JPH10165730A - ガス状不純物吸着フィルタ - Google Patents
ガス状不純物吸着フィルタInfo
- Publication number
- JPH10165730A JPH10165730A JP8353234A JP35323496A JPH10165730A JP H10165730 A JPH10165730 A JP H10165730A JP 8353234 A JP8353234 A JP 8353234A JP 35323496 A JP35323496 A JP 35323496A JP H10165730 A JPH10165730 A JP H10165730A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheets
- gaseous
- sheet
- gaseous impurity
- adsorbing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
- Gas Separation By Absorption (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】低い通気抵抗でありながら，フィルタ単位体積
当たりの吸着剤量が従来のケミカルフィルタよりも格段
に大きく，寿命の長いガス状不純物吸着フィルタを提供
する。 【課題手段】 本発明のガス状不純物吸着フィルタ１
は，対向する一対の側面が空気の流入口と流出口に形成
された外枠２の内部に，波形板もしくは山形板の形状を
したガス状不純物を吸着する性質のある複数枚の吸着シ
ート３を，空気の流通方向５と平行にして互いに隙間を
空けた状態で重ねて配置したことを特徴とする。
当たりの吸着剤量が従来のケミカルフィルタよりも格段
に大きく，寿命の長いガス状不純物吸着フィルタを提供
する。 【課題手段】 本発明のガス状不純物吸着フィルタ１
は，対向する一対の側面が空気の流入口と流出口に形成
された外枠２の内部に，波形板もしくは山形板の形状を
したガス状不純物を吸着する性質のある複数枚の吸着シ
ート３を，空気の流通方向５と平行にして互いに隙間を
空けた状態で重ねて配置したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，例えば半導体素子
（ＬＳＩ）や液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を製造するク
リーンルームなどにおいて好適に使用される，気体を清
浄化するためのガス状不純物除去フィルタに関する。
（ＬＳＩ）や液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を製造するク
リーンルームなどにおいて好適に使用される，気体を清
浄化するためのガス状不純物除去フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体基板やＬＣＤ基板を通常のクリー
ンルーム雰囲気中に放置すると，それら基板の表面にク
リーンルーム内の雰囲気由来の酸またはアルカリの無機
物や有機物などのガス状不純物が付着する。これらの不
純物の発生原因，発生及び汚染のメカニズム，影響，低
減対策を表１にまとめて示す。
ンルーム雰囲気中に放置すると，それら基板の表面にク
リーンルーム内の雰囲気由来の酸またはアルカリの無機
物や有機物などのガス状不純物が付着する。これらの不
純物の発生原因，発生及び汚染のメカニズム，影響，低
減対策を表１にまとめて示す。
【０００３】
【表１】
【０００４】この表１に示すように，クリーンルーム雰
囲気由来のガス状不純物は，半導体素子等の製造に対し
て種々の障害をもたらす。そこで最近では，このような
クリーンルーム雰囲気中のガス状不純物を除去するた
め，ケミカルフィルタと称する吸着剤を利用したガス状
不純物除去設備が実用化されている。通常，このケミカ
ルフィルタは活性炭をベースとしており，酸系ガス（塩
酸，フッ化水素，硝酸，硫酸，ボロン，硫化水素など）
の除去については炭酸カリウムのような塩基性薬品，ア
ルカリ系ガス（アンモニアなど）の除去についてはりん
酸のような酸性薬品をそれぞれ活性炭表面に添着したも
のが使用されている。また，ガス状有機不純物について
はこれら薬品を無添着の活性炭の表面に不純物をそのま
ま物理吸着させて除去することができる。
囲気由来のガス状不純物は，半導体素子等の製造に対し
て種々の障害をもたらす。そこで最近では，このような
クリーンルーム雰囲気中のガス状不純物を除去するた
め，ケミカルフィルタと称する吸着剤を利用したガス状
不純物除去設備が実用化されている。通常，このケミカ
ルフィルタは活性炭をベースとしており，酸系ガス（塩
酸，フッ化水素，硝酸，硫酸，ボロン，硫化水素など）
の除去については炭酸カリウムのような塩基性薬品，ア
ルカリ系ガス（アンモニアなど）の除去についてはりん
酸のような酸性薬品をそれぞれ活性炭表面に添着したも
のが使用されている。また，ガス状有機不純物について
はこれら薬品を無添着の活性炭の表面に不純物をそのま
ま物理吸着させて除去することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ここで，活性炭をベー
スとしたケミカルフィルタには，様々な種類がある。最
も簡素なものとしては，容器内に粒状活性炭を詰め込ん
だ構成の充填塔がある。この充填塔は，例えば充填層の
厚みを大きくするなどの方法によって単位処理流量当た
りに使用する活性炭重量を多くすれば，吸着効率を高く
することができるが，その反面，圧力損失（通気抵抗）
が高くなるという欠点を有する。
スとしたケミカルフィルタには，様々な種類がある。最
も簡素なものとしては，容器内に粒状活性炭を詰め込ん
だ構成の充填塔がある。この充填塔は，例えば充填層の
厚みを大きくするなどの方法によって単位処理流量当た
りに使用する活性炭重量を多くすれば，吸着効率を高く
することができるが，その反面，圧力損失（通気抵抗）
が高くなるという欠点を有する。
【０００６】また，他の種類として，繊維状活性炭を低
融点ポリエステルやポリエステル不織布のバインダと複
合してフェルト形状にしたケミカルフィルタ，粒状活性
炭をウレタンフォームや不織布に接着剤で強固に付着さ
せたブロック形状またはシート形状のケミカルフィルタ
などが知られている。これらフェルト形状やブロック形
状またはシート形状のケミカルフィルタは優れた通気性
を有するが，活性炭重量を増加することが困難であり，
使用し始めの初期での吸着効率は高いものの，短期間の
使用で破過現象によって吸着効率が大幅に低下するため
に寿命が短く，交換頻度が高いという欠点を有する。
融点ポリエステルやポリエステル不織布のバインダと複
合してフェルト形状にしたケミカルフィルタ，粒状活性
炭をウレタンフォームや不織布に接着剤で強固に付着さ
せたブロック形状またはシート形状のケミカルフィルタ
などが知られている。これらフェルト形状やブロック形
状またはシート形状のケミカルフィルタは優れた通気性
を有するが，活性炭重量を増加することが困難であり，
使用し始めの初期での吸着効率は高いものの，短期間の
使用で破過現象によって吸着効率が大幅に低下するため
に寿命が短く，交換頻度が高いという欠点を有する。
【０００７】従って本発明の目的は，低い通気抵抗であ
りながら，フィルタ単位体積当たりの吸着剤量が従来の
ケミカルフィルタよりも格段に大きく，寿命の長いガス
状不純物吸着フィルタを提供することにある。
りながら，フィルタ単位体積当たりの吸着剤量が従来の
ケミカルフィルタよりも格段に大きく，寿命の長いガス
状不純物吸着フィルタを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に，本発明の請求項１のガス状不純物吸着フィルタは，
対向する一対の側面が空気の流入口と流出口に形成され
た外枠の内部に，波形板もしくは山形板の形状をしたガ
ス状不純物を吸着する性質のある複数枚の吸着シート
を，空気の流通方向と平行にして互いに隙間を空けた状
態で重ねて配置したことを特徴とする。
に，本発明の請求項１のガス状不純物吸着フィルタは，
対向する一対の側面が空気の流入口と流出口に形成され
た外枠の内部に，波形板もしくは山形板の形状をしたガ
ス状不純物を吸着する性質のある複数枚の吸着シート
を，空気の流通方向と平行にして互いに隙間を空けた状
態で重ねて配置したことを特徴とする。
【０００９】この請求項１のガス状不純物吸着フィルタ
において，吸着シートは，請求項２に記載したように，
波形板もしくは山形板の形状をしたシート基板の表面に
ガス状不純物の吸着剤を接着した構成とすることができ
る。また，請求項３に記載したように，吸着シートは，
ガス状不純物の吸着剤をバインダによって波形板もしく
は山形板の形状に固めた構成としても良い。
において，吸着シートは，請求項２に記載したように，
波形板もしくは山形板の形状をしたシート基板の表面に
ガス状不純物の吸着剤を接着した構成とすることができ
る。また，請求項３に記載したように，吸着シートは，
ガス状不純物の吸着剤をバインダによって波形板もしく
は山形板の形状に固めた構成としても良い。
【００１０】また，請求項４に記載したように，互いに
隣り合う吸着シートの稜線同士が所定の角度を持って交
差するように配置することが好ましい。その場合，請求
項５に記載したように，互いに隣り合う吸着シートの稜
線同士が空気の流通方向に対して線対称を成すように配
置することができる。
隣り合う吸着シートの稜線同士が所定の角度を持って交
差するように配置することが好ましい。その場合，請求
項５に記載したように，互いに隣り合う吸着シートの稜
線同士が空気の流通方向に対して線対称を成すように配
置することができる。
【００１１】また，請求項６に記載したように，互いに
隣り合う吸着シート同士の間に，平板形状のセパレータ
を配置することが好ましい。その場合，請求項７に記載
したように，セパレータをガス状不純物を吸着する性質
のある吸着シートで構成することができる。また，セパ
レータは例えば多孔板の如き通気性のある材質で構成す
ることが望ましい。
隣り合う吸着シート同士の間に，平板形状のセパレータ
を配置することが好ましい。その場合，請求項７に記載
したように，セパレータをガス状不純物を吸着する性質
のある吸着シートで構成することができる。また，セパ
レータは例えば多孔板の如き通気性のある材質で構成す
ることが望ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下，本発明にかかるガス状不純
物吸着フィルタの好ましい実施の形態を図面を用いて説
明する。図１は，本発明の実施の形態にかかるガス状不
純物吸着フィルタ１を概略的に示した分解組立図であ
る。
物吸着フィルタの好ましい実施の形態を図面を用いて説
明する。図１は，本発明の実施の形態にかかるガス状不
純物吸着フィルタ１を概略的に示した分解組立図であ
る。
【００１３】ガス状不純物吸着フィルタ１は，外枠２の
内部に，ガス状不純物を吸着する性質のある複数枚の吸
着シート３を互いに隙間を空けた状態で重ねて配置した
構成になっている。外枠２は，例えばアルミニウム製の
板材４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを組み立てた構成を有し，
図示の例では前面と後面が開口した状態になっている。
この外枠２の外形および寸法は設置空間に合わせて任意
に設計することができる。例えば３００ｍｍ×３００ｍ
ｍ×１５０ｍｍの略矩形の構造とし，開口寸法を２７０
ｍｍ×２７０ｍｍとすることができる。図中，白抜きの
矢印５は空気の流れ方向を示しており，外枠２の前面か
ら空気が外枠２内に流入し，後面から空気が流出するよ
うに構成されている。吸着シート３は，この空気の流通
方向と平行に配置されている。
内部に，ガス状不純物を吸着する性質のある複数枚の吸
着シート３を互いに隙間を空けた状態で重ねて配置した
構成になっている。外枠２は，例えばアルミニウム製の
板材４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを組み立てた構成を有し，
図示の例では前面と後面が開口した状態になっている。
この外枠２の外形および寸法は設置空間に合わせて任意
に設計することができる。例えば３００ｍｍ×３００ｍ
ｍ×１５０ｍｍの略矩形の構造とし，開口寸法を２７０
ｍｍ×２７０ｍｍとすることができる。図中，白抜きの
矢印５は空気の流れ方向を示しており，外枠２の前面か
ら空気が外枠２内に流入し，後面から空気が流出するよ
うに構成されている。吸着シート３は，この空気の流通
方向と平行に配置されている。
【００１４】吸着シート３は，図２に示す如き波形板形
状，もしくは図５に示す如き山形板形状をなしている。
図２に示す吸着シート３は，図３に示す波形板形状をし
たシート基板６の表面に，図４に示すように，ガス状不
純物の吸着剤７を接着剤を用いて隙間無く接着した構成
になっている。同様に図５に示す吸着シート３は，図６
に示す山形板形状をしたシート基板６’の表面に，図７
に示すように，ガス状不純物の吸着剤７を隙間無く接着
した構成になっている。吸着剤７としては，例えば直径
０．５ｍｍの球状活性炭が使用される。活性炭に限ら
ず，ゼオライト，シリカゲル，アルミナ，モレキュラー
シーブ，イオン交換樹脂など，他のガス状不純物の吸着
剤も使用される。また，その形態も球形以外の例えば懸
濁液を塗布した形態，粉状，粒状，塊状等の吸着剤の接
着，繊維状の吸着剤の接着であっても良い。なお，図示
はしないが，これら吸着シート３は，ガス状不純物の吸
着剤７をバインダなどによって波形板もしくは山形板の
形状に固めた構成とすることもできる。
状，もしくは図５に示す如き山形板形状をなしている。
図２に示す吸着シート３は，図３に示す波形板形状をし
たシート基板６の表面に，図４に示すように，ガス状不
純物の吸着剤７を接着剤を用いて隙間無く接着した構成
になっている。同様に図５に示す吸着シート３は，図６
に示す山形板形状をしたシート基板６’の表面に，図７
に示すように，ガス状不純物の吸着剤７を隙間無く接着
した構成になっている。吸着剤７としては，例えば直径
０．５ｍｍの球状活性炭が使用される。活性炭に限ら
ず，ゼオライト，シリカゲル，アルミナ，モレキュラー
シーブ，イオン交換樹脂など，他のガス状不純物の吸着
剤も使用される。また，その形態も球形以外の例えば懸
濁液を塗布した形態，粉状，粒状，塊状等の吸着剤の接
着，繊維状の吸着剤の接着であっても良い。なお，図示
はしないが，これら吸着シート３は，ガス状不純物の吸
着剤７をバインダなどによって波形板もしくは山形板の
形状に固めた構成とすることもできる。
【００１５】図２に示す波形板形状の吸着シート３に
は，波の最頂部を結んだ曲げ線ａと最底部を結んだ曲げ
線ｂが表れる。また，図５に示す山形板形状の吸着シー
ト３には，山側の折り線ａと谷側の折り線ｂが表れる。
本発明では，これら曲げ線ａ，ｂおよび折り線ａ，ｂ
は，吸着シート３の配置方向を決定するための重要な因
子である。以下，これら曲げ線ａ，ｂと折り線ａ，ｂを
稜線ｃと総称し，図８，９を参照にしながら，吸着シー
ト３の配置について説明する。
は，波の最頂部を結んだ曲げ線ａと最底部を結んだ曲げ
線ｂが表れる。また，図５に示す山形板形状の吸着シー
ト３には，山側の折り線ａと谷側の折り線ｂが表れる。
本発明では，これら曲げ線ａ，ｂおよび折り線ａ，ｂ
は，吸着シート３の配置方向を決定するための重要な因
子である。以下，これら曲げ線ａ，ｂと折り線ａ，ｂを
稜線ｃと総称し，図８，９を参照にしながら，吸着シー
ト３の配置について説明する。
【００１６】図８は，互いに隣り合う二枚の吸着シート
３Ａ，３Ｂを重ねる様子を拡大して示した説明図であ
る。この実施の形態においては，図９に示すように，吸
着シート３Ａの稜線ｃと吸着シート３Ｂの稜線ｃとが２
θ゜（例えば６０゜）の角度を持って交差するように配
置されている。また，これら吸着シート３Ａの稜線ｃと
吸着シート３Ｂの稜線ｃは，空気の流通方向５に対して
互いにθ゜（例えば３０゜）ずつ反対側に傾いて配置さ
れた構成になっており，これにより，吸着シート３Ａの
稜線ｃと吸着シート３Ｂの稜線ｃは，空気の流通方向５
に対して線対称を成す配置となっている。
３Ａ，３Ｂを重ねる様子を拡大して示した説明図であ
る。この実施の形態においては，図９に示すように，吸
着シート３Ａの稜線ｃと吸着シート３Ｂの稜線ｃとが２
θ゜（例えば６０゜）の角度を持って交差するように配
置されている。また，これら吸着シート３Ａの稜線ｃと
吸着シート３Ｂの稜線ｃは，空気の流通方向５に対して
互いにθ゜（例えば３０゜）ずつ反対側に傾いて配置さ
れた構成になっており，これにより，吸着シート３Ａの
稜線ｃと吸着シート３Ｂの稜線ｃは，空気の流通方向５
に対して線対称を成す配置となっている。
【００１７】このように，互いに隣り合う二枚の吸着シ
ート３Ａ，３Ｂを重ねるに際し，吸着シート３Ａの稜線
ｃと吸着シート３Ｂの稜線ｃとが所定の角度を持って交
差するように配置されているので，吸着フィルタ３Ａ，
３Ｂを重ねた際に両者の稜線ｃ同士が一致して重なるこ
とがない。従って，隣接する吸着シート３Ａの山（波も
しくは山の最頂部）同士，谷（波もしくは山の最底部）
同士が重ならないので，吸着フィルタ３Ａ，３Ｂ同士を
互いに隙間を空けた状態で平行に配置でき，空気５の良
好な流通が確保される。
ート３Ａ，３Ｂを重ねるに際し，吸着シート３Ａの稜線
ｃと吸着シート３Ｂの稜線ｃとが所定の角度を持って交
差するように配置されているので，吸着フィルタ３Ａ，
３Ｂを重ねた際に両者の稜線ｃ同士が一致して重なるこ
とがない。従って，隣接する吸着シート３Ａの山（波も
しくは山の最頂部）同士，谷（波もしくは山の最底部）
同士が重ならないので，吸着フィルタ３Ａ，３Ｂ同士を
互いに隙間を空けた状態で平行に配置でき，空気５の良
好な流通が確保される。
【００１８】また，隣接する吸着シート３Ａ，３Ｂの稜
線ｃ同士を空気の流通方向５に対して線対称を成す配置
としているので，流通方向５に流れる空気流は，外枠２
内部において吸着シート３Ａ，３Ｂの稜線ｃに沿って流
れる際に撹拌や混合を生じ，吸着シート３Ａ，３Ｂ表面
の吸着剤７と空気が効率よく接触して，ガス状不純物が
吸着作用によって除去される。従って，吸着シート３の
稜線ｃと空気流方向５を平行に配置した場合と比較し
て，外枠２内部における空気の撹拌や混合の作用が飛躍
的に増大し，乱流も生じやすくなって空気と吸着剤７と
の接触機会も増大し，ガス状有機物の除去効率も増大す
る結果となる。
線ｃ同士を空気の流通方向５に対して線対称を成す配置
としているので，流通方向５に流れる空気流は，外枠２
内部において吸着シート３Ａ，３Ｂの稜線ｃに沿って流
れる際に撹拌や混合を生じ，吸着シート３Ａ，３Ｂ表面
の吸着剤７と空気が効率よく接触して，ガス状不純物が
吸着作用によって除去される。従って，吸着シート３の
稜線ｃと空気流方向５を平行に配置した場合と比較し
て，外枠２内部における空気の撹拌や混合の作用が飛躍
的に増大し，乱流も生じやすくなって空気と吸着剤７と
の接触機会も増大し，ガス状有機物の除去効率も増大す
る結果となる。
【００１９】次に図１０は，本発明の他の実施の形態に
かかるガス状不純物吸着フィルタ２０を概略的に示した
分解組立図である。このガス状不純物吸着フィルタ２０
においても同様に，外枠２の内部に，ガス状不純物を吸
着する性質のある複数枚の吸着シート３を互いに隙間を
空けた状態で重ねて配置した構成になっている。外枠２
及び吸着シート３の具体的な構成は，先に図１及び図２
〜７で説明したものと同様であるため，これらについて
の詳細な説明は省略する。
かかるガス状不純物吸着フィルタ２０を概略的に示した
分解組立図である。このガス状不純物吸着フィルタ２０
においても同様に，外枠２の内部に，ガス状不純物を吸
着する性質のある複数枚の吸着シート３を互いに隙間を
空けた状態で重ねて配置した構成になっている。外枠２
及び吸着シート３の具体的な構成は，先に図１及び図２
〜７で説明したものと同様であるため，これらについて
の詳細な説明は省略する。
【００２０】ただし，この実施の形態にあっては，互い
に隣り合う吸着シート３同士の間に，平板形状のセパレ
ータ２１が配置されている。この実施の形態のように吸
着シート３の間にセパレータ２１を配置する場合は，隣
り合う吸着シート３とセパレータ２１によって囲まれる
流路同士の間を空気が流通できるようにするために，セ
パレータ２１は通気性を持った平板構造，例えば多孔板
などで構成することが望ましい。図１１は，波形板形状
をなす吸着シート３の間にセパレータ２１を配置した構
成を示す拡大断面図である。同様に，図１２は，山形板
形状をなす吸着シート３の間にセパレータ２１を配置し
た構成を示す拡大断面図である。これら図１１，１２に
示すように，セパレータ２１は薄い平板形状をした基板
２２の表面に，ガス状不純物の吸着剤２３を接着剤を用
いて隙間無く接着した構成になっている。先と同様に，
吸着剤２３としては，例えば直径０．５ｍｍの球状活性
炭が使用されるが，その他，ゼオライト，シリカゲル，
アルミナ，モレキュラーシーブ，イオン交換樹脂など，
他のガス状不純物の吸着剤も使用される。なお，図示は
しないが，このセパレータ２１も，ガス状不純物の吸着
剤２３をバインダなどによって平板形状に固めた構成と
することもできる。この実施の形態では，吸着シート３
同士の間にセパレータ２１を挟むことによって，空気
は，図１１に示すような細い疑似半月形断面の筒状空間
２４，もしくは図１２に示すような細い三角形断面の筒
状空間２４を通過することとなるので，ガス状不純物が
吸着シート３とセパレータ２１の表面に接触する機会
は，セパレータ２１を挟まない場合よりも一層増すこと
になり，不純物の吸着率が高い。
に隣り合う吸着シート３同士の間に，平板形状のセパレ
ータ２１が配置されている。この実施の形態のように吸
着シート３の間にセパレータ２１を配置する場合は，隣
り合う吸着シート３とセパレータ２１によって囲まれる
流路同士の間を空気が流通できるようにするために，セ
パレータ２１は通気性を持った平板構造，例えば多孔板
などで構成することが望ましい。図１１は，波形板形状
をなす吸着シート３の間にセパレータ２１を配置した構
成を示す拡大断面図である。同様に，図１２は，山形板
形状をなす吸着シート３の間にセパレータ２１を配置し
た構成を示す拡大断面図である。これら図１１，１２に
示すように，セパレータ２１は薄い平板形状をした基板
２２の表面に，ガス状不純物の吸着剤２３を接着剤を用
いて隙間無く接着した構成になっている。先と同様に，
吸着剤２３としては，例えば直径０．５ｍｍの球状活性
炭が使用されるが，その他，ゼオライト，シリカゲル，
アルミナ，モレキュラーシーブ，イオン交換樹脂など，
他のガス状不純物の吸着剤も使用される。なお，図示は
しないが，このセパレータ２１も，ガス状不純物の吸着
剤２３をバインダなどによって平板形状に固めた構成と
することもできる。この実施の形態では，吸着シート３
同士の間にセパレータ２１を挟むことによって，空気
は，図１１に示すような細い疑似半月形断面の筒状空間
２４，もしくは図１２に示すような細い三角形断面の筒
状空間２４を通過することとなるので，ガス状不純物が
吸着シート３とセパレータ２１の表面に接触する機会
は，セパレータ２１を挟まない場合よりも一層増すこと
になり，不純物の吸着率が高い。
【００２１】なお，この実施の形態にあっては，隣接す
る吸着シート３の間にはセパレータ２１が挟まれている
ため，図１０に示すように，互いに隣り合う吸着シート
３の稜線ｃを同じ方向に一致させて配置しても，隣接す
る吸着シート３同士が密着する心配が無く，空気５の良
好な流通が確保される。ただし，このように吸着シート
３同士の間にセパレータ２１を配置した場合でも，図１
３に示すように，互いに隣り合う吸着シート３の稜線ｃ
同士が所定の角度を持って交差するように配置しても構
わない。
る吸着シート３の間にはセパレータ２１が挟まれている
ため，図１０に示すように，互いに隣り合う吸着シート
３の稜線ｃを同じ方向に一致させて配置しても，隣接す
る吸着シート３同士が密着する心配が無く，空気５の良
好な流通が確保される。ただし，このように吸着シート
３同士の間にセパレータ２１を配置した場合でも，図１
３に示すように，互いに隣り合う吸着シート３の稜線ｃ
同士が所定の角度を持って交差するように配置しても構
わない。
【００２２】
【実施例】先ず比較例として，薬品無添着の粒状活性炭
をウレタンフォームに接着剤で付着させたシート形状の
ケミカルフィルタを用いてクリーンルーム雰囲気を処理
した。比較例のケミカルフィルタでは，フィルタ単位体
積当たりの活性炭担持量の最大値は２５０ｇ／リットル
であった。フィルタの通気方向の厚み６５ｍｍ，面風速
０．５ｍ／ｓ，圧力損失４ｍｍＨ2０の条件下で，通常
のクリーンルーム雰囲気中（非メタン炭化水素濃度０．
５ｐｐｍ）に含まれる有機系のガス状不純物を除去し
た。図１４は，クリーンルーム雰囲気と，前記条件下
（２５０ｇ／リットル，厚み６５ｍｍ，面風速０．５ｍ
／ｓ）の粒状活性炭を使用した市販のケミカルフィルタ
により処理したクリーンルーム雰囲気と，クリーンルー
ムエアを液体窒素で冷却し不純物を凝縮除去した後のド
ライエア雰囲気の３つの雰囲気中に放置した酸化膜付き
ウェハ表面の接触角について経時変化を測定した結果で
ある。なお，ウェハの表面に超純水を滴下して測定され
る接触角は，表面の有機物汚染の程度を簡便に評価する
方法である。有機物汚染のない酸化膜付きシリコンウェ
ハやガラスの表面は水に馴染みやすい性質，つまり親水
性であり，接触角は小さい。ところが，有機物で汚染さ
れたそれらの表面は水をはじく性質，つまり疎水性であ
り，接触角は大きくなる。洗浄直後の３つのウェハ表面
を前述の３種の雰囲気に１日間（２４時間）放置して，
洗浄直後と比較してどれだけ接触角が増加したかを縦軸
に，経過日数を横軸にそれぞれ示した。
をウレタンフォームに接着剤で付着させたシート形状の
ケミカルフィルタを用いてクリーンルーム雰囲気を処理
した。比較例のケミカルフィルタでは，フィルタ単位体
積当たりの活性炭担持量の最大値は２５０ｇ／リットル
であった。フィルタの通気方向の厚み６５ｍｍ，面風速
０．５ｍ／ｓ，圧力損失４ｍｍＨ2０の条件下で，通常
のクリーンルーム雰囲気中（非メタン炭化水素濃度０．
５ｐｐｍ）に含まれる有機系のガス状不純物を除去し
た。図１４は，クリーンルーム雰囲気と，前記条件下
（２５０ｇ／リットル，厚み６５ｍｍ，面風速０．５ｍ
／ｓ）の粒状活性炭を使用した市販のケミカルフィルタ
により処理したクリーンルーム雰囲気と，クリーンルー
ムエアを液体窒素で冷却し不純物を凝縮除去した後のド
ライエア雰囲気の３つの雰囲気中に放置した酸化膜付き
ウェハ表面の接触角について経時変化を測定した結果で
ある。なお，ウェハの表面に超純水を滴下して測定され
る接触角は，表面の有機物汚染の程度を簡便に評価する
方法である。有機物汚染のない酸化膜付きシリコンウェ
ハやガラスの表面は水に馴染みやすい性質，つまり親水
性であり，接触角は小さい。ところが，有機物で汚染さ
れたそれらの表面は水をはじく性質，つまり疎水性であ
り，接触角は大きくなる。洗浄直後の３つのウェハ表面
を前述の３種の雰囲気に１日間（２４時間）放置して，
洗浄直後と比較してどれだけ接触角が増加したかを縦軸
に，経過日数を横軸にそれぞれ示した。
【００２３】クリーンルーム雰囲気にはガス状有機物が
含まれるため，１日放置で約２５゜接触角が増加した。
ドライエア雰囲気には，ガス状有機物はほとんど含まれ
ないから接触角は増加しない。一方，市販のケミカルフ
ィルタは，使用開始後１週間程度では１日放置で約１０
゜の接触角の増加に留まるが，使用開始後１ヶ月程度で
１日放置で約２５゜の増加になり，ガス状有機物の吸着
能力は全く失われたことが分かった。
含まれるため，１日放置で約２５゜接触角が増加した。
ドライエア雰囲気には，ガス状有機物はほとんど含まれ
ないから接触角は増加しない。一方，市販のケミカルフ
ィルタは，使用開始後１週間程度では１日放置で約１０
゜の接触角の増加に留まるが，使用開始後１ヶ月程度で
１日放置で約２５゜の増加になり，ガス状有機物の吸着
能力は全く失われたことが分かった。
【００２４】次に本発明の実施例として，高さ３ｍｍの
波形状の凹凸を有するアルミニウムシート表面に隙間な
く０．５ｍｍ直径の球状活性炭を接着し，吸着シートを
構成した。この吸着シートを外枠の内部に複数枚平行に
重ねて配置し，図１に示す如きガス不純物吸着フィルタ
を製作した。このガス不純物吸着フィルタについて圧力
損失と吸着性能を調べたところ，薬品無添着の粒状活性
炭の担持量は３００ｇ／リットル，通気方向の厚み１３
０ｍｍ，面風速０．５ｍ／ｓにおける圧力損失はわずか
３ｍｍＨ2Ｏであった。また，通常のクリーンルーム雰
囲気（非メタン炭化水素濃度０．５ｐｐｍ）を処理した
ところ，洗浄直後の酸化膜付きウェハを２４時間処理後
の雰囲気に放置した場合の接触角の増加は，経過時間が
４０日に達するまで２０゜以下に抑えられた。従来のケ
ミカルフィルタでは，洗浄直後の酸化膜付きウェハを２
４時間処理後の雰囲気に放置した場合の接触角の増加
は，経過時間が１８日において２０゜を超えた。本発明
のガス状不純物吸着フィルタは，従来のケミカルフィル
タと比較して，フィルタ単位体積当たりの吸着剤担持量
をより多くすることができ，より低い通気抵抗を示し，
かつ吸着性能において長寿命である。
波形状の凹凸を有するアルミニウムシート表面に隙間な
く０．５ｍｍ直径の球状活性炭を接着し，吸着シートを
構成した。この吸着シートを外枠の内部に複数枚平行に
重ねて配置し，図１に示す如きガス不純物吸着フィルタ
を製作した。このガス不純物吸着フィルタについて圧力
損失と吸着性能を調べたところ，薬品無添着の粒状活性
炭の担持量は３００ｇ／リットル，通気方向の厚み１３
０ｍｍ，面風速０．５ｍ／ｓにおける圧力損失はわずか
３ｍｍＨ2Ｏであった。また，通常のクリーンルーム雰
囲気（非メタン炭化水素濃度０．５ｐｐｍ）を処理した
ところ，洗浄直後の酸化膜付きウェハを２４時間処理後
の雰囲気に放置した場合の接触角の増加は，経過時間が
４０日に達するまで２０゜以下に抑えられた。従来のケ
ミカルフィルタでは，洗浄直後の酸化膜付きウェハを２
４時間処理後の雰囲気に放置した場合の接触角の増加
は，経過時間が１８日において２０゜を超えた。本発明
のガス状不純物吸着フィルタは，従来のケミカルフィル
タと比較して，フィルタ単位体積当たりの吸着剤担持量
をより多くすることができ，より低い通気抵抗を示し，
かつ吸着性能において長寿命である。
【００２５】
【発明の効果】本発明のガス状不純物吸着フィルタによ
れば，吸着シートの表面に処理対象の空気を接触させる
機会を高めることができ，圧力損失を低く押さえつつ，
処理空気中に含まれるガス状不純物を効果的に除去する
ことが可能となる。また本発明のガス状不純物吸着フィ
ルタは，長期間使用しても吸着性能の劣化が少なく，長
寿命である。
れば，吸着シートの表面に処理対象の空気を接触させる
機会を高めることができ，圧力損失を低く押さえつつ，
処理空気中に含まれるガス状不純物を効果的に除去する
ことが可能となる。また本発明のガス状不純物吸着フィ
ルタは，長期間使用しても吸着性能の劣化が少なく，長
寿命である。
【図１】本発明の実施の形態にかかるガス状不純物吸着
フィルタを概略的に示した分解組立図である。
フィルタを概略的に示した分解組立図である。
【図２】波形板形状の吸着シートの斜視図である。
【図３】波形板形状のシート基板の断面図である。
【図４】波形板形状の吸着シートの断面図である。
【図５】山形板形状の吸着シートの斜視図である。
【図６】山形板形状のシート基板の断面図である。
【図７】山形板形状の吸着シートの断面図である。
【図８】互いに隣り合う二枚の吸着シートを重ねる様子
を拡大して示した説明図である。
を拡大して示した説明図である。
【図９】互いに隣り合う二枚の吸着シートの稜線同士の
なす角度の説明図である。
なす角度の説明図である。
【図１０】本発明の他の実施の形態にかかるガス状不純
物吸着フィルタを概略的に示した分解組立図である。
物吸着フィルタを概略的に示した分解組立図である。
【図１１】図１０の実施の形態にかかる波形板形状の吸
着シートの断面図である。
着シートの断面図である。
【図１２】図１０の実施の形態にかかる山形板形状の吸
着シートの断面図である。
着シートの断面図である。
【図１３】本発明の他の実施の形態にかかるガス状不純
物吸着フィルタを概略的に示した分解組立図である。
物吸着フィルタを概略的に示した分解組立図である。
【図１４】従来のケミカルフィルタにより処理したクリ
ーンルーム雰囲気中におけるウェハ表面の接触角の経時
変化を示すグラフである。
ーンルーム雰囲気中におけるウェハ表面の接触角の経時
変化を示すグラフである。
１ ガス状不純物吸着フィルタ ２ 外枠 ３ 吸着シート ５ 空気の流通方向
Claims (7)
- 【請求項１】 対向する一対の側面が空気の流入口と流
出口に形成された外枠の内部に，波形板もしくは山形板
の形状をしたガス状不純物を吸着する性質のある複数枚
の吸着シートを，空気の流通方向と平行にして互いに隙
間を空けた状態で重ねて配置したことを特徴とするガス
状不純物吸着フィルタ。 - 【請求項２】 前記吸着シートは，波形板もしくは山形
板の形状をしたシート基板の表面にガス状不純物の吸着
剤を接着した構成であることを特徴とする請求項１に記
載のガス状不純物吸着フィルタ。 - 【請求項３】 前記吸着シートは，ガス状不純物の吸着
剤をバインダによって波形板もしくは山形板の形状に固
めた構成であることを特徴とする請求項１に記載のガス
状不純物吸着フィルタ。 - 【請求項４】 互いに隣り合う吸着シートの稜線同士が
所定の角度を持って交差するように配置したことを特徴
とする請求項１，２または３のいずれかに記載のガス状
不純物吸着フィルタ。 - 【請求項５】 互いに隣り合う吸着シートの稜線同士が
空気の流通方向に対して線対称を成すことを特徴とする
請求項４に記載のガス状不純物吸着フィルタ。 - 【請求項６】 互いに隣り合う吸着シート同士の間に，
平板形状のセパレータを配置したことを特徴とする請求
項１，２または３のいずれかに記載のガス状不純物吸着
フィルタ。 - 【請求項７】 前記セパレータをガス状不純物を吸着す
る性質のある吸着シートで構成したことを特徴とする請
求項６に記載のガス状不純物吸着フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8353234A JPH10165730A (ja) | 1996-12-16 | 1996-12-16 | ガス状不純物吸着フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8353234A JPH10165730A (ja) | 1996-12-16 | 1996-12-16 | ガス状不純物吸着フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10165730A true JPH10165730A (ja) | 1998-06-23 |
Family
ID=18429468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8353234A Pending JPH10165730A (ja) | 1996-12-16 | 1996-12-16 | ガス状不純物吸着フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10165730A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6171932B1 (en) | 1998-07-23 | 2001-01-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor substrate and production method thereof |
| JP2002523207A (ja) * | 1998-08-20 | 2002-07-30 | エクストラクシヨン・システムズ・インコーポレーテツド | 多孔質の強酸性重合体を用いたフィルター |
| JP2002535111A (ja) * | 1998-08-27 | 2002-10-22 | コスロウ テクノロジーズ コーポレイション | 複合濾過媒体と複合濾過媒体を含む流体フィルター |
| US6784494B2 (en) | 2000-12-18 | 2004-08-31 | Shin-Etsu Handotai, Co., Ltd. | Production method for SOI wafer and SOI wafer |
| US7922791B2 (en) | 2006-07-13 | 2011-04-12 | Entegris, Inc. | Filtering system for a semiconductor processing tool |
| CN103237586A (zh) * | 2010-11-15 | 2013-08-07 | 埃克森美孚上游研究公司 | 动力学分馏器和分馏气体混合物的循环方法 |
-
1996
- 1996-12-16 JP JP8353234A patent/JPH10165730A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6171932B1 (en) | 1998-07-23 | 2001-01-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor substrate and production method thereof |
| US6472711B1 (en) | 1998-07-23 | 2002-10-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor substrate and production method thereof |
| JP2002523207A (ja) * | 1998-08-20 | 2002-07-30 | エクストラクシヨン・システムズ・インコーポレーテツド | 多孔質の強酸性重合体を用いたフィルター |
| JP2002535111A (ja) * | 1998-08-27 | 2002-10-22 | コスロウ テクノロジーズ コーポレイション | 複合濾過媒体と複合濾過媒体を含む流体フィルター |
| US6784494B2 (en) | 2000-12-18 | 2004-08-31 | Shin-Etsu Handotai, Co., Ltd. | Production method for SOI wafer and SOI wafer |
| US7922791B2 (en) | 2006-07-13 | 2011-04-12 | Entegris, Inc. | Filtering system for a semiconductor processing tool |
| CN103237586A (zh) * | 2010-11-15 | 2013-08-07 | 埃克森美孚上游研究公司 | 动力学分馏器和分馏气体混合物的循环方法 |
| CN103237586B (zh) * | 2010-11-15 | 2015-12-02 | 埃克森美孚上游研究公司 | 动力学分馏器和分馏气体混合物的循环方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7377963B2 (en) | Adsorption filter and manufacturing method thereof | |
| KR100568093B1 (ko) | 공기 청정 방법 및 이것에 이용하는 공기 청정 장치 | |
| CN1140314C (zh) | 空气过滤器、其制造方法以及空气净化设备 | |
| TW422725B (en) | An air filter, the manufacturing method, and a high efficiency air cleaning apparatus | |
| US20060042209A1 (en) | Alkaline impregnated filter element, and methods | |
| JPH10165730A (ja) | ガス状不純物吸着フィルタ | |
| US20050022671A1 (en) | Chemical filter and method for manufacturing same | |
| JPH0824534A (ja) | 再生可能な空気清浄用イオン交換フィルタユニット及びそれを用いる空気清浄方法 | |
| CN209034059U (zh) | 气液接触体 | |
| JP3750800B2 (ja) | 空気清浄装置 | |
| JP4312878B2 (ja) | 高度清浄装置 | |
| JP3552141B2 (ja) | ケミカルフィルタおよびそれを用いた空気濾過方法 | |
| JPH11128643A (ja) | フィルタユニット | |
| JP2001145816A (ja) | 気体浄化用フィルタ | |
| US20200009500A1 (en) | Membrane Device for Water and Energy Exchange | |
| JPH0796938B2 (ja) | ガス吸収装置を備えたクリーンルーム及びガス吸収装置 | |
| JP2000015020A (ja) | 空気浄化フィルタとその製造方法及び高度清浄装置 | |
| JPH09220425A (ja) | ケミカルフィルタ | |
| JP2002263415A (ja) | エアフィルタ濾材およびエアフィルタユニット | |
| JPH10128040A (ja) | コルゲート積層型エアフィルタ | |
| JP2002233718A (ja) | エアフィルタ用ろ材 | |
| JPH04247207A (ja) | エアフィルター | |
| JP2005342603A (ja) | コルゲート状積層体フィルタ | |
| JPH0889729A (ja) | エアフィルタ用ろ材 | |
| JP2005342602A (ja) | 波板積層体フィルタ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20021029 |