인지하고 있을 것이다.

Claims (31)

  1. 필터 엘리먼트를 통해 유동하는 공기로부터 염기성 오염물을 제거할 수 있는 산성 작용기를 가지며, 5-40nm 범위의 세공 크기를 갖는 다공성 중합체 물질을 포함하는 필터 엘리먼트와,
    상기 필터 엘리먼트에 결합된 포토리소그래피 툴(photolithography tool)을 포함하는 포토리소그래피 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 중합체는 입자, 쓰레드(thread), 얀(yarn), 리본, 섬유 및 필라멘트로 구성된 군으로부터 선택된 형태인 포토리소그래피 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 중합체가 다공성 미립물질 형태인 포토리소그래피 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 중합체가 술폰산기를 갖는 다공성의 디비닐 벤젠 스티렌 공중합체를 포함하는 포토리소그래피 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 산성기의 산성도가 1 meq/g 이상인 포토리소그래피 시스템.
  6. 제3항에 있어서, 다공성 미립물질의 세공 크기가 50 내지 400Å인 포토리소그래피 시스템.
  7. 제1항에 있어서, 산성 작용기가 카르복실산을 포함하는 포토리소그래피 시스템.
  8. 제1항에 있어서, 필터 엘리먼트가 플리트형(pleated) 필터를 포함하는 포토리소그래피 시스템.
  9. 제1항에 있어서, 필터 엘리먼트의 표면적이 20m2/g 또는 그 이상인 포토리소그래피 시스템.
  10. 제1항에 있어서, 산성 작용기가 술폰산을 포함하는 포토리소그래피 시스템.
  11. 제1항에 있어서, 중합체가 술폰산 사이드 작용기를 갖는 다공성의 술폰화된 디비닐 벤젠 스티렌 공중합체 비드(beads) 형태인 포토리소그래피 시스템.
  12. 제11항에 있어서, 필터 엘리먼트가 반도체 가공 툴로부터 분자 수준의 염기성 물질을 제거하도록 위치되는 포토리소그래피 시스템.
  13. 제11항에 있어서, 비드는 20m2/g 또는 그 이상의 표면적을 갖는 포토리소그래피 시스템.
  14. 제11항에 있어서, 필터 엘리먼트가 결합제 물질을 추가로 포함하는 포토리소그래피 시스템.
  15. 제14항에 있어서, 결합제가 산성의 중합 가능한 액체 또는 산성의 가교 결합가능한 액체를 포함하는 포토리소그래피 시스템.
  16. 고순도의 청정 공기를 필요로 하는 제조 설비를 위해 공기를 여과시키는 방법이며,
    상부 표면을 가지며, 생성된 복합체의 섬유 밀도와 비교하여 더 낮은 섬유 밀도의 열가소성 섬유를 가지며, 술폰화된 디비닐 벤젠 스티렌 공중합체의 입자를 보유하는 부직 담체 물질을 제공하는 단계와,
    필터를 통해 공기를 흐르게 하여, 통과된 공기를 분포된 입자의 표면과 접촉시키는 단계와,
    상기 입자에 의해 공기로부터 염기성 오염물을 제거하는 단계와,
    공기를 제조 설비내 가공 툴에 전달하는 단계를 포함하는 방법.
  17. 제16항에 있어서, 상기 가공 툴이 포토리소그래피 툴인 방법.
  18. 열가소성 섬유 및 염기성 오염물을 제거하기 위한 입자를 포함하는 부직 공기 필터를 형성시키는 방법이며,
    하나의 표면을 가지며 열가소성 섬유를 포함하는 부직 담체 물질을 제공하는 단계와,
    산성 중합체 입자를 담체 물질의 표면에 도포시키는 단계와,
    담체 물질 및 도포된 입자를 가열시키는 단계와,
    가열된 담체 물질을 분포된 입자로 캘린더링시키는 단계를 포함하는 방법.
  19. 제18항에 있어서, 가열 및 캘린더링 단계는, 가열되고 캘린더링된 담체 물질 내에 상기 입자가 보유되도록 선택된 압력 및 시간 동안 수행되어 다공성 구조를 갖는 캘린더링된 복합체를 형성하고, 상기 분포된 입자의 표면이 캘린더링된 복합체를 통과하는 공기와 실질적으로 노출되어 접촉되고, 형성된 부직 공기 필터 복합체가 공기 필터로서 사용될 수 있는 압력 강하에 의해 특징화 되는 방법.
  20. 제18항에 있어서, 산성 중합체가 술폰화된 공중합체를 포함하는 방법.
  21. 제18항에 있어서, 산성 중합체가 카르복실산 공중합체를 포함하는 방법.
  22. 필터 엘리먼트를 형성시키는 방법이며,
    a) 산성 작용기를 갖는 중합체를 포함하는 분말 물질로 이루어진 층을 형성시키는 단계와,
    b) 결합제를 분말 물질로 이루어진 층의 소정 영역에 전달하여 프로그래밍된 모델에 따라서 분말 물질의 영역을 결합시키는 단계와,
    c) 프로그래밍된 모델에 부합되는 필터 엘리먼트가 형성될 때까지 상기 단계 a) 및 b)를 반복하는 단계를 포함하는 방법.
  23. 제22항에 있어서, 결합제가 산성의 중합 가능한 액체 또는 산성의 가교 결합가능한 액체를 포함하는 방법.
  24. 제23항에 있어서, 분말 물질이 디비닐 벤젠 스티렌 공중합체를 포함하는 방법.
  25. 제22항에 있어서, 초과량의 분말을 제거하는 단계를 추가로 포함하는 방법.
  26. 필터 엘리먼트를 통해 유동하는 공기로부터 염기성 오염물을 제거할 수 있는 산성 작용기를 갖는 디비닐 벤젠 스티렌 공중합체를 포함하는 필터 엘리먼트와,
    상기 필터 엘리먼트와 결합된 반도체 가공 툴을 포함하는 반도체 가공 시스템.
  27. 삭제
  28. 삭제
  29. 삭제
  30. 삭제
  31. 삭제
KR1020017002184A 1998-08-20 1999-08-20 다공성의 강산성 중합체를 채용한 필터 KR100639280B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US9721598P 1998-08-20 1998-08-20
US60/097,215 1998-08-20

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20010072815A KR20010072815A (ko) 2001-07-31
KR100639280B1 true KR100639280B1 (ko) 2006-10-30

Family

ID=22262138

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020017002184A KR100639280B1 (ko) 1998-08-20 1999-08-20 다공성의 강산성 중합체를 채용한 필터

Country Status (9)

Country Link
US (3) US6447584B1 (ko)
EP (1) EP1105203B1 (ko)
JP (1) JP4575596B2 (ko)
KR (1) KR100639280B1 (ko)
AT (1) ATE258460T1 (ko)
AU (1) AU5687699A (ko)
CA (1) CA2341184A1 (ko)
DE (1) DE69914491T2 (ko)
WO (1) WO2000010687A1 (ko)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004009956A1 (de) * 2004-03-01 2005-09-29 Eurofilters N.V. Adsorbens für Staubsammelfilter, Staubsammelfilter und Verfahren zur Geruchsadsorption
EP1105203B1 (en) * 1998-08-20 2004-01-28 Extraction Systems, Inc. Filters employing porous strongly acidic polymers
EP2269710A1 (en) * 2000-05-05 2011-01-05 Entegris, Inc. Filters employing both acidic polymers and physical-adsorption media
US7540901B2 (en) * 2000-05-05 2009-06-02 Entegris, Inc. Filters employing both acidic polymers and physical-adsorption media
DE10029428A1 (de) * 2000-06-15 2002-01-03 Bsh Bosch Siemens Hausgeraete Luftführendes Haushaltsgerät mit waschbarem Filter
US6533847B2 (en) * 2001-02-13 2003-03-18 Donaldson Company, Inc. Adsorption apparatus
TW541200B (en) * 2001-04-04 2003-07-11 Kuraray Chemical Kk Filter element, process for producing it and filter using the element
US6726751B2 (en) * 2001-11-13 2004-04-27 Daniel E. Bause Accordion-pleated filter material and filter element incorporating same
AU2003224619B2 (en) * 2002-02-22 2008-04-03 Kx Technologies Llc Air purifying filter systems for building air supply and respirators useful against NBC attacks
US7341618B2 (en) * 2002-10-24 2008-03-11 Georgia Tech Research Corporation Filters and methods of making and using the same
EP1684887A2 (en) * 2003-10-15 2006-08-02 INVISTA Technologies S.à.r.l. Air filter for removing particulate matter and volatile organic compounds
DE102004054260A1 (de) * 2004-10-18 2006-04-27 Bräuer, Horst Sorptiver Textilverbund
US7400383B2 (en) * 2005-04-04 2008-07-15 Entegris, Inc. Environmental control in a reticle SMIF pod
US20060249027A1 (en) * 2005-05-05 2006-11-09 Adolphsen Tony L Rigid adsorption apparatus, and methods
JP4828198B2 (ja) * 2005-10-06 2011-11-30 サンデン株式会社 空気浄化用フィルタおよびその製造方法
US8776841B2 (en) 2006-06-19 2014-07-15 Entegris, Inc. System for purging reticle storage
TWI417130B (zh) * 2006-07-13 2013-12-01 Entegris Inc 過濾系統
US7749292B2 (en) * 2006-11-16 2010-07-06 Suzhou Clean Bloom Electric Co., Ltd. Cyclonic dust collecting apparatus
US20100233048A1 (en) * 2007-02-09 2010-09-16 Donaldson Company, Inc Combination filter element
US8146623B2 (en) * 2007-02-28 2012-04-03 Entegris, Inc. Purge system for a substrate container
US20110005394A1 (en) * 2007-07-13 2011-01-13 Joriman Jon D Media for removal of organic compounds
US20090211453A1 (en) * 2008-02-26 2009-08-27 Nassivera Terry W Filtration Media for the Removal of Basic Molecular Contaminants for Use in a Clean Environment
US8007555B2 (en) * 2008-03-30 2011-08-30 Lack Nicholas L Filter with multiple sections of different media
KR101648600B1 (ko) 2008-12-18 2016-08-16 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 형상화된 입자-함유 부직 웨브를 이용하는 필터 요소
WO2012175656A1 (en) * 2011-06-24 2012-12-27 Brita Gmbh Method and apparatus for use in manufacturing a filter element
WO2017040283A1 (en) 2015-08-28 2017-03-09 Serionix, Inc. Gas filters for basic contaminants
WO2017040291A1 (en) 2015-08-28 2017-03-09 Serionix, Inc. Gas filters for acidic contaminants
CN110874684B (zh) * 2018-09-03 2022-09-06 中国石油化工股份有限公司 用于个体苯防护滤毒盒有效性评估方法
US11173438B2 (en) * 2018-09-14 2021-11-16 Caterpillar Inc. Filter having tracer material
WO2021050920A1 (en) * 2019-09-13 2021-03-18 P Richard Warburton Ethylene oxide scrubbing sheet
US20230028077A1 (en) * 2019-12-23 2023-01-26 Air Tech Group, Slu A FILTER AND A METHOD FOR REMOVING ALDEHYDE-TYPE VOCs FROM INDOOR AIR

Family Cites Families (62)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3019127A (en) 1957-10-07 1962-01-30 American Air Filter Co Filtering medium and method of making the same
NL241315A (ko) * 1958-07-18
US3409691A (en) 1966-02-01 1968-11-05 Dow Chemical Co Porous cation exchange resins as selective sorbents in organic systems
US3607706A (en) * 1967-08-04 1971-09-21 Ionics Method of making stable laminated cation-exchange membranes
USRE29410E (en) 1970-05-23 1977-09-20 C. Weinberger & Co., Ltd. Process for manufacturing of deodorizing air filters
GB1373388A (en) 1970-12-24 1974-11-13 Teijin Ltd Thermoplastic polymer fibres
JPS568901Y2 (ko) * 1975-07-23 1981-02-26
JPS5414478A (en) 1977-07-04 1979-02-02 Kurashiki Boseki Kk Method of uniformly pushing powdery substance to porous material
US4313832A (en) * 1980-06-12 1982-02-02 Rohm And Haas Company Method for treatment of aqueous solutions with ion exchange fibers
US4322230A (en) 1980-09-08 1982-03-30 Donaldson Company, Inc. Unitized gas-particulate filter and housing
IT1179369B (it) 1984-05-15 1987-09-16 Ital Idee Srl Gruppo filtrante multiplo, particolarmente per impianti di aerazione e condizionamento per autoveicoli e ambienti chiusi, munito di mezzi di controllo dell'efficienza
US4904343A (en) * 1985-04-23 1990-02-27 American Cyanamid Company Non-woven activated carbon fabric
US5133864A (en) 1985-09-16 1992-07-28 The Dow Chemical Company Filters employing particulate porous polymers
JPS63119233A (ja) 1986-11-07 1988-05-23 Hitachi Ltd Ｘ線転写装置
EP0335034A1 (en) 1988-03-30 1989-10-04 Uop An integrated process for the removal of sulfur compounds from fluid streams
DE3813563C2 (de) * 1988-04-22 2002-01-17 Mhb Filtration Gmbh & Co Kg Adsorptionsfilter mit hoher Luftdurchlässigkeit
JP2736662B2 (ja) 1988-11-04 1998-04-02 東芝セラミックス株式会社 半導体ウェーハの曇防止装置
US5582865A (en) 1988-12-12 1996-12-10 Extraction Systems, Inc. Non-woven filter composite
US5626820A (en) 1988-12-12 1997-05-06 Kinkead; Devon A. Clean room air filtering
IT1229757B (it) 1989-05-18 1991-09-10 Fabrizio Mariani Filtro per la bonifica dell'aria, particolarmente studiato per uffici, abitazioni e ambienti industriali.
JP2954236B2 (ja) * 1989-07-05 1999-09-27 保夫 横井 エアーフィルターの製造方法
US5387380A (en) 1989-12-08 1995-02-07 Massachusetts Institute Of Technology Three-dimensional printing techniques
US5204055A (en) 1989-12-08 1993-04-20 Massachusetts Institute Of Technology Three-dimensional printing techniques
US5328758A (en) * 1991-10-11 1994-07-12 Minnesota Mining And Manufacturing Company Particle-loaded nonwoven fibrous article for separations and purifications
US5166530A (en) 1991-12-20 1992-11-24 General Signal Corporation Illuminator for microlithographic integrated circuit manufacture
US5200554A (en) * 1992-01-21 1993-04-06 Nasman Jan Anders H Bisphosphonic acid derivatives and their use
US5430303A (en) 1992-07-01 1995-07-04 Nikon Corporation Exposure apparatus
US5306321A (en) 1992-07-07 1994-04-26 Donaldson Company, Inc. Layered air filter medium having improved efficiency and pleatability
JPH0763578B2 (ja) 1992-08-04 1995-07-12 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション 環状アルキレンカーボネートの洗気による削減方法
JPH0663333A (ja) * 1992-08-21 1994-03-08 Sumitomo Chem Co Ltd 空気浄化システム
JPH06198123A (ja) * 1992-11-05 1994-07-19 Toshiba Eng & Constr Co Ltd 気体の清浄化方法および気体ろ過用フィルタ
WO1994011556A1 (en) 1992-11-18 1994-05-26 Hoechst Celanese Corporation Fibrous structure containing immobilized particulate matter and process therefor
US5399377A (en) 1992-12-31 1995-03-21 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Borazine oligomers and composite materials including boron nitride and methods of making the same
US5290345A (en) 1993-01-13 1994-03-01 Donaldson Company, Inc. Refillable gas adsorption bed assembly and counterflow adsorber module
KR100295124B1 (ko) 1993-01-25 2001-09-17 이노우에 노리유끼 폴리테트라플루오로에틸렌다공막및그의제조방법
US5647356A (en) 1993-07-28 1997-07-15 Donaldson Company, Inc. Respirator cartridge with sealing fit test structure and method of use
JP3448670B2 (ja) 1993-09-02 2003-09-22 株式会社ニコン 露光装置及び素子製造方法
US5607647A (en) 1993-12-02 1997-03-04 Extraction Systems, Inc. Air filtering within clean environments
US5462485A (en) 1993-12-03 1995-10-31 Extraction Systems, Inc. Controlling air quality
SE509743C2 (sv) * 1994-06-17 1999-03-01 Bluecher Hasso Von Adsorptionsfilterskikt
SE515506C2 (sv) * 1994-06-17 2001-08-20 Mhb Filtration Gmbh & Co Kg Luktfilter för ventilationsutloppshuvar
JPH0824534A (ja) * 1994-07-18 1996-01-30 Ebara Corp 再生可能な空気清浄用イオン交換フィルタユニット及びそれを用いる空気清浄方法
US5685895A (en) 1994-08-10 1997-11-11 Nikon Corporation Air cleaning apparatus used for an exposure apparatus
TW288051B (ko) 1994-11-22 1996-10-11 Ebara Corp
JPH08168628A (ja) * 1994-11-29 1996-07-02 Piyuaretsukusu:Kk 多機能エアフィルター及び該フィルターが組込まれた空気循環式クリーンユニット
US5856198A (en) 1994-12-28 1999-01-05 Extraction Systems, Inc. Performance monitoring of gas-phase air filters
SE9501369D0 (sv) 1995-04-12 1995-04-12 Curt Lindhe Konsult & Foervalt Multiple filter unit
JP3346680B2 (ja) * 1995-05-11 2002-11-18 株式会社西部技研 湿気交換用吸着体
US5833726A (en) 1995-05-26 1998-11-10 Extraction System, Inc. Storing substrates between process steps within a processing facility
US5834114A (en) 1995-05-31 1998-11-10 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Coated absorbent fibers
JP2000509327A (ja) * 1996-05-03 2000-07-25 エムハーベー フィルトラツィオーン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト フィルタ材料及びフィルタ材料の製法並びにこのフィルタ材料から製作された吸着フィルタ
KR100197900B1 (ko) 1996-07-24 1999-06-15 윤종용 반도체 청정실용의 공기조화시스템
US5743927A (en) 1996-07-31 1998-04-28 Donaldson Company, Inc. Air filter element; assembly; and, method
JPH10165744A (ja) * 1996-12-04 1998-06-23 Takasago Thermal Eng Co Ltd ガス状有機不純物処理システム
JPH10165730A (ja) * 1996-12-16 1998-06-23 Takasago Thermal Eng Co Ltd ガス状不純物吸着フィルタ
JPH10192624A (ja) * 1996-12-27 1998-07-28 Ebara Corp 異種膜材組み合わせプリーツ型エアフィルター
US6056805A (en) * 1997-08-15 2000-05-02 Guardian Environmental Technologies, Inc. Method and apparatus for the absorption of non-polar organic molecules on hydrocarbon block copolymers
CA2296477A1 (en) 1998-08-05 2000-02-05 Toray Industries, Inc. Chemical filter unit and gas cleaning system
EP1105203B1 (en) * 1998-08-20 2004-01-28 Extraction Systems, Inc. Filters employing porous strongly acidic polymers
AU1324700A (en) 1998-11-03 2000-05-22 Donaldson Company Inc. Gas chemical filter having compression mechanism; and methods
DE19859788C1 (de) 1998-12-23 2000-03-23 Draeger Sicherheitstech Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Anzeige der Erschöpfung eines Gasfilters
EP2269710A1 (en) * 2000-05-05 2011-01-05 Entegris, Inc. Filters employing both acidic polymers and physical-adsorption media

Also Published As

Publication number Publication date
DE69914491T2 (de) 2004-12-02
EP1105203B1 (en) 2004-01-28
EP1105203A1 (en) 2001-06-13
WO2000010687A1 (en) 2000-03-02
US20020166450A1 (en) 2002-11-14
JP4575596B2 (ja) 2010-11-04
US20040154470A1 (en) 2004-08-12
KR20010072815A (ko) 2001-07-31
US6447584B1 (en) 2002-09-10
CA2341184A1 (en) 2000-03-02
US7022164B2 (en) 2006-04-04
DE69914491D1 (de) 2004-03-04
ATE258460T1 (de) 2004-02-15
US6610128B2 (en) 2003-08-26
AU5687699A (en) 2000-03-14
JP2002523207A (ja) 2002-07-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100639280B1 (ko) 다공성의 강산성 중합체를 채용한 필터
US5626820A (en) Clean room air filtering
US6761753B2 (en) Methods using filters employing both acidic polymers and physical-adsorption media
US5582865A (en) Non-woven filter composite
US7540901B2 (en) Filters employing both acidic polymers and physical-adsorption media
US20050229562A1 (en) Chemical filtration unit incorporating air transportation device
EP2040820B1 (en) Filtering for a semiconductor processing tool
WO1995019828A1 (en) Air filtering
EP1402943B1 (en) Filters employing porous strongly acidic polymers
JP4454886B2 (ja) ケミカルフィルタ
WO1996029100A1 (en) Filtering proton-accepting molecular contamination from air for use in a clean environment
JP3552140B2 (ja) 気体の清浄化方法及びその装置
JP3831281B2 (ja) エアフィルタ用濾材およびエアフィルタユニットの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
N231 Notification of change of applicant
E902 Notification of reason for refusal
N231 Notification of change of applicant
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121009

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130927

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140924

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150924

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160923

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181015

Year of fee payment: 13

EXPY Expiration of term